JP2000269107A

JP2000269107A - 半導体製造工程のデータ解析システム

Info

Publication number: JP2000269107A
Application number: JP11069127A
Authority: JP
Inventors: Shingo Himeno; 伸吾姫野
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1999-03-15
Filing date: 1999-03-15
Publication date: 2000-09-29

Abstract

(57)【要約】【課題】品質管理データの解析結果の保存や管理、デ
ータの解析作業が効率よく行える半導体製造工程のデー
タ解析システムを提供する。【解決手段】半導体製造工程の品質管理データを、製
造工程全体レベル、ロットレベル、ウェハレベル、チッ
プレベルと順に下階層化するように組み立てた階層レベ
ル構成によって記録、保存する機能と、保存されたデー
タを読み出し可能にする機能と、データを読み出して解
析を行った後の解析結果データを元データ、解析手順と
共に記録、保存する機能とを備え、さらに、元データ、
解析結果データ、解析手順が、再読み出し、再解析を可
能とする機能を備えるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程で
発生する各品質管理データを保存し、データ解析を行え
るようにした半導体製造工程のデータ解析システムに関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製造工程の、例えばクリー
ンルーム工程やダイソータ工程、その他後工程等で発生
した各品質管理データに係る解析システムは、解析結果
を紙に出力して保存したり、結果画像のみをファイルに
出力したりするのが実状であった。しかしながら、この
ような紙で出力するようにしたものでは、出力された紙
の管理が大変であり、また画像ファイルの管理も大変な
ものとなっていた。

【０００３】また、データ解析を行った当人以外の人
が、解析結果を閲覧し利用しようとした場合には、どの
ような解析等を行っているか、あるいは過去にどのよう
な解析が行われたのかを知る必要があるが、紙を中心と
した解析結果の保存方法では、製造工程の品質管理情報
を共有し利用しようとする場合には、非常に効率が悪
い。その他、一度解析した結果をもとに、関連する他の
ロットやウェハ等のデータを分析する場合には、解析ツ
ールに対し、再度処理条件の入力設定や、解析に必要な
データの再検索、グラフ表示等を行う必要があり、手間
と時間がかかる等の問題があった。

【０００４】このように、従来の品質管理データの解析
システムでは、（１）解析結果の保存に手間がかかる。

【０００５】・紙を出力し、これを整理し管理しなけれ
ばならない。

【０００６】・画像ファイルを出力し、これを整理し管
理しなければならない。（２）解析結果の情報共有の効率が悪い。

【０００７】・他人が行った解析結果を容易に閲覧でき
ない。

【０００８】・他人が行った解析は、解析手順が分から
ず、解析ノウハウとして有効活用することが困難。（３）再利用ができない。

【０００９】・解析結果をもとに、関連する他のロット
やウェハ等の解析を行う場合、手間がかかる。等の問題
がある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上記のような状況に鑑
みて本発明はなされたもので、その目的とするところ
は、品質管理データの解析結果の保存や管理が効率よく
行え、またデータの解析作業が効率よく行え、さらにデ
ータ解析に関するノウハウを他の人と共有できるように
した半導体製造工程のデータ解析システムを提供するこ
とにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の半導体製造工程
のデータ解析システムは、半導体製造工程の品質管理デ
ータを記録、保存する手段と、保存されたデータを読み
出し可能にする手段と、データを読み出して解析を行っ
た後の解析結果データを元データ、解析手順と共に記
録、保存する手段とを備えていることを特徴とするもの
であり、さらに、データが、階層レベル構成となってい
ることを特徴とするものであり、データの階層レベル構
成が、製造工程全体レベル、ロットレベル、ウェハレベ
ル、チップレベルと順に下階層化するように組み立てら
れていることを特徴とするものであり、さらに、元デー
タ、解析結果データ、解析手順が、再読み出し、再解析
を可能とする手段を備えていることを特徴とするもので
ある。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下本発明の一実施形態を、図１
乃至図１９を参照して説明する。図１はコンピュータネ
ットワークを示す図であり、図２はファイル内の構成を
アイコンにより表示したコンピュータ画面を示す図であ
り、図３はアイコン管理情報を示す図であり、図４はグ
ラフＮＯ．を示す図であり、図５はファイルのフォルダ
構成を示す図である。また、図６は記録操作のフローを
示す図であり、図７は表示操作のフローを示す図であ
り、図８は削除操作のフローを示す図であり、図９はア
イコン削除操作のフローを示す図であり、図１０はアイ
コン追加操作のフローを示す図である。さらに、図１１
はファイルが設けられているソフトウェアのファイル機
能メニューが表示されたコンピュータ画面を示す図であ
り、図１２は記録開始のコンピュータ画面を示す図であ
り、図１３は記録終了時のファイル名入力のコンピュー
タ画面を示す図であり、図１４はローカルフォルダのフ
ァイル指定のコンピュータ画面を示す図であり、図１５
はネットワークフォルダのファイル指定のコンピュータ
画面を示す図であり、図１６はネットワークのファイル
接続のコンピュータ画面を示す図である。またさらに、
図１７はファイルの記録操作のフローを示す図であり、
図１８は既存のアイコンの削除操作を説明するための図
で、図１８（ａ）は削除操作前のコンピュータ画面を示
す図、図１８（ｂ）は削除操作後のコンピュータ画面を
示す図であり、図１９はアイコンの追加操作を説明する
ための図で、図１９（ａ）は追加操作前のコンピュータ
画面を示す図、図１９（ｂ）は追加操作後のコンピュー
タ画面を示す図である。

【００１３】先ず、図１において、１はデータ解析シス
テムが活用されるコンピュータネットワークで、共有サ
ーバ２にライン３を通じて複数のユーザーパーソナルコ
ンピュータ（ユーザＰＣ）４が接続されている。そし
て、共有サーバ２及び各ユーザＰＣ４が、それぞれファ
イルを保管しており、自身のユーザＰＣ４が保管するフ
ァイルを閲覧することができると共に、共有サーバ２や
他のユーザＰＣ４が保管しているファイルをも閲覧する
ことができる構成となっている。なお、ファイルについ
ては、「ワークマップ」（ＷＯＲＫＭＡＰ）とファイル
名称を付して以下説明する。

【００１４】「ワークマップ」は、図２に共有サーバ２
や各ユーザＰＣ４の表示部に表示される画面を示すよう
に、解析結果を表示して管理するものであって、その仕
様は、解析時に表示したグラフを「アイコン」という形
式で管理し、グラフ表示に使用したデータや解析手順情
報、さらにグラフ形式等を「アイコン」に持たせること
で「アイコン」間の関連性を持たせて解析結果の保存と
再表示が行えるようになっている。また、ここで扱う解
析データは、例えば複数ロットを対象とした工程全体に
対応した「全体レベル」データと、この下位となる１ロ
ットを対象とした「ロットレベル」データと、さらに下
位となる１枚のウェハを対象とした「ウェハレベル」デ
ータと、またさらに下位の１つのチップを対象とした
「チップレベル」データの４つのデータレベルでなる階
層レベル構成となっている。

【００１５】また、後述する「ワークマップ」機能で使
用する「アイコン」の管理情報は、図３に（定義）とし
て示すように、「ワークマップ」内で「アイコン」をユ
ニークに識別するため、階層の位置に関係なく全データ
に対し、保存した順に付したアイコン識別シリアルＮ
Ｏ．と、「アイコン」間の関連を管理するために使用す
る自「アイコン」の上位に位置する「アイコン」を識別
する上位アイコン識別ＮＯ．と、「ワークマップ」表示
時の表示位置に使用するデータ階層レベルと、自「アイ
コン」のグラフ種類を示す図４のグラフＮＯ．テーブル
に記載されているグラフＮＯ．と、「アイコン」の表示
サイズをドット数で示すアイコンサイズと、自「アイコ
ン」が使用するデータやデータの管理情報、例えばグラ
フ別には異なるがロットＮＯ．やウェハＮＯ．に相当す
るものを定義した複数のデータ情報とから構成されてい
る。なお、ここでのデータ情報は最大で５つまでとして
いる。

【００１６】また、同じ図３に（設定例）として示して
いる「アイコン」の管理情報では、アイコン識別シリア
ルＮＯ．が「３」で、上位アイコン識別ＮＯ．が「２」
であることから、３番目に保存したデータに対するもの
で、上位アイコンの識別シリアルＮＯ．が「２」である
ことを示している。さらに、データ階層レベルが「２」
であるから「ロットレベル」のデータであることを示
し、グラフＮＯ．が「５」であるから等高線図であり、
アイコンサイズが「１５」であるから１５ドットのもの
である。

【００１７】またさらに、データ情報−１の「Ｈ１２３
４５」はロットＮＯ．Ｈ１２３４５のものであることを
示しており、その他、データ情報−２〜４に記載された
設定例は、それぞれの固有の情報である。またデータ情
報−５は空欄であるから該当するものがないことを示し
ている。なお、グラフ種類を示す図４のグラフＮＯ．テ
ーブルに示す通り、「ワークマップ」ではグラフＮＯ．
と、これに対応して表示する「アイコン」の形態、また
対応のグラフ名をそれぞれ指定するようになっている。

【００１８】また、「ワークマップ」においては、解析
単位で名称をつけることができるように構成されてい
て、複数作成したり、名称を使って管理することができ
るようになっており、上記の通り、共有サーバ２やユー
ザＰＣ４に設けられたディスク等に保存可能となってい
る。例えば図５に示すようにフォルダ構成を取ってお
り、上位の「ワークマップ」(「ＷＯＲＫＭＡＰ」)に対
し、その下にそれぞれに複数のアイコン情報を有する
「ワークマップ−Ａ」(「ＷＯＲＫＭＡＰ−Ａ」)、「ワ
ークマップ−Ｂ」(「ＷＯＲＫＭＡＰ−Ｂ」)、「ワーク
マップ−Ｃ」(「ＷＯＲＫＭＡＰ−Ｃ」)といった１つな
いし複数の「ワークマップ」が、保存できるようになっ
ている。

【００１９】次に、データ解析システムにおける「ワー
クマップ」機能を、その基本操作フローをもとに説明す
る。すなわち、「ワークマップ」を記録する時の記録操
作フローは、図６に示すように、先ず、記録操作に先立
って解析したいデータ群を検索しておき、検索後にステ
ップＳａ_１で、図１１に示す「ワークマップ」が設けら
れているソフトウェアのファイル機能メニューが表示さ
れた画面で、「記録開始」のメニューを選択する。そし
て、ステップＳａ_２で、各種グラフ表示を行いながらデ
ータの解析作業を進める。解析作業中の状態では図１２
に示すように画面の右上に「ワークマップ記録中」のメ
ッセージが、常時表示される。

【００２０】その後、解析作業が進んでステップＳａ_３
で終了したと判断されると、ステップＳａ_４に進む。そ
して、記録を終了させる時にも、再び図１１に示すファ
イル機能メニューが表示された画面が用いられ、ここで
「記録終了」のメニューを選択する。「記録終了」のメ
ニューを選択すると、自動的に図１３に示すファイル名
入力画面が表示され、ステップＳａ_５においてファイル
名入力画面でワークマップ名を入力して、元データ、解
析結果、解析手順と共にこれらを保管する機能部分への
記録を終了する。

【００２１】また、保管されている「ワークマップ」を
再表示したり、再利用する際等に使用する表示操作フロ
ーは、自己のユーザＰＣ４に保管しているローカルフォ
ルダを表示する時には、図７に示すように、先ず、ステ
ップＳｂ_１で、図１１に示すファイル機能メニューが表
示された画面において、「表示」のメニューを選択す
る。これによって図１４に示すローカルフォルダのファ
イル指定画面を開き、ステップＳｂ_２で所要の「ワーク
マップ」名を選択する。次にステップＳｂ_３で「表示」
を選択し、表示された「ワークマップ」表示画面のうち
の必要とする「アイコン」を選択し、該当するグラフ等
を表示する。そして、「ワークマップ」をもとに保管さ
れているデータを利用しての解析等を行い、解析結果確
認を行い、ステップＳｂ_４で終了すると判断した場合
は、「ワークマップ」表示画面の「ＯＫ」を選択し、記
録保存を行い終了する。

【００２２】また、データ解析システムが活用されるコ
ンピュータネットワーク１上の他の「ワークマップ」を
参照等する時には、操作フローについては図示しない
が、図７に示すように、先ず、図１１に示すファイル機
能メニューが表示された画面において、「表示」のメニ
ューを選択する。これによって図１４に示すローカルフ
ォルダのファイル指定画面を開き、「ネットワーク」ボ
ックスを選択する。これにより「ワークマップ」ドライ
ブ接続ボタンが表示される。そして接続ボタンを選択す
ることで、図１６に示すネットワークのファイル接続画
面を開く。続いて共有指定されている所要の「ワークマ
ップ」名を選択し、表示等する。

【００２３】また、保管されている「ワークマップ」
を、もう使用せず削除すると判断した時にその「ワーク
マップ」を削除する削除操作フローは、図８に示すよう
に、先ず、ステップＳｃ_１で、図１１に示すファイル機
能メニューが表示された画面において、「表示」のメニ
ューを選択する。これによって図１４に示すローカルフ
ォルダのファイル指定画面を開き、ステップＳｃ_２で所
要の「ワークマップ」名を選択し、「削除」を選択す
る。これによって、図示しないが確認メッセージが表示
され、次にステップＳｃ_３で表示されている「ＯＫ」を
選択することで削除作業は終了する。なお、複数の「ワ
ークマップ」を削除する場合には、ステップＳｃ_２と、
ステップＳｃ_３を繰り返す。

【００２４】また、保管されている「ワークマップ」中
にある任意の「アイコン」の削除、これは解析手順の保
管として不要となったグラフ等（「アイコン」）を削除
する際の削除で、その「アイコン」を削除するアイコン
削除操作フローは、図９に示すように、先ず、ステップ
Ｓｄ_１で、図１１に示すファイル機能メニューが表示さ
れた画面において、「表示」のメニューを選択する。こ
れによって図１４に示すローカルフォルダのファイル指
定画面を開き、ステップＳｄ_２で所要の「ワークマッ
プ」名を選択する。次にステップＳｄ_３で「表示」を選
択し、表示する。続いてステップＳｄ_４で、表示された
「ワークマップ」表示画面の中にある対象の「アイコ
ン」を選択し、「削除」メニューを呼び出し、「削除」
する。そして、ステップＳｄ_５で削除を終了したと判断
されると、ステップＳｄ_６に進む。そして、再び図１１
に示すファイル機能メニューが表示された画面が用いら
れ、ここで「記録終了」のメニューを選択する。「記録
終了」のメニューを選択した後、ステップＳｄ_７でワー
クマップ名を選択し、削除を終了する。なお、複数の
「アイコン」を削除する場合には、ステップＳｄ_４を繰
り返す。

【００２５】例えば、図１８は既存の「ワークマップ」
からウェハＮＯ．１８のウェハマップの「アイコン」を
削除する場合を示しており、図１８（ａ）は上記の操作
手順のステップＳｄ_４において、表示された「ワークマ
ップ」表示画面の中にある対象の「アイコン」を選択
し、「削除」メニューを呼び出し、「削除」とした状態
を示している。そして、図１８（ｂ）は「削除」を実行
した後の状態を示している。

【００２６】また、保管されている「ワークマップ」を
元に、「ワークマップ」に保管されていない、例えばロ
ットあるいはウェハ、チップのグラフを「アイコン」と
して「ワークマップ」に追加する場合のアイコン追加操
作のフローは、図１０に示すように、先ず、ステップＳ
ｅ_１で、図１１に示すファイル機能メニューが表示され
た画面において、「表示」のメニューを選択する。これ
によって図１４に示すローカルフォルダのファイル指定
画面を開き、ステップＳｅ_２で表示されたワークマップ
一覧の中から、表示したい「ワークマップ」を選択す
る。

【００２７】次にステップＳｅ_３で「表示」を選択し、
表示された「ワークマップ」の中から、追加したいデー
タが検索できる元のグラフアイコン、例えば別のウェハ
の分析をしたい場合には、そのウェハのロットアイコン
を選択する。続いて、ロットアイコンが表示されたら、
ステップＳｅ_４で「ワークマップ記録開始」メニューを
選択する。そして、ステップＳｅ_５で追加したいウェハ
のグラフを表示したり、同様に追加したい他のロット、
あるいはウェハ、チップのグラフ表示を行い、データ解
析を行う。

【００２８】その後、ステップＳｅ_６でデータ解析等を
終わり、最終的に「アイコン」の追加を終了したと判断
した場合に、ステップＳｅ_７に進む。そして、再び図１
１に示すファイル機能メニューが表示された画面が用い
られ、ここで「記録終了」のメニューを選択する。「記
録終了」のメニューを選択すると、自動的に図１３に示
すファイル名入力画面が表示され、ステップＳｅ_８にお
いて保存ワークマップ名を入力するウインドウでは、元
となったワークマップ名が表示されるが、既存の「ワー
クマップ」に上書きする場合は、そのまま保存して終了
する。あるいはファイル名入力画面でワークマップ名を
変更すれば、新規の「ワークマップ」として保存され、
終了する。

【００２９】例えば、図１９は既存の「ワークマップ」
に、ロット１５２０４のウェハＮＯ．１３のウェハマッ
プの「アイコン」を追加する場合を示しており、図１９
（ａ）は上記の操作手順のステップＳｅ_３で「表示」を
選択し、表示された「ワークマップ」の中から、追加し
たいデータが検索できる元のグラフアイコンであるロッ
ト１５２０４を選択し、さらにステップＳｅ_４、ステッ
プＳｅ_５と進んで追加したいウェハＮＯ．１３のグラフ
を表示した状態を示している。そして、図１９（ｂ）は
グラフ表示を行い、ステップＳｅ_６でデータ解析等を終
わり、「アイコン」の追加を終了した状態を示してい
る。

【００３０】以上のように、データ解析システムが、上
述の機能を備えており、その基本操作フローも上記の通
りであるから、例えば図２に示す「アイコン」で表示さ
れた画面の構成を有するファイル(「ワークマップ」)
は、図１７に示すワークマップ記録の操作フローにした
がって行うことで形成される。すなわち、先ず、記録操
作に先立って解析したいデータ群を検索しておき、検索
後にステップＳｆ_１で、図１１に示す「ワークマップ」
が設けられているソフトウェアのファイル機能メニュー
が表示された画面で、「記録開始」のメニューを選択す
る。そして、ステップＳｆ_２で、図２のアイコンａに対
応するトレンド表示を行いながらデータの解析作業を進
め、続いてステップＳｆ_３でアイコンｂに対応するロッ
トＡ（Ｈ３０３８）のマップシート表示を行う。

【００３１】また同様に、ステップＳｆ_４でアイコンｃ
に対応するロットＢ（Ｈ３０７８）のマップシート表示
を行いデータの解析作業を進め、続いてステップＳｆ_５
でアイコンｄに対応するウェハＮＯ．ｎ（６）のウェハ
マップ表示を行う。また同様に、ステップＳｆ_６でアイ
コンｅに対応するウェハＮＯ．ｍ（８）のウェハスケー
ルフェイルビットマップ表示を行いデータの解析作業を
進め、続いてステップＳｆ_７でアイコンｆに対応するチ
ップアドレスＮＯ．ｐ（２６１２）のチップスケールフ
ェイルビットマップ表示を行う。また同様に、ステップ
Ｓｆ_８でアイコンｇに対応するチップアドレスＮＯ．ｑ
（１２０８）のチップスケールフェイルビットマップ表
示を行う。

【００３２】さらに、ステップＳｆ_９に進んで、図２の
アイコンｈに対応する散布図表示を行いながらデータの
解析作業を進め、続いてステップＳｆ_１０でアイコンｉ
に対応するロット群Ａの等高線図表示を行う。また同様
に、ステップＳｆ_１１でアイコンｊに対応するロット群
Ｂの鳥瞰図表示を行い、またステップＳｆ_１２でアイコ
ンｋに対応するロット群ＣのＢＯＸプロット表示を行
う。

【００３３】その後、解析作業が進み、終了したと判断
されると、ステップＳｆ_１３に進み、図１１に示すファ
イル機能メニューが表示された画面で「記録終了」のメ
ニューを選択する。「記録終了」のメニューを選択する
と、自動的に図１３に示すファイル名入力画面が表示さ
れ、ステップＳｆ_１４においてファイル名入力画面でワ
ークマップ名を入力して記録を終了する。以上の通りの
経過をたどって図２に構成が示される「ワークマップ」
が形成される。

【００３４】この結果、次の効果が得られる。（１）解析結果の保存管理の効率が向上する。

【００３５】・解析結果を紙や画像ファイルで出力する
必要がなくなる。

【００３６】・「ワークマップ」の編集（追加、削除）
をすることで、保管結果の見直しや整理が容易にでき
る。（２）解析ノウハウを共有できる。

【００３７】・自分のユーザＰＣ上のワークマップフォ
ルダあるいは、共有ワークマップフォルダを共有するこ
とで、ネットワーク上の誰もがワークマップを通して解
析結果の閲覧が可能となる。

【００３８】・解析手順を含めて閲覧できるため、解析
のノウハウ共有が可能になる。

【００３９】・特別な解析スキルを持っていない人で
も、解析手順や結果を閲覧することができる。（３）解析作業効率が向上する。

【００４０】・既存の「ワークマップ」から、それに関
連する他のロットやウェハやチップの解析を続けて行う
ことができ、新たなデータ検索操作や処理条件入力作業
が不要となる。

【００４１】・他の人が行った解析結果をもとに、別の
見方で解析作業を継続する場合等に活用できる。

【００４２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、品質管理データの解析結果の保存や管理及び
データの解析作業が効率よく行え、データ解析に関する
ノウハウを他の人と共有することが可能となる等の効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係るコンピュータネット
ワークを示す図である。

【図２】本発明の一実施形態におけるファイル内の構成
をアイコンにより表示したコンピュータ画面を示す図で
ある。

【図３】本発明の一実施形態におけるアイコン管理情報
を示す図である。

【図４】本発明の一実施形態におけるグラフＮＯ．を示
す図である。

【図５】本発明の一実施形態におけるファイルのフォル
ダ構成を示す図である。

【図６】本発明の一実施形態における記録操作のフロー
を示す図である。

【図７】本発明の一実施形態における表示操作のフロー
を示す図である。

【図８】本発明の一実施形態における削除操作のフロー
を示す図である。

【図９】本発明の一実施形態におけるアイコン削除操作
のフローを示す図である。

【図１０】本発明の一実施形態におけるアイコン追加操
作のフローを示す図である。

【図１１】本発明の一実施形態におけるファイルが設け
られているソフトウェアのファイル機能メニューが表示
されたコンピュータ画面を示す図である。

【図１２】本発明の一実施形態における記録開始のコン
ピュータ画面を示す図である。

【図１３】本発明の一実施形態における記録終了時のフ
ァイル名入力のコンピュータ画面を示す図である。

【図１４】本発明の一実施形態におけるローカルフォル
ダのファイル指定のコンピュータ画面を示す図である。

【図１５】本発明の一実施形態におけるネットワークフ
ォルダのファイル指定のコンピュータ画面を示す図であ
る。

【図１６】本発明の一実施形態におけるネットワークの
ファイル接続のコンピュータ画面を示す図である。

【図１７】本発明の一実施形態におけるファイルの記録
操作のフローを示す図である。

【図１８】本発明の一実施形態における既存のアイコン
の削除操作を説明するための図で、図１８（ａ）は削除
操作前のコンピュータ画面を示す図、図１８（ｂ）は削
除操作後のコンピュータ画面を示す図である。

【図１９】本発明の一実施形態におけるアイコンの追加
操作を説明するための図で、図１９（ａ）は追加操作前
のコンピュータ画面を示す図、図１９（ｂ）は追加操作
後のコンピュータ画面を示す図である。

【符号の説明】

１…コンピュータネットワーク２…共有サーバ３…ライン４…ユーザーパーソナルコンピュータ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体製造工程の品質管理データを記
録、保存する手段と、保存された前記データを読み出し
可能にする手段と、前記データを読み出して解析を行っ
た後の解析結果データを元データ、解析手順と共に記
録、保存する手段とを備えていることを特徴とする半導
体製造工程のデータ解析システム。
【請求項２】データが、階層レベル構成となっている
ことを特徴とする請求項１記載の半導体製造工程のデー
タ解析システム。
【請求項３】データの階層レベル構成が、製造工程全
体レベル、ロットレベル、ウェハレベル、チップレベル
と順に下階層化するように組み立てられていることを特
徴とする請求項２記載の半導体製造工程のデータ解析シ
ステム。
【請求項４】元データ、解析結果データ、解析手順
が、再読み出し、再解析を可能とする手段を備えている
ことを特徴とする請求項１記載の半導体製造工程のデー
タ解析システム。