WO2023229026A1 - 冷却ユニットおよび冷却システム - Google Patents

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WO2023229026A1
WO2023229026A1 PCT/JP2023/019661 JP2023019661W WO2023229026A1 WO 2023229026 A1 WO2023229026 A1 WO 2023229026A1 JP 2023019661 W JP2023019661 W JP 2023019661W WO 2023229026 A1 WO2023229026 A1 WO 2023229026A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
cold plate
connection part
cooling unit
refrigerant
connection
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/019661
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
圭佑 川田
鋭彦 渡慶次
健人 玉岡
Original Assignee
ニデック株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ニデック株式会社 filed Critical ニデック株式会社
Publication of WO2023229026A1 publication Critical patent/WO2023229026A1/ja

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/473—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating

Definitions

  • TECHNICAL FIELD This disclosure relates to cooling units and cooling systems.
  • a cooling unit that has a cold plate disposed on a heat generating component, an inflow pipe through which refrigerant flows into the cold plate, and an outflow pipe through which refrigerant flows out from the cold plate (for example, Patent Document 1 reference).
  • Patent Document 1 describes a cooling device including a heat receiving member disposed on a heating element.
  • the heat receiving member has a structure in which two members, a base member and a case member, are combined and joined to form a sealed space through which a refrigerant passes.
  • the base member is placed on the heating element.
  • the case member is disposed on the base member.
  • the case member is provided with an inflow passage opening through which the refrigerant flows into the sealed space, and an outflow passage opening through which the refrigerant flowing out from the sealed space passes.
  • the inlet and the outlet are arranged in the case member. Therefore, since the cooling device of Patent Document 1 has a structure in which the heating element is cooled only from above, it is difficult to efficiently cool the heating element.
  • the present disclosure has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a cooling unit and a cooling system that can efficiently cool heat-generating components.
  • An exemplary cooling unit of the present disclosure has a first cold plate, a second cold plate, an inflow pipe, and an outflow pipe.
  • the first cold plate and the second cold plate are respectively disposed on both sides of the heat generating component in the first direction.
  • the inflow pipe allows refrigerant to flow into the first cold plate and the second cold plate.
  • the refrigerant flowing out from the first cold plate and the second cold plate passes through the outflow pipe.
  • At least a portion of the first cold plate and at least a portion of the second cold plate overlap in the first direction.
  • At least a portion of the inflow pipe and at least a portion of the outflow pipe are arranged between the first cold plate and the second cold plate in the first direction.
  • An exemplary cooling system of the present disclosure includes the cooling unit described above, a pump section, and a heat exchanger.
  • the pump section allows the refrigerant to flow through the cooling unit.
  • the heat exchanger cools the refrigerant flowing from the cooling unit.
  • the cooling unit, the pump section, and the heat exchanger are each connected by a connecting pipe. The refrigerant circulates through the cooling unit, the pump section, and the heat exchanger.
  • An exemplary cooling unit of the present disclosure has a third cold plate, an inflow pipe, an outflow pipe, and a fifth connection.
  • the third cold plate is disposed on one side of the heat generating component in the first direction.
  • the inflow pipe allows refrigerant to flow into the third cold plate.
  • the refrigerant flowing out from the third cold plate passes through the outflow pipe.
  • the fifth connection part is connected to the inflow pipe or the outflow pipe, and is fixed to the third cold plate.
  • the fifth connection part is movable relative to the inflow pipe or the outflow pipe.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of a cooling system having a cooling unit according to an exemplary embodiment 1 of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the vicinity of the cooling unit.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the structure of the cold plate, inflow pipe, and outflow pipe of the cooling unit.
  • FIG. 4 is an exploded perspective view showing the structure of the cold plate, inflow pipe, and outflow pipe of the cooling unit.
  • FIG. 5 is an exploded perspective view showing a cold plate, a heat conductive member, and a first heat generating component of the cooling unit.
  • FIG. 6 is an exploded perspective view showing a cold plate, a heat conductive member, and a first heat generating component of the cooling unit.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of a cooling system having a cooling unit according to an exemplary embodiment 1 of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the vicinity of the cooling unit.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the structure of the cold plate, in
  • FIG. 7 is an exploded perspective view showing the structure of the cold plate of the cooling unit.
  • FIG. 8 is an exploded perspective view showing the structure of the cold plate of the cooling unit.
  • FIG. 9 is a diagram showing the structure of the second member of the cold plate of the cooling unit from the other side in the first direction.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view of the cold plate, the heat conductive member, and the first heat generating component of the cooling unit taken along line XX in FIG.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of the cold plate, the heat conductive member, and the first heat generating component of the cooling unit taken along line XI-XI in FIG.
  • FIG. 12 is a diagram showing the positional relationship between the heat conductive member and the internal flow path of the cooling unit.
  • FIG. 13 is a perspective view showing the structure of a cooling unit according to a first modification of the first embodiment.
  • FIG. 14 is a perspective view showing the structure of a cooling unit U1A according to a second modification of the first embodiment.
  • FIG. 15 is an exploded perspective view showing the structure of the cooling unit U1A of the second modification of the first embodiment.
  • FIG. 16 is a sectional view of the cooling unit U1A of the second modification of the first embodiment.
  • FIG. 17 is a sectional view of the cooling unit U1A of the second modification of the first embodiment.
  • FIG. 18 is a diagram illustrating an overview of a cooling system 101 having a cooling unit U1B according to an exemplary embodiment 2 of the present disclosure.
  • FIG. 19 is a perspective view showing the cooling unit U1B.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view showing the structures of the inflow pipe 110 and the outflow pipe 120.
  • FIG. 21 is a diagram showing the cooling unit U1B in which the cold plate P3 is located at the first position T1.
  • FIG. 22 is a diagram showing the cooling unit U1B in which the cold plate P3 is located at the second position T2.
  • first direction Z a first direction Z
  • second direction X a second direction X
  • third direction Y which are perpendicular to each other.
  • one side in the first direction Z is referred to as one side Z1 in the first direction Z
  • the other side in the first direction Z is referred to as the other side Z2 in the first direction Z.
  • one side in the second direction X is referred to as one side X1 in the second direction X
  • the other side in the second direction X is referred to as the other side X2 in the second direction X.
  • one side in the third direction Y will be referred to as one side Y1 in the third direction Y
  • the other side in the third direction Y will be referred to as the other side Y2 in the third direction Y.
  • the directions are only defined for the convenience of explanation, and the orientation of the exemplary cold plate of the present disclosure when used is not limited, unless it is particularly necessary to define the horizontal direction or the vertical direction.
  • “orthogonal directions” include substantially orthogonal directions.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of a cooling system 100 having cooling units U1, U2, U3 according to an exemplary embodiment 1 of the present disclosure.
  • the cooling system 100 is provided, for example, in a computer device 200 to cool it.
  • Computer device 200 is an example of an electronic device.
  • the cooling system 100 includes, for example, three cooling units U1, U2, and U3, a manifold M1, a manifold M2, a pump section 21, and a heat exchanger 22. Note that the cooling system 100 may be provided other than the computer device 200.
  • the pump section 21 includes, for example, one or more pump devices.
  • a plurality of pump devices are connected to each other in series or parallel.
  • Each of the pumping devices has one or more pumps that draw in refrigerant and pump out refrigerant.
  • a plurality of pumps are connected to each other in series or parallel.
  • the refrigerant may be a cooling liquid such as cooling water or cooling oil, or may be a cooling gas.
  • the refrigerant is, for example, a cooling liquid.
  • Pump section 21 is connected to manifold M1 and manifold M2 via flow path M3 and heat exchanger 22, for example.
  • the manifold M1 is, for example, a pipe that connects the pump section 21 and the cooling units U1, U2, and U3.
  • the flow path M3 is, for example, a pipe that connects the pump section 21 and the heat exchanger 22.
  • a refrigerant passes through the manifolds M1 and M2 and the flow path M3.
  • the pump section 21 allows the refrigerant to flow through the cooling units U1, U2, and U3. Specifically, the pump section 21 supplies refrigerant to the manifold M1. Refrigerant passes through the interior of manifold M1. The manifold M1 distributes and supplies the refrigerant supplied from the pump section 21 to the cooling units U1, U2, and U3. The refrigerant supplied to each of the cooling units U1, U2, and U3 passes through each of the cooling units U1, U2, and U3, and is supplied to the manifold M2.
  • the cooling unit U1 will be representatively explained.
  • the configuration and function of cooling units U2 and U3 are the same as cooling unit U1.
  • the cooling unit U1 has, for example, two cold plates P1 and P2.
  • the cold plates P1 and P2 each receive heat from a heat generating component 500, which will be described later, and cool the heat generating component 500.
  • the heat generating component 500 is, for example, an arithmetic unit such as a CPU disposed in the computer device 200, a storage device such as a memory, and the like.
  • the refrigerant passes through the interior of the cooling unit U1, it passes through the cold plates P1 and P2.
  • the refrigerant with heat circulates within the cooling system 100.
  • the cold plates P1 and P2 may have the same structure or may have different structures.
  • the cooling unit U1 may have three or more cold plates including cold plates P1 and P2.
  • Manifold M2 is, for example, a pipe that connects cooling units U1, U2, U3 and heat exchanger 22.
  • the refrigerant passes through the interior of manifold M2.
  • the manifold M2 merges the refrigerant that has passed through each of the cooling units U1, U2, and U3 and supplies it to the heat exchanger 22.
  • the refrigerant supplied to the heat exchanger 22 passes through the heat exchanger 22, for example.
  • the heat exchanger 22 cools the refrigerant flowing from the cooling units U1, U2, and U3.
  • the heat exchanger 22 is a radiator that radiates heat to the outside by passing a heated refrigerant therethrough.
  • the heat exchanger 22 includes a plurality of refrigerant pipes through which the refrigerant passes, and a plurality of fins arranged around the refrigerant pipes. A portion of each of the plurality of fins contacts the refrigerant pipe. More specifically, the fins and the refrigerant pipe are joined by welding or the like. The fins reduce the temperature of the refrigerant by absorbing heat from the refrigerant pipe and the refrigerant and dissipating the heat to the outside air.
  • the heat exchanger 22 is not limited to a radiator that radiates heat to the outside.
  • the heat exchanger 22 may, for example, exchange heat with a flow path through which another refrigerant passes.
  • the refrigerant that has passed through the heat exchanger 22 is supplied to the pump section 21 through a flow path M3.
  • the refrigerant supplied to the pump section 21 is again supplied to the manifold M1 by the pump section 21.
  • the refrigerant circulates through the cooling units U1, U2, U3, the pump section 21, and the heat exchanger 22.
  • the refrigerant circulates through the pump section 21, the manifold M1, the cooling units U1, U2, U3, the manifold M2, the heat exchanger 22, and the flow path M3.
  • the circulation of the refrigerant is indicated by arrows. Note that the direction of circulation of the refrigerant may be reversed.
  • the arrangement of the cooling units U1, U2, U3, the pump section 21, and the heat exchanger 22 is an example, and may be arranged other than the above.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the vicinity of the cooling unit U1.
  • the cooling unit U1 includes a cold plate P1, a cold plate P2, an inflow pipe 110, and an outflow pipe 120.
  • Cold plate P1 is an example of the "first cold plate” of the present disclosure
  • cold plate P2 is an example of the "second cold plate” of the present disclosure.
  • Cold plate P1 and cold plate P2 are arranged on both sides of heat generating component 500 in the first direction Z.
  • Inflow pipe 110 allows refrigerant to flow into cold plate P1 and cold plate P2.
  • the refrigerant flowing out from the cold plate P1 and the cold plate P2 passes through the outflow pipe 120.
  • a connecting pipe M11 that constitutes a part of the manifold M1 is connected to the inflow pipe 110.
  • a connecting pipe M21 that constitutes a part of the manifold M2 is connected to the outflow pipe 120.
  • the cold plate P1 and the cold plate P2 are arranged on both sides of the heat generating component 500 in the first direction Z. Therefore, since the heat generating component 500 can be cooled from both sides, the heat generating component 500 can be efficiently cooled.
  • the refrigerant that has passed through the connecting pipe M11 flows into the cold plate P1 and the cold plate P2 via the inflow pipe 110.
  • the refrigerant that has passed through the cold plate P1 and the cold plate P2 flows out into the connecting pipe M21 via the outflow pipe 120.
  • the refrigerant absorbs heat from the heat generating component 500 when passing through the cold plate P1 and the cold plate P2. Therefore, the temperature of the heat generating component 500 is suppressed from increasing.
  • the heat generating component 500 may include only one heat generating component, or may include a plurality of heat generating components.
  • the heat generating component 500 has two heat generating components (a first heat generating component 501 and a second heat generating component 502).
  • the first heat generating component 501 and the second heat generating component 502 are stacked in the first direction Z.
  • the cooling unit U1 further includes a support member 130.
  • the support member 130 is arranged between the first heat generating component 501 and the second heat generating component 502.
  • the support member 130 supports the first heat generating component 501 and the second heat generating component 502.
  • the first heat generating component 501 and the second heat generating component 502 may be fixed at predetermined positions on the support member 130.
  • the support member 130 has a flat plate shape.
  • the support member 130 is formed of, for example, a metal plate, although it is not particularly limited. Note that in this embodiment, an example is shown in which the support member 130 is arranged between the first heat generation component 501 and the second heat generation component 502; The member 130 may not be arranged.
  • the cooling unit U1 further includes a fixing member 140.
  • the fixing members 140 are arranged, for example, on both sides of the cold plates P1 and P2 in the second direction X.
  • the second direction X is a direction orthogonal to the first direction Z.
  • Fixing member 140 fixes cold plate P1 and cold plate P2.
  • the fixing member 140 is formed, for example, by bending a sheet metal plate. At least a portion of the fixing member 140 extends in the first direction Z.
  • the cold plate P1 is fixed to the end of the fixing member 140 on one side Z1 in the first direction Z using screws 145.
  • the cold plate P2 is fixed to the end of the fixing member 140 on the other side Z2 in the first direction Z using screws 145.
  • the cold plate P1 is fixed to the fixing member 140 while pressing the heat generating component 500 to the other side Z2 in the first direction Z. Further, the cold plate P2 is fixed to the fixing member 140 while pressing the heat generating component 500 toward one side Z1 in the first direction Z. Therefore, movement of the heat generating component 500 in the direction intersecting the first direction Z can be suppressed.
  • the support member 130 is fixed to the fixing member 140 using screws 146. Note that the support member 130 does not need to be fixed to the fixed member 140.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the structure of cold plate P1, cold plate P2, inflow pipe 110, and outflow pipe 120 of cooling unit U1.
  • FIG. 4 is an exploded perspective view showing the structure of the cold plate P1, cold plate P2, inflow pipe 110, and outflow pipe 120 of the cooling unit U1.
  • cold plate P1 and cold plate P2 have a substantially flat plate shape.
  • Cold plate P1 and cold plate P2 are arranged parallel to each other.
  • Cold plate P1 and cold plate P2 are separated from each other by a predetermined distance in the first direction Z.
  • At least a portion of cold plate P1 and at least a portion of cold plate P2 overlap in the first direction Z.
  • substantially the entire cold plate P1 and substantially the entire cold plate P2 overlap in the first direction Z.
  • the inflow pipe 110 and at least a portion of the outflow pipe 120 are arranged between the cold plate P1 and the cold plate P2 in the first direction Z. Therefore, it is possible to suppress the cooling unit U1 from increasing in size.
  • the inflow pipe 110 has a common inflow section 111 , a branch section 112 , a first connection section 113 , and a second connection section 114 .
  • the common inflow portion 111 is connected to the manifold M1 (see FIG. 2).
  • the branch portion 112 branches the refrigerant passing through the common inflow portion 111 .
  • the first connection part 113 connects the branch part 112 and the cold plate P1.
  • the second connection portion 114 connects the branch portion 112 and the cold plate P2. Therefore, the refrigerant from the manifold M1 passes through the common inflow part 111, is branched off at the branch part 112, and then flows into the cold plate P1 or cold plate P2 via the first connection part 113 or the second connection part 114. do.
  • the inflow pipe 110 has the common inflow part 111, the branch part 112, the first connection part 113, and the second connection part 114, so that one inflow pipe 110 connects two cold plates (cold plates). Refrigerant can flow into the plates P1, P2). Therefore, it is possible to suppress an increase in the number of inflow pipes 110.
  • the outflow pipe 120 has a third connection part 121 , a fourth connection part 122 , a merging part 123 , and a common outflow part 124 .
  • the third connection part 121 is connected to the cold plate P1.
  • the third connecting portion 121 connects the cold plate P1 and the merging portion 123.
  • the fourth connection part 122 is connected to the cold plate P2.
  • the fourth connecting portion 122 connects the cold plate P2 and the merging portion 123.
  • the merging portion 123 merges the refrigerant passing through the third connection portion 121 and the fourth connection portion 122.
  • the refrigerant that has passed through the merging section 123 passes through the common outflow section 124 .
  • the common outflow portion 124 is connected to the manifold M2 (see FIG. 2). Therefore, the refrigerant from the cold plate P1 and the cold plate P2 passes through the third connection section 121 and the fourth connection section 122, is combined at the confluence section 123, and then flows out into the manifold M2 via the common outflow section 124. do.
  • the outflow pipe 120 has the third connection part 121, the fourth connection part 122, the merging part 123, and the common outflow part 124, so that one outflow pipe 120 connects two cold plates (cold plates).
  • the refrigerant can flow out from the plates P1, P2). Therefore, it is possible to suppress an increase in the number of outflow pipes 120.
  • first connecting portion 113 of the inflow pipe 110 is connected to an inflow port 156 arranged on the surface of the cold plate P1 on the cold plate P2 side (contact surface 151 to be described later).
  • the second connection portion 114 of the inflow pipe 110 is connected to an outflow port 157 arranged on the surface of the cold plate P2 on the cold plate P1 side (contact surface 151 to be described later).
  • the inflow pipe 110 has a substantially T-shape.
  • the first connecting portion 113, the branching portion 112, and the second connecting portion 114 are arranged in a straight line along the first direction Z.
  • the first connecting portion 113, the branching portion 112, and the second connecting portion 114 are arranged between the cold plate P1 and the cold plate P2 in the first direction Z.
  • the common inflow portion 111 extends in a third direction Y that is orthogonal to the first direction Z and the second direction X.
  • the outflow pipe 120 has a substantially T-shape.
  • the third connecting portion 121, the merging portion 123, and the fourth connecting portion 122 are arranged in a straight line along the first direction Z.
  • the third connecting portion 121, the merging portion 123, and the fourth connecting portion 122 are arranged between the cold plate P1 and the cold plate P2 in the first direction Z.
  • the common outflow portion 124 extends in the third direction Y.
  • the common inflow section 111 and the common outflow section 124 are arranged parallel to each other, for example.
  • FIGS. 5 and 6 are exploded perspective views showing the cold plate P1, the heat conductive member 170, and the first heat generating component 501 of the cooling unit U1. Note that the structure around the cold plate P1 and the structure around the cold plate P2 are substantially the same in the first direction Z, so a description of the structure around the cold plate P2 will be omitted.
  • Cold plate P1 has a contact surface 151 that contacts heat generating component 500.
  • the contact surface 151 may be in direct contact with the heat generating component 500 or may be in indirect contact with the heat generating component 500.
  • the cooling unit U1 further includes a heat conductive member 170.
  • Thermal conductive member 170 is arranged between contact surface 151 and heat generating component 500. Contact surface 151 indirectly contacts heat generating component 500 via heat conductive member 170 .
  • the heat conductive member 170 is arranged between the cold plate P1 and the heat generating component 500 as described above. Therefore, for example, even if there are small irregularities on the surface of cold plate P1 or heat generating component 500, thermally conductive member 170 will be buried in the irregularities and an air layer will be present between cold plate P1 and heat generating component 500. is suppressed. Therefore, the heat of the heat generating component 500 is efficiently transferred to the cold plate P1, so that the heat dissipation performance of the heat generating component 500 is improved.
  • the heat conductive member 170 may be made of any material that can efficiently conduct heat, and for example, a heat conductive sheet, grease, or the like may be used.
  • the thermally conductive sheet may be, for example, an elastic sheet such as a rubber sheet.
  • the heat conductive member 170 is a heat conductive sheet having a predetermined thickness. Note that by including particles with high thermal conductivity in the heat conductive member 170, the thermal conductivity of the heat conductive member 170 can be further improved.
  • One or more heat conductive members 170 are provided.
  • a plurality of (here, four) heat conductive members 170 are provided.
  • the heat conductive member 170 may be one heat conductive member having a size that includes the plurality of heat conductive members 170 shown in FIGS. 5 and 6, for example.
  • the heat conductive member 170 is placed in a region of the heat generating component 500 that particularly requires cooling.
  • the heat conductive member 170 is placed in a region of the heat generating component 500 that is likely to become high temperature.
  • 7 and 8 are exploded perspective views showing the structure of the cold plate P1 of the cooling unit U1. Note that the structure around the cold plate P1 and the structure around the cold plate P2 are substantially the same in the first direction Z, so a description of the structure around the cold plate P2 will be omitted.
  • the cold plate P1 is made of a metal with high thermal conductivity such as copper or aluminum.
  • the cold plate P1 is a rectangular plate component that extends in the second direction X and the third direction Y. Note that the shape of the cold plate P1 may be other than rectangular.
  • Cold plate P1 includes a first member 150 and a second member 160.
  • the first member 150 is arranged on the side of the heat generating component 500 (see FIG. 5) of the cold plate P1
  • the second member 160 is arranged on the side of the cold plate P1 opposite to the heat generating component 500.
  • Cold plate P1 has an internal flow path Pa and fin portions 155.
  • a refrigerant passes through the internal flow path Pa.
  • the internal flow path Pa is arranged to overlap the contact surface 151 in the first direction Z.
  • Internal flow path Pa is configured by first member 150 and second member 160.
  • the first member 150 and the second member 160 constitute an internal flow path Pa.
  • the first member 150 has an inner surface 152 disposed on the second member 160 side.
  • Inner surface 152 is a flat surface.
  • the second member 160 has an inner surface 161 disposed on the first member 150 side and a recess 162 disposed on the inner surface 161.
  • the first member 150 and the second member 160 are fixed by welding, brazing, or the like, with the inner surface 152 and the inner surface 161 in close contact with each other.
  • the internal flow path Pa is configured by an inner surface 152 of the first member 150 and a recess 162 of the second member 160.
  • the fin portion 155 is arranged within the internal flow path Pa.
  • the fin portion 155 has a plurality of fins 155a. Since the fin portion 155 has a large contact area with the refrigerant, heat is efficiently transferred to the refrigerant.
  • the fin portion 155 is arranged on the first member 150, for example.
  • the fins 155a and the first member 150 are an integral part.
  • the fins 155a are formed, for example, by skiving the surface of the first member 150. Note that the method for forming the fins 155a is not limited to skiving.
  • the first member 150 has an inlet 156 and an outlet 157.
  • An inlet 156 and an outlet 157 are arranged on the contact surface 151 of the first member 150 .
  • the inlet 156 is connected to the inlet pipe 110 (see FIG. 4).
  • the inlet 156 is connected to the internal flow path Pa.
  • the refrigerant that has passed through the inflow pipe 110 flows into the internal flow path Pa via the inflow port 156.
  • the outlet 157 is connected to the outlet pipe 120 (see FIG. 4).
  • Outlet 157 is connected to internal channel Pa.
  • the refrigerant that has passed through the internal flow path Pa flows out into the outflow pipe 120 via the inlet 156.
  • the first member 150 has, for example, the same number of convex portions 158 as the heat conductive member 170 (see FIG. 8). Convex portion 158 is arranged on contact surface 151 .
  • the size of the convex portion 158 is not particularly limited, but is, for example, the same as the heat conductive member 170 or slightly larger than the heat conductive member 170.
  • each convex portion 158 overlaps at least a portion of the heat conductive member 170 in the first direction Z. Therefore, alignment between the cold plate P1 and the heat conductive member 170 becomes easy. Further, each region R2, which will be described later, overlaps at least a portion of the convex portion 158 and at least a portion of the heat conductive member 170.
  • FIG. 9 is a diagram showing the structure of the second member 160 of the cold plate P1 of the cooling unit U1 from the other side Z2 in the first direction Z.
  • the internal flow path Pa has an upstream portion Pa1, a fin accommodating portion Pa2, and a downstream portion Pa3.
  • the upstream portion Pa1 is arranged on the upstream side in the coolant flow direction with respect to the fin accommodating portion Pa2.
  • the upstream portion Pa1 connects the inlet 156 and the fin accommodating portion Pa2.
  • the fin accommodating portion Pa2 accommodates the fin portion 155.
  • the downstream portion Pa3 is disposed on the downstream side in the coolant flow direction with respect to the fin accommodating portion Pa2.
  • the downstream portion Pa3 connects the fin accommodating portion Pa2 and the outlet 157.
  • the refrigerant flowing in from the inlet 156 passes through the upstream portion Pa1, the fin housing portion Pa2, and the downstream portion Pa3 in this order, and then flows out from the outlet 157.
  • the plurality of fins 155a are arranged in a second direction X that is perpendicular to the first direction Z. As shown in FIG. In other words, a plurality of fins 155a are arranged in the second direction X. The plurality of fins 155a are spaced apart from each other in the second direction X. Each fin 155a extends in the third direction Y. Therefore, the refrigerant flows in the third direction Y in the fin housing portion Pa2 (see FIG. 9).
  • the cold plate P1 has a partition 163.
  • the partition section 163 is arranged on the second member 160.
  • the partition portion 163 may be arranged on the first member 150.
  • the cold plate P1 has one or more (here, two) partitions 163.
  • the fin portion 155 is placed on the first member 150 and the partition portion 163 is placed on the second member 160. Therefore, the fin portion 155 and the partition portion 163 can be formed as separate members. Therefore, when skiving the fins 155a of the fin portion 155, it is possible to suppress the cutting blade from coming into contact with the partition portion 163.
  • the partitioning portion 163 is arranged within the internal flow path Pa, and partitions the internal flow path Pa into a plurality of flow paths. Specifically, the partition section 163 is arranged adjacent to the fin section 155 in the third direction Y. Note that in this embodiment, the partition section 163 is arranged on the downstream side with respect to the fin section 155 in the coolant circulation direction, but may be arranged on the upstream side with respect to the fin section 155 in the coolant circulation direction.
  • the flow rate of the refrigerant is slow. In other words, the amount of refrigerant flowing through region R1 decreases.
  • the flow velocity of the refrigerant is faster than in the region R1. In other words, the amount of refrigerant flowing through region R2 increases. Therefore, in this embodiment, the internal flow path Pa is divided into a plurality of (here, three) flow paths (region R2) by the partitioning portion 163. Note that the plurality of regions R2 are an example of "the plurality of channels" of the present disclosure.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view of the cold plate P1, the heat conductive member 170, and the first heat generating component 501 of the cooling unit U1, taken along line XX in FIG.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of the cold plate P1, the heat conductive member 170, and the first heat generating component 501 of the cooling unit U1, taken along the line XI-XI in FIG.
  • the fin portion 155 and the heat conductive member 170 are arranged to overlap in the first direction Z. Therefore, the heat of the heat generating component 500 can be efficiently transferred to the fin portion 155 via the heat conductive member 170, so that the cooling effect can be improved.
  • FIG. 12 is a diagram showing the positional relationship between the heat conductive member 170 of the cooling unit U1 and the internal flow path Pa. Note that in FIG. 12, the heat conductive member 170 is hatched for easy understanding. As shown in FIG. 12, when viewed from the first direction Z, the heat conductive member 170 is arranged in a region R2 of the internal flow path Pa where the flow rate of the refrigerant is relatively large. In other words, when viewed from the first direction Z, the region R2 and the heat conductive member 170 overlap. Therefore, a large amount of refrigerant can be passed through the portion (region R2) with high heat dissipation performance. Therefore, the heat generating component 500 can be cooled more efficiently.
  • the cold plate P1 has the partition portion 163 that partitions the internal flow path Pa into a plurality of flow paths. Therefore, the fin portion 155 can be easily set to a portion (region R2) through which the refrigerant easily passes and a portion (region R1) through which the refrigerant is difficult to pass.
  • FIG. 13 is a perspective view showing the structure of the cooling unit U1 of the first modification of the first embodiment.
  • the inflow pipe 110 and the outflow pipe 120 have different shapes from the inflow pipe 110 and the outflow pipe 120 of the embodiment shown in FIGS. have
  • the inflow pipe 110 and the outflow pipe 120 have a substantially L-shape. That is, the surface of the second connection part 114 may be substantially flush with the surface of the common inflow part 111. Further, the surface of the third connecting portion 121 may be substantially flush with the surface of the common outflow portion 124. Note that the surface of the first connecting portion 113 may be substantially flush with the surface of the common inflow portion 111. Further, the surface of the fourth connecting portion 122 may be substantially flush with the surface of the common outflow portion 124.
  • FIG. 14 is a perspective view showing the structure of a cooling unit U1A according to a second modification of the first embodiment.
  • FIG. 15 is an exploded perspective view showing the structure of the cooling unit U1A of the second modification of the first embodiment.
  • FIG. 16 is a sectional view of the cooling unit U1A of the second modification of the first embodiment.
  • FIG. 17 is a sectional view of the cooling unit U1A of the second modification of the first embodiment.
  • the cooling unit U1A of the second modification is used in the cooling system 100 instead of the cooling unit U1 or the cooling unit U1 of the first modification.
  • the cooling unit U1A includes a cold plate P1A, a cold plate P2A, an inflow pipe 110A, and an outflow pipe 120A.
  • Cold plate P1A is the same as cold plate P1 except for a different shape.
  • Cold plate P2A is the same as cold plate P2 except for a different shape.
  • cold plate P1A includes a first member 150A and a second member 160A.
  • the first member 150A is the same as the first member 150 except for its shape.
  • the second member 160A is the same as the second member 160 except for its shape.
  • the inflow pipe 110A and the outflow pipe 120A have different shapes from the inflow pipe 110 and the outflow pipe 120, respectively.
  • the inflow pipe 110A includes a common inflow section 111A, a branch section 112A, a first connection section 113A, and a second connection section 114A.
  • the outflow pipe 120A has a third connection part 121A, a fourth connection part 122A, a merging part 123A, and a common outflow part 124A.
  • the first connection portion 113A is provided in the cold plate P1A instead of the inlet 156 in the cold plate P1.
  • the first connecting portion 113A is a pipe that passes through the second member 160A of the cold plate P1A and extends along the first direction Z toward the cold plate P2A. Note that the position of the first connecting portion 113A on the cold plate P1A is different from the position of the inlet 156 on the cold plate P1.
  • the second connection portion 114A is provided on the cold plate P2A.
  • the second connecting portion 114A is a pipe extending from the cold plate P2A along the first direction Z toward the cold plate P1A.
  • the inlet of the second connection part 114A is arranged inside the first connection part 113A.
  • the second connecting portion 114A is inserted into the inside of the first connecting portion 113A from the end of the first connecting portion 113A on the other side Z2 in the first direction Z. That is, at least a portion of the second connecting portion 114A is located inside the first connecting portion 113A.
  • a branch portion 112A is provided in the first connection portion 113A.
  • the first connection part 113A connects the branch part 112A and the cold plate P1A
  • the second connection part 114A connects the branch part 112A and the cold plate P1A. Connect plate P2A.
  • a common inflow portion 111A is connected to the branch portion 112A.
  • the refrigerant that has passed through the common inflow portion 111A is divided into the first connection portion 113A and the second connection portion 114A by the branch portion 112A, and is transferred to the cold plate via the first connection portion 113A or the second connection portion 114A. Flows into P1A or cold plate P2A.
  • the third connecting portion 121A is provided in the cold plate P1A instead of the outlet 157 in the cold plate P1.
  • the third connecting portion 121A is a pipe that passes through the second member 160A of the cold plate P1A and extends along the first direction Z toward the cold plate P2A. Note that the position of the third connecting portion 121A on the cold plate P1A is different from the position of the outlet 157 on the cold plate P1.
  • the fourth connection portion 122A is provided on the cold plate P2A.
  • the fourth connecting portion 122A is a pipe extending from the cold plate P2A along the first direction Z toward the cold plate P1A.
  • the outlet of the fourth connection part 122A is arranged inside the third connection part 121A.
  • the fourth connecting portion 122A is inserted into the inside of the third connecting portion 121A from the end of the third connecting portion 121A on the other side Z2 in the first direction Z. That is, at least a portion of the fourth connecting portion 122A is located inside the third connecting portion 121A.
  • the third connecting portion 121A is provided with a merging portion 123A.
  • the third connecting portion 121A connects the merging portion 123A and the cold plate P1A
  • the fourth connecting portion 122A connects the merging portion 123A and the cold plate P1A. Connect plate P2A.
  • a common outflow section 124A is connected to the confluence section 123A.
  • the merging portion 123 merges the refrigerant passing through the third connection portion 121A and the fourth connection portion 122A.
  • the refrigerant that has passed through the merging section 123A passes through the common outflow section 124A.
  • the second connecting portion 114A and the fourth connecting portion 122A are movable along the first connecting portion 113A and the third connecting portion 121A, respectively.
  • the inflow pipe 110A and the outflow pipe 120A expand and contract in the first direction Z. That is, even in a state where cold plate P1A and cold plate P2A are connected to each other, cold plate P1A or cold plate P2A can be easily moved along the first direction Z, and between cold plate P1A and cold plate P2A. The distance can be easily increased or decreased.
  • cold plate P2A is movable relative to cold plate P1A. Therefore, the work when arranging the heat generating component between the cold plate P1A and the cold plate P2A becomes easier.
  • the distance between cold plate P1A and cold plate P2A can be easily changed, the distance between cold plate P1A and cold plate P2A can be changed with respect to the heat generating component arranged between cold plate P1A and cold plate P2A. Contact accuracy can be improved.
  • elastic members D1 and D2 are arranged in the second connecting portion 114A. More specifically, the elastic members D1 and D2 are arranged between the inlet of the second connection part 114A and the inside of the first connection part 113A.
  • the elastic members D1 and D2 are, for example, O-rings, packings, gaskets, and the like.
  • the elastic members D1 and D2 are O-rings.
  • the outer diameter of the O-ring is, for example, approximately the same as the inner width of the first connecting portion 113A.
  • the inner diameter of the O-ring is, for example, approximately the same as the outer diameter of the second connecting portion 114A.
  • the elastic members D1 and D2 are arranged apart from each other by a predetermined distance along the first direction Z, but the number of elastic members arranged at the second connection portion 114A and The positions are not limited to the examples shown in FIGS. 15 and 16.
  • elastic members D3 and D4 are arranged at the fourth connecting portion 122A. More specifically, the elastic members D3 and D4 are arranged between the outlet of the fourth connecting part 122A and the inside of the third connecting part 121A. Since the elastic members D3 and D4 are the same as the elastic members D1 and D2, description and illustration in FIG. 16 will be omitted.
  • first connecting portion 113A and the second connecting portion 114A and the relationship between the third connecting portion 121A and the fourth connecting portion 122A may be reversed. That is, the inlet of the first connecting part 113A may be arranged inside the second connecting part 114A, and the outlet of the third connecting part 121A may be arranged inside the fourth connecting part 122A. .
  • the elastic members D1 and D2 are arranged between the inlet of the first connecting part 113A and the inside of the second connecting part 114A.
  • the elastic members D3 and D4 are arranged between the outlet of the third connecting part 121A and the inside of the fourth connecting part 122A.
  • the cold plate P1A, the first connection part 113A, and the third connection part 121A are formed of a single member.
  • Cold plate P2A, 114 A of 2nd connection parts, and 122 A of 4th connection parts are formed by a single member.
  • the first connecting portion 113A and the second connecting portion 114A are arranged on one side X1 in the second direction X and on one side Y1 in the third direction Y of the cold plate P1A.
  • the third connecting portion 121A and the fourth connecting portion 122A are arranged on one side X1 in the second direction X and one side Y1 in the third direction Y of the cold plate P1A. That is, the third connecting part 121A and the fourth connecting part 122A, and the third connecting part 121A and the fourth connecting part 122A are arranged adjacent to each other.
  • the heat generating component is slid between cold plate P1A and cold plate P2A from the other side X2 in the second direction X or the other side Y2 in the third direction Y. This makes it easier to place.
  • first connection part 113A and the second connection part 114A and the arrangement of the third connection part 121A and the fourth connection part 122A are not limited to the above arrangement.
  • first connection part 113A and the second connection part 114A, and the third connection part 121A and the fourth connection part 122A may be arranged at diagonal positions of the cold plate P1A.
  • FIG. 17 is a sectional view showing the internal structure of cold plate P1A.
  • FIG. 17 shows a cross section of the cold plate P1A in a plane along the second direction X and the third direction Y.
  • a fin portion 155 is arranged on the cold plate P1A, and an internal flow path Pb is formed.
  • the internal flow path Pb is connected to the first connecting portion 113A and the third connecting portion 121A.
  • the refrigerant that has passed through the first connection portion 113A flows into the internal flow path Pb.
  • the refrigerant that has passed through the internal flow path Pb flows out to the third connection portion 121A.
  • the internal flow path Pb has an upstream section Pb1, a fin accommodating section Pb2, and a downstream section Pb3.
  • the upstream portion Pb1 is arranged on the upstream side in the coolant flow direction with respect to the fin housing portion Pb2.
  • the upstream portion Pb1 connects the first connecting portion 113A and the fin accommodating portion Pb2.
  • the fin accommodating portion Pb2 accommodates the fin portion 155.
  • the downstream portion Pb3 is disposed on the downstream side in the coolant flow direction with respect to the fin housing portion Pb2.
  • the downstream portion Pa3 connects the fin accommodating portion Pb2 and the third connecting portion 121A.
  • the refrigerant flowing from the first connecting portion 113A passes through the upstream portion Pb1, the fin housing portion Pb2, and the downstream portion Pb3 in this order, and flows out from the third connecting portion 121A.
  • the second embodiment differs from the first embodiment in that the cooling system 101 includes a cooling unit U1B having a cold plate P3 different from the cold plates P1 and P2.
  • the cooling system 101 includes a cooling unit U1B having a cold plate P3 different from the cold plates P1 and P2.
  • matters of the second embodiment that are different from the first embodiment will be explained, and explanations of matters that overlap with the first embodiment will be omitted.
  • FIG. 18 is a diagram illustrating an overview of a cooling system 101 having a cooling unit U1B according to an exemplary embodiment 2 of the present disclosure.
  • the cooling system 101 includes a cooling unit U1B instead of the cooling unit U1.
  • Cooling unit U1B has cold plate P3 instead of cold plates P1 and P2.
  • the cold plate P3 receives heat from the heat generating components and cools the heat generating components.
  • FIG. 19 is a perspective view showing the cooling unit U1B.
  • the cooling unit U1B includes a cold plate P3, an inflow pipe 110B, and an outflow pipe 120B.
  • Cold plate P3 is an example of the "third cold plate” of the present disclosure.
  • the cold plate P3 is arranged on one side Z1 in the first direction Z of a heat generating component (not shown).
  • a connecting pipe M11 is connected to the inflow pipe 110B via the cold plate P3 and the seventh connecting portion 127. More specifically, one end of the inflow pipe 110B is connected to the cold plate P3. The other end of the inflow pipe 110B is connected to the seventh connection part 127.
  • the inflow pipe 110B allows the refrigerant that has passed through the connection pipe M11 and the seventh connection portion 127 to flow into the cold plate P3.
  • the refrigerant that has flowed into the cold plate P3 flows out from the outflow pipe 120B through an internal flow path (not shown) formed in the cold plate P3.
  • a connecting pipe M21 is connected to the outflow pipe 120B via an eighth connecting portion 128. More specifically, one end of the inflow pipe 110B is connected to the cold plate P3. The other end of the inflow pipe 110B is connected to the eighth connection part 128.
  • Outflow pipe 120B allows the refrigerant that has passed through cold plate P3 to flow out to eighth connection portion 128 and connection pipe M21.
  • the outflow pipe 120B is rotatably connected to the eighth connecting portion 128 in the circumferential direction.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view showing the structures of the inflow pipe 110 and the outflow pipe 120.
  • FIG. 20 shows a cross section in a plane passing through the central axes of the inflow pipe 110 and the outflow pipe 120 and along the first direction Z and the third direction Y.
  • the cooling unit U1B further includes a fifth connection portion 125 and a sixth connection portion 126.
  • the fifth connecting portion 125 and the sixth connecting portion 126 are fixed to the cold plate P3.
  • the fifth connection part 125 is connected to the inflow pipe 110B.
  • the sixth connection part 126 is connected to the outflow pipe 120B.
  • the inflow pipe 110B and the fifth connection portion 125 extend along the third direction Y.
  • the fifth connection part 125 includes a tubular pipe part 125A extending along the third direction Y, and an inlet 125B that connects the pipe part 125A and the cold plate P3 and allows the refrigerant to flow into the cold plate P3. and has.
  • the inlet 125B is arranged to face a direction intersecting the third direction Y in which the pipe portion 125A extends.
  • the inflow pipe 110B is arranged inside the fifth connection part 125. Specifically, the inflow pipe 110B is inserted into the inside of the tube portion 125A from the end of the tube portion 125A of the fifth connecting portion 125 on the other side Y2 in the third direction Y. That is, at least a portion of the inflow pipe 110B is located inside the pipe portion 125A. Therefore, the tube portion 125A of the fifth connection portion 125 is movable in the circumferential direction with respect to the inflow tube 110B.
  • the sixth connecting portion 126 includes a tubular tube portion 126A extending along the third direction Y, and an outlet port 126B that connects the tube portion 126A and the cold plate P3 and allows the refrigerant to flow out from the cold plate P3.
  • Pipe section 126A is connected to outflow pipe 120B.
  • the outlet 126B is arranged to face a direction intersecting the third direction Y in which the pipe portion 126A extends.
  • the cold plate P3 is movable in the circumferential direction with respect to the inflow pipe 110B and the outflow pipe 120B is rotatable in the circumferential direction with respect to the eighth connecting portion 128, the cold plate P3 is movable in the circumferential direction with respect to the inflow pipe 110B and the outflow pipe It is rotatable about 120B as a rotation axis (FIGS. 21 and 22).
  • the cold plate P3 is rotatable with respect to the seventh connection portion 127 to which the inflow pipe 110B is connected and the eighth connection portion 128 to which the outflow pipe 120B is connected. That is, the cold plate P3 rotates relative to the heat generating component.
  • FIG. 21 is a diagram showing the cooling unit U1B in which the cold plate P3 is located at the first position T1.
  • FIG. 22 is a diagram showing the cooling unit U1B in which the cold plate P3 is located at the second position T2.
  • a heat generating component 503 is arranged on the other side Z2 of the cold plate P3 in the first direction Z.
  • the cold plate P3 rotates between a first position T1 and a second position T2.
  • the cold plate P3 extends in parallel to the second direction X at the first position T1.
  • the cold plate P3 rotates about the inflow pipe 110B as a rotation axis, it moves to the second position T2 shown in FIG. 22.
  • the cold plate P3 extends obliquely with respect to the second direction X in the second position T2.
  • the distance between the cold plate P3 and the heat generating component 503 increases or decreases in the first direction Z according to the rotation of the cold plate P3.
  • the cold plate P3 is movable in the first direction Z relative to the heat generating component 503. Therefore, the work when arranging the heat generating component 503 becomes easier, and the accuracy of contact of the cold plate P3 with the heat generating component 503 is improved.
  • elastic members D5 and D6 are arranged in the inflow pipe 110B. More specifically, the elastic members D5 and D6 are arranged between the inflow pipe 110B and the inside of the pipe section 125A of the fifth connection section 125.
  • the elastic members D5 and D6 are O-rings, packings, gaskets, etc. similar to the elastic members D1 to D4.
  • the elastic members D5 and D6 are O-rings.
  • the outer diameter of the O-ring is, for example, approximately the same as the inner width of the tube portion 125A.
  • the inner diameter of the O-ring is, for example, approximately the same as the outer diameter of the inflow pipe 110B.
  • the elastic members D5 and D6 are arranged at a predetermined distance apart along the third direction Y, but the number and position of the elastic members arranged in the inflow pipe 110B are different from each other in FIG. It is not limited to the example shown in .
  • the inside of the inflow pipe 110B and the pipe part 125A of the fifth connection part 125 can be It is possible to more reliably close the space between the cold plates P3 and to suppress leakage of the refrigerant to the outside of the cold plate P3.
  • the relationship between the inflow pipe 110B and the fifth connecting portion 125 may be reversed. That is, the tube portion 125A of the fifth connection portion 125 may be arranged inside the inflow tube 110B. In this case, the elastic members D5 and D6 are arranged in the tube portion 125A.
  • the sixth connection part 126 and the outflow pipe 120B may have the same structure as the fifth connection part 125 and the inflow pipe 110B, respectively.
  • the inflow pipe 110B is not limited to the eighth connection part 128, and the inflow pipe 110B may be connected to the seventh connection part 127 so as to be rotatable in the circumferential direction. That is, it is sufficient that the cold plate P3 is rotatable with respect to one of the fifth connection part 125 and the seventh connection part 127 and one of the sixth connection part 126 and the eighth connection part 128.
  • the heat generating component 500 has the first heat generating component 501 and the second heat generating component 502, and the cold plate P1 and the cold plate P2 cool the first heat generating component 501 and the second heat generating component 502, respectively.
  • Heat generating component 500 may include one heat generating component.
  • the cold plate P1 and the cold plate P2 may cool one heat generating component 500.
  • the heat conductive member 170 is arranged between the cold plate P1 and the heat generating component 500, but the present disclosure is not limited to this. good. That is, the contact surface 151 of the cold plate P1 may be brought into direct contact with the heat generating component 500.
  • the first connecting portion 113, the branching portion 112, and the second connecting portion 114 are arranged in a straight line. That is, an example in which the first connection part 113, the branch part 112, and the second connection part 114 are arranged between the cold plate P1 and the cold plate P2 in the first direction Z, and the inflow pipe 110 is formed into a substantially T-shape.
  • the branch portion 112 may be arranged outside between the cold plate P1 and the cold plate P2 in the first direction Z, and the inflow pipe 110 may be formed into a substantially Y-shape.
  • the merging portion 123 of the outflow pipe 120 may be arranged outside between the cold plates P1 and P2 in the first direction Z, and the outflow pipe 120 may be formed into a substantially Y-shape.
  • present technology can also employ the following configuration.
  • a first cold plate and a second cold plate arranged on both sides of the heat generating component in the first direction, an inflow pipe that allows refrigerant to flow into the first cold plate and the second cold plate, and the first cold plate.
  • the inflow pipe includes a common inflow part, a branch part that branches the refrigerant passing through the common inflow part, a first connection part that connects the branch part and the first cold plate, and the branch part. and a second connection part connecting the second cold plate, and the outflow pipe has a third connection part connected to the first cold plate, and a fourth connection part connecting the second cold plate.
  • (1) comprising a connecting part, a merging part where the refrigerant passing through the third connecting part and the fourth connecting part join together, and a common outflow part through which the refrigerant that has passed through the merging part passes. Cooling unit as described.
  • the first cold plate has a contact surface that contacts the heat generating component, an internal flow path that is arranged to overlap the contact surface in the first direction, through which the refrigerant passes, and an internal flow path that is arranged to overlap the contact surface in the first direction.
  • a fin portion arranged and having a plurality of fins; the cooling unit further includes a heat conductive member disposed between the contact surface and the heat generating component; the heat conductive member and the fin portion
  • the cooling unit according to (1) or (2), wherein the cooling units are arranged to overlap in the first direction.
  • the first cold plate further includes a partition section that is disposed within the internal flow path and divides the internal flow path into a plurality of flow paths, and the fins are arranged in a plurality of flow paths perpendicular to the first direction.
  • the cooling unit according to (3) wherein a plurality of partition parts are arranged in two directions, and the partition part is arranged adjacent to the fin part in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction.
  • the first cold plate has a first member and a second member that constitute the internal flow path, the fin portion is disposed on the first member, and the partition portion is arranged on the second member.
  • the cooling unit according to (4) which is arranged in
  • the cooling unit according to any one of (1) to (5) above, a pump section that circulates the refrigerant through the cooling unit, and a heat exchanger that cools the refrigerant that flows from the cooling unit.
  • a cooling system wherein the cooling unit, the pump section, and the heat exchanger are each connected by a connecting pipe, and the refrigerant circulates through the cooling unit, the pump section, and the heat exchanger.
  • the inflow pipe includes a common inflow part, a branch part that branches the refrigerant passing through the common inflow part, a first connection part that connects the branch part and the first cold plate, and the branch part. and a second connection part connecting the second cold plate, and the outflow pipe has a third connection part connected to the first cold plate, and a fourth connection part connecting the second cold plate.
  • the connecting portion, the second connecting portion, the third connecting portion, and the fourth connecting portion extend along the first direction, and the inlet of the first connecting portion is arranged inside the second connecting portion.
  • the inlet of the second connecting part is arranged inside the first connecting part
  • the outlet of the third connecting part is arranged inside the fourth connecting part, or The cooling unit according to (7), wherein the outlet of the fourth connection part is arranged inside the third connection part.
  • An elastic member is disposed between the inlet of the first connecting part and the inside of the second connecting part, or between the inlet of the second connecting part and the inside of the first connecting part. and an elastic member is arranged between the outlet of the third connecting part and the inside of the fourth connecting part, or between the outlet of the fourth connecting part and the inside of the third connecting part.
  • the first cold plate, the first connection portion, and the third connection portion are formed of a single member, and the second cold plate, the second connection portion, and the fourth connection portion are formed of a single member.
  • the first connection part and the second connection part are arranged on one side of the first cold plate in the second direction, and the third connection part and the fourth connection part are arranged in the second cold plate.
  • the cooling unit according to any one of (8) to (10), which is arranged on one side of the plate in the second direction.
  • the first connection part and the second connection part are arranged on one side of the first cold plate in the third direction, and the third connection part and the fourth connection part are arranged in the second cold plate.
  • the cooling unit according to any one of (8) to (11), which is arranged on one side of the plate in the third direction.
  • a third cold plate disposed on one side of the heat generating component in the first direction, an inflow pipe through which the refrigerant flows into the third cold plate, and an outflow pipe through which the refrigerant flows out from the third cold plate.
  • a fifth connection part connected to one end of the inflow pipe and fixed to the third cold plate; and a fifth connection part connected to one end of the outflow pipe and connected to the third cold plate.
  • a cooling unit wherein the third cold plate is movable with respect to the seventh connection part and the eighth connection part.
  • the outflow pipe and the fifth connection part extend along a third direction perpendicular to the first direction, and the outflow pipe is arranged inside the fifth connection part, according to (13). cooling unit.
  • the present disclosure can be used, for example, in cooling units and cooling systems.
  • Cooling system 110, 110A, 110B Inflow pipe 111, 111A : Common inflow part 112, 112A : Branch part 113, 113A : First connection part 114, 114A: 2nd Connection portions 120, 120A, 120B: Outflow pipes 121, 121A: Third connection portions 122, 122A: Fourth connection portions 123, 123A: Merging portions 124, 124A: Common outflow portion 125: Fifth connection portions 150, 150A : No.
  • 1 member 151 Contact surface 155: Fin portion 155a: Fins 160, 160A: Second member 163: Division portion 170: Heat conductive members 500, 503: Heat generating components D1, D2, D3, D4, D5, D6: Elastic member P1 , P1A: Cold plate (first cold plate) P2, P2A: Cold plate (second cold plate) P3: Cold plate (third cold plate) Pa, Pb: Internal flow path R2: Area (flow path) U1, U2 , U3, U1A, U1B: Cooling unit X: Second direction Y: Third direction Z: First direction

Abstract

冷却ユニットは、第１コールドプレートおよび第２コールドプレートと、流入管と、流出管とを有する。第１コールドプレートおよび第２コールドプレートは、発熱部品の第１方向両側にそれぞれ配置される。流入管は、第１コールドプレートおよび第２コールドプレートに冷媒を流入させる。流出管は、第１コールドプレートおよび第２コールドプレートから流出する冷媒が通過する。第１コールドプレートの少なくとも一部および第２コールドプレートの少なくとも一部は、第１方向に重なる。流入管の少なくとも一部および流出管の少なくとも一部は、第１コールドプレートと第２コールドプレートとの第１方向の間に配置される。

Description

冷却ユニットおよび冷却システム
本開示は、冷却ユニットおよび冷却システムに関する。
従来、発熱部品に配置されるコールドプレートと、コールドプレートに冷媒を流入させる流入管と、コールドプレートから流出する冷媒が通過する流出管とを有する冷却ユニットが知られている（例えば、特許文献１参照）。　
特許文献１には、発熱体に配置される受熱部材を備えた冷却装置が記載されている。受熱部材は、ベース部材とケース部材の２つの部材を組み合わせ接合して内部に冷媒を通過する密閉空間を構成する構造としている。ベース部材は、発熱体上に配置される。ケース部材は、ベース部材上に配置される。ケース部材には、上記密閉空間に冷媒を流入させる流入路口と、上記密閉空間から流出する冷媒が通過する流出路口とが設けられる。
特開２００８－２１８５８９号公報
特許文献１の冷却装置では、流入路口および流出路口は、ケース部材に配置される。従って、特許文献１の冷却装置は、発熱体を上側からのみ冷却する構造であるため、発熱体を効率的に冷却することが困難である。　
本開示は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、発熱部品を効率的に冷却することが可能な冷却ユニットおよび冷却システムを提供することにある。
本開示の例示的な冷却ユニットは、第１コールドプレートおよび第２コールドプレートと、流入管と、流出管とを有する。前記第１コールドプレートおよび前記第２コールドプレートは、発熱部品の第１方向両側にそれぞれ配置される。前記流入管は、前記第１コールドプレートおよび前記第２コールドプレートに冷媒を流入させる。前記流出管は、前記第１コールドプレートおよび前記第２コールドプレートから流出する前記冷媒が通過する。前記第１コールドプレートの少なくとも一部および前記第２コールドプレートの少なくとも一部は、前記第１方向に重なる。前記流入管の少なくとも一部および前記流出管の少なくとも一部は、前記第１コールドプレートと前記第２コールドプレートとの前記第１方向の間に配置される。　
本開示の例示的な冷却システムは、上記の冷却ユニットと、ポンプ部と、熱交換器とを有する。前記ポンプ部は、前記冷却ユニットに前記冷媒を流通させる。前記熱交換器は、前記冷却ユニットから流通する前記冷媒を冷却する。前記冷却ユニットと、前記ポンプ部と、前記熱交換器とは、それぞれ接続管により接続される。前記冷却ユニット、前記ポンプ部および前記熱交換器を前記冷媒が循環する。　
本開示の例示的な冷却ユニットは、第３コールドプレートと、流入管と、流出管と、第５接続部とを有する。前記第３コールドプレートは、発熱部品の第１方向の一方側に配置される。前記流入管は、前記第３コールドプレートに冷媒を流入させる。前記流出管は、前記第３コールドプレートから流出する前記冷媒が通過する。前記第５接続部は、前記流入管または前記流出管に接続されるとともに、前記第３コールドプレートに固定される。前記第５接続部は、前記流入管または前記流出管に対して移動可能である。
例示的な本開示によれば、発熱部品を効率的に冷却することが可能な冷却ユニットおよび冷却システムを提供できる。
図１は、本開示の例示的な実施形態１の冷却ユニットを有する冷却システムの概要を示す図である。 図２は、冷却ユニット周辺を示す斜視図である。 図３は、冷却ユニットのコールドプレート、流入管および流出管の構造を示す斜視図である。 図４は、冷却ユニットのコールドプレート、流入管および流出管の構造を示す分解斜視図である。 図５は、冷却ユニットのコールドプレート、熱伝導部材、および第１発熱部品を示す分解斜視図である。 図６は、冷却ユニットのコールドプレート、熱伝導部材、および第１発熱部品を示す分解斜視図である。 図７は、冷却ユニットのコールドプレートの構造を示す分解斜視図である。 図８は、冷却ユニットのコールドプレートの構造を示す分解斜視図である。 図９は、冷却ユニットのコールドプレートの第２部材の構造を第１方向の他方側から示す図である。 図１０は、冷却ユニットのコールドプレート、熱伝導部材、および第１発熱部品を、図９のＸ－Ｘ線の位置で切断した断面図である。 図１１は、冷却ユニットのコールドプレート、熱伝導部材、および第１発熱部品を、図９のＸＩ－ＸＩ線の位置で切断した断面図である。 図１２は、冷却ユニットの熱伝導部材と内部流路との位置関係を示す図である。 図１３は、実施形態１の第１変形例の冷却ユニットの構造を示す斜視図である。 図１４は、実施形態１の第２変形例の冷却ユニットＵ１Ａの構造を示す斜視図である。 図１５は、実施形態１の第２変形例の冷却ユニットＵ１Ａの構造を示す分解斜視図である。 図１６は、実施形態１の第２変形例の冷却ユニットＵ１Ａの断面図である。 図１７は、実施形態１の第２変形例の冷却ユニットＵ１Ａの断面図である。 図１８は、本開示の例示的な実施形態２の冷却ユニットＵ１Ｂを有する冷却システム１０１の概要を示す図である。 図１９は、冷却ユニットＵ１Ｂを示す斜視図である。 図２０は、流入管１１０および流出管１２０構造を示す断面図である。 図２１は、コールドプレートＰ３が第１ポジションＴ１に位置している冷却ユニットＵ１Ｂを示す図である。 図２２は、コールドプレートＰ３が第２ポジションＴ２に位置している冷却ユニットＵ１Ｂを示す図である。
（実施形態１）　以下、本開示の例示的な実施形態１について、図面を参照しながら説明する。なお、図中、同一または相当部分については同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。　
本明細書では、理解の容易のため、互いに直交する第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙを適宜記載している。また、第１方向Ｚの一方側を第１方向Ｚの一方側Ｚ１と記載し、第１方向Ｚの他方側を第１方向Ｚの他方側Ｚ２と記載する。また、第２方向Ｘの一方側を第２方向Ｘの一方側Ｘ１と記載し、第２方向Ｘの他方側を第２方向Ｘの他方側Ｘ２と記載する。また、第３方向Ｙの一方側を第３方向Ｙの一方側Ｙ１と記載し、第３方向Ｙの他方側を第３方向Ｙの他方側Ｙ２と記載する。ただし、あくまで説明の便宜のために方向を定義したに過ぎず、特に水平方向、鉛直方向を定義する必要がある場合を除き、本開示の例示的なコールドプレートの使用時の向きを限定しない。また、本明細書において「直交する方向」とは、略直交する方向も含む。　
図１から図１２を参照して、本開示の例示的な実施形態１に係るコールドプレートＰ１、Ｐ２を有する冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３について説明する。まず、図１を参照して、本開示の例示的な実施形態１の冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３を有する冷却システム１００を説明する。図１は、本開示の例示的な実施形態１の冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３を有する冷却システム１００の概要を示す図である。　
冷却システム１００は、例えばコンピュータ装置２００に設けられ、冷却する。コンピュータ装置２００は、電子機器の一例である。冷却システム１００は、一例として、３つの冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３と、マニホールドＭ１と、マニホールドＭ２と、ポンプ部２１と、熱交換器２２とを有する。なお、冷却システム１００は、コンピュータ装置２００以外に設けられてもよい。　
ポンプ部２１は、例えば、１つまたは複数のポンプ装置を有する。複数のポンプ装置は、互いに直列または並列に接続される。ポンプ装置の各々は、冷媒を吸込むとともに冷媒を吐出する１つまたは複数のポンプを有する。複数のポンプは、互いに直列または並列に接続される。なお、冷媒は、冷却水または冷却オイル等の冷却液であってもよいし、冷却ガスであってもよい。本実施形態では、冷媒は、例えば、冷却液である。　
ポンプ部２１は、例えば、マニホールドＭ１と、流路Ｍ３および熱交換器２２を介してマニホールドＭ２とに接続される。マニホールドＭ１は、例えば、ポンプ部２１と、冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３とを接続するパイプである。流路Ｍ３は、例えば、ポンプ部２１と熱交換器２２とを接続するパイプである。マニホールドＭ１、Ｍ２および流路Ｍ３は、内部を冷媒が通る。　
ポンプ部２１は、冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３に冷媒を流通させる。具体的には、ポンプ部２１は、マニホールドＭ１に冷媒を供給する。冷媒は、マニホールドＭ１の内部を通る。マニホールドＭ１は、ポンプ部２１から供給された冷媒を冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３に分配して供給する。冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３の各々に供給された冷媒は、冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３の各々を通り、マニホールドＭ２に供給される。以下、冷却ユニットＵ１を代表的に説明する。冷却ユニットＵ２、Ｕ３の構成および機能は、冷却ユニットＵ１と同じである。　
冷却ユニットＵ１は、例えば、２つのコールドプレートＰ１、Ｐ２を有する。コールドプレートＰ１、Ｐ２は、それぞれ、後述する発熱部品５００から受熱し、発熱部品５００を冷却する。発熱部品５００は、例えば、コンピュータ装置２００に配置されるＣＰＵ等の演算装置、およびメモリー等の記憶装置などである。冷媒は、冷却ユニットＵ１の内部を通る際、コールドプレートＰ１、Ｐ２内を通る。例えば、冷媒がコールドプレートＰ１、Ｐ２内で熱交換することで、熱を持った冷媒が冷却システム１００内を循環する。コールドプレートＰ１、Ｐ２は、同じ構造のコールドプレートであってもよいし、異なる構造のコールドプレートであってもよい。また、冷却ユニットＵ１は、コールドプレートＰ１、Ｐ２を含む３つ以上のコールドプレートを有してもよい。　
マニホールドＭ２は、例えば、冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３と熱交換器２２とを接続するパイプである。冷媒は、マニホールドＭ２の内部を通る。マニホールドＭ２は、冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３の各々を通った冷媒を合流させて熱交換器２２に供給する。熱交換器２２に供給された冷媒は、例えば、熱交換器２２を通る。熱交換器２２は、冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３から流通する冷媒を冷却する。例えば、熱交換器２２は、熱を持った冷媒が通ることで、熱を外部へ放熱するラジエータである。熱交換器２２の内部には、冷媒が内部を通る複数の冷媒管と、冷媒管の周囲に配置される複数のフィンとを有する。複数のフィンの各々の一部は、冷媒管に接する。より詳しくは、フィンと冷媒管とは、溶接等で接合される。フィンは、冷媒管および冷媒の熱を吸収し、外気へ放熱することで、冷媒の温度を低下させる。ただし、熱交換器２２は、熱を外部に放熱するラジエータに限定されない。熱交換器２２は、例えば、別の冷媒が通る流路へと熱交換を行うものであってもよい。　
熱交換器２２を通った冷媒は、流路Ｍ３を通って、ポンプ部２１に供給される。ポンプ部２１に供給された冷媒は、再び、ポンプ部２１によってマニホールドＭ１に供給される。以上のように、冷媒は、冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３、ポンプ部２１および熱交換器２２を循環する。本実施形態では、冷却システム１００において、冷媒は、ポンプ部２１、マニホールドＭ１、冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３、マニホールドＭ２、熱交換器２２および流路Ｍ３を循環する。図１では、冷媒の循環を矢印で示す。なお、冷媒の循環方向は、逆向きであってもよい。また、冷却ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３、ポンプ部２１、および熱交換
器２２の配置は、一例であり、上記以外の配置でもよい。　
次に、図２を参照して、コールドプレートＰ１を有する冷却ユニットＵ１について詳細に説明する。図２は、冷却ユニットＵ１周辺を示す斜視図である。　
図２に示すように、冷却ユニットＵ１は、コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２と、流入管１１０と、流出管１２０とを有する。コールドプレートＰ１は、本開示の「第１コールドプレート」の一例であり、コールドプレートＰ２は、本開示の「第２コールドプレート」の一例である。コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２は、発熱部品５００の第１方向Ｚの両側に配置される。流入管１１０は、コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２に冷媒を流入させる。流出管１２０は、コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２から流出する冷媒が通過する。流入管１１０には、マニホールドＭ１の一部を構成する接続管Ｍ１１が接続される。流出管１２０には、マニホールドＭ２の一部を構成する接続管Ｍ２１が接続される。　
上記のように、コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２は、発熱部品５００の第１方向Ｚの両側に配置される。従って、発熱部品５００を両側から冷却できるため、発熱部品５００を効率的に冷却できる。　
接続管Ｍ１１を通過した冷媒は、流入管１１０を介してコールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２に流入する。コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２を通過した冷媒は、流出管１２０を介して接続管Ｍ２１に流出する。冷媒は、コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２を通過する際に発熱部品５００からの熱を吸熱する。このため、発熱部品５００の温度が上昇することが抑制される。　
発熱部品５００は、１つの発熱部品のみを有してもよいが、複数の発熱部品を有してもよい。本実施形態では、発熱部品５００は、２つの発熱部品（第１発熱部品５０１および第２発熱部品５０２）を有する。第１発熱部品５０１および第２発熱部品５０２は、第１方向Ｚに積層される。本実施形態では、冷却ユニットＵ１は、支持部材１３０をさらに有する。支持部材１３０は、第１発熱部品５０１と第２発熱部品５０２との間に配置される。支持部材１３０は、第１発熱部品５０１および第２発熱部品５０２を支持する。第１発熱部品５０１および第２発熱部品５０２は、支持部材１３０の所定位置に固定されてもよい。支持部材１３０は、平板形状を有する。支持部材１３０は、特に限定されるものではないが、例えば金属プレートにより形成される。なお、本実施形態では、第１発熱部品５０１と第２発熱部品５０２との間に支持部材１３０が配置される例について示すが、第１発熱部品５０１と第２発熱部品５０２との間に支持部材１３０が配置されなくてもよい。　
また、本実施形態では、冷却ユニットＵ１は、固定部材１４０をさらに有する。固定部材１４０は、例えば、コールドプレートＰ１、Ｐ２の第２方向Ｘの両側に配置される。第２方向Ｘは、第１方向Ｚと直交する方向である。固定部材１４０は、コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２を固定する。固定部材１４０は、例えば、板金製のプレートを折り曲げることにより形成される。固定部材１４０の少なくとも一部は、第１方向Ｚに延びる。コールドプレートＰ１は、ネジ１４５を用いて、固定部材１４０の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部に固定される。コールドプレートＰ２は、ネジ１４５を用いて、固定部材１４０の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部に固定される。また、コールドプレートＰ１は、発熱部品５００を第１方向Ｚの他方側Ｚ２に押圧した状態で、固定部材１４０に固定される。また、コールドプレートＰ２は、発熱部品５００を第１方向Ｚの一方側Ｚ１に押圧した状態で、固定部材１４０に固定される。従って、発熱部品５００が第１方向Ｚと交差する方向に移動することを抑制できる。　
また、本実施形態では、支持部材１３０は、ネジ１４６を用いて固定部材１４０に固定される。なお、支持部材１３０は、固定部材１４０に固定されなくてもよい。　
次に、図３および図４を参照して、冷却ユニットＵ１のコールドプレートＰ１、コールドプレートＰ２、流入管１１０および流出管１２０の構造について詳細に説明する。図３は、冷却ユニットＵ１のコールドプレートＰ１、コールドプレートＰ２、流入管１１０および流出管１２０の構造を示す斜視図である。図４は、冷却ユニットＵ１のコールドプレートＰ１、コールドプレートＰ２、流入管１１０および流出管１２０の構造を示す分解斜視図である。　
図３および図４に示すように、コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２は、略平板形状を有する。コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２は、互いに平行に配置される。コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２は、第１方向Ｚに互いに所定距離をおいて離隔する。　
コールドプレートＰ１の少なくとも一部およびコールドプレートＰ２の少なくとも一部は、第１方向Ｚに重なる。本実施形態では、コールドプレートＰ１の略全体とコールドプレートＰ２の略全体とが、第１方向Ｚに重なる。　
また、流入管１１０の少なくとも一部および流出管１２０の少なくとも一部は、コールドプレートＰ１とコールドプレートＰ２との第１方向Ｚの間に配置される。従って、冷却ユニットＵ１が大型化することを抑制できる。　
流入管１１０は、共通流入部１１１と、分岐部１１２と、第１接続部１１３と、第２接続部１１４とを有する。共通流入部１１１は、マニホールドＭ１（図２参照）に接続される。分岐部１１２は、共通流入部１１１を通過する冷媒を分岐する。第１接続部１１３は、分岐部１１２およびコールドプレートＰ１を接続する。第２接続部１１４は、分岐部１１２およびコールドプレートＰ２を接続する。従って、マニホールドＭ１からの冷媒は、共通流入部１１１を通過し、分岐部１１２で分岐された後、第１接続部１１３または第２接続部１１４を介して、コールドプレートＰ１またはコールドプレートＰ２に流入する。このように、流入管１１０は、共通流入部１１１と、分岐部１１２と、第１接続部１１３と、第２接続部１１４とを有することによって、１つの流入管１１０によって２つのコールドプレート（コールドプレートＰ１、Ｐ２）に冷媒を流入できる。よって、流入管１１０の数が多くなることを抑制できる。　
流出管１２０は、第３接続部１２１と、第４接続部１２２と、合流部１２３と、共通流出部１２４とを有する。第３接続部１２１は、コールドプレートＰ１に接続される。言い換えると、第３接続部１２１は、コールドプレートＰ１と合流部１２３とを接続する。第４接続部１２２は、コールドプレートＰ２に接続される。言い換えると、第４接続部１２２は、コールドプレートＰ２と合流部１２３とを接続する。合流部１２３は、第３接続部１２１および第４接続部１２２を通過する冷媒を合流する。共通流出部１２４は、合流部１２３を通過した冷媒が通過する。また、共通流出部１２４は、マニホールドＭ２（図２参照）に接続される。従って、コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２からの冷媒は、第３接続部１２１および第４接続部１２２を通過し、合流部１２３で合流された後、共通流出部１２４を介して、マニホールドＭ２に流出する。このように、流出管１２０は、第３接続部１２１と、第４接続部１２２と、合流部１２３と、共通流出部１２４とを有することによって、１つの流出管１２０によって２つのコールドプレート（コールドプレートＰ１、Ｐ２）から冷媒を流出できる。よって、流出管１２０の数が多くなることを抑制できる。　
また、流入管１１０の第１接続部１１３は、コールドプレートＰ１のうちコールドプレートＰ２側の面（後述する接触面１５１）に配置された流入口１５６に接続される。流入管１１０の第２接続部１１４は、コールドプレートＰ２のうちコールドプレートＰ１側の面（後述する接触面１５１）に配置された流出口１５７に接続される。　
また、本実施形態では、流入管１１０は、略Ｔ字形状を有する。具体的には、第１接続部１１３、分岐部１１２および第２接続部１１４は、第１方向Ｚに沿って一直線状に配置される。そして、第１接続部１１３、分岐部１１２および第２接続部１１４は、コールドプレートＰ１とコールドプレートＰ２との第１方向Ｚの間に配置される。共通流入部１１１は、第１方向Ｚおよび第２方向Ｘと直交する第３方向Ｙに延びる。　
また、本実施形態では、流出管１２０は、略Ｔ字形状を有する。具体的には、第３接続部１２１、合流部１２３および第４接続部１２２は、第１方向Ｚに沿って一直線状に配置される。そして、第３接続部１２１、合流部１２３および第４接続部１２２は、コールドプレートＰ１とコールドプレートＰ２との第１方向Ｚの間に配置される。共通流出部１２４は、第３方向Ｙに延びる。共通流入部１１１および共通流出部１２４は、例えば、互いに平行に配置される。　
次に、図５および図６を参照して、コールドプレートＰ１周辺の構造について説明する。図５および図６は、冷却ユニットＵ１のコールドプレートＰ１、熱伝導部材１７０、および第１発熱部品５０１を示す分解斜視図である。なお、コールドプレートＰ１周辺の構造とコールドプレートＰ２周辺の構造とは、第１方向Ｚに略同じであるため、コールドプレートＰ２周辺の構造の説明については省略する。　
コールドプレートＰ１は、発熱部品５００と接触する接触面１５１を有する。接触面１５１は、発熱部品５００と直接的に接触しても良いし、間接的に接触してもよい。本実施形態では、冷却ユニットＵ１は、熱伝導部材１７０をさらに有する。熱伝導部材１７０は、接触面１５１と発熱部品５００との間に配置される。接触面１５１は、熱伝導部材１７０を介して発熱部品５００と間接的に接触する。　
本実施形態では、上記のように、コールドプレートＰ１と発熱部品５００との間に熱伝導部材１７０を配置する。従って、例えば、コールドプレートＰ１または発熱部品５００の表面に小さな凹凸がある場合であっても、熱伝導部材１７０が凹凸に埋まり、コールドプレートＰ１と発熱部品５００との間に空気層が介在することが抑制される。よって、発熱部品５００の熱がコールドプレートＰ１に効率良く伝達されるため、発熱部品５００の放熱性が向上する。　
熱伝導部材１７０は、効率的に熱伝導を行うことが可能な材質であればよく、例えば、熱伝導シートまたはグリス等を用いることができる。熱伝導シートは、例えば、ゴムシート等の弾性シートであってもよい。本実施形態では、熱伝導部材１７０は、所定厚みを有する熱伝導シートである。なお、熱伝導部材１７０に熱伝導率の高い粒子を含有させることによって、熱伝導部材１７０の熱伝導率をより向上させることができる。　
熱伝導部材１７０は、１つまたは複数設けられる。本実施形態では、熱伝導部材１７０は、複数（ここでは４つ）設けられる。なお、熱伝導部材１７０は、例えば、図５および図６に示す複数の熱伝導部材１７０を包含するサイズの１つの熱伝導部材であってもよい。熱伝導部材１７０は、発熱部品５００のうち、特に冷却が必要な領域に配置される。例えば、熱伝導部材１７０は、発熱部品５００のうち、高温になりやすい領域に配置される。　
次に、図７～図１２を参照して、コールドプレートＰ１の構造について詳細に説明する。図７および図８は、冷却ユニットＵ１のコールドプレートＰ１の構造を示す分解斜視図である。なお、コールドプレートＰ１周辺の構造とコールドプレートＰ２周辺の構造とは、第１方向Ｚに略同じであるため、コールドプレートＰ２周辺の構造の説明については省略する。　
図７および図８に示すように、コールドプレートＰ１は、銅またはアルミニウム等の熱伝導率の高い金属からなる。コールドプレートＰ１は、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに拡がる矩形状
の板部品である。なお、コールドプレートＰ１の形状は、矩形状以外であってもよい。　
コールドプレートＰ１は、第１部材１５０と第２部材１６０とを有する。第１部材１５０は、コールドプレートＰ１のうち発熱部品５００（図５参照）側に配置され、第２部材１６０は、コールドプレートＰ１のうち発熱部品５００とは反対側に配置される。　
コールドプレートＰ１は、内部流路Ｐａと、フィン部１５５とを有する。内部流路Ｐａは、冷媒が通過する。内部流路Ｐａは、接触面１５１と第１方向Ｚに重なって配置される。内部流路Ｐａは、第１部材１５０および第２部材１６０によって構成される。言い換えると、第１部材１５０および第２部材１６０は、内部流路Ｐａを構成する。具体的には、第１部材１５０は、第２部材１６０側に配置される内面１５２を有する。内面１５２は、平坦面である。第２部材１６０は、第１部材１５０側に配置される内面１６１と、内面１６１に配置される凹部１６２とを有する。第１部材１５０および第２部材１６０は、内面１５２と内面１６１とが密着した状態で、溶接またはろう付け等によって固定される。内部流路Ｐａは、第１部材１５０の内面１５２と第２部材１６０の凹部１６２とによって構成される。　
フィン部１５５は、内部流路Ｐａ内に配置される。フィン部１５５は、複数のフィン１５５ａを有する。フィン部１５５では、冷媒に対する接触面積が大きいため、熱が効率良く冷媒に伝達される。フィン部１５５は、例えば第１部材１５０に配置される。本実施形態では、フィン１５５ａおよび第１部材１５０は、一体の部品である。フィン１５５ａは、例えば、第１部材１５０の表面を薄く削り起こすスカイブ加工によって形成される。なお、フィン１５５ａの形成方法は、スカイブ加工に限定されない。　
また、第１部材１５０は、流入口１５６と、流出口１５７とを有する。流入口１５６および流出口１５７は、第１部材１５０の接触面１５１に配置される。流入口１５６は、流入管１１０（図４参照）に接続される。流入口１５６は、内部流路Ｐａに接続される。流入管１１０を通過した冷媒は、流入口１５６を介して内部流路Ｐａに流入する。その一方、流出口１５７は、流出管１２０（図４参照）に接続される。流出口１５７は、内部流路Ｐａに接続される。内部流路Ｐａを通過した冷媒は、流入口１５６を介して流出管１２０に流出する。　
また、第１部材１５０は、例えば、熱伝導部材１７０と同じ数の凸部１５８（図８参照）を有する。凸部１５８は、接触面１５１に配置される。凸部１５８の大きさは、特に限定されるものではないが、例えば、熱伝導部材１７０と同じ、または、熱伝導部材１７０よりも少しだけ大きい。　
また、各凸部１５８は、熱伝導部材１７０の少なくとも一部と第１方向Ｚに重なる。従って、コールドプレートＰ１と熱伝導部材１７０との位置合わせが容易になる。また、後述する各領域Ｒ２は、凸部１５８の少なくとも一部、および、熱伝導部材１７０の少なくとも一部と重なる。　
図９は、冷却ユニットＵ１のコールドプレートＰ１の第２部材１６０の構造を第１方向Ｚの他方側Ｚ２から示す図である。図９に示すように、内部流路Ｐａは、上流部Ｐａ１と、フィン収容部Ｐａ２と、下流部Ｐａ３とを有する。　
上流部Ｐａ１は、フィン収容部Ｐａ２に対して冷媒流通方向上流側に配置される。上流部Ｐａ１は、流入口１５６とフィン収容部Ｐａ２とを接続する。フィン収容部Ｐａ２は、フィン部１５５を収容する。下流部Ｐａ３は、フィン収容部Ｐａ２に対して冷媒流通方向下流側に配置される。下流部Ｐａ３は、フィン収容部Ｐａ２と流出口１５７とを接続する。流入口１５６から流入した冷媒は、上流部Ｐａ１、フィン収容部Ｐａ２および下流部Ｐａ３の順に通過して、流出口１５７から流出する。　
図７に示すように、複数のフィン１５５ａは、第１方向Ｚと直交する第２方向Ｘに配置される。言い換えると、フィン１５５ａは、第２方向Ｘに複数配置される。複数のフィン１５５ａは、互いに第２方向Ｘに離隔する。各フィン１５５ａは、第３方向Ｙに延びる。従って、フィン収容部Ｐａ２（図９参照）において、冷媒は、第３方向Ｙに流れる。　
図８および図９に示すように、コールドプレートＰ１は、区画部１６３を有する。本実施形態では、区画部１６３は、第２部材１６０に配置される。なお、区画部１６３は、第１部材１５０に配置されてもよい。また、コールドプレートＰ１は、区画部１６３を１つ以上（ここでは２つ）有する。　
上記のように、フィン部１５５は、第１部材１５０に配置され、区画部１６３は、第２部材１６０に配置される。従って、フィン部１５５と区画部１６３とを別々の部材に形成できる。よって、フィン部１５５のフィン１５５ａをスカイブ加工する際に、切削刃が区画部１６３に接触することを抑制できる。　
区画部１６３は、内部流路Ｐａ内に配置され、内部流路Ｐａを複数の流路に区画する。具体的には、区画部１６３は、第３方向Ｙにフィン部１５５と隣り合って配置される。なお、本実施形態では、区画部１６３は、フィン部１５５に対して冷媒流通方向下流側に配置されるが、フィン部１５５に対して冷媒流通方向上流側に配置されてもよい。　
フィン部１５５のうち、区画部１６３と隣り合うフィン１５５ａが配置される領域Ｒ１では、冷媒の流速が遅くなる。つまり、領域Ｒ１を流れる冷媒の量は、少なくなる。その一方、フィン部１５５のうち、区画部１６３と隣り合わないフィン１５５ａが配置される領域Ｒ２では、領域Ｒ１に比べて、冷媒の流速が速くなる。つまり、領域Ｒ２を流れる冷媒の量は、多くなる。従って、本実施形態では、区画部１６３によって、内部流路Ｐａは、複数（ここでは３つ）の流路（領域Ｒ２）に区画される。なお、複数の領域Ｒ２は、本開示の「複数の流路」の一例である。　
図１０は、冷却ユニットＵ１のコールドプレートＰ１、熱伝導部材１７０、および第１発熱部品５０１を、図９のＸ－Ｘ線の位置で切断した断面図である。図１１は、冷却ユニットＵ１のコールドプレートＰ１、熱伝導部材１７０、および第１発熱部品５０１を、図９のＸＩ－ＸＩ線の位置で切断した断面図である。　
図１０および図１１に示すように、フィン部１５５および熱伝導部材１７０は、熱伝導部材１７０およびフィン部１５５は、第１方向Ｚに重なって配置される。従って、熱伝導部材１７０を介して発熱部品５００の熱をフィン部１５５に効率良く伝達できるため、冷却効果を向上できる。　
図１２は、冷却ユニットＵ１の熱伝導部材１７０と内部流路Ｐａとの位置関係を示す図である。なお、図１２では、理解を容易にするために、熱伝導部材１７０にハッチングを施している。図１２に示すように、第１方向Ｚから見て、内部流路Ｐａのうち冷媒の流量が比較的多い領域Ｒ２には、熱伝導部材１７０が配置される。言い換えると、第１方向Ｚから見て、領域Ｒ２と熱伝導部材１７０とが重なる。従って、放熱性能の高い部分（領域Ｒ２）に、冷媒を多く通過させることができる。よって、発熱部品５００をより効率的に冷却できる。　
上記のように、コールドプレートＰ１は、内部流路Ｐａを複数の流路に区画する区画部１６３を有する。従って、フィン部１５５を、冷媒が通過しやすい部分（領域Ｒ２）と、冷媒が通過しにくい部分（領域Ｒ１）とに容易に設定できる。　
（第１変形例）　図１３を参照して、本開示の実施形態１の第１変形例について説明する。図１３は、実施形態１の第１変形例の冷却ユニットＵ１の構造を示す斜視図である。　
図１３に示すように、第１変形例の冷却ユニットＵ１では、流入管１１０および流出管１２０は、図１～図１２に示した実施形態の流入管１１０および流出管１２０とは、異なる形状を有する。流入管１１０および流出管１２０は、略Ｌ字形状を有する。つまり、第２接続部１１４の表面は、共通流入部１１１の表面と略面一であってもよい。また、第３接続部１２１の表面は、共通流出部１２４の表面と略面一であってもよい。なお、第１接続部１１３の表面が、共通流入部１１１の表面と略面一であってもよい。また、第４接続部１２２の表面が、共通流出部１２４の表面と略面一であってもよい。　
（第２変形例）　図１４～図１７を参照して、本開示の実施形態１の第２変形例について説明する。図１４は、実施形態１の第２変形例の冷却ユニットＵ１Ａの構造を示す斜視図である。図１５は、実施形態１の第２変形例の冷却ユニットＵ１Ａの構造を示す分解斜視図である。図１６は、実施形態１の第２変形例の冷却ユニットＵ１Ａの断面図である。図１７は、実施形態１の第２変形例の冷却ユニットＵ１Ａの断面図である。　
本実施形態において、第２変形例の冷却ユニットＵ１Ａは、冷却ユニットＵ１または第１変形例の冷却ユニットＵ１の代わりに、冷却システム１００に用いられる。　
図１４に示すように、冷却ユニットＵ１Ａは、コールドプレートＰ１ＡおよびコールドプレートＰ２Ａと、流入管１１０Ａと、流出管１２０Ａとを有する。コールドプレートＰ１Ａは、コールドプレートＰ１と形状が異なる以外、コールドプレートＰ１と同じである。コールドプレートＰ２Ａは、コールドプレートＰ２と形状が異なる以外、コールドプレートＰ２と同じである。　
次に、図１５および図１６を参照して、コールドプレートＰ１Ａ、流入管１１０Ａおよび流出管１２０Ａの構造について詳細に説明する。図１５に示すように、コールドプレートＰ１Ａは、第１部材１５０Ａと第２部材１６０Ａとを有する。第１部材１５０Ａは、第１部材１５０と形状が異なる以外、第１部材１５０と同じである。第２部材１６０Ａは、第２部材１６０と形状が異なる以外、第２部材１６０と同じである。　
流入管１１０Ａおよび流出管１２０Ａは、それぞれ、流入管１１０および流出管１２０と形状が異なる。具体的には、流入管１１０Ａは、共通流入部１１１Ａと、分岐部１１２Ａと、第１接続部１１３Ａと、第２接続部１１４Ａとを有する。流出管１２０Ａは、第３接続部１２１Ａと、第４接続部１２２Ａと、合流部１２３Ａと、共通流出部１２４Ａとを有する。　
図１５および図１６に示すように、第１接続部１１３Ａは、コールドプレートＰ１における流入口１５６の代わりに、コールドプレートＰ１Ａに設けられる。第１接続部１１３Ａは、コールドプレートＰ１Ａの第２部材１６０Ａを貫通し、第１方向Ｚに沿ってコールドプレートＰ２Ａに向かって延びる管である。なお、コールドプレートＰ１Ａにおける第１接続部１１３Ａの位置は、コールドプレートＰ１における流入口１５６の位置と異なる。　
一方、第２接続部１１４Ａは、コールドプレートＰ２Ａに設けられる。具体的には、第２接続部１１４Ａは、コールドプレートＰ２Ａから第１方向Ｚに沿ってコールドプレートＰ１Ａに向かって延びる管である。　
図１６に示すように、第２接続部１１４Ａの流入口は、第１接続部１１３Ａの内部に配置される。具体的には、第２接続部１１４Ａは、第１接続部１１３Ａにおける第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部から第１接続部１１３Ａの内側に挿入される。つまり、第１接続部１１３Ａの内側には、第２接続部１１４Ａの少なくとも一部が位置する。　
第１接続部１１３Ａには、分岐部１１２Ａが設けられる。第２接続部１１４Ａが第１接続部１１３Ａに挿入されている状態において、第１接続部１１３Ａは、分岐部１１２ＡとコールドプレートＰ１Ａとを接続し、第２接続部１１４Ａは、分岐部１１２ＡとコールドプレートＰ２Ａとを接続する。　
さらに、分岐部１１２Ａには、共通流入部１１１Ａが接続される。その結果、共通流入部１１１Ａを通過した冷媒は、分岐部１１２Ａによって第１接続部１１３Ａと第２接続部１１４Ａとに分流され、第１接続部１１３Ａまたは第２接続部１１４Ａを介して、コールドプレートＰ１Ａまたはコー
ルドプレートＰ２Ａに流入する。　
また、第３接続部１２１Ａは、コールドプレートＰ１における流出口１５７の代わりに、コールドプレートＰ１Ａに設けられる。第３接続部１２１Ａは、コールドプレートＰ１Ａの第２部材１６０Ａを貫通し、第１方向Ｚに沿ってコールドプレートＰ２Ａに向かって延びる管である。なお、コールドプレートＰ１Ａにおける第３接続部１２１Ａの位置は、コールドプレートＰ１における流出口１５７の位置と異なる。　
一方、第４接続部１２２Ａは、コールドプレートＰ２Ａに設けられる。具体的には、第４接続部１２２Ａは、コールドプレートＰ２Ａから第１方向Ｚに沿ってコールドプレートＰ１Ａに向かって延びる管である。　
第１接続部１１３Ａおよび第２接続部１１４Ａと同様に、第４接続部１２２Ａの流出口は、第３接続部１２１Ａの内部に配置される。具体的には、第４接続部１２２Ａは、第３接続部１２１Ａにおける第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部から第３接続部１２１Ａの内側に挿入される。つまり、第３接続部１２１Ａの内側には、第４接続部１２２Ａの少なくとも一部が位置する。　
第３接続部１２１Ａには、合流部１２３Ａが設けられる。第４接続部１２２Ａが第３接続部１２１Ａに挿入されている状態において、第３接続部１２１Ａは、合流部１２３ＡとコールドプレートＰ１Ａとを接続し、第４接続部１２２Ａは、合流部１２３ＡとコールドプレートＰ２Ａとを接続する。　
さらに、合流部１２３Ａには、共通流出部１２４Ａが接続される。合流部１２３は、第３接続部１２１Ａおよび第４接続部１２２Ａを通過する冷媒を合流する。共通流出部１２４Ａは、合流部１２３Ａを通過した冷媒が通過する。　
このように、第２接続部１１４Ａおよび第４接続部１２２Ａが、それぞれ、第１接続部１１３Ａおよび第３接続部１２１Ａに挿入可能な構成にすることで、第２接続部１１４Ａおよび第４接続部１２２Ａは、それぞれ、第１接続部１１３Ａおよび第３接続部１２１Ａに沿って移動可能になる。言い換えると、流入管１１０Ａおよび流出管１２０Ａは、第１方向Ｚに伸縮する。つまり、コールドプレートＰ１ＡおよびコールドプレートＰ２Ａが互いに接続された状態でも、コールドプレートＰ１ＡまたはコールドプレートＰ２Ａが、第１方向Ｚに沿って容易に移動可能であり、コールドプレートＰ１ＡとコールドプレートＰ２Ａとの間の距離を容易に広げたり、縮めたりできる。　
その結果、コールドプレートＰ２Ａは、コールドプレートＰ１Ａに対して移動可能である。よって、コールドプレートＰ１ＡとコールドプレートＰ２Ａとの間に発熱部品を配置する際の作業が容易になる。また、コールドプレートＰ１ＡおよびコールドプレートＰ２Ａの間の距離が容易に変更可能であるため、コールドプレートＰ１ＡとコールドプレートＰ２Ａとの間に配置された発熱部品に対して、コールドプレートＰ１ＡおよびコールドプレートＰ２Ａの接触精度を向上できる。　
図１５および図１６に示すように、第２接続部１１４Ａには、弾性部材Ｄ１、Ｄ２が配置される。より詳細には、弾性部材Ｄ１、Ｄ２は、第２接続部１１４Ａの流入口と第１接続部１１３Ａの内部との間に配置される。弾性部材Ｄ１、Ｄ２は、例えば、Ｏリング、パッキン、ガスケット等である。図１５および図１６に示す例では、弾性部材Ｄ１、Ｄ２は、Ｏリングである。Ｏリングの外径は、例えば、第１接続部１１３Ａの内部の幅と略同じである。Ｏリングの内径は、例えば、第２接続部１１４Ａの外径と略同じである。図１５および図１６に示す例では、弾性部材Ｄ１、Ｄ２は、第１方向Ｚに沿って所定の距離を離して配置されているが、第２接続部１１４Ａに配置される弾性部材の数および位置は、図１５および図１６に示す例に限定されない。　
一方、図１５に示すように、第４接続部１２２Ａには、弾性部材Ｄ３、Ｄ４が配置される。より詳細には、弾性部材Ｄ３、Ｄ４は、第４接続部１２２Ａの流出口と第３接続部１２１Ａの内部との間に配置される。弾性部材Ｄ３、Ｄ４は、弾性部材Ｄ１、Ｄ２と同じであるため、説明および図１６での図示を省略する。　
このように、第１接続部１１３Ａと第２接続部１１４Ａとの間、および第３接続部１２１Ａと第４接続部１２２Ａとの間に弾性部材Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４を配置することで、第１接続部１１３Ａと第２接続部１１４Ａとの間、および第３接続部１２１Ａと第４接続部１２２Ａとの間をより確実に塞ぎ、コールドプレートＰ１ＡおよびコールドプレートＰ２Ａの外に冷媒が漏れることを抑制できる。　
なお、第１接続部１１３Ａと第２接続部１１４Ａとの関係および第３接続部１２１Ａと第４接続部１２２Ａとの関係は、逆であってもよい。つまり、第１接続部１１３Ａの流入口は、第２接続部１１４Ａの内部に配置されてもよいし、第３接続部１２１Ａの流出口は、第４接続部１２２Ａの内部に配置されてもよい。この場合、弾性部材Ｄ１、Ｄ２は、第１接続部１１３Ａの流入口と第２接続部１１４Ａの内部との間に配置される。弾性部材Ｄ３、Ｄ４は、第３接続部１２１Ａの流出口と第４接続部１２２Ａの内部との間に配置される。　
本実施形態において、コールドプレートＰ１Ａ、第１接続部１１３Ａおよび第３接続部１２１Ａは、単一の部材によって形成される。コールドプレートＰ２Ａ、第２接続部１１４Ａおよび第４接続部１２２Ａは、単一の部材によって形成される。コールドプレートＰ１Ａ、第１接続部１１３Ａおよび第３接続部１２１Ａ、ならびにコールドプレートＰ２Ａ、第２接続部１１４Ａおよび第４接続部１２２Ａを同一の材料で作成することで、コールドプレートＰ１Ａ、第１接続部１１３Ａおよび第３接続部１２１Ａ、ならびにコールドプレートＰ２Ａ、第２接続部１１４Ａおよび第４接続部１２２Ａと冷媒とによるイオン化を抑制できる。また、上記構成により、第１接続部１１３Ａと第２接続部１１４Ａとの間、および第３接続部１２１Ａと第４接続部１２２Ａとの間の摩擦の影響を小さくすることで、コールドプレートＰ１ＡまたはコールドプレートＰ２Ａの移動がより容易になる。　
本実施形態において、第１接続部１１３Ａおよび第２接続部１１４Ａは、コールドプレートＰ１Ａの第２方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第３方向Ｙの一方側Ｙ１に配置される。一方、第３接続部１２１Ａおよび第４接続部１２２Ａは、コールドプレートＰ１Ａの第２方向Ｘの一方側Ｘ１かつ第３方向Ｙの一方側Ｙ１に配置される。つまり、第３接続部１２１Ａおよび第４接続部１２２Ａ、ならびに第３接続部１２１Ａおよび第４接続部１２２Ａは、互いに、隣接して並べて配置される。これにより、コールドプレートＰ１ＡおよびコールドプレートＰ２Ａが互いに接続された状態において、発熱部品を第２方向Ｘの他方側Ｘ２または第３方向Ｙの他方側Ｙ２からコールドプレートＰ１ＡおよびコールドプレートＰ２Ａの間にスライドさせて配置しやすくなる。　
なお、第１接続部１１３Ａおよび第２接続部１１４Ａの配置と、第３接続部１２１Ａおよび第４接続部１２２Ａの配置とは、上記の配置に限定されない。例えば、第１接続部１１３Ａおよび第２接続部１１４Ａと、第３接続部１２１Ａおよび第４接続部１２２Ａの配置とは、互いにコールドプレートＰ１Ａの対角の位置に配置されてもよい。　
次に、図１７を参照して、コールドプレートＰ１Ａにおける冷媒の流路について説明する。図１７は、コールドプレートＰ１Ａの内部構造を示す断面図である。図１７は、コールドプレートＰ１Ａの第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに沿った平面での断面を示す。　
図１７に示すように、コールドプレートＰ１Ａには、フィン部１５５が配置され、内部流路Ｐｂが形成される。内部流路Ｐｂは、第１接続部１１３Ａおよび第３接続部１２１Ａに接続される。第１接続部１１３Ａを通過した冷媒は、内部流路Ｐｂに流入する。内部流路Ｐｂを通過した冷媒は、第３接続部１２１Ａに流出する。　
具体的には、内部流路Ｐｂは、上流部Ｐｂ１と、フィン収容部Ｐｂ２と、下流部Ｐｂ３とを有する。上流部Ｐｂ１は、フィン収容部Ｐｂ２に対して冷媒流通方向上流側に配置される。上流部Ｐｂ１は、第１接続部１１３Ａとフィン収容部Ｐｂ２とを接続する。フィン収容部Ｐｂ２は、フィン部１５５を収容する。下流部Ｐｂ３は、フィン収容部Ｐｂ２に対して冷媒流通方向下流側に配置される。下流部Ｐａ３は、フィン収容部Ｐｂ２と第３接続部１２１Ａとを接続する。第１接続部１１３Ａから流入した冷媒は、上流部Ｐｂ１、フィン収容部Ｐｂ２および下流部Ｐｂ３の順に通過して、第３接続部１２１Ａから流出する。　
（実施形態２）　続いて、本開示の例示的な実施形態２について説明する。第２の実施形態は、冷却システム１０１がコールドプレートＰ１、Ｐ２と異なるコールドプレートＰ３を有する冷却ユニットＵ１Ｂを有する点が実施形態１と異なる。以下、第２の実施形態について第１の実施形態と異なる事項を説明し、第１の実施形態と重複する事項の説明は割愛する。　
図１８を参照して、本開示の例示的な実施形態２の冷却ユニットＵ１Ｂを有する冷却システム１０１を説明する。図１８は、本開示の例示的な実施形態２の冷却ユニットＵ１Ｂを有する冷却システム１０１の概要を示す図である。　
冷却システム１０１は、実施形態１の冷却システム１００と比べて、冷却ユニットＵ１の代わりに、冷却ユニットＵ１Ｂを有する。冷却ユニットＵ１Ｂは、コールドプレートＰ１、Ｐ２の代わりにコールドプレートＰ３を有する。コールドプレートＰ３は、発熱部品から受熱し、発熱部品を冷却する。　
次に、図１９を参照して、コールドプレートＰ３を有する冷却ユニットＵ１Ｂについて詳細に説明する。図１９は、冷却ユニットＵ１Ｂを示す斜視図である。　
図１９に示すように、冷却ユニットＵ１Ｂは、コールドプレートＰ３と、流入管１１０Ｂと、流出管１２０Ｂとを有する。コールドプレートＰ３は、本開示の「第３コールドプレート」の一例である。コールドプレートＰ３は、図示しない発熱部品の第１方向Ｚの一方側Ｚ１に配置される。例えば、流入管１１０Ｂには、コールドプレートＰ３および第７接続部１２７を介して接続管Ｍ１１が接続される。より詳細には、流入管１１０Ｂの一方の端部は、コールドプレートＰ３に接続される。流入管１１０Ｂの他方の端部は、第７接続部１２７に接続される。流入管１１０Ｂは、接続管Ｍ１１および第７接続部１２７を通った冷媒をコールドプレートＰ３に流入させる。コールドプレートＰ３に流入した冷媒は、コールドプレートＰ３に形成された図示しない内部流路を通って流出管１２０Ｂから流出する。流出管１２０Ｂには、第８接続部１２８を介して接続管Ｍ２１が接続される。より詳細には、流入管１１０Ｂの一方の端部は、コールドプレートＰ３に接続される。流入管１１０Ｂの他方の端部は、第８接続部１２８に接続される。流出管１２０Ｂは、コールドプレートＰ３を通った冷媒を第８接続部１２８および接続管Ｍ２１に流出させる。例えば、流出管１２０Ｂは、第８接続部１２８に対して周方向に回転可能に接続される。　
次に、図１９および図２０を参照して、流入管１１０および流出管１２０の構造について詳細に説明する。図２０は、流入管１１０および流出管１２０構造を示す断面図である。図２０は、流入管１１０および流出管１２０の中心軸を通り、第１方向Ｚおよび第３方向Ｙに沿った平面での断面を示す。　
図１９および図２０に示すように、冷却ユニットＵ１Ｂは、第５接続部１２５と、第６接続部１２６とをさらに有する。第５接続部１２５および第６接続部１２６は、コールドプレートＰ３に固定される。第５接続部１２５は、流入管１１０Ｂに接続される。第６接続部１２６は、流出管１２０Ｂに接続される。　
例えば、流入管１１０Ｂおよび第５接続部１２５は、第３方向Ｙに沿って延びる。具体的には、第５接続部１２５は、第３方向Ｙに沿って延びる
管状の管部１２５Ａと、管部１２５ＡとコールドプレートＰ３とを接続し、冷媒をコールドプレートＰ３へ流入させる流入口１２５Ｂとを有する。流入口１２５Ｂは、管部１２５Ａが延びる第３方向Ｙに対して交差する方向を向いて配置される。　
流入管１１０Ｂは、第５接続部１２５の内部に配置される。具体的には、流入管１１０Ｂは、第５接続部１２５の管部１２５Ａにおける第３方向Ｙの他方側Ｙ２の端部から管部１２５Ａの内側に挿入される。つまり、管部１２５Ａの内側には、流入管１１０Ｂの少なくとも一部が位置する。従って、第５接続部１２５の管部１２５Ａは、流入管１１０Ｂに対して周方向に移動可能である。　
一方、第６接続部１２６は、第３方向Ｙに沿って延びる管状の管部１２６Ａと、管部１２６ＡとコールドプレートＰ３とを接続し、コールドプレートＰ３から冷媒を流出させる流出口１２６Ｂとを有する。管部１２６Ａは、流出管１２０Ｂに接続される。流出口１２６Ｂは、管部１２６Ａが延びる第３方向Ｙに対して交差する方向を向いて配置される。　
管部１２５Ａが流入管１１０Ｂに対して周方向に移動可能であるとともに、流出管１２０Ｂが第８接続部１２８に対して周方向に回転可能ことから、コールドプレートＰ３は、流入管１１０Ｂおよび流出管１２０Ｂを回転軸として回転可能である（図２１、２２）。言い換えると、コールドプレートＰ３は、流入管１１０Ｂが接続された第７接続部１２７と、流出管１２０Ｂが接続された第８接続部１２８とに対して回転可能である。つまり、コールドプレートＰ３は、発熱部品に対して回転移動する。　
次に、図１９～図２２を参照して、コールドプレートＰ３の回転移動を説明する。図２１は、コールドプレートＰ３が第１ポジションＴ１に位置している冷却ユニットＵ１Ｂを示す図である。図２２は、コールドプレートＰ３が第２ポジションＴ２に位置している冷却ユニットＵ１Ｂを示す図である。　
また、冷却ユニットＵ１Ｂにおいて、コールドプレートＰ３の第１方向Ｚの他方側Ｚ２には、発熱部品５０３が配置されている。例えば、コールドプレートＰ３は、第１ポジションＴ１と第２ポジションＴ２との間を回転移動する。　
例えば、図２１に示すように、コールドプレートＰ３は、第１ポジションＴ１において、第２方向Ｘに平行に延びる。コールドプレートＰ３は、流入管１１０Ｂを回転軸として回転すると、図２２に示す第２ポジションＴ２に移動する。コールドプレートＰ３は、第２ポジションＴ２において、第２方向Ｘに対して傾いて延びる。　
このように、コールドプレートＰ３の回転に応じて、第１方向Ｚにおいて、コールドプレートＰ３と発熱部品５０３との間の距離は広がったり、縮んだりする。言い換えると、コールドプレートＰ３は、発熱部品５０３に対して第１方向Ｚに移動可能である。よって、発熱部品５０３を配置する際の作業が容易になるとともに、発熱部品５０３に対するコールドプレートＰ３の接触精度が向上する。　
また、図２０に示すように、流入管１１０Ｂには、弾性部材Ｄ５、Ｄ６が配置される。より詳細には、弾性部材Ｄ５、Ｄ６は、流入管１１０Ｂと第５接続部１２５の管部１２５Ａの内部との間に配置される。弾性部材Ｄ５、Ｄ６は、弾性部材Ｄ１～Ｄ４と同様のＯリング、パッキン、ガスケット等である。図２０に示す例では、弾性部材Ｄ５、Ｄ６は、Ｏリングである。Ｏリングの外径は、例えば、管部１２５Ａの内部の幅と略同じである。Ｏリングの内径は、例えば、流入管１１０Ｂの外径と略同じである。図２０に示す例では、弾性部材Ｄ５、Ｄ６は、第３方向Ｙに沿って所定の距離を離して配置されているが、流入管１１０Ｂに配置される弾性部材の数および位置は、図２０に示す例に限定されない。　
このように、流入管１１０Ｂと第５接続部１２５の管部１２５Ａの内部との間に弾性部材Ｄ５、Ｄ６を配置することで、流入管１１０Ｂと第５接続部１２５の管部１２５Ａの内部との間をより確実に塞ぎ、コールドプレートＰ３の外に冷媒が漏れることを抑制できる。　
なお、流入管１１０Ｂと第５接続部１２５との関係は、逆であってもよい。つまり、第５接続部１２５の管部１２５Ａは、流入管１１０Ｂの内部に配置されてもよい。この場合、弾性部材Ｄ５、Ｄ６は、管部１２５Ａに配置される。　
また、第６接続部１２６および流出管１２０Ｂは、それぞれ、第５接続部１２５および流入管１１０Ｂと同じ構造であってもよい。さらに、第８接続部１２８に限らず、流入管１１０Ｂが、第７接続部１２７に対して周方向に回転可能に接続されてもよい。つまり、コールドプレートＰ３が、第５接続部１２５および第７接続部１２７の一方と、第６接続部１２６および第８接続部１２８の一方とに対して回転可能であればよい。　
以上、図面を参照しながら本開示の実施形態（変形例を含む。）について説明した。但し、本開示は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施することが可能である。また、上記の実施形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることによって、種々の開示の形成が可能である。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。例えば、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。図面は、理解しやすくするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示しており、図示された各構成要素の厚み、長さ、個数、間隔等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合もある。また、上記の実施形態で示す各構成要素の材質、形状、寸法等は一例であって、特に限定されるものではなく、本開示の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。　
例えば、上記の実施形態では、発熱部品５００が第１発熱部品５０１および第２発熱部品５０２を有し、コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２がそれぞれ第１発熱部品５０１および第２発熱部品５０２を冷却する例について示したが、本開示はこれに限らない。発熱部品５００が１つの発熱部品を有してもよい。そして、コールドプレートＰ１およびコールドプレートＰ２が１つの発熱部品５００を冷却してもよい。　
また、上記の実施形態では、コールドプレートＰ１と発熱部品５００との間に熱伝導部材１７０を配置する例について示したが、本開示はこれに限らず、熱伝導部材１７０を配置しなくてもよい。つまり、コールドプレートＰ１の接触面１５１を発熱部品５００に直接的に接触させてもよい。　
また、例えば、上記の実施形態では、第１接続部１１３、分岐部１１２および第２接続部１１４が一直線状に配置される例について示した。つまり、第１接続部１１３、分岐部１１２および第２接続部１１４を、コールドプレートＰ１とコールドプレートＰ２との第１方向Ｚの間に配置し、流入管１１０を略Ｔ字状に形成する例について示した。しかしながら、本開示はこれに限らない。例えば、分岐部１１２を、コールドプレートＰ１とコールドプレートＰ２との第１方向Ｚの間の外側に配置し、流入管１１０を略Ｙ字状に形成してもよい。同様に、流出管１２０の合流部１２３を、コールドプレートＰ１とコールドプレートＰ２との第１方向Ｚの間の外側に配置し、流出管１２０を略Ｙ字状に形成してもよい。　
また、本技術は、以下のような構成を採用することも可能である。　
（１）発熱部品の第１方向両側にそれぞれ配置される第１コールドプレートおよび第２コールドプレートと、　前記第１コールドプレートおよび前記第２コールドプレートに冷媒を流入させる流入管と、　前記第１コールドプレートおよび前記第２コールドプレートから流出する前記冷媒が通過する流出管と　を有し、　前記第１コールドプレートの少なくとも一部および前記第２コールドプレートの少なくとも一部は、前記第１方向に重なり、　前記流入管の少なくとも一部および前記流出管の少なくとも一部は、前記第１コールドプレートと前記第２コールドプレートとの前記第１方向の間に配置される、冷却ユニット。　
（２）前記流入管は、　　共通流入部と、　　前記共通流入部を通過する前記冷媒を分岐する分岐部と、　　前記分岐部および前記第１コールドプレートを接続する第１接続部と、　　前記分岐部および前記第２コールドプレートを接続する第２接続部と、を有し、　前記流出管は、　　前記第１コールドプレートに接続される第３接続部と、　　前記第２コールドプレートに接続される第４接続部と、　　前記第３接続部および前記第４接続部を通過する前記冷媒を合流する合流部と、　　前記合流部を通過した前記冷媒が通過する共通流出部と、を有する、（１）に記載の冷却ユニット。　
（３）前記第１コールドプレートは、　　前記発熱部品と接触する接触面と、　　前記接触面と前記第１方向に重なって配置され、前記冷媒が通過する内部流路と、　　前記内部流路内に配置され複数のフィンを有するフィン部と、を有し、　前記冷却ユニットは、前記接触面と前記発熱部品との間に配置される熱伝導部材をさらに有し、　前記熱伝導部材および前記フィン部は、前記第１方向に重なって配置される、（１）または（２）に記載の冷却ユニット。　
（４）前記第１コールドプレートは、前記内部流路内に配置され、前記内部流路を複数の流路に区画する区画部をさらに有し、　前記フィンは、前記第１方向と直交する第２方向に複数配置され、　前記区画部は、前記第１方向および前記第２方向と直交する第３方向に前記フィン部と隣り合って配置される、（３）に記載の冷却ユニット。　
（５）前記第１コールドプレートは、前記内部流路を構成する第１部材および第２部材を有し、　前記フィン部は、前記第１部材に配置され、　前記区画部は、前記第２部材に配置される、（４）に記載の冷却ユニット。　
（６）上記（１）から（５）のいずれかに記載の冷却ユニットと、　前記冷却ユニットに前記冷媒を流通させるポンプ部と、　前記冷却ユニットから流通する前記冷媒を冷却する熱交換器と　を有し、　前記冷却ユニットと、前記ポンプ部と、前記熱交換器とは、それぞれ接続管により接続され、　前記冷却ユニット、前記ポンプ部および前記熱交換器を前記冷媒が循環する、冷却システム。　
（７）前記第２コールドプレートは、前記第１コールドプレートに対して移動可能である、（１）に記載の冷却ユニット。　
（８）前記流入管は、　　共通流入部と、　　前記共通流入部を通過する前記冷媒を分岐する分岐部と、　　前記分岐部および前記第１コールドプレートを接続する第１接続部と、　　前記分岐部および前記第２コールドプレートを接続する第２接続部と、を有し、　前記流出管は、　　前記第１コールドプレートに接続される第３接続部と、　　前記第２コールドプレートに接続される第４接続部と、　　前記第３接続部および前記第４接続部を通過する前記冷媒を合流する合流部と、　　前記合流部を通過した前記冷媒が通過する共通流出部と、を有し、　前記第１接続部、前記第２接続部、前記第３接続部および前記第４接続部は、前記第１方向に沿って延び、　前記第１接続部の流入口は前記第２接続部の内部に配置されるか、または、前記第２接続部の流入口は前記第１接続部の内部に配置され、　前記第３接続部の流出口は前記第４接続部の内部に配置されるか、または、前記第４接続部の流出口は前記第３接続部の内部に配置される、（７）に記載の冷却ユニット。　
（９）前記第１接続部の流入口と前記第２接続部の内部との間、または、前記第２接続部の流入口と前記第１接続部の内部との間に、弾性部材が配置され、　前記第３接続部の流出口と前記第４接続部の内部との間、または、前記第４接続部の流出口と前記第３接続部の内部との間に、弾性部材が配置される、（８）に記載の冷却ユニット。　
（１０）前記第１コールドプレート、前記第１接続部および前記第３接続部は、単一の部材によって形成され、　前記
第２コールドプレート、前記第２接続部および前記第４接続部は、単一の部材によって形成される、（８）または（９）に記載の冷却ユニット。　
（１１）前記第１接続部および前記第２接続部は、前記第１コールドプレートの前記第２方向の一方側に配置され、　前記第３接続部および前記第４接続部は、前記第２コールドプレートの前記第２方向の一方側に配置される、（８）から（１０）のいずれかに記載の冷却ユニット。　
（１２）前記第１接続部および前記第２接続部は、前記第１コールドプレートの前記第３方向の一方側に配置され、　前記第３接続部および前記第４接続部は、前記第２コールドプレートの前記第３方向の一方側に配置される、（８）から（１１）のいずれかに記載の冷却ユニット。　
（１３）発熱部品の第１方向の一方側に配置される第３コールドプレートと、　前記第３コールドプレートに冷媒を流入させる流入管と、　前記第３コールドプレートから流出する前記冷媒が通過する流出管と、　前記流入管の一方側の端部に接続されるとともに、前記第３コールドプレートに固定される第５接続部と　前記流出管の一方側の端部に接続されるとともに、前記第３コールドプレートに固定される第６接続部とを有し、　前記流入管の他方側の端部は、第７接続部に接続し、　前記流出管の他方側の端部は、第８接続部に接続し、　前記第３コールドプレートは、前記第７接続部および前記第８接続部に対して移動可能である、冷却ユニット。　
（１４）前記流出管および前記第５接続部は、前記第１方向と直交する第３方向に沿って延び、　前記流出管は前記第５接続部の内部に配置される、（１３）に記載の冷却ユニット。　
（１５）前記流出管と前記第５接続部の内部との間に、弾性部材が配置される、（１３）または（１４）に記載の冷却ユニット。
本開示は、例えば、冷却ユニットおよび冷却システムに利用できる。
２１　　　：ポンプ部２２　　　：熱交換器１００、１０１　　：冷却システム１１０、１１０Ａ、１１０Ｂ　　：流入管１１１、１１１Ａ　　：共通流入部１１２、１１２Ａ　　：分岐部１１３、１１３Ａ　　：第１接続部１１４、１１４Ａ　　：第２接続部１２０、１２０Ａ、１２０Ｂ　　：流出管１２１、１２１Ａ　　：第３接続部１２２、１２２Ａ　　：第４接続部１２３、１２３Ａ　　：合流部１２４、１２４Ａ　　：共通流出部１２５　　：第５接続部１５０、１５０Ａ　　：第１部材１５１　　：接触面１５５　　：フィン部１５５ａ　：フィン１６０、１６０Ａ　　：第２部材１６３　　：区画部１７０　　：熱伝導部材５００、５０３　　：発熱部品Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５、Ｄ６　　　：弾性部材Ｐ１、Ｐ１Ａ　　　：コールドプレート（第１コールドプレート）Ｐ２、Ｐ２Ａ　　　：コールドプレート（第２コールドプレート）Ｐ３　　　：コールドプレート（第３コールドプレート）Ｐａ、Ｐｂ　　　：内部流路Ｒ２　　　：領域（流路）Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３、Ｕ１Ａ、Ｕ１Ｂ　　　：冷却ユニットＸ　　　　：第２方向Ｙ　　　　：第３方向Ｚ　　　　：第１方向

Claims (15)

  1. 発熱部品の第１方向両側にそれぞれ配置される第１コールドプレートおよび第２コールドプレートと、　前記第１コールドプレートおよび前記第２コールドプレートに冷媒を流入させる流入管と、　前記第１コールドプレートおよび前記第２コールドプレートから流出する前記冷媒が通過する流出管と　を有し、　前記第１コールドプレートの少なくとも一部および前記第２コールドプレートの少なくとも一部は、前記第１方向に重なり、　前記流入管の少なくとも一部および前記流出管の少なくとも一部は、前記第１コールドプレートと前記第２コールドプレートとの前記第１方向の間に配置される、冷却ユニット。
  2. 前記流入管は、　　共通流入部と、　　前記共通流入部を通過する前記冷媒を分岐する分岐部と、　　前記分岐部および前記第１コールドプレートを接続する第１接続部と、　　前記分岐部および前記第２コールドプレートを接続する第２接続部と、を有し、　前記流出管は、　　前記第１コールドプレートに接続される第３接続部と、　　前記第２コールドプレートに接続される第４接続部と、　　前記第３接続部および前記第４接続部を通過する前記冷媒を合流する合流部と、　　前記合流部を通過した前記冷媒が通過する共通流出部と、を有する、請求項１に記載の冷却ユニット。
  3. 前記第１コールドプレートは、　　前記発熱部品と接触する接触面と、　　前記接触面と前記第１方向に重なって配置され、前記冷媒が通過する内部流路と、　　前記内部流路内に配置され複数のフィンを有するフィン部と、を有し、　前記冷却ユニットは、前記接触面と前記発熱部品との間に配置される熱伝導部材をさらに有し、　前記熱伝導部材および前記フィン部は、前記第１方向に重なって配置される、請求項１または請求項２に記載の冷却ユニット。
  4. 前記第１コールドプレートは、前記内部流路内に配置され、前記内部流路を複数の流路に区画する区画部をさらに有し、　前記フィンは、前記第１方向と直交する第２方向に複数配置され、　前記区画部は、前記第１方向および前記第２方向と直交する第３方向に前記フィン部と隣り合って配置される、請求項３に記載の冷却ユニット。
  5. 前記第１コールドプレートは、前記内部流路を構成する第１部材および第２部材を有し、　前記フィン部は、前記第１部材に配置され、　前記区画部は、前記第２部材に配置される、請求項４に記載の冷却ユニット。
  6. 請求項１に記載の冷却ユニットと、　前記冷却ユニットに前記冷媒を流通させるポンプ部と、　前記冷却ユニットから流通する前記冷媒を冷却する熱交換器と　を有し、　前記冷却ユニットと、前記ポンプ部と、前記熱交換器とは、それぞれ接続管により接続され、　前記冷却ユニット、前記ポンプ部および前記熱交換器を前記冷媒が循環する、冷却システム。
  7. 前記第２コールドプレートは、前記第１コールドプレートに対して移動可能である、請求項１に記載の冷却ユニット。
  8. 前記流入管は、　　共通流入部と、　　前記共通流入部を通過する前記冷媒を分岐する分岐部と、　　前記分岐部および前記第１コールドプレートを接続する第１接続部と、　　前記分岐部および前記第２コールドプレートを接続する第２接続部と、を有し、　前記流出管は、　　前記第１コールドプレートに接続される第３接続部と、　　前記第２コールドプレートに接続される第４接続部と、　　前記第３接続部および前記第４接続部を通過する前記冷媒を合流する合流部と、　　前記合流部を通過した前記冷媒が通過する共通流出部と、を有し、　前記第１接続部、前記第２接続部、前記第３接続部および前記第４接続部は、前記第１方向に沿って延び、　前記第１接続部の流入口は前記第２接続部の内部に配置されるか、または、前記第２接続部の流入口は前記第１接続部の内部に配置され、　前記第３接続部の流出口は前記第４接続部の内部に配置されるか、または、前記第４接続部の流出口は前記第３接続部の内部に配置される、請求項７に記載の冷却ユニット。
  9. 前記第１接続部の流入口と前記第２接続部の内部との間、または、前記第２接続部の流入口と前記第１接続部の内部との間に、弾性部材が配置され、　前記第３接続部の流出口と前記第４接続部の内部との間、または、前記第４接続部の流出口と前記第３接続部の内部との間に、弾性部材が配置される、請求項８に記載の冷却ユニット。
  10. 前記第１コールドプレート、前記第１接続部および前記第３接続部は、単一の部材によって形成され、　前記第２コールドプレート、前記第２接続部および前記第４接続部は、単一の部材によって形成される、請求項８に記載の冷却ユニット。
  11. 前記第１接続部および前記第２接続部は、前記第１コールドプレートの前記第２方向の一方側に配置され、　前記第３接続部および前記第４接続部は、前記第２コールドプレートの前記第２方向の一方側に配置される、請求項８に記載の冷却ユニット。
  12. 前記第１接続部および前記第２接続部は、前記第１コールドプレートの前記第３方向の一方側に配置され、　前記第３接続部および前記第４接続部は、前記第２コールドプレートの前記第３方向の一方側に配置される、請求項１１に記載の冷却ユニット。
  13. 発熱部品の第１方向の一方側に配置される第３コールドプレートと、　前記第３コールドプレートに冷媒を流入させる流入管と、　前記第３コールドプレートから流出する前記冷媒が通過する流出管と、　前記流入管の一方側の端部に接続されるとともに、前記第３コールドプレートに固定される第５接続部と　前記流出管の一方側の端部に接続されるとともに、前記第３コールドプレートに固定される第６接続部とを有し、　前記流入管の他方側の端部は、第７接続部に接続し、　前記流出管の他方側の端部は、第８接続部に接続し、　前記第３コールドプレートは、前記第７接続部および前記第８接続部に対して移動可能である、冷却ユニット。
  14. 前記流入管および前記第５接続部は、前記第１方向と直交する第３方向に沿って延び、　前記流入管は前記第５接続部の内部に配置される、請求項１３に記載の冷却ユニット。
  15. 前記流入管と前記第５接続部の内部との間に、弾性部材が配置される、請求項１４に記載の冷却ユニット。
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