JP2000323047A - プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 金属補助電極の異物の発生や誘電体層の変色
を防止することのできるプラズマディスプレイパネル及
びその製造方法を提供する。 【解決手段】 金属補助電極３を被覆するように保護膜
を有していることから、金属補助電極３が誘電体と接触
することがなく、金属補助電極３に泡状の異物が発生し
たり、誘電体層が変色することがない。従って、必要な
駆動電圧を確実に印加できると共に、誘電体層の透明度
悪化による輝度低下を引き起こすこともない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス放電を利用し
た表示を行うプラズマディスプレイパネル及びその製造
方法に関するものである。

【０００２】プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤ
Ｐ）は、壁掛け可能な薄型の表示装置として注目されて
おり、近年はテレビジョンとしての用途へも拡大してい
る。このようなＰＤＰにおいては、輝度やコントラスト
を向上させること等による高表示品質化が要望されてい
る。

【０００３】

【従来の技術】まず、基本的な構造をＡＣ駆動の面放電
型ＰＤＰを例に説明する。図５は、ＡＣ駆動の面放電型
ＰＤＰの分解斜視図である。図５に示すようにＰＤＰ３
０は、マトリクス表示の単位発光領域ＥＵに一対のＸ，
Ｙからなる表示電極３４とアドレス電極４４とが対応す
る３電極構造を有している。

【０００４】この表示ラインを形成する面放電のための
一対のＸ，Ｙからなる表示電極３４は、放電空間４５に
対して表示面Ｈ側、つまり前面ガラス基板３１上に設け
られており、表示光の遮光を最小限にするためにネサ膜
やＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜等からなる透明電極３
２とその導電性を補う低抵抗化のための金属補助電極３
３とを積層した構成とされている。

【０００５】また、その表示電極３４上は、壁電荷を利
用してガス放電を維持するＡＣ駆動のための誘電体層３
５によって放電空間に対して絶縁状態に被覆されてお
り、該誘電体層３５の表面には更に数千Å程度の厚さの
ＭｇＯからなる保護膜３６が設けられている。

【０００６】一方、単位発光領域ＥＵを選択的に発光さ
せるためのアドレス電極４４は、背面ガラス基板４１上
に前記一対のＸ，Ｙからなる表示電極３４と直交するよ
うに一定のピッチで配列され、各アドレス電極４４の間
には１００〜１５０μｍ程度の高さを有するストライプ
状の隔壁４２が設けられ、これによって放電空間４５が
ライン方向（表示電極３４の延長方向）に単位発光領域
ＥＵ毎に区画され、且つ放電空間４５の間隔寸法が規定
されている。更に、前記背面ガラス基板４１には、アド
レス電極４４の上面及び隔壁４２の側面を含めた背面側
の内面を被覆するように、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の３原色の蛍光体４３が設けられている。

【０００７】そしてこのような構成のＰＤＰ３０では、
各色の蛍光体４３は面放電時に放電空間４５内のガス放
電より放射される紫外線により励起されて発光し、Ｒ,
Ｇ,Ｂの組み合わせによるフルカラ−表示が可能であ
り、その表示に際して隔壁４２により単位発光領域ＥＵ
間のクロストークが防止されている。

【０００８】上述の如くＰＤＰ３０は、前面ガラス基板
３１と背面ガラス基板４１に対して個別に所定の構成要
素を設けた後、該前面ガラス基板３１と背面ガラス基板
４１とを対向配置して、その間隙の周囲を気密に封止し
て内部を一旦真空に排気すると共に、放電ガスを封入す
る一連の工程によって製造される。

【０００９】図６は、従来のＰＤＰを説明するための要
部断面図であり、図５と同一部分には同一符号を付して
いる。前面ガラス基板３１には、前述したように透明電
極３２及び金属補助電極３３が形成されているが、金属
補助電極３３は、電気的特性や下層の透明電極３２や上
層の誘電体層との密着性を良好にするためにクロム（Ｃ
ｒ）−銅（Ｃｕ）−クロム（Ｃｒ）の三層構造をなして
いる。一対の透明電極３２間は、表示のための放電を発
生させるための放電部３７となり、その反対側には非放
電部３８が配設されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図５に示す
誘電体層３５は、有機溶媒に溶解した低融点ガラスをス
クリーン印刷法で形成した後、有機溶媒を除去するため
にその低融点ガラス層を５００〜６００℃で焼成するこ
とにより形成している。この焼成時に金属補助電極３３
の中の酸化し易いＣｕと誘電体層３５とが反応を起こす
ことにより、金属補助電極３３内に泡状の異物が発生し
たり、誘電体層３５が変色したりする。

【００１１】金属補助電極３３内に発生する泡状の異物
によって、この金属補助電極３３に所定の駆動電圧を印
加できなかったり、変色によって誘電体層３５の透明度
が悪化して表示品質を劣化させることになる。本発明は
前記課題を解消するためになされるもので、金属補助電
極の異物の発生や誘電体層の変色を防止することのでき
るプラズマディスプレイパネル及びその製造方法の提供
を目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明に係るプラズマデ
ィスプレイパネルは、放電空間を挟んで少なくとも一方
が透明の一対の基板からなり、透明基板内面に透明電極
と金属補助電極とが積層された表示電極を有し、該表示
電極を被覆する誘電体層が形成されてなるプラズマディ
スプレイパネルにおいて、前記金属補助電極が前記誘電
体層の焼成工程時に両者の反応を防ぐ保護膜により覆わ
れているものである。このように本発明においては、金
属補助電極を被覆するように保護膜を有していることか
ら、金属補助電極が誘電体と接触することがなく、金属
補助電極に泡状の異物が発生したり、誘電体層が変色す
ることがない。従って、必要な駆動電圧を確実に印加で
きると共に、誘電体層の透明度悪化による輝度低下を引
き起こすこともない。

【００１３】また、本発明のプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法は、放電空間を挟んで少なくとも一方が透
明の一対の基板からなり、透明基板内面に透明電極と金
属補助電極とが積層された表示電極を有し、該表示電極
を被覆する誘電体層が形成されてなるプラズマディスプ
レイパネルの製造方法において、前記透明基板上に透明
電極及び金属補助電極を形成した後、全面に光を透過し
ない感光性レジストを塗布する第１の工程、前記金属補
助電極と前記透明電極間に配設される非放電部とに対向
する開口部又は遮光部を有するマスクを介して前記感光
レジストを部分的に感光させる第２の工程、露光した感
光性レジストを現像することにより、前記金属補助電極
と非放電部とを被覆する遮光膜を形成する第３の工程、
を順次実施するプロセスを含んでなるものである。

【００１４】このように本発明によれば、遮光性を有す
る感光性レジストを用いて所望の領域にパターンを形成
するため、コントラストを高めるために非放電部に形成
する遮光膜と同時に金属補助電極を被覆する膜を形成す
ることができる。従って、特に工程を増やすことなく金
属補助電極の異物の発生、誘電体層の変色を防止するこ
とができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】（本発明の第１の実施形態）以下
本発明の第１の実施形態を図１及び図２に基づいて説明
する。

【００１６】図１は本発明の第１の実施形態に係るプラ
ズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰと称する）の要部
断面図、図２は第１の実施形態に係るＰＤＰの製造方法
を説明するための工程図である。図１と図２いずれも本
発明の特徴部分である前面基板の要部のみを示してい
る。

【００１７】本実施形態のＰＤＰは、図１に示すよう
に、前面ガラス基板１上にＩＴＯからなる透明電極２と
クロム（Ｃｒ）−銅（Ｃｕ）−クロム（Ｃｒ）の三層構
造の金属補助電極３とが所定間隔で複数設けられてい
る。

【００１８】そして非放電部にコントラストを高めるた
めの遮光膜４が、金属補助電極３を覆う部分に図示しな
い誘電体層との反応を防止する保護膜５が設けられてい
る。この遮光膜４と保護膜とは、黒色顔料を含む感光性
レジストから構成されるものであり、同一工程にて形成
されている。詳細な製造工程については後述する。

【００１９】尚、遮光膜４が形成されていない透明電極
２間は放電部６であり、透明電極２と金属補助電極３と
に所定の電圧を印加することにより、表示に必要な放電
が発生する。この放電は透明電極２の間で発生するた
め、金属補助電極３が保護膜５で被覆されていることに
よる影響はない。

【００２０】このように本実施形態のＰＤＰによれば、
金属補助電極３が保護膜５により被覆保護されているこ
とから、図示しない誘電体層との反応による泡状の異物
が金属補助電極３のＣｕ層に発生することはない。ま
た、誘電体層が変色することもない。

【００２１】次に図１に示すＰＤＰの製造方法を図２に
より説明する。図２において図１と同一部分には同一符
号を付している。まず、図２（ａ）に示すように、前面
ガラス基板１上に透明電極２及び金属補助電極３を積層
状態で所定間隔毎に形成する。

【００２２】透明電極２は、前面ガラス基板１の略全面
に０．１μｍ程度のＩＴＯ膜をスパッタリングにより成
膜した後、エッチングによりパターニングして形成す
る。また金属補助電極３は、Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒを順にス
パッタリングにて成膜して、１μｍ程度の多層金属膜を
被着した後、各層毎に異なるエッチング液にてパターニ
ングすることで形成する。続いて図２（ｂ）に示すよう
に、透明電極２及び金属補助電極３を覆うように前面ガ
ラス基板１上に遮光材料層７をスクリーン印刷等の厚膜
技術により形成する。この遮光材料層７は、例えばマン
ガン（Ｍｎ）や鉄（Ｆｅ）系の酸化膜からなる黒色顔料
と感光性のバインダとを混合したペーストであり、遮光
性を有すると共に光反射率も低い。

【００２３】このように遮光材料層７を形成した後、図
２（ｃ）に示すように、所定の開口部を有する露光マス
ク８を設置した状態で、遮光材料層７に応じた波長の光
により露光を行なう。本実施形態の場合、ネガ型のレジ
ストを使用していることから膜を形成する部分が開口す
る露光マスクを用いる。最後に、現像処理を行なうこと
により露光されていない部分を除去して、図２（ｄ）に
示すように非放電部に遮光膜４を、金属補助電極３上に
保護膜５を同時に形成する。

【００２４】以上説明したとおり、本実施形態によれば
コントラストを高めるために非放電部に設ける遮光膜４
と同一の工程により、金属補助電極３と誘電体層との間
に介在して両者の反応を防止する保護膜５を形成するこ
とができる。従って、工数や使用する材料を増やすこと
なく特性の優れたＰＤＰを得ることが可能となる。

【００２５】（本発明の第２の実施形態）以下本発明の
第２の実施形態に係るＰＤＰを図３に基づいて説明す
る。図３は本発明の第２の実施形態に係るＰＤＰ要部断
面図である。

【００２６】本実施形態に係るＰＤＰにおいて第１の実
施形態と異なるのは、保護膜の構成である。つまり、図
３に示すように、前面ガラス基板１１上に設けられる透
明電極１２及び金属補助電極１３、更に遮光膜１４の構
成は、第１の実施形態と同様であり、金属補助電極１３
を覆う保護膜１５の形状が異なっている。

【００２７】金属補助電極１３は、第１の実施形態と同
様、Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒの三層構造をなしており、この金
属補助電極１３を形成した時点で、誘電体層との反応を
起こすＣｕ層は金属補助電極１３の側面に露出する状態
となっていることから、保護膜１５は少なくとも金属補
助電極１３の側面を被覆すれば良い。

【００２８】そこで本実施形態では、図３に示すように
金属補助電極１３のエッジ部及び側面のみを覆うような
形状とし、金属補助電極１３の最上層であるＣｒ層を露
出させて、誘電体層と接触する構成としている。Ｃｒ層
は誘電体層との反応を起こすことはなく、密着性にも優
れている。

【００２９】尚、遮光膜１４が形成されていない透明電
極１２間は放電部１６であり、透明電極１２と金属補助
電極１３とに所定の電圧を印加することにより、表示に
必要な放電が発生する。

【００３０】本実施形態に係るＰＤＰは、第１の実施形
態と同様な製造方法により得ることができる。つまり露
光工程で使用する露光マスクの開口部の形状を変更する
ことで図３の如く保護膜１５を形成することができる。
従って、第１の実施形態と同様、工数や使用する材料を
増やすことなく特性の優れたＰＤＰを得ることが可能で
ある。

【００３１】（本発明の第３の実施形態）以下本発明の
第３の実施形態に係るＰＤＰを図４に基づいて説明す
る。図４は本発明の第３の実施形態に係るＰＤＰ要部断
面図である。

【００３２】本実施形態に係るＰＤＰにおいて第１、第
２の実施形態と異なるのは、遮光膜と保護膜の構成であ
る。つまり、図４に示すように、前面ガラス基板２１上
に設けられる透明電極２２及び金属補助電極２３の構成
は、第１、第２の実施形態と同様であり、非放電部の遮
光膜と金属補助電極２３を覆う保護膜の形状が異なって
いる。尚、遮光膜２４が形成されていない透明電極２２
間は、第１、第２の実施形態と同様、放電部２６を構成
している。

【００３３】図４に示すように、本実施形態のＰＤＰ
は、非放電部に配設される遮光膜２４を金属補助電極２
３を覆う領域まで拡大して形成している。すなわちこの
遮光膜２４は、金属補助電極２３に対する保護膜の機能
を兼ねるものである。本実施形態の遮光膜２４は、透明
電極２２間にある非放電部の領域と金属補助電極１３の
領域とが連続するような開口部形状の露光マスクを使用
して露光を行なうことにより得ることができる。

【００３４】従って、露光マスクの開口部形状が簡単と
なり、細かいパターニングに比して精度良く遮光膜２４
を形成することが可能となる。但し、本実施形態におい
ては、隣接する透明電極２２及び金属補助電極２３が遮
光膜２４により接続される状態になることから、遮光膜
２４の材料としては、金属を含まない絶縁性のものを使
用する必要がある。

【００３５】以上説明した第１〜第３の実施形態におい
ては、金属補助電極として三層構造（Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃ
ｕ）の例を説明したが、誘電体層との相性の悪い他の金
属を用いる場合にも本発明は有効である。また、金属補
助電極に保護膜を被覆する本発明のＰＤＰの構成は、非
放電部に遮光膜を形成しないＰＤＰにおいても効果を有
する。

【００３６】

【発明の効果】以上のように本発明においては、金属補
助電極を被覆するように保護膜を有していることから、
金属補助電極が誘電体と接触することがなく、金属補助
電極に泡状の異物が発生したり、誘電体層が変色するこ
とがない。従って、必要な駆動電圧を確実に印加できる
と共に、誘電体層の透明度悪化による輝度低下を引き起
こすこともない。

【００３７】また、遮光性を有する感光性レジストを用
いて、コントラストを高めるために非放電部に形成する
遮光膜と同時に金属補助電極を被覆する保護膜を形成す
ることができる。従って、特に工程を増やすことなく金
属補助電極の異物の発生、誘電体層の変色を防止するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係るＰＤＰ要部断面
図である。

【図２】本発明の第１の実施形態に係るＰＤＰの製造方
法を説明するための工程図である。

【図３】本発明の第２の実施形態に係るＰＤＰ要部断面
図である。

【図４】本発明の第３の実施形態に係るＰＤＰ要部断面
図である。

【図５】面放電型ＰＤＰの構造を説明するための分解斜
視図である。

【図６】従来のＰＤＰを説明するための要部断面図であ
る。

【符号の説明】

１，１１，２１，３１ 前面ガラス基板 ２，１２，２２，３２ 透明電極 ３，１３，２３，３３ 金属補助電極 ４，１４，２４ 遮光膜 ５，１５，３６ 保護膜 ６，１６，２６，３７ 放電部 ７ 遮光材料層 ８ 露光マスク ３０ ＰＤＰ ３４ 表示電極 ３５ 誘電体層 ３８ 非放電部 ４１ 背面ガラス基板 ４２ 隔壁 ４３ 蛍光体 ４４ アドレス電極 ４５ 放電空間

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 放電空間を挟んで少なくとも一方が透明
   の一対の基板からなり、透明基板内面に透明電極と金属
   補助電極とが積層された表示電極を有し、該表示電極を
   被覆する誘電体層が形成されてなるプラズマディスプレ
   イパネルにおいて、 前記金属補助電極が前記誘電体層の焼成工程時に両者の
   反応を防ぐ保護膜により覆われていることを特徴とする
   プラズマディスプレイパネル。
2. 【請求項２】 前記金属補助電極は、クロム−銅−クロ
   ムが順次積層された多層構造であり、少なくとも銅の露
   出部と接触するように前記保護膜が被覆されていること
   を特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネ
   ル。
3. 【請求項３】 前記保護膜は、隣接する透明電極間の非
   放電部に形成される遮光膜と連続的に設けられているこ
   とを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパ
   ネル。
4. 【請求項４】 放電空間を挟んで少なくとも一方が透明
   の一対の基板からなり、透明基板内面に透明電極と金属
   補助電極とが積層された表示電極を有し、該表示電極を
   被覆する誘電体層が形成されてなるプラズマディスプレ
   イパネルの製造方法において、 前記透明基板上に透明電極及び金属補助電極を形成した
   後、全面に光を透過しない感光性レジストを塗布する第
   １の工程と、 前記金属補助電極と前記透明電極間に配設される非放電
   部とに対向する開口部又は遮光部を有するマスクを介し
   て前記感光レジストを部分的に感光させる第２の工程
   と、 露光した感光性レジストを現像することにより、前記金
   属補助電極と非放電部とを被覆する遮光膜を形成する第
   ３の工程を順次実施するプロセスを含んでなることを特
   徴とするプラズマディスプレパネルの製造方法。