JP2000268407A - 光ディスク - Google Patents

光ディスク

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JP2000268407A
JP2000268407A JP11075772A JP7577299A JP2000268407A JP 2000268407 A JP2000268407 A JP 2000268407A JP 11075772 A JP11075772 A JP 11075772A JP 7577299 A JP7577299 A JP 7577299A JP 2000268407 A JP2000268407 A JP 2000268407A
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diamond
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disk
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Yoshitaka Hayashi
嘉隆 林
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 より正確に小さいピットを記録するため、記
録層の流動、熱伝導、急冷構造などをより正確に制御
し、又、媒体の硬度を高め耐摩耗性を向上する。 【解決手段】 基板上に記録層及び反射層を少なくとも
有する光記録媒体において、ダイヤモンドまたはダイヤ
モンドライクカーボン層を設けた光ディスクである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光ディスクに代表さ
れるような光学的に情報の記録または再生が可能な光情
報記録においてより小さい光スポット径で記録再生を行
うために媒体の構成要素としてダイヤモンドまたはダイ
ヤモンドライク薄膜を用いることにより大容量光情報記
録を実現する技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光記録媒体としてはコンパクトディスク
に代表されるようにディスク状情報記録媒体が良く知ら
れているが、マルチメディア、情報ネットワークの時代
になりさらなる大容量の記録システムが必要とされてい
る。
【0003】光ディスクメモリとしては読み出し専用、
追記型、書き換え型があるが、読み出し専用としてはC
D−ROM、DVD−ROM、追記型としてCD−Rな
ど、書き換え型として相変化記録方式、光磁気記録方式
のものが実用化されている。大容量化の方法としては大
きく分けて記録ピットを小さくする、同一場所に複数の
情報を記録する2つに分けられる。記録ピットを小さく
していくと再生時に再生光スポットの中に複数のピット
が入ってしまうため、各情報を読み出すのが困難とな
る。小さい記録ピットを記録再生するためには光をより
小さく絞りスポットサイズを小さくすることが必要であ
る。小さいピットの再生としては、スポットサイズ以下
のピットを読み出すための方法として光磁気記録方式を
中心に超解像再生が提案されている。これは記録層の上
にマスク層を設け再生光のスポット内の温度分布を利用
してスポット径よりも微少なピットを再生しようという
方法である。マスク層として相変化材料を利用し、相変
化層が相変化することにより光学定数が変化することを
利用している方法、また、フォトクロミック層をマスク
層として用いる方法も報告されている。
【0004】また、小さいピットを記録するためにスポ
ット径を小さくする試みとしてレンズの開口率NAを大
きくする方法がある。スポット径は波長をλとするとλ
/NAに比例するためスポット径を小さくするためには
波長を小さくするか開口率を大きくすることが考えられ
る。波長は半導体レーザーの進歩に依存するため開口率
を大きくする方法が提案されている。その例としてソリ
ッドイマージョンレンズ(SIL)を用いたもの(例え
ば特開平8−212579)がある。
【0005】また、近接場光を用いて小さいピットを記
録する試みもされている(例えば特開平7−19104
6など)。近接場光を用いると光スポットの収束限界以
下のスポットを形成可能であり、小さいスポットを光磁
気記録媒体上、相変化記録媒体上に形成できたという報
告もある。
【0006】これらの方法を用いることにより小さいピ
ットが形成可能となってきたが、ソリッドイマージョン
レンズを用いた場合には開口率が大きくなり光を小さく
収束させるためより精密にスポット位置を制御する必要
がある。そのためヘッドと記録媒体との距離を小さくす
る必要があった。また、近接場光記録においても近接場
光は光の波長以下の微細開口の極近傍でのみ生じている
ためヘッドと記録媒体の距離を小さくする必要があっ
た。
【0007】これらのように高密度化を行おうとすると
ヘッドと記録媒体との距離を近づける必要があり、その
ため、ヘッドと媒体が記録再生の動作中に接触する可能
性が生じてきた。また、場合によってはヘッドと媒体を
接触する必要が生じその場合にも媒体の耐摩耗性など強
度が必要となっていた。
【0008】また、媒体自体も記録密度の向上とともに
小さい領域で記録をする必要があり、そのためには小さ
い領域で熱が急激に上昇して急激に冷却されるような材
料、構造をとる必要があった。つまり小さい領域にピッ
トを形成するためには熱が拡散しにくい材料、構造とす
る必要が生じてきた。また、熱衝撃から記録層を保護す
るための方法も必要となっていた。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】高密度媒体を実現する
ため、小さいピットを形成する必要があり、より正確に
小さいピットを記録するため記録層の流動、熱伝導、急
冷構造などをより正確に制御することが課題となってい
た。
【0010】また、記録密度の向上にともない、媒体、
ヘッド間の間隔を狭くする必要が生じているがそのため
媒体の硬度を高め耐摩耗性を向上させることと記録再生
特性の両立が課題であった。そこで本発明では、請求項
1から請求項10までの発明においてこれらの課題を解
決し高密度光ディスクを提供することを目的としてい
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、光ディスクの一構成要素としてダイヤモン
ドまたはダイヤモンドライク薄膜を用いている。それに
より媒体の耐摩耗性を向上させ、また記録媒件の熱伝導
条件などを制御する構成を実現し高密度光ディスクを提
供する。以下で本発明の構成例を示し課題を解決するた
めの手段について説明する。
【0012】請求項1記載の発明はディスク表面にダイ
ヤモンドまたはダイヤモンドライクカーボン層を設けた
光ディスクに関するものである。本発明の光ディスクは
表面にダイヤモンドまたはダイヤモンドライクカーボン
層を施すことにより再生専用ディスク、追記型光ディス
ク、書換え型光ディスクのいずれにも適用できる。記録
ヘッド、再生ヘッド側の媒体表面にダイヤモンドまたは
ダイヤモンドライクカーボン層を設ける。この場合の光
記録媒体は透過型方式、反射型方式のどちらでも適用で
きる。例えば、図1に示したように記録領域1をもつ光
ディスクの表面にダイヤモンドまたはダイヤモンドライ
クカーボン層2を設ける構成である。記録領域1は再生
専用ディスクであれば情報信号を記録した基板であり、
追記型、書換え型では図2のように基板3上の記録層を
含む領域である。高密度化にともない高NAレンズを用
いた方式や近接場光を用いた方式が提案されているが、
これらの方式では記録媒体と光ヘッドとの距離を小さく
する必要がある。そのため媒体とヘッドが接触するなど
で損傷を受ける場合がある。また、記録密度をさらに向
上させるため、媒体とヘッドを接触させる構成とする場
合がある。ダイヤモンドまたはダイヤモンドライクカー
ボン層は硬度が高いためディスク表面に施すことにより
ディスクの耐摩耗性が向上できる。ダイヤモンドまたは
ダイヤモンドライクカーボン薄膜はCVD法、スパッタ
リング法などの気相成長法で作製できる。特にプラズマ
CVD法は膜形成速度が速く、生産性が高いため好適で
ある。
【0013】請求項2記載の発明は、基板3上に少なく
とも1層以上の保護層と記録層を含む多層構造を含み、
ダイヤモンドまたはダイヤモンドライクカーボン層を表
面に設けた光ディスクに関するものである。主に追記型
光ディスク、書換え型光ディスクに適用でき、例えば図
3に示したように基板3上に記録層4を設けその上に保
護層5、ダイヤモンドまたはダイヤモンドライクカーボ
ン層2を設ける構成である。基板3としては樹脂、ガラ
ス、セラミクスなどが例示できるが樹脂基板が成形性、
コストの点で好適である。また、表面の平坦性という点
でガラスが好ましい場合がある。樹脂の例としてはポリ
カーボネート樹脂、アクリル樹脂、ェポキシ樹脂、ポリ
スチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコン樹脂、フ
ッ素系樹脂、シクロオレフィン系樹脂などが挙げられる
が加工性、光学特性などの点でポリカーボネート樹脂が
好ましい。記録層4としては追記型記録に用いられる有
機色素材料などが挙げられる。書換え型記録媒体に用い
られるような相変化材料、光磁気記録材料なども例示で
きる。保護層5としてはZnS・SiO2、SiNx、A
lNx、ZnS、ZnO、SiO2などが挙げられるが、
これらのうちから線速などに対応した熱設計、光学設計
によって選択することが好ましい。これらはスパッタ
法、蒸着法、CVDなどの真空製膜法により形成され
る。また、必要に応じて不純物を含んでも良い。ただ
し、これらの保護層材料としては記録層よりも融点が高
いことが必要である。基板3と記録層4との間に保護層
5を設けるような構成も好ましい。また、反射層、放熱
層として金属層を設けることもできる。
【0014】請求項3記載の発明は、保護層としてダイ
ヤモンドまたはダイヤモンドライクカーボン層を用いた
光ディスクに関するものである。追記型記録媒体、書換
え型記録媒体において主に記録時の熱衝撃から記録層を
保護するための保護層としてダイヤモンドまたはダイヤ
モンドライクカーボンが用いられる。図4に示したよう
に追記型記録媒体に適用する場合は例えば基板3上に反
射層6、記録層4の順に設けその上面に保護層5として
ダイヤモンドまたはダイヤモンドライクカーボン層を設
ける構成とする。ダイヤモンドまたはダイヤモンドライ
クカーボンは熱伝導率が高いため急冷構造とすることが
可能となり、熱の拡散を抑えられるため小さいピット形
成が可能となる。また、主に記録時に記録層4が高温と
なることによる熱的な損傷を防ぐ役割をになう。記録層
4としては有機色素などが挙げられる。図5に示したよ
うに書換え型記録媒体に適用する場合には基板3上に反
射層6、下部保護層7、記録層4、上部保護層8の順の
多層構成とするディスクが例としてあげられる。上部保
護層8をダイヤモンドまたはダイヤモンドライクカーボ
ン層とする構成であるが、下部保護層7、上部保護層8
の両方をダイヤモンドまたはダイヤモンドライクカーボ
ンとすることも可能である。このような構成にすること
により熱拡散を制御でき、熱衝撃に対しても強くなる。
また、上部保護層7をダイヤモンドまたはダイヤモンド
ライクカーボンとすることにより機械的強度が向上する
のでヘッドなどにより媒体表面がこすれても耐摩耗性が
向上し記録特性が低下することはない。記録層4として
はTbFeCo系、PtCoのような光磁気材料、Ge
SbTe系、AgInSbTe系のようなカルコゲン系
の材料に代表される相変化材料などがあげられ、これら
はスパッタ法、蒸着法、CVD法などの真空製膜法、電
着法、ゾルゲル法などの湿式法などにより形成される。
反射層6は放熱の役割も担いAu、Ag、Cu、Alな
どの金属やその合金系が例示できるが光の反射率が高く
熱伝導率が高いものであれば特に限定はない。
【0015】請求項4記載の発明は記録層として少なく
ともAg、In、Sb、Teを含む材料を用いた光ディ
スクに関するものである。この光ディスクの構成は請求
項1,2、および3のような構成であれば十分であり、
記録層4としてAgInSbTe合金などが用いられ
る。また、必要に応じて不純物を含んでも良い。例えば
図6に示したように、基板3、反射放熱層6、下部保護
層7、記録層4、上部保護層8のような構成で上部保護
層上にダイヤモンドまたはダイヤモンドライクカーボン
層2を用いるような構成が可能である。
【0016】請求項5記載の発明は記録層の材料として
有機色素材料を用いた光ディスクに関するものである。
記録層4として材料の例としてはシアニン系、フタロシ
アニン系、アゾ系などの有機色素を用いることができ
る。これらはスピンコート法、ディップ法等の塗布法に
より形成できる。ディスクの層構成としては上述した発
明で述べた例のような構成が可能である。
【0017】請求項6に記載の発明はディスク表面に施
したダイヤモンドまたはダイヤモンドライクカーボン層
2の上に潤滑層9を設けた光ディスクに関するものであ
る。図7に示したように上述した構成のようなディスク
の上面にダイヤモンドまたはダイヤモンドライクカーボ
ン層2を設け、その上の表面に潤滑層9を設けることに
よりディスクとヘッドとの潤滑が改善され接触しても媒
体が損傷を受け難くなる。また、接触させて使用する構
成においても動作が滑らかになる。本発明は上述した様
々なディスク構成に準用可能である。潤滑層としては炭
化水素系潤滑剤とフッ素系潤滑剤が用いられる。炭化水
素系潤滑剤としてはステアリン酸、オレイン酸等のカル
ボン酸類、ステアリン酸ブチル等のエステル類、オクタ
デシルスルホン酸等のスルホン酸類、リン酸モノオクタ
デシル等のリン酸エステル類、ステアリンアルコール、
オレインアルコール等のアルコール類、ステアリン酸ア
ミド等のカルボン酸アミド類、またはステアリルアミン
等のアミン類などが好ましい。さらに、フッ化系潤滑剤
として上記炭化水素系潤滑剤のアルキル基の一部または
全部をフルオロアルキル基もしくはパーフルオロポリエ
ーテル基で置換した潤滑剤がより好ましい。これらの潤
滑層9は、ディッピング法、スプレー塗布法、スピンコ
ート法などで形成される。特にダイヤモンドライクカー
ボンとフッ素系潤滑剤は結合が強く強固な保覆層の形成
が可能となり好適である。
【0018】請求項7記載の発明は基板としてガラスを
用いた光ディスクに関するものである。基板としてガラ
スを用いることにより樹脂基板を用いた場合に比べより
平滑な面を作ることが可能となる。平滑面とすることで
ヘッドと媒体の接触による損傷が避けられ、また接触で
使用する場合においてもディスク面の凹凸でヘッドなど
を壊す心配が無くなる。
【0019】請求項8記載の発明は基板としてアルミニ
ウムまたはアルミニウム合金を用いた光ディスクに関す
るものである。アルミニウムまたはアルミニウム合金は
樹脂製基板に比べより平滑な面を作ることが可能とな
る。平滑面とすることでヘッドと媒体の接触による損傷
が避けられるためヘッドと媒体の距離をさらに小さくで
きる、または接触させた場合でもヘッド、媒体双方に損
傷を生じることを避けられる。また、反射層、放熱層と
しての役割を持つ金属層の役割を兼ねることができる。
【0020】請求項9記載の発明は基板上に構成した多
層膜の一部または多層膜それ自体が図8のような下部保
護層7、記録層4、ダイヤモンドまたはダイヤモンドラ
イクカーボン層2、潤滑層9の順に積層した層構成を含
む多層膜を構成要素とする光ディスクに関するものであ
る。この構成を含むことにより熱特性、光学特性の両立
をし優れた記録特性を示す光ディスクが実現可能とな
る。
【0021】請求項10記載の発明は記録層よりも光の
入射側にある層の膜厚が100nm以下である光ディス
クに関するものである。100nm以下にすることによ
りディスク内部に入射した光が感度よく記録層に入射
し、より良好に記録でき高密度記録可能な光ディスクが
実現可能となる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下に実施例を示して、本発明を
さらに詳細に説明する。しかし、本発明はなんら実施例
に限定されるものではない。
【0023】実施例1 請求項1の発明の実施例を示す。図1、図2のような記
録媒体を用いた。図1に示した再生専用ディスクでは記
録領域1として情報信号に対応したピットを形成したポ
リカーボネートまたはガラス基板上にAl合金膜を12
0nm作製したものを用い、その上にECRプラズマC
VD法で作製したダイヤモンドライク薄膜2を20nm
形成した。図2の書換え型光ディスクでは基板3として
直径120mmφのポリカーボネートまたはガラスを用
い、記録領域1としてAl合金膜を120nm、ZnS
・SiO2膜を150nm、GeSbTe膜を17n
m、ZnS・SiO2膜を30nm形成し、その上にE
CRプラズマCVD法で作製したダイヤモンドライク薄
膜2を20nm形成することで光ディスクを作製した。
【0024】実施例2 請求項2の発明の実施例を以下に示す。図3のような層
構成で、直径120mmφのガラス基板3上に記録層4
としてGeSbTe層を20nm、保護層5としてZn
S・SiO2層を20nmとし、その上にECRプラズ
マCVD法で作製したダイヤモンドライク薄膜2を20
nm形成した。これを請求項2の発明の光ディスクとし
た。この光ディスクはダイヤモンドライク薄膜側から光
を入射し、再生は透過光を利用する。
【0025】実施例3 請求項3の発明の実施例を以下に示す。図4,5のよう
な層構成のディスクとした。図4に示した追記型光ディ
スクの場合は、直径120mmφのポリカーボネート基
板3上に反射層6としてAlTi合金層を100nm、
記録層4としてフタロシアニン系の有機色素をスピンコ
ートで塗布し、保護層5としてCVD法で作製したダイ
ヤモンドライク薄膜2を20nm形成した。図5の書換
え型ディスクは直径120mmφのポリカーボネート基
板3上に反射層6としてAlTi合金層を100nm、
下部保護層7としてSiN層を130nm、記録層4と
してTbFeCo膜を15nm、上部保護層8としてC
VD法で作製したダイヤモンドライク層を25nm形成
し光ディスクを作製した。
【0026】実施例4 請求項4の発明の実施例を以下に示す。図5のような層
構成のディスクとした。直径120mmφのガラス基板
3上に反射層6としてAlCr合金層を100nm、下
部保護層7としてZnS・SiO2層を150nm、記
録層4としてAgInSbTe膜を17nm、上部保護
層8としてCVD法で作製したダイヤモンドライク層を
20nm形成し光ディスクを作製した。
【0027】実施例5 請求項5の発明の実施例を以下に示す。図4のような層
構成で、直径120mmφのガラス基板3上に反射層6
としてAu層を100nm、記録層4としてフタロシア
ニン系の有機色素をスピンコートで塗布し保護層5とし
てCVD法で作製したダイヤモンドライク薄膜2を20
nm形成した。これを請求項5の発明の光ディスクとし
た。
【0028】実施例6 請求項6の発明の実施例を示す。図7のように上述した
例のようなディスク表面にCVD法で作製したダイヤモ
ンドライク薄膜2を20nm形成した。その上面に潤滑
層9として、パーフルオロポリエーテル系の潤滑剤を、
ディッピング法により厚み1.0nmで形成した。これ
を請求項6の発明の光ディスクとした。
【0029】実施例7 請求項7の発明の実施例を示す。図6のような構成の光
ディスクを用いた。直径120mmφのガラス基板3上
に反射層6としてAlTi合金層を120nm、下部保
護層7としてダイヤモンドライク層を150nm、記録
層4としてAgInSbTe膜を17nm、上部保護層
8としてCVD法で作製したダイヤモンドライク層を2
0nm形成し光ディスクを作製した。
【0030】実施例8 請求項8の発明の実施例を示す。図8のような構成の光
ディスクを用いた。直径120mmφのアルミニウム基
板3上に下部保護層7としてZnS・SiO2層を15
0nm、記録層4としてAgInSbTe膜を17n
m、CVD法で作製したダイヤモンドライク層2を20
nm形成し、その上面に潤滑層9として、パーフルオロ
ポリエーテル系の潤滑剤を、ディッピング法により厚み
1.0nmで形成した。これを請求項8の発明の光ディ
スクとした。
【0031】実施例9 請求項9の発明の実施例を以下に示す。図9のような構
成の光ディスクを用いた。直径120mmφのガラス基
板3上に反射層6としてAlTi合金層を120nm、
下部保護層7としてZnS・SiO2層を150nm、
記録層4としてAgInSbTe膜を18nm、CVD
法で作製したダイヤモンドライク層2を20nm形成
し、その上面に潤滑層9として、パーフルオロポリエー
テル系の潤滑剤を、ディッピング法により厚み2nmで
形成した。これを請求項9の発明の光ディスクとした。
光ディスクを作製した。
【0032】実施例10 請求項10の発明の実施例として、上記の例のように記
録層よりも光の入射側にある層の膜厚が100nm以下
にする構成を請求項10の発明の光ディスクとした。例
えば実施例9で示した例では記録層よりも光の入射側に
ある層の膜厚は22nmである。
【0033】
【発明の効果】1.請求項1の発明により高密度光ディ
スクを提供できる。 2.請求項2の発明によりヘッドと媒体の距離を小さく
することが可能となり追記型光ディスクや書換え型光デ
ィスクにおいても高密度化が可能となる。 3.請求項3の発明により耐摩耗性などに優れた高密度
光ディスクを提供できる。
【0034】4.請求項4の発明のように記録層にAg
InSbTe系の材料を用いることで書換え特性に優れ
た高密度光ディスクを提供可能となる。 5.請求項5の発明のように記録層を有機色素材料とす
ることにより低コストで優れた特性を持つ高密度光ディ
スクを提供できる。 6.請求項6の発明によりヘッドと媒体の間隔を小さく
しても良好な動作が得られ高密度記録が可能となる。
【0035】7.請求項7の発明により平滑性に優れた
ディスクが実現できヘッドと媒体の距離をさらに小さく
することが可能となるためより高密度な光ディスクを提
供できる。 8.請求項8の発明により平滑性に優れたディスクが実
現できヘッドと媒体の距離をさらに小さくすることが可
能となる。また反射層を兼用できるため簡単な構成で高
密度光ディスクを実現できることになる。
【0036】9.請求項9の発明により層構成を限定し
記録再生特性に優れた高密度光ディスクを提供可能とな
る。 10.請求項10の発明により膜厚を限定することによ
り優れた記録再生特性を発揮する高密度光ディスクを提
供可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ディスク表面にダイヤモンドまたはダイヤモン
ドライクカーボン層を設けた光ディスクの一構成例を示
す断面図。
【図2】ディスク表面にダイヤモンドまたはダイヤモン
ドライクカーボン層を設けた光ディスクの一構成例を示
す断面図。
【図3】基板上に少なくとも1層以上の保護層と記録層
を含む多層構造からなる光ディスクの一構成例を示す断
面図。
【図4】保護層としてダイヤモンドまたはダイヤモンド
ライクカーボン層を用いた光ディスクの一構成例を示す
断面図。
【図5】保護層としてダイヤモンドまたはダイヤモンド
ライクカーボン層を用いた光ディスクの一構成例を示す
断面図。
【図6】記録層として少なくともAg、In、Sb、T
eを含む材料を用いた光ディスクの一構成例を示す断面
図。
【図7】ディスク表面に施したダイヤモンドまたはダイ
ヤモンドライクカーボン層の上に潤滑層を設けた光ディ
スクの一構成例を示す断面図。
【図8】基板上に下部保護層、記録層、ダイヤモンドま
たはダイヤモンドライクカーボン層、潤滑層の順に積層
した層構成を含む多層膜を構成する光ディスクの一構成
例を示す断面図。
【図9】本発明の光ディスクの代表的な一構成例を示す
断面図。
【符号の説明】
1 記録領域 2 ダイヤモンドまたはダイヤモンドライクカーボン層 3 基板 4 記録層 5 保護層 6 反射層 7 下部保護層 8 上部保護層 9 潤滑層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 7/24 535 G11B 7/24 535G 535H

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に記録層及び反射層を少なくとも
    有する光情報記録媒体において、ダイヤモンドまたはダ
    イヤモンドライクカーボン層を設けたことを特徴とする
    光ディスク。
  2. 【請求項2】 1層以上の保護層と記録層を含む多層構
    造からなる請求項1記載の光ディスク。
  3. 【請求項3】 ダイヤモンドまたはダイヤモンドライク
    カーボン層を保護層として用いた請求項1又は2記載の
    光ディスク。
  4. 【請求項4】 記録層として少なくともAg,In,S
    b,Teを含む材料を用いる請求項1ないし3のいずれ
    か1項に記載の光ディスク。
  5. 【請求項5】 記録層の材料として有機色素材料を用い
    る請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光ディス
    ク。
  6. 【請求項6】 ダイヤモンドまたはダイヤモンドライク
    カーボン層の上に潤滑層を設けてなる請求項1ないし5
    のいずれか1項に記載の光ディスク。
  7. 【請求項7】 基板がガラスである請求項1ないし6の
    いずれか1項に記載の光ディスク。
  8. 【請求項8】 基板がアルミニウムまたはアルミニウム
    合金である請求項1ないし6のいずれか1項に記載の光
    ディスク。
  9. 【請求項9】 基板上に下部保護層、記録層、ダイヤモ
    ンドまたはダイヤモンドライクカーボン層、潤滑層の順
    に積層した層構成を含む多層膜を構成することを特徴と
    する光ディスク。
  10. 【請求項10】 記録層よりも光の入射側にある層の膜
    厚が100nm以下である請求項1ないし9のいずれか
    1項に記載の光ディスク。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20030004747A (ko) * 2001-07-06 2003-01-15 엘지전자 주식회사 근접장용 광 디스크의 적층구조
KR20030037753A (ko) * 2001-11-05 2003-05-16 엘지전자 주식회사 근접장용 광디스크 구조

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