JP2000299062A

JP2000299062A - プラズマディスプレイパネル用隔壁およびその製造方法

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Publication number: JP2000299062A
Application number: JP11107292A
Authority: JP
Inventors: Kozo Tajiri; 浩三田尻; Seiichi Tejima; 成市手嶋; Yoshinobu Asako; 佳延浅子
Original assignee: Nippon Shokubai Co Ltd
Current assignee: Nippon Shokubai Co Ltd
Priority date: 1999-04-14
Filing date: 1999-04-14
Publication date: 2000-10-24
Anticipated expiration: 2019-04-14
Also published as: JP4067691B2

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な製造工程で成形することができ、平坦
性に優れかつ微細化が可能なプラズマディスプレイパネ
ル用の隔壁およびその製造方法を提供する。【解決手段】一対の絶縁基板を対向させ、該絶縁基板
間に微小な放電表示セルとなる空間を形成する隔壁と複
数の電極群を設け、該空間に放電可能なガスを封入した
気密構造を形成するとともに、該電極間の放電によりプ
ラズマを発生させ、該プラズマにより放電表示セル内の
蛍光体を発光させて画面の発光素子とするプラズマディ
スプレイパネルにおいて、該隔壁が含フッ素芳香族樹脂
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用
隔壁。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高精度かつ安価な
薄型の大型画面用カラー表示装置等に用いられるプラズ
マディスプレイパネル用隔壁及びその製造方法に関する
ものである。より詳しくは、本発明は、耐熱性、平坦性
及びガスバリアー性に優れた含フッ素芳香族樹脂を含む
高精度かつ安価な薄型の大型画面用カラー表示装置等に
用いられるプラズマディスプレイパネル用隔壁およびそ
の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】薄型の大型画面用のカラー表示装置等に
用いられるプラズマディスプレイパネル（以下、単に
「プラズマディスプレイパネル」と称する）は、微小な
放電表示セルとなる一対の絶縁基板間を仕切る隔壁に囲
まれて形成される空間に、対向する電極を設け、前記空
間に希ガス（例えば、ネオンガスやキセノンガスとネオ
ンガスとの混合ガス）等の放電可能なガスを封入した気
密構造を成しており、前記対向する電極間に電圧を選択
的に印加し、放電によりプラズマを発生させ、このプラ
ズマにより放電表示セル内の３原色の蛍光体を励起発光
させて画面の発光素子として利用するものである。

【０００３】このようなプラズマディスプレイパネルの
放電表示セルを構成するための隔壁を製造する方法とし
ては、一般に、印刷積層（スクリーン印刷）法が良く知
られている。この印刷積層法は、ガラスフリットを主成
分とする隔壁材料のペーストを用いて厚膜印刷法により
放電表示セルの所定形状をパターンとして絶縁基板上に
印刷形成するものであり、１回の印刷で形成できる膜の
厚さが約１０〜１５μｍ程度であることから、印刷、乾
燥工程を繰り返すことにより約１００〜２００μｍの高
さになるまで放電表示セルの隔壁を形成した後、絶縁基
板と共に焼成一体化することからなるものである。しか
しながら、上記印刷積層法では、所定の高さの隔壁を形
成するためには、印刷、乾燥工程を何回も繰り返して積
層しなければならず、極めて工程数が多くなり、その
上、積層毎に精度良く印刷することが必要であるにもか
かわらず、印刷製版の伸び等のために位置ずれを生じ易
く、製造歩留りが悪い上、スクリーン印刷の場合には、
第１層目の印刷が重要であるものの、しばしば隔壁の裾
に乱れが生じ易いため、より高精度のパターニングが困
難であるという問題があった。

【０００４】このような問題を解決するために、フォト
リソグラフィー技術を用いたサンドブラスト法が提案さ
れた。上記サンドブラスト法は、絶縁基板上に所定厚さ
の隔壁形成層を被覆した後、仮焼し、仮焼体の表面に形
成した隔壁形状のレジストマスクを介してサンドブラス
トにて隔壁以外の仮焼体部分を除去し、更に絶縁基板と
ともに焼成一体化して隔壁を形成する方法である（特開
平４−２５９，７２８号公報）。しかしながら、上記サ
ンドブラスト法は、レジストマスク形成にフォトレジス
トを用いることから高精度なパターニングが可能となる
ものの、ブラスト加工に用いる研磨剤を回収し、繰り返
して使用する場合には、研磨剤の摩耗劣化による研削力
の低下や経時変化があり、工程管理が難しく安定して量
産することが困難であるという課題がある。加えて、ガ
ラスを主成分とする無機材料から構成される隔壁成形体
は、前述のようにして隔壁成形体を作製した後、最後の
製造工程において約５００〜６００℃の温度で焼成する
必要があり、該焼成に伴う歩留り低下や、コスト高であ
る点から、高精度で微細なピッチを有するプラズマディ
スプレイパネル用隔壁を容易に歩留り良く、低コストで
製造することが困難であるという課題もあった。

【０００５】このため、このような課題を解決する方法
が試みられ、その一例として、耐熱性樹脂であるポリイ
ミド系樹脂を主成分とする隔壁用組成物を用いて形成さ
れるプラズマディスプレイパネル用隔壁が報告された
（特開平１０−１４９，７７５号公報）。このプラズマ
ディスプレイパネル用隔壁は、成形型にポリイミド系樹
脂を含有する隔壁用組成物を充填して絶縁基板と密着さ
せることによって、あるいは絶縁基板に直接形成した感
光性樹脂からなる開口部を有する成形型にポリイミド系
樹脂を含有する隔壁用組成物を充填した後、この感光性
樹脂を除去することによって、絶縁基板と一体化された
ポリイミド系樹脂を主成分とする隔壁として形成され
る。しかしながら、この製造方法によって、確かにプラ
ズマディスプレイパネルの放電表示セルを構成する隔壁
を簡単な製造工程で高精度に再現性良く成形することが
できかつ低コストで寸法精度の優れた大型画面化が容易
で高精細度化が実現できるものであるが、表面が粗く平
坦性が十分でなく、隔壁表面に気孔が発生して微細化が
困難であるといった問題がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、プラズマディスプレイパネルの放電表示セルを
構成する隔壁を簡単な製造工程で高精度に再現性良く成
形することができ、低コストで寸法精度の優れた大型画
面化が容易で高精細度化が実現でき、さらに平坦性に優
れかつ微細化が可能なプラズマディスプレイパネル用の
隔壁およびその製造方法を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記諸目
的を達成するために鋭意検討した結果、本願発明者らが
これまで研究を行ってきた含フッ素芳香族樹脂が耐熱
性、ガスバリアー性及び平坦性に優れていること着目
し、このような含フッ素芳香族樹脂を用いてプラズマデ
ィスプレイパネル用の隔壁を製造することによって、隔
壁を簡単な製造工程で高精度に再現性良く形成すること
ができ、さらに製造された隔壁は優れた平坦性を有しか
つ微細化も可能であることを発見した。これらの知見に
基づいて、本発明を完成するに至った。

【０００８】すなわち、上記諸目的は、以下の（ア）〜
（オ）によって達成される。

【０００９】（ア）一対の絶縁基板を対向させ、前記絶
縁基板間に微小な放電表示セルとなる空間を形成する隔
壁と複数の電極群を設け、前記空間に放電可能なガスを
封入した気密構造を形成するとともに、前記電極間の放
電によりプラズマを発生させ、前記プラズマにより放電
表示セル内の蛍光体を発光させて画面の発光素子とする
プラズマディスプレイパネルにおいて、前記隔壁が含フ
ッ素芳香族樹脂を含むことを特徴とするプラズマディス
プレイパネル用隔壁。

【００１０】（イ）前記隔壁が含フッ素芳香族化合物の
化学的蒸着によって形成される、前記（ア）に記載のプ
ラズマディスプレイパネル用隔壁。

【００１１】（ウ）前記含フッ素芳香族化合物が以下の
６種から選ばれる少なくとも一種である、前記（イ）に
記載のプラズマディスプレイパネル用隔壁：

【００１２】

【化１】ただし、Ｘ、Ｘ¹、Ｘ²及びＸ³は、それぞれ独立して、
フッ素原子、塩素原子またはメチル基を表し；Ｚ¹及び
Ｚ²は、それぞれ独立して、臭素原子、塩素原子または
ヨウ素原子を表し；ｋ及びｋ’は、それぞれ独立して、
０〜４の整数であり；ｍ及びｍ’は、それぞれ独立し
て、０〜３の整数であり；ならびにｎは０〜２の整数で
ある。

【００１３】（エ）隔壁を含フッ素芳香族化合物を主成
分とする隔壁用組成物で形成する工程を含むプラズマデ
ィスプレイパネル用隔壁の製造方法。

【００１４】（オ）前記隔壁が含フッ素芳香族化合物を
主成分とする隔壁用組成物を化学的蒸着によって形成さ
れる、前記（エ）に記載の方法。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。

【００１６】第一の概念によると、本発明は、一対の絶
縁基板を対向させ、前記絶縁基板間に微小な放電表示セ
ルとなる空間を形成する隔壁と複数の電極群を設け、前
記空間に放電可能なガスを封入した気密構造を形成する
とともに、前記電極間の放電によりプラズマを発生さ
せ、前記プラズマにより放電表示セル内の蛍光体を発光
させて画面の発光素子とするプラズマディスプレイパネ
ルにおいて、前記隔壁が含フッ素芳香族樹脂を含むこと
を特徴とするプラズマディスプレイパネル用隔壁を提供
する。

【００１７】本発明のプラズマディスプレイパネル用隔
壁（以下、「ＰＤＰ用隔壁」と略称する）を構成する含
フッ素芳香族樹脂は、特に制限されるものではなく、含
フッ素芳香族化合物を重合することによって得られる。
本発明において使用される含フッ素芳香族化合物として
は、特に制限されないが、プラズマディスプレイパネル
を構成する一対の絶縁基板である前面板と背面板を気密
封止するのに必要な温度に耐え得る材料であることが好
ましい。このような含フッ素芳香族化合物の具体例とし
ては、環状骨格部に２個のＣＦ₂Ｚ（Ｚ＝Ｂｒ、Ｉまた
はＣｌ）基を有するベンゼン、ビフェニル、フェニルエ
ーテル、インデン、インダン、ナフタレン、１，４−ジ
ヒドロナフタレン、テトラリン、ビフェニレン、アセナ
フチレン、アセナフテン、フルオレン、フェナントレ
ン、アントラセン、フルオランテン、アセアントレン、
ピレン、１−フェニルナフタリン及び２−フェニルナフ
タリン；ならびに下記式（１）〜（３）で示される化合
物が挙げられる。

【００１８】

【化２】

【００１９】

【化３】

【００２０】

【化４】上記式（１）及び（２）において、Ｘ¹及びＸ²は、それ
ぞれ独立して、フッ素原子、塩素原子またはメチル基、
好ましくはフッ素原子を表し；ならびにｋ及びｋ’は、
それぞれ独立して、０〜４、好ましくは０、３、４の整
数、より好ましくは０、４の整数である。また、上記式
（３）において、Ｙ¹及びＹ²は、それぞれ独立して、フ
ッ素原子またはメチル基、好ましくはフッ素原子を表
し；ｐ及びｐ’は、それぞれ独立して、０〜４、好まし
くは０、３、４の整数、より好ましくは０、４の整数で
あり；かつＹ¹及びＹ²の少なくとも一はフッ素原子を表
す。

【００２１】上記した含フッ素芳香族化合物のうち、環
状骨格部において２個のＣＦ₂Ｚ（Ｚ＝Ｂｒ、Ｉまたは
Ｃｌ；以下、同様）基を有するベンゼン、ナフタレン及
びアントラセン；ならびに式（１）〜（３）で示される
化合物、より好ましくは環状骨格部において２個のＣＦ
₂Ｚ基を有するベンゼン、ナフタレン及びアントラセン
が好ましく使用される。さらに、本発明において好まし
く使用される環状骨格部に２個のＣＦ₂Ｚ基を有するベ
ンゼン、ナフタレン及びアントラセンにおいて、置換基
であるＣＦ₂Ｚ基の結合位置は、重合する際の含フッ素
芳香族樹脂の２次構造の点を考慮すると、環状骨格部に
おいて対称の位置となることが望ましく、即ち、下記含
フッ素芳香族化合物が本発明において特に好ましく使用
される。

【００２２】

【化５】上記式において、Ｘ、Ｘ¹、Ｘ²及びＸ³は、それぞれ独
立して、フッ素原子、塩素原子またはメチル基、好まし
くはフッ素原子を表し；Ｚ¹及びＺ²は、それぞれ独立し
て、臭素原子、塩素原子またはヨウ素原子、好ましくは
臭素原子を表し；ｋ及びｋ’は、それぞれ独立して、０
〜４、好ましくは０、３、４の整数、より好ましくは
０、４の整数であり；ｍ及びｍ’は、それぞれ独立し
て、０〜３、好ましくは０、３の整数であり；ならびに
ｎは０〜２、好ましくは０、２の整数である。

【００２３】本発明によると、含フッ素芳香族樹脂は、
上記含フッ素芳香族化合物を、必要であれば重合開始剤
等の他の添加剤と共に重合することによって得られる。
含フッ素芳香族樹脂としては、好ましくは、以下の６種
のいずれかが使用される。なお、本発明において、一種
の含フッ素芳香族樹脂がＰＤＰ用隔壁を形成することが
好ましいが、所望の特性によっては、二種以上の含フッ
素芳香族樹脂からＰＤＰ用隔壁を形成してもよい。

【００２４】

【化６】上記式において、Ｘ、Ｘ¹、Ｘ²、Ｘ³、ｋ、ｋ’、ｍ、
ｍ’、及びｎは、上記含フッ素芳香族化合物の好ましい
例で記載された定義と同様であり、ならびにｑは、隔壁
の所定の形状［すなわち、幅、高さ及びピッチ（間隔）
など］によって異なるが、平均、通常、１，０００〜
１，０００，０００、好ましくは１０，０００〜１０
０，０００である。

【００２５】本発明において、隔壁の幅、高さ及びピッ
チ（間隔）は、特に制限されず公知と同様の値が用いら
れる。

【００２６】本発明による隔壁は、含フッ素芳香族樹脂
に加えて、さらに他の成分を含んでいてもよい。さらな
る成分としては、例えば、ベンゾフェノン、イルガキュ
アー１８４（チバガイギー社製）、イルガキュアー９０
７（チバガイギー社製）、イルガキャアー６５１（チバ
ガイギー社製）、およびダロキュアー（メルク社製）等
の重合開始剤などが挙げられる。

【００２７】さらに、前記含フッ素芳香族化合物の重合
を阻害したり、前記気密封止温度で含フッ素芳香族樹脂
自体に変形等の悪影響を及ぼしたりせず、本発明の範疇
を逸脱しない範囲において、分散剤や溶剤、着色剤、無
機充填材等の各種添加剤を含有させることも可能であ
る。

【００２８】また、本発明はプラズマディスプレイパネ
ルを構成する隔壁に特徴を有するものであり、それ以外
の構成部材、例えば、絶縁基板、電極及び蛍光体は、特
に制限されず従来公知のものと同様のものが使用され
る。

【００２９】具体的には、絶縁基板としては、ソーダラ
イムガラスや低ソーダガラス、鉛アルカリケイ酸ガラ
ス、ホウケイ酸塩ガラス等の一般の透明ガラス基板を用
いることができ、特に高歪点低ソーダガラスが好適に使
用される。本発明において、このような絶縁基板は、公
知の方法を用いて、上記素材を板状、シート状あるいは
フィルム状に成形することによって製造され、絶縁基板
の厚みは、目的とする特性及びその材質に合わせて適宜
選択することができる。

【００３０】また、電極としては、クロム（Ｃｒ）、銅
（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、タングステン（Ｗ）
及び銀（Ａｇ）等の材料を真空蒸着、メッキ及びスパッ
タなどにより製膜することによって、上記したような絶
縁基板上に形成される。また、電極の大きさは、絶縁基
板の場合と同様、用途及びその材質などに合わせて適宜
選択することができる。

【００３１】さらに、蛍光体は、赤（Ｒ）［例えば、
（Ｙ，Ｇａ）ＢＯ₃：Ｅｕ］、緑（Ｇ）（例えば、Ｚｎ₂
ＳｉＯ₄：Ｍｎ）及び青（Ｂ）（例えば、ＭｇＡｌ₁₄Ｏ
₂₃：Ｅｕ²⁺）を１画素とする組み合わせあるいはシア
ン、マゼンタ及びイエローを１画素とする組み合わせ；
ならびに上記組み合わせのうち２種の画素を有するもの
が挙げられる。また、これらの画素の配列は、ストライ
プ状やモザイク状など、規則的であればいずれの配列で
もよい。さらに、蛍光体の厚みは、絶縁基板の場合と同
様、用途及びその材質などに合わせて適宜選択すること
ができる。

【００３２】本発明のＰＤＰ用隔壁の製造方法は、本願
発明による含フッ素芳香族化合物を用いられる方法であ
れば特に制限されることなく使用できるが、例えば、ス
クリーン印刷法、サンドブラスト法、アディティブ法、
感光性フィルムペースト法、金型法及び化学的蒸着（Ｃ
ＶＤ）法が挙げられる。これらのうち、隔壁表面の平坦
性や構造の微細化などを考慮すると、化学的蒸着（ＣＶ
Ｄ）法が好ましく使用される。

【００３３】ここで、本発明の一実施態様による化学的
蒸着（ＣＶＤ）法を用いたＰＤＰ用隔壁の製造方法を、
図１を参照しながら、以下に詳述する。図１は、本発明
によるＰＤＰ用隔壁の作製方法の一実施態様を示す工程
図を示す。なお、以下の実施態様においては、含フッ素
芳香族化合物のみから構成される隔壁用組成物を使用す
る。

【００３４】まず、絶縁基板１上に、含フッ素芳香族化
合物を所定の厚さになるように化学的蒸着（ＣＶＤ）
し、含フッ素芳香族樹脂層２を形成し、この含フッ素芳
香族樹脂層２上に蒸着によりアルミニウム層３を形成す
る［図１（ａ）］。次に、フォトレジスト塗布、プリベ
ーク、露光、現像、アフターベークを行い、パターニン
グされたレジスト層４を得る［図１（ｂ）］。続いて、
レジスト層４で被覆されなかったアルミニウム層部分を
ウェットエッチングにより除去した［図１（ｃ）］後、
レジスト層４及び相当するアルミニウム層で被覆されて
いない含フッ素芳香族樹脂部分を異方性ドライエッチン
グにより除去する［図１（ｄ）］。さらに、残ったアル
ミニウム層３をウェットエッチングで除去する［図１
（ｅ）］。

【００３５】または、本発明のＰＤＰ用隔壁を、感光性
樹脂を用いてフォトリソグラフィー法によって形成して
もよい。この態様を、第二の実施態様として以下に簡単
に説明する。まず、絶縁基板上に、含フッ素芳香族化合
物を所定の厚さになるように化学的蒸着（ＣＶＤ）し、
含フッ素芳香族樹脂層を形成し、この含フッ素芳香族樹
脂層上に感光性樹脂を均一に塗布することによって、感
光性樹脂層を形成する。次に、この感光性樹脂層上に隔
壁形状に対応したフォトマスクを置き、このフォトマス
クを介して光照射装置から光線を照射して露光し、感光
性樹脂層の露光部を硬化させ、未露光部を現像、洗浄す
る。その後、感光性樹脂層で被覆されていない含フッ素
芳香族樹脂部分を異方性ドライエッチングにより除去
し、さらに残りの感光性樹脂層を弱アルカリ溶液中に含
浸することにより、この感光性樹脂層を溶出、除去、水
洗する。このようにして、本発明のＰＤＰ用隔壁が作製
される。

【００３６】上記第二の実施態様において、感光性樹脂
としては、紫外線や可視光線、赤外線、Ｘ線あるいは電
子線等により硬化する樹脂であればいずれでもよく特に
限定されるものではないが、例えば、ラジカル重合型の
アクリル系紫外線硬化性樹脂やカチオン重合型のエポキ
シ系あるいはアゾ系紫外線硬化性樹脂、チオール・エン
付加型の紫外線硬化性樹脂が挙げられ、これらの紫外線
硬化性樹脂には、硬化触媒としてアセトフェノン類やベ
ンゾフェノン類、有機過酸化物、アゾ化合物、チオキサ
ントン類を含有させてもよい。

【００３７】本発明において使用される化学的蒸着（Ｃ
ＶＤ）としては、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ及び光ＣＶ
Ｄ等公知の化学的蒸着法が使用されるが、これらのう
ち、熱によって活性種を容易に生成することができるか
ら、熱ＣＶＤが好ましく使用され、特に、特開平６−３
３，２２４号に記載される方法が好ましく使用される。

【００３８】また、ＣＶＤ工程において、上記含フッ素
芳香族化合物を必須に使用するが、必要であれば、アル
ゴン、窒素、ヘリウムガス等のキャリアガスをさらに使
用してもよい。

【００３９】さらに、ＣＶＤ法において、反応条件は使
用するＣＶＤの種類および目的とする薄膜の均一性や厚
さなどによって異なるが、例えば、熱ＣＶＤ法を用いる
際には、温度は、蒸発室では、０〜３００℃、好ましく
は１００〜２００℃であり、分解室では、４００〜１０
００℃、好ましくは６００〜８００℃であり、さらに蒸
着室では、−５０〜３００℃、好ましくは室温である。
この際、抵抗線加熱、高周波誘導加熱、赤外線ランプ加
熱やレーザビーム加熱等の公知の手段によって上記温度
範囲に設定できる。また、圧力は、７６０〜１０ｍｍＴ
ｏｒｒである。

【００４０】さらにまた、ＣＶＤ法に使用される反応装
置としては、特に制限されず、例えば、特開平６−３
３，２２４号に記載される装置、常圧ＣＶＤの際には、
縦型常圧ＣＶＤ装置、インライン型常圧ＣＶＤ装置やベ
ルトコンベア型常圧ＣＶＤ装置などが；減圧ＣＶＤの際
には、ホットウォール型減圧ＣＶＤ装置やコールドウォ
ール型減圧ＣＶＤ装置などが；プラズマＣＶＤの際に
は、丸型平行平板電極型プラズマＣＶＤ装置、誘導コイ
ル型プラズマＣＶＤ装置、ホットウォール型プラズマＣ
ＶＤ装置やマイクロ波電子サイクロトロン共鳴（ＥＣ
Ｒ）型プラズマＣＶＤ装置などが；ならびに光ＣＶＤの
際には、低圧水銀ランプ、エキシマレーザ、アルゴンレ
ーザ、超高圧水銀ランプ、重水素ランプ、希ガス共鳴
線、ハロゲンランプやＦｅ／Ｈｇ金属・ハロゲンランプ
を光源として用いたＣＶＤ装置およびこれらの２種以上
のフォトンを同時に吸収させて所定のエネルギー準位ま
で電子を励起させる多光子吸収法などが挙げられる。こ
れらのうち、特開平６−３３，２２４号に記載される装
置が特に好ましく使用される。

【００４１】上記態様では、隔壁の形成に、本発明によ
る含フッ素芳香族化合物、及び必要であればキャリアガ
スを使用したが、さらに必要であれば、重合開始剤を使
用してもよい。重合開始剤を使用する際の重合開始剤の
例としては、ベンゾフェノン、イルガキュアー１８４
（チバガイギー社製）、イルガキュアー９０７（チバガ
イギー社製）、イルガキャアー６５１（チバガイギー社
製）、およびダロキュアー（メルク社製）などが挙げら
れる。

【００４２】このようにして製造された本願発明のプラ
ズマディスプレイパネル隔壁は、簡単な製造工程で高精
度に再現性良く成形され、低コストで寸法精度の優れた
大型画面化が容易で高精細度化が実現でき、さらに、表
面に凹凸の少ない優れた平坦性を有するものである。

【００４３】このようにして隔壁を形成した後は、既知
の方法によって、例えば、書き込み電極を印刷・焼成し
た後、書き込み電極上及び隔壁の側面に各色（赤、緑、
青）の蛍光体を印刷することによって、ＰＤＰ用の裏面
パネルが製造される。このようにして製造された背面パ
ネルと、既知の方法によって製造された前面パネルとの
間に放電によって紫外線を発生するキセノン（Ｘｅ）と
主放電ガスのネオン（Ｎｅ）を混合したガスを封入する
ことによって、本願発明による隔壁を有するプラズマデ
ィスプレイパネルが得られる。

【００４４】

【実施例】以下、本発明の実施例により具体的に説明す
る。

【００４５】実施例１厚さが２ｍｍで２６インチサイズ画面相当の高歪点低ソ
ーダガラスからなる絶縁基板上で、下記式の含フッ素芳
香族化合物をアルゴンガス中に０．５（ｖ／ｖ）％で、
蒸発室において１７５℃の温度かつ１Ｔｏｒｒの圧力
で、分解室において６８０℃の温度でかつ０．５Ｔｏｒ
ｒの圧力で、さらに蒸着室において３０℃の温度でかつ
０．１Ｔｏｒｒの圧力で熱ＣＶＤ処理することによっ
て、１００μｍの厚さの含フッ素芳香族樹脂層を形成し
た。

【００４６】

【化７】次に、このようにして形成された含フッ素芳香族樹脂層
上に蒸着により厚さ０．５μｍのアルミニウム層を形成
した後、フォトレジスト塗布、プリベーク、露光、現
像、アフターベークを行い、パターニングされた厚さ１
μｍのレジスト層をさらに形成した。続いて、このレジ
スト層で被覆されなかったアルミニウム層部分をウェッ
トエッチングにより除去した。さらに、レジスト層及び
相当するアルミニウム層で被覆されていない含フッ素芳
香族樹脂部分を、異方性ドライエッチングにより除去し
た。最後に、残ったアルミニウム層をウェットエッチン
グで除去し、ＰＤＰ用隔壁１を作製した。

【００４７】実施例２厚さが２ｍｍで２６インチサイズ画面相当の高歪点低ソ
ーダガラスからなる絶縁基板上で、下記式の含フッ素芳
香族化合物をアルゴンガス中に０．５（ｖ／ｖ）％で、
蒸発室において１７５℃の温度かつ１Ｔｏｒｒの圧力
で、分解室において６８０℃の温度でかつ０．５Ｔｏｒ
ｒの圧力で、さらに蒸着室において３０℃の温度でかつ
０．１Ｔｏｒｒの圧力で熱ＣＶＤ処理することによっ
て、１００μｍの厚さの含フッ素芳香族樹脂層を形成し
た。

【００４８】

【化８】次に、このようにして形成された含フッ素芳香族樹脂層
上に、感光性ポリイミドを均一に塗布することによっ
て、感光性ポリイミド層を形成した。次に、この感光性
ポリイミド層上に中心間距離が１５０μｍピッチでかつ
幅が３０μｍの隔壁形状に対応したフォトマスクを置
き、このフォトマスクを介して露光し、感光性ポリイミ
ド層の露光部を硬化させ、未露光部を現像、洗浄した。
その後、感光性ポリイミド層で被覆されていない含フッ
素芳香族樹脂部分を異方性ドライエッチングにより除去
し、さらに残りの感光性ポリイミド層を弱アルカリ溶液
中に含浸することにより、この感光性ポリイミド層を溶
出、除去、水洗し、ＰＤＰ用隔壁２を作製した。

【００４９】比較例１ポリイミドをロールコーター処理することによって、幅
３０μｍ、高さ１００μｍ及びピッチ１５０μｍの比較
用ＰＤＰ用隔壁を製造した。

【００５０】実施例３実施例１、２および比較例１で作製されたＰＤＰ用隔壁
１、２及び比較用ＰＤＰ用隔壁について、それぞれ、表
面の平坦性を電子顕微鏡で評価したところ、実施例１、
２で作製されたＰＤＰ用隔壁１、２の表面には凹凸が少
なく平坦性に優れていた。これに対して比較例１で作製
された比較用ＰＤＰ用隔壁には凹凸が認められ平坦性が
劣っていることが分かった。

【００５１】

【発明の効果】上述したように、本願発明のプラズマデ
ィスプレイパネル用隔壁は、含フッ素芳香族樹脂を含む
ことを特徴とするものである。したがって、本願発明の
プラズマディスプレイパネル用隔壁は、簡単な製造工程
で成形することができ、また、隔壁を耐熱性、ガスバリ
アー性及び平坦性に優れた含フッ素芳香族樹脂の化学的
蒸着によって形成することによって、表面には凹凸が少
なく平坦性に優れるプラズマディスプレイパネル用隔壁
が製造できる。

【００５２】上記利点に加え、本願発明のプラズマディ
スプレイパネル用隔壁は、従来の隔壁に比べて、微細化
することができ、これにより、プラズマディスプレイパ
ネルのより薄型化／小型化がはかれる。

【図面の簡単な説明】

【図１】は、本発明の一実施態様によるプラズマディス
プレイパネル用隔壁の主要製造工程での要部断面図を示
すものである。

【付号の説明】

１絶縁基板２含フッ素芳香族樹脂層３アルミニウム層４レジスト層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｊ 9/02 Ｈ０１Ｊ 9/02 Ｆ 17/16 17/16 Ｈ０４Ｎ 5/66 １０１Ｈ０４Ｎ 5/66 １０１Ａ (72)発明者浅子佳延茨城県つくば市観音台１丁目25番地12 株式会社日本触媒内Ｆターム(参考） 4J032 CA03 CA04 CA12 CB01 CB03 CE11 CE12 CE14 CE20 5C027 AA09 5C040 GB08 GF18 GF19 JA07 JA15 KA14 KB03 KB19 MA25 MA26 5C058 AA11 AB01 BA35 5C094 AA03 AA05 AA15 AA33 AA43 AA55 BA31 CA19 DA13 EB02 EC04 FA02 FB01 FB15 GB10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一対の絶縁基板を対向させ、該絶縁基板
間に微小な放電表示セルとなる空間を形成する隔壁と複
数の電極群を設け、該空間に放電可能なガスを封入した
気密構造を形成するとともに、該電極間の放電によりプ
ラズマを発生させ、該プラズマにより放電表示セル内の
蛍光体を発光させて画面の発光素子とするプラズマディ
スプレイパネルにおいて、該隔壁が含フッ素芳香族樹脂
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用
隔壁。
【請求項２】該隔壁が含フッ素芳香族化合物の化学的
蒸着によって形成される、請求項１に記載のプラズマデ
ィスプレイパネル用隔壁。
【請求項３】隔壁を含フッ素芳香族化合物を主成分と
する隔壁用組成物で形成する工程を含むプラズマディス
プレイパネル用隔壁の製造方法。
【請求項４】該隔壁が含フッ素芳香族化合物を主成分
とする隔壁用組成物を化学的蒸着によって形成される、
請求項３に記載の方法。