JP2000292478A - Ｉｃ試験方法及びｉｃ試験装置 - Google Patents
Ｉｃ試験方法及びｉｃ試験装置Info
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- JP2000292478A JP2000292478A JP11101957A JP10195799A JP2000292478A JP 2000292478 A JP2000292478 A JP 2000292478A JP 11101957 A JP11101957 A JP 11101957A JP 10195799 A JP10195799 A JP 10195799A JP 2000292478 A JP2000292478 A JP 2000292478A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＩＣの各端子を直流試験するＩＣ試験装置に
おいて、微小電流を高速に測定するＩＣ試験方法を提案
する。 【解決手段】 被試験ＩＣの端子に電圧印加手段として
動作する増幅器から所定の電圧を印加した状態又は被試
験ＩＣの端子に所定の電流を印加した状態で端子に流れ
る電流を電流印加手段として動作する増幅器から印加
し、この増幅器に流れる電源電流をカレントミラー回路
で増幅器の電力供給路とは別の電流路に取り出し、この
電流を既知の抵抗値を持つ電流検出用抵抗器に流してＩ
Ｃの端子に流れる電流及びＩＣの端子に発生する電圧を
測定する。
おいて、微小電流を高速に測定するＩＣ試験方法を提案
する。 【解決手段】 被試験ＩＣの端子に電圧印加手段として
動作する増幅器から所定の電圧を印加した状態又は被試
験ＩＣの端子に所定の電流を印加した状態で端子に流れ
る電流を電流印加手段として動作する増幅器から印加
し、この増幅器に流れる電源電流をカレントミラー回路
で増幅器の電力供給路とは別の電流路に取り出し、この
電流を既知の抵抗値を持つ電流検出用抵抗器に流してＩ
Ｃの端子に流れる電流及びＩＣの端子に発生する電圧を
測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体集積回路
（以下ＩＣと称す）の各端子が所定の接続状態に完成さ
れているか否かまた、所定の性能が満されているか否か
を試験するＩＣ試験方法と、このＩＣ試験方法を用いた
ＩＣ試験装置に関する。
（以下ＩＣと称す）の各端子が所定の接続状態に完成さ
れているか否かまた、所定の性能が満されているか否か
を試験するＩＣ試験方法と、このＩＣ試験方法を用いた
ＩＣ試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ＩＣの各端子が所定の接続状
態に完成されているか或は、所定の性能が満されている
か否かを評価するために直流試験を行っている。直流試
験の目的とすることは、 デバイスと試験装置の接続状況を確認するコンタクト
試験と、デバイスの性能を試験するための デバイスのリーク電流測定 スレショルド電圧測定 出力ドライブ電流測定 ショート電流測定 等が挙げられる。これらの各測定は電圧印加電流測定モ
ードと、電流印加電圧測定モードの２つの測定モードで
実行される。
態に完成されているか或は、所定の性能が満されている
か否かを評価するために直流試験を行っている。直流試
験の目的とすることは、 デバイスと試験装置の接続状況を確認するコンタクト
試験と、デバイスの性能を試験するための デバイスのリーク電流測定 スレショルド電圧測定 出力ドライブ電流測定 ショート電流測定 等が挙げられる。これらの各測定は電圧印加電流測定モ
ードと、電流印加電圧測定モードの２つの測定モードで
実行される。
【０００３】電圧印加電流測定モードとは被試験ＩＣの
各端子に所定の電圧を印加した状態で、予め予定した範
囲に入る電流が流れるか否かを評価する測定モードであ
る。電流印加電圧測定モードとは被試験ＩＣの各端子に
所定の電流を流した状態でその各端子に予め予定した範
囲に入る電圧が発生するか否かを評価する測定モードで
ある。
各端子に所定の電圧を印加した状態で、予め予定した範
囲に入る電流が流れるか否かを評価する測定モードであ
る。電流印加電圧測定モードとは被試験ＩＣの各端子に
所定の電流を流した状態でその各端子に予め予定した範
囲に入る電圧が発生するか否かを評価する測定モードで
ある。
【０００４】図１０はこの直流試験を行う従来の試験装
置の概略を示す。図中１００は直流試験装置、２００は
被試験ＩＣの一つの端子ＰN とコモン端子ＰGNとの間に
見えるインピーダンス（以下負荷と称す）を示す。直流
試験装置１００は４個の端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４を
有し、端子Ｔ１とＴ２は一般にフォースラインと呼ば
れ、これら端子Ｔ１とＴ２を通じて負荷２００に電圧又
は電流を印加する。端子Ｔ３とＴ４はセンスラインと呼
ばれ、これらの端子Ｔ３とＴ４を通じて負荷２００に発
生する電圧を取り込む構造とされる。
置の概略を示す。図中１００は直流試験装置、２００は
被試験ＩＣの一つの端子ＰN とコモン端子ＰGNとの間に
見えるインピーダンス（以下負荷と称す）を示す。直流
試験装置１００は４個の端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４を
有し、端子Ｔ１とＴ２は一般にフォースラインと呼ば
れ、これら端子Ｔ１とＴ２を通じて負荷２００に電圧又
は電流を印加する。端子Ｔ３とＴ４はセンスラインと呼
ばれ、これらの端子Ｔ３とＴ４を通じて負荷２００に発
生する電圧を取り込む構造とされる。
【０００５】端子Ｔ１は電流−電圧変換器として動作す
る電流検出用抵抗器１０１を通じて増幅器１０２の出力
端子に接続され、増幅器１０２から負荷２００に電圧又
は電流を印加する。スイッチＳ１とＳ２はモード切替ス
イッチを示す。このモード切替スイッチＳ１とＳ２を接
点ＶＳに切り替わると直流試験装置１００は電圧印加電
流測定モードで動作し、接点ＩＳに接続すると電流印加
電圧測定モードで動作する。図１０は電圧印加電流測定
モードに設定した場合を示す。
る電流検出用抵抗器１０１を通じて増幅器１０２の出力
端子に接続され、増幅器１０２から負荷２００に電圧又
は電流を印加する。スイッチＳ１とＳ２はモード切替ス
イッチを示す。このモード切替スイッチＳ１とＳ２を接
点ＶＳに切り替わると直流試験装置１００は電圧印加電
流測定モードで動作し、接点ＩＳに接続すると電流印加
電圧測定モードで動作する。図１０は電圧印加電流測定
モードに設定した場合を示す。
【０００６】電圧印加電流測定モードでは演算装置１０
６からＤＡ変換器１０３に負荷２００に印加すべき電圧
に対応したデジタル値が与えられ、このデジタル値がア
ナログ電圧Ｖinに変換されて増幅器１０２の非反転入力
端子に供給され、増幅器１０２を通じて負荷２００に所
定の電圧が印加される。負荷２００に印加された電圧は
端子Ｔ３とスイッチＳ１を通じて増幅器１０２の反転入
力端子に帰還される。増幅器１０２は反転入力端子と非
反転入力端子との電位が同電位となるように動作する。
従って負荷２００の端子ＰN には入力された電圧Ｖinに
ほぼ等しい電圧ＶOUT が印加される。
６からＤＡ変換器１０３に負荷２００に印加すべき電圧
に対応したデジタル値が与えられ、このデジタル値がア
ナログ電圧Ｖinに変換されて増幅器１０２の非反転入力
端子に供給され、増幅器１０２を通じて負荷２００に所
定の電圧が印加される。負荷２００に印加された電圧は
端子Ｔ３とスイッチＳ１を通じて増幅器１０２の反転入
力端子に帰還される。増幅器１０２は反転入力端子と非
反転入力端子との電位が同電位となるように動作する。
従って負荷２００の端子ＰN には入力された電圧Ｖinに
ほぼ等しい電圧ＶOUT が印加される。
【０００７】この電圧印加状態で負荷２００に流れる電
流を測定するために電流検出用抵抗器１０１に発生する
電圧Ｖ0 を計装アンプ１０４で取り出し、この電圧Ｖ0
をスイッチＳ２を通じてＡＤ変換器１０５に入力してデ
ジタル値に変換し、演算装置１０６に取り込んで電圧値
Ｖ0 から電流値（電流検出用抵抗器１０１の抵抗値Ｒ m
は既知）を求め、記憶器１０７に記憶させる。負荷２０
０に印加する電圧を変更させ、各電圧値に対する電流と
を測定する。
流を測定するために電流検出用抵抗器１０１に発生する
電圧Ｖ0 を計装アンプ１０４で取り出し、この電圧Ｖ0
をスイッチＳ２を通じてＡＤ変換器１０５に入力してデ
ジタル値に変換し、演算装置１０６に取り込んで電圧値
Ｖ0 から電流値（電流検出用抵抗器１０１の抵抗値Ｒ m
は既知）を求め、記憶器１０７に記憶させる。負荷２０
０に印加する電圧を変更させ、各電圧値に対する電流と
を測定する。
【０００８】スイッチＳ１とＳ２を接点ＩＳ側に切り替
えると電流印加電圧測定モードとなる。電流印加電圧測
定モードでは電流検出用抵抗器１０１に流れる電流が所
定の電流値となるように増幅器１０２が動作する。つま
り、増幅器１０２の反転入力端子には電流検出用抵抗器
１０１に発生すべき電圧値Ｖ0 に等しい電圧を印加す
る。増幅器１０２の反転入力端子には抵抗器１０１に発
生する電圧値Ｖ0 が計測アンプ１０４を通じて帰還さ
れ、この電圧がＤＡ変換器１０３から与えられる電圧と
等しくなるように増幅器１０２が動作して抵抗器１０１
から負荷２００に流れる電流を所定値に維持させる。
えると電流印加電圧測定モードとなる。電流印加電圧測
定モードでは電流検出用抵抗器１０１に流れる電流が所
定の電流値となるように増幅器１０２が動作する。つま
り、増幅器１０２の反転入力端子には電流検出用抵抗器
１０１に発生すべき電圧値Ｖ0 に等しい電圧を印加す
る。増幅器１０２の反転入力端子には抵抗器１０１に発
生する電圧値Ｖ0 が計測アンプ１０４を通じて帰還さ
れ、この電圧がＤＡ変換器１０３から与えられる電圧と
等しくなるように増幅器１０２が動作して抵抗器１０１
から負荷２００に流れる電流を所定値に維持させる。
【０００９】この電流印加状態で端子Ｔ３に発生する電
圧をスイッチＳ１を通じてＡＤ変換器１０５に入力し、
デジタル値に変換して演算装置１０６に取り込み、記憶
器１０７に記憶させる。印加電流値を各種変更し、各電
流値に対して端子Ｔ３に発生する電圧値を測定する。以
上により電圧印加電流測定モードと電流印可電圧測定モ
ードの動作が理解されよう。
圧をスイッチＳ１を通じてＡＤ変換器１０５に入力し、
デジタル値に変換して演算装置１０６に取り込み、記憶
器１０７に記憶させる。印加電流値を各種変更し、各電
流値に対して端子Ｔ３に発生する電圧値を測定する。以
上により電圧印加電流測定モードと電流印可電圧測定モ
ードの動作が理解されよう。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上述した各測定モード
において、電流検出用抵抗器１０１の抵抗値は測定すべ
き電流値或いは負荷２００に印加すべき電流値に応じて
適宜に切り替えられる。例えばデバイスのリーク電流を
測定するためには電流検出用抵抗器１０１の抵抗値は大
きな値に選定される。このようにフォースラインに大き
い抵抗値の電流検出用抵抗器が直列に接続された場合に
以下に説明するような各種の不都合が生じる。
において、電流検出用抵抗器１０１の抵抗値は測定すべ
き電流値或いは負荷２００に印加すべき電流値に応じて
適宜に切り替えられる。例えばデバイスのリーク電流を
測定するためには電流検出用抵抗器１０１の抵抗値は大
きな値に選定される。このようにフォースラインに大き
い抵抗値の電流検出用抵抗器が直列に接続された場合に
以下に説明するような各種の不都合が生じる。
【００１１】負荷２００として大きな容量性負荷が接続
された場合、電流検出用抵抗器１０１と容量性負荷によ
ってポールが発生し、増幅器１０２を含む帰還系の動作
が不安定になる。この対策のために増幅器１０２に位相
補償コンデンサ等（特に図示しない）を接続し、この位
相補償コンデンサの接続により増幅器１０２の周波数特
性の上限周波数を落し、帯域制限を施す必要がある。
された場合、電流検出用抵抗器１０１と容量性負荷によ
ってポールが発生し、増幅器１０２を含む帰還系の動作
が不安定になる。この対策のために増幅器１０２に位相
補償コンデンサ等（特に図示しない）を接続し、この位
相補償コンデンサの接続により増幅器１０２の周波数特
性の上限周波数を落し、帯域制限を施す必要がある。
【００１２】増幅器１０２に帯域制限を施すことによ
り、増幅器１０２の応答特性が劣化する欠点が発生す
る。更に、系の安定化のために図１０に示すように、電
流検出用抵抗器１０１と並列にコンデンサＣm を接続す
ることが考えられるが、コンデンサＣm を接続した場合
には負荷２００とこのコンデンサＣm との時定数により
電流が目標値に安定するまでに時間が掛かり、これによ
り電流測定に時間がかかる欠点も生じる。この欠点を解
消するにはコンデンサＣm と直列にスイッチＳm を接続
し、必要に応じてこのスイッチＳm を開放させることに
より電流が安定するまでの時定数を小さくすることも考
えられる。然し乍ら、このスイッチＳm を設けた場合に
は、スイッチＳm を余計に必要とし、この点でコスト高
となる欠点もある。
り、増幅器１０２の応答特性が劣化する欠点が発生す
る。更に、系の安定化のために図１０に示すように、電
流検出用抵抗器１０１と並列にコンデンサＣm を接続す
ることが考えられるが、コンデンサＣm を接続した場合
には負荷２００とこのコンデンサＣm との時定数により
電流が目標値に安定するまでに時間が掛かり、これによ
り電流測定に時間がかかる欠点も生じる。この欠点を解
消するにはコンデンサＣm と直列にスイッチＳm を接続
し、必要に応じてこのスイッチＳm を開放させることに
より電流が安定するまでの時定数を小さくすることも考
えられる。然し乍ら、このスイッチＳm を設けた場合に
は、スイッチＳm を余計に必要とし、この点でコスト高
となる欠点もある。
【００１３】更に、抵抗値の大きい電流検出用抵抗器１
０１を増幅器１０２の出力側に直列接続することにより
出力インピーダンスが高くなり、ロードレギュレーショ
ンが悪くなる欠点もある。また計測アンプ１０４にはコ
モンノイズ比の小さいアンプを必要とするため、これに
用いられる抵抗器Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４，は相互にマ
ッチングの採れた抵抗器が必要となる。このために一般
にはこれらの各抵抗器Ｒ１〜Ｒ４は、レーザートリム等
により抵抗値を合わせ込む必要があり、コスト高となる
欠点も生じる。
０１を増幅器１０２の出力側に直列接続することにより
出力インピーダンスが高くなり、ロードレギュレーショ
ンが悪くなる欠点もある。また計測アンプ１０４にはコ
モンノイズ比の小さいアンプを必要とするため、これに
用いられる抵抗器Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４，は相互にマ
ッチングの採れた抵抗器が必要となる。このために一般
にはこれらの各抵抗器Ｒ１〜Ｒ４は、レーザートリム等
により抵抗値を合わせ込む必要があり、コスト高となる
欠点も生じる。
【００１４】また、負荷２００のインピーダンス毎に回
路の利得が変わるため、全ての条件で安定に動作する回
路を設計するのは困難である。図１１は従来の技術の他
の例を示す。この例では端子Ｔ３とスイッチＳ１との間
にバッファアンプ１０９と帰還抵抗１１１を接続すると
共に、ＤＡ変換器１０３と増幅器１０２の反転入力端子
との間に入力抵抗器１１２を接続した場合を示す。尚、
電流印加電圧測定モードでは抵抗器１１３が帰還抵抗と
して動作する。
路の利得が変わるため、全ての条件で安定に動作する回
路を設計するのは困難である。図１１は従来の技術の他
の例を示す。この例では端子Ｔ３とスイッチＳ１との間
にバッファアンプ１０９と帰還抵抗１１１を接続すると
共に、ＤＡ変換器１０３と増幅器１０２の反転入力端子
との間に入力抵抗器１１２を接続した場合を示す。尚、
電流印加電圧測定モードでは抵抗器１１３が帰還抵抗と
して動作する。
【００１５】この場合には、増幅器１０２の利得は電圧
印加電流測定モードでは入力抵抗器１１２の抵抗値Ｒi
と帰還抵抗器１１１の抵抗値Ｒf との比Ｒf ／Ｒi で決
定され、電流印加電圧測定モードでは入力抵抗器１１２
と帰還抵抗器１１３の各抵抗値Ｒif／Ｒi で決定され
る。この場合もフォースライン上に大きい抵抗値の電流
検出用抵抗器１０１が直列に接続されることによって発
生する不都合は図１０の場合と同じである。
印加電流測定モードでは入力抵抗器１１２の抵抗値Ｒi
と帰還抵抗器１１１の抵抗値Ｒf との比Ｒf ／Ｒi で決
定され、電流印加電圧測定モードでは入力抵抗器１１２
と帰還抵抗器１１３の各抵抗値Ｒif／Ｒi で決定され
る。この場合もフォースライン上に大きい抵抗値の電流
検出用抵抗器１０１が直列に接続されることによって発
生する不都合は図１０の場合と同じである。
【００１６】この発明の目的は微小電流でも短時間に測
定することができる高速応答が可能なＩＣ試験方法と、
このＩＣ試験方法を用いたＩＣ試験装置を提案するもの
である。
定することができる高速応答が可能なＩＣ試験方法と、
このＩＣ試験方法を用いたＩＣ試験装置を提案するもの
である。
【００１７】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１では
被試験ＩＣの端子に所定の電圧を印加し、この電圧印加
状態で被試験ＩＣの端子に流れる電流を測定し、所定の
電流が流れるか否かを判定する電圧印加電流測定試験に
おいて、被試験ＩＣの端子に所定の電圧を印加する増幅
器の電力供給路に、この電力供給路を流れる電流値に対
して所定の比率の値を持つ電流を別の設けた電流路に取
り出すことができるカレントミラー回路を接続し、この
カレントミラー回路で取り出した電流の値を測定して被
試験ＩＣの端子に流れる電流値を特定するＩＣ試験方法
を提案するのである。
被試験ＩＣの端子に所定の電圧を印加し、この電圧印加
状態で被試験ＩＣの端子に流れる電流を測定し、所定の
電流が流れるか否かを判定する電圧印加電流測定試験に
おいて、被試験ＩＣの端子に所定の電圧を印加する増幅
器の電力供給路に、この電力供給路を流れる電流値に対
して所定の比率の値を持つ電流を別の設けた電流路に取
り出すことができるカレントミラー回路を接続し、この
カレントミラー回路で取り出した電流の値を測定して被
試験ＩＣの端子に流れる電流値を特定するＩＣ試験方法
を提案するのである。
【００１８】この発明の請求項２では被試験ＩＣの端子
に所定の電流を印加し、この電得有印加状態で被試験Ｉ
Ｃの端子に発生する電圧を測定する電流印加電圧測定試
験において、既知の抵抗値を持つ電流検出用抵抗器に既
知の電圧を増幅器から印加し、この増幅器から電流検出
用抵抗器に既知の値を持つ電流を供給すると共に、増幅
器の電力供給路に、この電力供給時を流れる電流の値と
所定の比率の値を持つ電流を別に設けた電流時に取り出
すカレントミラー回路を設け、このカレントミラー回路
で取り出した電流を被試験ＩＣの端子に印加し、この電
流印加状態で被試験ＩＣの端子に発生する電圧を測定し
て電流印加電圧測定試験を行うＩＣ試験方法を提案す
る。
に所定の電流を印加し、この電得有印加状態で被試験Ｉ
Ｃの端子に発生する電圧を測定する電流印加電圧測定試
験において、既知の抵抗値を持つ電流検出用抵抗器に既
知の電圧を増幅器から印加し、この増幅器から電流検出
用抵抗器に既知の値を持つ電流を供給すると共に、増幅
器の電力供給路に、この電力供給時を流れる電流の値と
所定の比率の値を持つ電流を別に設けた電流時に取り出
すカレントミラー回路を設け、このカレントミラー回路
で取り出した電流を被試験ＩＣの端子に印加し、この電
流印加状態で被試験ＩＣの端子に発生する電圧を測定し
て電流印加電圧測定試験を行うＩＣ試験方法を提案す
る。
【００１９】この発明の請求項１及び請求項２で提案す
るＩＣ試験方法によれば、被試験ＩＣの端子に所定の電
圧を印加する増幅器の電力供給路に流れる電流をカレン
トミラー回路によって別の電流路に取り出し、この電流
路に取り出した電流によって目的とする電流又は電圧を
測定する方法を探るから、被試験ＩＣの端子と増幅器と
の間つまり、フォースライン上に電流検出用抵抗器を挿
入する必要がない。
るＩＣ試験方法によれば、被試験ＩＣの端子に所定の電
圧を印加する増幅器の電力供給路に流れる電流をカレン
トミラー回路によって別の電流路に取り出し、この電流
路に取り出した電流によって目的とする電流又は電圧を
測定する方法を探るから、被試験ＩＣの端子と増幅器と
の間つまり、フォースライン上に電流検出用抵抗器を挿
入する必要がない。
【００２０】従って、フォースライン上に抵抗値が大き
い電流測定用抵抗器を接続したことによって発生する各
種の不都合を一掃することができる大きな利点が得られ
る。
い電流測定用抵抗器を接続したことによって発生する各
種の不都合を一掃することができる大きな利点が得られ
る。
【００２１】
【発明の実施の形態】図１にこの発明の請求項１で提案
したＩＣ試験方法によって被試験ＩＣの端子の直流試験
を行うＩＣ試験装置の一実施例を示す。図１０と対応す
る部分には同一符号を付して示す。図１において、１０
０は直流試験装置、１０１はＩ−Ｖ変換手段（電流−電
圧変換手段）を構成する電流検出用抵抗器、１０２は電
圧供給手段及び電流供給手段として動作する増幅器、１
０３はこの増幅器１０２に設定電圧を与えるＤＡ変換
器、１０５は電流検出用抵抗器１０１に発生する電圧値
又は負荷２００に発生する電圧値をＡＤ変換し、演算装
置１０６に測定すべき電圧値に対応する値のデジタル信
号を入力する電圧測定手段を構成するＡＤ変換器、Ｓ１
〜Ｓ４はそれぞれモード切り替えスイッチを示す。モー
ド切り替えスイッチＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４はそれぞれ
接点ＶＳを選択すると電圧印加電流測定モードに設定さ
れ、接点ＩＳを選択すると電流印加電圧測定モードに設
定される。図１の例では電圧印加電流測定モードに切り
替えられている様子を示す。
したＩＣ試験方法によって被試験ＩＣの端子の直流試験
を行うＩＣ試験装置の一実施例を示す。図１０と対応す
る部分には同一符号を付して示す。図１において、１０
０は直流試験装置、１０１はＩ−Ｖ変換手段（電流−電
圧変換手段）を構成する電流検出用抵抗器、１０２は電
圧供給手段及び電流供給手段として動作する増幅器、１
０３はこの増幅器１０２に設定電圧を与えるＤＡ変換
器、１０５は電流検出用抵抗器１０１に発生する電圧値
又は負荷２００に発生する電圧値をＡＤ変換し、演算装
置１０６に測定すべき電圧値に対応する値のデジタル信
号を入力する電圧測定手段を構成するＡＤ変換器、Ｓ１
〜Ｓ４はそれぞれモード切り替えスイッチを示す。モー
ド切り替えスイッチＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４はそれぞれ
接点ＶＳを選択すると電圧印加電流測定モードに設定さ
れ、接点ＩＳを選択すると電流印加電圧測定モードに設
定される。図１の例では電圧印加電流測定モードに切り
替えられている様子を示す。
【００２２】つまり、電圧印加電流測定モードでは増幅
器１０２の出力はモード切り替えスイッチＳ３の接点Ｖ
Ｓを通じて端子Ｔ１に出力され、被試験ＩＣで構成され
る負荷２００の一つの端子ＰN に接続される。一方、端
子ＰN に発生した電圧は端子Ｔ３に取り出され、この端
子Ｔ３に取り出した電圧をモード切り替えスイッチＳ１
の接点ＶＳを通じて増幅器１０２の反転入力端子に帰還
される。よって増幅器１０２は非反転入力端子に入力さ
れる設定電圧Ｖinに等しい出力電圧ＶOUT が端子Ｔ１か
ら端子ＰN に印加され、端子Ｐ N の電圧は出力電圧Ｖ
OUT に維持される。
器１０２の出力はモード切り替えスイッチＳ３の接点Ｖ
Ｓを通じて端子Ｔ１に出力され、被試験ＩＣで構成され
る負荷２００の一つの端子ＰN に接続される。一方、端
子ＰN に発生した電圧は端子Ｔ３に取り出され、この端
子Ｔ３に取り出した電圧をモード切り替えスイッチＳ１
の接点ＶＳを通じて増幅器１０２の反転入力端子に帰還
される。よって増幅器１０２は非反転入力端子に入力さ
れる設定電圧Ｖinに等しい出力電圧ＶOUT が端子Ｔ１か
ら端子ＰN に印加され、端子Ｐ N の電圧は出力電圧Ｖ
OUT に維持される。
【００２３】この発明ではこの電圧印加状態において、
電圧発生手段として動作している増幅器１０２の電力供
給路１１５Ａ，１１５Ｂに、この電力供給路１１５Ａ、
１１５Ｂに流れる電流値に対してミラー係数Ｍp および
Ｍn によって決定される所定の比率の値を持つ電流を別
に設けた電流路に取り出すことができるカレントミラー
回路１１６Ａと１１６Ｂを設け、このカレントミラー回
路１１６Ａと１１６Ｂで取り出した電流ＩＭを電流検出
量抵抗器１０１に供給し、この電流検出用抵抗器１０１
に発生した電圧をモード切り替えスイッチＳ２の接点Ｖ
Ｓを通じてＡＤ変換器１０５に入力してＡＤ変換し、演
算装置１０６で電流検出用抵抗器１０１の抵抗値Ｒ
m と、ＡＤ変換器１０５から供給された電圧値Ｖm とに
より、電流値ＩＭをＩＭ＝Ｖm ／Ｒm により算出する。
電圧発生手段として動作している増幅器１０２の電力供
給路１１５Ａ，１１５Ｂに、この電力供給路１１５Ａ、
１１５Ｂに流れる電流値に対してミラー係数Ｍp および
Ｍn によって決定される所定の比率の値を持つ電流を別
に設けた電流路に取り出すことができるカレントミラー
回路１１６Ａと１１６Ｂを設け、このカレントミラー回
路１１６Ａと１１６Ｂで取り出した電流ＩＭを電流検出
量抵抗器１０１に供給し、この電流検出用抵抗器１０１
に発生した電圧をモード切り替えスイッチＳ２の接点Ｖ
Ｓを通じてＡＤ変換器１０５に入力してＡＤ変換し、演
算装置１０６で電流検出用抵抗器１０１の抵抗値Ｒ
m と、ＡＤ変換器１０５から供給された電圧値Ｖm とに
より、電流値ＩＭをＩＭ＝Ｖm ／Ｒm により算出する。
【００２４】この算出した電流値ＩＭは電圧印加手段と
して動作している増幅器１０２から負荷２００に供給さ
れている電流値と必ず所定の比率（カレントミラー回路
１１６Ａと１１６Ｂのミラー係数で決まる比率）の関係
を維持して変化するから、結果として負荷２００に流れ
る電流の値を間接的ではあるが正しく求めることができ
る。
して動作している増幅器１０２から負荷２００に供給さ
れている電流値と必ず所定の比率（カレントミラー回路
１１６Ａと１１６Ｂのミラー係数で決まる比率）の関係
を維持して変化するから、結果として負荷２００に流れ
る電流の値を間接的ではあるが正しく求めることができ
る。
【００２５】以下にその理由を図２と図３を用いて説明
する。図２は電圧印加電流測定モードにおいて電圧印加
手段として動作する増幅器１０２から負荷２００に電流
ＩOU T を供給している状態の動作を示す。図３は同様に
電圧印加電流測定モードにおいて負荷２００側から増幅
器１０２に電流ＩOUT を吸い込んでいる状態の動作を示
す。つまり、この例では増幅器１０２の正側の電力供給
路１１５Ａに電流供給型のカレントミラー回路１１６Ａ
を接続し、負側の電力供給路１１６Ｂに電流吸込型のカ
レントミラー回路１１６Ｂを接続した実施例を示す。
する。図２は電圧印加電流測定モードにおいて電圧印加
手段として動作する増幅器１０２から負荷２００に電流
ＩOU T を供給している状態の動作を示す。図３は同様に
電圧印加電流測定モードにおいて負荷２００側から増幅
器１０２に電流ＩOUT を吸い込んでいる状態の動作を示
す。つまり、この例では増幅器１０２の正側の電力供給
路１１５Ａに電流供給型のカレントミラー回路１１６Ａ
を接続し、負側の電力供給路１１６Ｂに電流吸込型のカ
レントミラー回路１１６Ｂを接続した実施例を示す。
【００２６】増幅器１０２が動作するに必要なクワイセ
ント電流をＩq 、入力端子に流れるバイアス電流を
Ｉb 、負荷に流れる電流をＩOUT とすると、図２の場合
は正側に電力供給路１１５ＡにはＩOUT ＋Ｉq ＋Ｉb が
流れ、増幅器１０２の出力側には負荷２００に向かって
ＩOUT ＋Ｉb が流れる。この結果、負側に電力供給路１
１５ＢにはＩq ＋２・Ｉb が流れる。
ント電流をＩq 、入力端子に流れるバイアス電流を
Ｉb 、負荷に流れる電流をＩOUT とすると、図２の場合
は正側に電力供給路１１５ＡにはＩOUT ＋Ｉq ＋Ｉb が
流れ、増幅器１０２の出力側には負荷２００に向かって
ＩOUT ＋Ｉb が流れる。この結果、負側に電力供給路１
１５ＢにはＩq ＋２・Ｉb が流れる。
【００２７】正側のカレントミラー回路１１６Ａのミラ
ー係数をＭp 、負側のカレントミラー回路１１６Ｂのミ
ラー係数をＭn とすると、電力供給路１１５Ａと１１５
Ｂとは別に設けた正側の電流路１１７Ａには（ＩOUT ＋
Ｉq ＋Ｉb ）Ｍp の値を持つ電流が流れ、負側の電流路
１１７Ｂには（Ｉq ＋２・Ｉb ）Ｍn が流れる。この結
果、電流検出用抵抗器１０１に流れる電流ＩＭは、 ＩＭ＝（ＩOUT ＋Ｉq ＋Ｉb ）Ｍp −（Ｉq ＋２・Ｉb ）Ｍn ＝Ｍp ・ＩOUT ＋（Ｍp −Ｍn ）Ｉq ＋（Ｍp −２・Ｍn ）Ｉb ・・・(1) (1) 式において、Ｍp はカレントミラー回路１１６Ａの
ミラー係数、（Ｍp −Ｍn ）Ｉq ＋（Ｍp −２・Ｍn ）
Ｉb はオフセット誤差となる。ここでＭp ＝Ｍ n ≒１で
あればオフセット誤差はバイアス電流Ｉb のみとなる。
尚、バイアス電流Ｉb はＦＥＴ入力の増幅器等を用いれ
ば数十ＰＡの極めて小さい値となる。
ー係数をＭp 、負側のカレントミラー回路１１６Ｂのミ
ラー係数をＭn とすると、電力供給路１１５Ａと１１５
Ｂとは別に設けた正側の電流路１１７Ａには（ＩOUT ＋
Ｉq ＋Ｉb ）Ｍp の値を持つ電流が流れ、負側の電流路
１１７Ｂには（Ｉq ＋２・Ｉb ）Ｍn が流れる。この結
果、電流検出用抵抗器１０１に流れる電流ＩＭは、 ＩＭ＝（ＩOUT ＋Ｉq ＋Ｉb ）Ｍp −（Ｉq ＋２・Ｉb ）Ｍn ＝Ｍp ・ＩOUT ＋（Ｍp −Ｍn ）Ｉq ＋（Ｍp −２・Ｍn ）Ｉb ・・・(1) (1) 式において、Ｍp はカレントミラー回路１１６Ａの
ミラー係数、（Ｍp −Ｍn ）Ｉq ＋（Ｍp −２・Ｍn ）
Ｉb はオフセット誤差となる。ここでＭp ＝Ｍ n ≒１で
あればオフセット誤差はバイアス電流Ｉb のみとなる。
尚、バイアス電流Ｉb はＦＥＴ入力の増幅器等を用いれ
ば数十ＰＡの極めて小さい値となる。
【００２８】図３の場合は正側の電力供給路１１５Ａに
は動作電流Ｉq のみが流れ、負側の電力供給路１１５Ｂ
には負荷２００から吸い込んだ電流ＩOUT とＩq ＋Ｉb
との和の電流ＩOUT ＋Ｉq ＋Ｉb が流れる。これらの電
流がカレントミラー回路１１６Ａと１１６Ｂで電流路１
１７Ａと１１７Ｂに投影される。この結果、電流路１１
７ＡにはＩq ・Ｍp が流れ、電流路１１７Ｂには（Ｉ
OUT ＋Ｉq ＋Ｉb ）Ｍnが流れる。従ってこの場合に、
電流検出用抵抗器１０１に流れる電流ＩＭは ＩＭ＝Ｉq ・Ｍp −（ＩOUT ＋Ｉq ＋Ｉb ）Ｍn ＝−Ｍn ・ＩOUT ＋（Ｍp −Ｍn ）Ｉq −Ｍn ・Ｉb ・・・(2) (2) 式において、−Ｍn はカレントミラー回路１１６Ｂ
のミラー係数、（Ｍp−Ｍn ）Ｉq −Ｍn ・Ｉb はオフ
セット誤差となる。Ｍp ＝Ｍn ≒１であればオフセット
誤差はＩb のみとなる。尚、バイアス電流Ｉb はＦＥＴ
入力の増幅器等を用いれば数十ＰＡの極めて小さい値と
なる。
は動作電流Ｉq のみが流れ、負側の電力供給路１１５Ｂ
には負荷２００から吸い込んだ電流ＩOUT とＩq ＋Ｉb
との和の電流ＩOUT ＋Ｉq ＋Ｉb が流れる。これらの電
流がカレントミラー回路１１６Ａと１１６Ｂで電流路１
１７Ａと１１７Ｂに投影される。この結果、電流路１１
７ＡにはＩq ・Ｍp が流れ、電流路１１７Ｂには（Ｉ
OUT ＋Ｉq ＋Ｉb ）Ｍnが流れる。従ってこの場合に、
電流検出用抵抗器１０１に流れる電流ＩＭは ＩＭ＝Ｉq ・Ｍp −（ＩOUT ＋Ｉq ＋Ｉb ）Ｍn ＝−Ｍn ・ＩOUT ＋（Ｍp −Ｍn ）Ｉq −Ｍn ・Ｉb ・・・(2) (2) 式において、−Ｍn はカレントミラー回路１１６Ｂ
のミラー係数、（Ｍp−Ｍn ）Ｉq −Ｍn ・Ｉb はオフ
セット誤差となる。Ｍp ＝Ｍn ≒１であればオフセット
誤差はＩb のみとなる。尚、バイアス電流Ｉb はＦＥＴ
入力の増幅器等を用いれば数十ＰＡの極めて小さい値と
なる。
【００２９】ミラー係数Ｍp 及びＭn は既知の値として
与えられる。またバイアス電流Ｉbも予め測定して既知
の値として記憶器１０７に記憶させておき、補正するこ
ともできる。従って、図２の場合も、また図３の場合も
電流検出用抵抗器１０１に発生する電圧Ｖm を測定する
ことにより、電流ＩＭの値を求めることができる。電流
ＩＭの算出は図１に示した演算装置１０６で行われる。
与えられる。またバイアス電流Ｉbも予め測定して既知
の値として記憶器１０７に記憶させておき、補正するこ
ともできる。従って、図２の場合も、また図３の場合も
電流検出用抵抗器１０１に発生する電圧Ｖm を測定する
ことにより、電流ＩＭの値を求めることができる。電流
ＩＭの算出は図１に示した演算装置１０６で行われる。
【００３０】図４及び図５は図１の実施例において、モ
ード切り替えスイッチＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４をそれぞ
れ接点ＩＳ側に切り替え、電流印加電圧測定モードで動
作させた場合の説明図である。図４は増幅器１０２が負
荷２００に電流ＩOUT を供給している場合の動作説明、
図５は増幅器１０２が負荷２００から電流ＩOUT を吸引
している場合の動作説明である。
ード切り替えスイッチＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４をそれぞ
れ接点ＩＳ側に切り替え、電流印加電圧測定モードで動
作させた場合の説明図である。図４は増幅器１０２が負
荷２００に電流ＩOUT を供給している場合の動作説明、
図５は増幅器１０２が負荷２００から電流ＩOUT を吸引
している場合の動作説明である。
【００３１】増幅器１０２にＤＡ変換器１０３から電圧
Ｖinが与えられたとすると、増幅器１０２の出力側には
Ｖin＋Ｖoff （Ｖoff は増幅器１０２のオフセット電
圧）が出力される。電流検出用抵抗器１０１の抵抗値を
Ｒm とすると、この電流検出用抵抗器１０１に流れる電
流Ｉa1は、 Ｉa1＝（Ｖin＋Ｖoff ）／Ｒm ＋Ｉb となる。
Ｖinが与えられたとすると、増幅器１０２の出力側には
Ｖin＋Ｖoff （Ｖoff は増幅器１０２のオフセット電
圧）が出力される。電流検出用抵抗器１０１の抵抗値を
Ｒm とすると、この電流検出用抵抗器１０１に流れる電
流Ｉa1は、 Ｉa1＝（Ｖin＋Ｖoff ）／Ｒm ＋Ｉb となる。
【００３２】従って、増幅器１０２の正側の電力供給路
１１５ＡにはＩa1＋Ｉq が流れ、負側の電力供給路１１
５ＢにはＩq ＋２・Ｉb が流れる。これらの電流Ｉa1＋
Ｉq とＩq ＋２・Ｉb はそれぞれカレントミラー回路１
１６Ａと１１６Ｂで電流路１１７Ａと１１７Ｂに投影さ
れる。つまり、電流路１１７Ａには（Ｉa1＋Ｉq ）
Ｍp ，電流路１１７Ｂには（Ｉq ＋２・Ｉb ）Ｍn が投
影されて流れる。
１１５ＡにはＩa1＋Ｉq が流れ、負側の電力供給路１１
５ＢにはＩq ＋２・Ｉb が流れる。これらの電流Ｉa1＋
Ｉq とＩq ＋２・Ｉb はそれぞれカレントミラー回路１
１６Ａと１１６Ｂで電流路１１７Ａと１１７Ｂに投影さ
れる。つまり、電流路１１７Ａには（Ｉa1＋Ｉq ）
Ｍp ，電流路１１７Ｂには（Ｉq ＋２・Ｉb ）Ｍn が投
影されて流れる。
【００３３】この結果、負荷２００に流れる電流ＩOUT
は ＩOUT＝｛（Ｖin＋Ｖoff ）／Ｒm ＋Ｉb ＋Ｉq ｝Ｍp −（Ｉq ＋２・Ｉb ）Ｍn ＝Ｍp ・Ｖin／Ｒm ＋（Ｍp −Ｍn ）Ｉq ＋（Ｍp −２Ｍn ）Ｉb ＋Ｍp ・Ｖoff ／Ｒm となる。
は ＩOUT＝｛（Ｖin＋Ｖoff ）／Ｒm ＋Ｉb ＋Ｉq ｝Ｍp −（Ｉq ＋２・Ｉb ）Ｍn ＝Ｍp ・Ｖin／Ｒm ＋（Ｍp −Ｍn ）Ｉq ＋（Ｍp −２Ｍn ）Ｉb ＋Ｍp ・Ｖoff ／Ｒm となる。
【００３４】Ｍp はミラー係数、（Ｍp −Ｍn ）Ｉq ＋
（Ｍp −２Ｍn ）Ｉb ＋Ｍp ・Ｖoff ／Ｒm はオフセッ
ト誤差である。ここでＭp ＝Ｍn とすればオフセット誤
差はＭn ・Ｉb ＋Ｍp ・Ｖoff ／Ｒm となる。Ｍn ≒
１、Ｖoff は微小値でありあらかじめ測定して既知の値
として補正を行うことができる。負荷２００に印加され
る電流ＩOUT はＩOU T ＝Ｖin／Ｒm ＋Ｉb となり、負荷
２００に既知の値を持つ所定の電流（電圧Ｖ inによって
自由に値を設定できる電流）を印加することができる。
（Ｍp −２Ｍn ）Ｉb ＋Ｍp ・Ｖoff ／Ｒm はオフセッ
ト誤差である。ここでＭp ＝Ｍn とすればオフセット誤
差はＭn ・Ｉb ＋Ｍp ・Ｖoff ／Ｒm となる。Ｍn ≒
１、Ｖoff は微小値でありあらかじめ測定して既知の値
として補正を行うことができる。負荷２００に印加され
る電流ＩOUT はＩOU T ＝Ｖin／Ｒm ＋Ｉb となり、負荷
２００に既知の値を持つ所定の電流（電圧Ｖ inによって
自由に値を設定できる電流）を印加することができる。
【００３５】ＡＤ変換器１０５は、この電流印加状態に
ある負荷２００に発生する電圧ＶOU T をＡＤ変換し、負
荷２００に発生する電圧ＶOUT の値を測定する。一方、
増幅器１０２が負荷２００から電流ＩOUT を吸引する場
合には、図５に示すようにＤＡ変換器１０３から増幅器
１０２に印加される負の電圧Ｖinにより電流検出用抵抗
器１０１に流れる電流Ｉa1は Ｉa1＝（Ｖin＋Ｖoff ）／Ｒm −Ｉb となる。
ある負荷２００に発生する電圧ＶOU T をＡＤ変換し、負
荷２００に発生する電圧ＶOUT の値を測定する。一方、
増幅器１０２が負荷２００から電流ＩOUT を吸引する場
合には、図５に示すようにＤＡ変換器１０３から増幅器
１０２に印加される負の電圧Ｖinにより電流検出用抵抗
器１０１に流れる電流Ｉa1は Ｉa1＝（Ｖin＋Ｖoff ）／Ｒm −Ｉb となる。
【００３６】従って、増幅器１０２の負側の電力供給路
１１５ＢにはＩa1＋Ｉq ＋２・Ｉbが流れ、正側の電力
供給路１１５Ａには電流Ｉq が流れる。これらの電流Ｉ
a1＋Ｉq ＋２・Ｉb とＩq はカレントミラー回路１１６
Ｂと１１６Ａで電流路１１７Ｂと１１７Ａに投影され
る。従って、電流路１１７ＡにはＩq ・Ｍp が流れ、電
流路１１７Ｂには（Ｉa1＋Ｉq ＋２Ｉb ）Ｍn が流れ
る。
１１５ＢにはＩa1＋Ｉq ＋２・Ｉbが流れ、正側の電力
供給路１１５Ａには電流Ｉq が流れる。これらの電流Ｉ
a1＋Ｉq ＋２・Ｉb とＩq はカレントミラー回路１１６
Ｂと１１６Ａで電流路１１７Ｂと１１７Ａに投影され
る。従って、電流路１１７ＡにはＩq ・Ｍp が流れ、電
流路１１７Ｂには（Ｉa1＋Ｉq ＋２Ｉb ）Ｍn が流れ
る。
【００３７】この結果、負荷２００に流れる電流ＩOUT
は、 ＩOUT ＝｛（Ｖin＋Ｖoff ）／Ｒm ＋Ｉb ＋Ｉq ｝Ｍn −Ｉq ・Ｍp ＝Ｍn ・Ｖin／Ｒm ＋（Ｍn −Ｍp ）Ｉq ＋Ｍn ・Ｉb ＋Ｍn ・Ｖoff ／Ｒm となる。 （Ｍn −Ｍp ）Ｉq ＋Ｍn ・Ｉb ＋Ｍn ・Ｖoff ／Ｒm Ｍn はミラー係数 （Ｍn −Ｍp ）Ｉq ＋Ｍn ・Ｉb ＋Ｍn ・Ｖoff ／Ｒm
はオフセット誤差である。ここでＭp ＝Ｍn とすればオ
フセット誤差はＭn ・Ｉb ＋Ｍn ・Ｖoff ／Ｒ m とな
る。Ｍn ≒１・Ｖoff が微小値とすれば負荷２００に印
加される電流ＩOU T はＩOUT ＝Ｖin／Ｒm ＋Ｉb とな
り、負荷２００に既知の値を持つ所定の電流（電圧Ｖin
によって自由に値を設定できる電流）を印加することが
できる。
は、 ＩOUT ＝｛（Ｖin＋Ｖoff ）／Ｒm ＋Ｉb ＋Ｉq ｝Ｍn −Ｉq ・Ｍp ＝Ｍn ・Ｖin／Ｒm ＋（Ｍn −Ｍp ）Ｉq ＋Ｍn ・Ｉb ＋Ｍn ・Ｖoff ／Ｒm となる。 （Ｍn −Ｍp ）Ｉq ＋Ｍn ・Ｉb ＋Ｍn ・Ｖoff ／Ｒm Ｍn はミラー係数 （Ｍn −Ｍp ）Ｉq ＋Ｍn ・Ｉb ＋Ｍn ・Ｖoff ／Ｒm
はオフセット誤差である。ここでＭp ＝Ｍn とすればオ
フセット誤差はＭn ・Ｉb ＋Ｍn ・Ｖoff ／Ｒ m とな
る。Ｍn ≒１・Ｖoff が微小値とすれば負荷２００に印
加される電流ＩOU T はＩOUT ＝Ｖin／Ｒm ＋Ｉb とな
り、負荷２００に既知の値を持つ所定の電流（電圧Ｖin
によって自由に値を設定できる電流）を印加することが
できる。
【００３８】ＡＤ変換器１０５は、この電流印加状態に
ある負荷２００に発生する電圧ＶOU T をＡＤ変換し、負
荷２００に発生する電圧ＶOUT の値を測定する。以上に
より、図１に示した回路により、負荷２００に対して電
圧印加電流測定試験と、電流印加電流測定試験とを行う
ことができることが理解できよう。図６と図７にカレン
トミラー回路の一例を示す。この例ではウイルソンミラ
ー回路と呼ばれているカレントミラー回路を例示して示
す。図６は正側のカレントミラー回路１１６Ａの実施
例、図７は負側のカレントミラー回路１１６Ｂの実施例
を示す。図６に示すカレントミラー回路１１６Ａは３本
のＰＮＰ型トランジスタＱ1 〜Ｑ3 によって構成され
る。トランジスタＱ1 とＱ2 の各エミッタを正極の電源
線に接続し、ベースを共通接続すると共に、その共通接
続したベースをトランジスタＱ2 のコレクタに接続し、
トランジスタＱ2 のコレクタをトランジスタＱ3 のエミ
ッタ−コレクタを通じて電力供給路１１７Ａに接続し、
トランジスタＱ3 のベースを電力供給路１１５Ａに接続
する。このような接続により電力供給路１１５Ａに流れ
る電流を他方の電流路１１７Ａに投影させる構成とした
場合を示す。
ある負荷２００に発生する電圧ＶOU T をＡＤ変換し、負
荷２００に発生する電圧ＶOUT の値を測定する。以上に
より、図１に示した回路により、負荷２００に対して電
圧印加電流測定試験と、電流印加電流測定試験とを行う
ことができることが理解できよう。図６と図７にカレン
トミラー回路の一例を示す。この例ではウイルソンミラ
ー回路と呼ばれているカレントミラー回路を例示して示
す。図６は正側のカレントミラー回路１１６Ａの実施
例、図７は負側のカレントミラー回路１１６Ｂの実施例
を示す。図６に示すカレントミラー回路１１６Ａは３本
のＰＮＰ型トランジスタＱ1 〜Ｑ3 によって構成され
る。トランジスタＱ1 とＱ2 の各エミッタを正極の電源
線に接続し、ベースを共通接続すると共に、その共通接
続したベースをトランジスタＱ2 のコレクタに接続し、
トランジスタＱ2 のコレクタをトランジスタＱ3 のエミ
ッタ−コレクタを通じて電力供給路１１７Ａに接続し、
トランジスタＱ3 のベースを電力供給路１１５Ａに接続
する。このような接続により電力供給路１１５Ａに流れ
る電流を他方の電流路１１７Ａに投影させる構成とした
場合を示す。
【００３９】また、負側のカレントミラー回路１１５Ｂ
は３本のＮＰＮ型トランジスタＱ4、Ｑ5 とによって構
成することができ、トランジスタＱ4 とＱ5 のエミッタ
を負極電源線に接続し、ベースを共通接続し、このベー
スの共通接続点をトランジスタＱ5 のコレクタに接続
し、このトランジスタＱ5 のコレクタをトランジスタＱ
6 のエミッタ−コレクタを通じて電流路１１７Ｂに接続
し、このトランジスタＱ 6 のベースを電力供給路１１５
Ｂに接続する。この接続により電力供給路１１５Ｂに流
れる電流を電流路１１７Ｂに投影させる構成とした場合
を示す。
は３本のＮＰＮ型トランジスタＱ4、Ｑ5 とによって構
成することができ、トランジスタＱ4 とＱ5 のエミッタ
を負極電源線に接続し、ベースを共通接続し、このベー
スの共通接続点をトランジスタＱ5 のコレクタに接続
し、このトランジスタＱ5 のコレクタをトランジスタＱ
6 のエミッタ−コレクタを通じて電流路１１７Ｂに接続
し、このトランジスタＱ 6 のベースを電力供給路１１５
Ｂに接続する。この接続により電力供給路１１５Ｂに流
れる電流を電流路１１７Ｂに投影させる構成とした場合
を示す。
【００４０】これらのカレントミラー回路において、ミ
ラー係数Ｍ（Ｍn ，Ｍp ）は使用したトランジスタの電
流増幅率βの値によって次式で求められる。ウイルソン
ミラー回路の場合、 Ｍ＝１−２／（β2 ＋２β＋２） βが十分大きければＭはＭ≒１となる。
ラー係数Ｍ（Ｍn ，Ｍp ）は使用したトランジスタの電
流増幅率βの値によって次式で求められる。ウイルソン
ミラー回路の場合、 Ｍ＝１−２／（β2 ＋２β＋２） βが十分大きければＭはＭ≒１となる。
【００４１】カレントミラー回路１１６Ａと１１６Ｂは
図６と図７に示した例に限らず各種の回路のものが既に
実用されている。この発明の請求項に記載するカレント
ミラー回路は現存する全ての形式のカレントミラー回路
を含むものであり、特にトランジスタ回路で構成される
カレントミラー回路に限らず例えば磁気的な結合手段で
構成されるカレントミラー回路をも含み、何れの形式の
カレントミラー回路を用いても、上述と同様の作用効果
を得ることができる。
図６と図７に示した例に限らず各種の回路のものが既に
実用されている。この発明の請求項に記載するカレント
ミラー回路は現存する全ての形式のカレントミラー回路
を含むものであり、特にトランジスタ回路で構成される
カレントミラー回路に限らず例えば磁気的な結合手段で
構成されるカレントミラー回路をも含み、何れの形式の
カレントミラー回路を用いても、上述と同様の作用効果
を得ることができる。
【００４２】図８は図１１に示した回路形式の増幅器１
０２にこの発明を適用した場合を示す。この実施例では
増幅器１０２の入力と帰還回路が異なるだけで、その他
の構成及び動作は図１に示した実施例と同じであるか
ら、ここではこれ以上の詳細説明を省略する。図９はこ
の発明の更に他の実施例を示す。この実施例では図１に
示した実施例からモード切り替えスイッチＳ３とＳ４を
省略し、増幅器１０２の出力を端子Ｔ１に接続した状態
に固定し、また電流路１１７Ａと１１７Ｂの接続点に電
流検出用抵抗器１０１を接続した状態に固定した構成と
した場合を示す。
０２にこの発明を適用した場合を示す。この実施例では
増幅器１０２の入力と帰還回路が異なるだけで、その他
の構成及び動作は図１に示した実施例と同じであるか
ら、ここではこれ以上の詳細説明を省略する。図９はこ
の発明の更に他の実施例を示す。この実施例では図１に
示した実施例からモード切り替えスイッチＳ３とＳ４を
省略し、増幅器１０２の出力を端子Ｔ１に接続した状態
に固定し、また電流路１１７Ａと１１７Ｂの接続点に電
流検出用抵抗器１０１を接続した状態に固定した構成と
した場合を示す。
【００４３】つまり、電圧印加電流測定モードでも電流
印加電圧測定モードでも、何れのモードでも増幅器１０
２は負荷２００に電圧又は電流を印加し、電流路１１７
Ａと１１７Ｂの接続点は電流検出用抵抗器１０１に電圧
又は電流を印加し、電圧印加電流測定モードではモード
切り替えスイッチＳ１を接点ＳＶ側に接続して、負荷２
００に発生する電圧を増幅器１０２に帰還させ、負荷２
００に印加する電圧を一定値に維持させると共に、この
電圧印加状態で電流検出用抵抗器１０１に発生する電圧
をモード切り替えスイッチＳ２を通じてＡＤ変換器１０
５に入力し、電流検出用抵抗器１０１に発生する電圧を
測定して、この電流検出用抵抗器１０１に流れる電流を
測定する。
印加電圧測定モードでも、何れのモードでも増幅器１０
２は負荷２００に電圧又は電流を印加し、電流路１１７
Ａと１１７Ｂの接続点は電流検出用抵抗器１０１に電圧
又は電流を印加し、電圧印加電流測定モードではモード
切り替えスイッチＳ１を接点ＳＶ側に接続して、負荷２
００に発生する電圧を増幅器１０２に帰還させ、負荷２
００に印加する電圧を一定値に維持させると共に、この
電圧印加状態で電流検出用抵抗器１０１に発生する電圧
をモード切り替えスイッチＳ２を通じてＡＤ変換器１０
５に入力し、電流検出用抵抗器１０１に発生する電圧を
測定して、この電流検出用抵抗器１０１に流れる電流を
測定する。
【００４４】また電流印加電圧測定モードでは電流検出
用抵抗器１０１に発生する電圧をモード切り替えスイッ
チＳ２を通じて増幅器１０２に帰還させ、電流検出用抵
抗器１０１に発生する電圧を一定値に維持させて電流検
出用抵抗器１０１に流れる電流を所定値に維持させ、そ
の電流をカレントミラー回路１１６Ａと１１６Ｂの動作
によって負荷２００にも供給する。負荷２００に所定の
電流を印加した状態で負荷２００に発生する電圧をモー
ド切り替えスイッチＳ１を通じてＡＤ変換器１０５に入
力し、負荷２００に所定の電流（既知の値の電流）を印
加している状態で発生する電圧を測定する。
用抵抗器１０１に発生する電圧をモード切り替えスイッ
チＳ２を通じて増幅器１０２に帰還させ、電流検出用抵
抗器１０１に発生する電圧を一定値に維持させて電流検
出用抵抗器１０１に流れる電流を所定値に維持させ、そ
の電流をカレントミラー回路１１６Ａと１１６Ｂの動作
によって負荷２００にも供給する。負荷２００に所定の
電流を印加した状態で負荷２００に発生する電圧をモー
ド切り替えスイッチＳ１を通じてＡＤ変換器１０５に入
力し、負荷２００に所定の電流（既知の値の電流）を印
加している状態で発生する電圧を測定する。
【００４５】従って、この図９に示す実施例でも、電圧
印加電流測定試験と、電流印加電圧測定試験を行うこと
ができることが理解できよう。また、この図９に示した
実施例に図８に示した演算増幅器を組み合わせることも
可能であることも容易に理解できよう。ここで、上述し
た図１と図９に示した実施例と各請求項の関係を列記す
る。
印加電流測定試験と、電流印加電圧測定試験を行うこと
ができることが理解できよう。また、この図９に示した
実施例に図８に示した演算増幅器を組み合わせることも
可能であることも容易に理解できよう。ここで、上述し
た図１と図９に示した実施例と各請求項の関係を列記す
る。
【００４６】請求項１は図１に示した実施例の電圧印加
電流測定モードのＩＣ試験方法を請求する請求項。請求
項２は図１に示した実施例の電流印加電流測定モードの
ＩＣ試験方法を請求する請求項。請求項３は図１に示し
た実施例の電圧印加電流測定モードのＩＣ試験装置を請
求する請求項。
電流測定モードのＩＣ試験方法を請求する請求項。請求
項２は図１に示した実施例の電流印加電流測定モードの
ＩＣ試験方法を請求する請求項。請求項３は図１に示し
た実施例の電圧印加電流測定モードのＩＣ試験装置を請
求する請求項。
【００４７】請求項４は図１に示した実施例の電流印加
電圧測定モードのＩＣ試験装置を請求する請求項。請求
項５は図９に示した実施例の電流印加電圧測定モードの
ＩＣ試験装置を請求する請求項。請求項６は図１に示し
た実施例において、特にモード切り替えスイッチＳ１〜
Ｓ４を付加し、電圧印加電流測定モードと電流印加電圧
測定モードに切り替えて動作するＩＣ試験装置を請求す
る請求項。
電圧測定モードのＩＣ試験装置を請求する請求項。請求
項５は図９に示した実施例の電流印加電圧測定モードの
ＩＣ試験装置を請求する請求項。請求項６は図１に示し
た実施例において、特にモード切り替えスイッチＳ１〜
Ｓ４を付加し、電圧印加電流測定モードと電流印加電圧
測定モードに切り替えて動作するＩＣ試験装置を請求す
る請求項。
【００４８】請求項７は図９に示した実施例において、
モード切り替えスイッチＳ１とＳ２を付加し、電圧印加
電流測定モードと電流印加電圧測定モードに切り替えて
動作するＩＣ試験装置を請求する請求項。尚、図９に示
した実施例で電圧印加電流測定モードのＩＣ試験装置は
請求項３と同一である。
モード切り替えスイッチＳ１とＳ２を付加し、電圧印加
電流測定モードと電流印加電圧測定モードに切り替えて
動作するＩＣ試験装置を請求する請求項。尚、図９に示
した実施例で電圧印加電流測定モードのＩＣ試験装置は
請求項３と同一である。
【００４９】また、上述において電流検出用抵抗器はＩ
−Ｖ変換器構成することができる。
−Ｖ変換器構成することができる。
【００５０】
【発明の効果】以上説明したように、この発明では増幅
器１０２と負荷２００との間に電流検出用抵抗器を接続
しない構成によって電圧印加電流測定試験と、電流印加
電圧測定試験を行うことができるから、電流検出用抵抗
器を増幅器１０２の出力側に直列接続することによって
発生する各種の不都合、つまり、負荷２００が容量性で
あっても増幅器１０２は安定に動作し、また、増幅器１
０２の出力側に位相補償用コンデンサＳm （図１０及び
図１１参照）を接続する必要がないから、時定数回路が
形成されない。従って微小電流の測定であっても電流値
は直ちに目標値に安定し、微小電流の測定を短時間に行
うことができる大きな利点が得られる。
器１０２と負荷２００との間に電流検出用抵抗器を接続
しない構成によって電圧印加電流測定試験と、電流印加
電圧測定試験を行うことができるから、電流検出用抵抗
器を増幅器１０２の出力側に直列接続することによって
発生する各種の不都合、つまり、負荷２００が容量性で
あっても増幅器１０２は安定に動作し、また、増幅器１
０２の出力側に位相補償用コンデンサＳm （図１０及び
図１１参照）を接続する必要がないから、時定数回路が
形成されない。従って微小電流の測定であっても電流値
は直ちに目標値に安定し、微小電流の測定を短時間に行
うことができる大きな利点が得られる。
【００５１】更に、図１０及び図１１に示した高価な計
装アンプ１０４を使用しなくて済むからコストダウンも
期待できる利点も得られる。
装アンプ１０４を使用しなくて済むからコストダウンも
期待できる利点も得られる。
【図１】この発明の請求項１及び２で提案するＩＣ試験
方法で試験を行うことができるＩＣ試験装置の実施例を
説明するための接続図。
方法で試験を行うことができるＩＣ試験装置の実施例を
説明するための接続図。
【図２】図１に示したＩＣ試験装置を請求項１で提案し
たＩＣ試験方法でＩＣを試験する場合の動作の一例を説
明するための接続図。
たＩＣ試験方法でＩＣを試験する場合の動作の一例を説
明するための接続図。
【図３】図１に示したＩＣ試験を請求項１で提案したＩ
Ｃ試験方法でＩＣを試験する場合の動作の他の例を説明
するための接続図。
Ｃ試験方法でＩＣを試験する場合の動作の他の例を説明
するための接続図。
【図４】図１に示したＩＣ試験装置を請求項２で提案し
たＩＣ試験方法でＩＣを試験する場合の動作の一例を説
明するための接続図。
たＩＣ試験方法でＩＣを試験する場合の動作の一例を説
明するための接続図。
【図５】図１に示したＩＣ試験装置を請求項２で提案し
たＩＣ試験方法でＩＣを試験する場合の動作の他の例を
説明するための接続図。
たＩＣ試験方法でＩＣを試験する場合の動作の他の例を
説明するための接続図。
【図６】この発明に用いることができるカレントミラー
回路の一例を説明する接続図。
回路の一例を説明する接続図。
【図７】図６と同様の接続図。
【図８】図１に示したＩＣ試験装置の変形実施例を示す
接続図。
接続図。
【図９】図１に示したＩＣ試験装置の更に他の変形実施
例を示す接続図。
例を示す接続図。
【図１０】従来の技術を説明するための接続図。
【図１１】図１０と同様の接続図。
１００ ＩＣ試験装置 １０１ 電流検出用抵抗器 １０２ 増幅器 １０３ ＤＡ変換器 １０５ ＡＤ変換器 １０６ 演算装置 １０７ 記憶器 １０８ インピーダンス変換用バッファ増幅器 １１５Ａ，１１５Ｂ 電力供給路 １１６Ａ，１１６Ｂ カレントミラー回路 １１７Ａ，１１７Ｂ 電流路 Ｓ１〜Ｓ４ モード切り替えスイッチ
Claims (7)
- 【請求項１】 被試験ＩＣの端子に所定の電圧を印加
し、この電圧印加状態で被試験ＩＣの上記端子に流れる
電流を測定し、所定の電流が流れるか否かを判定する電
圧印加電流試験において、 上記被試験ＩＣの端子に所定の電圧を印加する増幅器の
電力供給路に、この電力供給路を流れる電流値と所定の
比率の値を持つ電流を別の電流路に取り出すことができ
るカレントミラー回路を接続し、このカレントミラー回
路で取り出した電流の値を測定して上記被試験ＩＣの端
子に対して電圧印加電流測定試験を行うことを特徴とす
るＩＣ試験方法。 - 【請求項２】 被試験ＩＣの端子に所定の電流を印加
し、この電流印加状態で上記端子に発生する電圧を測定
する電流印加電圧測定試験において、 既知の抵抗値を持つ電流−電圧変換器に既知の電圧を増
幅器から印加し、この増幅器から上記電流−電圧変換器
に既知の値を持つ電流を供給すると共に、上記増幅器の
電力供給路に、この電力供給路を流れる電流の値と所定
の比率の値を持つ電流を別に設けた電流路に取り出すカ
レントミラー回路を設け、このカレントミラー回路で取
り出した電流を被試験ＩＣの上記端子に印加し、この電
流印加状態で上記被試験ＩＣの端子に発生する電圧を測
定して電流印加電圧測定試験を行うことを特徴とするＩ
Ｃ試験方法。 - 【請求項３】 被試験ＩＣの端子に所定の電圧を印加
し、この電圧印加状態で上記端子に流れる電流を測定
し、所定の電流が流れるか否かを判定する電圧印加電流
測定試験を行うＩＣ試験装置において、 Ａ．被試験ＩＣの端子に所定の電圧を供給する増幅器
と、 Ｂ．この増幅器の電力供給路に接続され、上記増幅器に
供給される電流値と所定の比率の値を持つ電流を上記電
力供給路とは別に設けた電流路に取り出すカレントミラ
ー回路と、 Ｃ．このカレントミラー回路で取り出した電流を電圧に
変換する電流−電圧変換器と、 Ｄ．この電流−電圧変換器で取り出した電圧を測定する
電圧測定手段と、 によって構成したことを特徴とするＩＣ試験装置。 - 【請求項４】 被試験ＩＣの端子に所定の電流を印加
し、この電流印加状態で上記端子に発生する電圧を測定
する電流印加電圧測定試験において、 Ａ．既知の抵抗値を持つ電流−電圧変換器に既知の電圧
を印加して上記電流−電圧変換器に既知の値を持つ電流
を印加する増幅器と、 Ｂ．この増幅器の電力供給路に接続され、この電力供給
路を流れる電流値と、所定の比率を持つ電流を別に設け
た電流路に取り出すことができるカレントミラー回路
と、 Ｃ．このカレントミラー回路で取り出した電流を被試験
ＩＣの端子に印加する電流印加回路と、 Ｄ．この電流印加回路で電流を印加した端子の電圧を測
定する電圧測定手段と、 によって構成したことを特徴とする電流印加電圧測定装
置。 - 【請求項５】 被試験ＩＣの端子に所定の電流を印加
し、この電流印加状態で上記端子に発生する電圧を測定
し、所定の電圧が発生するか否かを判定する電流印加電
圧測定試験を行うＩＣ試験装置において、 Ａ．被試験ＩＣの端子に所定の電流を印加する増幅器
と、 Ｂ．この増幅器の電力供給路に接続され、上記増幅器に
供給される電流値と所定の比率の値を持つ電流を上記電
力供給路とは別に設けた電流路に取り出すカレントミラ
ー回路と、 Ｃ．このカレントミラー回路で取り出した電流を電圧変
換し、この電圧を上記増幅器に帰還させて上記被試験Ｉ
Ｃの端子に流れる電流値を所定値に維持させる電流−電
圧変換器と、 Ｄ．上記被試験ＩＣの端子に発生する電圧を測定する電
圧測定手段と、によって構成したことを特徴とするＩＣ
試験装置。 - 【請求項６】 Ａ．増幅器の出力端子を被試験ＩＣの端
子に接続した状態と、電流−電圧変換器の一端に接続す
る状態に切り替える第１モード切り替えスイッチと、 Ｂ．上記増幅器の電力供給路を流れる電流と同等の電流
が流れる電流路を上記電流−電圧変換器に接続する状態
と、上記被試験ＩＣの端子に接続する状態に切り替える
第２モード切り替えスイッチと、 Ｃ．上記被試験ＩＣの端子に発生する電圧を上記増幅器
の反転入力端子に帰還する状態と、上記端子に発生する
電圧を上記ＡＤ変換器に入力する状態に切り替える第３
モードスイッチと、 Ｄ．上記電流−電圧変換器に発生する電圧をＡＤ変換器
に入力する状態と、上記電流−電圧変換器に発生する電
圧を上記増幅器の反転入力端子に帰還させる状態に切り
替える第４モードスイッチと、 を具備し、上記第１モードスイッチ乃至第４モードスイ
ッチを切り替えて上記請求項３記載の電圧印加電流測定
試験を行う状態と、上記請求項４記載の電流印加電圧測
定試験を行う状態に切り替えて使用できることを特徴と
するＩＣ試験装置。 - 【請求項７】 Ａ．増幅器の出力端子を被試験ＩＣの端
子に接続し、上記増幅器の電力供給路を流れる電流と同
等の電流が流れる電流路を電流−電圧変換器に接続した
状態に固定すると共に、上記被ＩＣ試験の端子に発生す
る電圧を上記増幅器の反転入力端子に帰還させる状態
と、ＡＤ変換器に入力する状態に切り替える第１モード
切り替えスイッチと、 Ｂ．上記電流−電圧変換器に発生する電圧をＡＤ変換器
に入力する状態と、上記増幅器の反転入力端子に帰還さ
せる状態に切り替える第２モード切り替えスイッチと、 を具備し、上記第１モード切り替えスイッチと第２モー
ド切り替えスイッチの切り替えによって電圧印加電流測
定試験と、電流印加電圧測定試験とを行う状態に切り替
えて使用できることを特徴とするＩＣ試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11101957A JP2000292478A (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | Ｉｃ試験方法及びｉｃ試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11101957A JP2000292478A (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | Ｉｃ試験方法及びｉｃ試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000292478A true JP2000292478A (ja) | 2000-10-20 |
Family
ID=14314362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11101957A Pending JP2000292478A (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | Ｉｃ試験方法及びｉｃ試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000292478A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007125680A1 (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-08 | Advantest Corporation | 電力印加回路、及び試験装置 |
| JP2011508260A (ja) * | 2007-12-21 | 2011-03-10 | グローバル オーエルイーディー テクノロジー リミティド ライアビリティ カンパニー | アナログトランジスタ駆動信号により補償されるエレクトロルミネセント・ディスプレイ |
-
1999
- 1999-04-09 JP JP11101957A patent/JP2000292478A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007125680A1 (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-08 | Advantest Corporation | 電力印加回路、及び試験装置 |
| US7482829B2 (en) | 2006-04-28 | 2009-01-27 | Advantest Corporation | Electric power applying circuit and test apparatus |
| KR101024220B1 (ko) | 2006-04-28 | 2011-03-29 | 가부시키가이샤 어드밴티스트 | 전력 인가 회로 및 시험 장치 |
| JP2011508260A (ja) * | 2007-12-21 | 2011-03-10 | グローバル オーエルイーディー テクノロジー リミティド ライアビリティ カンパニー | アナログトランジスタ駆動信号により補償されるエレクトロルミネセント・ディスプレイ |
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