JP2000326184A - 製造管理装置および情報記憶媒体 - Google Patents

製造管理装置および情報記憶媒体

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JP2000326184A
JP2000326184A JP13999599A JP13999599A JP2000326184A JP 2000326184 A JP2000326184 A JP 2000326184A JP 13999599 A JP13999599 A JP 13999599A JP 13999599 A JP13999599 A JP 13999599A JP 2000326184 A JP2000326184 A JP 2000326184A
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Keiichi Enomoto
恵一 榎本
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    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造管理における実施状況や、処置結果を速
やかに把握することのできる製造管理装置および情報記
憶媒体を提供すること。 【解決手段】 製造状況に基づき入力された管理データ
を加工して、ユーザーの選択に基づき所定の画像として
選択的に表示する製造管理装置において、ユーザーに前
記管理データに対する所定の処置対象を選択させるため
の選択用画像を所定の形式で表示できるように生成する
ためのアクションシートツリー生成部１３と、前記選択
に基づく確認変更用画像の少なくとも一部であるアクシ
ョンシートを生成するためのアクションシート生成部１
４とを有する画像生成部１０と、前記確認変更用画像の
表示によってユーザーにより入力されるアクションシー
トデータを、所定の記憶領域に記憶するためのデータ入
出力部５０とを含んで製造管理装置を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、製造管理、特に、
製造分野における品質管理における製造管理装置および
情報記憶媒体に関する。
【０００２】
【背景技術および発明が解決しようとする課題】一般に
品質管理等の管理活動においては、計画（Ｐｌａｎ）、
実施（Ｄｏ）、確認（Ｃｈｅｃｋ）、処置（Ａｃｔｉｏ
ｎ）の各活動が繰り返される。
【０００３】したがって、製造管理を行う場合も、この
ようなＰＤＣＡサイクルに沿った管理が行いやすいよう
にする必要がある。
【０００４】しかし、従来の製造管理装置は、特定の工
程や特定の装置にのみ着目したり、現場の担当者のみが
状況を把握したり、計画、実施の活動にのみ着目してお
り、工場全体の状況を管理者が把握するための支援機能
や、確認、処置の活動のための支援機能が無いものであ
った。
【０００５】このため、管理者が工場全体の状況を短時
間で把握したり、実施状況を確認したり、処置結果を把
握したりすることは困難な状況にあった。
【０００６】本発明は、上記の課題に鑑みなされたもの
であり、その目的は、製造管理における実施状況や、処
置結果を速やかに把握することのできる製造管理装置お
よび情報記憶媒体を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係る製造管理装置は、製造状況に基づく管
理データが入力され、ユーザーの選択により前記管理デ
ータを所定の画像として選択的に表示する製造管理装置
において、ユーザーに前記管理データにおける所定の処
置対象を選択させるための選択用画像を所定の形式で表
示できるように生成するための処置対象選択用画像生成
手段と、選択された処置対象における処置図データの確
認変更用画像を生成するための処置図データ確認変更用
画像生成手段とを有する画像生成手段を含むことを特徴
とする。
【０００８】また、本発明に係る情報記憶媒体は、製造
状況に基づく管理データが入力され、ユーザーの選択に
より前記管理データを所定の画像として選択的に表示す
るための情報を記憶したコンピュータ読み取り可能な情
報記憶媒体において、前記情報は、ユーザーに前記管理
データにおける所定の処置対象を選択させるための選択
用画像を所定の形式で表示できるように生成するための
処置対象選択用画像生成手段と、選択された処置対象に
おける処置図データの確認変更用画像を生成するための
処置図データ確認変更用画像生成手段とを有する画像生
成手段を実現するための情報を含むことを特徴とする。
【０００９】これらの発明によれば、例えばユーザーで
ある管理者は、管理データに対する処置対象を選択して
処置図データを表示させることができ、処置の内容等を
確認することができる。
【００１０】また、前記製造管理装置は、所定の入力手
段を用いてユーザーにより入力される前記処置図データ
を、所定の記憶領域に記憶し、記憶された処置図データ
を読み出すための制御手段を含み、前記処置図データ確
認変更用画像生成手段は、読み出された処置図データに
基づき前記確認変更用画像を生成することが好ましい。
【００１１】また、前記情報記憶媒体は、所定の入力手
段を用いてユーザーにより入力される前記処置図データ
を、所定の記憶領域に記憶し、記憶された処置図データ
を読み出すための制御手段を実現するための情報を含
み、前記処置図データ確認変更用画像生成手段は、読み
出された処置図データに基づき前記確認変更用画像を生
成することが好ましい。
【００１２】これによれば、ユーザーは、処置図データ
に処置の内容等を入力することにより処置図データが記
憶される。
【００１３】この処置図データが読み出されることによ
り、ユーザーである管理者は処置対象に対してどのよう
な処置を行ったか確認することができる。これにより、
例えば、処置を評価したり、処置が適切でなかった場合
は対策を行ったり、処置がよかった場合は標準化を行う
ことができる。
【００１４】このような支援機能を付加することによ
り、処置を把握しやすい製造管理装置等を実現できる。
【００１５】また、前記処置図データは、処置の内容を
示す処置内容データを含み、前記処置図データ確認変更
用画像生成手段は、ユーザーが前記処置内容データを、
前記入力手段を用いて入力可能な確認変更用画像を生成
することが好ましい。
【００１６】これによれば、ユーザーは、処置の内容を
入力することができる。入力された処置内容データは記
憶領域に記憶され、読み出されることにより、ユーザー
は、どのような処置を行ったか即座に把握することがで
きる。
【００１７】ここで、処置内容データとしては、例え
ば、変更、調整、清掃等を示すデータが該当する。
【００１８】特に、同一の処置対象に対する処置内容デ
ータを繰り返し入力することにより、処置の履歴をとる
ことも可能になる。
【００１９】また、前記処置図データは、処置の実施状
態を示す処置実施状態データを含み、前記処置図データ
確認変更用画像生成手段は、ユーザーが前記処置実施状
態データを、前記入力手段を用いて入力可能な確認変更
用画像を生成することが好ましい。
【００２０】これによれば、ユーザーは、処置の実施状
態を入力することができる。入力された処置実施状態デ
ータは記憶領域に記憶され、読み出されることにより、
ユーザーは、処置がどのような状態か即座に把握するこ
とができる。
【００２１】ここで、処置実施状態データとしては、例
えば、未実施、実施中、保留、中断、中止、実施済み等
を示すデータが該当する。
【００２２】また、前記処置図データは、処置の結果を
示す処置結果データを含み、前記処置図データ確認変更
用画像生成手段は、ユーザーが前記処置結果データを、
前記入力手段を用いて入力可能な確認変更用画像を生成
することが好ましい。
【００２３】これによれば、ユーザーは、処置の結果を
入力することができる。入力された処置結果データは記
憶領域に記憶され、読み出されることにより、ユーザー
は、処置の結果を即座に把握することができる。
【００２４】ここで、処置結果データとしては、例え
ば、数量、処理時間等の定量的なデータだけでなく、よ
い、悪い等の定性的なデータも該当する。
【００２５】また、前記処置図データは、処置の効果を
示す処置効果データを含み、前記処置図データ確認変更
用画像生成手段は、ユーザーが前記処置効果データを、
前記入力手段を用いて入力可能な確認変更用画像を生成
することが好ましい。
【００２６】これによれば、ユーザーは、処置の効果を
入力することができる。入力された処置効果データは記
憶領域に記憶され、読み出されることにより、ユーザー
は、処置の効果を即座に把握することができる。
【００２７】ここで、処置効果データとしては、例え
ば、効果あり、効果なしのような簡略化されたデータだ
けでなく、不良率の低減、納期の短縮等の詳細なデータ
も該当する。
【００２８】また、本発明に係る他の製造管理装置は、
製造状況に基づく管理データが入力され、ユーザーの選
択により前記管理データを製造状況の改善のための画像
として選択的に表示する製造管理装置において、ユーザ
ーに前記管理データにおける所定の改善対象を選択させ
るための選択用画像を所定の形式で表示できるように生
成するための改善対象選択用画像生成手段と、選択され
た改善対象に対する改善図データの確認変更用画像を生
成するための改善図データ確認変更用画像生成手段とを
有する画像生成手段を含むことを特徴とする。
【００２９】また、本発明に係る他の情報記憶媒体は、
製造状況に基づく管理データが入力され、ユーザーの選
択により前記管理データを製造状況の改善のための画像
として選択的に表示するための情報を記憶したコンピュ
ータ読み取り可能な情報記憶媒体において、前記情報
は、ユーザーに前記管理データにおける所定の改善対象
を選択させるための選択用画像を所定の形式で表示でき
るように生成するための改善対象選択用画像生成手段
と、選択された改善対象に対する改善図データの確認変
更用画像を生成するための改善図データ確認変更用画像
生成手段とを有する画像生成手段を実現するための情報
を含むことを特徴とする。
【００３０】一般に、製造管理には、日常的に行われる
維持管理活動と、それよりさらに高い製造能力を目指す
改善活動とがある。
【００３１】これらの発明によれば、例えばユーザーで
ある管理者は、管理データに対する改善対象を選択して
改善図データを表示させることができ、改善の内容等を
確認することができる。
【００３２】また、前記製造管理装置は、所定の入力手
段を用いてユーザーにより入力される改善図データを、
所定の記憶領域に記憶し、記憶された改善図データを読
み出すための制御手段を含み、前記改善図データ確認変
更用画像生成手段は、読み出された改善図データに基づ
き前記確認変更用画像を生成することが好ましい。
【００３３】また、前記情報記憶媒体は、所定の入力手
段を用いてユーザーにより入力される改善図データを、
所定の記憶領域に記憶し、記憶された改善図データを読
み出すための制御手段を実現するための情報を含み、前
記改善図データ確認変更用画像生成手段は、読み出され
た改善図データに基づき前記確認変更用画像を生成する
むことが好ましい。
【００３４】これによれば、ユーザーは、改善図データ
に改善の内容等を入力することにより改善図データが記
憶される。
【００３５】この改善図データが読み出されることによ
り、ユーザーである管理者は改善対象に対してどのよう
な改善を行ったか確認することができる。これにより、
例えば、改善活動を評価したり、改善活動が適切でなか
った場合は対策を行ったり、改善活動がよかった場合は
標準化を行うことができる。
【００３６】このような支援機能を付加することによ
り、改善内容等を把握しやすい製造管理装置等を実現で
きる。
【００３７】また、前記改善図データは、改善の内容を
示す改善内容データを含み、前記改善図データ確認変更
用画像生成手段は、ユーザーが前記改善内容データを、
前記入力手段を用いて入力可能な確認変更用画像を生成
することが好ましい。
【００３８】これによれば、ユーザーは、改善内容を入
力することができる。入力された改善内容データは記憶
領域に記憶され、読み出されることにより、ユーザー
は、どのような改善を行ったか即座に把握することがで
きる。
【００３９】ここで、改善内容データとしては、例え
ば、変更、調整、清掃等を示すデータが該当する。
【００４０】特に、同一の改善対象に対する改善内容を
繰り返し入力することにより、改善の履歴をとることも
可能になる。
【００４１】また、前記改善図データは、改善の実施状
態を示す改善実施状態データを含み、前記改善図データ
確認変更用画像生成手段は、ユーザーが前記改善実施状
態データを、前記入力手段を用いて入力可能な確認変更
用画像を生成することが好ましい。
【００４２】これによれば、ユーザーは、改善の実施状
態を入力することができる。入力された改善実施状態デ
ータは記憶領域に記憶され、読み出されることにより、
ユーザーは、改善がどのような状態か即座に把握するこ
とができる。
【００４３】ここで、改善実施状態データとしては、例
えば、未実施、実施中、保留、中断、中止、実施済み等
を示すデータが該当する。
【００４４】また、前記改善図データは、改善の結果を
示す改善結果データを含み、前記改善図データ確認変更
用画像生成手段は、ユーザーが前記改善結果データを、
前記入力手段を用いて入力可能な確認変更用画像を生成
することが好ましい。
【００４５】これによれば、ユーザーは、改善の結果を
入力することができる。入力された改善結果データは記
憶領域に記憶され、読み出されることにより、ユーザー
は、改善の結果を即座に把握することができる。
【００４６】ここで、改善結果データとしては、例え
ば、数量、処理時間等の定量的なデータだけでなく、よ
い、悪い等の定性的なデータも該当する。
【００４７】また、前記改善図データは、改善の効果を
示す改善効果データを含み、前記改善図データ確認変更
用画像生成手段は、ユーザーが前記改善効果データを、
前記入力手段を用いて入力可能な確認変更用画像を生成
することが好ましい。
【００４８】これによれば、ユーザーは、改善の効果を
入力することができる。入力された改善効果データは記
憶領域に記憶され、読み出されることにより、ユーザー
は、改善の効果を即座に把握することができる。
【００４９】ここで、改善効果データとしては、例え
ば、効果あり、効果なしのような簡略化されたデータだ
けでなく、不良率の低減、納期の短縮等の詳細なデータ
も該当する。
【００５０】また、前記画像生成手段は、ユーザーに前
記管理データにおける所定の管理対象を選択させるため
の選択用画像を所定の形式で表示できるように生成する
ための管理対象選択用画像生成手段と、選択された管理
対象に対する管理図データの確認変更用画像を生成する
ための管理図データ確認変更用画像生成手段とを有する
画像生成手段を含むことが好ましい。
【００５１】これによれば、ユーザーは、所望の管理対
象についての管理図を確認することができる。管理図と
しては、通常用いられるＰ管理図や、Ｘｂａｒ−Ｒ管理
図等の各種の管理図が該当する。
【００５２】また、ユーザーは、管理図データを入力す
ることができるため、管理値等を容易に変更することが
できる。
【００５３】また、前記所定の形式は、木構造形式であ
ることが好ましい。
【００５４】これによれば、ユーザーに選択対象を選択
しやすくすることができる。
【００５５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した好適な実
施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００５６】図１は、本実施の形態の一例における製造
管理装置２０を含む製造管理システムの全体図である。
【００５７】製造管理システムは、複数の作業端末４０
と、製造管理装置２０とを含んで構成されている。
【００５８】作業端末４０は、演算等の各種処理を行う
処理部４４と、製造状況に基づく管理データ３２を入力
するための管理データ入力部４２と、入力された管理デ
ータ３２を製造管理装置２０へ向け送信するための送受
信部４８とを含んで構成されている。
【００５９】製造管理装置２０は、作業端末４０から送
られる管理データ３２を受信する送受信部２８と、管理
データ３２等を記憶するための記憶部３０と、製造状況
の品質管理を行うための管理部２２と、各種のデータを
入力するためのデータ入力部２４とを含んで構成されて
いる。
【００６０】すなわち、製造管理装置２０は、管理部２
２を用いて作業端末４０から管理データ３２を収集して
製造管理を行う。
【００６１】従来の製造管理装置は、上述したＰＤＣＡ
サイクルのうちＣＡ部分、つまり、チェックやアクショ
ンについての管理が行えなかったり、製造状況の一部の
みを把握するためのものであり、製造状況全体を把握す
るためのものではなかった。
【００６２】このため、管理者は製造管理対象に対する
アクションの内容や状況が把握しにくく、効率的な製造
管理が行えなかった。
【００６３】本実施の形態に係る製造管理装置２０は、
管理データ３２に加えて管理図を表示するための管理図
データ３４、アクションの内容や状況等を表示するため
のアクションシートデータ３６、改善の内容や状況等を
表示するための改善シートデータ３８を記憶部３０に記
憶する。これとともに、管理図、アクションシート、改
善シートを確認、変更できるように管理部２２を構成し
ている。
【００６４】図２は、本実施の形態の一例における管理
部２２の機能ブロック図である。
【００６５】管理部２２は、ユーザーが管理項目や、ア
クション等を選択し、アクションの内容、状況等を確
認、変更するための画像を生成する画像生成部１０と、
ユーザーの選択や入力に基づきデータの記憶部３０への
書き込みや読み取りを行う制御部５０とを含んで構成さ
れている。
【００６６】また、画像生成部１０は、ユーザーに管理
項目を選択させるための選択用画像を木構造形式で表示
する管理図ツリーを生成する管理図ツリー生成部１１
と、ユーザーが管理図ツリーから選択した管理項目に対
する管理図の確認変更用画像を生成する管理図生成部１
２とを含む。
【００６７】また、画像生成部１０は、通常の維持管理
活動におけるアクションを行う対象を選択させるための
選択用画像を木構造形式で表示するアクションシートツ
リーを生成するアクションシートツリー生成部１３と、
選択した対象に対するアクションシートの確認変更用画
像を生成するアクションシート生成部１４とを含む。
【００６８】さらに、画像生成部１０は、維持管理活動
よりさらに高い製造能力を目指す段階での改善活動にお
いて、選択した改善の対象に対する改善シートの確認変
更用画像を生成する改善シート生成部１５を含む。
【００６９】これらによれば、例えば、ユーザーである
管理者は、管理データに対するアクションの対象を選択
して処置図データであるアクションシートを表示させる
ことができ、アクションの内容等を確認することができ
る。
【００７０】また、確認だけでなく、ユーザーは、デー
タ入力部２４を用いて、アクションシートにアクション
の内容等を入力することにより記憶部３０のアクション
シートデータ３６が更新される。
【００７１】このアクションシートデータ３６が制御部
５０によって読み出されることにより、ユーザーである
管理者は管理対象に対してどのようなアクションを行っ
たか確認することができる。これにより、例えば、アク
ションを評価したり、アクションが適切でなかった場合
は対策を行ったり、アクションがよかった場合は標準化
を行うことができる。
【００７２】このような支援機能を付加することによ
り、アクションや、改善等を把握しやすい製造管理装置
２０を実現できる。
【００７３】以下、一例として、半導体製造工場を例に
採り、本実施の形態に係る製造管理装置２０について具
体的に説明する。
【００７４】図３は、半導体製造工程の一部で用いられ
る装置を示す模式図である。
【００７５】ここでは、半導体製造工程のうち、組立、
検査工程を取り上げて説明する。図３に示すように、ウ
ェーハ製造等の上流工程から流れてきた所定のロット
は、ダイアタッチ装置１００でダイアタッチがなされ、
ワイヤーボンディング装置１１０でワイヤーボンディン
グがなされ、検査装置１２０で検査がなされた後、モー
ルド装置１４０でモールド成形がなされ、さらに下流工
程に流される。
【００７６】なお、ここで、ロットとは、材料、部品、
製品等の単位体または単位量を、ある目的（品質管理
等）をもって一定の量にまとめたものをいう。
【００７７】一般に、製造ラインには同一の処理を行う
複数の装置が存在する上、複数の処理を行う単一の装置
も存在する。例えば、図３に示すように、この製造ライ
ンには、３台のダイアタッチ装置１００−１〜３、２台
の第１のワイヤーボンディング装置１１０−１、２、第
１のワイヤーボンディング装置１１０とは異なる１台の
第２のワイヤーボンディング装置１１２、２台の検査装
置１２０−１、２、２台のモールド装置１４０―１、２
が存在する。
【００７８】また、複数の処理を行う単一の装置とし
て、ワイヤーボンディングと検査を行うワイヤーボンデ
ィング兼検査装置１３０が存在する。
【００７９】これらの各装置の構成や、工程順序はしば
しば変わるものである。例えば、製造状況を把握して品
質管理を行う管理者にとっては、製造状況をリアルタイ
ムに把握するとともに、ダイアタッチ装置１００等に不
具合があった場合にどのようなアクションや改善を行っ
たか即座に把握する必要がある。
【００８０】製造管理の段階としては、日常的に行われ
る維持管理段階と、維持管理段階の品質よりさらに高品
質な製造を行うための改善段階とがある。
【００８１】まず、維持管理段階における製造管理につ
いて説明し、次に、改善段階における製造管理について
説明する。
【００８２】図４は、維持管理段階における製造管理処
理の流れの一例を示すフローチャートである。
【００８３】まず、管理者は、製造管理装置２０の画面
に表示される管理図ツリーを確認する（ステップ２）。
【００８４】図５は、管理図ツリーの一例を示す図であ
る。
【００８５】管理図ツリーは、木構造形式であり、ユー
ザーが段階的に管理項目を選択できるようになってい
る。
【００８６】管理図ツリーの表示される管理図ツリー領
域２１０は、上位からＭＰ−００１等の製品分類、ダイ
アタッチ等の管理工程、ＤＡ＿１等の装置、不良率（Ｐ
管理図）等の管理項目の順に表示される。
【００８７】なお、図中、ＤＡはダイアタッチ装置１０
０の略で、ＡＷＢはワイヤーボンディング装置１１０、
１１２の略で、ＡＷＢ−ＴＳＴはワイヤーボンディング
兼検査装置１３０の略で、ＴＳＴは検査装置１２０の略
で、ＭＯＬＤはモールド装置１４０の略である。
【００８８】また、管理項目としては、例えば、不良
率、ギャップ寸法、ボンディング強度、温度、圧力等が
該当する。
【００８９】図６は、管理図ツリーと管理図を含む画面
の一例を示す図である。
【００９０】管理図ツリーの確認時（ステップ２）に表
示される画面２００は、管理図ツリー領域２１０と、管
理図ツリー領域２１０で選択された対象を示す選択対象
表示領域２２０と、選択対象の管理図を示す管理図領域
２２２と、管理図の管理レベル等を示す管理図データ領
域２３０とを含む。
【００９１】また、表示に際しては、オプションにより
表示内容を絞り込むことが可能であり、管理図ツリーオ
プション領域２４０と、表オプション領域２５０を設け
ている。
【００９２】例えば、管理図ツリーオプション領域２４
０で、黄と、赤と、未含むにチェックを入れ、ＯＫと、
全保留と、全発行済みのチェックを外すことにより、管
理図ツリー領域２１０には、未対応を含み、注意レベル
の項目と、要対策レベルの項目のみを表示することがで
きる。
【００９３】また、表オプション領域２５０についても
同様に絞り込んで管理図データ領域２３０に管理図デー
タを表示することができる。
【００９４】このように、絞り込んで表示することがで
きるため、ユーザーは所望の操作を行いやすい。また、
注意レベルの項目も表示することにより、要対策レベル
に近づきつつあることを確認することができ、問題発生
を事前に防止することができる。
【００９５】なお、赤または黄で、未対応または保留の
項目がない場合（ステップ４）には特に対策を行わな
い。
【００９６】赤または黄で、未対応または保留の項目が
ある場合（ステップ４）、管理者は不具合要因を推定す
る（ステップ６）。
【００９７】不具合要因の推定後、現在表示している管
理項目に対するアクションを行うために、アクションシ
ート発行ボタン２７０を押してアクションシートを表示
する。
【００９８】図７は、アクションシートツリーとアクシ
ョンシートを含む画面３００の一例を示す図である。
【００９９】画面３００には、選択シート表示領域３１
０と、アクションシートツリー領域３２０と、選択した
対象を示す選択対象表示領域３３０と、選択対象のアク
ションのデータを示すアクションシートデータ領域３３
２が表示される。
【０１００】また、画面３００には、アクションシート
ツリー領域３２０の表示形式を選択するための表示ツリ
ー種類選択領域３５０も表示される。
【０１０１】表示ツリー種類としては、ターゲットアイ
テム別に表示するものと、結果４Ｍ別に表示するものと
がある。なお、結果４Ｍとは、品質管理において用いら
れるいわゆる４Ｍであり、Ｍａｔｅｒｉａｌ（材料）、
Ｍａｃｈｉｎｅ（設備・機械）、Ｍａｎ（作業者）、Ｍ
ｅｔｈｏｄ（製造方法）をいう。
【０１０２】図７に示す表示ツリー種類選択領域３５０
では、結果４Ｍ別に表示する選択がされ、アクションシ
ート領域３２０には結果４Ｍ別に表示されている。
【０１０３】また、画面３００には、アクションシート
データ領域３３２に表示されるアクションシートデータ
を絞り込むための表示オプションを選択するための表示
オプション領域３６０が設けられている。
【０１０４】ユーザーは、表示オプション領域３６０に
設けられたアイドル、実施中、中断、終了、保留、効果
有り、効果無し、未判定、非アイデア、アイデアの中か
ら所望のオプションを選択することができる。
【０１０５】例えば、実施中、中断、保留、未判定を選
択することにより、アクションシートデータ領域３３２
には、アクションの実施状態が実施中、中断、保留のも
のであって、未判定のものを表示することができる。
【０１０６】このように、アクションシートデータ領域
３３２には、アクションに対する種々のデータを表示で
きる。
【０１０７】具体的には、アクションシートデータ（処
置図データ）は、アクションの内容を示す処置内容デー
タ、アクションの実施状態を示すアクション実施状態デ
ータ、アクションの結果を示すアクション結果データ、
アクションの効果を示すアクション効果データ等を含
む。
【０１０８】また、ユーザーは、シートを開くボタン３
７０を押すことにより、アクションシートデータの編集
画面が表示されアクションシートデータを編集（変更）
できる。
【０１０９】ユーザーは、編集画面において、アクショ
ンシートデータにアクションの対象、アクション指示内
容等を、データ入力部２４を用いて入力する（ステップ
８）。
【０１１０】さらに、アクションシートデータの発行を
行うことにより（ステップ１０）、入力されたデータ
は、制御部５０により記憶部３０に書き込まれ、アクシ
ョンシートデータ３６が更新される。
【０１１１】アクションシートデータ３６が更新される
ことにより、管理図ツリーおよびアクションシートツリ
ーも更新される（ステップ１２）。
【０１１２】次に、ユーザーは、編集画面において、ア
クションを実施し、実施内容をアクションシートデータ
に記録する（ステップ１４）。
【０１１３】ここで、実施内容であるアクション内容デ
ータとしては、例えば、変更、調整、清掃等を示すデー
タが該当する。
【０１１４】これによれば、ユーザーは、アクションの
内容を入力することができる。入力されたアクション内
容データは記憶部３０に記憶され、制御部５０により読
み出されることにより、ユーザーは、どのようなアクシ
ョンを行ったか即座に把握することができる。
【０１１５】特に、同一のアクション対象に対するアク
ション内容データを繰り返し入力することにより、アク
ションの履歴をとることも可能になる。
【０１１６】また、同様に、アクション実施状態データ
も記録する。ここで、アクション実施状態データとして
は、例えば、未実施、実施中、保留、中断、中止、実施
済み等を示すデータが該当する。
【０１１７】これによれば、ユーザーは、アクションの
実施状態を入力することができる。入力されたアクショ
ン実施状態データは記憶部３０に記憶され、制御部５０
により読み出されることにより、ユーザーは、アクショ
ンがどのような状態か即座に把握することができる。
【０１１８】次に、ユーザーは、編集画面において、ア
クションシートデータにアクションの結果、結果の詳細
を入力する（ステップ１６）。
【０１１９】入力されたアクション結果データは記憶部
３０に記憶され、制御部５０により読み出されることに
より、ユーザーは、処置の結果を即座に把握することが
できる。
【０１２０】ここで、アクション結果データとしては、
例えば、数量、処理時間等の定量的なデータだけでな
く、よい、悪い等の定性的なデータも該当する。
【０１２１】また、結果の詳細としては、次に、ユーザ
ーは、アクションシートデータに関連ドキュメント（関
連文書）を入力する（ステップ１８）。
【０１２２】これによれば、関連文書を入力することに
より、より多様な品質管理を行うことができる。なお、
関連文書の入力（ステップ１８）は必須ではない。
【０１２３】次に、ユーザーは、アクションシートデー
タに効果の有無を入力する（ステップ２０）。
【０１２４】入力されたアクション効果データは記憶部
３０に記憶され、制御部５０により読み出されることに
より、ユーザーは、アクションの効果を即座に把握する
ことができる。
【０１２５】ここで、アクション効果データとしては、
例えば、効果あり、効果なしのような簡略化されたデー
タだけでなく、不良率の低減、納期の短縮等の詳細なデ
ータも該当する。
【０１２６】ユーザーは、効果の有無の入力（ステップ
２０）を終えると再び管理図ツリーの確認（ステップ
２）から効果の有無の入力（ステップ２０）までの動作
を繰り返し行う。
【０１２７】以上のように、ユーザーは、維持管理段階
におけるアクション（処置）の内容、実施状態、結果、
効果等を即座に把握でき、より効率的な製造管理を行え
る。
【０１２８】次に、改善段階における製造管理について
説明する。
【０１２９】図８は、改善段階における製造管理処理の
流れの一例を示すフローチャートである。
【０１３０】改善段階における製造管理処理は、日常管
理における製造管理処理とほぼ同様である。
【０１３１】まず、ユーザーは、事業ニーズ、職場ニー
ズによる改善の必要がある工程、装置、管理特性を特定
する（ステップ３２）。
【０１３２】次に、ユーザーは、図６に示す画面２００
で、管理図ツリー、管理図で現状を確認する（ステップ
３４）。
【０１３３】そして、管理図等に基づきユーザーは改善
方法を検討する（ステップ３６）。
【０１３４】画面２００でユーザーが改善シート発行ボ
タン２６０を押すことにより、図７に示すアクションシ
ートデータ等を示す画面３００とほぼ同様の改善シート
データ等を示す画面が表示される。
【０１３５】上述したアクションシートデータの場合と
同様に、ユーザーは、編集画面において、改善シートデ
ータに改善対象、改善アクション指示内容を入力し（ス
テップ３８）、改善シートを発行する（ステップ４
０）。
【０１３６】改善シート発行により、記憶部４０の改善
シートデータ３８は更新される。
【０１３７】改善シートデータ３８の更新により、アク
ションシートツリーも更新される（ステップ４２）。
【０１３８】次に、ユーザーは、改善を実施し、実施状
況や実施内容を改善シートデータに記録する（ステップ
４４）。
【０１３９】次に、ユーザーは、改善の結果や結果詳細
を改善シートデータに記録する（ステップ４６）。
【０１４０】次に、ユーザーは、当該改善に関連する関
連ドキュメントを改善シートデータに記録する（ステッ
プ４８）。
【０１４１】最後に、ユーザーは、改善の効果の有無を
改善シートデータに記録する（ステップ５０）。
【０１４２】このように、ユーザーは、改善段階におい
ても、維持管理段階と同様に、改善の対象、内容、実施
状況、結果、効果等を即座に確認することができる。
【０１４３】以上、本実施の形態に係る製造管理装置に
ついて説明してきたが、このような製造管理を行うため
の情報を記憶した情報記憶媒体を用いて製造管理を行う
ことも可能である。
【０１４４】例えば、図１に示すように、製造状況に基
づく管理データ３４が入力され、ユーザーの選択により
管理データ３４を所定の画像として選択的に表示するた
めの情報を記憶したコンピュータ読み取り可能な情報記
憶媒体２６を適用する。
【０１４５】ここで、前記情報は、ユーザーに前記管理
データにおける所定の処置対象を選択させるための選択
用画像を所定の形式で表示できるように生成するための
処置対象選択用画像生成手段と、選択された処置対象に
おける処置図データの確認変更用画像を生成するための
処置図データ確認変更用画像生成手段とを有する画像生
成手段を実現するための情報を含む。
【０１４６】これによれば、例えばユーザーである管理
者は、管理データに対する処置対象を選択して処置図デ
ータ（アクションシートデータ）を表示させることがで
き、処置（アクション）の内容等を確認することができ
る。
【０１４７】なお、情報記憶媒体２６にホスト等から前
記情報を読み込んで実現することも本実施形態（本発
明）に含まれる。
【０１４８】上述した他の手段を実現するための情報を
含めることにより、情報記憶媒体２６は上述した製造管
理装置２０と同様の作用効果を奏する。
【０１４９】なお、製造管理装置２０等において用いら
れるハードウェアとしては、以下のものを適用すること
ができる。
【０１５０】例えば、送受信部２８、４８としては、Ｌ
ＡＮボード等、制御部５０、処理部４４としては、ＣＰ
Ｕ等、データ入力部２４、管理データ入力部４２として
は、キーボード等、記憶部３０としては、ＲＡＭ、ハー
ドディスク等、画像生成部１０としては、画像処理プロ
セッサ等を適用できる。
【０１５１】また、情報記憶媒体２６としては、例え
ば、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等
を適用できる。
【０１５２】以上、本実施形態に係る製造管理装置２０
等について説明してきたが、本発明は上述した実施例に
限定されるものではなく、各種の変形例に対しても適用
できる。
【０１５３】例えば、上述した実施例は半導体の製造工
程を例にしたが、半導体以外の製造管理に対しても適用
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態の一例における製造管理装置を含
む製造管理システムの全体図である。
【図２】本実施の形態の一例における管理部の機能ブロ
ック図である。
【図３】半導体製造工程の一部で用いられる装置を示す
模式図である。
【図４】維持管理段階における製造管理処理の流れの一
例を示すフローチャートである。
【図５】管理図ツリーの一例を示す図である。
【図６】管理図ツリーと管理図を含む画面の一例を示す
図である。
【図７】アクションシートツリーとアクションシートを
含む画面の一例を示す図である。
【図８】改善段階における製造管理処理の流れの一例を
示すフローチャートである。
【符号の説明】
１０ 画像生成部 １１ 管理図ツリー生成部 １２ 管理図生成部 １３ アクションシートツリー生成部 １４ アクションシート生成部 １５ 改善シート生成部 ２０ 製造管理装置 ２４ データ入力部 ２６ 情報記憶媒体 ３０ 記憶部 ３２ 管理データ ３４ 管理図データ ３６ アクションシートデータ ３８ 改善シートデータ ５０ 制御部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C042 RH01 RH05 RJ02 RJ20 5B049 BB07 CC21 CC23 DD01 DD05 EE07 FF03 FF04 FF09 GG04 GG07 5E501 AC02 AC35 BA01 BA05 CA02 DA17 EA05 EA10 EB05 EB11 FA03 FA07 5H215 AA06 BB09 BB12 CC07 CX06 GG09 HH03 JJ02 JJ14

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 製造状況に基づく管理データが入力さ
    れ、ユーザーの選択により前記管理データを所定の画像
    として選択的に表示する製造管理装置において、 ユーザーに前記管理データにおける所定の処置対象を選
    択させるための選択用画像を所定の形式で表示できるよ
    うに生成するための処置対象選択用画像生成手段と、選
    択された処置対象における処置図データの確認変更用画
    像を生成するための処置図データ確認変更用画像生成手
    段とを有する画像生成手段を含むことを特徴とする製造
    管理装置。
  2. 【請求項２】 請求項１において、 所定の入力手段を用いてユーザーにより入力される前記
    処置図データを、所定の記憶領域に記憶し、記憶された
    処置図データを読み出すための制御手段を含み、 前記処置図データ確認変更用画像生成手段は、読み出さ
    れた処置図データに基づき前記確認変更用画像を生成す
    ることを特徴とする製造管理装置。
  3. 【請求項３】 請求項１、２のいずれかにおいて、 前記処置図データは、処置の内容を示す処置内容データ
    を含み、 前記処置図データ確認変更用画像生成手段は、ユーザー
    が前記処置内容データを、前記入力手段を用いて入力可
    能な確認変更用画像を生成することを特徴とする製造管
    理装置。
  4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかにおいて、 前記処置図データは、処置の実施状態を示す処置実施状
    態データを含み、 前記処置図データ確認変更用画像生成手段は、ユーザー
    が前記処置実施状態データを、前記入力手段を用いて入
    力可能な確認変更用画像を生成することを特徴とする製
    造管理装置。
  5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかにおいて、 前記処置図データは、処置の結果を示す処置結果データ
    を含み、 前記処置図データ確認変更用画像生成手段は、ユーザー
    が前記処置結果データを、前記入力手段を用いて入力可
    能な確認変更用画像を生成することを特徴とする製造管
    理装置。
  6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかにおいて、 前記処置図データは、処置の効果を示す処置効果データ
    を含み、 前記処置図データ確認変更用画像生成手段は、ユーザー
    が前記処置効果データを、前記入力手段を用いて入力可
    能な確認変更用画像を生成することを特徴とする製造管
    理装置。
  7. 【請求項７】 製造状況に基づく管理データが入力さ
    れ、ユーザーの選択により前記管理データを製造状況の
    改善のための画像として選択的に表示する製造管理装置
    において、 ユーザーに前記管理データにおける所定の改善対象を選
    択させるための選択用画像を所定の形式で表示できるよ
    うに生成するための改善対象選択用画像生成手段と、選
    択された改善対象に対する改善図データの確認変更用画
    像を生成するための改善図データ確認変更用画像生成手
    段とを有する画像生成手段を含むことを特徴とする製造
    管理装置。
  8. 【請求項８】 請求項１〜７のいずれかにおいて、 前記画像生成手段は、 ユーザーに前記管理データにおける所定の管理対象を選
    択させるための選択用画像を所定の形式で表示できるよ
    うに生成するための管理対象選択用画像生成手段と、 選択された管理対象に対する管理図データの確認変更用
    画像を生成するための管理図データ確認変更用画像生成
    手段とを有する画像生成手段を含むことを特徴とする製
    造管理装置。
  9. 【請求項９】 製造状況に基づく管理データが入力さ
    れ、ユーザーの選択により前記管理データを所定の画像
    として選択的に表示するための情報を記憶したコンピュ
    ータ読み取り可能な情報記憶媒体において、 前記情報は、 ユーザーに前記管理データにおける所定の処置対象を選
    択させるための選択用画像を所定の形式で表示できるよ
    うに生成するための処置対象選択用画像生成手段と、選
    択された処置対象における処置図データの確認変更用画
    像を生成するための処置図データ確認変更用画像生成手
    段とを有する画像生成手段を実現するための情報を含
    み、 前記処置図データ確認変更用画像生成手段は、読み出さ
    れた処置図データに基づき前記確認変更用画像を生成す
    ることを特徴とする情報記憶媒体。
  10. 【請求項１０】 請求項９において、 所定の入力手段を用いてユーザーにより入力される前記
    処置図データを、所定の記憶領域に記憶し、記憶された
    処置図データを読み出すための制御手段を実現するため
    の情報を含むことを特徴とする情報記憶媒体。
  11. 【請求項１１】 請求項９、１０のいずれかにおいて、 前記処置図データは、処置の内容を示す処置内容データ
    を含み、 前記処置図データ確認変更用画像生成手段は、ユーザー
    が前記処置内容データを、前記入力手段を用いて入力可
    能な確認変更用画像を生成することを特徴とする情報記
    憶媒体。
  12. 【請求項１２】 請求項９〜１１のいずれかにおいて、 前記処置図データは、処置の実施状態を示す処置実施状
    態データを含み、 前記処置図データ確認変更用画像生成手段は、ユーザー
    が前記処置実施状態データを、前記入力手段を用いて入
    力可能な確認変更用画像を生成することを特徴とする情
    報記憶媒体。
  13. 【請求項１３】 請求項９〜１２のいずれかにおいて、 前記処置図データは、処置の結果を示す処置結果データ
    を含み、 前記処置図データ確認変更用画像生成手段は、ユーザー
    が前記処置結果データを、前記入力手段を用いて入力可
    能な確認変更用画像を生成することを特徴とする情報記
    憶媒体。
  14. 【請求項１４】 請求項９〜１３のいずれかにおいて、 前記処置図データは、処置の効果を示す処置効果データ
    を含み、 前記処置図データ確認変更用画像生成手段は、ユーザー
    が前記処置効果データを、前記入力手段を用いて入力可
    能な確認変更用画像を生成することを特徴とする情報記
    憶媒体。
  15. 【請求項１５】 製造状況に基づく管理データが入力さ
    れ、ユーザーの選択により前記管理データを製造状況の
    改善のための画像として選択的に表示するための情報を
    記憶したコンピュータ読み取り可能な情報記憶媒体にお
    いて、 前記情報は、 ユーザーに前記管理データにおける所定の改善対象を選
    択させるための選択用画像を所定の形式で表示できるよ
    うに生成するための改善対象選択用画像生成手段と、選
    択された改善対象に対する改善図データの確認変更用画
    像を生成するための改善図データ確認変更用画像生成手
    段とを有する画像生成手段を実現するための情報を含む
    ことを特徴とする情報記憶媒体。
  16. 【請求項１６】 請求項９〜１５のいずれかにおいて、 前記画像生成手段は、 ユーザーに前記管理データにおける所定の管理対象を選
    択させるための選択用画像を所定の形式で表示できるよ
    うに生成するための管理対象選択用画像生成手段と、 選択された管理対象に対する管理図データの確認変更用
    画像を生成するための管理図データ確認変更用画像生成
    手段とを有する画像生成手段を含むことを特徴とする情
    報記憶媒体。
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