JP2000272135A - インクジェット記録ヘッド、該インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インクジェット記録ヘッドの生産性を向上さ
せる。 【解決手段】 インクジェット記録ヘッドの液流路７
は、それぞれ流路幅の異なる第１のストレート部２１及
び第２のストレート部２２を有する。第１のストレート
部２１を切断し、オリフィス面９を形成することで、第
１のストレート部２１の流路幅からなる開口面積の吐出
口２０が形成される。一方、第２のストレート部２２を
切断し、オリフィス面９を形成することで、第１のスト
レート部２１よりも開口面積の大きい吐出口２０が形成
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微細な吐出口であ
るオリフィスからインクを吐出し、記録紙等、被記録材
に記録を行なうインクジェット記録ヘッド、該インクジ
ェット記録の製造方法及びインクジェット記録装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録技術は、安価にフル
カラーの記録を可能にする技術として特に注目されてい
る技術であり、印字を高速化するための多ノズル化、高
精細化のための小液滴化の要望は強い。特に近年はオフ
ィスプリンタのカラー化も進み、様々な大きさの液滴を
吐出させるインクジェット記録ヘッド、インクジェット
記録装置が普及している。

【０００３】微細な吐出口であるオリフィスから記録液
であるインクを小液滴として吐出し記録紙等に記録を行
なうインクジェット記録装置のインクジェット記録ヘッ
ドは、一般的に、ヒータボードと呼ばれる吐出エネルギ
発生素子を有する基板と、インクの流路であるノズルや
液室を形成するノズル層（液流路形成層）を積層した積
層構造を有する。

【０００４】ノズル層の製作には、まず、ガラスや金属
等の板材の表面に切削やエッチング等によって液流路等
を溝加工し、この溝加工を施した板材を上述の基板に位
置合わせしたうえで貼り合わせる方法や、あるいは、基
板上に公知のリソグラフィ等によって液流路や液室の形
状を有するレジストパターンを設け、これを覆うように
樹脂層を塗布し、次いでレジストパターンを溶出させる
ことによって液流路等を形成する方法等があるが、前者
のガラスや金属の板材を溝加工する方法は切削によって
液流路の内壁が荒れたり、エッチング率がばらついて液
流路の流路抵抗が不均一になる傾向があり、製品の歩留
りが低い。

【０００５】一方、後者の基板にレジストパターンを設
けてこれを樹脂層によって覆い、次いでレジストパター
ンを溶出する方法は、液流路の形状が均一で量産性にも
すぐれており、加えて、製造工程において液流路にゴミ
等が侵入するおそれもないため、インクジェット記録ヘ
ッドの製造コストを大幅に低減し、かつ、より一層の高
性能化や高速化さらにはマルチノズル化等にも容易に対
応できるものとして大きく期待されている。

【０００６】図５（ａ）〜図５（ｅ）は従来のインクジ
ェット記録ヘッドの製造工程の一例を示す図である。

【０００７】まず、図５（ａ）に示すように、吐出エネ
ルギ発生素子１０１ａを有する基板１０１上に、ノズル
や液室の形状を有するレジストパターン１０２を製作
し、その上に、図５（ｂ）に示すように、活性エネルギ
線硬化性樹脂層１０３を積層する。続いて図５（ｃ）に
示すように、ガラス等の活性エネルギ線を透過する材料
によって天板１０４を製作して活性エネルギ線硬化性樹
脂層１０３に重ねる。天板１０４には、インク供給口１
０４ａと後述する液室１０６の上半部を構成する凹所１
０４ｂとが形成されており、凹所１０４ｂの内壁面には
活性エネルギ線を遮断する遮光膜であるマスキングが設
けられている。

【０００８】続いて、図５（ｄ）に示すように、天板１
０４の外側から活性エネルギ線Ｌを照射して活性エネル
ギ線硬化性樹脂層１０３を硬化させる。このとき、図５
（ｄ）中に斜線で示すように天板１０４のマスキングを
施すことにより活性エネルギ線Ｌの一部分が遮光され
る。その結果、マスキングの下に位置する活性エネルギ
線硬化性樹脂層１０３の不要部分は未硬化の状態で残さ
れる。

【０００９】次に、基板１０１、活性エネルギ線硬化性
樹脂層１０３、天板１０４からなる吐出口のオリフィス
面の形状を整えるためにオリフィス面の研削を行う。

【００１０】最後に、図５（ｅ）に示すように天板１０
４のインク供給口１０４ａから溶剤を導入してレジスト
パターン１０２と活性エネルギ線硬化性樹脂層１０３の
未硬化の不要部分を溶出し、ノズル１０５と液室１０６
を備えたインクジェット記録ヘッドが完成する。このよ
うにインクジェット記録ヘッドの製造工程の最後にノズ
ル１０５や液室１０６を空洞化するものであるため、こ
れらにゴミ等が侵入するおそれがない。

【００１１】ところがこのようにノズル１０５を活性エ
ネルギ線硬化樹脂層１０３によって製作する方法は、ノ
ズル１０５の材質を大幅に制約するものであり、このよ
うな材料の制約は、インクジェット記録ヘッドの耐イン
ク性等を向上させたり、あるいはインクジェット記録ヘ
ッドを低価格化するうえで大きな障害となる。加えて、
インクジェット記録ヘッドの印字を高速化するには液室
１０６を大容量化することが要求されるが、液室１０６
の高さを高くするために活性エネルギ線硬化樹脂層１０
３を厚くすると、これをパターニングする際に、液室１
０６の形状を設計通りに形成するのが困難であり、ま
た、露光時間が長くなって新たなトラブルを発生するお
それがある。

【００１２】そこで、吐出エネルギ発生素子を有する基
板上に液流路や液室の形状を有する第１のレジストパタ
ーンを設け、さらにその上に、液室を高くするための第
２のレジストパターンを重ねたうえで天板を載置し、天
板と基板の間に形成された空間部に樹脂を注入してこれ
を硬化させ、最後に第１及び第２のレジストパターンを
溶出する方法が開発された。

【００１３】図６（ａ）〜図６（ｆ）に別の従来のイン
クジェット記録ヘッドの製造方法の工程、すなわち、第
１、第２のレジストパターンを重ねたうえで樹脂を注入
するいわゆる注型法によってインクジェット記録ヘッド
を製造する工程を説明する図を示す。なお、図６（ａ）
〜図６（ｆ）に示す方法は、同時に２個のインクジェッ
ト記録ヘッドを製造する方法を示したものである。

【００１４】まず、図６（ａ）に示すように、インクジ
ェット記録ヘッド２個分の吐出エネルギ発生素子（不図
示）を有する基板２０１の上に、公知の感光性ドライフ
ィルム等を用いて液流路パターン部分２０２ａと後述す
る液室２２２の下半部パターン部分２０２ｂからなる第
１のレジストパターン２０２を設け、その上に、図６
（ｂ）に示すように、公知の印刷法等によって液室２２
２の上半部の形状を有する第２のレジストパターン２０
３を積層する。さらに、図６（ｃ）に示すように、予め
インク供給口２０４ａ等の開口を形成した天板２０４を
載置し、該天板２０４と基板２０１の間に形成される空
間部Ｖ₀に、図６（ｄ）に示すように、樹脂２０５を注
入してこれを硬化させてインクジェット記録ヘッド２個
取りの積層体Ａ₀を得る。続いて、図６（ｅ）に示すよ
うに、積層体Ａ₀を中央で切断し、吐出口面の形状を整
えるための研削を行う。

【００１５】最後に、第１及び第２のレジストパターン
２０２、２０３を溶剤によって溶出すると、図６（ｆ）
に示すように空洞化された液流路２２１と液室２２２を
有するノズル層２２０が形成される。

【００１６】この方法を採用すれば、第２のレジストパ
ターン２０３の厚さを厚くすることによって液室２２２
の高さを必要なだけ高くすることができる。また、液室
２２２の形状は第２のレジストパターン２０３の形状通
りであり、露光によってパターニングする場合のような
トラブルを発生するおそれはない。

【００１７】次に、図６（ａ）〜（ｅ）で示した製造方
法により製造されたインクジェット記録ヘッドの斜視透
視図を図７（ａ）に、また、ノズル部の上面断面図を図
７（ｂ）にそれぞれ示す。

【００１８】このような方法で形成されたインクジェッ
ト記録ヘッドは、上記のように、オリフィス面２０９の
形状を整えるために切断及び研削工程が入る。通常、こ
の切断、研削工程で得られるインクジェット記録ヘッド
のオリフィス面２０９は図７（ｂ）に示すＹ方向に±１
０[μｍ]程度の公差を有する。このため、吐出口２０９
ａ付近の液流路３７に切断位置公差よりも長いストレー
ト部３１を設けることで、切断位置がばらついても必ず
ストレート部３１で切断されることとなり、吐出口の面
積がばらつくことを防止している。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような図５〜図７に示した従来のノズル形状、製造工程
では、インク吐出量の異なるインクジェット記録ヘッド
を作ろうとした場合、インク吐出量ごとに異なる種類の
レジストパターンあるいは液流路パターンを形成する必
要があった。そのため、吐出量の異なる複数種類のイン
クジェット記録ヘッドを作るには、異なるレジストパタ
ーンあるいは液流路パターンを形成するためのマスクや
生産ラインを複数種類用意する必要があり、煩雑であ
る、といった問題点があった。

【００２０】そこで、本発明はノズル径の異なる、複数
種類のインクジェット記録ヘッドの生産性を向上させる
インクジェット記録ヘッド、該インクジェット記録ヘッ
ドの製造方法及びインクジェット記録装置を提供するこ
とを目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明のインクジェット記録ヘッドは、吐出口からイン
クを吐出させるためのノズルと、前記ノズル内のインク
を吐出させるためのエネルギを発生するエネルギ発生手
段とを有するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記
ノズルは、それぞれ幅が異なる複数のストレート部を有
し、前記吐出口は、前記複数のストレート部のいずれか
の途中で前記ノズルを切断することで形成されたもので
ある。

【００２２】上記の通り構成された本発明のインクジェ
ット記録ヘッドは、ノズルの幅が各ストレート部で異な
るため、任意のストレート部を切断することで、切断さ
れたストレート部に応じた開口面積を有する吐出口が形
成される。

【００２３】また、本発明のインクジェット記録ヘッド
の製造方法は、インクを吐出させるためのエネルギを発
生するエネルギ発生手段が設けられた基板上に、それぞ
れ幅が異なる複数のストレート部を有するノズルを形成
する工程と、前記ノズルを前記複数のストレート部のい
ずれかの途中で切断し、インクを吐出する吐出口を形成
する工程とを含む。

【００２４】上記の通り、本発明のインクジェット記録
ヘッドの製造方法は、それぞれ幅が異なる複数のストレ
ート部を有するノズルを形成し、そして、このノズルを
複数のストレート部のいずれかの途中で切断することで
吐出口を形成するため、ストレート部の幅に応じた開口
面積の吐出口を形成することができる。

【００２５】また、ノズルを形成する工程は、基板上に
感光性樹脂を配設する工程と、感光性樹脂を露光及び現
像して感光性樹脂でノズルのパターンを形成する工程
と、パターンが形成された基板上に前記ノズルを構成す
る材料を積層する工程と、パターンを除去する工程とを
含むものであってもよい。

【００２６】また、本発明のインクジェット記録装置
は、被記録媒体を搬送する搬送手段と、インクを吐出
し、前記被記録媒体に記録を行う、本発明のインクジェ
ット記録ヘッドを保持し、かつ、被記録媒体の搬送方向
に対して交差する方向に往復移動する保持手段とを有す
るものであってもよいし、また、本発明のインクジェッ
ト記録装置は、被記録媒体を搬送する搬送手段と、イン
クを吐出し、被記録媒体に記録を行う、本発明のインク
ジェット記録ヘッドの製造方法により製造されたインク
ジェット記録ヘッドを保持し、かつ、被記録媒体の搬送
方向に対して交差する方向に往復移動する保持手段とを
有するものであってもよい。

【００２７】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。

【００２８】図１（ａ）〜図１（ｇ）は本発明の一実施
形態であるインクジェット記録ヘッド７０を製造する工
程を説明する図である。

【００２９】まず、図１（ａ）に示すように、２個分の
インクジェット記録ヘッド７０（図１（ｆ）参照）の吐
出エネルギ発生素子（不図示）を有する基板１の上に、
液流路の形状を有する液流路パターン部分２ａと液室の
下半部の形状を有する液室パターン部分２ｂとからなる
第１のレジストパターン２を形成する。

【００３０】第１のレジストパターン２を製作する方法
は、以下に示すものの中から適宜選択する。 （１）感光性ドライフィルムを用いていわゆるドライフ
ィルムの画像形成プロセスに従って第１のレジストパタ
ーン２を形成する。 （２）基板１上に所望の厚さの溶剤可溶性ポリマ層およ
ぴフォトレジスト層を順に積層し、フォトレジスト層の
パターン形成後、溶剤可溶性ポリマ層を選択的に除去す
る。 （３）樹脂を印刷する。

【００３１】（１）の方法における感光性ドライフィル
ムとしては、ポジ型、あるいはネガ型を用いることがで
きる。例えばポジ型ドライフィルムであれば、活性エネ
ルギ線照射によって現像液に可溶化するポジ型ドライフ
ィルムが適しており、またネガ型ドライフィルムであれ
ば、光重合型であるが塩化メチレンあるいは強アルカリ
で溶解あるいは剥離除去し得るネガ型ドライフィルムが
適している。

【００３２】ポジ型ドライフィルムとしては、具体的に
は、例えば「ＯＺＡＴＥＣ Ｒ２５５」（商品名、ヘキ
ストジャパン（株））等、またネガ型ドライフィルムと
しては、「ＯＺＡＴＥＣ Ｔシリーズ」（商品名、ヘキ
ストジャパン（株））、「ＰＨＯＴＥＣシリーズ」（商
品名、日立化成工業（株））、「ＲＩＳＴＯＮ」（商品
名、デュ・ポン．ド・ネモアース・Ｃｏ）等が用いられ
る。

【００３３】もちろん、これらの市販材料のみならず、
ポジティブに作用する樹脂組成物、例えばナフキノンジ
アド誘導体とノボラック型フェノール樹脂を主体とする
樹脂組成物、ＰＭＥＲ−ＡＲ９００（東京応化工業
（株））、及びネガティブに作用する樹脂組成物、例え
ばアクリルエステルを反応基とするアクリルオリゴマー
と熱可塑性高分子化合物及び増感剤を主体とする組成
物、あるいはポリチオールとポリエン化合物及び増感剤
とから成る組成物等を用いることができる。

【００３４】（２）の方法における溶剤可溶性ポリマと
しては、それを溶解する溶剤が存在し、コーティングに
よって被膜を形成し得る高分子化合物であればいずれで
もよい。ここで用いるフォトレジスト層としては、典型
的にはノボラック型フェノール樹脂とナフトキノンジア
ジドからなるポジ型液状フォトレジスト、ポリビニルシ
ンナメートから成るネガ型液状フォトレジスト、環化ゴ
ムとビスアジドから成るネガ型液状フォトレジスト、ネ
ガ型感光性ドライフィルム、熱硬化型及び紫外線硬化型
のインキ等が挙げられる。

【００３５】（３）の印刷法に用いる材料としては、例
えば蒸発乾燥型、熱硬化型あるいは紫外線硬化型等のそ
れぞれの乾燥方式で用いられている平板インキ、スクリ
ーンインキならびに転写型の樹脂等が用いられる。

【００３６】以上に挙げた材料群の中で、加工精度や除
去の容易性あるいは件業性等の面からみて、（１）の感
光性ドライフィルムを用いる方法が好ましく、その中で
もポジ型ドライフィルムを用いるのが特に好ましい。す
なわち、ポジ型感光性材料は、例えば解像度がネガ型の
感光性材料よりも優れており、レリーフパターンが垂直
かつ平滑な側壁面を持ち、また、テーパ型ないし逆テー
パ型の断面形状が容易につくれるという多くの長所を持
ち、液流路を形づくる上で最適である。

【００３７】また、レリーフパターンを現像液や有機溶
剤で溶解除去できる等の長所も有しており、本発明にお
けるレジストパターン形成材料として好適である。特
に、例えば先に挙げたナフキノンジアジドとノボラック
型フェノール樹脂を用いたポジ型感光性材料では、弱ア
ルカリ水溶液あるいはアルコールで完全溶解できるの
で、吐出エネルギ発生素子に損傷を何ら与えることがな
く、かつ後工程での除去もきわめて速やかである。この
ようなポジ型感光性材料の中でも、ドライフィルム状の
ものは、１０〜１００μｍの厚膜のものが得られる点
で、最も好ましい材料である。

【００３８】次に、図１（ｂ）に示すように、第１のレ
ジストパターン２の上に液室の上半部の形状を有する液
室パターン部分である第２のレジストパターン３を積層
する。

【００３９】第２のレジストパターン３は、第１のレジ
ストパターン２の液室パターン部分２ｂ上に積層され、
第２のレジストパターン３の厚さに第１のレジストパタ
ーン２の液室パターン部分２ｂの厚さを加えたものが各
インクジェット記録ヘッドの液室の必要高さに一致する
ように構成されている。

【００４０】第２のレジストパターン３の形成方法は、
以下に示すものの中から適宜選択する。 （１）フッ素置換されたアクリル樹脂、トリフロロクロ
ロポリマポリフッ化ビニル等のフッ素系樹脂を印刷す
る。 （２）上記のフッ素系樹脂を一般に市販されているアク
リル系やエポキシ系の各種印刷剤に一部添加したものを
印刷する。 （３）例えばシリコーンシーラント、シリコーングリス
等のシリコーン系樹脂やオイルを印刷する。 （４）上記のシリコーン系樹脂やオイルをディスペンサ
等の方法により所望の部分のみディスペンスする。

【００４１】上記の方法のなかで、第２のレジストパタ
ーン３を溶出するときの除去性や液室の形状に形成しや
すい等の観点からは、（２）の方法が好ましい。

【００４２】例えば、アクリル系印刷剤ＭＡ−８３０
（大日本インキ製）にビスフェノールＡＦ型樹脂（セン
トラルガラス製）を０．１％から２５．０％程度、添加
したものをスクリーン印刷すると、樹脂６ａ（図１
（ｅ）参照）に対して極めて良好なレジストパターンを
得ることができる。

【００４３】また、フッ素系樹脂ＫＰ８０１（信越化学
製）をＭＦ−６に（セントラルガラス製）に溶解させた
のち、ＭＡ−８３０に添加する方法でもよい。

【００４４】なお、ＫＰ８０１をＭＦ−６に溶解させた
ものはＫＰ８０１Ｍとして信越化学（株）より市販され
ている。

【００４５】次いで、図１（ｃ）に示すように、第２の
レジストパターン３上に予めインク供給口４ａを形成し
た天板４が位置合わせして載置される。

【００４６】このように第２のレジストパターン３上に
天板４を載置したとき、天板４の反りやうねり等、ある
いは第２のレジストパターン３の厚さの不均一部や第２
のレジストパターン３の上面の凹凸のためにわずかな隙
間５が生じる。

【００４７】続いて、図１（ｄ）に示すように、基板１
と天板４の間の空間部Ｖ１に樹脂６ａが注入される。こ
れは、図１（ｅ）に別の断面で示すように、天板４の両
側縁に配設された樹脂供給口４ｂを用いて行なわれる。
樹脂６ａは毛管現象によって空間部Ｖ１すべてに充填さ
れ、図１（ｄ）に示すようなノズル層６を形成する。樹
脂６ａを硬化させたのち、図１（ｆ）に示すように、ダ
イシングソー等の公知の方法によって各インクジェット
記録ヘッド７０に切り離す。次いで、図１（ｇ）に示す
ように、第１のレジストパターン２及び第２のレジスト
パターン３をアルカリ水溶液や有機溶剤等の溶剤である
除去液により除去する。

【００４８】第１のレジストパターン２及び第２のレジ
ストパターン３を除去すると、第１のレジストパターン
２の液流路パターン部分２ａを除去することで空洞化さ
れた液流路７と、第１のレジストパターン２の液室パタ
ーン部分２ｂと第２のレジストパターン３を除去するこ
とで空洞化された液室８を有するノズル層６が形成され
る。液室８は、第１のレジストパターンの液室パターン
部分２ｂの厚さと第２のレジストパターン３の厚さを加
えたものに等しい高さを有し、天板４のインク供給口４
ａに開口する。

【００４９】次に、図２にインクジェット記録ヘッド７
０の製造過程におけるレジストパターン２ｃの一例を示
す。

【００５０】本発明のインクジェット記録ヘッド７０の
レジストパターンは、インクの吐出口２０付近に、第１
のストレート部２１と、第１のストレート部２１よりも
流路幅の広い第２のストレート部２２とが形成されてい
る。

【００５１】Ｘ−Ｘ’線及びＹ−Ｙ’線は、オリフィス
面９（図３参照）を形成するための第１のストレート部
２１あるいは第２のストレート部２２の切断位置を示し
ている。すなわち、Ｘ−Ｘ’線で切断した場合には吐出
口２０の開口面積は、Ｙ−Ｙ’線で切断した場合の吐出
口２０の開口面積よりも小さくなる。

【００５２】次に、図３（ａ）〜図３（ｄ）に２個取り
のインクジェット記録ヘッド７０をダイシングソー等に
よって各インクジェット記録ヘッド７０に切り離し、オ
リフィス面９を研削して形成されたインクジェット記録
ヘッド７０を示す。

【００５３】図３（ａ）は、図２中のＸ−Ｘ’線上で切
断し、オリフィス面を研削したインクジェット記録ヘッ
ド７０の斜視透視図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）の
上面透視図である。

【００５４】また、図３（ｃ）は、図２中のＹ−Ｙ’線
上で切断し、オリフィス面９を研削したインクジェット
記録ヘッド７０の斜視透視図であり、図３（ｄ）は図３
（ｃ）の上面透視図である。

【００５５】上述のように本発明のインクジェット記録
ヘッド７０は、レジストパターン２ｃの形状を、第１の
ストレート部２１及び第２のストレート部２２を有する
形状としたものである。そして、Ｘ−Ｘ’線あるいはＹ
−Ｙ’線のいずれかで切断することにより、吐出口２０
の開口面積を変え、吐出量の異なるインクジェット記録
ヘッド７０を作成することができるようにしたものであ
る。

【００５６】例えば、Ｘ−Ｘ’線上で切断した場合、オ
リフィス９ａの面積は小さくなり、吐出量の小さなイン
クジェット記録ヘッド７０を作成することができる。

【００５７】一方、Ｙ−Ｙ’線上で切断した場合、オリ
フィス９ａの面積は大きくなり、吐出量の大きなインク
ジェット記録ヘッド７０を作成することができる。

【００５８】ここでは、幅の異なるレジストパターンの
ストレート部を２箇所設けた例を示したが、このストレ
ート部を３箇所以上としても良い。

【００５９】また、本発明のインクジェット記録ヘッド
７０は、レジストパターン２ｃが液流路となるインクジ
ェット記録ヘッド７０の製造方法により製作される例を
挙げて示したが、製造方法はこれに限定されるものでは
ない。

【００６０】以上、本発明によれば、吐出口の面積の異
なるインクジェット記録ヘッド７０のオリフィス面９の
形成を、オリフィス面９の形成の前工程までは、従来の
生産ラインと全く同じ生産ラインで生産することがで
き、インク吐出量の異なるヘッドごとにノズルのパター
ンを形成するといった煩雑さを解決することができた。

【００６１】次に、上述したインクジェット記録ヘッド
７０が搭載されるインクジェット記録装置について説明
する。

【００６２】図４は、インクジェット記録ヘッド７０を
用いた、本発明のインクジェット記録装置の一実施形態
の概略斜視図である。

【００６３】本体フレーム５５１には、螺旋溝５５３の
刻まれたリードスクリュー５５２が回転自在に軸支され
ている。リードスクリュー５５２は、駆動モータ５５９
の正逆回転に連動し、駆動力伝達ギア５６０、５６１を
介して回転駆動される。さらに、本体フレーム５５１に
は、キャリッジ５５５を摺動自在に案内する案内レール
５５４が固定されている。キャリッジ５５５には、螺旋
溝５５３に係合するピン（不図示）が設けられており、
駆動モータ５５９の回転によりリードスクリュー５５２
を回転させることで、キャリッジ５５５が図示矢印ａ、
ｂ方向に往復移動できるようになっている。紙押え板５
７２は、キャリッジ５５５の移動方向にわたって、被記
録媒体５９０をプラテンローラ５７３に対して押圧す
る。

【００６４】キャリッジ５５５には、インクジェット記
録ヘッドカートリッジ５８０が搭載される。インクジェ
ット記録ヘッドカートリッジ５８０は、上述したインク
ジェット記録ヘッド７０をインクタンクと一体化したも
のである。また、このインクジェット記録ヘッドカート
リッジ５８０は、キャリッジ５５５に設けられている位
置決め手段及び電気的接点によってキャリッジ５５５に
固定支持されるとともに、キャリッジ５５５に対して着
脱可能に設けられている。

【００６５】フォトカプラ５５７、５５８は、キャリッ
ジ５５５のレバー５５６のこの域での存在を確認して駆
動モータ５５９の回転方向の逆転等を行うためのホーム
ポジション検知手段を構成する。インクジェット記録ヘ
ッド７０の前面（吐出口２０が形成された面）をキャッ
プするキャップ部材５６７は、支持部材５６２によって
支持され、さらに吸引手段５６６を備え、キャップ内開
口５６８を介してインクジェット記録ヘッド７０の吸引
回復を行う。本体支持板５６４には支持板５６５が取り
付けられており、この支持板５６５に摺動自在に支持さ
れたクリーニングブレード５６３は、図示しない駆動手
段によって前後方向に移動される。クリーニングブレー
ド５６３の形態は図示するものに限られず、公知のもの
が適用できることはいうまでもない。レバー５７０は、
インクジェット記録ヘッド７０の吸引回復動作を開始す
るためのもので、キャリッジ５５５と当接するカム５７
１の移動に伴って移動し、駆動モータ５５９から駆動力
がギアやラッチ切換え等の公知の伝達手段によって移動
制御される。

【００６６】これらのキャッピング、クリーニング、吸
引回復の各処理は、キャリッジ５５５がホームポジショ
ン側領域に移動したときにリードスクリュー５５２の作
用によって、それぞれの対応位置で行われるようになっ
ている。周知のタイミングで所望の動作を行うようにす
れば、本例にはいずれも適用できる。

【００６７】以上説明したインクジェット記録装置にお
いては、搭載したインクジェット記録ヘッド７０の電気
熱変換体を駆動するための記録信号をインクジェット記
録ヘッド７０に与える記録信号供給手段を有し、インク
ジェット記録装置の動作を司る制御部を備えている。

【００６８】本発明のインクジェット記録装置は、上述
したインクジェット記録ヘッド７０を搭載しているので
インクの吐出が安定し、その結果、画像品位の劣化が少
ない記録装置を達成することができる。なお、本発明の
インクジェット記録装置ではキャリッジ５５５にインク
ジェット記録ヘッドカートリッジ５８０が着脱可能に搭
載される例を示したが、これに限らず、インクジェット
記録ヘッド７０をキャリッジ５５５に一体化し、インク
タンクのみを着脱可能に搭載する構成としてもよい。

【００６９】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、幅
の異なる各ストレート部のうちから、任意のストレート
部を選択して切断することでストレート部の幅に応じた
開口面積の吐出口を有するインクジェット記録ヘッドと
することができる。このため、吐出口の面積の異なるイ
ンクジェット記録ヘッドを、ノズルの切断、研削の前工
程までを従来の生産ラインと全く同じ生産ラインで生産
することができることとなり、インク吐出量の異なるヘ
ッドごとにノズルのパターンを形成するといった煩雑さ
を解消でき、よって、インクジェット記録ヘッドの生産
性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態であるインクジェット記録
ヘッドの製造方法の各工程を説明する図である。

【図２】本発明の一実施形態であるインクジェット記録
ヘッドのレジストパターンの一例を示す図である。

【図３】本発明の一実施形態である小吐出量用及び大吐
出量用のインクジェット記録ヘッドを説明する図であ
る。

【図４】本発明の一実施形態であるインクジェット記録
装置の外観斜視図である。

【図５】従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法の
各工程を説明する図である。

【図６】別の従来のインクジェット記録ヘッドの製造方
法の各工程を説明する図である。

【図７】別の従来のインクジェット記録ヘッドの製造方
法により製造されたインクジェット記録ヘッドを説明す
る図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 第１のレジストパターン ２ａ、２ｂ 液流路パターン部分 ２ｃ レジストパターン ３ 第２のレジストパターン ４ 天板 ４ａ インク供給口 ４ｂ 樹脂供給口 ５ 隙間 ６ ノズル層 ６ａ 樹脂 ７ 液流路 ８ 液室 ９ オリフィス面 ２０ 吐出口 ２１ 第１のストレート部 ２２ 第２のストレート部 ７０ インクジェット記録ヘッド ５５１ 本体フレーム ５５２ リードスクリュー ５５３ 螺旋溝 ５５４ 案内レール ５５５ キャリッジ ５５６ レバー ５５７、５５８ フォトカプラ ５５９ 駆動モータ ５６０、５６１ 駆動力伝達ギア ５６２ 支持部材 ５６３ クリーニングブレード ５６４ 本体支持板 ５６５ 支持板 ５６６ 吸引手段 ５６７ キャップ部材 ５６８ キャップ内開口 ５７１ カム ５７２ 紙押え板 ５７３ プラテンローラ ５８０ インクジェット記録ヘッドカートリッジ ５９０ 被記録媒体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安田 淳司 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 EA24 FA03 FA11 HA16 HA17 HA20 HA21 2C057 AF93 AG12 AG46 AN02 AP12 AP22 AP33 AP47 AQ04 BA05 BA13

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吐出口からインクを吐出させるためのノ
   ズルと、前記ノズル内のインクを吐出させるためのエネ
   ルギを発生するエネルギ発生手段とを有するインクジェ
   ット記録ヘッドにおいて、 前記ノズルは、それぞれ幅が異なる複数のストレート部
   を有し、前記吐出口は、前記複数のストレート部のいず
   れかの途中で前記ノズルを切断することで形成されたも
   のであることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. 【請求項２】 インクを吐出させるためのエネルギを発
   生するエネルギ発生手段が設けられた基板上に、それぞ
   れ幅が異なる複数のストレート部を有するノズルを形成
   する工程と、 前記ノズルを前記複数のストレート部のいずれかの途中
   で切断し、インクを吐出する吐出口を形成する工程とを
   含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造
   方法。
3. 【請求項３】 前記ノズルを形成する工程は、 前記基板上に感光性樹脂を配設する工程と、 前記感光性樹脂を露光及び現像して前記感光性樹脂でノ
   ズルのパターンを形成する工程と、 前記パターンが形成された基板上に前記ノズルを構成す
   る材料を積層する工程と、 前記パターンを除去する工程とを含む請求項２に記載の
   インクジェット記録ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 被記録媒体を搬送する搬送手段と、イン
   クを吐出し、前記被記録媒体に記録を行う請求項１に記
   載のインクジェット記録ヘッドを保持し、かつ、前記被
   記録媒体の搬送方向に対して交差する方向に往復移動す
   る保持手段とを有することを特徴とするインクジェット
   記録装置。
5. 【請求項５】 被記録媒体を搬送する搬送手段と、イン
   クを吐出し、前記被記録媒体に記録を行う、請求項２ま
   たは３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法に
   より製造されたインクジェット記録ヘッドを保持し、か
   つ、前記被記録媒体の搬送方向に対して交差する方向に
   往復移動する保持手段とを有することを特徴とするイン
   クジェット記録装置。