JP2000320794A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
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- JP2000320794A JP2000320794A JP11132586A JP13258699A JP2000320794A JP 2000320794 A JP2000320794 A JP 2000320794A JP 11132586 A JP11132586 A JP 11132586A JP 13258699 A JP13258699 A JP 13258699A JP 2000320794 A JP2000320794 A JP 2000320794A
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- pod
- semiconductor manufacturing
- terminal
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 作業者が目視することができない側の扉に安
全確認をする人を置かなくても、作業者一人で安全を確
保しつつ作業を行えるようにする。 【解決手段】 正面扉３４及び背面扉３６に扉開閉スイ
ッチ５０及び５２を設け、扉の開閉状態を機構部用コン
トローラに入力する。機構部用コントローラには、調整
用ターミナル３８又は４０の接続ポート４２又は接続ポ
ート４４への接続状態も入力され、上記信号により、正
面扉３４及び背面扉３６が開いておりかつ調整用ターミ
ナル３８又は４０が接続されていない場合は、接続され
ていない側の機構部を停止状態にし、両扉３４及び３６
が閉まっており、どちらかの調整用ターミナル３８又は
４０が接続されている場合は全ての機構を作動可能とす
る。
全確認をする人を置かなくても、作業者一人で安全を確
保しつつ作業を行えるようにする。 【解決手段】 正面扉３４及び背面扉３６に扉開閉スイ
ッチ５０及び５２を設け、扉の開閉状態を機構部用コン
トローラに入力する。機構部用コントローラには、調整
用ターミナル３８又は４０の接続ポート４２又は接続ポ
ート４４への接続状態も入力され、上記信号により、正
面扉３４及び背面扉３６が開いておりかつ調整用ターミ
ナル３８又は４０が接続されていない場合は、接続され
ていない側の機構部を停止状態にし、両扉３４及び３６
が閉まっており、どちらかの調整用ターミナル３８又は
４０が接続されている場合は全ての機構を作動可能とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、一方の扉の位置
からでは他の扉の状態を目視できないような２カ所以上
の位置に扉を有し、それぞれの扉付近に機構動作を制御
する操作部を有する半導体製造装置に関する。
からでは他の扉の状態を目視できないような２カ所以上
の位置に扉を有し、それぞれの扉付近に機構動作を制御
する操作部を有する半導体製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の複数の扉を有する半導体製造装置
の構成及び機構の流れを図３、図４及び図５を用いて説
明する。 これらの図において、半導体製造装置の正面
側には、ウェハＰＯＤ１０の投入口であるＰＯＤステー
ジ１２があり、ＰＯＤステージ１２上に置かれたウェハ
ＰＯＤ１０は、Ｉ／Ｏシャッタ１４を通ってＰＯＤロー
ダ１６によりＰＯＤ棚１８に搬送される。ＰＯＤ棚１８
にストックされているウェハＰＯＤ１０は、ＰＯＤロー
ダ１６によりＰＯＤオープナ２０に搬送されて、ウェハ
ＰＯＤ１０の正面の蓋が開けられ、ウェハＰＯＤ１０内
のウェハ２２が、ウェハ移載機２４によりボート２６へ
移載される。ボート２６上のウェハ２２は、ボートエレ
ベータ２８により反応炉３０に挿入されて熱処理が行わ
れる。熱処理終了後、ウェハ２２は上記とは逆の流れで
装置外へ取り出される。
の構成及び機構の流れを図３、図４及び図５を用いて説
明する。 これらの図において、半導体製造装置の正面
側には、ウェハＰＯＤ１０の投入口であるＰＯＤステー
ジ１２があり、ＰＯＤステージ１２上に置かれたウェハ
ＰＯＤ１０は、Ｉ／Ｏシャッタ１４を通ってＰＯＤロー
ダ１６によりＰＯＤ棚１８に搬送される。ＰＯＤ棚１８
にストックされているウェハＰＯＤ１０は、ＰＯＤロー
ダ１６によりＰＯＤオープナ２０に搬送されて、ウェハ
ＰＯＤ１０の正面の蓋が開けられ、ウェハＰＯＤ１０内
のウェハ２２が、ウェハ移載機２４によりボート２６へ
移載される。ボート２６上のウェハ２２は、ボートエレ
ベータ２８により反応炉３０に挿入されて熱処理が行わ
れる。熱処理終了後、ウェハ２２は上記とは逆の流れで
装置外へ取り出される。
【０００３】上記搬送機構の位置決め調整作業を行う場
合、作業者３２又は３３は、装置の正面扉３４又は背面
扉３６から装置内に侵入し、調整用ターミナル３８又は
４０を正面扉３４及び背面扉３６付近に設けられている
ターミナル接続ポート４２又は４４に接続して調整作業
を行う。作業者３２又は３３は、正面側又は背面側のど
ちらか一方のターミナル接続ポート４２又は４４に調整
用ターミナル３８又は４０を接続することにより、全て
の機構を作動させることができる。
合、作業者３２又は３３は、装置の正面扉３４又は背面
扉３６から装置内に侵入し、調整用ターミナル３８又は
４０を正面扉３４及び背面扉３６付近に設けられている
ターミナル接続ポート４２又は４４に接続して調整作業
を行う。作業者３２又は３３は、正面側又は背面側のど
ちらか一方のターミナル接続ポート４２又は４４に調整
用ターミナル３８又は４０を接続することにより、全て
の機構を作動させることができる。
【０００４】それぞれの機構は、装置の構成上、ＰＯＤ
オープナ２０を境に、正面側にあるＰＯＤステージ１
２、Ｉ／Ｏシャッタ１４、ＰＯＤローダ１６及びＰＯＤ
棚１８の動作が正面扉３４側にいる作業者３２しか目視
できず、また、背面側にあるウェハ移載機２４及びボー
トエレベータ２８の動作は背面扉３６側にいる作業者３
３しか目視することができない。さらに、ＰＯＤオープ
ナ２０は、正面側及び背面側の両側から目視できる部分
と目視できない部分がある。
オープナ２０を境に、正面側にあるＰＯＤステージ１
２、Ｉ／Ｏシャッタ１４、ＰＯＤローダ１６及びＰＯＤ
棚１８の動作が正面扉３４側にいる作業者３２しか目視
できず、また、背面側にあるウェハ移載機２４及びボー
トエレベータ２８の動作は背面扉３６側にいる作業者３
３しか目視することができない。さらに、ＰＯＤオープ
ナ２０は、正面側及び背面側の両側から目視できる部分
と目視できない部分がある。
【０００５】次に、ＰＯＤローダ１６を例にとり位置決
め作業について説明する。ＰＯＤローダ１６は、ＰＯＤ
ステージ１２からＰＯＤ棚１８にウェハＰＯＤ１０を搬
送するが、ウェハＰＯＤ１０の置かれる位置は決められ
ており、作業者３２は、目視でウェハＰＯＤ１０を決め
られた位置までＰＯＤローダ１６により移動させてその
位置データを図示してない機構部用コントローラに記憶
させる。これと同様に各機構においても位置データを機
構部用コントローラに記憶させる。このような作業を位
置決め作業という。
め作業について説明する。ＰＯＤローダ１６は、ＰＯＤ
ステージ１２からＰＯＤ棚１８にウェハＰＯＤ１０を搬
送するが、ウェハＰＯＤ１０の置かれる位置は決められ
ており、作業者３２は、目視でウェハＰＯＤ１０を決め
られた位置までＰＯＤローダ１６により移動させてその
位置データを図示してない機構部用コントローラに記憶
させる。これと同様に各機構においても位置データを機
構部用コントローラに記憶させる。このような作業を位
置決め作業という。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のものでは、作業者３２又は３３は、正面側又は背面
側のどちらか一方のターミナル接続ポート４２又は４４
に調整用ターミナル３８又は４０を接続することによ
り、全ての機構を作動させることができるため、作業者
３２又は３３が目視することができない側の安全を確認
をするために、目視することができない側に作業者を置
く必要がある。
来のものでは、作業者３２又は３３は、正面側又は背面
側のどちらか一方のターミナル接続ポート４２又は４４
に調整用ターミナル３８又は４０を接続することによ
り、全ての機構を作動させることができるため、作業者
３２又は３３が目視することができない側の安全を確認
をするために、目視することができない側に作業者を置
く必要がある。
【０００７】この発明の目的は、このような従来の課題
を解決するためのものであり、目視できない側に作業者
を配置する必要がなく、且つ安全にメンテナンス作業を
行うことができる半導体製造装置を提供するにある。
を解決するためのものであり、目視できない側に作業者
を配置する必要がなく、且つ安全にメンテナンス作業を
行うことができる半導体製造装置を提供するにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、請求項１記載の発明は、一方の扉の位置からで
は他の扉の状態を目視できないような２カ所以上の位置
に扉を有し、それぞれの扉付近に機構動作を制御する操
作部が設けられている半導体製造装置であって、それぞ
れの扉の開閉状態により、作動可能な機構の範囲を制限
することができることを特徴とするものである。
ために、請求項１記載の発明は、一方の扉の位置からで
は他の扉の状態を目視できないような２カ所以上の位置
に扉を有し、それぞれの扉付近に機構動作を制御する操
作部が設けられている半導体製造装置であって、それぞ
れの扉の開閉状態により、作動可能な機構の範囲を制限
することができることを特徴とするものである。
【０００９】これにより、扉の開閉状態を作業者が任意
に変えることにより、作業者の望む範囲の機構を作動さ
せることができるので、安全確認のために複数の作業者
を置かなくても一人で作業することができる。
に変えることにより、作業者の望む範囲の機構を作動さ
せることができるので、安全確認のために複数の作業者
を置かなくても一人で作業することができる。
【００１０】また、請求項２記載の発明は、上記半導体
製造装置において、一方の扉付近の操作部の位置からで
は、他の扉付近の機構の動作を目視できない場合、他の
扉が開いている状態において、目視できない側の機構の
作動を停止状態にすることを特徴とするものである。
製造装置において、一方の扉付近の操作部の位置からで
は、他の扉付近の機構の動作を目視できない場合、他の
扉が開いている状態において、目視できない側の機構の
作動を停止状態にすることを特徴とするものである。
【００１１】これにより、作業者が目視できない位置の
扉が開いている場合は、作業者が目視できない側の機構
の作動が停止状態になるため、開いている扉から人が侵
入してきても機構が作動していないので安全を確保する
ことができる。
扉が開いている場合は、作業者が目視できない側の機構
の作動が停止状態になるため、開いている扉から人が侵
入してきても機構が作動していないので安全を確保する
ことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を用いて説明する。図１はこの発明の実施の形態にお
ける半導体製造装置の断面図である。図１において、以
下に説明する部分以外の構成は、従来技術と同じである
ため、ここでの説明を省略する。また、各機構の符号も
従来技術と同じものに関しては同じ符号を使用するもの
とする。
面を用いて説明する。図１はこの発明の実施の形態にお
ける半導体製造装置の断面図である。図１において、以
下に説明する部分以外の構成は、従来技術と同じである
ため、ここでの説明を省略する。また、各機構の符号も
従来技術と同じものに関しては同じ符号を使用するもの
とする。
【００１３】半導体製造装置１１において、正面扉３４
及び背面扉３６には、扉開閉スイッチ５０及び５２がそ
れぞれ設けられており、これらの信号が図示してない機
構部用コントローラに入力される。機構部用コントロー
ラには、調整用ターミナル３８又は４０（操作部）の接
続状態、すなわち調整用ターミナル３８又は４０が正面
側の接続ポート４２に接続されているのか、背面側の接
続ポート４４に接続されているのかを認識する信号も入
力され、機構部用コントローラは、正面扉３４及び背面
扉３６の開閉状態と調整用ターミナル３８又は４０の接
続状態の組合せにより作動可能な機構の範囲を図２に示
されるように規定する。
及び背面扉３６には、扉開閉スイッチ５０及び５２がそ
れぞれ設けられており、これらの信号が図示してない機
構部用コントローラに入力される。機構部用コントロー
ラには、調整用ターミナル３８又は４０（操作部）の接
続状態、すなわち調整用ターミナル３８又は４０が正面
側の接続ポート４２に接続されているのか、背面側の接
続ポート４４に接続されているのかを認識する信号も入
力され、機構部用コントローラは、正面扉３４及び背面
扉３６の開閉状態と調整用ターミナル３８又は４０の接
続状態の組合せにより作動可能な機構の範囲を図２に示
されるように規定する。
【００１４】次に、作業の流れを図２のＮｏ．１を例に
とり説明する。作業者３２が正面扉３４を開くと、機構
部用コントローラに正面扉が開いているという信号が入
力され、次に、作業者３２が調整用ターミナル３８をタ
ーミナル接続ポート４２に接続すると、正面側の調整用
ターミナル３８が接続されたという信号が機構部用コン
トローラに入力される。このとき、背面扉３６が開いて
いるため、機構部用コントローラにはこの信号も入力さ
れているが、背面側の調整用ターミナル４０が接続され
ていないため、正面側の機構、すなわち、ＰＯＤステー
ジ１２、Ｉ／Ｏシャッタ１４、ＰＯＤローダ１６及びＰ
ＯＤ棚１８及びＰＯＤオープナ２０のみが作動可能とな
る。
とり説明する。作業者３２が正面扉３４を開くと、機構
部用コントローラに正面扉が開いているという信号が入
力され、次に、作業者３２が調整用ターミナル３８をタ
ーミナル接続ポート４２に接続すると、正面側の調整用
ターミナル３８が接続されたという信号が機構部用コン
トローラに入力される。このとき、背面扉３６が開いて
いるため、機構部用コントローラにはこの信号も入力さ
れているが、背面側の調整用ターミナル４０が接続され
ていないため、正面側の機構、すなわち、ＰＯＤステー
ジ１２、Ｉ／Ｏシャッタ１４、ＰＯＤローダ１６及びＰ
ＯＤ棚１８及びＰＯＤオープナ２０のみが作動可能とな
る。
【００１５】このように、背面扉３６が開いていても調
整用ターミナル４０が接続されていない場合は、作業者
がいないとみなされるとともに、開いている背面扉３６
から装置１１内に人が侵入する可能性があると考えられ
るので、安全を確保するために、正面側の機構のみが作
動可能とされ、背面側の機構であるウェハ移載機２４及
びボートエレベータ２８の作動は不可能とされる。
整用ターミナル４０が接続されていない場合は、作業者
がいないとみなされるとともに、開いている背面扉３６
から装置１１内に人が侵入する可能性があると考えられ
るので、安全を確保するために、正面側の機構のみが作
動可能とされ、背面側の機構であるウェハ移載機２４及
びボートエレベータ２８の作動は不可能とされる。
【００１６】次に、図２のＮｏ．３を例にとり説明す
る。Ｎｏ．３のＮｏ．１との違いは、背面扉３６が閉ま
っていることであり、この信号が機構部用コントローラ
に入力され、機構部用コントローラでは背面側の機構も
含めて全ての機構を作動可能とする。
る。Ｎｏ．３のＮｏ．１との違いは、背面扉３６が閉ま
っていることであり、この信号が機構部用コントローラ
に入力され、機構部用コントローラでは背面側の機構も
含めて全ての機構を作動可能とする。
【００１７】このように、背面側の調整用ターミナル４
０が接続されていなくても背面扉３６が閉まっている場
合は、この背面扉３６から装置１１内に人が入る危険性
がないので、全ての機構の動作が可能とされる。
０が接続されていなくても背面扉３６が閉まっている場
合は、この背面扉３６から装置１１内に人が入る危険性
がないので、全ての機構の動作が可能とされる。
【００１８】次に、図２のＮｏ．７及びＮｏ．８を例に
とり説明する。正面扉３４及び背面扉３６の両方が閉ま
っており、Ｎｏ．７では正面側の調整用ターミナル３８
のみが接続されており、Ｎｏ．８では背面側の調整用タ
ーミナル４０のみが接続されている。それぞれ上記信号
が機構部用コントローラに入力されるが、Ｎｏ．７及び
Ｎｏ．８ともに機構部用コントローラでは全ての機構を
作動可能とする。
とり説明する。正面扉３４及び背面扉３６の両方が閉ま
っており、Ｎｏ．７では正面側の調整用ターミナル３８
のみが接続されており、Ｎｏ．８では背面側の調整用タ
ーミナル４０のみが接続されている。それぞれ上記信号
が機構部用コントローラに入力されるが、Ｎｏ．７及び
Ｎｏ．８ともに機構部用コントローラでは全ての機構を
作動可能とする。
【００１９】このように、正面側，背面側のどちらに調
整用ターミナル３８，４０が接続されていても両方の扉
３４及び３６が閉まっている場合は、それらの扉３４及
び３６から装置１１内に人が侵入する危険性がないの
で、全ての機構が作動可能とされる。
整用ターミナル３８，４０が接続されていても両方の扉
３４及び３６が閉まっている場合は、それらの扉３４及
び３６から装置１１内に人が侵入する危険性がないの
で、全ての機構が作動可能とされる。
【００２０】上記説明は、Ｎｏ．１、Ｎｏ．３、Ｎｏ．
７及びＮｏ．８について行ったが、図２の他の場合（Ｎ
ｏ．２，Ｎｏ．４〜Ｎｏ．６）も同様に、作業者が目視
できない部分の安全が確保されており、作業者の他に目
視できない部分に安全を確保する人をおかなくても、一
人だけでも安全を確保しつつ作業を行うことができる。
尚、上記実施の形態においては、機構部用コントローラ
は正面扉３４，背面扉３６の開閉状態と、調整用ターミ
ナル３８，４０の接続状態の組み合わせにより、動作可
能な範囲を規定しているが、より単純に正面扉３４，背
面扉３６の開閉状態のみにより、動作可能な範囲を規定
するようにしてもよいのは勿論のことである。
７及びＮｏ．８について行ったが、図２の他の場合（Ｎ
ｏ．２，Ｎｏ．４〜Ｎｏ．６）も同様に、作業者が目視
できない部分の安全が確保されており、作業者の他に目
視できない部分に安全を確保する人をおかなくても、一
人だけでも安全を確保しつつ作業を行うことができる。
尚、上記実施の形態においては、機構部用コントローラ
は正面扉３４，背面扉３６の開閉状態と、調整用ターミ
ナル３８，４０の接続状態の組み合わせにより、動作可
能な範囲を規定しているが、より単純に正面扉３４，背
面扉３６の開閉状態のみにより、動作可能な範囲を規定
するようにしてもよいのは勿論のことである。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明は、扉の開閉状態及び操作部の着脱状態を作業者が任
意に変えるとにより、作業者の望む範囲の機構を作動さ
せることができるので、安全確認のために複数の作業者
を置かなくても一人で作業することができるという効果
を奏する。
明は、扉の開閉状態及び操作部の着脱状態を作業者が任
意に変えるとにより、作業者の望む範囲の機構を作動さ
せることができるので、安全確認のために複数の作業者
を置かなくても一人で作業することができるという効果
を奏する。
【００２２】また、請求項２記載の発明は、作業者が目
視できない位置の扉が開いていても操作部が外されてい
る場合は、作業者が目視できない側の機構の作動が停止
状態になるため、開いている扉から装置内に人が侵入し
ても機構が作動しないので安全を確保することができる
という効果を奏する。
視できない位置の扉が開いていても操作部が外されてい
る場合は、作業者が目視できない側の機構の作動が停止
状態になるため、開いている扉から装置内に人が侵入し
ても機構が作動しないので安全を確保することができる
という効果を奏する。
【図１】この発明の半導体製造装置の概略断面図であ
る。
る。
【図２】安全システムの内容を示す表である。
【図３】従来の半導体製造装置の概略断面図である。
【図４】従来の半導体製造装置の概略斜視図である。
【図５】従来の半導体製造装置の作業状態を示す概略断
面図である。
面図である。
１１ 半導体製造装置 ３４ 正面扉 ３６ 背面扉 ３８ 調整用ターミナル（操作部） ４０ 調整用ターミナル（操作部） ５０、５２ 扉開閉スイッチ
Claims (2)
- 【請求項１】 一方の扉の位置からでは他の扉の状態を
目視できないような２カ所以上の位置に扉を有し、それ
ぞれの扉付近に機構動作を制御する操作部が設けられて
いる半導体製造装置であって、それぞれの扉の開閉状態
により、作動可能な機構の範囲を制限することができる
ことを特徴とする半導体製造装置。 - 【請求項２】 一方の扉付近の操作部の位置からでは、
他の扉付近の機構の動作を目視できない場合、他の扉が
開いている状態において、目視できない側の機構の作動
を停止状態にすることを特徴とする請求項１記載の半導
体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11132586A JP2000320794A (ja) | 1999-05-13 | 1999-05-13 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11132586A JP2000320794A (ja) | 1999-05-13 | 1999-05-13 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000320794A true JP2000320794A (ja) | 2000-11-24 |
Family
ID=15084811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11132586A Withdrawn JP2000320794A (ja) | 1999-05-13 | 1999-05-13 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000320794A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7036212B2 (en) | 2001-12-20 | 2006-05-02 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Apparatus for performing operation on circuit substrate |
-
1999
- 1999-05-13 JP JP11132586A patent/JP2000320794A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7036212B2 (en) | 2001-12-20 | 2006-05-02 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Apparatus for performing operation on circuit substrate |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060801 |