JP2000264414A - Board conveying device - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品実装装置
において、プリント基板を搬送する基板搬送装置に関
し、特に、搬送装置に装着される搬送ベルト及びベルト
プーリに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a board transfer device for transferring a printed circuit board in an electronic component mounting apparatus, and more particularly, to a transfer belt and a belt pulley mounted on the transfer device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の基板搬送装置に装着される搬送ベ
ルトとベルトプーリを図４、図５を用いて説明する。図
４、図５は、従来の搬送ベルト、ベルトプーリ、ガイド
レールを示す断面図である。図４に示す搬送装置におい
て、１は平らな断面を有し、エンドレスに加工された搬
送ベルト、２はベルトプーリで、ベルトプーリの作用面
の両端には、搬送ベルト１をガイドする突起部１ａが設
けられており、搬送ベルト１の脱離を防止する。また、
ベルトプーリ２は、ガイドレール５に設けた軸５ａに軸
承され、ガイドレールの端面５ｂは基板４をガイドする
ように構成されている。2. Description of the Related Art A transfer belt and a belt pulley mounted on a conventional substrate transfer apparatus will be described with reference to FIGS. 4 and 5 are cross-sectional views showing a conventional conveyor belt, belt pulley, and guide rail. In the conveying apparatus shown in FIG. 4, reference numeral 1 denotes a conveying belt which has a flat cross section and is processed endlessly. Reference numeral 2 denotes a belt pulley. Is provided to prevent the transport belt 1 from being detached. Also,
The belt pulley 2 is supported on a shaft 5 a provided on a guide rail 5, and an end face 5 b of the guide rail is configured to guide the substrate 4.
【０００３】このように、従来の基板搬送装置において
は、基板４はベルトプーリ２によって駆動する搬送ベル
トにより搬送され、その両端はガイドレール５の端面５
ｂによりガイドされて搬送される構成となっている。ま
た、図５に示す搬送装置においては、ベルトプーリ３の
作用面の形状を、断面円弧状で中央部を高く形成し、搬
送ベルト１をベルトプーリ３の周速度の一番速い中央部
に誘導する形状にしている。その他の構成は図４の搬送
装置と同一であるので説明を省略する。As described above, in the conventional substrate transport apparatus, the substrate 4 is transported by the transport belt driven by the belt pulley 2, and both ends of the substrate 4 are guided by the end face 5 of the guide rail 5.
b and is conveyed while guided. Further, in the conveying device shown in FIG. 5, the shape of the working surface of the belt pulley 3 is formed in an arc-shaped cross section at the center portion to be higher, and the conveying belt 1 is guided to the center portion where the peripheral speed of the belt pulley 3 is the fastest. Shape. The other configuration is the same as that of the transport device in FIG.
【０００４】図６は、図４、図５に示す搬送ベルト、ベ
ルトプーリ及びガイドレールを備えた従来の基板搬送装
置を示す概要図である。図において、６はベルトプーリ
２，３を駆動するモータ、７はモータの駆動を制御する
コントローラ、８はガイドレール、９はセンサーであ
る。次に、図６（ａ）を用いて従来の基板搬送装置の搬
送動作を説明する。まず、基板が図示しない基板実装装
置のシステムラインから供給され、基板搬送装置のセン
サー９が基板を検知すると、検知信号を出力し、コント
ローラ７の指令でモータ６を駆動し、ベルトプーリ２，
３が回転し、これによって搬送ベルト１が回動し基板を
搬送する。FIG. 6 is a schematic diagram showing a conventional substrate transfer device provided with the transfer belt, belt pulley and guide rail shown in FIGS. In the figure, 6 is a motor for driving the belt pulleys 2 and 3, 7 is a controller for controlling the driving of the motor, 8 is a guide rail, and 9 is a sensor. Next, the transfer operation of the conventional substrate transfer device will be described with reference to FIG. First, when a substrate is supplied from a system line of a substrate mounting device (not shown) and a sensor 9 of the substrate transfer device detects the substrate, a detection signal is output and the motor 6 is driven by a command from the controller 7 to drive the belt pulley 2,
3 rotates, whereby the transport belt 1 rotates and transports the substrate.
【０００５】また、図６（ｂ）は搬送ベルト１の長さを
変更するため、図６（ａ）に示すガイドレール５をガイ
ドレール８に変更した場合の設備の変更を示す概要図で
ある。FIG. 6B is a schematic diagram showing a change in equipment when the guide rail 5 shown in FIG. 6A is changed to a guide rail 8 in order to change the length of the conveyor belt 1. .
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記に
示した従来の基板搬送装置においては、基板搬送装置の
レイアウトを変更する場合に次のような問題が生じてい
た。つまり、図６（ａ）（ｂ）に示すように、コンベア
長の変更が必要な場合には、変更するコンベア長に対応
する長さのガイドレールに変更しなければならない。そ
のため、新たなガイドレールの製作が必要となり、装置
コストの増の原因となり、また設備変更には長時間を必
要としていた。However, in the above-described conventional substrate transfer apparatus, the following problem occurs when the layout of the substrate transfer apparatus is changed. In other words, as shown in FIGS. 6A and 6B, when the conveyor length needs to be changed, it must be changed to a guide rail having a length corresponding to the conveyor length to be changed. Therefore, it is necessary to manufacture a new guide rail, which causes an increase in equipment cost, and a long time is required for changing the equipment.
【０００７】そこで本発明は、上記した従来装置の有す
る問題点を解決するもので、搬送ベルトにガイドレール
と同じ基板のガイド機能を設けることにより、生産設備
のレイアウト変更に容易に対応できる基板搬送装置を提
供することを目的とする。The present invention solves the above-described problems of the conventional apparatus. By providing a conveyor belt with a guide function for the same substrate as a guide rail, a substrate transfer that can easily cope with a layout change of production equipment is provided. It is intended to provide a device.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するため、ベルトプーリにより駆動する搬送ベルトを
備えた基板搬送装置において、搬送ベルトは、ベルトプ
ーリの作用面に平行な搬送部と、搬送部から上方に突出
し基板をガイドする上方突起部を備えたことを特徴とす
る基板搬送装置である。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a substrate transfer apparatus provided with a transfer belt driven by a belt pulley, wherein the transfer belt includes a transfer section parallel to the working surface of the belt pulley. A substrate transporting device provided with an upper protruding portion projecting upward from the transporting portion to guide the substrate.
【０００９】本発明によれば、搬送ベルトに基板をガイ
ドするため上方に突出する突起部を設け、従来の基板搬
送装置におけるガイドレールの作用を有する構成とした
ことにより、搬送ベルトが設置される全長にわたってガ
イドレールを設ける必要がない。さらに、コンベア長を
変更するため搬送ベルト長を変更する場合には、搬送ベ
ルト長を変更し、ベルトプーリを支持するブラケットの
設置位置を変更することにより、容易にコンベア長を変
更することが可能となり、従来の基板搬送装置のよう
に、コンベア長の変更に伴う、ガイドレールの変更を行
う必要がなく、短時間で、かつ安価にコンベアのレイア
ウト変更に対応することができる。According to the present invention, the transfer belt is provided by providing the transfer belt with a protrusion protruding upward for guiding the substrate and having a function of a guide rail in a conventional substrate transfer apparatus. There is no need to provide guide rails over the entire length. Furthermore, when changing the conveyor belt length to change the conveyor length, the conveyor length can be easily changed by changing the conveyor belt length and changing the installation position of the bracket that supports the belt pulley. Thus, unlike the conventional substrate transfer device, there is no need to change the guide rail in accordance with the change in the conveyor length, and it is possible to respond to the change in the layout of the conveyor in a short time and at low cost.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、ベルトプーリにより駆動する搬送ベルトを備えた基
板搬送装置において、搬送ベルトは、ベルトプーリの作
用面に平行な搬送部と、搬送部から上方に突出し基板を
ガイドする上方突起部を備えたことを特徴とするもので
あり、搬送ベルトに基板をガイドするため上方に突出す
る突起部を設け、従来の基板搬送装置におけるガイドレ
ールの作用を有する構成としたことにより、従来装置の
ように搬送ベルトが設置される全長にわたってガイドレ
ールを設ける必要がなく、コンベア長を変更するため搬
送ベルト長を変更する場合には、搬送ベルト長を変更
し、ベルトプーリを支持するブラケットの設置位置を変
更することにより、容易にコンベア長を変更することが
可能となり、従来の基板搬送装置のように、コンベア長
の変更に伴う、ガイドレールの変更を行う必要がなく、
短時間で、かつ安価にコンベアのレイアウト変更に対応
することができる作用を有する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS According to a first aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus provided with a transfer belt driven by a belt pulley, wherein the transfer belt includes a transfer section parallel to a working surface of the belt pulley; An upper protrusion protruding upward from the transfer unit and guiding the substrate is provided, and the transfer belt is provided with a protrusion protruding upward to guide the substrate, and a guide rail in a conventional substrate transfer device is provided. With the configuration having the action of the above, it is not necessary to provide a guide rail over the entire length where the conveyor belt is installed unlike the conventional apparatus, and when the conveyor belt length is changed in order to change the conveyor length, the conveyor belt length is changed. By changing the position of the bracket that supports the belt pulley, the conveyor length can be easily changed. As the conveying device, with the change of the conveyor length, it is not necessary to change the guide rails,
It has the effect of being able to respond to a change in the layout of a conveyor in a short time and at low cost.
【００１１】請求項２に記載の発明は、搬送ベルトは、
ベルトプーリの作用面に設けた凹部に嵌合する下方突起
部を備えたことを特徴とするものであり、搬送ベルトの
蛇行を防ぐため、ベルトプーリに設けた凹部に嵌合する
下方突起部を設けたので、搬送ベルトを直行状態で走行
させることができ、基板を正確に搬送することができる
作用を有する。According to a second aspect of the present invention, the transport belt is
The belt pulley has a lower protruding portion that fits into a concave portion provided on an operation surface thereof.In order to prevent meandering of the conveyor belt, a lower protruding portion that fits into a concave portion provided on the belt pulley is provided. Since the transfer belt is provided, the transfer belt can be made to travel in a straight line, and has an operation of accurately transferring the substrate.
【００１２】請求項３に記載の発明は、搬送ベルトは、
ベルトプーリを挾持する１対の下方突起部を備えたこと
を特徴とするものであり、搬送ベルトの蛇行を防ぐた
め、ベルトプーリの両側を挾持する１対の下方突起部を
設けたので、搬送ベルトを直行状態で走行させることが
でき、基板を正確に搬送することができる作用を有す
る。According to a third aspect of the present invention, the transport belt is
It is characterized by having a pair of lower protrusions for holding the belt pulley, and a pair of lower protrusions for holding both sides of the belt pulley to prevent meandering of the conveyor belt. The belt can run in a straight line, and has an effect of accurately transporting the substrate.
【００１３】請求項４に記載の発明は、搬送ベルトは、
幅方向に一定間隔毎にスリットを有することを特徴とす
るものであり、搬送ベルトには一定間隔毎にスリットを
設けているので、搬送ベルト長の変更時におけるベルト
切断を容易にすることができる作用を有する。以下、図
１から図３を参照して本発明の基板搬送装置の実施の形
態を説明する。なお、図３に示す基板搬送装置の基本動
作については、従来装置で説明した動作と同じであるの
で説明を省略する。 （実施の形態１）図１は、本発明の実施の形態１の搬送
ベルト及びベルトプーリを示す断面図である。According to a fourth aspect of the present invention, the transport belt is
It is characterized by having slits at regular intervals in the width direction, and the transport belt is provided with slits at regular intervals, so that the belt can be easily cut when the transport belt length is changed. Has an action. Hereinafter, an embodiment of the substrate transfer apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. Note that the basic operation of the substrate transfer apparatus shown in FIG. 3 is the same as the operation described in the conventional apparatus, and the description is omitted. (Embodiment 1) FIG. 1 is a sectional view showing a conveyor belt and a belt pulley according to Embodiment 1 of the present invention.
【００１４】図１に示す搬送ベルト１１は、ベルトプー
リ１２の作用面に平行な搬送部１１ａと、基板４をガイ
ドするため上方に突出する上方突起部１１ｂと、搬送ベ
ルトの蛇行を防ぐため下方に突出する下方突起部１１ｃ
を備え、且つ、搬送ベルト１１には一定間隔毎にスリッ
ト１１ｄを設けている。また、ベルトプーリ１２は、搬
送ベルト１１の突起部１１ｂが嵌合する凹部１２ａを備
えている。図において、１５はブラケットであり、従来
装置が備えているガイドレールを有していない。 （実施の形態２）図２に示す搬送ベルト１４は、ベルト
プーリ１３の作用面に平行な搬送部１４ａと、基板４を
ガイドするため上方に突出する上方突起部１４ｂと、搬
送ベルトの蛇行を防ぐため下方に突出する１対の下方突
起部１４ｃを備え、且つ、搬送ベルト１４には一定間隔
毎にスリット１４ｄを設けている。The conveyor belt 11 shown in FIG. 1 has a conveyor section 11a parallel to the working surface of the belt pulley 12, an upper projection 11b projecting upward to guide the substrate 4, and a lower section 11b to prevent the conveyor belt from meandering. Projection 11c protruding from
And the conveyor belt 11 is provided with slits 11d at regular intervals. Further, the belt pulley 12 includes a concave portion 12a into which the protruding portion 11b of the transport belt 11 fits. In the figure, reference numeral 15 denotes a bracket, which does not have a guide rail provided in a conventional device. (Embodiment 2) The conveyor belt 14 shown in FIG. 2 has a conveyor section 14a parallel to the working surface of the belt pulley 13, an upper projection section 14b projecting upward to guide the substrate 4, and a meandering of the conveyor belt. In order to prevent this, a pair of lower protrusions 14c protruding downward is provided, and the conveyor belt 14 is provided with slits 14d at regular intervals.
【００１５】また、搬送ベルト１４の下方突起部１４ｃ
間の間隔は、ベルトプーリ１３を嵌合挾持する長さに形
成されている。図３は、図１、図２に示す搬送ベルト１
１、１４、ベルトプーリ１２、１３を備えた本発明の基
板搬送装置を示す概要図である。図において、１６はベ
ルトプーリ１２、１３を支持するブラケットであり、複
数のベルトプーリ１２、１３とモータ６を支持するブラ
ケット１５と、ブラケット１６によりベルトプーリ１
２、１３が支持されている。また、ベルト駆動モータ６
と、基板検出センサー９と、前記モータをコントロール
するコントローラ７は図６に示す従来装置と同一構成で
ある。The lower projection 14c of the conveyor belt 14
The interval between them is formed to a length that fits and holds the belt pulley 13. FIG. 3 is a perspective view of the conveyor belt 1 shown in FIGS.
FIG. 1 is a schematic diagram showing a substrate transfer device of the present invention provided with a belt pulleys 12 and 13 and a belt pulley 12. In the figure, reference numeral 16 denotes a bracket for supporting the belt pulleys 12 and 13, and a plurality of belt pulleys 12 and 13, a bracket 15 for supporting the motor 6, and the bracket 16 for the belt pulley 1.
2, 13 are supported. The belt drive motor 6
The board detection sensor 9 and the controller 7 for controlling the motor have the same configuration as the conventional apparatus shown in FIG.
【００１６】以上説明した通り、本発明によれば、搬送
ベルト１１、１４に基板４をガイドするため上方に突出
する突起部を設け、従来の基板搬送装置におけるガイド
レールの作用を有する構成としたことにより、図６に示
す従来の搬送装置のように、搬送ベルトが設置される全
長にわたってガイドレールを設ける必要がなく、また、
搬送ベルト１１、１４の蛇行を防ぐため、ベルトプーリ
１２、１３と嵌合状態を維持する下方突起部１１ｃ、１
４ｃを設けたので、搬送ベルト１１、１４を直行状態で
走行させることができ、基板４を正確に搬送することが
できる。As described above, according to the present invention, the transport belts 11 and 14 are provided with the protrusions projecting upward for guiding the substrate 4, and have a configuration having the function of the guide rail in the conventional substrate transport apparatus. This eliminates the need to provide a guide rail over the entire length on which the transport belt is installed, unlike the conventional transport device shown in FIG.
In order to prevent the conveyor belts 11 and 14 from meandering, the lower protrusions 11c and 1c maintain the fitted state with the belt pulleys 12 and 13.
Since the transport belts 4c are provided, the transport belts 11 and 14 can run in a straight line, and the substrate 4 can be transported accurately.
【００１７】さらに、搬送ベルト１１、１４には一定間
隔毎にスリットを設けているので、搬送ベルト長の変更
時におけるベルト切断を容易にすることができる。そし
て、本発明は上記の構成により、コンベア長を変更する
ため搬送ベルト長を変更する場合には、搬送ベルト長を
変更し、ベルトプーリ１２，１３を支持するブラケット
１６の設置位置をコンベア長に合わせて変更することに
より、容易にコンベア長を変更することが可能となり、
従来の基板搬送装置のように、コンベア長の変更に伴
う、ガイドレールの変更を行う必要がなく、短時間で、
かつ安価にコンベアのレイアウト変更に対応することが
できる。Further, since the conveyor belts 11 and 14 are provided with slits at regular intervals, the belt can be easily cut when the length of the conveyor belt is changed. According to the present invention, when the conveyor belt length is changed to change the conveyor length, the conveyor belt length is changed, and the installation position of the bracket 16 supporting the belt pulleys 12 and 13 is set to the conveyor length. By changing together, the conveyor length can be easily changed,
Unlike the conventional board transfer device, there is no need to change the guide rails due to the change in the conveyor length.
Further, it is possible to cope with a change in the layout of the conveyor at low cost.
【００１８】[0018]
【発明の効果】本発明によれば、搬送ベルトに基板をガ
イドするため上方に突出する突起部を設け、従来の基板
搬送装置におけるガイドレールの作用を有する構成とし
たことにより、従来の搬送装置のように搬送ベルトが設
置される全長にわたってガイドレールを設ける必要がな
く、また、搬送ベルトの蛇行を防ぐため、ベルトプーリ
と嵌合状態を維持する下方突起部を設けたので、搬送ベ
ルトを直行状態で走行させることができ、基板を正確に
搬送することができる。According to the present invention, the transfer belt is provided with a protrusion projecting upward for guiding the substrate, and has a function of a guide rail in the conventional substrate transfer apparatus. It is not necessary to provide guide rails over the entire length where the conveyor belt is installed, and a lower projection is provided to keep the conveyor belt engaged with the belt pulley in order to prevent meandering of the conveyor belt. The substrate can be run in a state, and the substrate can be transported accurately.
【００１９】さらに、搬送ベルトには一定間隔毎にスリ
ットを設けたので、搬送ベルト長の変更時におけるベル
ト切断を容易にすることができる。そして、さらにコン
ベア長を変更するため搬送ベルト長を変更する場合に
は、搬送ベルト長を変更し、ベルトプーリを支持するブ
ラケットの設置位置をコンベア長に合わせて変更するこ
とにより、容易にコンベア長を変更することが可能とな
り、従来の基板搬送装置のように、コンベア長の変更に
伴うガイドレールの変更を行う必要がなく、短時間で、
かつ安価にコンベアのレイアウト変更に対応することが
できる。Further, since the conveyor belt is provided with slits at regular intervals, the belt can be easily cut when the length of the conveyor belt is changed. If the conveyor belt length is changed to further change the conveyor length, the conveyor belt length can be easily changed by changing the length of the conveyor belt and changing the installation position of the bracket supporting the belt pulley to match the conveyor length. It is possible to change the guide rail with the change of the conveyor length, unlike the conventional board transfer device, and in a short time,
Further, it is possible to cope with a change in the layout of the conveyor at low cost.
【図１】（ａ）は本発明の実施の形態１の搬送ベルトと
ベルトプーリを示す断面図、（ｂ）は搬送ベルトの斜視
図である。FIG. 1A is a cross-sectional view illustrating a transport belt and a belt pulley according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 1B is a perspective view of the transport belt.
【図２】（ａ）は本発明の実施の形態２の搬送ベルトと
ベルトプーリを示す断面図、（ｂ）は搬送ベルトの斜視
図である。FIG. 2A is a cross-sectional view illustrating a transport belt and a belt pulley according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 2B is a perspective view of the transport belt.
【図３】本発明の基板搬送装置の正面図である。FIG. 3 is a front view of the substrate transfer device of the present invention.
【図４】従来例の搬送ベルトとベルトプーリを示す断面
図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a conventional conveyor belt and belt pulley.
【図５】従来例の搬送ベルトとベルトプーリを示す断面
図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a conventional conveyor belt and belt pulley.
【図６】（ａ）（ｂ）は従来の基板搬送装置の正面図で
ある。6A and 6B are front views of a conventional substrate transfer device.
４ 基板 ６ モータ ７ コントローラ １１ 搬送ベルト １１ａ 搬送部 １１ｂ 上方突起部 １１ｃ 下方突起部 １１ｄ スリット １２ ベルトプーリ １２ａ 凹部 １３ ベルトプーリ １４ 搬送ベルト １４ａ 搬送部 １４ｂ 上方突起部 １４ｃ 下方突起部 １４ｄ スリット １５ ブラケット １６ ブラケット 4 Substrate 6 Motor 7 Controller 11 Transport belt 11a Transport section 11b Upper projection 11c Lower projection 11d Slit 12 Belt pulley 12a Depression 13 Belt pulley 14 Transport belt 14a Transport section 14b Upper projection 14c Lower projection 14d Slit 15 Bracket 16 Bracket
フロントページの続き (72)発明者 佐々木 賢 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 3F023 AA05 AB05 BA06 BB02 BC01 3F024 CA01 CA06 DA07 DA17 3F033 GA02 GD01 GE06 LA00 Continued on the front page (72) Inventor Satoshi Sasaki 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. F term (reference) 3F023 AA05 AB05 BA06 BB02 BC01 3F024 CA01 CA06 DA07 DA17 3F033 GA02 GD01 GE06 LA00
Claims (4)
を備えた基板搬送装置において、搬送ベルトは、ベルト
プーリの作用面に平行な搬送部と、搬送部から上方に突
出し基板をガイドする上方突起部を備えたことを特徴と
する基板搬送装置。In a substrate transport apparatus provided with a transport belt driven by a belt pulley, the transport belt includes a transport section parallel to an operation surface of the belt pulley, and an upper projection projecting upward from the transport section and guiding the substrate. A substrate transfer device, comprising:
設けた凹部に嵌合する下方突起部を備えたことを特徴と
する請求項１記載の基板搬送装置。2. The substrate transfer device according to claim 1, wherein the transfer belt includes a lower protrusion that fits into a concave portion provided on an operation surface of the belt pulley.
１対の下方突起部を備えたことを特徴とする請求項１記
載の基板搬送装置。3. The substrate transfer device according to claim 1, wherein the transfer belt includes a pair of lower protrusions for holding the belt pulley.
リットを有することを特徴とする請求項１〜３いずれか
に記載の基板搬送装置。4. The substrate transport apparatus according to claim 1, wherein the transport belt has slits at regular intervals in the width direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7431699A JP2000264414A (en) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | Board conveying device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7431699A JP2000264414A (en) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | Board conveying device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000264414A true JP2000264414A (en) | 2000-09-26 |
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ID=13543607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7431699A Pending JP2000264414A (en) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | Board conveying device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000264414A (en) |
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| JP2009012971A (en) * | 2007-07-09 | 2009-01-22 | Asyst Technologies Japan Inc | Conveying device |
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