JP2000319034A - 光ファイバ多孔質母材およびその製造方法 - Google Patents
光ファイバ多孔質母材およびその製造方法Info
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 生産能力の向上及び製造コスト低下へ大きく
寄与するターゲットへのガラス微粉末の付着率を向上さ
せた光ファイバ多孔質母材を得る。 【解決手段】 中心部材の周囲にガラス微粉末を堆積さ
せた光ファイバ多孔質母材において、該堆積物はそのＢ
ＥＴ比表面積が制御されたものであることを特徴とする
光ファイバ多孔質母材、並びに中心部材を回転させなが
らその周囲にガラス微粉末を堆積させて光ファイバ多孔
質母材を製造する方法において、該堆積物のＢＥＴ比表
面積を制御することを特徴とする光ファイバ多孔質母材
の製造方法。
寄与するターゲットへのガラス微粉末の付着率を向上さ
せた光ファイバ多孔質母材を得る。 【解決手段】 中心部材の周囲にガラス微粉末を堆積さ
せた光ファイバ多孔質母材において、該堆積物はそのＢ
ＥＴ比表面積が制御されたものであることを特徴とする
光ファイバ多孔質母材、並びに中心部材を回転させなが
らその周囲にガラス微粉末を堆積させて光ファイバ多孔
質母材を製造する方法において、該堆積物のＢＥＴ比表
面積を制御することを特徴とする光ファイバ多孔質母材
の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ターゲットとなる
回転する中心部材の周囲にガラス微粉末を堆積させた光
ファイバ多孔質母材およびその製造方法に関する。
回転する中心部材の周囲にガラス微粉末を堆積させた光
ファイバ多孔質母材およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光ファイバ多孔質母材は、例えば
外付け法等のように、中心部材（ターゲットともいう）
を軸回転させながらその周囲にガラス微粉末（スートと
もいう）を堆積して製造される。この方法では、例え
ば、中心部材をチャンバと呼ばれる、当該中心部材の軸
方向の両端を囲う装置の中に置き、当該チャンバの前部
に設置した火炎バーナから、燃料ガスや原料ガスを噴出
させて、火炎内でガラス微粉末を中心部材の周囲に生成
させ、これを堆積させると共に、チャンバの上記火炎バ
ーナとは反対側に設けた排気口から、未反応ガスや反応
生成ガス、未堆積のガラス微粉末等を排気させる機構を
採っている。
外付け法等のように、中心部材（ターゲットともいう）
を軸回転させながらその周囲にガラス微粉末（スートと
もいう）を堆積して製造される。この方法では、例え
ば、中心部材をチャンバと呼ばれる、当該中心部材の軸
方向の両端を囲う装置の中に置き、当該チャンバの前部
に設置した火炎バーナから、燃料ガスや原料ガスを噴出
させて、火炎内でガラス微粉末を中心部材の周囲に生成
させ、これを堆積させると共に、チャンバの上記火炎バ
ーナとは反対側に設けた排気口から、未反応ガスや反応
生成ガス、未堆積のガラス微粉末等を排気させる機構を
採っている。
【０００３】このようにして製造される光ファイバ多孔
質母材は、純度、その他の種々の品質に優れるものが得
られる。このように、昨今、光ファイバ多孔質母材の製
造技術は品質面において、著しい進歩があった。
質母材は、純度、その他の種々の品質に優れるものが得
られる。このように、昨今、光ファイバ多孔質母材の製
造技術は品質面において、著しい進歩があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
に種々の優れた品質を有する光ファイバ多孔質母材をさ
らに改良し、生産能力の向上及び製造コスト低下へ大き
く寄与するターゲットへのガラス微粉末の付着率を向上
させた光ファイバ多孔質母材を得ることを主たる目的と
する。
に種々の優れた品質を有する光ファイバ多孔質母材をさ
らに改良し、生産能力の向上及び製造コスト低下へ大き
く寄与するターゲットへのガラス微粉末の付着率を向上
させた光ファイバ多孔質母材を得ることを主たる目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためになされたもので、請求項１記載の発明は、
中心部材の周囲にガラス微粉末を堆積させた光ファイバ
多孔質母材において、該堆積物はそのＢＥＴ比表面積が
制御されたものであることを特徴とする光ファイバ多孔
質母材である。このように、ガラス微粉末堆積物のＢＥ
Ｔ比表面積を制御することにより、中心部材へのガラス
微粉末の付着率を著しく向上させた光ファイバ多孔質母
材にすることができる。その結果、光ファイバ多孔質母
材の製造歩留り、生産性の向上を図ることができると共
に、品質を高め、製造コストを著しく低減することがで
きる。
決するためになされたもので、請求項１記載の発明は、
中心部材の周囲にガラス微粉末を堆積させた光ファイバ
多孔質母材において、該堆積物はそのＢＥＴ比表面積が
制御されたものであることを特徴とする光ファイバ多孔
質母材である。このように、ガラス微粉末堆積物のＢＥ
Ｔ比表面積を制御することにより、中心部材へのガラス
微粉末の付着率を著しく向上させた光ファイバ多孔質母
材にすることができる。その結果、光ファイバ多孔質母
材の製造歩留り、生産性の向上を図ることができると共
に、品質を高め、製造コストを著しく低減することがで
きる。
【０００６】この場合、請求項２に記載したように、堆
積物のＢＥＴ比表面積を、５ｍ2 ／ｇ以上、２０ｍ2 ／
ｇ以下とすることができる。ＢＥＴ比表面積を上記範囲
に制御した光ファイバ多孔質母材は、ターゲットへのガ
ラス微粉末の付着率が高く、その結果、長尺、大口径、
高重量の光ファイバ多孔質母材であって、かつ、より光
学的に優れた光ファイバを作製することができる母材と
することができる。
積物のＢＥＴ比表面積を、５ｍ2 ／ｇ以上、２０ｍ2 ／
ｇ以下とすることができる。ＢＥＴ比表面積を上記範囲
に制御した光ファイバ多孔質母材は、ターゲットへのガ
ラス微粉末の付着率が高く、その結果、長尺、大口径、
高重量の光ファイバ多孔質母材であって、かつ、より光
学的に優れた光ファイバを作製することができる母材と
することができる。
【０００７】そして、本発明の請求項３に記載した発明
は、中心部材を回転させながらその周囲にガラス微粉末
を堆積させて光ファイバ多孔質母材を製造する方法にお
いて、該堆積物のＢＥＴ比表面積を制御することを特徴
とする光ファイバ多孔質母材の製造方法である。このよ
うに、ガラス微粉末堆積物のＢＥＴ比表面積を制御する
ことにより、多量のガラス微粉末を中心部材に堆積させ
ることができ、特に長尺、大口径、高重量の光ファイバ
多孔質母材を効率よく製造することができる。
は、中心部材を回転させながらその周囲にガラス微粉末
を堆積させて光ファイバ多孔質母材を製造する方法にお
いて、該堆積物のＢＥＴ比表面積を制御することを特徴
とする光ファイバ多孔質母材の製造方法である。このよ
うに、ガラス微粉末堆積物のＢＥＴ比表面積を制御する
ことにより、多量のガラス微粉末を中心部材に堆積させ
ることができ、特に長尺、大口径、高重量の光ファイバ
多孔質母材を効率よく製造することができる。
【０００８】この場合、請求項４に記載したように、堆
積物のＢＥＴ比表面積を、５ｍ2 ／ｇ以上、２０ｍ2 ／
ｇ以下に制御することができる。このようにガラス微粉
末堆積物のＢＥＴ比表面積を５〜２０ｍ2 ／ｇに制御す
ることにより、ターゲットに対する付着率を高めること
ができ、従って光ファイバ多孔質母材の製造歩留り、生
産性の向上を図ることができると共に、品質を高め、製
造コストを著しく低減することができる。また、後工程
で焼結・ガラス化しても収縮率が小さく、変形すること
のない光ファイバ多孔質母材を製造することができる。
積物のＢＥＴ比表面積を、５ｍ2 ／ｇ以上、２０ｍ2 ／
ｇ以下に制御することができる。このようにガラス微粉
末堆積物のＢＥＴ比表面積を５〜２０ｍ2 ／ｇに制御す
ることにより、ターゲットに対する付着率を高めること
ができ、従って光ファイバ多孔質母材の製造歩留り、生
産性の向上を図ることができると共に、品質を高め、製
造コストを著しく低減することができる。また、後工程
で焼結・ガラス化しても収縮率が小さく、変形すること
のない光ファイバ多孔質母材を製造することができる。
【０００９】さらに、請求項５に記載したように、ガラ
ス微粉末用原料ガス及び燃料ガスの流量を制御すること
によりガラス微粉末の堆積物のＢＥＴ比表面積を制御す
ることができる。このように、ガラス微粉末の堆積物の
ＢＥＴ比表面積を制御するには、例えばガラス微粉末用
原料ガス及び燃料ガスの流量を制御することにより行う
ことができる。
ス微粉末用原料ガス及び燃料ガスの流量を制御すること
によりガラス微粉末の堆積物のＢＥＴ比表面積を制御す
ることができる。このように、ガラス微粉末の堆積物の
ＢＥＴ比表面積を制御するには、例えばガラス微粉末用
原料ガス及び燃料ガスの流量を制御することにより行う
ことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。本
発明者等は上記課題を解決するため鋭意調査、検討した
結果、ガラス微粉末の中心部材周囲への付着率（供給原
料ガス量に対する付着ガラス量のモル比）を向上させる
には、ＢＥＴ比表面積（ｍ2 ／ｇ、堆積物単位重量当た
りの表面積）が大きく影響を及ぼしていることを見出
し、諸条件を精査して本発明を完成させた。
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。本
発明者等は上記課題を解決するため鋭意調査、検討した
結果、ガラス微粉末の中心部材周囲への付着率（供給原
料ガス量に対する付着ガラス量のモル比）を向上させる
には、ＢＥＴ比表面積（ｍ2 ／ｇ、堆積物単位重量当た
りの表面積）が大きく影響を及ぼしていることを見出
し、諸条件を精査して本発明を完成させた。
【００１１】先ず、図１および図２を参照して本発明に
関わる光ファイバ多孔質母材の製造方法の一つの実施の
形態を示す。図１および図２において、ターゲット１は
中心部材であって、これはチャンバ２内に回転自在に収
納されると共に、その両端はチャック３等で保持されて
いる。そして、ターゲット１の周囲には火炎バーナ４か
らの炎５が吹き付けられて、生成したスート（ガラス微
粉末）６が堆積されるようになっている。ここでターゲ
ットの設置は、上下（鉛直）に立てる機構でも横（水
平）に置く機構でも適用できる。
関わる光ファイバ多孔質母材の製造方法の一つの実施の
形態を示す。図１および図２において、ターゲット１は
中心部材であって、これはチャンバ２内に回転自在に収
納されると共に、その両端はチャック３等で保持されて
いる。そして、ターゲット１の周囲には火炎バーナ４か
らの炎５が吹き付けられて、生成したスート（ガラス微
粉末）６が堆積されるようになっている。ここでターゲ
ットの設置は、上下（鉛直）に立てる機構でも横（水
平）に置く機構でも適用できる。
【００１２】上記チャンバ２内には、図１から明らかな
ように、通常ターゲット１の一方端を覆うチャック部覆
い２ａとターゲット１の他方端を覆うチャック部覆い２
ｂを有し、火炎バーナ４は、図２に示すように、このチ
ャンバ２の開口部２ｃに沿って、中心部材１の軸方向に
平行に往復運動するようになっている。一方、チャンバ
２の後部側（図２の右側）には、未反応ガスや反応生成
ガス、未堆積のガラス微粉末などを排気するための排気
口２ｄが例えば複数（１個も可）設けてある。この排気
口２ｄは排気管路７と接続してあって、この排気管路７
の途中などに組み込んだ排気手段８、例えば吸引ポンプ
によって、チャンバ２内を所定の吸引力（排気引圧）で
吸引して、排気するようになっている。
ように、通常ターゲット１の一方端を覆うチャック部覆
い２ａとターゲット１の他方端を覆うチャック部覆い２
ｂを有し、火炎バーナ４は、図２に示すように、このチ
ャンバ２の開口部２ｃに沿って、中心部材１の軸方向に
平行に往復運動するようになっている。一方、チャンバ
２の後部側（図２の右側）には、未反応ガスや反応生成
ガス、未堆積のガラス微粉末などを排気するための排気
口２ｄが例えば複数（１個も可）設けてある。この排気
口２ｄは排気管路７と接続してあって、この排気管路７
の途中などに組み込んだ排気手段８、例えば吸引ポンプ
によって、チャンバ２内を所定の吸引力（排気引圧）で
吸引して、排気するようになっている。
【００１３】本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法
においては、ターゲット１を回転させながらその周囲に
スート６を堆積する。ターゲット１を回転させることに
よりスート６を均一に堆積させることができる。回転速
度は、適宜選択されるが、例えば１０〜５０ｒｐｍであ
ってよい。そしてターゲット１を回転させながら且つ火
炎バーナ４を一定速度で往復運動させ、バーナ４からの
炎５をターゲット１の周囲に吹き付ける。その結果、タ
ーゲット１の周囲にガラス微粉末（スート）６が均一に
堆積される。
においては、ターゲット１を回転させながらその周囲に
スート６を堆積する。ターゲット１を回転させることに
よりスート６を均一に堆積させることができる。回転速
度は、適宜選択されるが、例えば１０〜５０ｒｐｍであ
ってよい。そしてターゲット１を回転させながら且つ火
炎バーナ４を一定速度で往復運動させ、バーナ４からの
炎５をターゲット１の周囲に吹き付ける。その結果、タ
ーゲット１の周囲にガラス微粉末（スート）６が均一に
堆積される。
【００１４】上記火炎バーナ４からは、スート用原料ガ
ス（例えば、ＳｉＣｌ4 等の珪素化合物）、及び燃料ガ
ス（例えば、Ｈ2 、Ｏ2 等）などが供給される。そし
て、酸水素火炎中にて上記原料ガスが加水分解してガラ
ス微粉末が生成し、この生成ガラス微粉末がターゲット
１の周囲に吹き付けられて堆積する。
ス（例えば、ＳｉＣｌ4 等の珪素化合物）、及び燃料ガ
ス（例えば、Ｈ2 、Ｏ2 等）などが供給される。そし
て、酸水素火炎中にて上記原料ガスが加水分解してガラ
ス微粉末が生成し、この生成ガラス微粉末がターゲット
１の周囲に吹き付けられて堆積する。
【００１５】本発明の光ファイバ多孔質母材の製造方法
においては、ガラス微粉末の堆積物のＢＥＴ比表面積を
制御することを特徴とする。上記ＢＥＴ比表面積の制御
は、具体的には上記火炎バーナ４からのガラス微粉末用
原料ガス及び燃料ガスの流量を制御することにより行う
ことができる。すなわち、上記ＢＥＴ比表面積に直接関
係があると考えられる燃焼エネルギーに相当する燃料ガ
ス中の水素ガスと酸素ガスの流量を原料ガスに対し制御
することでＢＥＴ比表面積を制御することができる。例
えば、原料ガスに対し燃料ガスの流量を多くして水素ガ
ス及び酸素ガスを多く流せば、燃焼エネルギーが大きく
なってＢＥＴ比表面積は小さくなる。逆に、原料ガスに
対し燃料ガスの流量を少なくすれば燃焼エネルギーが小
さくなってＢＥＴ比表面積は大きくなる。
においては、ガラス微粉末の堆積物のＢＥＴ比表面積を
制御することを特徴とする。上記ＢＥＴ比表面積の制御
は、具体的には上記火炎バーナ４からのガラス微粉末用
原料ガス及び燃料ガスの流量を制御することにより行う
ことができる。すなわち、上記ＢＥＴ比表面積に直接関
係があると考えられる燃焼エネルギーに相当する燃料ガ
ス中の水素ガスと酸素ガスの流量を原料ガスに対し制御
することでＢＥＴ比表面積を制御することができる。例
えば、原料ガスに対し燃料ガスの流量を多くして水素ガ
ス及び酸素ガスを多く流せば、燃焼エネルギーが大きく
なってＢＥＴ比表面積は小さくなる。逆に、原料ガスに
対し燃料ガスの流量を少なくすれば燃焼エネルギーが小
さくなってＢＥＴ比表面積は大きくなる。
【００１６】より具体的には、例えばＳｉＣｌ4 原料ガ
スの流量が１０〜３０Ｌ／分である場合、燃料ガス中の
水素ガス１００〜６００Ｌ／分及び酸素ガス１００〜３
００Ｌ／分等の範囲で制御すればよい。その他、ターゲ
ットの回転数等を制御することにより、さらにＢＥＴ比
表面積の制御を行うこともできる。
スの流量が１０〜３０Ｌ／分である場合、燃料ガス中の
水素ガス１００〜６００Ｌ／分及び酸素ガス１００〜３
００Ｌ／分等の範囲で制御すればよい。その他、ターゲ
ットの回転数等を制御することにより、さらにＢＥＴ比
表面積の制御を行うこともできる。
【００１７】上記のようにして得られたガラス微粉末の
ＢＥＴ比表面積とターゲットへの付着率との間の相関関
係を調査したところ、正の相関を見出し、ガラス微粉末
のＢＥＴ比表面積を管理することにより、ターゲットへ
の付着率を向上させることができることが判った。
ＢＥＴ比表面積とターゲットへの付着率との間の相関関
係を調査したところ、正の相関を見出し、ガラス微粉末
のＢＥＴ比表面積を管理することにより、ターゲットへ
の付着率を向上させることができることが判った。
【００１８】ここで、ＢＥＴ比表面積の測定方法を説明
しておく。サンプルの調整は、得られたガラス微粉末の
堆積物を手で揉みほぐし、十分粉末化した後にＢＥＴ法
にて測定する。ＢＥＴ法とは、粉末粒子の表面に窒素分
子あるいはＨｅ分子等を液体窒素下に吸着させ、その吸
着量から表面積を表現する方法である。実際には、液体
窒素下の温度に到達する前後での雰囲気の差圧を測定し
て表面積を算出する。
しておく。サンプルの調整は、得られたガラス微粉末の
堆積物を手で揉みほぐし、十分粉末化した後にＢＥＴ法
にて測定する。ＢＥＴ法とは、粉末粒子の表面に窒素分
子あるいはＨｅ分子等を液体窒素下に吸着させ、その吸
着量から表面積を表現する方法である。実際には、液体
窒素下の温度に到達する前後での雰囲気の差圧を測定し
て表面積を算出する。
【００１９】本発明のガラス微粉末のＢＥＴ比表面積と
しては、前述のように５〜２０ｍ2／ｇに制御されたも
のが好ましく、より好ましくは７〜１５ｍ2 ／ｇの範囲
である。ここで、５ｍ2 ／ｇ未満ではターゲットに対す
る付着率が０．４未満と悪くなることがあり、２０ｍ2
／ｇを超えるとガラス微粉末堆積物の密度が０．５ｇ／
ｃｍ2 未満と小さくなるため、次工程での焼結・ガラス
化時に収縮率が大きく、母材の曲り等の変形が発生し易
くなってしまう。従って、５〜２０ｍ2 ／ｇの範囲とす
ると、後工程で変形等の不具合が発生することは殆どな
く、付着率の向上を図ることができる。
しては、前述のように５〜２０ｍ2／ｇに制御されたも
のが好ましく、より好ましくは７〜１５ｍ2 ／ｇの範囲
である。ここで、５ｍ2 ／ｇ未満ではターゲットに対す
る付着率が０．４未満と悪くなることがあり、２０ｍ2
／ｇを超えるとガラス微粉末堆積物の密度が０．５ｇ／
ｃｍ2 未満と小さくなるため、次工程での焼結・ガラス
化時に収縮率が大きく、母材の曲り等の変形が発生し易
くなってしまう。従って、５〜２０ｍ2 ／ｇの範囲とす
ると、後工程で変形等の不具合が発生することは殆どな
く、付着率の向上を図ることができる。
【００２０】本発明により製造した光ファイバ多孔質母
材は、次工程で溶融ガラス化して光ファイバガラス母材
を得る。具体的には、上記光ファイバ多孔質母材を例え
ば電気炉内等に入れ、必要に応じ塩素ガス等により脱水
工程を行いつつ、例えば１３００〜１７００℃に加熱す
ることにより光ファイバガラス母材を製造する。
材は、次工程で溶融ガラス化して光ファイバガラス母材
を得る。具体的には、上記光ファイバ多孔質母材を例え
ば電気炉内等に入れ、必要に応じ塩素ガス等により脱水
工程を行いつつ、例えば１３００〜１７００℃に加熱す
ることにより光ファイバガラス母材を製造する。
【００２１】その後上記のようにして製造された光ファ
イバガラス母材を、通常の方法、例えば溶融延伸等した
後、線引きして光ファイバとすることができる。このよ
うにして製造された光ファイバは、ＯＨ基などが残留せ
ず、従ってこれによる光学的吸収や散乱損失等が殆どな
く、伝送損失の非常に小さい光学的に非常に優れたもの
である。
イバガラス母材を、通常の方法、例えば溶融延伸等した
後、線引きして光ファイバとすることができる。このよ
うにして製造された光ファイバは、ＯＨ基などが残留せ
ず、従ってこれによる光学的吸収や散乱損失等が殆どな
く、伝送損失の非常に小さい光学的に非常に優れたもの
である。
【００２２】
【実施例】以下、実施例と比較例を挙げて本発明を具体
的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものでは
ない。 （実施例１〜３並びに比較例１および２）図１および図
２に示す製造装置を使用して光ファイバ多孔質母材を製
造した。すなわち、チャンバ２内に直径４０ｍｍのター
ゲット１を装着し、回転数を３０ｒｐｍに統一し、表１
に示す各条件下、スート６を堆積させた。その際、ガス
導入は、火炎バーナ４より原料であるＳｉＣｌ4 、及び
燃料であるＨ2 とＯ2 を噴出させ、火炎加水分解して、
ＳｉＯ2 をガラス微粉末としてスート６を堆積させた。
得られた各光ファイバ多孔質母材のＢＥＴ比表面積、付
着率および焼結後の曲りの有無を表１に併記した。
的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものでは
ない。 （実施例１〜３並びに比較例１および２）図１および図
２に示す製造装置を使用して光ファイバ多孔質母材を製
造した。すなわち、チャンバ２内に直径４０ｍｍのター
ゲット１を装着し、回転数を３０ｒｐｍに統一し、表１
に示す各条件下、スート６を堆積させた。その際、ガス
導入は、火炎バーナ４より原料であるＳｉＣｌ4 、及び
燃料であるＨ2 とＯ2 を噴出させ、火炎加水分解して、
ＳｉＯ2 をガラス微粉末としてスート６を堆積させた。
得られた各光ファイバ多孔質母材のＢＥＴ比表面積、付
着率および焼結後の曲りの有無を表１に併記した。
【００２３】
【表１】
【００２４】表１から明らかなように、ガラス微粉末の
ＢＥＴ比表面積が大きくなると付着率は向上し、逆にＢ
ＥＴ比表面積が小さくなると付着率は低下する傾向にあ
ることが判る。但し、ＢＥＴ比表面積が大きくなり過ぎ
ると、ガラス微粉末堆積物の密度が小さくなり、後工程
の焼結・ガラス化時に曲り等の変形を起こし易くなる。
以上の結果、適切な付着率を得るには、ＢＥＴ比表面積
として、５ｍ2 ／ｇ以上、２０ｍ2 ／ｇ以下の範囲に制
御することが有効である。
ＢＥＴ比表面積が大きくなると付着率は向上し、逆にＢ
ＥＴ比表面積が小さくなると付着率は低下する傾向にあ
ることが判る。但し、ＢＥＴ比表面積が大きくなり過ぎ
ると、ガラス微粉末堆積物の密度が小さくなり、後工程
の焼結・ガラス化時に曲り等の変形を起こし易くなる。
以上の結果、適切な付着率を得るには、ＢＥＴ比表面積
として、５ｍ2 ／ｇ以上、２０ｍ2 ／ｇ以下の範囲に制
御することが有効である。
【００２５】尚、本発明は、上記実施形態に限定される
ものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の
特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一
な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかな
るものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
ものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の
特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一
な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかな
るものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ガラス微粉末堆積物のＢＥＴ比表面積を制御した光ファ
イバ多孔質母材を製造することができる。そのため、ス
ートの付着率の向上を図ることができ、長尺、大口径、
高重量のスートを堆積した光ファイバ多孔質母材とする
ことがてきる。その結果、光ファイバ多孔質母材の製造
歩留りや生産能力を向上させることができ、コストダウ
ンを図ることができる。
ガラス微粉末堆積物のＢＥＴ比表面積を制御した光ファ
イバ多孔質母材を製造することができる。そのため、ス
ートの付着率の向上を図ることができ、長尺、大口径、
高重量のスートを堆積した光ファイバ多孔質母材とする
ことがてきる。その結果、光ファイバ多孔質母材の製造
歩留りや生産能力を向上させることができ、コストダウ
ンを図ることができる。
【図１】ターゲット上にスートを堆積しているところを
示す光ファイバ多孔質母材製造装置の部分概略図であ
る。
示す光ファイバ多孔質母材製造装置の部分概略図であ
る。
【図２】光ファイバ多孔質母材製造装置の全体構成概略
図である。
図である。
１…ターゲット（中心部材）、 ２…チャンバ、２ａ及
び２ｂ…チャック部覆い、 ２ｃ…開口部、 ２ｄ…排
気口、３…チャック、 ４…火炎バーナ、 ５…炎、６
…スート（ガラス微粉末）、 ７…排気管路、 ８…排
気手段。
び２ｂ…チャック部覆い、 ２ｃ…開口部、 ２ｄ…排
気口、３…チャック、 ４…火炎バーナ、 ５…炎、６
…スート（ガラス微粉末）、 ７…排気管路、 ８…排
気手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 Ｆターム(参考） 4G021 EA03 EB06 EB13 EB26
Claims (5)
- 【請求項１】 中心部材の周囲にガラス微粉末を堆積さ
せた光ファイバ多孔質母材において、該堆積物はそのＢ
ＥＴ比表面積が制御されたものであることを特徴とする
光ファイバ多孔質母材。 - 【請求項２】 前記堆積物のＢＥＴ比表面積が、５ｍ2
／ｇ以上、２０ｍ2 ／ｇ以下であることを特徴とする請
求項１に記載の光ファイバ多孔質母材。 - 【請求項３】 中心部材を回転させながらその周囲にガ
ラス微粉末を堆積させて光ファイバ多孔質母材を製造す
る方法において、該堆積物のＢＥＴ比表面積を制御する
ことを特徴とする光ファイバ多孔質母材の製造方法。 - 【請求項４】 前記堆積物のＢＥＴ比表面積を、５ｍ2
／ｇ以上、２０ｍ2 ／ｇ以下に制御することを特徴とす
る請求項３記載の光ファイバ多孔質母材の製造方法。 - 【請求項５】 ガラス微粉末用原料ガス及び燃料ガスの
流量を制御することによりガラス微粉末の堆積物のＢＥ
Ｔ比表面積を制御することを特徴とする請求項３または
請求項４に記載の光ファイバ多孔質母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11128642A JP2000319034A (ja) | 1999-05-10 | 1999-05-10 | 光ファイバ多孔質母材およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11128642A JP2000319034A (ja) | 1999-05-10 | 1999-05-10 | 光ファイバ多孔質母材およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000319034A true JP2000319034A (ja) | 2000-11-21 |
Family
ID=14989878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11128642A Pending JP2000319034A (ja) | 1999-05-10 | 1999-05-10 | 光ファイバ多孔質母材およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000319034A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11053126B2 (en) | 2017-10-27 | 2021-07-06 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Production of a porous product including post adapting a pore structure |
-
1999
- 1999-05-10 JP JP11128642A patent/JP2000319034A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11053126B2 (en) | 2017-10-27 | 2021-07-06 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Production of a porous product including post adapting a pore structure |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050916 |
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| A02 | Decision of refusal |
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