JP2000272928A - 破断方法および破断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ワークの閉曲線を描く刻線より内側の部分を外側の部分
から確実に分離できるようにする。 【課題】 【解決手段】 シリンダ１０の小径孔部１２ｂに小径ピ
ストン２２（ピストンの小径部）を摺動自在に挿入す
る。この小径ピストン２２の下端（先端）に衝撃部材２
５を設ける。シリンダ１０の下端部の当接板１２にワー
ク１を吸着保持した後、小径ピストン２２を一気に下降
させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、板ガラス等の脆
性材料からなるワークの面に閉曲線を描く刻線を形成し
た後、この刻線に沿って破断することにより、ワークの
刻線の内側部分を外側部分から分離する方法および装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】本願出願人は、閉曲線を描く刻線が形成
された板ガラス等のワークを上記刻線に沿って破断する
ことにより、刻線の内側部分と外側部分とを分離する装
置を先に出願した（特願平９−３０４９５２）。この装
置は、ワークの外側部分を挟持するとともに、ワークの
内側部分に対峙する穴を有する一対の挟持部材（保持手
段）と、この一対の挟持部材の一方に設けられその内部
容積が可変である容積変更器（圧力可変手段）とを備え
ている。容積変更器の内部空間は、上記一方の挟持部材
の穴を介してワークの一方の面と対峙し、他方の挟持部
材の穴は大気に開放されている。容積変更器の内部容積
を急激に減少させると、ワークに衝撃的なエア圧が付与
され、ワークが刻線に沿って破断される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記の先願に係る装置
では、ワークが内側部分と外側部分とに破断されはする
ものの、その破断面の摩擦抵抗によって内側部分を外側
部分から離すことができない場合があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、第１の発明は、閉曲線を描く刻線が形成された板
状ワークを、上記刻線に沿って破断する方法において、
上記ワークの刻線より内側の部分に圧力を与えると同時
に、またはその後、上記内側部分に、別途、衝撃部材を
衝突させ、上記ワークの刻線より外側の部分から上記内
側部分を分離することを特徴とする。

【０００５】第２の発明は、閉曲線を描く刻線が形成さ
れた板状ワークを、上記刻線に沿って破断する方法にお
いて、上記ワークの刻線より内側の部分の一方の面に、
この面に接する流体の圧力上昇による押圧力を付与する
と同時に衝撃部材を衝突させ、上記ワークの刻線より外
側の部分から上記内側部分を分離することを特徴とする
破断方法。

【０００６】第３の発明は、閉曲線を描く刻線が形成さ
れた板状ワークを、上記刻線に沿って破断する方法にお
いて、上記ワークの刻線より内側の部分の一方の面に、
この面に接する流体の圧力降下による吸引力を付与し、
次に、上記内側部分の一方の面に、上記流体の圧力上昇
による押圧力を付与すると同時に衝撃部材を衝突させ、
上記ワークの刻線より外側の部分から上記内側部分を分
離することを特徴とする。

【０００７】第４の発明は、閉曲線を描く刻線が形成さ
れた板状ワークを、上記刻線に沿って破断することによ
り、刻線より内側の部分を外側の部分から分離する装置
において、上記ワークの外側部分を全周にわたって保持
する保持手段と、上記ワークの内側部分の一方の面に接
する流体の圧力を変更可能な圧力可変手段と、上記ワー
クに直交する方向に移動可能に設けられた衝撃部材とを
備え、上記圧力可変手段が、上記流体の圧力を上昇させ
ると同時に、上記衝撃部材が、上記内側部分の一方の面
に衝突することを特徴とする。

【０００８】第５の発明は、第４の発明において、上記
圧力可変手段が、上記内側部分の一方の面に当てがわれ
る当接面、およびこの当接面と直交する方向に延び、当
接面に開口するシリンダ孔を有するシリンダと、上記シ
リンダ孔に摺動自在に挿入されたピストンと、このピス
トンを摺動させる駆動機構とを有し、上記ピストンにお
ける上記ワークを向く先端面に、上記衝撃部材が突出し
て設けられていることを特徴とする。

【０００９】第６の発明は、第５の発明において、上記
シリンダ孔が、先端部が上記当接面に開口する小径孔部
と、この小径孔部の基端部に連なり、小径孔部より大径
をなす大径孔部とを有し、上記ピストンが、上記小径孔
部に摺動自在に挿入され、先端面に上記衝撃部材が設け
られた小径部と、この小径部の基端部に連なり、上記大
径孔部に摺動自在に挿入された大径部とを有し、上記駆
動機構が、上記大径孔部における上記大径部より基端側
の部分にエア圧を供給する前進用エア圧供給手段と、上
記大径孔部における上記大径部より先端側の部分にエア
圧を供給する後退用エア圧供給手段とを有していること
を特徴とする。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１実施形態を、
図面を参照して説明する。はじめに、破断の対象となる
ワークについて説明しておく。図４に示すように、四角
形の板ガラスからなるワーク１の上面（一方の面）に
は、円（閉曲線）を描く刻線１ａと、この刻線１ａと同
心で刻線１ａより大径の円を描く刻線１ｂとが形成され
ている。ワーク１において内側の刻線１ａより内側の部
分２は、本発明の破断装置および破断方法によって分離
除去される。外側の刻線１ｂより外側の部分３は、本発
明とは別の装置で所定の一箇所３ａが叩かれることによ
って、分離除去される。残された刻線１ａ，１ｂの間の
環状をなす部分４が、コンピュータ等における記憶ディ
スクの基板となる。

【００１１】図５に示すように、刻線１ａ，１ｂはスク
ライブ装置５によって形成される。スクライブ装置５
は、先端に例えばダイヤモンド薄膜からなる硬質皮膜が
形成されたカッタ６と、このカッタ６を保持するホルダ
７と、このホルダ７に超音波振動を付与するアクチュエ
ータ（図示せず）とを有している。カッタ６の先端をワ
ーク１の上面に押しつけた状態で、超音波振動を付与し
ながら移動させることにより、刻線１ａ，１ｂを形成す
る。刻線１ａ，１ｂは、ワーク１の下面に向かって延び
るクラックを有している。このクラックは、ほぼ垂直
で、下方に向かうにしたがって僅かに拡径するテーパ状
をなしている。

【００１２】破断装置について説明する。図１に示すよ
うに、破断装置は、軸線を鉛直に向けたシリンダ１０
と、このシリンダ１０に収容されたピストン２０とを備
えている。シリンダ１０は、移動機構９０に接続されて
おり、この移動機構９０によって上記スクライブ装置５
による刻線１ａ，１ｂのスクライブ場所、上記他の装置
による外側部分３の分離場所、および内側部分２の分離
場所の間を移動自在になっている。

【００１３】シリンダ１０は、本体部材１１と当接板１
２とを備えている。本体部材１１は、軸線に沿って延び
る大径孔部１１ａを有し、筒状をなしている。本体部材
１１の下面の外径は、ワーク１の外側の刻線１ｂの直径
より僅かに小さい（図４参照）。本体部材１１の下面に
は凹部１１ｂが形成されており、この凹部１１ｂに当接
板１２が嵌め込まれ、ボルト（図示せず）で固定されて
いる。

【００１４】当接板１２は、軸線に沿って上方に突出す
る円筒部１２ａを有しており、この円筒部１２ａが大径
孔部１１ａの内部に挿入されている。円筒部１２ａの内
部空間が、小径孔部１２ｂとなっている。小径孔部１２
ｂの上端部（基端部）は大径孔部１１ａに連なり、下端
部（先端部）は当接板１２の下面（当接面）に開口され
ている。小径孔部１２ｂの内径は、上記ワーク１の内側
の刻線１ａの直径より小さい（図４参照）。

【００１５】上記ピストン２０は、大径孔部１１ａに摺
動自在に挿入された大径ピストン２１（大径部）と、小
径孔部１２ｂに摺動自在に挿入された小径ピストン２２
（小径部）とを有している。これら大径ピストン２１と
小径ピストン２２とは、小径ピストン２２の上端部（基
端部）に設けられたボルト２３と、このボルト２３にね
じ込まれたナット２４とによって連結固定されている。
小径ピストン２２の下端面（先端面）の中央には、衝撃
部材２５が突出して設けられている。衝撃部材２５の尖
った下端（先端）には、例えばダイヤモンド薄膜からな
る硬質皮膜が形成されている。

【００１６】大径ピストン２１によって、大径孔部１１
ａが上側（基端側）の前進用エア圧室１１ｃと下側（先
端側）の後退用エア圧室１１ｄとに仕切られている。前
進用エア圧室１１ｃは、エア圧通路３３および共用エア
圧通路３１を介してエア圧源３０に接続されている。共
用エア圧通路３１とエア圧通路３３との間には、電磁切
換弁３２が設けられている。

【００１７】本体部材１１には、後退用エア圧室１１ｄ
の内周面から外周面に延びる横孔１１ｅが形成されてい
る。横孔１１ｅは、エア圧通路３４、電磁切換弁３２、
および共用エア圧通路３１を介してエア圧源３０に接続
されている。

【００１８】図１に示すように、電磁切換弁３２のソレ
ノイドがオフのときは、エア圧通路３３が大気に開放さ
れる一方、エア圧通路３４がエア圧源３０に連通され
る。これによって、前進用エア圧室１１ｃが大気に開放
される一方、後退用エア圧室１１ｄにエア圧が供給され
る。このエア圧によって、ピストン２０が、図示しない
ストッパに突き当たるまで押し上げられ、最大後退位置
に達する。図２に示すように、電磁切換弁３２のソレノ
イドがオンのときは、エア圧通路３３がエア圧源３０に
連通される一方、エア圧通路３４が大気に開放される。
これによって、後退用エア圧室１１ｄが大気に開放され
る一方、前進用エア圧室１１ｃにエア圧が供給される。
このエア圧によって、ピストン２０が当接板１２に突き
当たるまで押し下げられ、最大前進位置に達する。ピス
トン２０が最大前進位置のとき、衝撃部材２５の先端
は、当接板１２の下面より若干下に突出している。

【００１９】シリンダ１０は、特許請求の範囲の「保持
手段」としても提供されている。詳述すると、本体部材
１１の凹部１１ｂの上面と当接板１２の上面との間に
は、環状をなす空間１０ａが形成されている。この環状
空間１０ａの外周縁より外側の本体部材１１と当接板１
２との間と、内周縁より内側の本体部材１１と当接板１
２との間とには、それぞれＯリング１３，１４が設けら
れている。これによって、環状空間１０ａの外周縁と内
周縁とが気密にシールされている。

【００２０】当接板１２には、上記環状空間１０ａから
下面に延びる縦孔１２ｃが形成されている。図４に示す
ように、縦孔１２ｃは、周方向および径方向に離れて複
数配置されている。何れの縦孔１２ｃについても、それ
からシリンダ１０の軸線までの距離が、上記ワーク１の
内側の刻線１ａの半径より大きく、外側の刻線１ｂの半
径より小さい範囲内に配置されている。

【００２１】図１に示すように、本体部材１１には、上
記環状空間１０ａから延びる接続孔１１ｆが形成されて
いる。接続孔１１ｆは、吸引通路４２を介し真空ポンプ
４０に接続されている。吸引通路４２には、電磁切換弁
４１が設けられている。電磁切換弁４１のソレノイドが
オフのときは、吸引通路４２を介して接続孔１１ｆ、環
状空間１０ａ、および縦孔１２ｃの内部が大気に開放さ
れる。電磁切換弁４１のソレノイドがオンのときは、真
空ポンプ４０によって、接続孔１１ｆ、環状空間１０
ａ、および縦孔１２ｃの内部が負圧にされる。真空ポン
プ４０、電磁切換弁４１、吸引通路４２、並びにシリン
ダ１０の接続孔１１ｆ、環状空間１０ａ、および縦孔１
２ｃによって、特許請求の範囲の「保持手段」が構成さ
れている。

【００２２】上記のように構成された破断装置による破
断方法について説明する。図１に示すように、予め電磁
切換弁３２をオフし、ピストン２０を最大後退位置にし
ておく。次に、シリンダ１０を移動機構９０によって上
記スクライブ場所まで移動させ、刻線１ａ，１ｂが形成
されたワーク１に当てがう。このとき、シリンダ１０の
軸線をワーク１の中心に合わせる。これによって、小径
孔部１２ｂの下端部がワーク１の内側部分２によって塞
がれる。また、縦孔１２ｃの下端部がワーク１の環状部
分４によって塞がれる。

【００２３】次に、真空ポンプ４０を駆動するととも
に、電磁切換弁４１をオンする。これによって、縦孔１
２ｃ内の空気が真空吸引され、ワーク１が当接板１２に
吸着保持される。

【００２４】この吸着保持されたワーク１を移動手段９
０によって上昇させ、上記外側部分分離場所に搬送し、
外側部分３を分離した後、さらに、上記内側部分分離場
所に搬送する。（なお、外側部分３の分離は、内側部分
２の分離後に行ってもよい。）

【００２５】内側部分分離場所には、バケット（図示せ
ず）が設けられている。ワーク１はこのバケットの上に
離れて位置決めされる。したがって、ワーク１の下面は
大気に接している。

【００２６】ワーク１の位置決め後、図２に示すよう
に、電磁切換弁３２をオンする。これによって、ワーク
１の内側部分２が環状部分４から瞬間的に分離される。
詳述すると、電磁切換弁３２のオンによる前進用エア圧
室１１ｃへのエア圧導入によって、ピストン２０が一気
に下降する。これによって、小径孔部１２ｂ内のエア
（気体）が一気に圧縮されて急激な圧力上昇が生じ、衝
撃的な押圧力がワーク１の内側部分２の上面に付与され
る。しかも、このエアによる押圧力付与とほぼ同時に、
衝撃部材２５がワーク１の中心に極めて高速で衝突す
る。これによって、刻線１ａの全周にわたって均一に非
常に強い応力集中が発生し、刻線１ａのクラックがワー
ク１の下面に瞬間的に到達するとともに、ワーク１の中
心が衝撃部材２５によって下に突き動かされる。この結
果、ワーク１が、内側部分２と環状部分４とに破断され
ると同時に、内側部分２が環状部分４より下に突き出さ
れ分離される。そして、内側部分２は上記バケット内に
落下収容される。図４において仮想線２ａで示すよう
に、この落下された内側部分２は、衝撃部材２５の衝突
によって中心から放射状に破砕されている。

【００２７】上記小径ピストン２２が下降する際、その
下面には小径孔部１２ｂ内のエア圧によって下降を阻止
しようとする抵抗力が作用する。しかし、この小径ピス
トン２２の下面より大きな受圧面積を有する大径ピスト
ン２１の上面に、エア圧源３０からのエア圧が作用して
いるので、小径ピストン２２は、上記抵抗力によって減
速されることなく、一気に最大前進位置まで押し下げら
れる。したがって、ワーク１に付与されるエア圧の衝撃
や衝撃部材２５の衝突速度が減少させられることはな
い。

【００２８】内側部分２の分離後、電磁切換弁４１をオ
フして、当接板１２の縦孔１２ｃを大気に開放すること
により、環状部分４をシリンダ１０から取り外す。この
環状部分４の内周縁、すなわち破断面は、極めて綺麗で
あり、その後研磨する必要がない。上記のように、急激
なエア圧上昇による衝撃と衝撃部材２５の衝突によって
瞬間的に破断したものだからであり、内側部分２の放射
状の破砕が環状部分２に波及することもないからであ
る。また、刻線１ａから延びるクラックが下方に向かう
にしたがって僅かに拡径するテーパ状をなしているの
で、内側部分２が下に突き出される時に、環状部分４の
内周縁が欠けることがないからである。

【００２９】次に、本発明の第２実施形態について説明
する。図３に示すように、この実施形態では、エア圧源
３０とエア圧通路３３，３４との間に設けられた電磁切
換弁３２Ａが、第１、第２のオフセット位置３２ａ，３
２ｂとニュートラル位置３２ｃとを有している。第１の
オフセット位置３２ａでは、エア圧通路３３がエア圧源
３０に連通される一方、エア圧通路３４が大気に開放さ
れる。第２のオフセット位置３２ｂでは、エア圧通路３
４がエア圧源３０に連通される一方、エア圧通路３３が
大気に開放される。ニュートラル位置３２ｃでは、いず
れのエア圧通路３３，３４も大気に開放される。

【００３０】この電磁切換弁３２Ａをニュートラル位置
３２ｃにした状態で、シリンダ１０の当接板１２をスク
ライブ場所に置かれたワーク１の上面に当てがう。これ
によって、衝撃部材２５、ひいてはピストン２０が、ワ
ーク１によって、最大前進位置での衝撃部材２５の当接
板１２からの突出分だけ突き上げられる。

【００３１】次に、真空ポンプ４０によってワーク１を
当接板１２に吸着保持する。そして、内側部分分離場所
において電磁切換弁３２Ａを第２のオフセット位置３２
ｂに切り換える。これによって、エア圧源３０のエア圧
が後退用エア圧室１１ｄに供給され、ピストン２０が最
大後退位置まで一気に上昇する。これによって、小径孔
部１２ｂ内のエアが一気に膨張して急激な圧力降下が生
じ、衝撃的な吸引力がワーク１の内側部分２の上面に付
与される。この結果、刻線１ａの全周にわたって均一に
応力集中が発生し、刻線１ａのクラックがワーク１の下
面に向かって成長する。

【００３２】ピストン２０が最大後退位置に達した直
後、電磁切換弁３２Ａを第１のオフセット位置２１ａに
切り換える。これによって、エア圧源３０のエア圧が前
進用エア圧室１１ｃに供給され、ピストン２０が一気に
最大前進位置まで下降する。これによって、ワーク１の
内側部分２の上面に、衝撃部材２５が極めて高速で衝突
するとともに、小径孔部１２ｂ内のエアの急激な圧力上
昇による衝撃的な押圧力が付与される。これによって、
内側部分２が環状部分４から破断分離される。以上のよ
うに、この実施形態では、予め急激なエア圧降下による
衝撃によってクラックを成長させておくので、ワーク１
が厚い場合でも、刻線１ａのクラックをワーク１の下面
に確実に到達させることができ、内側部分２を確実に破
断分離することができる。

【００３３】本発明は、上記実施の形態に限定されず、
種々の形態を採用可能である。例えば、ワーク１に圧力
を与える流体は、エアなどの気体（圧縮性流体）のほ
か、水などの液体（非圧縮性流体）でもよい。流体圧付
与に代えて、内側部分２に弾性樹脂（ゴム）などの押圧
部材を当てがい、この押圧部材によって内側部分２をワ
ーク１に直交する向きに押すことにしてもよい。また
は、内側部分２に弾性樹脂（ゴム）などの引張り部材を
接着し、この引張り部材をワーク１に直交し、しかもワ
ーク１から離れる向きに引っ張ってもよい。若しくは、
引張り部材の接着に代えて、その先端部に吸盤（吸着
部）を設け、この吸盤を内側部分２に吸着させてもよ
い。上記押圧部材または引張り部材は、刻線１ａの全周
にわたって均一に応力集中を起こさせるようにするのが
望ましい。内側部分２の下面（他方の面）を引くと同時
に上面（一方の面）に衝撃部材２５を衝突させてもよ
い。内側部分２の上面を引き、又は下面を押すと同時に
上面に衝撃部材２５を衝突させてもよい。刻線は、ワー
ク１の下面（他方の面）に形成してもよい。その場合に
おいて、衝撃部材２５をワーク１の上から衝突させると
きは、刻線に含まれるクラックは、上面に向かうにした
がって僅かに縮径するテーパ状にするのが望ましい。保
持手段は、ワーク１の環状部分４を上下から挟持するよ
うになっていてもよい。圧力可変手段は、一定量の気体
の容積を変更する方式の他、容積一定の容器内に気体を
圧縮注入し、または上記容器内から気体を真空吸引する
方式であってもよい。衝撃部材は、発射手段から発射さ
れる弾丸（飛行体）でもよい。駆動機構は、ピストンを
ハンマー等の打撃手段で叩いて前進させ、コイルばね等
の付勢手段で後退させるように構成してもよい。エア圧
源３０を後退用エア圧室１１ｄにのみ連通可能とし、ピ
ストン２０を上昇させた後自重で落下させるようにして
もよい。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、第１、第２の発明
は、ワークの内側部分を外側部分から破断すると同時に
突き出すことができ、確実に分離することができる。第
３の発明は、刻線のクラックを成長させておくことによ
って、内側部分を外側部分から一層確実に破断し、分離
することができる。第４の発明は、ワークに対して流体
の急激な圧力上昇による衝撃付与と衝撃部材の衝突とを
同時に行うことによって、ワークの内側部分を外側部分
から破断すると同時に突き出すことができ、確実に分離
することができる。第５の発明は、ワークに対する流体
の急激な圧力上昇による衝撃付与と衝撃部材の衝突とを
確実に同時に行うことができる。第６の発明は、ピスト
ンを小径孔部内の流体の圧縮抵抗に拘わらず一気に前進
させることができる。したがって、ワークに流体圧縮に
よる極めて大きな衝撃を付与するとともに、衝撃部材を
極めて高速で衝突させることができ、ひいては、きれい
な破断面を形成することができ、破断後の研磨が不要に
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る破断装置を、ワー
クを吸着保持した時の状態で示す正面断面図である。

【図２】上記破断装置を、ワークの内側部分を分離する
時の状態で示す正面断面図である。

【図３】本発明の第２実施形態に係る破断装置を、ワー
クの上面に当てがった時の状態で示す正面断面図であ
る。

【図４】刻線が形成されたワークを、仮想線で示すシリ
ンダに吸着保持させた状態で示す平面図である。

【図５】刻線を形成するためのスクライブ装置の正面断
面図である。

【符号の説明】

１ ワーク １ａ 刻線 ２ 内側部分 １０ シリンダ １１ａ 大径孔部 １２ｂ 小径孔部 ２０ ピストン ２１ 大径ピストン（大径部） ２２ 小径ピストン（小径部） ２５ 衝撃部材 ３０ エア圧源（前進用エア圧供給手段、後退用エア圧
供給手段）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】閉曲線を描く刻線が形成された板状ワーク
   を、上記刻線に沿って破断する方法において、 上記ワークの刻線より内側の部分に圧力を与えると同時
   に、またはその後、上記内側部分に、別途、衝撃部材を
   衝突させ、上記ワークの刻線より外側の部分から上記内
   側部分を分離することを特徴とする破断方法。
2. 【請求項２】閉曲線を描く刻線が形成された板状ワーク
   を、上記刻線に沿って破断する方法において、 上記ワークの刻線より内側の部分の一方の面に、この面
   に接する流体の圧力上昇による押圧力を付与すると同時
   に衝撃部材を衝突させ、上記ワークの刻線より外側の部
   分から上記内側部分を分離することを特徴とする破断方
   法。
3. 【請求項３】閉曲線を描く刻線が形成された板状ワーク
   を、上記刻線に沿って破断する方法において、 上記ワークの刻線より内側の部分の一方の面に、この面
   に接する流体の圧力降下による吸引力を付与し、次に、
   上記内側部分の一方の面に、上記流体の圧力上昇による
   押圧力を付与すると同時に衝撃部材を衝突させ、上記ワ
   ークの刻線より外側の部分から上記内側部分を分離する
   ことを特徴とする破断方法。
4. 【請求項４】閉曲線を描く刻線が形成された板状ワーク
   を、上記刻線に沿って破断することにより、刻線より内
   側の部分を外側の部分から分離する装置において、 上記ワークの外側部分を全周にわたって保持する保持手
   段と、 上記ワークの内側部分の一方の面に接する流体の圧力を
   変更可能な圧力可変手段と、 上記ワークに直交する方向に移動可能に設けられた衝撃
   部材とを備え、 上記圧力可変手段が、上記流体の圧力を上昇させると同
   時に、上記衝撃部材が、上記内側部分の一方の面に衝突
   することを特徴とする破断装置。
5. 【請求項５】上記圧力可変手段が、上記内側部分の一方
   の面に当てがわれる当接面、およびこの当接面と直交す
   る方向に延び、当接面に開口するシリンダ孔を有するシ
   リンダと、上記シリンダ孔に摺動自在に挿入されたピス
   トンと、このピストンを摺動させる駆動機構とを有し、 上記ピストンにおける上記ワークを向く先端面に、上記
   衝撃部材が突出して設けられていることを特徴とする請
   求項４に記載の破断装置。
6. 【請求項６】上記シリンダ孔が、先端部が上記当接面に
   開口する小径孔部と、この小径孔部の基端部に連なり、
   小径孔部より大径をなす大径孔部とを有し、 上記ピストンが、上記小径孔部に摺動自在に挿入され、
   先端面に上記衝撃部材が設けられた小径部と、この小径
   部の基端部に連なり、上記大径孔部に摺動自在に挿入さ
   れた大径部とを有し、 上記駆動機構が、上記大径孔部における上記大径部より
   基端側の部分にエア圧を供給する前進用エア圧供給手段
   と、上記大径孔部における上記大径部より先端側の部分
   にエア圧を供給する後退用エア圧供給手段とを有してい
   ることを特徴とする請求項５に記載の破断装置。