JP2500381Y2 - 多孔質ガラス母材の製造装置 - Google Patents
多孔質ガラス母材の製造装置Info
- Publication number
- JP2500381Y2 JP2500381Y2 JP6191293U JP6191293U JP2500381Y2 JP 2500381 Y2 JP2500381 Y2 JP 2500381Y2 JP 6191293 U JP6191293 U JP 6191293U JP 6191293 U JP6191293 U JP 6191293U JP 2500381 Y2 JP2500381 Y2 JP 2500381Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- porous glass
- base material
- exhaust port
- glass base
- oxyhydrogen flame
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は多孔質ガラス母材製造装
置、特には光ファイバ母材を製造するための多孔質ガラ
ス母材を外付けＣＶＤ法で純度高く、かつ効率よく製造
する製造装置に関するものである。
置、特には光ファイバ母材を製造するための多孔質ガラ
ス母材を外付けＣＶＤ法で純度高く、かつ効率よく製造
する製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ母材を製造するための多孔質
ガラス母材の製造は従来から外付けＣＶＤ法で行なわれ
ている。これは例えば図３に示したように、担体11とさ
れる耐熱性の石英ガラスロッドなどを水平に設置し、こ
れを回転させながらこれに四塩化けい素などの気体状ガ
ラス原料を導入し、左右に往復運動している酸水素火炎
バーナー12で生成したシリカ微粒子を堆積させることに
よって多孔質ガラス母材13を作るのであるが、この際反
応によって生成した排気ガスは反応炉14に固定して設け
られている排気口15から放出されるようにされている。
ガラス母材の製造は従来から外付けＣＶＤ法で行なわれ
ている。これは例えば図３に示したように、担体11とさ
れる耐熱性の石英ガラスロッドなどを水平に設置し、こ
れを回転させながらこれに四塩化けい素などの気体状ガ
ラス原料を導入し、左右に往復運動している酸水素火炎
バーナー12で生成したシリカ微粒子を堆積させることに
よって多孔質ガラス母材13を作るのであるが、この際反
応によって生成した排気ガスは反応炉14に固定して設け
られている排気口15から放出されるようにされている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかし、この従来法で
は酸水素火炎バーナー12が左右に往復運動しているにも
拘わらず排気口15が固定されているために、排気効率が
わるいし、排気されない排気ガス中に含まれている未反
応のガラス原料やドーパントが担体上に堆積されている
多孔質ガラス母材に付着するために、これを加熱し透明
ガラス化して得られる光フィアバ母材を線引きして得ら
れる光ファイバの伝送特性が悪化するという問題があ
る。
は酸水素火炎バーナー12が左右に往復運動しているにも
拘わらず排気口15が固定されているために、排気効率が
わるいし、排気されない排気ガス中に含まれている未反
応のガラス原料やドーパントが担体上に堆積されている
多孔質ガラス母材に付着するために、これを加熱し透明
ガラス化して得られる光フィアバ母材を線引きして得ら
れる光ファイバの伝送特性が悪化するという問題があ
る。
【０００４】このため、排気効率をよくするために排気
口を大きくするという方法も行なわれているが、この場
合にも排気面積が大きくなるために大きな排気設備が必
要になるという不利が生じ、さらには排気口を大きくす
ると外部から不純物が入りこむためにガラスの特性値が
低下するという欠点もある。
口を大きくするという方法も行なわれているが、この場
合にも排気面積が大きくなるために大きな排気設備が必
要になるという不利が生じ、さらには排気口を大きくす
ると外部から不純物が入りこむためにガラスの特性値が
低下するという欠点もある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案はこのような不
利、欠点を解決することのできる多孔質ガラス母材の製
造装置に関するものであり、これは気体状ガラス原料を
酸水素火炎バーナーで火炎加水分解させて生成するガラ
ス微粒子を担体上に堆積させて多孔質ガラス母材を製造
する装置において、酸水素火炎バーナーと対向する位置
に排気口を設け、該排気口が耐熱性フレキシブルホース
に接続されており、これを該バーナーの移動と同期して
左右に往復運動させることを特徴とする多孔質ガラス母
材製造装置において、酸水素火炎バーナーと対向する位
置に該バーナーの移動と同期して左右に往復運動できる
ようにした排気口を設けたことを特徴とする多孔質ガラ
ス母材製造装置に関するものである。
利、欠点を解決することのできる多孔質ガラス母材の製
造装置に関するものであり、これは気体状ガラス原料を
酸水素火炎バーナーで火炎加水分解させて生成するガラ
ス微粒子を担体上に堆積させて多孔質ガラス母材を製造
する装置において、酸水素火炎バーナーと対向する位置
に排気口を設け、該排気口が耐熱性フレキシブルホース
に接続されており、これを該バーナーの移動と同期して
左右に往復運動させることを特徴とする多孔質ガラス母
材製造装置において、酸水素火炎バーナーと対向する位
置に該バーナーの移動と同期して左右に往復運動できる
ようにした排気口を設けたことを特徴とする多孔質ガラ
ス母材製造装置に関するものである。
【０００６】すなわち、本考案者らは外付けＣＶＤ法に
よる多孔質ガラス母材の製造を純度高く、かつ効率よく
実施する装置については種々検討した結果、従来法では
反応炉上部に固定して設けられている排気口を酸水素火
炎バーナーと対向する位置に、このバーナーの移動と同
期して左右に往復運動できるように、排気口を耐熱性フ
レキシブルホースに接続して設置したところ、反応中に
発生する排気ガスはこの排気口が常に酸水素火炎バーナ
ーと対向する位置にあることから効率よく排気され、得
られる多孔質ガラス母材に未反応のガラス原料やドーパ
ントが付着することがなくなるので、目的とする多孔質
ガラス母材を純度高く、かつ効率よく製造することがで
きることを見出すと共に、このようにして得た多孔質ガ
ラス母材から作られた光ファイバ母材を線引きして得ら
れる光ファイバは伝送特性のよいものになるということ
を確認して本考案を完成した。以下にこれをさらに詳述
する。
よる多孔質ガラス母材の製造を純度高く、かつ効率よく
実施する装置については種々検討した結果、従来法では
反応炉上部に固定して設けられている排気口を酸水素火
炎バーナーと対向する位置に、このバーナーの移動と同
期して左右に往復運動できるように、排気口を耐熱性フ
レキシブルホースに接続して設置したところ、反応中に
発生する排気ガスはこの排気口が常に酸水素火炎バーナ
ーと対向する位置にあることから効率よく排気され、得
られる多孔質ガラス母材に未反応のガラス原料やドーパ
ントが付着することがなくなるので、目的とする多孔質
ガラス母材を純度高く、かつ効率よく製造することがで
きることを見出すと共に、このようにして得た多孔質ガ
ラス母材から作られた光ファイバ母材を線引きして得ら
れる光ファイバは伝送特性のよいものになるということ
を確認して本考案を完成した。以下にこれをさらに詳述
する。
【０００７】
【作用】本考案による多孔質ガラス母材の製造装置は外
付けＣＶＤ法において排気口を酸水素火炎バーナーと対
向する位置に、これがバーナーの移動と同期して左右に
往復運動できるように設けた装置である。
付けＣＶＤ法において排気口を酸水素火炎バーナーと対
向する位置に、これがバーナーの移動と同期して左右に
往復運動できるように設けた装置である。
【０００８】図１は本考案による多孔質ガラス母材製造
装置の縦断面図、図２はこの横断面図を示したものであ
る。図１、図２の多孔質ガラス母材製造装置による多孔
質ガラス母材の製造は、石英ガラス、炭化けい素、炭素
などのような耐熱性の担体棒１を炉内に水平に保持し、
これに四塩化けい素などの気体状ガラス原料を導入した
酸水素火炎バーナー２で火炎加水分解して生成したシリ
カ微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材３とするのであ
るが、この酸水素火炎バーナー２は多孔質ガラス母材３
を外径の略々等しいものとするということから移動用モ
ーター８で左右に一定速度で往復運動するようにされて
いるサポーター７に固定されている。
装置の縦断面図、図２はこの横断面図を示したものであ
る。図１、図２の多孔質ガラス母材製造装置による多孔
質ガラス母材の製造は、石英ガラス、炭化けい素、炭素
などのような耐熱性の担体棒１を炉内に水平に保持し、
これに四塩化けい素などの気体状ガラス原料を導入した
酸水素火炎バーナー２で火炎加水分解して生成したシリ
カ微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材３とするのであ
るが、この酸水素火炎バーナー２は多孔質ガラス母材３
を外径の略々等しいものとするということから移動用モ
ーター８で左右に一定速度で往復運動するようにされて
いるサポーター７に固定されている。
【０００９】また、この装置では酸水素火炎バーナー２
と対向する位置に排気口４が設けられているが、この排
気口４も上記したサポーター７に固定されており、これ
は酸水素火炎バーナー２の移動と同期して左右に一定速
度で往復運動するので、この排気口４は常に酸水素火炎
バーナー２と対向する位置に設けられていることにな
る。
と対向する位置に排気口４が設けられているが、この排
気口４も上記したサポーター７に固定されており、これ
は酸水素火炎バーナー２の移動と同期して左右に一定速
度で往復運動するので、この排気口４は常に酸水素火炎
バーナー２と対向する位置に設けられていることにな
る。
【００１０】しかして、この反応装置では反応中酸水素
火炎バーナー２からは常時シリカ微粒子が発生されてお
り、これが担体２に堆積されて多孔質ガラス母材が作成
されるのであるが、この酸水素火炎バーナー２からは未
反応ガスや未反応のドーパント物質を常時放出されてい
るので、これらは可及的速やかに系外に排出させる必要
がある。
火炎バーナー２からは常時シリカ微粒子が発生されてお
り、これが担体２に堆積されて多孔質ガラス母材が作成
されるのであるが、この酸水素火炎バーナー２からは未
反応ガスや未反応のドーパント物質を常時放出されてい
るので、これらは可及的速やかに系外に排出させる必要
がある。
【００１１】本考案の装置では上記したように排気口４
が酸水素火炎バーナー２に同期して往復運動しており、
これが常に酸水素火炎バーナー２と対向する位置するに
設けられているので、この酸水素火炎バーナー２から発
生する排気ガスは速やかに排気口に送られて外部に排気
されるのでこの排気は非常に効率よく行なわれるし、こ
の排気ガス中に含有されている未反応ガス、ドーパント
などが多孔質ガラス母材に付着することも妨げられるの
で、これを純度の高いものとすることができるという有
利性が与えられる。
が酸水素火炎バーナー２に同期して往復運動しており、
これが常に酸水素火炎バーナー２と対向する位置するに
設けられているので、この酸水素火炎バーナー２から発
生する排気ガスは速やかに排気口に送られて外部に排気
されるのでこの排気は非常に効率よく行なわれるし、こ
の排気ガス中に含有されている未反応ガス、ドーパント
などが多孔質ガラス母材に付着することも妨げられるの
で、これを純度の高いものとすることができるという有
利性が与えられる。
【００１２】なお、排気口４からの排気はこの排気口４
が上記したよう酸水素火炎バーナー２と共に往復運動し
ているので、これを炉に設けられている固定排気口６と
結びつける耐熱性フレキシブルホース５で連絡したもの
とし、これによれば効率よく排気することができる。な
お、この耐熱性フレキシブルホースとしてはステンレ
ス、ガラスクロスなどの材質が用いられる。
が上記したよう酸水素火炎バーナー２と共に往復運動し
ているので、これを炉に設けられている固定排気口６と
結びつける耐熱性フレキシブルホース５で連絡したもの
とし、これによれば効率よく排気することができる。な
お、この耐熱性フレキシブルホースとしてはステンレ
ス、ガラスクロスなどの材質が用いられる。
【００１３】
【実施例】つぎに本考案の実施例をあげる。 実施例 密閉炉中に直径が17.7mmφ、長さ 620mmのゲルマニウム
をドープしたコア用石英ガラスロッド１を固定し、この
下方に酸水素火炎バーナー２、上方に排気口４をこの石
英ガラスロッド１と平行に移動用モータ８で100mm/分の
速度で往復運動するサポータ７に取りつけ、排気口４に
はガラスクロス製のフレキシブルホース５を取りつけて
図１、図２に示した装置を作った。
をドープしたコア用石英ガラスロッド１を固定し、この
下方に酸水素火炎バーナー２、上方に排気口４をこの石
英ガラスロッド１と平行に移動用モータ８で100mm/分の
速度で往復運動するサポータ７に取りつけ、排気口４に
はガラスクロス製のフレキシブルホース５を取りつけて
図１、図２に示した装置を作った。
【００１４】ついで、この石英ガラスロッド１を 50rpm
で回転させると共に、サポーター７を100mm/分の速度で
往復運動させ、酸水素火炎バーナー２に四塩化けい素20
g/分、酸素ガス25リットル／分、水素ガス50リットル／
分を供給して着火し、ここで発生したシリカ微粒子を堆
積させ、未反応ガスなどの排気ガスを排気口４から吸引
して排気させ時間反応を行なわせたところ、直径 100mm
φ、長さ 800mmで重量4,000gの多孔質ガラス母材が得ら
れた。
で回転させると共に、サポーター７を100mm/分の速度で
往復運動させ、酸水素火炎バーナー２に四塩化けい素20
g/分、酸素ガス25リットル／分、水素ガス50リットル／
分を供給して着火し、ここで発生したシリカ微粒子を堆
積させ、未反応ガスなどの排気ガスを排気口４から吸引
して排気させ時間反応を行なわせたところ、直径 100mm
φ、長さ 800mmで重量4,000gの多孔質ガラス母材が得ら
れた。
【００１５】つぎにこの多孔質ガラス母材を電気炉中に
おいて 1,500℃に加熱しガラス化したところ、直径58.1
mmφの光ファイバプリフォームが得られたので、これを
線引して直径 125μｍの光ファイバを作り、その伝送特
性をしらべたところ、このものは 1.3μｍにおいて 0.3
3dB/kmという値を示した。
おいて 1,500℃に加熱しガラス化したところ、直径58.1
mmφの光ファイバプリフォームが得られたので、これを
線引して直径 125μｍの光ファイバを作り、その伝送特
性をしらべたところ、このものは 1.3μｍにおいて 0.3
3dB/kmという値を示した。
【００１６】しかし、比較のために上記における排気口
４を可動のものとせず炉上部に固定したものとしたとこ
ろ、同様の寸法の多孔質ガラス母材を得ることができた
が、これから作られた光ファイバの伝送特性は 1.3μｍ
で 0.38dB/kmというものであった。
４を可動のものとせず炉上部に固定したものとしたとこ
ろ、同様の寸法の多孔質ガラス母材を得ることができた
が、これから作られた光ファイバの伝送特性は 1.3μｍ
で 0.38dB/kmというものであった。
【００１７】
【考案の効果】本考案は外付けＣＶＤ法による多孔質ガ
ラス母材の製造装置に関するものであり、これは前記し
たように外付けＣＶＤ法において酸水素火炎バーナーに
対向する位置に該バーナーと同期して左右に往復運動す
る耐熱フレキシブルホースを有する排気口を設けたこと
を特徴とするものであるが、これによれば排気口が常に
酸水素火炎バーナーと対向する位置にあり、該バーナー
から発生する未反応ガス、ドーパントなどが速やかに排
気されるので、排気が効率よく行なわれるほか、目的と
する多孔質ガラス母材に未反応ガス、ドーパントなどが
付着することがないのでこれを純度高くすることがで
き、結果においてこの多孔質ガラス母材から作られる光
ファイバの伝送特性を向上させることができるという有
利性が与えられる。
ラス母材の製造装置に関するものであり、これは前記し
たように外付けＣＶＤ法において酸水素火炎バーナーに
対向する位置に該バーナーと同期して左右に往復運動す
る耐熱フレキシブルホースを有する排気口を設けたこと
を特徴とするものであるが、これによれば排気口が常に
酸水素火炎バーナーと対向する位置にあり、該バーナー
から発生する未反応ガス、ドーパントなどが速やかに排
気されるので、排気が効率よく行なわれるほか、目的と
する多孔質ガラス母材に未反応ガス、ドーパントなどが
付着することがないのでこれを純度高くすることがで
き、結果においてこの多孔質ガラス母材から作られる光
ファイバの伝送特性を向上させることができるという有
利性が与えられる。
【図１】本考案の多孔質ガラス母材製造装置の縦断面図
を示したものである。
を示したものである。
【図２】本考案の多孔質ガラス母材製造装置の横断面図
を示したものである。
を示したものである。
【図３】従来公知の多孔質ガラス母材製造装置の縦断面
図を示したものである。
図を示したものである。
１，11…担体、 ２，12…酸水素火炎バー
ナー、３，13…多孔質ガラス母材、 ４…可動排気口、
５…フレキシブルホース、 ６…固定排気口、７…サ
ポート、 ８…移動モーター、14…排気装
置、 15…固定排気口。
ナー、３，13…多孔質ガラス母材、 ４…可動排気口、
５…フレキシブルホース、 ６…固定排気口、７…サ
ポート、 ８…移動モーター、14…排気装
置、 15…固定排気口。
Claims (1)
- 【請求項１】気体状ガラス原料を酸水素火炎バーナーで
火炎加水分解させて生成するガラス微粒子を担体上に堆
積させて多孔質ガラス母材を製造する装置において、酸
水素火炎バーナーと対向する位置に該バーナーの移動と
同期して左右に往復運動できるようにした排気口を設
け、該排気口が耐熱性フレキシブルホースに接続されて
なることを特徴とする多孔質ガラス母材製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6191293U JP2500381Y2 (ja) | 1993-11-17 | 1993-11-17 | 多孔質ガラス母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6191293U JP2500381Y2 (ja) | 1993-11-17 | 1993-11-17 | 多孔質ガラス母材の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0651247U JPH0651247U (ja) | 1994-07-12 |
| JP2500381Y2 true JP2500381Y2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=13184855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6191293U Expired - Lifetime JP2500381Y2 (ja) | 1993-11-17 | 1993-11-17 | 多孔質ガラス母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2500381Y2 (ja) |
-
1993
- 1993-11-17 JP JP6191293U patent/JP2500381Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0651247U (ja) | 1994-07-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |