JP2000272788A - フィルム給送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 給送するフィルムの先端部を巻き取りローラ
に容易に装着でき、ローラの交換作業等の自動化を容易
に行う。 【解決手段】 巻き取りローラ２４のローラコアは、コ
ア本体１００と止め具２００より構成される。コア本体
１００は、フィルム１２を巻回する外周部に嵌合溝条部
１１０を有する。止め具２００は、嵌合溝条部１１０に
フィルム１２を介して嵌合装着される。止め具２００に
は、一対の第１ガイドローラ２２０が揺動可能に設けら
れ、嵌合溝条部１１０には、第２ガイドローラ１２０の
間に挿入される第１ガイドローラ２２０が設けられてい
る。止め具２００にはカッタ部材２５０を有し、嵌合溝
条部１１０側には、カッタ溝１５０が形成されている。
止め具２００を嵌合溝条部１１０に圧入することで、フ
ィルム１２の皺を防止しながら装着と切断を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、繰り出しローラか
ら繰り出したフィルムをガイド機構部を経て給送し、前
記フィルムに所定の処理を施した後、巻き取りローラに
よって巻き取るフィルム給送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、フィルムに真空成膜を行う成
膜装置においては、真空槽に配置したフィルム給送装置
によって繰り出しローラに巻回されたフィルムを順次繰
り出してメインローラに巻回給送し、このメインロール
の周囲に配置したイオンソースからフィルムの表面にイ
オンを供給して成膜を行う。そして、成膜後のフィルム
を巻き取りローラによって巻き取るようになっている。
このような成膜装置では、成膜作業を行う準備として、
繰り出しローラから繰り出したフィルムを走行系に通し
て最終的に巻き取りローラに装着するが、この作業は、
従来手作業によって行っていた。

【０００３】例えば図１４（Ａ）に示すように、巻き取
りローラのコア２に予めアルコール、水、石鹸水、糊等
の液体を塗り、その上にフィルム４を置き、所定の位置
でカッタ６等を用いてフィルム４のみを切る。そして、
図１４（Ｂ）に示すように、フィルム４に皺が出ないよ
うにして、手作業によって横方向、斜め方向にフィルム
４を撫でて内部の空気や液体を押し出し、その後、巻き
取りローラを回転させて巻き取りを開始する。そして、
数回巻いたところで、フィルムの装着作業を終了する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような従来のフィルム装着作業は、人手で行うため、作
業者の熟練を要するという問題があった。また、上述の
ようにフィルム装着作業が微妙な作業者の感覚を必要と
するものであるため、繰り出しローラと巻き取りローラ
の交換作業を自動化することが困難であり、これを実現
するためには、極めて高度な技術が必要となる。そし
て、このような自動化が困難であるため、繰り出しロー
ラと巻き取りローラの交換作業を真空中で行うことが困
難である。

【０００５】また、仮に上述のような作業を自動化で
き、真空槽内で行うことが可能となった場合でも、真空
槽の排気や塵芥等の問題から、上述したアルコール等の
液体を予めコアに塗って真空槽内に配置することは困難
である。また、上述のようなフィルムの巻き取りローラ
への装着を両面テープを用いた場合には、両面テープの
上にフィルムが巻き付き、寝押しによって両面テープの
形状がフィルムに転写されてしまう問題がある。

【０００６】そこで本発明の目的は、給送するフィルム
の先端部を巻き取りローラに容易に装着でき、ローラの
交換作業等の自動化を容易に行うことができるフィルム
給送装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するため、繰り出しローラから繰り出したフィルムをガ
イド機構部を経て給送し、前記フィルムに所定の処理を
施した後、巻き取りローラによって巻き取るフィルム給
送装置において、前記巻き取りローラは、フィルムを保
持して巻き取るローラコアを有し、前記ローラコアは、
前記フィルムを巻回する外周部に前記巻き取りローラの
軸方向に直線状に形成された嵌合溝条部を有するコア本
体と、前記コア本体の嵌合溝条部にフィルムを介して嵌
合装着されるとともに、前記嵌合溝条部との間でフィル
ムを挟み込んで係止する止め具とを有し、前記止め具
は、前記嵌合溝条部を閉蓋して前記コア本体の外周部を
構成する蓋部を有するとともに、前記蓋部の内側には、
前記止め具の嵌合操作によって前記フィルムをその幅方
向に平坦な面で前記嵌合溝条部内に押し込むことによ
り、前記フィルムの幅方向に均一な張力を付与し、前記
フィルムを幅方向に平坦にガイドする第１ガイド部材が
設けられ、さらに前記止め具をフィルムを介して嵌合溝
条部に嵌合装着した場合に、前記フィルムの先端部側に
位置するコア本体と止め具との対向部に、前記止め具の
嵌合操作によって前記フィルムの先端部を切断する切断
機構が設けられていることを特徴とする。

【０００８】本発明のフィルム給送装置において、巻き
取りローラのローラコアは、コア本体の嵌合溝条部に止
め具を装着することにより、コア本体の外周部と止め具
の蓋部の外周部で、フィルムを巻き取るのに有効な円形
の外周面を形成できる。また、フィルムを介して止め具
をコア本体の嵌合溝条部内に押圧挿入することにより、
フィルムが止め具の第１ガイド部材によって幅方向に均
一な張力を付与され、皺のない状態で嵌合溝条部に押し
込まれ、止め具がコア本体の嵌合溝条部に完全に嵌合す
るることにより、止め具と嵌合溝条部との間にフィルム
が挟み込まれ、係止される。また、このような止め具を
嵌合溝条部に装着する作業により、フィルムの先端部側
に位置するコア本体と止め具との対向部に設けた切断機
構により、フィルムの先端部が切断される。

【０００９】以上のような簡単な動作により、巻き取り
ローラにフィルムの先端部を適正に装着でき、また、同
時に不要なフィルムの先端部を除去できる。したがっ
て、このような動作を自動化することも容易であり、例
えば本フィルム給送装置を真空成膜装置で用いる場合
に、真空槽内で巻き取りローラへのフィルムの装着や巻
き取りローラの交換を行うことも可能となる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明によるフィルム給送
装置の実施の形態について説明する。図１は、本発明に
よるフィルム給送装置に設けられる巻き取りローラのロ
ーラコアを第１の例を示す分解斜視図であり、図２は、
図１に示すローラコアのコア本体と止め具との嵌合構造
を拡大して示す要部断面図である。また、図３〜図６
は、図１に示すローラコアのコア本体と止め具との嵌合
装着時の動作を示す要部断面図である。また、図７は、
本例のフィルム給送装置を設けた真空成膜装置の構造例
を示す概略構成図である。まず、本例のフィルム給送装
置を説明する前に、図７に示す真空成膜装置について説
明する。

【００１１】図７に示すように、この真空成膜装置で
は、真空槽１０に配置したフィルム給送装置によって給
送される例えば合成樹脂製のフィルム１２に対し、スパ
ッタ、蒸着、ＣＶＤ、イオンプレーディング、エッチン
グ等の成膜作業を行うものである。フィルム給送装置
は、フィルム１２を送り出す繰り出しローラ２０と、こ
の繰り出されたフィルム１２を巻回して成膜作業を行う
ためのメインローラ２２と、メインローラ２２から給送
される成膜後のフィルム１２を巻き取る巻き取りローラ
２４と、繰り出しローラ２０とメインローラ２２との間
及びメインローラ２２と巻き取りローラ２４との間でフ
ィルム１２を給送ガイドする複数のガイドローラ２６を
含むガイド機構部とを有して構成されている。メインロ
ーラ２２の周囲には、複数のイオンソース１４が設けら
れ、メインローラ２２に巻回されて給送されるフィルム
１２の表面にイオンを供給して成膜を行う。また、真空
槽１０には排気ポンプ１８が設けられ、真空槽１０内を
真空に制御して成膜作業を行う。

【００１２】次に、本例のフィルム給送装置に設けられ
る巻き取りローラの構成について図１、図２に基づいて
説明する。本例の巻き取りローラ２４において、フィル
ム１２を保持して巻き取るローラコアは、コア本体１０
０と止め具２００より構成されている。コア本体１００
は、金属または合成樹脂等による円筒状に形成されてお
り、フィルム１２を巻回する外周部に、巻き取りローラ
の軸方向に全長にわたって直線状に形成された嵌合溝条
部１１０を有する。

【００１３】一方、止め具２００は、コア本体１００の
嵌合溝条部１１０にフィルム１２を介して嵌合装着さ
れ、嵌合溝条部１１０との間でフィルム１２を挟み込ん
で係止する。止め具２００は、嵌合溝条部１１０を閉蓋
してコア本体１００の外周部を構成する蓋部２１０を有
する。この蓋部２１０は、金属または合成樹脂等により
形成され、嵌合溝条部１１０に装着されることで、コア
本体１００の外周面と一体の外周面を構成するものであ
る。また、蓋部２１０の内側には、止め具２００の嵌合
操作によってフィルム１２を幅方向に平坦な面で嵌合溝
条部１１０内に押し込む第１ガイド部材としての一対の
第１ガイドローラ２２０と、これら第１ガイドローラ２
２０を回転自在に支持する第１支持部材としての支持ロ
ッド２３０が設けられている。

【００１４】各第１ガイドローラ２２０は、ゴム、合成
樹脂、または金属等よりなり、巻き取りローラの軸方向
に沿って軸を有する円柱状に形成されている。また、各
第１支持ロッド２３０は、それぞれ先端に第１ガイドロ
ーラ２２０が回転自在に軸着されており、止め具２００
を嵌合溝条部１１０に装着する際に、フィルムを嵌合溝
条部１１０の奥部に押し込むように第１ガイドローラ２
２０を支持するものである。また、各支持ロッド２３０
の基端部は、一対の第１ガイドローラ２２０の間隔が拡
縮する方向に蓋部２１０の内側部に揺動自在に軸支され
ている。また、一対の第１支持ロッド２３０の基端部の
間には、引っ張りコイルバネ（バネ手段）２４０が張架
されており、各第１ガイドローラ２２０の間隔が開いた
場合に、各第１ガイドローラ２２０同士を近づける方向
に第１支持ロッド２３０を付勢している。

【００１５】一方、コア本体１００の嵌合溝条部１１０
の内部には、第２ガイド部材である第２ガイドローラ１
２０と、この第２ガイドローラ１２０を支持する第２支
持部材としての支持ロッド１３０が設けられている。第
２ガイドローラ１２０は、ゴム、合成樹脂、または金属
等よりなり、巻き取りローラの軸方向に沿って軸を有す
る円柱状に形成されている。また、支持ロッド１３０
は、嵌合溝条部１１０の奥壁面に立設されており、先端
部に第２ガイドローラ１２０を例えば固定状態または回
転自在に支持したものであり、嵌合溝条部１１０の中央
部に第２ガイドローラ１２０を配置するよう支持してい
る。第２ガイドローラ１２０は、止め具２００を嵌合溝
条部１１０に嵌合装着する際に、上述した第１ガイドロ
ーラ２２０の間に挿入され、第１ガイドローラ２２０の
間に張架されたフィルム１２を各第１ガイドローラ２２
０の間に押し込んむことにより、フィルム１２にさらな
る張力を付与するものである。

【００１６】止め具２００を嵌合溝条部１１０に嵌合装
着する際に、第１ガイドローラ２２０が第２ガイドロー
ラ１２０の外周部にフィルム１２を介して圧接して回転
変位し、第２ガイドローラ１２０の外周部に沿って嵌合
溝条部１１０の奥部に配置される。さらに止め具２００
の蓋部２１０には、フィルム１２の先端部を切断するカ
ッタ部材２５０が設けられている。このカッタ部材２５
０は、金属、合成樹脂、またはセラミックス等から形成
され、巻き取りローラの軸方向に沿って直線線状に形成
されたものである。また、このカッタ部材２５０は、蓋
部２１０の内壁であって、フィルム１２の先端部に対応
する側の縁部近傍位置に、嵌合溝条部１１０側に向けて
突設されている。

【００１７】一方、嵌合溝条部１１０には、蓋部２１０
のカッタ部材２５０に対向して段部１４０が形成されて
おり、この段部１４０にカッタ部材２５０の先端が挿入
されるカッタ溝１５０が形成されている。すなわち、本
例では、蓋部２１０の内壁と段部１４０によって構成さ
れる対向部の一方にカッタ部材２５０を設け、他方にカ
ッタ溝１５０を設けたものである。なお、本例では、止
め具２００側にカッタ部材２５０を設け、嵌合溝条部１
１０側にカッタ溝１５０を設けたが、フィルム１２を切
断する切断機構としては、この反対に止め具２００側に
カッタ溝を設け、嵌合溝条部１１０側にカッタ部材を設
けてもよい。

【００１８】次に、図３〜図６に基づいて、本例におけ
るコア本体１００と止め具２００の装着動作について説
明する。まず、図３に示すように、コア本体１００の嵌
合溝条部１１０を覆うような状態で、コア本体１００の
外周部にフィルム１２を配置する。次に、止め具２００
をコア本体１００の嵌合溝条部１１０に挿入する。ま
ず、図４に示すように、各第１ガイドローラ２２０によ
ってフィルム１２が嵌合溝条部１１０内に押し込まれ
る。ここで、フィルム１２は、２つの第１ガイドローラ
２２０によって幅方向に均一な張力を受け、弛み等が除
去される。

【００１９】そして、各第１ガイドローラ２２０が第２
ガイドローラ１２０に到達すると、図５に示すように、
各第１ガイドローラ２２０が第２ガイドローラ１２０の
外周に沿って拡開するとともに、各第１ガイドローラ２
２０の間に第２ガイドローラ１２０が進入する。これに
より各第１ガイドローラ２２０の間に張架されているフ
ィルム１２は、第２ガイドローラ１２０に押圧されて、
さらに幅方向に均一な張力が付与され、弛み等が除去さ
れる。したがって、このような止め具２００の装着動作
によってフィルム１２が各ローラ１２０、２２０の幅方
向に真直な面によってガイドされ、弛み等が除去され、
皺のない状態で、コア本体１００の外周面に密着した状
態で配置される。

【００２０】次に、止め具２００をさらに押し込むこと
で、図６に示すように、各第１ガイドローラ２２０が嵌
合溝条部１１０の最奥部に配置され、各第１ガイドロー
ラ２２０及び支持ロッド２３０によって第２ガイドロー
ラ１２０を抱き込むような状態に配置される。これと同
時に、カッタ部材２５０がカッタ溝１５０に進入し、こ
の部分でフィルム１２が切断される。なお、図５に示す
段階で、フィルム１２は、段部１４０に斜めに張架され
た状態となり、図６に示す段階で、その中間部にカッタ
部材２５０が当たって切断される。このようにして、フ
ィルム１２を止め具２００と嵌合溝条部１１０との間に
挟着保持し、かつ、フィルム１２の端部を所定位置で切
断できる。

【００２１】この後、切断されたフィルム１２の先端側
の部分１２Ａを嵌合溝条部１１０と止め具２００との間
から抜き取り、巻き取りローラを所定回数回転して、ロ
ーラコアの外周にフィルム１２を巻き付けることによ
り、装着作業を完了する。また、止め具２００を外す時
には、装着時と逆の動作で止め具２００を引くことによ
り、簡単に止め具２００をコア本体１００の嵌合溝条部
１１０より離脱でき、残ったフィルム１２を取り外すこ
とができる。以上のように、本例では、コア本体１００
の嵌合溝条部１１０に止め具２００を押し込むという作
業だけで、フィルム１２を皺のない状態で容易に巻き取
りローラに装着することができる。

【００２２】次に、以上のような巻き取りローラの変形
例について説明する。なお、以下の説明において、上述
した例と共通の構成については、同一の符号を付して説
明は省略する。図８は、巻き取りローラの第１の変形例
を示す要部断面図である。この例では、コア本体１００
の嵌合溝条部１１０と止め具２００において、フィルム
１２の入口側（フィルム１２の先端側と反対側）を、互
いに円弧面１１０Ａ及び２００Ａとしたものである。こ
の円弧面１１０Ａ及び２００Ａによってフィルム１２を
滑らかに嵌合溝条部１１０と止め具２００との挟着部に
導くことができ、装着時のフィルム１２のダメージを軽
減できるとともに、フィルム１２の皺をさらに有効に除
去することが可能となる。

【００２３】図９は、巻き取りローラの第２の変形例を
示す要部断面図である。この例では、第１、第２ガイド
部材として、上述したローラ１２０、２２０及び支持ロ
ッド１３０、２３０の代わりに、一定の弾性を有するガ
イド体１６０、２６０を設けたものである。コア本体１
００側のガイド体１６０は、嵌合溝条部１１０の中央部
に設けられており、先端側に円形断面を有するガイド部
１６０Ａを有し、その基端側にガイド部１６０Ａより細
径のネック部１６０Ｂを設けたものである。ガイド部１
６０Ａ及びネック部１６０Ｂは、巻き取りローラの軸方
向に等しい断面を有するものであり、コア本体１００と
一体に形成され、例えば、金属や合成樹脂による弾性を
有するものである。

【００２４】一方、止め具２００側のガイド体２６０
は、蓋部２１０の内側に２つ設けられており、それぞれ
先端側に円形断面を有するガイド部２６０Ａを有し、そ
の基端側にガイド部２６０Ａより細径のネック部２６０
Ｂを設けたものである。ガイド部２６０Ａ及びネック部
２６０Ｂは、巻き取りローラの軸方向に等しい断面を有
するものであり、蓋部２１０と一体に形成され、例え
ば、金属や合成樹脂による弾性を有するものである。こ
のような構成においても、止め具２００をコア本体１０
０の嵌合溝条部１１０に押し込むことにより、各ガイド
部１６０Ａ、２６０Ａによってフィルム１２の皺を伸ば
しながら簡単に係止でき、また、上記例と同様の切断機
構によってフィルム１２の先端部を適正に切断できる。

【００２５】図１０は、巻き取りローラの第３の変形例
を示す要部断面図である。この例では、コア本体１００
の嵌合溝条部１１０側の第２ガイドローラ１２０及び支
持ロッド１３０を削除し、嵌合溝条部１１０の内壁面に
止め具２００側の各第１ガイドローラ２２０をそれぞれ
ガイドするガイド面１７０を形成したものである。一
方、止め具１００は、各第１ガイドローラ２２０の支持
ロッド２３０を付勢する引っ張りコイルバネ２４０の代
わりに圧縮コイルバネ２７０を設け、各第１ガイドロー
ラ２２０を外側に付勢して、嵌合溝条部１１０の各ガイ
ド面１７０に圧接するようにしたものである。このよう
な構成においても、止め具２００をコア本体１００の嵌
合溝条部１１０に押し込むことにより、各ガイド面１７
０と第１ガイドローラ２２０によってフィルム１２の皺
を伸ばしながら簡単に係止でき、また、上記例と同様の
切断機構によってフィルム１２の先端部を適正に切断で
きる。

【００２６】図１１は、巻き取りローラの第４の変形例
を示す要部断面図である。この例では、止め具１００側
のガイド部材としてブロック状のガイド体２８０を蓋部
２１０に一体形成したものである。ガイド体２８０は、
先端側に台形状の断面を有するガイド部２８０Ａを有す
るとともに、基端側に細径のネック部２８０Ｂを有する
ものである。ガイド部２８０Ａ及びネック部２８０Ｂ
は、巻き取りローラの軸方向に等しい断面を有するもの
であり、蓋部２１０と一体に形成され、例えば、金属や
合成樹脂による弾性を有するものである。一方、コア本
体１００の嵌合溝条部１１０は、止め具１００側のガイ
ド体２８０の断面形状を有するものである。

【００２７】このような構造において、止め具１００の
ガイド部２８０Ａを嵌合溝条部１１０に圧入することに
より、ガイド部２８０Ａの両側の爪部２８２と嵌合溝条
部１１０の内壁に形成された爪部１８２とが弾性的に変
形して互いに係合し、止め具１００が嵌合溝条部１１０
に固定される。ガイド部２８０Ａの先端面は、そのコー
ナ部がフィルム１２をガイドする滑らかな曲面状に形成
され、フィルム１２の皺を伸ばしながら、フィルム１２
を嵌合溝条部１１０内に押し込んで固着する。また、上
記例と同様の切断機構によってフィルム１２の先端部を
適正に切断できる。また、止め具１００を取り外す場合
には、巻き取りローラの軸方向に止め具１００をスライ
ドさせることにより、取り外すことができる。

【００２８】次に、以上のような巻き取りローラを有す
るフィルム給送装置の応用例について説明する。図１
２、図１３は、この応用例によるフィルム給送装置を設
けた真空成膜装置の構造例を示す概略構成図である。な
お、図７に示す構成と共通の要素については同一符号を
付して説明は省略する。本例のフィルム給送装置におい
ては、真空槽１０内に２つの繰り出しローラ２０Ａ、２
０Ｂと、２つの巻き取りローラ２４Ａ、２４Ｂを設置
し、繰り出しローラ２０Ａ、２０Ｂ及び巻き取りローラ
２４Ａ、２４Ｂの交換を自動的に行うようにしたもので
ある。

【００２９】まず、フィルムの繰り出し側では、２つの
繰り出しローラ２０Ａ、２０Ｂは、真空槽１０内に配置
された取付け部材３０に支持され、フィルム１２の走行
方向に沿って並列に設けられ、各繰り出しローラ２０
Ａ、２０Ｂを順番に選択してフィルムの繰り出すように
なっている。また、真空槽１０内には、繰り出しローラ
２０Ａ、２０Ｂからフィルム１２を順番に引き出してガ
イドローラ２６等によるガイド機構部に供給する図示し
ない自動繰り出し機構が設けられている。

【００３０】この自動繰り出し機構は、例えば、図１２
に示すように、繰り出し方向の前方に配置される繰り出
しローラ２０Ａのフィルム１２を先に繰り出していき、
このフィルム１２が終端部に近づいた段階で、繰り出し
方向の後方に配置される繰り出しローラ２０Ｂのフィル
ム１２の先端部を引き出して前方の繰り出しローラ２０
Ａのフィルム１２の終端部に接着等により接合すること
で、図１３に示すように、後方の繰り出しローラ２０Ｂ
のフィルム１２を継続して供給できるようにするもので
ある。なお、前方の繰り出しローラ２０Ａよりフィルム
１２に後方の繰り出しローラ２０Ｂのフィルム１２を結
合した時点で、図示しない切断機構によって前方の繰り
出しローラ２０Ａよりフィルムを分離する。また、２つ
の繰り出しローラ２０Ａ、２０Ｂのフィルム１２の接合
部は、巻き取り側で適宜切断して除去するようにする。

【００３１】このような構成により、２つの繰り出しロ
ーラ２０Ａ、２０Ｂを真空槽１０内にセットするととも
に、予め前方の繰り出しローラ２０Ａのフィルムを通紙
作業（フィルム通し作業）によってガイド機構、メイン
ローラ２２を通して巻き取り側に装着した後、真空槽１
０内の排気等を行う。そして、前方の繰り出しローラ２
０Ａのフィルムを繰り出していき、この繰り出しローラ
２０Ａのフィルムが終端部に近づいた時点で、上述の自
動繰り出し機構によって、後方の繰り出しローラ２０Ｂ
のフィルムを繰り出しローラ２０Ａのフィルムにつなげ
ることにより、繰り出し作業を継続する。このようにし
て、一旦通紙作業を行った後は、複数の繰り出しローラ
２０Ａ、２０Ｂからフィルムを連続的に繰り出すことが
でき、途中で真空槽１０の真空状態を解除せずに、成膜
作業を行うことができる。

【００３２】また、フィルムの巻き取り側においても、
２つの巻き取りローラ２４Ａ、２４Ｂは、真空槽１０内
に配置された取付け部材３２に支持され、フィルム１２
の走行方向に沿って並列に設けられ、各巻き取りローラ
２４Ａ、２４Ｂを順番に選択してフィルムの巻き取りを
行うようになっている。そして、本例においては、２つ
の巻き取りローラ２４Ａ、２４Ｂのうち、後方に配置さ
れる巻き取りローラ２４Ａに、上述した通紙作業によっ
てフィルムを装着する。このフィルム装着作業は、真空
槽１０の排気前の段階で行うものであり、例えば手作業
によって上述したコア本体１００に止め具２００を装着
することにより行う。

【００３３】また、他方の巻き取りローラ２４Ｂに対し
ては、コア本体１００に止め具２００を装着する図示し
ない自動装着機構が設けられている。この自動装着機構
は、例えば図１２に示すように、真空槽１０内で巻き取
りローラ２４Ｂのコア本体１００を取付け部材３２によ
って位置決め保持するとともに、このコア本体１００の
嵌合溝条部１１０に対向して止め具２００を配置し、止
め具２００を嵌合溝条部１１０内に自動的に圧入する構
造のものである。図１２に示すように、コア本体１００
と止め具２００との間には、後方の巻き取りローラ２４
Ａに巻き取られるフィルム１２が張架された状態で配置
されている。

【００３４】したがって、後方の巻き取りローラ２４Ａ
の巻き取りが終了した後、図１３に示すように、前方の
巻き取りローラ２４Ｂの止め具２００をコア本体１００
の嵌合溝条部１１０に自動的に嵌合することにより、フ
ィルム１２の巻き取りローラ２４Ｂへの装着と切断を自
動的に行う。この切断動作によって、後方の巻き取りロ
ーラ２４Ａからフィルム１２を分離でき、前方の巻き取
りローラ２４Ｂによる巻き取り動作に切り換えることが
できる。

【００３５】このような構成により、２つの巻き取りロ
ーラ２４Ａ、２４Ｂを真空槽１０内にセットするととも
に、予め後方の巻き取りローラ２４Ａに繰り出し側から
通紙されたフィルム１２を装着し、前方の巻き取りロー
ラ２４Ｂのコア本体１００と止め具２００を自動装着機
構にセットした後、真空槽１０内の排気等を行う。そし
て、後方の巻き取りローラ２４Ａによってフィルムの巻
き取っていき、この巻き取りローラ２４Ａの巻き取りが
終了した時点で、上述の自動装着機構によって、前方の
巻き取りローラ２４Ｂのコア本体１００と止め具２００
を接合する。この動作により、後方の巻き取りローラ２
４Ａからフィルムを分離し、また、前方の巻き取りロー
ラ２４Ｂへのフィルムの装着を一括して完了する。この
ようにして、一旦通紙作業を行った後は、複数の巻き取
りローラ２４Ａ、２４Ｂによってフィルムを連続的に巻
き取ることができ、途中で真空槽１０の真空状態を解除
せずに、成膜作業を行うことができる。

【００３６】なお、以上のような成膜装置の構成におい
て、取付け部材３０、３２を軸３０Ａ、３２Ｂを中心に
回転する構成とし、取付け部材３０、３２を回転駆動し
て繰り出しローラ２０Ａ、２０Ｂを順番に繰り出し位置
に設置したり、巻き取りローラ２４Ａ、２４Ｂを順番に
巻き取り位置に設置するような構成とすることも可能で
ある。また、上述した自動繰り出し機構や自動装着機構
の具体的な構成としては、各種のものが想定でき、上記
の例に限定されないものである。また、真空槽１０内に
設置する繰り出しローラ及び巻き取りローラの数につい
ても、上記のように２つずつでなく、さらに多数の繰り
出しローラ及び巻き取りローラを設置する構成としても
よい。

【００３７】以上のような本例のフィルム給送装置で
は、巻き取りローラへのフィルムの装着及び切断を容易
に行うことができ、熟練を要しないことから、未熟練者
によっても作業が行え、また、作業効率を大幅に改善で
きる。さらに、自動化も容易で、確実な作業を行うこと
ができる。したがって、上述した真空成膜装置の真空槽
内で自動作業によってフィルムの巻き取りローラへの装
着を行うことも可能となるので、真空槽を開放すること
なく、連続作業によって複数の巻き取りローラによるフ
ィルム巻き取り動作を行うことができ、作業効率を大幅
に向上できる。

【００３８】また、上述した本例の繰り出しローラにつ
いても、真空槽を開放することなく複数の繰り出しロー
ラから連続的にフィルムを繰り出すことができ、作業効
率を大幅に向上できる。この結果、このフィルム給送装
置や成膜装置によって製造される製品のコストを大幅に
低減できる。なお、以上の説明では、本発明のフィルム
給送装置を真空成膜装置に適用した場合を中心に説明し
たが、本発明はこれに限定されるものではなく、各種の
フィルムを扱う装置のフィルム給送装置に広く適用し得
るものである。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように本発明のフィルム給
送装置では、巻き取りローラのローラコアを、嵌合溝条
部を有するコア本体と嵌合溝条部に装着される止め具と
で構成し、嵌合溝条部と止め具との間に、止め具の嵌合
操作によってフィルムの幅方向に均一な張力を付与して
平坦にガイドする第１ガイド部材を設けるとともに、止
め具の嵌合操作によってフィルムの先端部を切断する切
断機構を設けた。

【００４０】このため、止め具を嵌合溝条部に嵌合装着
する１つの動作により、フィルムの皺防止と巻き取りロ
ーラへの装着と切断を一括して行うことができ、従来の
ように熟練を要することなく、容易な作業で行うことが
でき、作業効率を大幅に向上することができる。したが
って、このような動作を自動化することも容易であり、
例えば本フィルム給送装置を真空成膜装置で用いる場合
に、真空槽内で巻き取りローラへのフィルムの装着や巻
き取りローラの交換を行うことも可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるフィルム給送装置に設けられる巻
き取りローラのローラコアを第１の例を示す分解斜視図
である。

【図２】図１に示すローラコアのコア本体と止め具との
嵌合構造を拡大して示す要部断面図である。

【図３】図１に示すローラコアのコア本体と止め具との
嵌合装着時の動作を示す要部断面図である。

【図４】図１に示すローラコアのコア本体と止め具との
嵌合装着時の動作を示す要部断面図である。

【図５】図１に示すローラコアのコア本体と止め具との
嵌合装着時の動作を示す要部断面図である。

【図６】図１に示すローラコアのコア本体と止め具との
嵌合装着時の動作を示す要部断面図である。

【図７】図１に示すローラコアを備えたフィルム給送装
置を設けた真空成膜装置の構造例を示す概略構成図であ
る。

【図８】本発明によるフィルム給送装置の巻き取りロー
ラの第１の変形例を示す要部断面図である。

【図９】本発明によるフィルム給送装置の巻き取りロー
ラの第２の変形例を示す要部断面図である。

【図１０】本発明によるフィルム給送装置の巻き取りロ
ーラの第３の変形例を示す要部断面図である。

【図１１】本発明によるフィルム給送装置の巻き取りロ
ーラの第４の変形例を示す要部断面図である。

【図１２】本発明の応用例によるフィルム給送装置を設
けた真空成膜装置の構造例を示す概略構成図である。

【図１３】図１２に示すフィルム給送装置で繰り出しロ
ーラと巻き取りローラの交換を行った状態を示す真空成
膜装置の概略構成図である。

【図１４】従来のフィルム給送装置における巻き取りロ
ーラへのフィルム装着作業を示す説明図である。

【符号の説明】

１０……真空槽、１２……フィルム、２０……繰り出し
ローラ、２２……メインローラ、２４……巻き取りロー
ラ、２６……ガイドローラ、１００……コア本体、１１
０……嵌合溝条部、１２０……第２ガイドローラ、１３
０……第２支持ロッド、１５０……カッタ溝、２００…
…止め具、２１０……蓋部、２２０……第１ガイドロー
ラ、２３０……第１支持ロッド、２４０……引っ張りコ
イルバネ、２５０……カッタ部材。

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 繰り出しローラから繰り出したフィルム
   をガイド機構部を経て給送し、前記フィルムに所定の処
   理を施した後、巻き取りローラによって巻き取るフィル
   ム給送装置において、 前記巻き取りローラは、フィルムを保持して巻き取るロ
   ーラコアを有し、 前記ローラコアは、前記フィルムを巻回する外周部に前
   記巻き取りローラの軸方向に直線状に形成された嵌合溝
   条部を有するコア本体と、前記コア本体の嵌合溝条部に
   フィルムを介して嵌合装着されるとともに、前記嵌合溝
   条部との間でフィルムを挟み込んで係止する止め具とを
   有し、 前記止め具は、前記嵌合溝条部を閉蓋して前記コア本体
   の外周部を構成する蓋部を有するとともに、前記蓋部の
   内側には、前記止め具の嵌合操作によって前記フィルム
   をその幅方向に平坦な面で前記嵌合溝条部内に押し込む
   ことにより、前記フィルムの幅方向に均一な張力を付与
   し、前記フィルムを幅方向に平坦にガイドする第１ガイ
   ド部材が設けられ、 さらに前記止め具をフィルムを介して嵌合溝条部に嵌合
   装着した場合に、前記フィルムの先端部側に位置するコ
   ア本体と止め具との対向部に、前記止め具の嵌合操作に
   よって前記フィルムの先端部を切断する切断機構が設け
   られている、 ことを特徴とするフィルム給送装置。
2. 【請求項２】 前記第１ガイド部材は、前記フィルムを
   押し込む面が、前記フィルムの巻き取り方向に角部をも
   たない滑らかな曲線状に形成されていることを特徴とす
   る請求項１記載のフィルム給送装置。
3. 【請求項３】 前記第１ガイド部材は、巻き取りローラ
   の軸方向に沿って軸を有する複数の第１ガイドローラ
   と、前記止め具を前記嵌合溝条部に嵌合装着する際に、
   前記フィルムを嵌合溝条部の奥部に押し込むように前記
   複数の第１ガイドローラを支持する第１支持部材を有す
   ることを特徴とする請求項１記載のフィルム給送装置。
4. 【請求項４】 前記嵌合溝条部の内部には、前記止め具
   を前記嵌合溝条部に嵌合装着する際に、前記複数の第１
   ガイドローラの間に挿入され、前記複数の第１ガイドロ
   ーラの間に張架されたフィルムを前記複数の第１ガイド
   ローラの間に押し込んむことにより、前記フィルムにさ
   らなる張力を付与する第２ガイド部材を有することを特
   徴とする請求項３記載のフィルム給送装置。
5. 【請求項５】 前記第２ガイド部材は、前記フィルムを
   押し込む面が、前記フィルムの巻き取り方向に角部をも
   たない滑らかな曲線状に形成されていることを特徴とす
   る請求項４記載のフィルム給送装置。
6. 【請求項６】 前記第２ガイド部材は、前記巻き取りロ
   ーラの軸方向に沿って軸を有し、前記複数の第１ガイド
   ローラの間に挿入される第２ガイドローラと、前記第２
   ガイドローラを支持する第２支持部材とを有することを
   特徴とする請求項４記載のフィルム給送装置。
7. 【請求項７】 前記第１支持部材は前記第１ガイドロー
   ラを回転自在に支持し、前記第２支持部材は前記第２ガ
   イドローラを固定状態または回転自在に支持することを
   特徴とする請求項６記載のフィルム給送装置。
8. 【請求項８】 前記複数の第１ガイドローラを支持した
   複数の第１支持部材は、それぞれ前記止め具に揺動可能
   に設けられるとともに、前記各第１ガイドローラが前記
   第２ガイド部材に圧接する方向に各第１支持部材を付勢
   するバネ手段を有することを特徴とする請求項４記載の
   フィルム給送装置。
9. 【請求項９】 前記止め具を前記嵌合溝条部に嵌合装着
   する際に、前記第１ガイドローラが前記第２ガイド部材
   の外周部にフィルムを介して圧接して変位し、前記第２
   ガイド部材の外周部に沿って前記嵌合溝条部の奥部に配
   置されるようにしたことを特徴とする請求項８記載のフ
   ィルム給送装置。
10. 【請求項１０】 前記切断機構は、前記コア本体と前記
    止め具の一方の対向部に設けたカッタ部材と、他方の対
    向部に設けたカッタ溝とからなることを特徴とする請求
    項１記載のフィルム給送装置。
11. 【請求項１１】 前記フィルム給送装置は、真空槽内で
    前記フィルムを前記繰り出しローラと巻き取りローラと
    の間に設置されたメインローラに巻回給送し、前記メイ
    ンロールの周囲に配置したイオンソースから前記フィル
    ムの表面にイオンを供給して成膜を行う真空成膜装置に
    設けられていることを特徴とする請求項１記載のフィル
    ム給送装置。
12. 【請求項１２】 前記真空槽内で、複数の前記繰り出し
    ローラを取付けた取付け部材を有し、前記複数の前記繰
    り出しローラを順次選択して前記フィルムを繰り出すこ
    とを特徴とする請求項１１記載のフィルム給送装置。
13. 【請求項１３】 前記真空槽内で、複数の前記巻き取り
    ローラを取付けた取付け部材を有し、前記複数の前記巻
    き取りローラを順次選択して前記フィルムの巻き取りを
    行うことを特徴とする請求項１１記載のフィルム給送装
    置。
14. 【請求項１４】 前記真空槽内で、前記繰り出しローラ
    からフィルムを引き出してガイド機構部に供給する自動
    繰り出し機構を有することを特徴とする請求項１１記載
    のフィルム給送装置。
15. 【請求項１５】 前記真空槽内で、前記巻き取りローラ
    のコア本体を位置決め保持するとともに、前記コア本体
    の嵌合溝条部に対向して止め具を配置し、コア本体と止
    め具との間にフィルムの先端部を張架した状態で、前記
    止め具を前記コア本体の嵌合溝条部に嵌合することによ
    り、前記フィルムの巻き取りローラへの装着と切断を行
    う自動装着機構を有することを特徴とする請求項１１記
    載のフィルム給送装置。