JP2000306834A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2000306834A5
JP2000306834A5 JP2000033877A JP2000033877A JP2000306834A5 JP 2000306834 A5 JP2000306834 A5 JP 2000306834A5 JP 2000033877 A JP2000033877 A JP 2000033877A JP 2000033877 A JP2000033877 A JP 2000033877A JP 2000306834 A5 JP2000306834 A5 JP 2000306834A5
Authority
JP
Japan
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000033877A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2000306834A (ja
JP4954359B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2000033877A priority Critical patent/JP4954359B2/ja
Priority claimed from JP2000033877A external-priority patent/JP4954359B2/ja
Publication of JP2000306834A publication Critical patent/JP2000306834A/ja
Publication of JP2000306834A5 publication Critical patent/JP2000306834A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4954359B2 publication Critical patent/JP4954359B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP2000033877A 1999-02-12 2000-02-10 半導体装置の作製方法 Expired - Fee Related JP4954359B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000033877A JP4954359B2 (ja) 1999-02-12 2000-02-10 半導体装置の作製方法

Applications Claiming Priority (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1999035019 1999-02-12
JP3501999 1999-02-12
JP1999039787 1999-02-18
JP3978799 1999-02-18
JP11-35019 1999-02-18
JP11-39787 1999-02-18
JP2000033877A JP4954359B2 (ja) 1999-02-12 2000-02-10 半導体装置の作製方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2000306834A JP2000306834A (ja) 2000-11-02
JP2000306834A5 true JP2000306834A5 (zh) 2007-03-22
JP4954359B2 JP4954359B2 (ja) 2012-06-13

Family

ID=27288615

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000033877A Expired - Fee Related JP4954359B2 (ja) 1999-02-12 2000-02-10 半導体装置の作製方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4954359B2 (zh)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW552645B (en) 2001-08-03 2003-09-11 Semiconductor Energy Lab Laser irradiating device, laser irradiating method and manufacturing method of semiconductor device
JP4439794B2 (ja) * 2001-09-10 2010-03-24 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
JP4498685B2 (ja) * 2002-03-22 2010-07-07 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体記憶素子の作製方法
JP4813743B2 (ja) * 2002-07-24 2011-11-09 株式会社 日立ディスプレイズ 画像表示装置の製造方法
JP4772261B2 (ja) * 2002-10-31 2011-09-14 シャープ株式会社 表示装置の基板の製造方法及び結晶化装置
US6747245B2 (en) * 2002-11-06 2004-06-08 Ultratech Stepper, Inc. Laser scanning apparatus and methods for thermal processing
JP4503328B2 (ja) * 2004-03-29 2010-07-14 株式会社日本製鋼所 照射距離自動調整方法及びその装置
JP2005347764A (ja) * 2005-07-19 2005-12-15 Hitachi Ltd 画像表示装置の製造方法
JP4530032B2 (ja) * 2007-11-29 2010-08-25 日新イオン機器株式会社 イオンビーム照射方法およびイオンビーム照射装置
KR101040300B1 (ko) * 2009-05-27 2011-06-10 포항공과대학교 산학협력단 레이저 충격파 세정 장치 및 그 방법
JP5071499B2 (ja) * 2010-03-16 2012-11-14 日新イオン機器株式会社 イオンビーム照射方法およびイオンビーム照射装置
JP2014212323A (ja) * 2014-05-23 2014-11-13 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置
JP6012694B2 (ja) * 2014-11-24 2016-10-25 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置の作製方法
JP6329123B2 (ja) * 2015-12-18 2018-05-23 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
WO2017158843A1 (ja) * 2016-03-18 2017-09-21 堺ディスプレイプロダクト株式会社 表示パネル及び表示パネルの製造方法
KR102554691B1 (ko) * 2016-10-07 2023-07-11 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 유리 기판의 세정 방법, 반도체 장치의 제작 방법, 및 유리 기판
JP6329292B2 (ja) * 2017-03-23 2018-05-23 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0897141A (ja) * 1994-09-22 1996-04-12 A G Technol Kk 多結晶半導体層の形成方法、多結晶半導体ｔｆｔ、及びビームアニール装置
JP3205478B2 (ja) * 1995-01-24 2001-09-04 株式会社半導体エネルギー研究所 レーザー照射システム
JP3544280B2 (ja) * 1997-03-27 2004-07-21 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BE2017C009I2 (zh)
BE2014C035I2 (zh)
BE2014C019I2 (zh)
BE2012C016I2 (zh)
BRPI0113420B8 (zh)
BRPI0113085B8 (zh)
AU2000236815A8 (zh)
JP2003506881A5 (zh)
JP2000291804A5 (zh)
JP2002073540A5 (zh)
JP2003509089A5 (zh)
AU2000236813A8 (zh)
BE2014C025I2 (zh)
JP2002536273A5 (zh)
JP2002099352A5 (zh)
JP2000306834A5 (zh)
JP2002534757A5 (zh)
JP2001320720A5 (zh)
JP2002177481A5 (zh)
JP2001287618A5 (zh)
CH694022C1 (zh)
BRPI0000763B8 (zh)
HU0004159D0 (zh)
CN3141409S (zh)
CN3135489S (zh)