JP2000294618A - ウエハ保持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 機構の交換なしに、オリフラが設けられたウ
エハとノッチが設けられたウエハとを正確な位置に保持
するウエハ保持機構を提供することをを課題とする。 【解決手段】 ウエハ１０３が載置されるテーブル１０
５と、テーブル１０５上に設けられ、ウエハ１０３に形
成されたオリフラ１０１の複数の箇所に当接可能な第一
及び第二のオリフラ当接ローラ(オリフラ当接部)１１
１,１１３と、テーブル１０５上に設けられ、ウエハの
円周面が当接可能な当接ローラ(当接部)１１５と、テー
ブル１０５上に設けられ、ウエハ１０３の円周面を第一
及び第二のオリフラ当接ローラ１１１,１１３に向かっ
て押圧する第一の押圧ピン(第一の押圧部)１１７と、テ
ーブル１０５上に設けられ、ウエハ１０３の円周面を当
接ローラ１１５に向かって押圧する第二の押圧ローラ
(第二の押圧部)１１９とを設け、第一の押圧ピン１１７
をウエハに形成されたノッチに係合可能な形状とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハを正確な位
置に保持するウエハ保持機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】(ウエハにオリフラが形成されている場
合)従来のウエハ保持機構の構成図である図３を用いて
説明する。

【０００３】図において、オリフラ１が形成されたウエ
ハ３は、テーブル５上に載置されている。テーブル５上
には、ウエハ３のオリフラ１が当接可能な二つのローラ
７,９と、ウエハ３の円周面が当接可能な当接部として
のローラ１１とが設けられている。

【０００４】又、テーブル５上で、ローラ７,９と略対
向する位置には、ローラ９,７方向(矢印A方向)、その逆
方向(反矢印A方向)に移動可能な第一の押圧ローラ１３
が設けられ、同じくテーブル５上で、ローラ１１と略対
向する位置には、ローラ１１方向(矢印B方向)、その逆
方向(反矢印B方向)に移動可能な第二の押圧ローラ１５
が設けられている。

【０００５】上記構成の動作を説明する。図示しないウ
エハ搬送手段がテーブル５上にウエハ３を載置すると、
第一の押圧ローラ１３が矢印A方向へ移動しウエハ３の
円周面を押圧し、ウエハ３のオリフラ１をローラ７,９
へ押し付け、又、第二の押圧ローラ１５が矢印B方向へ
移動しウエハ３の円周面を押圧し、ウエハ３の円周面を
ローラ１１へ押し付けることにより、ウエハ３の位置出
しがなされる。

【０００６】又、ウエハ３のオリフラ１がローラ７,９
に押し付けられることにより、ウエハ３の回転方向の位
置出しがなされる。 (ウエハにノッチが形成されている場合)従来のウエハ保
持機構の構成図である図４を用いて説明する。

【０００７】図において、ノッチ２１が形成されたウエ
ハ２３は、テーブル２５上に載置されている。テーブル
２５上には、ウエハ２３のノッチ２１に係合可能なピン
２７と、ピン２７の両側に設けられ、ウエハ２３の円周
面に当接可能な二つのローラ２９,３１が設けられてい
る。

【０００８】又、テーブル２５上で、ローラ３１と略対
向する位置には、ローラ２９方向(矢印C方向)、その逆
方向(反矢印C方向)に移動可能な第一の押圧ローラ３３
が設けられ、同じくテーブル２５上で、ローラ２９と略
対向する位置には、ローラ３１方向(矢印D方向)、その
逆方向(反矢印D方向)に移動可能な第二の押圧ローラ３
５が設けられている。

【０００９】上記構成の動作を説明する。図示しないウ
エハ搬送手段がテーブル２５上にウエハ２３を載置する
と、第一の押圧ローラ３３,第二の押圧ローラ３５が矢
印C,D方向へ移動しウエハ２３の円周面をローラ２９,３
１へ押圧することにより、ウエハ２３の位置出しが行な
われる。

【００１０】又、ウエハ２３のノッチ２１へピン２７が
係合することにより、ウエハ２３の回転方向の位置出し
がなされる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成のウ
エハ保持機構においては、オリフラ１が設けられたウエ
ハ３を保持する場合と、ノッチ２１が設けられたウエハ
２３を保持する場合とでは、ローラの位置やピン有無
等、異なった機構となっている。

【００１２】よって、オリフラ１が設けられたウエハ３
と、ノッチ２１が設けられたウエハ２３との両方を保持
する場合には、ウエハに合った保持機構に交換しなけれ
ばならない。

【００１３】一方、このようなウエハ保持機構は、真空
中に設置されるものであるので、真空の開放、保持機構
の交換・調整、真空引き等の作業が必要となり、長時間
にわたって装置の停止しなければならず、装置の可動効
率が低下する。

【００１４】又、機構の交換に際しては、ウエハ保持機
構がパーティクル(分子,粒子により汚染される場合もあ
る。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、そ
の目的は、機構の交換なしに、オリフラが設けられたウ
エハとノッチが設けられたウエハとを正確な位置に保持
するウエハ保持機構を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明は、請求項１記載の発明は、ウエハが載置されるテー
ブルと、該テーブル上に設けられ、前記ウエハに形成さ
れたオリフラの複数の箇所に当接可能な複数のオリフラ
当接部と、前記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円
周面が当接可能な当接部と、前記テーブル上に設けら
れ、前記ウエハの円周面を前記オリフラ当接部に向かっ
て押圧する第一の押圧部と、前記テーブル上に設けら
れ、前記ウエハの円周面を前記当接部に向かって押圧す
る第二の押圧部とを設け、前記第一の押圧部、前記第二
の押圧部のうち、どちらか一方を前記ウエハに形成され
たノッチに係合可能な形状としたことを特徴とするウエ
ハ保持機構である。

【００１６】テーブルに載置されたウエハに対して、第
一の押圧部がウエハの円周面をオリフラ当接部に向かっ
て押圧し、第二の押圧部がウエハの円周面を前記当接部
に向かって押圧することにより、ウエハの位置決めが行
なわれる。

【００１７】この時、オリフラが形成されたウエハの場
合には、オリフラの複数の箇所にオリフラ当接部が当接
することにより、ノッチが形成されたウエハの場合に
は、第一の押圧部、第二の押圧部のうちのどちらか一方
がノッチに係合することにより、ウエハの回転方向の位
置決めが行なわれる。

【００１８】従って、機構の交換なしに、オリフラが設
けられたウエハとノッチが設けられたウエハとを正確な
位置に保持することができる。請求項２記載の発明は、
ウエハが載置されるテーブルと、該テーブル上に設けら
れ、前記ウエハに形成されたオリフラの複数の箇所に当
接可能な複数のオリフラ当接部と、前記テーブル上に設
けられ、前記ウエハの円周面が当接可能な当接部と、前
記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面を前記オ
リフラ当接部に向かって押圧する第一の押圧部と、前記
テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面を前記当接
部に向かって押圧する第二の押圧部とを設け、前記複数
のオリフラ当接部のうちのいずれか一つを前記ウエハに
形成されたノッチに係合可能な形状としたことを特徴と
するウエハ保持機構である。

【００１９】テーブルに載置されたウエハに対して、第
一の押圧部がウエハの円周面をオリフラ当接部に向かっ
て押圧し、第二の押圧部がウエハの円周面を前記当接部
に向かって押圧することにより、ウエハの位置決めが行
なわれる。

【００２０】この時、オリフラが形成されたウエハの場
合には、オリフラの複数の箇所にオリフラ当接部が当接
することにより、ノッチが形成されたウエハの場合に
は、複数のオリフラ当接部のうちのいずれか一つがノッ
チに係合することにより、ウエハの回転方向の位置決め
が行なわれる。

【００２１】従って、機構の交換なしに、オリフラが設
けられたウエハとノッチが設けられたウエハとを正確な
位置に保持することができる。請求項３記載の発明は、
ウエハが載置されるテーブルと、該テーブル上に設けら
れ、前記ウエハに形成されたオリフラの複数の箇所に当
接可能な複数のオリフラ当接部と、前記テーブル上に設
けられ、前記ウエハの円周面が当接可能な当接部と、前
記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面を前記オ
リフラ当接部に向かって押圧する第一の押圧部と、前記
テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面を前記当接
部に向かって押圧する第二の押圧部とを設け、前記当接
部を前記ウエハに形成されたノッチに係合可能な形状と
したことを特徴とするウエハ保持機構である。

【００２２】テーブルに載置されたウエハに対して、第
一の押圧部がウエハの円周面をオリフラ当接部に向かっ
て押圧し、第二の押圧部がウエハの円周面を前記当接部
に向かって押圧することにより、ウエハの位置決めが行
なわれる。

【００２３】この時、オリフラが形成されたウエハの場
合には、オリフラの複数の箇所にオリフラ当接部が当接
することにより、ノッチが形成されたウエハの場合に
は、当接部がノッチに係合することにより、ウエハの回
転方向の位置決めが行なわれる。

【００２４】従って、機構の交換なしに、オリフラが設
けられたウエハとノッチが設けられたウエハとを正確な
位置に保持することができる。請求項４記載の発明は、
請求項１乃至３のいずれかに記載の発明の前記オリフラ
当接部は二つであり、それぞれは、前記ウエハの円周面
とオリフラとの角部近傍に当接することを特徴とするウ
エハ保持機構である。

【００２５】オリフラ当接部を二つとし、それぞれは、
前記ウエハの円周面とオリフラとの角部近傍に当接する
ことにより、オリフラが形成されたウエハを位置決めし
た際のウエハの中心位置と、ノッチが形成されたウエハ
を位置決めした際のウエハの中心位置との差がほとんど
なくなる。

【００２６】

【発明の実施の形態】次に図面を用いて本発明の実施の
形態例を説明する。 (第一の実施の形態例)第一の実施の形態例の構成図であ
る図１を用いて説明する。尚、図１(a)は平面図、図１
(b)は(a)図の切断線G-Gにおける断面図を示す。

【００２７】図において、オリフラ１０１が形成された
ウエハ１０３は、穴１０５ａが開設された回転テーブル
１０５上に載置されている。又、１０７はウエハ１０３
が載置され、ウエハ１０３を搬送するウエハ搬送アー
ム、１０９は回転テーブル１０５の穴１０５ａを挿通可
能であると共に、回転テーブル１０５の回転中心軸上を
移動するウエハ受渡し用テーブルである。このウエハ受
渡し用テーブル１０９は、ウエハ搬送アーム１０７から
受け渡されたウエハ１０３を回転テーブル１０５上に載
置したり、回転テーブル１０５上のウエハ１０３をウエ
ハ搬送アーム１０７へ受け渡すものである。

【００２８】尚、ウエハ搬送アーム１０７の先端部は、
ウエハ受渡し用テーブル１０９の径より大きな間隔を有
する二股状に形成されている。回転テーブル１０５上に
は、ウエハ１０３に形成されたオリフラ１０１に当接可
能なオリフラ当接部としての第一及び第二のオリフラ当
接ローラ１１１,１１３が設けられている。尚、本実施
の形態例では、第一及び第二のオリフラ当接ローラ１１
１,１１３は、ウエハ１０３の円周面とオリフラ１０１
との角部C1,C2近傍に当接するようにした。

【００２９】回転テーブル１０５上には、第一及び第二
のオリフラ当接ローラ１１１,１１３の円周方向の中間
位置より反時計方向へ約90°回転した位置に、ウエハ１
０３の円周面が当接可能な当接部としての当接ローラ１
１５が設けられている。

【００３０】又、回転テーブル１０５上で、第一及び第
二のオリフラ当接ローラ１１１,１１３と略対向する位
置(本実施の形態例では、第一及び第二のオリフラ当接
ローラ１１１,１１３の円周方向の中間位置より時計方
向に約θ°回転した位置)には、第一及び第二のオリフ
ラ当接ローラ１１１,１１３方向(矢印E方向)、その逆方
向(反矢印E方向)に移動可能な第一の押圧部としての第
一の押圧ピン１１７が設けられている。この第一の押圧
ピン１１７はウエハ１０３にノッチが形成されている場
合は、そのノッチに係合可能となっている。

【００３１】同じく回転テーブル１０５上で、当接ロー
ラ１１５と対向する位置には、当接ローラ１１５方向
(矢印F方向)、その逆方向(反矢印F方向)に移動可能な第
二の押圧部としての第二の押圧ローラ１１９が設けられ
ている。

【００３２】上記構成の動作を説明する。最初に、先端
部にウエハ１０３を載置したウエハ搬送アーム１０７が
回転テーブル１０５上に移動する。

【００３３】ここで、ウエハ受渡し用テーブル１０９が
図１(b)において、上方(二点鎖線の位置)まで上昇する
ことにより、ウエハ１０３はウエハ搬送アーム１０７か
らウエハ受渡し用テーブル１０９へ受け渡される。

【００３４】ウエハ搬送アーム１０７が退避し、ウエハ
受渡し用テーブル１０９が下降すると、ウエハ１０３は
回転テーブル１０５上に載置される。ウエハ１０３にオ
リフラが形成されている場合には、第一の押圧ピン１１
７が矢印E方向へ移動しウエハ１０３の円周面を押圧
し、ウエハ１０３のオリフラ１０１を第一及び第二のオ
リフラ当接ローラ１１１,１１３へ押し付け、又、第二
の押圧ローラ１１９が矢印F方向へ移動しウエハ１０３
の円周面を押圧し、ウエハ１０３の円周面を当接ローラ
１１５へ押し付けることにより、ウエハ１０３の位置出
しがなされる。

【００３５】又、ウエハ１０３のオリフラ１０１が第一
及び第二のオリフラ当接ローラ１１１,１１３に押し付
けられることにより、ウエハ１０３の回転方向の位置出
しがなされる。

【００３６】一方、ウエハ１０３にノッチが形成されて
いる場合には、最初に、回転テーブル１０５が時計方向
に約170°回転する。次に、第一の押圧ピン１１７が矢
印E方向へ移動しウエハ１０３のノッチに係合すると共
に、ウエハ１０３を押圧し、ウエハ１０３の円周面を第
一及び第二のオリフラ当接ローラ１１１,１１３へ押し
付け、又、第二の押圧ローラ１１９が矢印F方向へ移動
しウエハ１０３の円周面を押圧し、ウエハ１０３の円周
面を当接ローラ１１５へ押し付けることにより、ウエハ
１０３の位置出しがなされる。

【００３７】また、第一の押圧ピン１１７がウエハ１０
３のノッチに係合することにより、ウエハ１０３の回転
方向の位置出しがなされる。このような構成によれば、
機構の交換なしに、オリフラが設けられたウエハとノッ
チが設けられたウエハとを正確な位置に保持することが
できる。

【００３８】よって、装置の可動効率が向上し、又、パ
ーティクルによる汚染も防止できる。オリフラ当接部と
しての第一及び第二のオリフラ当接ローラ１１１,１１
３は、ウエハ１０３の円周面とオリフラ１０１との角部
C1,C2近傍に当接することにより、オリフラが形成され
たウエハを位置決めした際のウエハの中心位置と、ノッ
チが形成されたウエハを位置決めした際のウエハの中心
位置との差がほとんどなくなる。

【００３９】尚、本発明は、上記実施の形態例に限定す
るものではない。上記実施の形態例では、ウエハ１０３
のノッチに係合するピンを第一の押圧部に設けたが、第
二の押圧部に設けてもよい。 (第二の実施の形態例)第二の実施の形態例の構成図であ
る図２を用いて説明する。

【００４０】尚、図２において、第一の実施の形態例を
説明する図１と同一部分には、同一符号を付し、重複し
た説明は省略する。回転テーブル１０５上には、ウエハ
１０３に形成されたオリフラ１０１に当接可能なオリフ
ラ当接部としての第一及び第二のオリフラ当接ピン２１
１,２１３が設けられている。尚、本実施の形態例で
は、第一及び第二のオリフラ当接ピン２１１,２１３
は、ウエハ１０３の円周面とオリフラ１０１との角部C
1,C2近傍に当接するようにした。又、第二のオリフラ当
接ピン２１３はウエハ１０３にノッチが形成されている
場合は、そのノッチに係合可能となっている。

【００４１】回転テーブル１０５上には、第一及び第二
のオリフラ当接ピン２１１,２１３の円周方向の中間位
置より反時計方向に約90°回転した位置に、ウエハ１０
３の円周面が当接可能な当接部としての当接ピン２１５
が設けられている。

【００４２】又、回転テーブル１０５上で、第一及び第
二のオリフラ当接ピン２１１,２１３と略対向する位置
には、第一及び第二のオリフラ当接ピン２１１,２１３
方向(矢印H方向)、その逆方向(反矢印H方向)に移動可能
な第一の押圧部としての第一の押圧ピン２１７が設けら
れている。

【００４３】同じく回転テーブル１０５上で、当接ピン
２１５と対向する位置には、当接ピン２１５方向(矢印I
方向)、その逆方向(反矢印I方向)に移動可能な第二の押
圧部としての第二の押圧ピン２１９が設けられている。

【００４４】上記構成の動作を説明する。回転テーブル
１０５上に、ウエハ１０３を載置するまでは、第一の実
施の形態例と同じである。

【００４５】ウエハ１０３にオリフラが形成されている
場合には、第一の押圧ピン２１７が矢印H方向へ移動し
ウエハ１０３の円周面を押圧し、ウエハ１０３のオリフ
ラ１０１を第一及び第二のオリフラ当接ピン２１１,２
１３へ押し付け、又、第二の押圧ピン２１９が矢印I方
向へ移動しウエハ１０３の円周面を押圧し、ウエハ１０
３の円周面を当接ピン２１５へ押し付けることにより、
ウエハ１０３の位置出しがなされる。

【００４６】又、ウエハ１０３のオリフラ１０１が第一
及び第二のオリフラ当接ピン２１１,２１３に押し付け
られることにより、ウエハ１０３の回転方向の位置出し
がなされる。

【００４７】一方、ウエハ１０３にノッチが形成されて
いる場合には、最初に、回転テーブル１０５が反時計方
向に約θ′°回転する。次に、第一の押圧ピン２１７が
矢印H方向へ移動し、ウエハ１０３の円周面を押圧し、
ウエハ１０３のノッチが第二のオリフラ当接ピン２１３
に係合すると共に、ウエハ１０３の円周面を第一及び第
二のオリフラ当接ピン２１１,２１３に押し付けると共
に、第二の押圧ピン２１９が矢印I方向へ移動しウエハ
１０３の円周面を押圧し、ウエハ１０３の円周面を当接
ピン２１５へ押し付けることにより、ウエハ１０３の位
置出しがなされる。

【００４８】又、第二のオリフラ当接ピン２１３がウエ
ハ１０３のノッチに係合することにより、ウエハ１０３
の回転方向の位置出しがなされる。このような構成によ
れば、機構の交換なしに、オリフラが設けられたウエハ
とノッチが設けられたウエハとを正確な位置に保持する
ことができる。

【００４９】よって、装置の可動効率が向上し、又、パ
ーティクルによる汚染も防止できる。オリフラ当接部と
しての第一及び第二のオリフラ当接ピン２１１,２１３
は、ウエハ１０３の円周面とオリフラ１０１との角部C
1,C2近傍に当接することにより、オリフラが形成された
ウエハを位置決めした際のウエハの中心位置と、ノッチ
が形成されたウエハを位置決めした際のウエハの中心位
置との差がほとんどなくなる。

【００５０】尚、本発明は、上記実施の形態例に限定す
るものではない。上記実施の形態例では、ウエハ１０３
のノッチに係合するピンを第二のオリフラ当接ピン２１
３としたが、第一のオリフラ当接ピン２１１であっても
よいし、更には、当接ピン２１５であってもよい。

【００５１】

【発明の効果】以上述べたように、請求項１記載の本発
明によれば、第一の押圧部、第二の押圧部のうち、どち
らか一方を前記ウエハに形成されたノッチに係合可能な
形状としたことにより、機構の交換なしに、オリフラが
設けられたウエハとノッチが設けられたウエハとを正確
な位置に保持することができる。

【００５２】請求項２記載の発明によれば。複数のオリ
フラ当接部のうちのいずれか一つをウエハに形成された
ノッチに係合可能な形状としたことにより、機構の交換
なしに、オリフラが設けられたウエハとノッチが設けら
れたウエハとを正確な位置に保持することができる。

【００５３】請求項３記載の発明によれば、当接部をウ
エハに形成されたノッチに係合可能な形状としたことに
より、機構の交換なしに、オリフラが設けられたウエハ
とノッチが設けられたウエハとを正確な位置に保持する
ことができる。

【００５４】請求項４記載の発明によれば、オリフラ当
接部を二つとし、それぞれは、前記ウエハの円周面とオ
リフラとの角部近傍に当接することにより、オリフラが
形成されたウエハを位置決めした際のウエハの中心位置
と、ノッチが形成されたウエハを位置決めした際のウエ
ハの中心位置との差がほとんどなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第一の実施の形態例の構成図であり、(a)図は
平面図、(b)図は(a)図の切断線G-Gにおける断面図を示
す。

【図２】第二の実施の形態例の構成図である。

【図３】従来のウエハ保持機構の構成図である。

【図４】従来のウエハ保持機構の構成図である。

【符号の説明】 １０１ オリフラ １０３ ウエハ １０５ テーブル １１１ 第一のオリフラ当接ローラ(オリフラ当接部) １１３ 第二のオリフラ当接ローラ(オリフラ当接部) １１７ 第一の押圧ピン(第一の押圧部) １１９ 第二の押圧ローラ(第二の押圧部)

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハが載置されるテーブルと、 該テーブル上に設けられ、前記ウエハに形成されたオリ
   フラの複数の箇所に当接可能な複数のオリフラ当接部
   と、 前記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面が当接
   可能な当接部と、 前記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面を前記
   オリフラ当接部に向かって押圧する第一の押圧部と、 前記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面を前記
   当接部に向かって押圧する第二の押圧部と、 を設け、 前記第一の押圧部、前記第二の押圧部のうち、どちらか
   一方を前記ウエハに形成されたノッチに係合可能な形状
   としたことを特徴とするウエハ保持機構。
2. 【請求項２】 ウエハが載置されるテーブルと、 該テーブル上に設けられ、前記ウエハに形成されたオリ
   フラの複数の箇所に当接可能な複数のオリフラ当接部
   と、 前記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面が当接
   可能な当接部と、 前記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面を前記
   オリフラ当接部に向かって押圧する第一の押圧部と、 前記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面を前記
   当接部に向かって押圧する第二の押圧部と、 を設け、 前記複数のオリフラ当接部のうちのいずれか一つを前記
   ウエハに形成されたノッチに係合可能な形状としたこと
   を特徴とするウエハ保持機構。
3. 【請求項３】 ウエハが載置されるテーブルと、 該テーブル上に設けられ、前記ウエハに形成されたオリ
   フラの複数の箇所に当接可能な複数のオリフラ当接部
   と、 前記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面が当接
   可能な当接部と、 前記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面を前記
   オリフラ当接部に向かって押圧する第一の押圧部と、 前記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面を前記
   当接部に向かって押圧する第二の押圧部と、 を設け、 前記当接部を前記ウエハに形成されたノッチに係合可能
   な形状としたことを特徴とするウエハ保持機構。
4. 【請求項４】 前記オリフラ当接部は二つであり、 それぞれは、前記ウエハの円周面とオリフラとの角部近
   傍に当接することを特徴とする請求項１乃至３のいずれ
   かに記載ウエハ保持機構。