JP2000281317A - オゾン発生装置用放電セル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オゾンガスの取り出し構造が簡単な小型で経
済的なオゾン発生装置用放電セルを提供する。 【解決手段】 冷却器を兼ねる一対の第１電極１０，１
０の間に、両側のスペーサ２０，２０により空間を形成
する。その空間に、両面側に放電空隙５０，５０が形成
されるように誘電体ユニット３０を配置する。誘電体ユ
ニット３０は、誘電体としての２枚のガラス板３１，３
１の間に第２電極３２を挟んだサンドイッチ構造であ
る。放電空隙５０，５０に前後両方から原料ガスを供給
する。オゾンガスを放電空隙５０，５０の前後方向中央
部から両側へ排出し、その両側から上方へ排出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プレート型オゾン
発生装置に使用される放電セルに関する。

【０００２】

【従来の技術】プレート型オゾン発生装置に使用される
放電セルの一つとして図７に示すものが知られている。

【０００３】図７に示された放電セルは、ヒートシンク
を兼ねる一対の低圧電極１，１と、一対の低圧電極１，
１の間に配置される誘電体ユニット２と、誘電体ユニッ
ト２の両面側に放電空隙３を形成するためのスペーサ
４，４・・とを備えている。誘電体ユニット２は、誘電
体としての２枚のガラス板２ａ，２ａの間に高圧電極２
ｂを介在させた多層構造である。スペーサ４，４・・は
金属、セラミック、ガラス或いは樹脂等からなり、放電
空隙３でのガス流通方向に直角な方向に所定の間隔で配
列されている。

【０００４】通常のプレート型オゾン発生装置用放電セ
ルでは、低圧電極１，１及び誘電体ユニット２を１モジ
ュールとし、隣接するモジュール間で低圧電極１，１を
共用する形で、そのモジュールが厚み方向に積層され
る。

【０００５】オゾンを発生させるときは、誘電体ユニッ
ト２の両面側に形成された放電空隙３，３に酸素ガス又
は酸素ガスを含む混合ガスからなる原料ガスを前方から
後方へ流通させながら、誘電体ユニット２内の高圧電極
２ｂに所定の高電圧を印加する。高電圧の印加により放
電空隙３，３では無声放電が発生し、原料ガス中の酸素
ガスがオゾン化される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このようなプレート型
オゾン発生装置用放電セルでは、放電空隙３，３の前方
から後方へ並行流的かつ一方通行的にガス流通が行われ
るため、オゾンガスの取り出しは、放電セルの後面に取
付けられた比較的大きなヘッダを通して行う必要があ
る。このため、オゾン発生装置が大型化し、製作コスト
も増大する。

【０００７】これに加え、通常の放電セルでは、上述し
たように、モジュールが厚み方向に多数積層された積層
構造が採用されるため、ヘッダが取付けられる後面は積
層面がそのまま現れ、平坦でない。このため放電セルと
ヘッダとの間のシールが難しく、このシールにもコスト
が嵩む。

【０００８】本発明の目的は、並行流的なガス流通を行
うにもかかわらず、オゾンガスの取り出しが簡単な小型
で経済的なオゾン発生装置用放電セルを提供することに
ある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のオゾン発生装置用放電セルは、対向配置さ
れた一対の電極間に、少なくとも一方の電極側に放電空
隙が形成されるように誘電体を配置すると共に、相対向
する２方向から電極及び誘電体の表面に沿って前記放電
空隙内に供給される原料ガスに対し、オゾンガスを前記
放電空隙内のガス流通方向中間部から、そのガス流通方
向に直角な方向へ排出するガス排出系統を構成したもの
である。

【００１０】本発明のオゾン発生装置用放電セルでは、
放電空隙内に原料ガスが相対向する２方向から供給さ
れ、オゾン化する。オゾンガスは、放電空隙内のガス流
通方向中間部において、側方及び／又は放電空隙の厚み
方向へ向きを変え、放電空隙の側方及び／又は上下の少
なくとも一方へ排出される。このため、オゾンガスを放
電セルの前後面から取り出す必要がなくる。

【００１１】オゾンガスの排出をスムーズに行うために
は、オゾンガスを放電空隙の両側へ排出するのが好まし
い。また、放電空隙内のガス流通方向中間部おいて、オ
ゾンガスを放電空隙の側方へ排出するべく、原料ガス流
通方向とほぼ直角な方向へオゾンガスを導くガス流通路
を、電極及び／又は誘電体に設けるのが好ましい。

【００１２】ここにおけるガス流通路は、放電空隙の側
方へ排出したオゾンガスを、側端部から放電空隙の厚み
方向へ排出する構成が好ましい。これにより、積層方向
端面から特に簡単にオゾンガスを取り出すことができ
る。

【００１３】一対の電極については、少なくとも一方が
冷却器を兼ね、冷媒を電極の表面に沿って原料ガス流通
方向とほぼ直角な方向へ流通させる冷媒流通路を有する
ものが、放電セルの小型化の点から好ましい。

【００１４】ここにおける冷媒流通路は、その端部で冷
媒を放電空隙の厚み方向へ流通させる構成が好ましい。
これにより、積層方向端面から特に簡単に冷媒の供給及
び排出を行うことができる。

【００１５】ガス流通路及び冷媒流通路は、電極及び誘
電体の何れにも設けることができるが、機械加工、化学
的な加工が容易な電極の方が好ましい。

【００１６】そして、本発明のオゾン発生装置用放電セ
ルは、次のような構成の放電セルで特に合理的な設計が
可能となる。

【００１７】即ち、対向配置された一対の第１電極と、
一対の第１電極の間に空間を形成するべくその間の両側
部に配置された両側一対のスペーサと、一対の第１電極
との間に放電空隙を形成するべく前記空間内に配置さ
れ、一対の誘電体の間に第２電極を挟んで構成された誘
電体ユニットとを備えた放電セルである。

【００１８】このような放電セルの両側部分では、第１
電極とスペーサが交互に積層され、誘電体ユニットが排
除される。第１電極及びスペーサは、誘電体と異なり金
属により形成することができるので、放電セルの両側部
分は金属の積層構造とすることができる。従って、その
両側の金属の積層部分を利用することにより、オゾンガ
スの排出経路及び冷媒の供給・排出経路が特に簡単に形
成される。

【００１９】第１電極内の冷媒流通路は、接合された２
枚の金属板の少なくとも一方の対向面にエッチング又は
プレスにより形成するのが、加工性、製作コストの点か
ら好ましい。

【００２０】誘電体としては低コスト、耐電圧特性、寸
法精度、表面が研磨工程なしで鏡面となることなどから
ガラス板、特に液晶基板用のガラス板が好ましいが、ア
ルミナ等のセラミック板、サファイア等の結晶板、アル
ミナ等の溶射によるセラミックコート板、ほうろう板な
どの使用も可能である。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は本発明の実施形態に係るプレ
ート型オゾン発生装置用放電セルの正面図、図２は同放
電セルに使用されたセルモジュールの分解斜視図、図３
は同セルモジュールに使用された第１電極の分解斜視図
である。

【００２２】本実施形態に係る放電セルは、図１に示す
ように、平板状の剛性体からなる複数の第１電極１０，
１０・・を、両側一対の剛性体スペーサ２０，２０を挟
んで板厚方向に重ね合わせることにより、セルモジュー
ルの積層体を構成している。セルモジュールの積層体
は、図示されない上下一対のエンドプレート間に、両側
部を積層方向に貫通する複数本のボルトにより固定され
ている。この積層体では、上下のセルモジュール間で第
１電極１０が共用される。

【００２３】各セルモジュールは、図２に示すように、
上下一対の第１電極１０，１０と、第１電極１０，１０
間に挟まれた両側一対の剛性体スペーサ２０，２０と、
剛性体スペーサ２０，２０の内側に位置して第１電極１
０，１０間に配置された誘電体ユニット３０と、誘電体
ユニット３０の両面側に放電空隙５０，５０を形成する
ために第１電極１０，１０との間に設けられた複数の弾
性体スペーサ４０，４０・・とを備えている。

【００２４】なお、図面はいずれも上下方向の寸法を誇
張したものになっており、実際の厚さは例えば第１電極
１０で３ｍｍ以下、剛性体スペーサ２０で３ｍｍ以下と
いうように非常に薄く設計されている。

【００２５】上下一対の第１電極１０，１０は、ヒート
シンクを兼ねる低圧電極である。各第１電極１０は、ス
テンレス鋼板等からなる２枚の導電板１５，１５を接合
して板間に冷媒流通路を形成した薄板状の導電性剛体で
ある。

【００２６】第１電極１０の一方の側部には、冷媒とし
ての冷却水を冷媒流通路に供給するための冷媒供給孔１
１と、その冷却水を上記流通路から取り出すための冷媒
排出孔１２とが、２枚の導電板１５，１５を板厚方向に
貫通して設けられている。また、当該セルモジュールで
発生したオゾンガスを取り出すために、第１電極１０に
は、両側一対のガス排出孔１３，１３と、ガス排出孔１
３，１３を繋ぐスリット状のガス流通路１４とが、２枚
の導電板１５，１５を板厚方向に貫通して設けられてい
る。第１電極１０の両側部に設けられている複数の小さ
な丸孔は、ボルトの通し孔である。

【００２７】第１電極１０を構成する２枚の導電板１
５，１５の両方の対向面には、図３に示すように、ガス
排出孔１３，１３及びガス流通路１４を包囲するように
Ｕ字状の浅く広い溝が形成されている。両方の対向面に
形成されたこの溝は合体して、導電板１５，１５間に冷
媒流通路１６を形成する。浅く広いこの溝は、例えばエ
ッチング、プレス等により簡単に形成される。

【００２８】冷媒流通路１６の一端部は冷媒供給孔１１
に接続され、他端部は冷媒排出孔１２に接続されてい
る。冷媒流通路１６には、流通方向に延びる複数のリブ
１７，１７・・が、流通方向に直角な方向に所定の間隔
で設けられている。リブ１７，１７・・は冷却水の均一
な流れと、第１電極１０の剛性確保に寄与する。

【００２９】両側一対の剛性体スペーサ２０，２０は、
ステンレス鋼板等の導電性板材からなる板状の導電性剛
体で、第１電極１０，１０間の両側部に介在することに
より、この間に、スペーサ厚に等しいギャップ量Ｇ′の
空間を形成する。また、第１電極１０，１０の電気的な
接続部材として機能する。

【００３０】一方の剛性体スペーサ２０には、第１電極
１０の冷媒供給孔１１及び冷媒排出孔１２にそれぞれ連
通する冷媒供給孔２１及び冷媒排出孔２２が、板厚方向
に貫通して設けられている。両方の剛性体スペーサ２
０，２０の各内側縁部には、第１電極１０のガス排出孔
１３に連通する切り込み状のガス排出孔２３が、板厚方
向に貫通して設けられている。またボルトの通し孔も第
１電極１０と同様に設けられている。剛性体スペーサ２
０におけるボルトの通し孔は、ボルトの外径より十分に
大きい内径とされている。これにより両側の剛性体スペ
ーサ２０，２０の間隔が調節される。

【００３１】上下一対の第１電極１０，１０と両側一対
の剛性体スペーサ２０，２０で囲まれた空間に配置され
る誘電体ユニット３０は、誘電体としての上下一対のガ
ラス板３１，３１の間に第２電極３２を挟んだサンドイ
ッチ構造の薄板状剛性体である。誘電体ユニット３０の
厚みＴは、上記空間のギャップ量Ｇ′より僅かに小さ
く、より具体的には放電空隙５０，５０の各ギャップ量
をＧとして、Ｇ′−２Ｇとされる。この厚みＴを調整す
るために、ガラス板３１，３１の間には導電性薄板がシ
ムとして適当枚数挿入される。この厚み調整により、任
意の放電ギャップ量Ｇが正確に得られる。放電ギャップ
量Ｇの調整には、剛性体スペーサ２０に導電性薄板をシ
ムとして適当枚数重ねるのも有効である。

【００３２】第２電極３２は高圧電極で、ステンレス鋼
板等の導電性薄板からなり、その一部は端子部３２′と
してガラス板３１，３１の間から外部へ導出されてい
る。第２電極３２の横幅はガラス板３１，３１の横幅よ
り狭く、第２電極３２の両側には剛性体スペーサ２０，
２０との間の絶縁のために絶縁体３３，３３が設けられ
ている。

【００３３】誘電体ユニット３０の両面側に放電空隙５
０，５０を形成するために第１電極１０，１０との間に
設けられる弾性体スペーサ４０，４０・・は、耐オゾン
性及び弾力性を有する、断面が円形の細い樹脂線材であ
り、放電空隙５０の幅方向（ガス流通方向に直角な方
向）に所定の間隔で配置されている。各弾性体スペーサ
４０の厚み（線材の外径Ｄ）は、圧縮のない状態で放電
空隙５０，５０の各ギャップ量Ｇより５〜５０％程度大
きく設定されている。

【００３４】この設定により、弾性体スペーサ４０，４
０・・は第１電極１０と誘電体ユニット３０により上下
から圧縮され、この圧縮により、誘電体ユニット３０は
上下から均等な圧力で弾性的に押圧され、上記空間内の
上下方向中央部に保持される。その結果、誘電体ユニッ
ト３０の両面側には、均等なギャップ量Ｇの放電空隙５
０，５０が形成される。

【００３５】なお、各放電空隙５０の両側部には、弾性
体スペーサ及びシール部材を兼ねて弾性体からなるテー
プ状の絶縁部材４１，４１が設けられている。

【００３６】次に、本実施形態に係る放電セルの組立方
法、使用方法及び機能について説明する。

【００３７】放電セルの組立では、図示されない上下の
エンドプレート間に複数枚の第１電極１０，１０・・
が、各間に剛性体スペーサ２０，２０、誘電体ユニット
３０及び弾性体スペーサ４０，４０・・を挟んで重ね合
わされ、両側部が図示されない複数本のボルトにより重
合方向に締め付けられる。

【００３８】これにより、各セルモジュールでは、誘電
体ユニット３０の両面側に放電空隙５０，５０が形成さ
れる。ここで、上下の第１電極１０，１０、両側の剛性
体スペーサ２０，２０及び誘電体ユニット３０は圧縮を
生じない剛性体であり、一方、弾性体スペーサ４０，４
０・・は圧縮を生じるので、各放電空隙５０のギャップ
量Ｇは（Ｇ′−Ｔ）／２の一定値となる。従って、０．
２ｍｍ以下というような微小のギャップ量Ｇも安定的に
実現される。

【００３９】また、締め付けは、剛性体スペーサ２０，
２０が配置されている両側部に行われ、放電セル全体を
均等に加圧する必要がないので、締め付け機構が簡略化
される。更に、締め付けによる弾性体スペーサ４０，４
０・・の破損も誘電体ユニット３０内のガラス板３１，
３１の破損も生じない。

【００４０】組立を終えた放電セルは、各セルモジュー
ルの放電空隙５０，５０内に前後から原料ガスを導入す
るために、図示されないタンク内に収容される。

【００４１】その放電セルでは、第１電極１０の冷媒供
給孔１１と剛性体スペーサ２０の冷媒供給孔２１が合体
することにより、積層方向に連続する縦向きの冷媒供給
路が形成される。また、第１電極１０の冷媒排出孔１２
と剛性体スペーサ２０の冷媒排出孔２２が合体すること
により、積層方向に連続する縦向きの冷媒排出路が形成
される。更に、第１電極１０のガス排出孔１３，１３と
剛性体２０，２０のガス排出孔２３，２３が合体するこ
とにより、積層方向に連続する両側一対の縦向きガス排
出路が形成される。

【００４２】これらの縦向きの冷媒供給路、冷媒排出路
及びガス流通路は、上段のエンドプレートに設けられた
開口部及び各開口部に接続された管によりタンク外に連
通している。一方、下段のエンドプレートは、これらの
路を閉じる蓋板として機能する。

【００４３】オゾンを発生させるときは、放電セルを収
容するタンク内に原料ガスを供給する。また、冷媒導入
路に冷却水を供給する。この状態で、各セルモジュール
の誘電体ユニット３０に設けられた第２電極３２に高電
圧を印加し、放電空隙５０，５０で無声放電を発生させ
る。

【００４４】タンク内に供給された原料ガスは、各セル
モジュール内の上下の放電空隙５０，５０に前後から流
入し、前後方向の中央部に向かって流れる過程で放電に
晒されてオゾンガスとなる。放電空隙５０，５０で発生
したオゾンガスは、上下の第１電極１０，１０に設けら
れたガス流通路１４，１４を通って両側のガス排出孔１
３，１３に至り、放電セルの両側部に形成された両側一
対の縦向きのガス排出路を通って放電セルの上方に取り
出され、更にタンク外に取り出される。

【００４５】縦向きの冷媒供給路に供給された冷却水
は、各セルモジュールの上下の第１電極１０，１０に設
けられた冷媒供給孔１１，１１から冷媒流通路１６に入
り、放電空隙５０，５０を低圧電極側から水冷する。第
１電極１０，１０の冷媒排出孔１２，１２から出た冷却
水は、放電セルの一方の側部に形成された縦向きの冷媒
排出路を通って放電セルの上方に取り出され、更にタン
ク外に取り出される。

【００４６】ここで、放電空隙５０でのガス流れついて
説明する。従来、放電空隙５０でのガス流れは、放電空
隙５０の前方から後方に向かう一方通行であった。この
場合、オゾンガスを取り出すためには、放電セルの積層
方向に直角な後面にヘッダを取り付ける必要がある。し
かし、放電セルの積層方向に直角な後面は、積層された
各部材の端面が現れるため平坦ではない。このため、ヘ
ッダと端面間のシールが難しくなる。

【００４７】これに対し、本実施形態に係る放電セルで
は、第１電極１０の放電空隙５０に接する部分に、放電
空隙５０でのガス流通方向中央部に位置してガス流通路
１４が設けられ、第１電極１０の剛性体スペーサ２０，
２０に接する部分に、ガス流通路１４に繋がるガス排出
孔１３，１３が設けられいる。また、剛性体スペーサ２
０，２０には、ガス排出孔１３，１３に対応してガス排
出孔２３，２３が設けられている。

【００４８】その結果、原料ガスは放電空隙５０の前方
及び後方の両方から流入する。両方の流入ガスは放電空
隙５０でオゾン化され、放電空隙５０の中央部で第１電
極１０のガス流通路１４に入り、両側のガス導出孔１
３，１３から積層方向に流れて放電セルの外に取り出さ
れる。このため、オゾンガスの取り出しは、第１電極１
０の表面、或いはエンドプレートの表面から２本の管に
より行われる。これらの表面は放電セルの後面と異なり
平坦で、シールが容易であり、ヘッダも不要になる。ま
た、冷却水の供給・排出方向とオゾンガスの取り出し方
向が同じになるため、配管構造が簡単になり、装置の小
型化が図られる。

【００４９】図４は本発明の別の実施形態に係るオゾン
発生装置用放電セルに使用されたモジュールの分解斜視
図、図５は同モジュールに使用された第１電極の分解斜
視図である。

【００５０】本実施形態に係るオゾン発生装置用放電セ
ルは、上述のオゾン発生装置用放電セルと比べて、各モ
ジュールにおける第１電極１０，１０の構造及び剛性体
スペーサ２０，２０の構造が相違する。以下、これらの
構造を説明するが、他の構造は実質的に同一であるの
で、同一部分については同一番号を付して説明を省略す
る。

【００５１】各第１電極１０の一方の側部には、冷媒と
しての冷却水を冷媒流通路に供給するための冷媒供給孔
１１と、冷却水の一部を一時的に蓄えるための冷媒貯留
孔１８とが、２枚の導電板１５，１５を板厚方向に貫通
して設けられており、他方の側部には、冷却水の一部を
一時的に蓄えるための冷媒貯留孔１８と、冷却水を上記
流通路から取り出すための冷媒排水孔１２とが、２枚の
導電板１５，１５を板厚方向に貫通して設けられてい
る。

【００５２】また、当該セルモジュールで発生したオゾ
ンガスを取り出すために、第１電極１０には、ガス流通
路１４から独立した両側の一対のガス排出孔１３，１３
と、スリット状のガス流通路１４とが、２枚の導電板１
５，１５を板厚方向に貫通して設けられている。ガス排
出孔１３，１３は、ここではガス流通路１４から独立
し、後述する絞り部のみを介してガス流通路１４と繋が
っている。

【００５３】第１電極１０を構成する２枚の導電板１
５，１５の両方の対向面には、冷媒供給孔１１、冷媒貯
留孔１８、冷媒排水孔１２及び冷媒貯留孔１８を順番に
接続するように浅く広い溝が形成されると共に、ガス流
通路１４と両側のガス排出孔１３，１３を接続するよう
に浅く狭い溝が形成されている。両方の対向面に形成さ
れた前者の溝は合体して、導電板１５，１５間に環状の
冷媒流通路１６を形成し、後者の溝は、ガス流通路１４
と両側のガス排出孔１３，１３との間に絞り部１９，１
９を形成する。

【００５４】一方の剛性体スペーサ２０には、第１電極
１０の冷媒供給孔１１及び冷媒貯留孔１８にそれぞれ連
通する冷媒供給孔２１及び冷媒排出孔２８が、板厚方向
に貫通して設けられており、他方の剛性体スペーサ２０
には、第１電極１０の冷媒貯留孔１８及び冷媒排出孔１
２にそれぞれ連通する冷媒貯留孔２８及び冷媒排出孔２
２が、板厚方向に貫通して設けられている。

【００５５】本実施形態に係る放電セルでは、第１電極
１０の冷媒供給孔１１と剛性体スペーサ２０の冷媒供給
孔２１が合体することにより、積層方向に連続する縦向
きの冷媒供給路が形成され、第１電極１０の冷媒排出孔
１２と剛性体スペーサ２０の冷媒排出孔２２が合体する
ことにより、積層方向に連続する縦向きの冷媒排出路が
形成される。また、第１電極１０の冷媒貯留孔１８，１
８と剛性体２０，２０の冷媒貯留孔２８，２８が合体す
ることにより、積層方向に連続する両側一対の縦向きの
冷媒貯留路が形成される。更に、第１電極１０のガス排
出孔１３，１３と剛性体２０，２０のガス排出孔２３，
２３が合体することにより、積層方向に連続する両側一
対の縦向きガス排出路が形成される。

【００５６】縦向きの冷媒供給路、冷媒排出路及びガス
流通路は、上段のエンドプレートに設けられた開口部及
び各開口部に接続された管によりタンク外に連通してい
る。一方、下段のエンドプレートは、これらの路を閉じ
る蓋板として機能する。両側一対の縦向きの冷媒貯留路
は上下のエンドプレートにより両端が閉塞される。

【００５７】オゾンを発生させるときは、放電セルを収
容するタンク内に原料ガスを供給する。また、冷媒導入
路に冷却水を供給する。この状態で、各セルモジュール
の誘電体ユニット３０に設けられた第２電極３２に高電
圧を印加し、放電空隙５０，５０で無声放電を発生させ
る。

【００５８】タンク内に供給された原料ガスは、各セル
モジュール内の各放電空隙５０に前後から流入し、前後
方向の中央部に向かって流れる過程で放電に晒されてオ
ゾンガスとなる。各放電空隙５０で発生したオゾンガス
は、各第１電極１０に設けられたガス流通路１４から、
両側の絞り部１９，１９を経てガス排出孔１３，１３に
至り、放電セルの両側部に形成された両側一対の縦向き
のガス排出路を通って放電セルの上方に取り出され、更
にタンク外に取り出される。

【００５９】ここで、絞り部１９，１９は、ガス流通路
１４から流入するオゾンガスの流速を上げ、適当な流通
圧損をもたせてガス排出路へ流出させることにより、各
モジュールに流れるガス流量を均一化させる効果があ
る。

【００６０】縦向きの冷媒供給路に供給された冷却水
は、各セルモジュールの各第１電極１０に設けられた冷
媒供給孔１１から一部が冷媒流通路１６に直接入り、冷
媒貯留孔１８を経由して冷媒排出孔１２に至り、残りが
冷媒貯留孔１８を経て冷媒流通路１６に入り、冷媒排出
孔１２に至る。これにより、各放電空隙５０が低圧電極
側から水冷される。各第１電極１０の冷媒排出孔１２か
ら出た冷却水は、放電セルの他方の側部に形成された縦
向きの冷媒排出路を通って放電セルの上方に取り出さ
れ、更にタンク外に取り出される。

【００６１】上述の実施形態では、ガス流通路を上下の
第１電極１０，１０に設けたが、図６に示すように、第
１電極１０，１０間に放電空隙を介して配置される誘電
体ユニット３０に設けることもできる。図６では、誘電
体ユニット３０を前後に分け、その前部３０′と後部３
０″の間に隙間をあけることによりガス流通路３４を形
成する。各放電空隙５０で発生したオゾンガスは、ガス
流通路３４から両側の剛性体スペーサ２０，２０に設け
られたガス排出孔２４，２４に至る。

【００６２】

【発明の効果】以上に述べたとおり、本発明のオゾン発
生装置用放電セルは、相対向する２方向から放電空隙内
に供給された原料ガスをオゾン化して、そのガス流に対
して直角方向へ排出することにより、並行流的なガス流
通を行うにもかかわらず、オゾンガスを放電セルの前後
面から取り出す必要がなくなるので、その取り出し機構
を簡略化でき、装置の小型化及びその製作コストの低減
を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係るプレート型オゾン発生
装置用放電セルの正面図である。

【図２】同放電セルに使用されたセルモジュールの分解
斜視図である。

【図３】同セルモジュールに使用された第１電極の分解
斜視図である。

【図４】本発明の別の実施形態に係るプレート型オゾン
発生装置用放電セルのセルモジュールの分解斜視図であ
る。

【図５】同セルモジュールに使用された第１電極の分解
斜視図である。

【図６】本発明の更に別の実施形態に係るプレート型オ
ゾン発生装置用放電セルのセルモジュールの平面図であ
る。

【図７】従来のプレート型オゾン発生装置用放電セルの
模式構成図である。

【符号の説明】

１０ 第１電極（低圧電極） １１ 冷媒導入孔 １２ 冷媒導出孔 １３ ガス導出孔 １４ ガス導出路 １５ 導電板 １６ 冷媒流通路 １７ リブ １８ 冷媒貯留孔 １９ 絞り部 ２０ 剛性体スペーサ ２１ 冷媒導入孔 ２２ 冷媒導出孔 ３０ 誘電体ユニット ３１ ガラス板（誘電体） ３２ 第２電極（高圧電極） ４０ 弾性体スペーサ ５０ 放電空隙

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菊池 辰男 兵庫県尼崎市扶桑町１番10号 住友精密工 業株式会社内 (72)発明者 寺島 裕二 兵庫県尼崎市扶桑町１番10号 住友精密工 業株式会社内 (72)発明者 曽谷 典世 兵庫県尼崎市扶桑町１番10号 住友精密工 業株式会社内 (72)発明者 吉村 昌也 兵庫県尼崎市扶桑町１番10号 住友精密工 業株式会社内 Ｆターム(参考） 4G042 CA01 CC02 CC05 CC06 CC11 CC12 CC16

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向配置された一対の電極間に、少なく
   とも一方の電極側に放電空隙が形成されるように誘電体
   を配置すると共に、相対向する２方向から電極及び誘電
   体の表面に沿って前記放電空隙内に供給される原料ガス
   に対し、オゾンガスを前記放電空隙内のガス流通方向中
   間部から、そのガス流通方向に直角な方向へ排出するガ
   ス排出系統を構成したことを特徴とするオゾン発生装置
   用放電セル。
2. 【請求項２】 前記ガス排出系統は、オゾンガスを放電
   空隙内のガス流通方向中間部から放電空隙の側方へ排出
   することを特徴とする請求項１に記載のオゾン発生装置
   用放電セル。
3. 【請求項３】 前記放電空隙内のガス流通方向中間部に
   おいて、オゾンガスを放電空隙の側方へ排出するべく、
   原料ガス流通方向とほぼ直角な方向へオゾンガスを導く
   ガス流通路を電極及び／又は誘電体に設けたことを特徴
   とする請求項２に記載のオゾン発生装置用放電セル。
4. 【請求項４】 放電空隙の側方へ排出したオゾンガスを
   放電空隙の厚み方向へ排出するように構成したことを特
   徴とする請求項２又は３に記載のオゾン発生装置用放電
   セル。
5. 【請求項５】 一対の電極の少なくとも一方は冷却器を
   兼ね、冷媒を電極の表面に沿って原料ガス流通方向とほ
   ぼ直角な方向へ流通させる冷媒流通路を有することを特
   徴とする請求項１、２、３又は４に記載のオゾン発生装
   置用放電セル。
6. 【請求項６】 冷媒流通路は、その端部で冷媒を放電空
   隙の厚み方向へ流通させる構成である請求項５に記載の
   オゾン発生装置用放電セル。
7. 【請求項７】 対向配置された一対の第１電極と、一対
   の第１電極の間に空間を形成するべくその間の両側部に
   配置された両側一対のスペーサと、一対の第１電極との
   間に放電空隙を形成するべく前記空間内に配置され、一
   対の誘電体の間に第２電極を挟んで構成された誘電体ユ
   ニットとを備えており、第１電極及び／又は誘電体ユニ
   ットは、放電空隙の前後方向中間部に、オゾンガスを放
   電空隙の側方へ導くために原料ガス流通方向とほぼ直角
   な方向に延びるスリット状又は溝状のガス流通路を有す
   ることを特徴とするオゾン発生装置用放電セル。
8. 【請求項８】 ガス流通路は、端部で、前記スペーサに
   形成された厚み方向のガス排出孔と接続されることを特
   徴とする請求項７に記載のオゾン発生装置用放電セル。
9. 【請求項９】 第１電極は、原料ガス流通方向とほぼ直
   角な方向に延びるスリット状又は溝状のガス流通路を有
   し、且つ、内部に原料ガス流通方向とほぼ直角な方向に
   延びる冷媒流通路を有することを特徴とする請求項７又
   は８に記載のオゾン発生装置用放電セル。
10. 【請求項１０】 第１電極に設けられたガス流通路は、
    各端部で、前記スペーサに形成された厚み方向のガス排
    出孔に接続され、冷媒流通路は、各端部で、前記スペー
    サに形成された厚み方向の冷媒供給孔及び冷媒排出孔に
    接続されることを特徴とする請求項９に記載のオゾン発
    生装置用放電セル。
11. 【請求項１１】 冷媒流通路は、接合された２枚の金属
    板の少なくとも一方の対向面にエッチング又はプレスに
    より形成されることを特徴とする請求項９又は１０に記
    載のオゾン発生装置用放電セル。