JP2000294853A - ホールセンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ホールチップの電極間での放電を抑制したホ
ールセンサを提供する。 【解決手段】 基板６の上に十字状の感磁部７を形成
し、この十字状の腕のそれぞれに電極８を形成したホー
ルチップ２を使用するホールセンサにおいて、隣り合う
電極８、８間における対向部９、１０を平行させ、これ
ら対向部９、１０の平行する長さａを４０μｍから対向
部９、１０間の距離ｂを差し引いた値以上の寸法に設定
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ホールセンサに関
し、特に、静電気を原因とした電極間放電の起こりにく
いホールセンサに関する。

【０００２】

【従来の技術】磁束密度を電圧に変換することのできる
ホールセンサは、ＤＣブラシレスモータ等の磁気センサ
として活用されている。図３は、ホールセンサの構成を
示したもので、１はリードフレーム、２はリードフレー
ム１の上に搭載されたホールチップを示す。ホールチッ
プ２は、ガリウム砒素等の半導体より構成される感磁部
を有する。３はボンディングワイヤ４によってホールチ
ップ２の電極に接続された端子、５は以上の各構成要素
を封止した樹脂モールドを示す。

【０００３】図４は、従来のホールセンサに使用されて
いるホールチップの構造を示す。半絶縁性ガリウム砒素
の基板６の上に感磁部７を十字状に形成し、十字の各腕
に電極８を設けた構成を有する。ホールチップ２は、ホ
ールセンサの小型化およびコスト減の観点からできるだ
け小さく構成することが有利であり、従って、１枚のウ
エハから数多く切り出される傾向にある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のホール
センサによると、ホールチップ２の小チップ化が進むに
伴い、電極８と８の間の距離ｃが極小化し、このため、
人体等に発生する静電気が原因して電極８の間に放電が
生じ、その際の衝撃によってセンサ機能が破壊されるこ
とがある。放電は、角部１１のように電界が集中する部
分おいて特に発生しやすい。

【０００５】図５および図６に、ホールチップの静電耐
量試験方法とその実施結果を示す。図５は、ＭＩＬ−Ｓ
ＴＤ−８３３Ｃ−３０１５．７ Ｎｏｔｉｃｅ８に準拠
して構成された静電耐量試験器の回路図を示したもので
ある。

【０００６】１ＭΩ程度の保護抵抗１２を介して可変電
圧電源１３により１００ｐＦのコンデンサ１４を充電し
た後、スイッチ１５を切り替え、１．５ｋΩの抵抗１６
を介してコンデンサ１４から蓄積した電荷をホールセン
サ１７に付加するもので、これによりホールセンサ１７
に組み込まれたホールチップ２の隣り合う電極８、８の
間に放電を発生させる。

【０００７】一般的な電気部品においては、この試験に
おいて２ｋＶ以上の静電耐量により電気特性が破壊され
なかったものを合格とし、２ｋＶ未満で破壊されたもの
を不合格としており、ホールセンサの場合にもこの基準
によって判定される。

【０００８】図６は、図４のホールチップ２の電極８、
８間の距離ｃと耐圧の関係を示したものである。距離ｃ
が大きくなるにしたがって耐圧は上昇し、４０μｍが２
ｋＶにおける合否の別れ目となる。従って、従来のホー
ルセンサにおいては、電極間の距離を４０μｍより大き
く設定するのが普通であり、このことからくる設計上の
制約あるいは小型化の限界があった。

【０００９】従って、本発明の目的は、ホールチップの
電極間での放電を抑制したホールセンサを提供すること
にある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため、基板と、前記基板に形成された感磁部
と、前記感磁部に形成された複数の電極から構成される
ホールチップを備えたホールセンサにおいて、前記複数
の電極の隣り合う電極間における対向部を互いに平行さ
せ、前記対向部の平行する長さを、４０μｍから前記対
向部の間の距離を差し引いた値以上の寸法に設定するこ
とを特徴とするホールセンサを提供するものである。

【００１１】隣り合う電極間における対向部は、同じ長
さとは限らない。一方が他方よりも短くてもよく、その
場合には、短い方の長さが本発明にいう平行する長さと
なる。対向部は平行に形成されていればよく、従って、
直線とはかぎらない。

【００１２】

【発明の実施の形態】次に、本発明によるホールセンサ
の実施の形態を説明する。図３に示されるホールセンサ
において、本実施の形態におけるホールチップ２の構成
を以下に説明する。

【００１３】図１において、６は半絶縁性ガリウム砒素
の基板、７は基板６の上に十字状に形成されたガリウム
砒素の感磁部、８は十字の各腕にそれぞれ形成された電
極を示す。電極８は、隣り合う電極間における対向部
９、１０が平行に構成されている。

【００１４】対向部９と１０は長さが異なり、従って、
長さの短い対向部９の長さにおいて両者の間に平行関係
が成立している。図２は、２ｋＶの静電耐量特性におい
て、対向部９、１０に平行関係が成立している長さａと
電極８と８の間の距離ｂとの関係を示したグラフであ
る。

【００１５】長さａを「４０μｍ−ｂ」未満に設定した
例である２１〜２３の場合には、いずれも不合格である
のに比べ、本発明において長さａの下限値とする「４０
μｍ−ｂ」に設定されたサンプル２４〜２６の場合に
は、いずも合格していることが認められる。

【００１６】さらに、「４０μｍ−ｂ」を超えて長さａ
を設定した２７〜３６の例においてもいずれも合格を示
しており、従って、隣り合う電極間における対向部９、
１０を平行に構成し、平行な長さａを４０μｍ−ｂに構
成することによる効果は明確である。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によるホー
ルセンサによれば、使用するホールチップの隣り合う電
極間における対向部を互いに平行させ、これら対向部の
平行する長さを４０μｍから対向部の間の距離を差し引
いた値以上の寸法に設定し、これによって電極間の放電
を抑制するものであり、その有用性は大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるホールセンサの実施の形態におい
て使用されたホールチップを示す説明図。

【図２】図１のホールチップの静電耐量特性において、
平行関係が成立する対向部の長さと電極の間の距離との
関係を示す説明図。

【図３】ホールセンサの構成を示す説明図。

【図４】従来のホールセンサにおけるホールチップの構
成を示す説明図。

【図５】静電耐量試験器の回路を示す説明図。

【図６】従来のホールセンサの電極間の距離と耐圧との
関係を示す説明図。

【符号の説明】

１ リードフレーム ２ ホールチップ ３ 端子 ４ ボンディングワイヤ ５ 樹脂モールド ６ 基板 ７ 感磁部 ８ 電極 ９、１０ 対向部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板と、前記基板に形成された感磁部と、
   前記感磁部に形成された複数の電極から構成されるホー
   ルチップを備えたホールセンサにおいて、 前記複数の電極の隣り合う電極間における対向部を互い
   に平行させ、 前記対向部の平行する長さを、４０μｍから前記対向部
   の間の距離を差し引いた値以上の寸法に設定することを
   特徴とするホールセンサ。