JP2000329826A - 回路試験装置および回路試験方法 - Google Patents
回路試験装置および回路試験方法Info
- Publication number
- JP2000329826A JP2000329826A JP11140687A JP14068799A JP2000329826A JP 2000329826 A JP2000329826 A JP 2000329826A JP 11140687 A JP11140687 A JP 11140687A JP 14068799 A JP14068799 A JP 14068799A JP 2000329826 A JP2000329826 A JP 2000329826A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- lsi
- input terminals
- test
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の入力端子を備えたLSIの試験を短時
間かつ低コストで行うことができる回路試験装置および
回路試験方法を提供する。 【解決手段】 各々周波数が異なる2以上の信号を含む
マルチトーン信号を生成して出力するAWG11を有す
るテスタ1と、複数の入力端子を有する試験対象たるL
SI2とを、該LSI2の入力端子と同数の帯域フィル
タを備えたDUTボード3によって接続する。DUTボ
ード3の各帯域フィルタは、テスタ1のAWG11から
出力されるマルチトーン信号から各々異なる周波数の信
号を選択し、前記LSI2の入力端子にそれぞれ供給す
る。そして、これに応答してLSI2から出力される信
号を解析することにより、該LSI2の試験を行う。
間かつ低コストで行うことができる回路試験装置および
回路試験方法を提供する。 【解決手段】 各々周波数が異なる2以上の信号を含む
マルチトーン信号を生成して出力するAWG11を有す
るテスタ1と、複数の入力端子を有する試験対象たるL
SI2とを、該LSI2の入力端子と同数の帯域フィル
タを備えたDUTボード3によって接続する。DUTボ
ード3の各帯域フィルタは、テスタ1のAWG11から
出力されるマルチトーン信号から各々異なる周波数の信
号を選択し、前記LSI2の入力端子にそれぞれ供給す
る。そして、これに応答してLSI2から出力される信
号を解析することにより、該LSI2の試験を行う。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路の
特性試験を行うための回路試験装置および回路試験方法
に関する。
特性試験を行うための回路試験装置および回路試験方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、A/Dコンバータ、DSPお
よびD/Aコンバータ等が集積されたサウンドプロセッ
サ用LSIが各種提供されている。これらのLSIは、
出荷前にその特性、例えば、直線性、内部の増幅器の利
得および歪率等の試験が行われるのが一般的である。こ
れらの試験は、該LSIの入力端子に例えば1kHzの
正弦波信号を入力するとともに、LSIの出力端子から
の出力信号を解析することにより行われる。
よびD/Aコンバータ等が集積されたサウンドプロセッ
サ用LSIが各種提供されている。これらのLSIは、
出荷前にその特性、例えば、直線性、内部の増幅器の利
得および歪率等の試験が行われるのが一般的である。こ
れらの試験は、該LSIの入力端子に例えば1kHzの
正弦波信号を入力するとともに、LSIの出力端子から
の出力信号を解析することにより行われる。
【0003】ところで、上述した試験の対象となるLS
Iは、1つの入力端子を備えたものだけではなく、マル
チチャネルの入力信号をミキシングして出力するLSI
のように、複数の入力端子を備えたものもある。このよ
うに複数の入力端子を備えたLSIに対して上述したよ
うな試験を行う場合には、従来以下の(1)または
(2)に示す手法が用いられていた。
Iは、1つの入力端子を備えたものだけではなく、マル
チチャネルの入力信号をミキシングして出力するLSI
のように、複数の入力端子を備えたものもある。このよ
うに複数の入力端子を備えたLSIに対して上述したよ
うな試験を行う場合には、従来以下の(1)または
(2)に示す手法が用いられていた。
【0004】(1)図5(a)に示すように、任意の周
波数の正弦波信号を生成可能な任意波形発生器300を
内蔵したテスタ301を用いて試験を行う。さらに詳述
すると、このテスタ301の任意波形発生器300を、
リレー302を介して試験対象であるLSI303に接
続する。そして、任意波形発生器300によって生成さ
れた正弦波信号が、LSI303が備える入力端子Ik
(k=1〜n)に順次供給されるように、リレー302
を適宜切換える。すなわち、まず、任意波形発生器30
0によって生成された正弦波信号がLSI2の入力端子
I1に供給されるようにリレー302を切換え、次に、
正弦波信号が入力端子I2に供給されるようにリレー3
02を切換え、…、正弦波信号が入力端子Inに供給さ
れるようにリレー302を切換える、という動作を行
う。そして、LSI303の出力端子から出力される信
号を解析することにより、該LSI303の特性を試験
する。
波数の正弦波信号を生成可能な任意波形発生器300を
内蔵したテスタ301を用いて試験を行う。さらに詳述
すると、このテスタ301の任意波形発生器300を、
リレー302を介して試験対象であるLSI303に接
続する。そして、任意波形発生器300によって生成さ
れた正弦波信号が、LSI303が備える入力端子Ik
(k=1〜n)に順次供給されるように、リレー302
を適宜切換える。すなわち、まず、任意波形発生器30
0によって生成された正弦波信号がLSI2の入力端子
I1に供給されるようにリレー302を切換え、次に、
正弦波信号が入力端子I2に供給されるようにリレー3
02を切換え、…、正弦波信号が入力端子Inに供給さ
れるようにリレー302を切換える、という動作を行
う。そして、LSI303の出力端子から出力される信
号を解析することにより、該LSI303の特性を試験
する。
【0005】(2)図5(b)に示すように、任意の周
波数の正弦波信号を生成可能な任意波形発生器300を
多数備えたテスタ301を用いて試験を行う。さらに詳
述すると、このテスタ301の各任意波形発生器300
をLSI303の入力端子Ik(k=1〜n)のうちの
いずれかの入力端子Ikに接続する。そして、各任意波
形発生器300毎に任意の周波数を有する正弦波信号を
生成するとともに、各正弦波信号を同時にLSI303
の各入力端子Ikに供給する。この結果得られた出力信
号に対して、例えばFFTを施すことにより、出力信号
についての解析を行い、該LSI303の特性を試験す
る。
波数の正弦波信号を生成可能な任意波形発生器300を
多数備えたテスタ301を用いて試験を行う。さらに詳
述すると、このテスタ301の各任意波形発生器300
をLSI303の入力端子Ik(k=1〜n)のうちの
いずれかの入力端子Ikに接続する。そして、各任意波
形発生器300毎に任意の周波数を有する正弦波信号を
生成するとともに、各正弦波信号を同時にLSI303
の各入力端子Ikに供給する。この結果得られた出力信
号に対して、例えばFFTを施すことにより、出力信号
についての解析を行い、該LSI303の特性を試験す
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記(1)
に示した手法は、LSIが備える入力端子の数だけリレ
ーの切換えおよび正弦波信号の供給を繰り返す必要があ
るため、試験のために要する時間が長くなるといった問
題があった。
に示した手法は、LSIが備える入力端子の数だけリレ
ーの切換えおよび正弦波信号の供給を繰り返す必要があ
るため、試験のために要する時間が長くなるといった問
題があった。
【0007】また、上記(2)に示した手法によれば、
試験のために要する時間を短縮することはできるもの
の、LSIが備える入力端子の数と同数の任意波形発生
器を設ける必要があるため、試験を行うためのコストが
増大すると行った問題があった。また、テスタによって
は、多くの任意波形発生器を有しないものもあり(通常
2または4個)、LSIの入力端子の数が多い場合に
は、この方法(2)を実施できないこともある。
試験のために要する時間を短縮することはできるもの
の、LSIが備える入力端子の数と同数の任意波形発生
器を設ける必要があるため、試験を行うためのコストが
増大すると行った問題があった。また、テスタによって
は、多くの任意波形発生器を有しないものもあり(通常
2または4個)、LSIの入力端子の数が多い場合に
は、この方法(2)を実施できないこともある。
【0008】本発明は、以上のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、複数の入力端子を備えたLSIの試験
を短時間で行うことができ、かつ、装置の製造コストを
低く抑えることができる回路試験装置および回路試験方
法を提供することを目的としている。
れたものであり、複数の入力端子を備えたLSIの試験
を短時間で行うことができ、かつ、装置の製造コストを
低く抑えることができる回路試験装置および回路試験方
法を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、請求項1に記載の回路試験装置は、各々周波数
が異なる2以上の信号を含むマルチトーン信号を生成し
て出力する信号生成手段と、前記信号生成手段によって
出力されるマルチトーン信号に含まれる前記各信号を、
被試験装置に設けられた2以上の入力端子のそれぞれに
供給する信号供給手段とを具備することを特徴としてい
る。また、請求項2に記載の回路試験装置は、請求項1
に記載の構成において、前記信号供給手段は、各々異な
る周波数の信号を通過させる2以上のフィルタを有し、
前記信号生成手段によって出力されるマルチトーン信号
を前記2以上のフィルタにそれぞれ供給するとともに、
前記各フィルタを通過した信号を、前記被試験装置に設
けられた2以上の入力端子のそれぞれに供給することを
特徴としている。また、請求項3に記載の回路試験方法
は、各々周波数が異なる2以上の信号を含むマルチトー
ン信号を生成して出力する信号生成手段を具備する回路
試験装置により、2以上の入力端子を有する被試験装置
の試験を行う回路試験方法において、前記回路試験装置
の出力端子から出力された前記マルチトーン信号から各
々異なる周波数の信号を選択し、前記被試験装置の2以
上の入力端子に各々供給する複数のフィルタを有する回
路試験用ボードを用いて、前記回路試験装置と前記被試
験装置との接続を行い、前記回路試験装置の信号生成手
段から前記回路試験用ボードの各フィルタにマルチトー
ン信号を供給し、これに応答して該被試験装置から出力
される信号を解析することにより該被試験装置の試験を
行うことを特徴としている。
ために、請求項1に記載の回路試験装置は、各々周波数
が異なる2以上の信号を含むマルチトーン信号を生成し
て出力する信号生成手段と、前記信号生成手段によって
出力されるマルチトーン信号に含まれる前記各信号を、
被試験装置に設けられた2以上の入力端子のそれぞれに
供給する信号供給手段とを具備することを特徴としてい
る。また、請求項2に記載の回路試験装置は、請求項1
に記載の構成において、前記信号供給手段は、各々異な
る周波数の信号を通過させる2以上のフィルタを有し、
前記信号生成手段によって出力されるマルチトーン信号
を前記2以上のフィルタにそれぞれ供給するとともに、
前記各フィルタを通過した信号を、前記被試験装置に設
けられた2以上の入力端子のそれぞれに供給することを
特徴としている。また、請求項3に記載の回路試験方法
は、各々周波数が異なる2以上の信号を含むマルチトー
ン信号を生成して出力する信号生成手段を具備する回路
試験装置により、2以上の入力端子を有する被試験装置
の試験を行う回路試験方法において、前記回路試験装置
の出力端子から出力された前記マルチトーン信号から各
々異なる周波数の信号を選択し、前記被試験装置の2以
上の入力端子に各々供給する複数のフィルタを有する回
路試験用ボードを用いて、前記回路試験装置と前記被試
験装置との接続を行い、前記回路試験装置の信号生成手
段から前記回路試験用ボードの各フィルタにマルチトー
ン信号を供給し、これに応答して該被試験装置から出力
される信号を解析することにより該被試験装置の試験を
行うことを特徴としている。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施形態について説明する。かかる実施の形態は、本発
明の一態様を示すものであり、この発明を限定するもの
ではなく、本発明の範囲内で任意に変更可能である。
実施形態について説明する。かかる実施の形態は、本発
明の一態様を示すものであり、この発明を限定するもの
ではなく、本発明の範囲内で任意に変更可能である。
【0011】A:実施形態の構成 図1は、本発明の一実施形態である回路試験装置を備え
たテスタ1と、該テスタ1による試験の対象であるLS
I2と、テスタ1とLSI2とを接続するDUT(Devi
ce Under Test;被試験装置)ボード3の構成を示すブ
ロック図である。なお、本実施形態においては、7つの
入力端子と1つの出力端子を備え、各入力端子と出力端
子との間の経路に電子ボリュームを備えたLSI2の特
性試験を行う場合を例に説明を進める。
たテスタ1と、該テスタ1による試験の対象であるLS
I2と、テスタ1とLSI2とを接続するDUT(Devi
ce Under Test;被試験装置)ボード3の構成を示すブ
ロック図である。なお、本実施形態においては、7つの
入力端子と1つの出力端子を備え、各入力端子と出力端
子との間の経路に電子ボリュームを備えたLSI2の特
性試験を行う場合を例に説明を進める。
【0012】図1に示すように、テスタ1は、任意波形
生成器(以下、「AWG(Arbitrary Waveform Generat
or)」という)11および出力信号処理部12を備えて
構成されている。一方、試験対象であるLSI2は、入
力端子I1〜I7、電子ボリュームV1〜V7、加算器
21および出力端子22を備えて構成されている。そし
て、テスタ1のAWG11の出力端子とLSI2が備え
る入力端子I1〜I7とが、DUTボード3によって接
続されるようになっている。
生成器(以下、「AWG(Arbitrary Waveform Generat
or)」という)11および出力信号処理部12を備えて
構成されている。一方、試験対象であるLSI2は、入
力端子I1〜I7、電子ボリュームV1〜V7、加算器
21および出力端子22を備えて構成されている。そし
て、テスタ1のAWG11の出力端子とLSI2が備え
る入力端子I1〜I7とが、DUTボード3によって接
続されるようになっている。
【0013】テスタ1内のAWG11は、相互に周波数
が異なる複数の正弦波を合成した信号であるマルチトー
ン信号を生成して出力する。なお、本実施形態において
は、AWG11は、周波数がそれぞれf1、f2、f
3、f4、f5、f6およびf7である7つの正弦波信
号を合成したマルチトーン信号を生成して出力するもの
とする。
が異なる複数の正弦波を合成した信号であるマルチトー
ン信号を生成して出力する。なお、本実施形態において
は、AWG11は、周波数がそれぞれf1、f2、f
3、f4、f5、f6およびf7である7つの正弦波信
号を合成したマルチトーン信号を生成して出力するもの
とする。
【0014】DUTボード3は内部に7つの帯域フィル
タ(BPF)F1〜F7を備えている。これらの各帯域
フィルタF1〜F7は、テスタ1のAWG11から供給
されるマルチトーン信号に含まれる正弦波信号のうち、
予め設定された範囲内にある周波数を有する正弦波信号
のみを通過させるものである。
タ(BPF)F1〜F7を備えている。これらの各帯域
フィルタF1〜F7は、テスタ1のAWG11から供給
されるマルチトーン信号に含まれる正弦波信号のうち、
予め設定された範囲内にある周波数を有する正弦波信号
のみを通過させるものである。
【0015】ここで、各帯域フィルタF1〜F7の帯域
幅は、相互に重複する部分が生じないように予め設定さ
れている。さらに、本実施形態においては、各帯域フィ
ルタF1〜F7の帯域幅の中心値が、それぞれ上述した
周波数f1〜f7と概ね一致するようになっている。こ
れらの各帯域フィルタF1〜F7の出力端子は、試験対
象であるLSI2内の複数の入力端子I1〜I7にそれ
ぞれ接続される。
幅は、相互に重複する部分が生じないように予め設定さ
れている。さらに、本実施形態においては、各帯域フィ
ルタF1〜F7の帯域幅の中心値が、それぞれ上述した
周波数f1〜f7と概ね一致するようになっている。こ
れらの各帯域フィルタF1〜F7の出力端子は、試験対
象であるLSI2内の複数の入力端子I1〜I7にそれ
ぞれ接続される。
【0016】一方、LSI2内の電子ボリュームV1〜
V7は、各入力端子I1〜I7に接続されている。そし
て、電子ボリュームV1〜V7は、DUTボード3から
各入力端子I1〜I7を介して入力された正弦波信号
を、図示しない制御部からの制御信号に応じて増幅して
出力する。加算器21は、これらの電子ボリュームV1
〜V7からの出力信号を加算して出力する。加算器21
からの出力信号は、出力端子22を介してテスタ1の出
力信号処理部12に供給される。
V7は、各入力端子I1〜I7に接続されている。そし
て、電子ボリュームV1〜V7は、DUTボード3から
各入力端子I1〜I7を介して入力された正弦波信号
を、図示しない制御部からの制御信号に応じて増幅して
出力する。加算器21は、これらの電子ボリュームV1
〜V7からの出力信号を加算して出力する。加算器21
からの出力信号は、出力端子22を介してテスタ1の出
力信号処理部12に供給される。
【0017】次に、出力信号処理部12は、LSI2か
ら出力された信号の処理を行うための手段であり、デジ
タイザ121とFFT処理部122とを備えて構成され
ている。デジタイザ121は、LSI2からの出力信号
(アナログ信号)をディジタル信号に変換して出力する
ための手段である。FFT処理部122は、デジタイザ
121の出力信号に対してFFTを施すための手段であ
る。
ら出力された信号の処理を行うための手段であり、デジ
タイザ121とFFT処理部122とを備えて構成され
ている。デジタイザ121は、LSI2からの出力信号
(アナログ信号)をディジタル信号に変換して出力する
ための手段である。FFT処理部122は、デジタイザ
121の出力信号に対してFFTを施すための手段であ
る。
【0018】B:実施形態の動作 次に、本実施形態におけるテスタ1によるLSI2の試
験のための動作を説明する。テスタ1に対して試験開始
の指示が与えられると、テスタ1内のAWG11は、そ
れぞれ周波数が異なる7つの正弦波信号(周波数f1〜
f7)を合成して、マルチトーン信号を生成し、DUT
ボード3に出力する。DUTボード3内の各帯域フィル
タF1〜F7は、供給されたマルチトーン信号に含まれ
る正弦波信号であって、各帯域フィルタF1〜F7毎に
異なるように予め設定された帯域幅内にある周波数を有
する正弦波信号のみを通過させる。
験のための動作を説明する。テスタ1に対して試験開始
の指示が与えられると、テスタ1内のAWG11は、そ
れぞれ周波数が異なる7つの正弦波信号(周波数f1〜
f7)を合成して、マルチトーン信号を生成し、DUT
ボード3に出力する。DUTボード3内の各帯域フィル
タF1〜F7は、供給されたマルチトーン信号に含まれ
る正弦波信号であって、各帯域フィルタF1〜F7毎に
異なるように予め設定された帯域幅内にある周波数を有
する正弦波信号のみを通過させる。
【0019】そして、このようにして各帯域フィルタF
1〜F7から出力された各正弦波信号は、LSI2の各
々対応する入力端子I1〜I7を介して各電子ボリュー
ムV1〜V7に供給される。各電子ボリュームV1〜V
7は、これらの各正弦波信号に対し、図示しない制御部
によって指示される増幅を施し、出力する。各電子ボリ
ュームV1〜V7からの出力信号は、LSI2内の加算
器21によって加算された後、出力端子22を介して出
力信号処理部12に出力される。
1〜F7から出力された各正弦波信号は、LSI2の各
々対応する入力端子I1〜I7を介して各電子ボリュー
ムV1〜V7に供給される。各電子ボリュームV1〜V
7は、これらの各正弦波信号に対し、図示しない制御部
によって指示される増幅を施し、出力する。各電子ボリ
ュームV1〜V7からの出力信号は、LSI2内の加算
器21によって加算された後、出力端子22を介して出
力信号処理部12に出力される。
【0020】出力信号処理部12内のデジタイザ121
は、受け取った信号をディジタル信号に変換してFFT
処理部122に出力する。FFT処理部122は、この
ディジタル信号に対してFFTを施し、LSI2の出力
端子22からの出力信号に含まれる周波数f1〜f7の
基本波成分、および各基本波成分に対応した各高調波成
分、ならびにノイズ成分を求め、これらの各成分の解析
を行う。そして、この解析により、LSI2に含まれる
電子ボリュームV1〜V7の利得、直線性および単調増
加性、ならびに測定経路(すなわち、各入力端子I1〜
I7から出力端子に22至るまでの経路)全体の全高調
波ひずみ率、ダイナミックレンジおよびSN比等を求め
る。例えば、周波数がfk、振幅がAkである正弦波信
号を含んだマルチトーン信号が入力された結果、出力信
号に含まれる正弦波信号のうち、周波数がfkである正
弦波信号の振幅がakとなった場合、電子ボリュームV
kの利得は、「ak/Ak」に基づいて決定される。ま
た、全高調波ひずみ率は、例えば、出力信号に含まれる
周波数f1の基本波成分の振幅をa1、この基本波成分
に対応した各高調波成分およびノイズ成分の振幅をA
1、A2、A3、…、とすると、 ((Σ(An2))1/2)/a1 によって求められる。
は、受け取った信号をディジタル信号に変換してFFT
処理部122に出力する。FFT処理部122は、この
ディジタル信号に対してFFTを施し、LSI2の出力
端子22からの出力信号に含まれる周波数f1〜f7の
基本波成分、および各基本波成分に対応した各高調波成
分、ならびにノイズ成分を求め、これらの各成分の解析
を行う。そして、この解析により、LSI2に含まれる
電子ボリュームV1〜V7の利得、直線性および単調増
加性、ならびに測定経路(すなわち、各入力端子I1〜
I7から出力端子に22至るまでの経路)全体の全高調
波ひずみ率、ダイナミックレンジおよびSN比等を求め
る。例えば、周波数がfk、振幅がAkである正弦波信
号を含んだマルチトーン信号が入力された結果、出力信
号に含まれる正弦波信号のうち、周波数がfkである正
弦波信号の振幅がakとなった場合、電子ボリュームV
kの利得は、「ak/Ak」に基づいて決定される。ま
た、全高調波ひずみ率は、例えば、出力信号に含まれる
周波数f1の基本波成分の振幅をa1、この基本波成分
に対応した各高調波成分およびノイズ成分の振幅をA
1、A2、A3、…、とすると、 ((Σ(An2))1/2)/a1 によって求められる。
【0021】このように、本実施形態に係る回路試験装
置によれば、試験対象であるLSIの全ての入力端子に
対して同時に試験のための正弦波信号を入力することが
できるから、従来の試験装置(前掲図5(a)に示した
手法)と比較して、試験に要する時間を短縮することが
できる。
置によれば、試験対象であるLSIの全ての入力端子に
対して同時に試験のための正弦波信号を入力することが
できるから、従来の試験装置(前掲図5(a)に示した
手法)と比較して、試験に要する時間を短縮することが
できる。
【0022】また、各入力端子に供給される正弦波信号
を発生するための装置を、試験対象であるLSI2の入
力端子の数だけ設ける必要がないため、回路試験装置の
製造コストを低減することができる。
を発生するための装置を、試験対象であるLSI2の入
力端子の数だけ設ける必要がないため、回路試験装置の
製造コストを低減することができる。
【0023】C:変形例 以上この発明の一実施形態について説明したが、上記実
施形態はあくまでも例示であり、上記実施形態に対して
は、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加
えることができる。変形例としては、例えば以下のよう
なものが考えられる。
施形態はあくまでも例示であり、上記実施形態に対して
は、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加
えることができる。変形例としては、例えば以下のよう
なものが考えられる。
【0024】<変形例1>上記実施形態においては、7
つの入力端子と1つの出力端子とを備えたLSI2の特
性試験を行う場合を例に説明したが、試験対象であるL
SI2の構成は、これに限られるものではないことはも
ちろんである。
つの入力端子と1つの出力端子とを備えたLSI2の特
性試験を行う場合を例に説明したが、試験対象であるL
SI2の構成は、これに限られるものではないことはも
ちろんである。
【0025】図2は、n個の入力端子とn個の出力端子
とを備えたLSI2’の特性を試験を行うためのテスタ
1およびDUTボード3の構成を示すブロック図であ
る。なお、図2に示す各部のうち、前掲図1に示した各
部と同一の部分については同一の符号を付してその説明
を省略する。
とを備えたLSI2’の特性を試験を行うためのテスタ
1およびDUTボード3の構成を示すブロック図であ
る。なお、図2に示す各部のうち、前掲図1に示した各
部と同一の部分については同一の符号を付してその説明
を省略する。
【0026】図2に示すように、本変形例においては、
DUTボード3に、LSI2’に設けられた入力端子の
数に対応したn個の帯域フィルタFk(k=1〜n)が
内蔵された構成となっており、各帯域フィルタFkは、
それぞれ周波数fk(k=1〜n)の正弦波信号のみを
通過させるように、その帯域幅が設定されている。さら
に、出力信号処理部12内のデジタイザ121の前段
に、加算器123が設けられた構成となっている。
DUTボード3に、LSI2’に設けられた入力端子の
数に対応したn個の帯域フィルタFk(k=1〜n)が
内蔵された構成となっており、各帯域フィルタFkは、
それぞれ周波数fk(k=1〜n)の正弦波信号のみを
通過させるように、その帯域幅が設定されている。さら
に、出力信号処理部12内のデジタイザ121の前段
に、加算器123が設けられた構成となっている。
【0027】このような構成において、テスタ1のAW
G11は、それぞれ周波数の異なるn種類の正弦波信号
を合成して得られるマルチトーン信号を生成してDUT
ボード3に出力する。DUTボード3に内蔵された各帯
域フィルタFk(k=1〜n)は、このマルチトーン信
号に含まれる正弦波信号のうちのいずれかの周波数を有
する正弦波信号を通過させる。そして、これらの帯域フ
ィルタFkを通過した各正弦波信号は、LSI2’内の
対応する各入力端子Ik、電子ボリュームVkおよび出
力端子O1〜Onを介して出力信号処理部12に出力さ
れる。出力信号処理部内の加算器123は、各出力端子
から出力された正弦波信号を加算して、デジタイザ12
1に出力する。以後の動作は、上記実施形態と同様であ
る。このようにすれば、試験対象であるLSI2が備え
る入力端子および出力端子の個数に関わらず、該LSI
2’の特性試験のために本発明に係る回路試験装置を用
いることができる。
G11は、それぞれ周波数の異なるn種類の正弦波信号
を合成して得られるマルチトーン信号を生成してDUT
ボード3に出力する。DUTボード3に内蔵された各帯
域フィルタFk(k=1〜n)は、このマルチトーン信
号に含まれる正弦波信号のうちのいずれかの周波数を有
する正弦波信号を通過させる。そして、これらの帯域フ
ィルタFkを通過した各正弦波信号は、LSI2’内の
対応する各入力端子Ik、電子ボリュームVkおよび出
力端子O1〜Onを介して出力信号処理部12に出力さ
れる。出力信号処理部内の加算器123は、各出力端子
から出力された正弦波信号を加算して、デジタイザ12
1に出力する。以後の動作は、上記実施形態と同様であ
る。このようにすれば、試験対象であるLSI2が備え
る入力端子および出力端子の個数に関わらず、該LSI
2’の特性試験のために本発明に係る回路試験装置を用
いることができる。
【0028】<変形例2>上記実施形態においては、テ
スタ1のAWG11によって生成されたマルチトーン信
号を、複数の帯域フィルタF1〜F7によってフィルタ
リングする構成としたが、マルチトーン信号をフィルタ
リングするためのフィルタは、帯域フィルタに限られる
ものでないことはもちろんである。例えば、3つの入力
端子を備えたLSI2の特性試験を行う場合には、3つ
の帯域フィルタを設けるのではなく、例えば、図3
(a)に示すように、高域フィルタ200、帯域フィル
タ201および低域フィルタ202をそれぞれ設け、こ
れらの各フィルタが、マルチトーン信号に含まれる正弦
波信号のうちのいずれか1つの正弦波信号のみを通過さ
せるようにしてもよい。このようにしても、上記第1の
実施形態と同様の効果が得られる。
スタ1のAWG11によって生成されたマルチトーン信
号を、複数の帯域フィルタF1〜F7によってフィルタ
リングする構成としたが、マルチトーン信号をフィルタ
リングするためのフィルタは、帯域フィルタに限られる
ものでないことはもちろんである。例えば、3つの入力
端子を備えたLSI2の特性試験を行う場合には、3つ
の帯域フィルタを設けるのではなく、例えば、図3
(a)に示すように、高域フィルタ200、帯域フィル
タ201および低域フィルタ202をそれぞれ設け、こ
れらの各フィルタが、マルチトーン信号に含まれる正弦
波信号のうちのいずれか1つの正弦波信号のみを通過さ
せるようにしてもよい。このようにしても、上記第1の
実施形態と同様の効果が得られる。
【0029】また、試験対象であるLSI2が2つの入
力端子を備える場合には、例えば、高域フィルタ200
および減算器203を、図3(b)に示す態様で設け、
これにより、AWG11によって生成されるマルチトー
ン信号から、異なる周波数を有する2つの正弦波信号を
得る構成としてもよい。
力端子を備える場合には、例えば、高域フィルタ200
および減算器203を、図3(b)に示す態様で設け、
これにより、AWG11によって生成されるマルチトー
ン信号から、異なる周波数を有する2つの正弦波信号を
得る構成としてもよい。
【0030】<変形例3>上記実施形態においてDUT
ボード3に内蔵した複数の帯域フィルタF1〜F7(ま
たは、上記変形例2における高域フィルタまたは低域フ
ィルタ等)は、テスタ1内に設ける構成としてもよい。
そして、AWG11によって出力されるマルチトーン信
号をテスタ1内の各帯域フィルタに供給し、各帯域フィ
ルタを通過した信号をLSI2の各入力端子に供給す
る。このようにしても、上記実施形態と同様の効果が得
られる。
ボード3に内蔵した複数の帯域フィルタF1〜F7(ま
たは、上記変形例2における高域フィルタまたは低域フ
ィルタ等)は、テスタ1内に設ける構成としてもよい。
そして、AWG11によって出力されるマルチトーン信
号をテスタ1内の各帯域フィルタに供給し、各帯域フィ
ルタを通過した信号をLSI2の各入力端子に供給す
る。このようにしても、上記実施形態と同様の効果が得
られる。
【0031】<変形例4>上記実施形態においては、L
SIの各入力端子に正弦波信号を入力し、出力端子から
の出力信号を出力信号処理部において解析することによ
り、LSIの各入力端子から出力端子に至るまでの経路
についての特性を試験するようにしたが、LSIに内蔵
された各構成要素毎の特性を試験するようにしてもよ
い。すなわち、LSI内の各構成要素、例えば個々の電
子ボリュームの入力端子に、BPFからの正弦波信号を
入力するための試験用入力端子を設けるとともに、電子
ボリュームの出力端子に、電子ボリュームからの出力信
号を出力信号処理部に供給するための試験用出力端子を
設けるようにしてもよい。このようにすれば、他の構成
要素や測定経路の特性の影響を受けない、各構成要素毎
の特性を試験することができる。
SIの各入力端子に正弦波信号を入力し、出力端子から
の出力信号を出力信号処理部において解析することによ
り、LSIの各入力端子から出力端子に至るまでの経路
についての特性を試験するようにしたが、LSIに内蔵
された各構成要素毎の特性を試験するようにしてもよ
い。すなわち、LSI内の各構成要素、例えば個々の電
子ボリュームの入力端子に、BPFからの正弦波信号を
入力するための試験用入力端子を設けるとともに、電子
ボリュームの出力端子に、電子ボリュームからの出力信
号を出力信号処理部に供給するための試験用出力端子を
設けるようにしてもよい。このようにすれば、他の構成
要素や測定経路の特性の影響を受けない、各構成要素毎
の特性を試験することができる。
【0032】<変形例5>また、上記実施形態において
は、複数の電子ボリュームが設けられたLSIの特性試
験を行う場合を例に説明したが、試験対象であるLSI
内部の構成はこれに限られるものではない。例えば、D
/AコンバータやA/Dコンバータ、または、MPUや
DSP等が設けられたディジタルLSIの特性試験にも
本発明を適用することができる。
は、複数の電子ボリュームが設けられたLSIの特性試
験を行う場合を例に説明したが、試験対象であるLSI
内部の構成はこれに限られるものではない。例えば、D
/AコンバータやA/Dコンバータ、または、MPUや
DSP等が設けられたディジタルLSIの特性試験にも
本発明を適用することができる。
【0033】図4は、ディジタルLSI2’の特性試験
を行うためのテスタ1’およびDUTボード3’の構成
を示すブロック図である。なお、図4において、前掲図
1に示した各部と同様の部分については、図1と同様の
符号を付してその説明を省略する。
を行うためのテスタ1’およびDUTボード3’の構成
を示すブロック図である。なお、図4において、前掲図
1に示した各部と同様の部分については、図1と同様の
符号を付してその説明を省略する。
【0034】図4において、テスタ1’内のAWG1
1’は、各々周波数f1〜fnを有する複数のディジタ
ル信号を発生し、これらの信号を合成して出力する手段
である。DUTボード3’内には、各々通過帯域の中心
周波数がf1〜fnである複数のディジタル帯域フィル
タF1’〜Fn’が設けられており、AWG11’の出
力信号が、各ディジタル帯域フィルタF1’〜Fn’に
供給される。また、ディジタルLSI2’は、例えばデ
ィジタルミキサを含んて構成されており、ディジタル信
号を入力するための複数の入力端子I1’〜In’が設
けられている。そして、これらの各入力端子I1’〜I
n’には、上記各ディジタル帯域フィルタF1’〜F
n’を通過したディジタル信号がそれぞれ供給される。
すなわち、周波数f1〜fnを有する正弦波ディジタル
信号が、各入力端子I1’〜In’に供給される。
1’は、各々周波数f1〜fnを有する複数のディジタ
ル信号を発生し、これらの信号を合成して出力する手段
である。DUTボード3’内には、各々通過帯域の中心
周波数がf1〜fnである複数のディジタル帯域フィル
タF1’〜Fn’が設けられており、AWG11’の出
力信号が、各ディジタル帯域フィルタF1’〜Fn’に
供給される。また、ディジタルLSI2’は、例えばデ
ィジタルミキサを含んて構成されており、ディジタル信
号を入力するための複数の入力端子I1’〜In’が設
けられている。そして、これらの各入力端子I1’〜I
n’には、上記各ディジタル帯域フィルタF1’〜F
n’を通過したディジタル信号がそれぞれ供給される。
すなわち、周波数f1〜fnを有する正弦波ディジタル
信号が、各入力端子I1’〜In’に供給される。
【0035】出力信号処理部12’内のFFT処理部1
22は、上記ディジタルLSI2’の出力信号に対して
FFTを施し、出力信号に含まれる基本波成分f1〜f
n、およびこれらの各基本波成分に対応した各高調波成
分2f1、3f1、…、2f2、3f2、…、2fn、
3fn、…、ならびにノイズ成分を求め、これらの各成
分を解析することによりディジタルLSI2’の各種特
性を求める。
22は、上記ディジタルLSI2’の出力信号に対して
FFTを施し、出力信号に含まれる基本波成分f1〜f
n、およびこれらの各基本波成分に対応した各高調波成
分2f1、3f1、…、2f2、3f2、…、2fn、
3fn、…、ならびにノイズ成分を求め、これらの各成
分を解析することによりディジタルLSI2’の各種特
性を求める。
【0036】このように、本発明は、電子ボリューム等
のアナログシステムを備えたLSIの特性試験だけでは
なく、DSPやMPU等のディジタルシステム、もしく
はD/AコンバータまたはA/Dコンバータ等を備えた
各種のLSIや、これらが混在した、いわゆるミックス
ド・シグナルLSIの特性試験にも適用することができ
る。
のアナログシステムを備えたLSIの特性試験だけでは
なく、DSPやMPU等のディジタルシステム、もしく
はD/AコンバータまたはA/Dコンバータ等を備えた
各種のLSIや、これらが混在した、いわゆるミックス
ド・シグナルLSIの特性試験にも適用することができ
る。
【0037】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
試験対象であるLSIが複数の入力端子を備える場合で
あっても、各入力端子に対して、異なる周波数を有する
正弦波信号を同時に入力することができるから、従来の
手法と比較して、試験に要する時間を短縮することがで
きる。
試験対象であるLSIが複数の入力端子を備える場合で
あっても、各入力端子に対して、異なる周波数を有する
正弦波信号を同時に入力することができるから、従来の
手法と比較して、試験に要する時間を短縮することがで
きる。
【0038】また、LSIが複数の入力端子を備える場
合であっても、各入力端子に正弦波信号を供給するため
の装置を入力端子の数と同数だけ設ける必要がないた
め、製造コストを低く抑えた回路試験装置によって、L
SIの特性試験を行うことができる。
合であっても、各入力端子に正弦波信号を供給するため
の装置を入力端子の数と同数だけ設ける必要がないた
め、製造コストを低く抑えた回路試験装置によって、L
SIの特性試験を行うことができる。
【図1】 本発明の一実施形態である回路試験装置を備
えたテスタおよび試験対象であるLSIの構成を示すブ
ロック図である。
えたテスタおよび試験対象であるLSIの構成を示すブ
ロック図である。
【図2】 同実施形態の変形例に係る回路試験装置の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図3】 同実施形態の変形例に係る回路試験装置の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図4】 同実施形態の変形例に係る回路試験装置の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図5】 従来のLSIの特性試験の手法を説明するた
めの図である。
めの図である。
1……テスタ(回路試験装置)、2,2’……LSI
(被試験装置)、3……DUTボード(信号供給手段、
回路試験用ボード)、11……任意波形発生器(信号生
成手段)、12……出力信号処理部、21……加算器、
22……出力端子、F1〜Fn、201……帯域フィル
タ(フィルタ)、I1〜In……入力端子、V1〜Vn
……電子ボリューム、121……デジタイザ、122…
…FFT処理部、123……加算器、200……高域フ
ィルタ、202……低域フィルタ、203……減算器、
300……任意波形発生器、301……テスタ、302
……リレー、303……LSI。
(被試験装置)、3……DUTボード(信号供給手段、
回路試験用ボード)、11……任意波形発生器(信号生
成手段)、12……出力信号処理部、21……加算器、
22……出力端子、F1〜Fn、201……帯域フィル
タ(フィルタ)、I1〜In……入力端子、V1〜Vn
……電子ボリューム、121……デジタイザ、122…
…FFT処理部、123……加算器、200……高域フ
ィルタ、202……低域フィルタ、203……減算器、
300……任意波形発生器、301……テスタ、302
……リレー、303……LSI。
Claims (3)
- 【請求項1】 各々周波数が異なる2以上の信号を含む
マルチトーン信号を生成して出力する信号生成手段と、 前記信号生成手段によって出力されるマルチトーン信号
に含まれる前記各信号を、被試験装置に設けられた2以
上の入力端子のそれぞれに供給する信号供給手段とを具
備することを特徴とする回路試験装置。 - 【請求項2】 前記信号供給手段は、各々異なる周波数
の信号を通過させる2以上のフィルタを有し、前記信号
生成手段によって出力されるマルチトーン信号を前記2
以上のフィルタにそれぞれ供給するとともに、前記各フ
ィルタを通過した信号を、前記被試験装置に設けられた
2以上の入力端子のそれぞれに供給することを特徴とす
る請求項1に記載の回路試験装置。 - 【請求項3】 各々周波数が異なる2以上の信号を含む
マルチトーン信号を生成して出力する信号生成手段を具
備する回路試験装置により、2以上の入力端子を有する
被試験装置の試験を行う回路試験方法において、 前記回路試験装置の出力端子から出力された前記マルチ
トーン信号から各々異なる周波数の信号を選択し、前記
被試験装置の2以上の入力端子に各々供給する複数のフ
ィルタを有する回路試験用ボードを用いて、前記回路試
験装置と前記被試験装置との接続を行い、前記回路試験
装置の信号生成手段から前記回路試験用ボードの各フィ
ルタにマルチトーン信号を供給し、これに応答して該被
試験装置から出力される信号を解析することにより該被
試験装置の試験を行うことを特徴とする回路試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11140687A JP2000329826A (ja) | 1999-05-20 | 1999-05-20 | 回路試験装置および回路試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11140687A JP2000329826A (ja) | 1999-05-20 | 1999-05-20 | 回路試験装置および回路試験方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000329826A true JP2000329826A (ja) | 2000-11-30 |
Family
ID=15274429
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11140687A Pending JP2000329826A (ja) | 1999-05-20 | 1999-05-20 | 回路試験装置および回路試験方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000329826A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015111807A1 (ko) * | 2014-01-21 | 2015-07-30 | 주식회사 씨엔케이테크놀로지스 | 무선 통신 장비의 테스트 장치 |
EP3736582A1 (en) * | 2019-05-08 | 2020-11-11 | Hamilton Sundstrand Corporation | Frequency-based built-in-test for discrete output signals |
-
1999
- 1999-05-20 JP JP11140687A patent/JP2000329826A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015111807A1 (ko) * | 2014-01-21 | 2015-07-30 | 주식회사 씨엔케이테크놀로지스 | 무선 통신 장비의 테스트 장치 |
KR101553597B1 (ko) * | 2014-01-21 | 2015-09-17 | 주식회사 씨엔케이테크놀로지스 | 다수 주파수 대역 무선 통신 장비의 테스트 장치 |
EP3736582A1 (en) * | 2019-05-08 | 2020-11-11 | Hamilton Sundstrand Corporation | Frequency-based built-in-test for discrete output signals |
US11353496B2 (en) | 2019-05-08 | 2022-06-07 | Hamilton Sundstrand Corporation | Frequency-based built-in-test for discrete outputs |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4755807B2 (ja) | 測定デバイス、特に個別のオシレータを伴うベクトル・ネットワーク・アナライザ | |
US6737881B2 (en) | Apparatus for testing integrated circuits having an integrated unit for testing digital and analog signals | |
JP5248723B2 (ja) | 多出力任意波形発生器及びミクスドlsiテスタ | |
JP2008286699A (ja) | 信号入出力装置、試験装置および電子デバイス | |
JP2000329826A (ja) | 回路試験装置および回路試験方法 | |
JP3129970U (ja) | 回路試験装置 | |
JP4720696B2 (ja) | 信号測定装置 | |
JP2009236759A (ja) | 試験装置 | |
JP2005538354A (ja) | 合成rf検出システムおよび方法 | |
JP3990041B2 (ja) | 半導体デバイス試験装置 | |
Kobayashi et al. | The influence of non-audible high frequency noise on the playback sound of audio equipment | |
JP2004108840A (ja) | 半導体試験装置 | |
RU2302074C2 (ru) | Способ частотной коррекции и автоматическое устройство для его реализации | |
JP2010164396A (ja) | 任意波形発生装置及び試験装置 | |
JP3555679B2 (ja) | Icテスタ | |
JP4207107B2 (ja) | Icテスタ | |
JPH06167547A (ja) | マルチチャンネルオーディオ用lsiテスタ | |
CN115333647A (zh) | 电子设备的测试系统及测试方法 | |
KR20010082783A (ko) | 반도체 소자의 멀티테스트 방법 | |
JPH0441845B2 (ja) | ||
Binns et al. | Generating, capturing and processing supply current signatures from analogue macros in mixed-signal ASICs | |
JPH06311034A (ja) | Ad変換器の試験装置 | |
JP2009100131A (ja) | 任意波形発生装置 | |
JPH02100429A (ja) | 電気回路の評価検討装置 | |
JP2000065903A (ja) | アナログ回路内蔵集積回路のテスト装置及びアナログ回路内蔵集積回路並びにアナログ回路内蔵集積回路のテスト方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080122 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080520 |