JP2000304687A - 測定光路の気体パージ方法及びこれに用いる気体パージ装置 - Google Patents

測定光路の気体パージ方法及びこれに用いる気体パージ装置

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JP2000304687A
JP2000304687A JP11114114A JP11411499A JP2000304687A JP 2000304687 A JP2000304687 A JP 2000304687A JP 11114114 A JP11114114 A JP 11114114A JP 11411499 A JP11411499 A JP 11411499A JP 2000304687 A JP2000304687 A JP 2000304687A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 導光管を用いることなく、劣悪な周辺環境の
下においても良好な測定光路を確保することができ、高
精度に測定することができるようにする。 【解決手段】 気体の噴出によって測定光路の周りにパ
ージ気体域3を生じさせるための気体パージノズル2
を、そのノズル出口20での気体流速を測定対象面に亘
って確保することができる位置に配置し、気体パージノ
ズル2及び測定対象面の間にパージ気体域3を生じさせ
るようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は例えば鉄鋼プロセス
において、高温鋼材の連続鋳造、熱間圧延、厚板圧延等
の加工プロセスでの被加工材の形状、運動等を光学的に
測定するための測定光路の気体パージ方法及びこれに用
いる気体パージ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年のレーザー技術の発達により、小型
でランニングコストが安く、しかも、耐久性の高い半導
体レーザー光源が実用化されており、近年に至るまでは
適用不可能であつた環境の厳しい製造ラインへレーザー
光を用いた光学式計測器の適用が試みられるようになっ
てきた。
【0003】このような光学式計測器の適用において
は、計測器自体の耐久性を確保することが重要であり、
さらに、粉塵、ヒューム、水蒸気及び霧状水滴が充満す
る劣悪な環境の下で測定に必要な測定光路を確保する技
術が重要となっている。
【0004】鉄鋼プロセスにおいては、連続鋳造、熱間
圧延、厚板圧延、シームレス鋼管製造及び棒鋼圧延等の
高温鋼材の加工プロセスがこれにあたり、圧延中の幅、
長さ、厚み及び平坦度等の形状、温度、通板速度等の製
造条件を測定するため、被圧延材の表面にレーザー光を
照射してその反射光を計測する光学的な測定装置が広く
用いられつつある。
【0005】この加工プロセスにおいては、圧延ロール
等の加工工具、保護及び被加工材の冷却を目的として大
量の水を使用しているため、測定光路の周りに水蒸気や
霧状水滴が多く発生する。また、被測定材が高温である
ため該被測定材によってヒュームが多く発生し、高温で
酸化した鋼のスケールが粉塵となって周辺に飛散する現
象が発生する。
【0006】このような環境の下へ光学式計測器を適用
する際には、レンズやミラー、ガラス等を保護するとと
もに測定光路を確保するため、光学式測定器の測定対象
面側にフード装置や気体パージノズルを取付けることが
一般的である。
【0007】気体パージノズルを使用するものとして、
例えば実開平5−59262号公報及び実開昭64−3
3042号公報に記載されたものが知られている。
【0008】前者の実開平5−59262号公報に記載
されたものは、2種類の気体パージノズルを備え、これ
ら気体パージノズルを前記測定光路に対し偏倚した位置
に配置し、各ノズル出口から測定光路に対し斜めに気体
を噴出させるように構成されている。
【0009】また、後者の実開昭64−33042号公
報に記載されたものは、光学式計測器の測定対象面側に
測定光路に沿って気体を噴出する気体パージノズルを設
け、該気体パージノズルのノズル出口部に導光管を結合
し、気体パージノズルから導光管内へ層流状の気体を噴
出することによって測定光路の周り、換言すれば前記導
光管内にパージ気体域を生じさせるように構成されてい
る。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、気体パ
ージノズルを使用する前者の実開平5−59262号公
報に記載されたものにあっては、2種類の気体パージノ
ズルが使用されるため、比較的構造が複雑であり、ま
た、後者の実開昭64−33042号公報に記載された
ものにあっては、気体パージノズルとは別個に導光管を
設け、該導光管内にパージ気体域を生じさせるものであ
るため、構造が比較的複雑であり、何れも比較的コスト
高になるという問題がある。
【0011】本発明は斯かる事情に鑑みてなされたもの
であり、従来例の如く2種類の気体パージノズルを用い
たり、又は導光管を用いたりすることなく、気体パージ
ノズルを、そのノズル出口での気体流速を測定対象面に
亘って確保することができる位置に配置して該気体パー
ジノズル及び測定対象面の間にパージ気体域を生じさせ
ることにより、気体パージノズル及び測定対象面間の測
定光路に劣悪な周辺雰囲気が侵入することを良好に防止
することができ、良好な測定光路を確保することができ
て、しかも、従来例の如く2種類の気体パージノズルを
用いたり、又は導光管を用いたりするものに比較して構
造を簡単にでき、コストを低減することができる気体パ
ーシ方法を提供することにある。
【0012】また、供給された気体を整流する整流手段
と、該整流手段が整流した気体を案内する案内路と、該
案内路に絞り部を介して連続するノズル出口とを備えた
気体パージノズルのノズル出口を前記案内路に対し30
〜70%の割合で絞ることにより、気体の巻き込みが起
こらないポテンシャルコアを比較的長くすることがで
き、劣悪な周辺環境の下においても良好な測定光路を確
保することができる気体パージ装置を提供することにあ
る。
【0013】
【課題を解決するための手段】第1発明に係る気体パー
ジ方法は、光学式計測器の測定対象面側に気体パージノ
ズルを配置し、該気体パージノズルが気体を噴出するこ
とによって測定光路の周りにパージ気体域を生じさせる
気体パージ方法において、前記気体パージノズルを、そ
のノズル出口での気体流速を測定対象面に亘って確保す
ることができる位置に配置して、該気体パージノズル及
び前記測定対象面の間にパージ気体域を生じさせること
を特徴とする。
【0014】この第1発明にあっては、気体パージノズ
ルのノズル出口から一定流速の気体が静止流体中へ噴出
されたとき、この噴出流域(パージ気体域)の外周部と
静止流体との接触部に摩擦応力が発生し、パージ気体域
の外周部に環状剪断層が生じ、パージ気体域の中心部は
ノズル出口での気体流速が保たれることになる。前記環
状剪断層はノズル出口にきわめて近い位置から乱流とな
り、環状剪断層の内側部分はパージ気体域が長くなるに
従ってパージ気体域の中心部へ侵入し、ついにはこの中
心部も乱流となる。
【0015】このようにパージ気体域の中心部は適宜の
長さに亘ってノズル出口での気体流速が保たれ、非剪断
層となるため、測定対象面に亘って非剪断層となる位置
に気体パージノズルを配置し、前記非剪断層を光学式測
定器の測定光路とすることによって、劣悪な周辺環境の
下においても従来例の如く2種類の気体パージノズルを
用いたり、又は導光管を用いたりすることなく良好な測
定光路を確保することができる。
【0016】第2発明に係る気体パージ方法は、ノズル
出口での気体流速が噴出方向へ適宜の長さに亘って保た
れるポテンシャルコアを生じさせる手段を備えた気体パ
ージノズルを用いることを特徴とする。
【0017】この第2発明にあっては、ポテンシャル手
段を備えた気体パージノズルを用いるため、ノズル出口
から一定流速の気体が静止流体中へ噴出されたとき、こ
の噴出流域(パージ気体域)の外周部は静止流体との接
触によって環状剪断層となり、中心部はノズル出口での
気体流速が噴出方向へ適宜の長さに亘って保たれるポン
シャルコアとなる。
【0018】このようにパージ気体域の中心部はポンシ
ャルコアとなるため、このポンシャルコアを光学式測定
器の測定光路とすることによって、劣悪な周辺環境の下
においても従来例の如く2種類の気体パージノズルを用
いたり、又は導光管を用いたりすることなく良好な測定
光路を確保することができる。
【0019】第3発明に係る気体パージ方法は、前記気
体パージノズル及び測定対象面の間の距離を、前記ノズ
ル出口の内径の5倍以内にすることを特徴とする。
【0020】この第3発明にあっては、ポンシャルコア
はノズル出口の内径の5倍以内のパージ気体域に生じさ
せることができるため、ノズル出口の内径に基づいて気
体パージノズルの適正な配置位置を容易に決めることが
できる。
【0021】第4発明に係る気体パージ装置は、光学式
計測器の測定対象面側に設けられた気体パージノズルが
気体を噴出することによって測定光路の周りにパージ気
体域を生じさせるようにした気体パージ装置において、
前記気体パージノズルは、気体供給源から供給された気
体を整流する整流手段と、該整流手段が整流した気体を
案内する案内路と、該案内路に連続し、ノズル出口を有
する絞り部とを備え、前記ノズル出口が前記案内路に対
し30〜70%の割合で絞られていることを特徴とす
る。
【0022】この第4発明にあっては、整流手段によっ
て整流され、案内路を流通する気体を絞り量が比較的多
いノズル出口から噴出させることができ、その噴出流域
中心部の流速を比較的速くすることができるとともに、
噴出流域外周部の乱流を十分に抑制することができるた
め、ノズル出口での気体流速が噴出方向へ適宜の長さに
亘って保たれるポンシャルコアを比較的長くすることが
でき、良好な測定光路を確保することができる。尚、ノ
ズル出口の絞り量が30%未満である場合は、噴出流域
中心部の流速が比較的遅くなるとともに、噴出流域外周
部の乱流抑制効果が十分に得られず、ポンシャルコアの
長さが不足することになる。また、ノズル出口の絞り量
が70%を超える場合は、気体パージノズルの内部で気
体の剥離現象が発生し、ノズル出口から噴出された際、
かえって噴出流域外周部の乱流が多くなり、ポンシャル
コアの長さが不足することになる。
【0023】
【発明の実施の形態】以下本発明をその実施の形態を示
す図面に基づいて詳述する。 実施の形態1 図1は気体パージノズルが噴出して生ずるパージ気体域
(噴出流域)の発達過程を示す模式図、図2は本発明に
係る気体パージ装置及び気体パージ方法に用いられる気
体パージノズルのノズル出口部分の断面図である。
【0024】この実施の形態1の気体パージ装置は、測
定対象面Aへレーザー光を照射し、その反射光を計測す
る光学式計測器1と、該光学式計測器1の測定対象面A
側に設けられる気体パージノズル2とを備え、該気体パ
ージノズル2のノズル出口20からエア,ガス等の気
体、好ましくはエアを噴出することによって測定光路の
周りにパージ気体域3を生じさせるように構成されてい
る。
【0025】図2の気体パージノズル2は、気体供給源
(図示せず)から供給された気体を整流する整流手段2
1と、該整流手段21が整流した気体を案内する円筒状
の案内路22と、該案内路22に連続し、ノズル出口2
0を有する絞り部23とを備えており、これら整流手段
21及び絞り部23がノズル出口20での気体流速が噴
出方向へ適宜の長さに亘って保たれるポテンシャルコア
(ポテンシャル流れ)4を生じさせる手段を構成してい
る。
【0026】整流手段21は、気体パージノズル2内に
設けられ、供給された気体が通過することによって整流
させることが可能な金網、ハニカムコア等を用いてな
る。
【0027】ノズル出口20は案内路22に対し30〜
70%の割合で絞られており、このノズル出口20から
前記案内路22の内面までがテーパー面を有する前記絞
り部23としてある。
【0028】図3は以上の如く構成された気体パージ装
置を用いて測定光路を気体パージする方法の模式図であ
る。被圧延材等の測定対象面Aと適宜の間隔を隔てた位
置に気体パージ装置Bを配置し、気体パージノズル2と
前記測定対象面Aとの間をパージ気体域3とする。そし
て、光学式計測器1から気体パージノズル2の中心部を
経て前記測定対象面Aへレーザー光を照射し、その反射
光を光学式計測器1によって計測するのであり、この計
測する際、気体供給源から気体パージノズル2へ供給さ
れた気体を、整流手段21により整流し、絞り部23に
よって絞った後、ノズル出口20から前記測定対象面A
へ向けて噴出することによって前記パージ気体域3を生
じさせる。
【0029】このパージ気体域3は、その外周部と静止
流体との接触部に摩擦応力が発生し、パージ気体域3の
外周部に環状剪断層5が生じ、パージ気体域3の両端間
の中心部、換言すれば測定光路にはノズル出口20での
気体流速が保たれるポテンシャルコア4を生じさせるこ
とができる。すなわち、絞り量が比較的多いノズル出口
20から噴出させるため、その噴出流域中心部の流速を
比較的速くすることができるとともに、噴出流域外周部
の乱流を十分に抑制することができ、ポンシャルコアを
比較的長くすることができる。このようにポテンシャル
コア4内を測定光路とするため、劣悪な周辺環境の下に
おいても従来例の如く2種類の気体パージノズルを用い
たり、又は導光管を用いたりすることなく良好な測定光
路を確保することができる。
【0030】以上の如く構成された気体パージ装置Bの
有効性を確認するため、オフラインにおいて、熱線流速
計により評価試験を実施した。図4はその際の実験装置
1の構成を示す模式図である。
【0031】実験装置1は、ノズル出口20を上方へ向
けて開放した気体パージノズル2の上側に、オシロスコ
ープ10に接続された熱線流速計11のプローブ11a
を配置し、また、気体パージノズル2の一側にミストス
プレー6を配置し、該ミストスプレー6からノズル出口
20へ向けて霧を吹き付けることにより、パージ気体域
3へ霧状水滴を巻き込むことが可能としてある。
【0032】気体パージノズル2は、ポテンシャルコア
4を生じさせる手段を有しない第1ノズルと、ポテンシ
ャルコア4を生じさせる手段を有する第2ノズルとを別
個に用い、これら第1ノズル及び第2ノズルのノズル出
口20の内径Dをφ50mm、気体噴出流量を8Nm3/min
とした。
【0033】また、熱線流速計11は、約150℃に加
熱されたワイヤー又はフィルム(熱容量が小さい)を先
端に有するプローブ11aをパージ気体域3に配置し、
プローブ11aがパージ気体域3の気体に奪われた熱量
を測定し、流速に換算するセンサであり、測定に使用し
た熱線流速計11は、プローブ11aとして円錐形フィ
ルムプローブを使用し、測定流速レンジは0〜200m/
s 、測定周期は10kHz である。また、プローブ持部に
はXYZステージが備わっており、パージ気体域3の任
意の点で流速を測定可能としてある。実験では、各測定
位置において、1000点連続して測定した流速結果に
基づいて、平均流速、乱流強度(流速の標準偏差/平均
流速)を算出した。
【0034】霧状水滴の巻き込みの評価としては、ミス
トスプレー6にて水滴をパージ気体域3へ巻き込ませた
状態において、熱線流速計11によって流速を測定する
ことにより評価できる。前記プローブ11aによる気体
流速の測定位置に霧状水滴が侵入してくれば、水は気体
の比べて熱容量が大きいため、プローブ11aは多くの
熱を奪われ、流速が高めに測定される現象を利用した。
【0035】図5は第1ノズルの特性を示す図であり、
図6は第2ノズルの特性を示す図である。ポテンシャル
コア4を生じさせる手段を有しない第1ノズルから噴出
された気体によって生じるパージ気体域3の測定位置で
の流速分布は、中心部を頂点として外周側へ広がるに伴
い比較的急激に遅くなり、中心部を頂点とする略円錐形
状となるのに対し、ポテンシャルコア4を生じさせる手
段を有する第2ノズルから噴出された気体によって生じ
るパージ気体域3の測定位置での流速分布は、中心部か
ら外周側へ適宜の幅に亘ってほぼ同速である。このよう
に第2ノズルにあっては測定位置でのポテンシャルコア
4の広がりが、第1ノズルに比較して大幅に大きいた
め、ポテンシャルコア4の長さを大幅に長くすることが
できる。
【0036】図7はポテンシャルコア4を生じさせる手
段を有しない第1ノズルを用いた際のパージ気体域3中
心部の中心線上での流速変化を示したグラフである。ミ
ストスプレー6から霧状水滴を噴霧しない場合、中心線
上での流速はパージ気体域3の長さが長くなるに従って
比較的急激に減少することになり、また、ミストスプレ
ー6から噴霧された霧状水滴がパージ気体域3に巻き込
まれた場合、ノズル出口20から150mmたらずの距離
で流速が若干高めに出力されパージ気体域3の中心にま
で水滴が侵入してきていることが分かる。
【0037】図8はポテンシャルコア4を生じさせる手
段を有する第2ノズルを用いた際のパージ気体域中心部
の中心線上での流速変化を示したグラフである。ミスト
スプレー6から霧状水滴を噴霧しない場合、中心線上で
の流速はノズル出口20から250mmの距離に亘って保
持され、この距離はノズル出口20の内径の5倍に相当
する。また、ミストスプレー6から噴霧された霧状水滴
がパージ気体域3に巻き込まれた場合、ノズル出口20
から250mmの距離で流速が若干高めに出力されパージ
気体域3の中心にまで水滴が侵入してきていることが分
かる。
【0038】これら図5〜図8の実験結果により、ノズ
ル出口20の流速が保持されるポテンシャルコア4には
周辺雰囲気が巻き込まれないこと、ポテンシャルコア4
を生じさせる手段を備えている方が、ポテンシャルコア
4の長さを長くすることが可能であり、その長さはノズ
ル出口20の内径のほぼ5倍であること、換言すれば気
体パージノズル2及び測定対象面Aの間の距離がノズル
出口20の内径のほぼ5倍に近づけることが好ましいこ
とが分かる。
【0039】本発明に係る気体パージ装置Bの有効性を
別の光学式測定器1を用いて確認試験を実施した。この
確認試験は、霧状水滴が充満する熱間圧延の搬送ライ
ン、パスラインの下においてレーザードップラー流速計
(図示せず)による鋼板の速度測定を行ったものであ
り、図9はその際の実験装置2の構成を示す模式図であ
る。
【0040】実験装置2は、複数の搬送ロール7によっ
て搬送される鋼板8の下側に気体パージ装置Bが配置さ
れている。
【0041】気体パージノズル2は、実験装置1と同
様、ポテンシャルコア4を生じさせる手段を有しない第
1ノズルと、ポテンシャルコア4を生じさせる手段を有
する第2ノズルとを別個に用いるのであり、これら第1
ノズル及び第2ノズルのノズル出口20から鋼板パスラ
インまでの距離は200mmに固定してある。尚、ノズル
出口20の内径はφ50mm、気体噴出流量は8Nm3/min
である。
【0042】また、レーザードップラー流速計は、焦点
距離1000mmの熱間測定を対象としたものである。
【0043】図10は第1ノズルを用いた際のレーザー
ドップラー流速計の出力変動を示したグラフ、図11は
第2ノズルを用いた際のレーザードップラー流速計の出
力変動を示したグラフである。
【0044】第2ノズルを用いたものは、パージ気体域
3の測定光路となる中心部は全長に亘ってノズル出口2
0での流速が保持されており、しかも、この中心部のポ
テンシャルコア4には霧状水滴等の周辺雰囲気が巻き込
まれないため、ポテンシャルコア4を生じさせる手段を
有しない第1ノズルを用いたものに比較して速度測定の
バラツキを大きく改善することができ、精度のよい測定
が可能になっていることが分かる。
【0045】実施の形態2 図12は気体パージノズル2のノズル出口20部分の断
面図、図13は図12の気体パージノズルによって生ず
るパージ気体域(噴出流域)の流速分布の変化を示す模
式図である。この実施の形態2は、整流手段21を備
え、さらにノズル出口20を絞ることによってポテンシ
ャルコア4を生じさせるように構成する代わりに、大径
ノズル出口20aを有する大径ノズル本体24内に小径
ノズル出口20bを有する小径ノズル本体25が適宜の
間隔を隔てて同軸的に設けられている気体パージノズル
2aとしたものであり、その他の構成及び作用は実施の
形態1と同じであるため、共通部品については同じ符号
を付し、その詳細な説明、構造及び作用を省略する。
【0046】小径ノズル出口20bは大径ノズル出口2
0aよりも適宜距離内側に配置してあり、また、大径ノ
ズル本体24及び小径ノズル本体25は、気体供給源に
個別に連通しており、この気体供給源から供給された気
体を大径ノズル出口20a及び小径ノズル出口20bか
ら測定対象面Aへ向けて噴出し、この測定対象面Aと気
体パージノズル2との間にパージ気体域3を生じさせ
る。大径ノズル本体24内には小径ノズル本体25が同
軸的に設けられているため、大径ノズル出口20aでは
環状の流速分布となり、小径ノズル出口20bでは棒状
の流速分布となり、これら環状及び棒状の流速分布で噴
出されることにより、これらがその噴出流域で合流す
る。従って、大径ノズル本体24及び小径ノズル本体2
5に供給する気体流量を調整することにより、大径ノズ
ル出口20aにおいて一様な流速分布を得ることがで
き、ポンシャルコア4の長さを比較的長くすることがで
き、良好な測定光路を得ることができる。尚、この実施
の形態2においても、ポンシャルコア4の長さは、大径
ノズル出口20aの内径のほぼ5倍にすることができ
る。
【0047】
【発明の効果】以上詳述した如く第1発明によれば、ノ
ズル出口での気体流速を測定対象面に亘って確保するこ
とができる位置に気体パージノズルを配置し、該気体パ
ージノズル及び測定対象面の間にパージ気体域を生じさ
るため、従来例の如く導光管を用いることなく劣悪な環
境下でも測定に必要な安定した光路を確保でき、安定し
た高精度な測定を行うことができる。
【0048】第2発明によれば、ポテンシャルコアを生
じさせる手段を備え気体パージノズルを用いるため、周
辺雰囲気の巻き込みを防止することができるポテンシャ
ルコアの長さを比較的長くすることができ、気体パージ
ノズルを測定対象面に対しより一層離隔させることがで
き、パージ気体装置の配置スペースを確保し易いのであ
る。
【0049】第3発明によれば、ノズル出口の口径に基
づいて気体パージノズルの適正な配置位置を容易に決め
ることができる。
【0050】第4発明によれば、噴出流域中心部の流速
を比較的速くすることができるとともに、噴出流域外周
部の乱流を十分に抑制することができるため、ノズル出
口での気体流速が噴出方向へ適宜の長さに亘って保たれ
るポンシャルコアを比較的長くすることができ、良好な
測定光路を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】気体パージノズルが噴出して生ずるパージ気体
域の発達過程を示す模式図である。
【図2】本発明に係る気体パージ装置及び気体パージ方
法に用いられる気体パージノズルのノズル出口部分の断
面図である。
【図3】本発明に係る気体パージ方法の模式図である。
【図4】本発明に係る気体パージ装置及び気体パージ方
法の実験装置1の構成を示す模式図である。
【図5】ポテンシャルコアを生じさせる手段を有しない
第1ノズルの特性を示す図である。
【図6】ポテンシャルコアを生じさせる手段を有する第
2ノズルの特性を示す図である。
【図7】ポテンシャルコアを生じさせる手段を有しない
第1ノズルを用いた際のパージ気体域中心部の中心線上
での流速変化を示したグラフである。
【図8】ポテンシャルコアを生じさせる手段を有する第
2ノズルを用いた際のパージ気体域中心部の中心線上で
の流速変化を示したグラフである。
【図9】本発明に係る気体パージ装置及び気体パージ方
法の実験装置2の構成を示す模式図である。
【図10】実験装置2に第1ノズルを用いた際のレーザ
ードップラー流速計の出力変動を示したグラフである。
【図11】実験装置2に第2ノズルを用いた際のレーザ
ードップラー流速計の出力変動を示したグラフである。
【図12】本発明に係る気体パージ装置及び気体パージ
方法に用いられる気体パージノズルのノズル出口部分の
断面図である。
【図13】図12の気体パージノズルによって生ずるパ
ージ気体域の流速分布の変化を示す模式図である。
【符号の説明】
1 光学式計測器 2,2a 気体パージノズル 20 ノズル出口 20a 大径ノズル出口 20b 小径ノズル出口 21 整流手段 22 案内路 23 絞り部 24 大径ノズル本体 25 小径ノズル本体 3 パージ気体域 4 ポテンシャルコア

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光学式計測器の測定対象面側に気体パー
    ジノズルを配置し、該気体パージノズルが気体を噴出す
    ることによって測定光路の周りにパージ気体域を生じさ
    せる気体パージ方法において、前記気体パージノズル
    を、そのノズル出口での気体流速を測定対象面に亘って
    確保することができる位置に配置して、該気体パージノ
    ズル及び前記測定対象面の間にパージ気体域を生じさせ
    ることを特徴とする測定光路の気体パージ方法。
  2. 【請求項2】 ノズル出口での気体流速が噴出方向へ適
    宜の長さに亘って保たれるポテンシャルコアを生じさせ
    る手段を備えた気体パージノズルを用いる請求項1記載
    の測定光路の気体パージ方法。
  3. 【請求項3】 前記気体パージノズル及び測定対象面の
    間の距離を、前記ノズル出口の内径の5倍以内にする請
    求項1又は請求項2記載の測定光路の気体パージ方法。
  4. 【請求項4】 光学式計測器の測定対象面側に設けられ
    た気体パージノズルが気体を噴出することによって測定
    光路の周りにパージ気体域を生じさせるようにした気体
    パージ装置において、前記気体パージノズルは、気体供
    給源から供給された気体を整流する整流手段と、該整流
    手段が整流した気体を案内する案内路と、該案内路に連
    続し、ノズル出口を有する絞り部とを備え、前記ノズル
    出口が前記案内路に対し30〜70%の割合で絞られて
    いることを特徴とする気体パージ装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009115830A (ja) * 2009-03-06 2009-05-28 Toshiba Corp レーザ超音波検査装置
JP2012071330A (ja) * 2010-09-29 2012-04-12 Jfe Steel Corp 連続鋳造機内での鋳片表面温度の測定方法
JP2016057085A (ja) * 2014-09-05 2016-04-21 新日鐵住金株式会社 速度計
CN106370564A (zh) * 2016-10-08 2017-02-01 苏州曼德克光电有限公司 一种粉尘测试光路元件的射流保护装置
CN108226042A (zh) * 2018-02-13 2018-06-29 天津同阳科技发展有限公司 反射镜净化装置及其方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009115830A (ja) * 2009-03-06 2009-05-28 Toshiba Corp レーザ超音波検査装置
JP4621781B2 (ja) * 2009-03-06 2011-01-26 株式会社東芝 レーザ超音波検査装置
JP2012071330A (ja) * 2010-09-29 2012-04-12 Jfe Steel Corp 連続鋳造機内での鋳片表面温度の測定方法
JP2016057085A (ja) * 2014-09-05 2016-04-21 新日鐵住金株式会社 速度計
CN106370564A (zh) * 2016-10-08 2017-02-01 苏州曼德克光电有限公司 一种粉尘测试光路元件的射流保护装置
CN108226042A (zh) * 2018-02-13 2018-06-29 天津同阳科技发展有限公司 反射镜净化装置及其方法
CN108226042B (zh) * 2018-02-13 2023-11-10 天津同阳科技发展有限公司 反射镜净化装置及其方法

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