JP2009012971A

JP2009012971A - Conveying device

Info

Publication number: JP2009012971A
Application number: JP2007180082A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Adachi; 和弘安立; Masafumi Tsuchida; 雅史土田
Original assignee: Asyst Technnologies Japan Inc
Current assignee: Asyst Technnologies Japan Inc
Priority date: 2007-07-09
Filing date: 2007-07-09
Publication date: 2009-01-22
Anticipated expiration: 2027-07-09
Also published as: JP5109509B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To determine whether a conveyed article is placed at a correct posture or not when there is a risk that the conveyed article is inclinedly placed on a conveyor belt. SOLUTION: Projections 21a and 22a are formed on conveyor belts 21 and 22, respectively. Optical sensors 31 and 32 are arranged to sandwich a container 100 on the conveyor belts 21 and 22. The conveyor belts 21 and 22 are guided by a conveying roller 16 and the like to be curved downward, so that emission lights P of the optical sensors 31 and 32 passes below tips of the projections 21a and 22a toward the container 100. When the container 100 is inclined, one of the optical sensors 31 and 32 detects reflection lights or scattered lights and the other does not detect it, so as to determine whether the container 100 is inclined or not. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、搬送ベルトを有する搬送装置に関する。 The present invention relates to a conveying apparatus having a conveying belt.

例えば半導体製造工場において、半導体基板が収容されたフープ（ＦＯＵＰ；Front Opening Unified Pod）などを搬送する搬送装置が設けられていることがある。特許文献１はかかる搬送装置の具体的な一例であり、半導体を処理する各処理装置間にコンベヤが設置されており、かかるコンベヤが半導体ウェーハを収容したキャリア等を搬送する。特許文献１においては、コンベヤのレールに沿って複数のホイールが配列され、かかるホイールがキャリアの下面に形成された溝と嵌まり、ホイールを回転させることによってキャリアを移動する。一方、特許文献１のコンベヤの替わりに、特許文献２に示されているような搬送用のベルトを使用してもよい。 For example, a semiconductor manufacturing factory may be provided with a transport device that transports a FOUP (Front Opening Unified Pod) in which a semiconductor substrate is accommodated. Patent Document 1 is a specific example of such a transfer apparatus, and a conveyor is installed between each processing apparatus for processing a semiconductor, and the conveyor transfers a carrier or the like containing a semiconductor wafer. In Patent Document 1, a plurality of wheels are arranged along a rail of a conveyor, the wheels are fitted with grooves formed on the lower surface of the carrier, and the carrier is moved by rotating the wheel. On the other hand, instead of the conveyor of Patent Document 1, a conveyor belt as shown in Patent Document 2 may be used.

特表２００３−５０６２８９号公報Special table 2003-506289 gazette 特開平７−１９５５８５号公報JP-A-7-195585

図３は、搬送用のベルトを採用した搬送装置の一例である。本搬送装置は、搬送ローラ９０１、９０２及び９１１に巻き掛けられた搬送ベルト９２１及び９２２を有している。搬送ベルト９２１及び９２２はその幅方向に関して互いに離隔している（図３（ｂ）参照）。そして、被搬送物の一例である容器１００は、搬送ベルト９２１及び９２２間を跨ぐように載置される。搬送ベルト９２１及び９２２には、その幅方向に関して被搬送物を挟むように、一対の突出部９２１ａ及び９２２ａが形成されている。搬送ローラ９０１が駆動されることによって搬送ベルト９２１及び９２２が走行し、搬送ベルト９２１及び９２２上の被搬送物が所定の搬送方向に沿って搬送される。その際、被搬送物は搬送ベルト９２１及び９２２から転落したりしないよう突出部９２１ａ及び９２２ａによってガイドされる。また、この搬送装置には光センサ２００が設けられている。光センサ２００は、搬送ベルト９２１及び９２２上の被搬送物に向かって光を射出し、被搬送物によって反射又は散乱させられた光を検出することにより、被搬送物が載置されているか否かを検出する。 FIG. 3 is an example of a conveying apparatus that employs a conveying belt. This transport apparatus has transport belts 921 and 922 wound around transport rollers 901, 902 and 911. The conveyor belts 921 and 922 are separated from each other in the width direction (see FIG. 3B). And the container 100 which is an example of a to-be-conveyed object is mounted so that between the conveyance belts 921 and 922 may be straddled. The conveyor belts 921 and 922 are formed with a pair of protruding portions 921a and 922a so as to sandwich the object to be conveyed in the width direction. By driving the transport roller 901, the transport belts 921 and 922 travel, and the objects to be transported on the transport belts 921 and 922 are transported along a predetermined transport direction. At that time, the object to be conveyed is guided by the protrusions 921a and 922a so as not to fall from the conveying belts 921 and 922. Further, this transport device is provided with an optical sensor 200. The optical sensor 200 emits light toward the objects to be conveyed on the conveyor belts 921 and 922, and detects whether the object to be conveyed is placed by detecting light reflected or scattered by the objects to be conveyed. To detect.

しかし、この搬送装置のように搬送ベルト９２１及び９２２に突出部９２１ａ等が形成されていると、図３（ｃ）に示されているように、被搬送物が突出部９２１ａ等に引っ掛かって、傾斜したまま搬送ベルト９２１及び９２２上に載置される場合がある。このような姿勢のまま搬送装置が駆動されると、被搬送物が転倒したり、搬送先でうまく移転処理がなされなかったりする等の、搬送処理上の不具合が生じるおそれがある。したがって、被搬送物が正しい姿勢で載置されているか否かを検出し、正しい姿勢に戻すような処理を実行する必要がある。一方、光センサ２００は、被搬送物が存在するか否かを検出することは可能であるが、被搬送物の姿勢の良し悪しまで検出することはできない。 However, when the protruding portions 921a and the like are formed on the conveying belts 921 and 922 as in this conveying device, the object to be conveyed is caught on the protruding portions 921a and the like as shown in FIG. In some cases, the belt is placed on the conveyor belts 921 and 922 while being inclined. If the transport device is driven in such a posture, there is a risk of problems in the transport process, such as the object to be transported toppling over or the transfer process not being successfully performed at the transport destination. Therefore, it is necessary to detect whether or not the object to be transported is placed in the correct posture and to perform a process for returning to the correct posture. On the other hand, the optical sensor 200 can detect whether or not a transported object exists, but cannot detect whether the posture of the transported object is good or bad.

本発明の目的は、搬送ベルト上で被搬送物が傾斜して載置されるおそれがある場合に、被搬送物が正しい姿勢で載置されているか否かを検出することができる搬送装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a transport device capable of detecting whether or not a transported object is placed in a correct posture when there is a risk that the transported object is placed on the transport belt at an inclination. It is to provide.

Means and effects for solving the problems

本発明の搬送装置は、被搬送物が一方の面上に載置される搬送ベルトと、前記一方の面において前記被搬送物が載置される載置領域が平面に沿うように前記搬送ベルトが巻き掛けられた複数のローラと、前記ローラを駆動するローラ駆動手段と、前記載置領域上の前記被搬送物を前記搬送ベルトの幅方向に関して互いに挟むように配置され、前記載置領域上の前記被搬送物に向かって光を射出する反射型の一対の光センサとを備えている。そして、前記搬送ベルトの幅方向に関して前記載置領域上の前記被搬送物の幅より大きく互いに離隔するように、前記一方の面から突出する一対の突出部が前記搬送ベルトに形成されており、前記載置領域に垂直な方向に関して前記突出部の高さだけ前記載置領域から離隔した位置から前記載置領域の位置までの間に射出光の経路が配置されるように、前記一対の光センサがそれぞれ配置されており、前記ローラ駆動手段が前記ローラを駆動した際に、前記一方の面が凹む方向に前記搬送ベルトが湾曲し且つ当該搬送ベルトが湾曲した湾曲領域において前記突出部が前記射出光の経路と交差しないように、前記複数のローラが前記搬送ベルトを誘導する。 The transport apparatus according to the present invention includes a transport belt on which a transported object is placed on one surface, and the transport belt so that a placement region on which the transported object is placed on the one surface is along a plane. Are arranged so as to sandwich the object to be conveyed on the placement area with respect to the width direction of the conveyance belt, and on the placement area. A pair of reflective optical sensors that emit light toward the object to be conveyed. And, a pair of projecting portions projecting from the one surface is formed on the transport belt so as to be separated from each other larger than the width of the transported object on the placement area with respect to the width direction of the transport belt, The pair of light beams is arranged such that a path of the emitted light is arranged between a position separated from the previous placement area by a height of the protrusion with respect to a direction perpendicular to the placement area and a position of the previous placement area. Sensors are respectively arranged, and when the roller driving means drives the roller, the conveyor belt is curved in a direction in which the one surface is recessed, and the protruding portion is in the curved region where the conveyor belt is curved. The plurality of rollers guide the conveyance belt so as not to intersect the path of the emitted light.

本発明によると、搬送ベルトを湾曲させて突出部を退避させることにより、光センサからの射出光の経路が突出部によって遮断されないように構成されている。したがって、突出部の先端と搬送ベルトの搬送面との間の位置で被搬送物が存在するか否かを各光センサが検出することができる。これによって、被搬送物が突出部に引っかかるなどして傾斜した姿勢で載置されている場合には、一対の光センサのうち一方の光センサが被搬送物の側面において反射又は散乱した射出光を検出するのに対して、他方の光センサからの射出光は被搬送物の底面に対して射出されるため、射出光を検出しない。これによって、被搬送物が傾斜した姿勢で載置されているのを検出することが可能である。したがって、光センサの検出結果に基づいて、被搬送物が傾斜していることをオペレータに報知したり、被搬送物を正しい姿勢に修正する処理を実行したりすることが可能となる。 According to the present invention, the path of the light emitted from the optical sensor is not blocked by the protrusion by curving the conveyor belt and retracting the protrusion. Accordingly, each optical sensor can detect whether or not an object to be conveyed exists at a position between the tip of the protruding portion and the conveyance surface of the conveyance belt. As a result, when the object to be transported is placed in an inclined posture such as being caught by a protruding portion, one of the pair of optical sensors is reflected or scattered by the side surface of the object to be transported. However, since the light emitted from the other optical sensor is emitted toward the bottom surface of the object to be conveyed, the emitted light is not detected. As a result, it is possible to detect that the conveyed object is placed in an inclined posture. Therefore, based on the detection result of the optical sensor, it is possible to notify the operator that the conveyed object is tilted, or to execute a process for correcting the conveyed object to a correct posture.

また、本発明においては、平面視において前記湾曲領域と重なる位置に、前記射出光の経路を遮断しないように配置され、前記搬送ベルトが前記湾曲領域に向かって搬送した前記被搬送物を支持する支持ローラをさらに備えていることが好ましい。この構成によると、搬送ベルトが湾曲して被搬送物から離隔してしまう領域において、支持ローラが被搬送物を支持するため、被搬送物が円滑に搬送される。 Further, in the present invention, it is arranged at a position overlapping the curved area in plan view so as not to block the path of the emitted light, and the conveyor belt supports the object to be conveyed conveyed toward the curved area. It is preferable to further include a support roller. According to this structure, in the area | region where a conveyance belt curves and separates from a to-be-conveyed object, since a support roller supports a to-be-conveyed object, a to-be-conveyed object is conveyed smoothly.

また、本発明においては、前記被搬送物の底面が前記突出部に掛かるように前記被搬送物が前記載置領域上に傾斜して載置されたまま前記被搬送物が搬送された場合に、前記被搬送物の底面が掛かった前記突出部に近い方の前記光センサの検出範囲に前記被搬送物が掛からないように、前記一対の光センサが配置されていることが好ましい。この構成によると、被搬送物が傾斜して載置されている場合に、一方の光センサの検出範囲に被搬送物が掛からないため、被搬送物が傾斜していることを一対の光センサによって確実に検出することが可能である。 Further, in the present invention, when the transported object is transported while the transported object is inclined and placed on the placement area so that the bottom surface of the transported object is hooked on the protruding portion. It is preferable that the pair of optical sensors is arranged so that the object to be conveyed does not get caught in the detection range of the optical sensor closer to the projecting portion where the bottom surface of the object to be conveyed is hung. According to this configuration, when the object to be conveyed is placed at an inclination, the object to be conveyed does not hang on the detection range of one of the optical sensors. Can be reliably detected.

以下、本発明の好適な一実施形態について図１及び図２を参照しつつ説明する。本実施形態の搬送装置１は、例えば半導体製造ラインの一部として設置されるものである。かかる半導体製造ラインには、半導体基板に種々の処理を施す複数の装置が設置される。搬送装置１は、このような複数の装置間に設置され、半導体基板が収容された容器１００を各装置へと搬送する。 Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. The transfer apparatus 1 of this embodiment is installed as a part of semiconductor manufacturing line, for example. In such a semiconductor manufacturing line, a plurality of apparatuses for performing various processes on a semiconductor substrate are installed. The transfer apparatus 1 is installed between such a plurality of apparatuses, and transfers the container 100 containing the semiconductor substrate to each apparatus.

搬送装置１は、図１のように、複数のコンベアユニット２を有している。各コンベアユニット２は搬送ローラ１１〜１７を有している。これらのうち、搬送ローラ１１には駆動モータが接続されている（不図示）。搬送ローラ１１〜１７の周囲にはいずれも無端の搬送ベルト２１及び２２（図２参照）が巻き掛けられており、駆動モータによって搬送ローラ１１が回転すると、搬送ベルト２１及び２２が搬送ローラ１１〜１７の周囲を走行する。これによって、搬送ベルト２１及び２２上に載置された容器１００が、所定の搬送方向に沿って搬送される。 The conveyance apparatus 1 has a plurality of conveyor units 2 as shown in FIG. Each conveyor unit 2 has conveyance rollers 11-17. Among these, a driving motor is connected to the transport roller 11 (not shown). Endless transport belts 21 and 22 (see FIG. 2) are wound around the transport rollers 11 to 17, and when the transport roller 11 is rotated by a drive motor, the transport belts 21 and 22 are transported by the transport rollers 11 to 11. Drive around 17. As a result, the containers 100 placed on the transport belts 21 and 22 are transported along a predetermined transport direction.

これらのコンベアユニット２は、搬送元の地点から搬送先の地点までの搬送経路に沿って順に配列されている。その搬送経路において、各コンベアユニット２は、そのコンベアユニット２の搬送方向に関して下流に隣接したコンベアユニット２に容器１００を搬送する。このように各コンベアユニット２が次々に容器１００を搬送していくことにより、搬送元の地点から搬送先の地点へと容器１００が搬送される。 These conveyor units 2 are arranged in order along a transport path from a transport source point to a transport destination point. In the conveyance path, each conveyor unit 2 conveys the container 100 to the conveyor unit 2 adjacent downstream in the conveyance direction of the conveyor unit 2. Thus, the containers 100 are transported from the transport source point to the transport destination point by the conveyor units 2 transporting the containers 100 one after another.

搬送装置１は、コンベアユニット２を制御する搬送制御装置４０を有している。搬送制御装置４０は、各コンベアユニット２の駆動を他のコンベアユニット２の駆動とは独立に制御できるように構成されている。つまり、全てのコンベアユニット２を駆動して搬送元の地点から搬送先の地点へと容器１００を順次搬送する制御も、一部のコンベアユニット２のみを駆動して残りのコンベアユニット２を停止させておく制御も可能である。これによって、例えば、搬送経路上の複数の容器１００のうち、一部の容器１００についてはいずれかのコンベアユニット２と搬送元との間で留めておき、残りの先行する容器１００のみ搬送先へと搬送する、といった制御が可能である。 The transport apparatus 1 has a transport control apparatus 40 that controls the conveyor unit 2. The conveyance control device 40 is configured to control the driving of each conveyor unit 2 independently of the driving of other conveyor units 2. In other words, the control for driving all the conveyor units 2 to sequentially transfer the containers 100 from the transfer source point to the transfer destination point also drives only some of the conveyor units 2 and stops the remaining conveyor units 2. Control can also be performed. Thereby, for example, some of the plurality of containers 100 on the transport path are kept between any one of the conveyor units 2 and the transport source, and only the remaining preceding containers 100 are transported to the transport destination. Can be controlled.

図２（ａ）に示されるように、搬送ベルト２１及び２２は、搬送方向に直交する方向に関して互いに水平に離隔するように配置されている。搬送ベルト２１及び２２には、容器１００が載置される面から上方へと突出する突出部２１ａ及び２２ａがそれぞれ形成されている。搬送ベルト２１及び２２は、突出部２１ａ及び２２ａが搬送ベルトの幅方向に関して容器１００の幅より大きい距離だけ互いに離隔するように配置されている。突出部２１ａ及び２２ａは、搬送ベルト２１及び２２の長さ方向に沿って連続している。容器１００は、突出部２１ａ及び２２ａの間で搬送ベルト２１及び２２間の離隔領域を跨ぐように、これらのベルト上に載置される。突出部２１ａ及び２２ａによって、搬送ベルト２１及び２２上の容器１００が転落したりしないようガイドされている。 As shown in FIG. 2A, the conveyor belts 21 and 22 are arranged so as to be horizontally separated from each other in the direction orthogonal to the conveyance direction. The conveyor belts 21 and 22 are respectively formed with protruding portions 21a and 22a that protrude upward from the surface on which the container 100 is placed. The conveyor belts 21 and 22 are arranged such that the protruding portions 21a and 22a are separated from each other by a distance larger than the width of the container 100 in the width direction of the conveyor belt. The protrusions 21 a and 22 a are continuous along the length direction of the conveyor belts 21 and 22. The container 100 is placed on these belts so as to straddle the separation region between the conveyor belts 21 and 22 between the protruding portions 21a and 22a. The containers 100 on the conveyor belts 21 and 22 are guided by the protrusions 21a and 22a so as not to fall down.

搬送ローラ１１及び１２は、図１のように搬送方向に関して互いに水平に離隔するように設置されている。搬送ローラ１３及び１８は、いずれもその上端の高さが搬送ローラ１１及び１２の上端の高さと一致するように、搬送方向に関して水平に配列されている。また、搬送ローラ１４及び１７も上端の高さが搬送ローラ１１及び１２の上端の高さと一致するように設置されている。搬送ローラ１４及び１７は、搬送方向に関して容器１００の幅より小さい距離だけ互いに水平に離隔して配置されている。これらの搬送ローラは、搬送方向の上流から下流へと向かって、搬送ローラ１２、１３、１４、１７、１８及び１１の順に配置されている。搬送ベルト２１及び２２は、搬送ローラ１２、１３、１４、１７、１８及び１１の上端に接するようにこれらの搬送ローラに掛けられている。これらの搬送ローラによって搬送ベルト２１及び２２が誘導されることにより、搬送ベルト２１及び２２は、領域Ａ１において搬送方向に沿って水平に走行する。つまり、搬送ベルト２１及び２２は、領域Ａ１において容器１００が載置される面が水平に沿っている（載置領域）。 The conveyance rollers 11 and 12 are installed so as to be horizontally separated from each other in the conveyance direction as shown in FIG. The transport rollers 13 and 18 are horizontally arranged with respect to the transport direction so that the height of the upper ends thereof coincides with the height of the upper ends of the transport rollers 11 and 12. Further, the transport rollers 14 and 17 are also installed so that the height of the upper ends thereof coincides with the height of the upper ends of the transport rollers 11 and 12. The transport rollers 14 and 17 are horizontally spaced apart from each other by a distance smaller than the width of the container 100 in the transport direction. These transport rollers are arranged in the order of transport rollers 12, 13, 14, 17, 18, and 11 from the upstream to the downstream in the transport direction. The conveyor belts 21 and 22 are hung on these conveyor rollers so as to contact the upper ends of the conveyor rollers 12, 13, 14, 17, 18 and 11. By the conveyance belts 21 and 22 being guided by these conveyance rollers, the conveyance belts 21 and 22 travel horizontally along the conveyance direction in the region A1. That is, in the conveyor belts 21 and 22, the surface on which the container 100 is placed in the area A1 is horizontal (placement area).

一方で、搬送ローラ１５及び１６は、搬送ローラ１４及び１７より下方であって、搬送方向に関して搬送ローラ１４及び１７の間の位置に配置されている。搬送ローラ１５及び１６は、搬送方向に関して互いに水平に離隔するように配置されている。搬送ベルト２１及び２２は、搬送ローラ１４及び１７の間の領域Ａ２で下方に湾曲され、搬送ローラ１４及び１７が接している面とは反対側の面が搬送ローラ１５及び１６に接するように領域Ａ２において搬送ローラ１５及び１６に掛けられている。つまり、搬送ベルト２１及び２２は、領域Ａ２において容器１００が載置される面が下方へと凹むように湾曲している（湾曲領域）。 On the other hand, the transport rollers 15 and 16 are disposed below the transport rollers 14 and 17 and at a position between the transport rollers 14 and 17 in the transport direction. The transport rollers 15 and 16 are disposed so as to be horizontally separated from each other in the transport direction. The conveyance belts 21 and 22 are curved downward in an area A2 between the conveyance rollers 14 and 17, and the area opposite to the surface in contact with the conveyance rollers 14 and 17 is in contact with the conveyance rollers 15 and 16. At A2, it is hung on the transport rollers 15 and 16. That is, the conveyor belts 21 and 22 are curved so that the surface on which the container 100 is placed in the region A2 is recessed downward (curved region).

以上により、搬送ベルト２１及び２２は、各搬送ローラに誘導されつつ以下のように走行する。まず、搬送ローラ１２から領域Ａ１において右方へと水平に走行した後に、領域Ａ２に入ると搬送ローラ１４によって誘導されつつ下方へと湾曲し、搬送ローラ１５に向かう。次に、搬送ローラ１５によって誘導されつつ右方へと湾曲し、水平に走行して搬送ローラ１６に向かう。次に、搬送ローラ１６によって誘導されつつ上方へと湾曲して搬送ローラ１７へと向かう。次に、搬送ローラ１７によって誘導されつつ右方へと湾曲し、領域Ａ２から出て、領域Ａ１において右方へと水平に走行する。そして、搬送ローラ１１に到達して、搬送ローラ１１の下方を左方へと水平に走行し、搬送ローラ１２へと向かう。 Thus, the conveyor belts 21 and 22 travel as follows while being guided by the respective conveyor rollers. First, after traveling horizontally to the right in the area A 1 from the transport roller 12, when entering the area A 2, it is curved downward while being guided by the transport roller 14 and heads toward the transport roller 15. Next, it is curved to the right while being guided by the transport roller 15, travels horizontally, and travels toward the transport roller 16. Next, while being guided by the transport roller 16, it curves upward and travels toward the transport roller 17. Next, it is curved to the right while being guided by the conveying roller 17 and exits from the area A2 and travels horizontally to the right in the area A1. Then, it reaches the conveyance roller 11, travels horizontally to the left below the conveyance roller 11, and moves toward the conveyance roller 12.

図１に示されるように、領域Ａ２内には支持ローラ５１が設置されている。支持ローラ５１は、図２（ａ）に示されるように、搬送ベルト２１及び２２の間に位置しており、領域Ａ１から搬送されてきた容器１００の底面に当接して、容器１００を支持しつつ誘導する。 As shown in FIG. 1, a support roller 51 is installed in the area A2. As shown in FIG. 2A, the support roller 51 is located between the conveyor belts 21 and 22, and contacts the bottom surface of the container 100 conveyed from the region A1 to support the container 100. Guide.

また、図１及び図２（ａ）に示されるように、各コンベアユニット２には光センサ３１及び３２が設置されている。光センサ３１及び３２は、容器１００に向かって光を射出し、容器１００の側面によって反射又は散乱させられた射出光を受光することにより、搬送ベルト２１及び２２上に容器１００が載置されているか否かを検出するものである。光センサ３１及び３２は、搬送ベルト２１及び２２の幅方向に関して容器１００を互いに挟むように配置されている。光センサ３１及び３２は、図１に示されるように領域Ａ２内に設置されており、突出部２１ａ及び２２ａによって射出光が遮断されないような位置に設置されている。また、光センサ３１及び３２の上下方向の位置は、突出部２１ａ及び２２ａの上端の位置Ｈ１と、搬送ベルト２１及び２２の容器１００が載置される面の位置Ｈ２との間をそれぞれの射出光Ｐが通過するように調整されている。 Moreover, as shown in FIG. 1 and FIG. 2A, optical sensors 31 and 32 are installed in each conveyor unit 2. The optical sensors 31 and 32 emit light toward the container 100, and receive the emitted light reflected or scattered by the side surface of the container 100, so that the container 100 is placed on the conveyor belts 21 and 22. It is to detect whether or not. The optical sensors 31 and 32 are arranged so as to sandwich the container 100 with respect to the width direction of the conveyor belts 21 and 22. The optical sensors 31 and 32 are installed in the area A2 as shown in FIG. 1, and are installed at positions where the emitted light is not blocked by the protrusions 21a and 22a. Further, the vertical positions of the optical sensors 31 and 32 are emitted between the positions H1 of the upper ends of the protruding portions 21a and 22a and the position H2 of the surface on which the containers 100 of the conveyor belts 21 and 22 are placed. The light P is adjusted to pass through.

また、搬送ベルト２１及び２２の幅方向に関する光センサ３１及び３２の検出範囲３１ａ及び３２ａは、いずれも図２（ａ）に示されるような範囲に調整されている。つまり、検出範囲３１ａは、搬送ベルト２１と搬送ベルト２２との中間より光センサ３１寄りの位置までの範囲に、検出範囲３２ａは、搬送ベルト２１と搬送ベルト２２との中間より光センサ３２寄りの位置までの範囲に調整されている。光センサ３１及び３２の検出結果は、搬送制御装置４０に送信される。 Further, the detection ranges 31a and 32a of the optical sensors 31 and 32 with respect to the width direction of the conveyor belts 21 and 22 are all adjusted to a range as shown in FIG. That is, the detection range 31 a is a range from the middle between the transport belt 21 and the transport belt 22 to a position closer to the optical sensor 31, and the detection range 32 a is a position closer to the optical sensor 32 than the middle between the transport belt 21 and the transport belt 22. The range up to the position has been adjusted. The detection results of the optical sensors 31 and 32 are transmitted to the transport control device 40.

以上の構成により、光センサ３１及び３２の検出結果から、搬送ベルト２１及び２２上に容器１００が載置されているか否かのみならず、容器１００が正常な姿勢で載置されているか否かを以下のように判定することができる。 With the above configuration, from the detection results of the optical sensors 31 and 32, not only whether or not the container 100 is placed on the conveyor belts 21 and 22, but also whether or not the container 100 is placed in a normal posture. Can be determined as follows.

図２（ａ）のように、容器１００が正常な姿勢で載置されている場合には、検出範囲３１ａ及び３２ａのいずれも容器１００の側面に掛かっている。このため、光センサ３１及び３２からの射出光Ｐはいずれも容器１００の側面において反射又は散乱し、光センサ３１及び３２の両方において検出される。 As illustrated in FIG. 2A, when the container 100 is placed in a normal posture, both the detection ranges 31 a and 32 a are hung on the side surface of the container 100. For this reason, both the emitted lights P from the optical sensors 31 and 32 are reflected or scattered on the side surface of the container 100 and detected by both the optical sensors 31 and 32.

図２（ｂ）のように容器１００が突出部２１ａに引っ掛かり、傾斜して載置されている場合には、検出範囲３２ａは容器１００の側面に掛かっている一方で、検出範囲３１ａは容器１００に掛かっていない。したがって、光センサ３２において反射光又は散乱光が検出されるのに対して、光センサ３１においては検出されない。 As shown in FIG. 2B, when the container 100 is hooked on the protruding portion 21a and placed at an inclination, the detection range 32a is hung on the side surface of the container 100, while the detection range 31a is the container 100. Not hanging on. Therefore, reflected light or scattered light is detected by the optical sensor 32, but not detected by the optical sensor 31.

上記に基づき、搬送制御装置４０は、光センサ３１及び３２の両方において反射光又は散乱光が検出された場合に、容器１００が正常な姿勢で載置されていると判定する。光センサ３１及び３２の片方のみにおいて反射光又は散乱光が検出された場合には、容器１００が傾斜した姿勢で載置されていると判定する。光センサ３１及び３２のいずれにおいても反射光又は散乱光が検出されない場合には、容器１００が載置されていないと判定する。 Based on the above, the conveyance control device 40 determines that the container 100 is placed in a normal posture when reflected light or scattered light is detected in both the optical sensors 31 and 32. When reflected light or scattered light is detected in only one of the optical sensors 31 and 32, it is determined that the container 100 is placed in an inclined posture. When reflected light or scattered light is not detected in any of the optical sensors 31 and 32, it is determined that the container 100 is not placed.

容器１００が傾斜した姿勢で載置されていると判定した場合には、搬送制御装置４０が警告音を発すること等により、オペレータに対して容器１００が正常に載置されていない旨を報知するような構成が搬送装置１に設けられていてもよい。あるいは、容器１００の姿勢を正常なものに修正する手段を設け、容器１００が傾斜した姿勢で載置されていると判定した場合に自動で正常なものに修正してもよい。 When it is determined that the container 100 is placed in an inclined posture, the transfer control device 40 issues a warning sound or the like to notify the operator that the container 100 is not placed normally. Such a configuration may be provided in the transport device 1. Alternatively, means for correcting the posture of the container 100 to a normal one may be provided, and when it is determined that the container 100 is placed in a tilted posture, it may be automatically corrected to a normal one.

本実施形態の構成によると、搬送ベルト２１及び２２を図１の領域Ａ２において湾曲させており、その領域Ａ２に光センサ３１及び３２を設置している。そして、これによって、光センサ３１及び３２からの射出光が突出部２１ａ及び２２ａに遮断されないように構成している。したがって、突出部２１ａ及び２２ａの先端より下方において容器１００を各光センサ３１及び３２が検出することができる。そして、容器１００が突出部２１ａ又は２２ａに引っ掛かって傾斜した姿勢で載置されている場合には検出範囲３１ａ及び３２ａのいずれかが容器１００に掛からなくなるように光センサ３１及び３２が配置されている。これによって、容器１００が傾斜しているときには、光センサ３１及び３２のうちの一方が容器１００の存在を検出し他方の光センサが容器１００の存在を検出しないことにより、容器１００が正常な姿勢で載置されているか否かを検出することができる。したがって、光センサ３１及び３２の検出結果に基づいて、容器１００が傾斜していることをオペレータに報知したり、容器１００を正しい姿勢に修正する処理を実行したりすることが可能となる。 According to the configuration of the present embodiment, the conveyor belts 21 and 22 are curved in the area A2 in FIG. 1, and the optical sensors 31 and 32 are installed in the area A2. Thus, the light emitted from the optical sensors 31 and 32 is configured not to be blocked by the protrusions 21a and 22a. Accordingly, the optical sensors 31 and 32 can detect the container 100 below the tips of the protruding portions 21a and 22a. The optical sensors 31 and 32 are arranged so that one of the detection ranges 31a and 32a is not caught on the container 100 when the container 100 is placed in an inclined posture by being caught by the protrusion 21a or 22a. Yes. Accordingly, when the container 100 is inclined, one of the optical sensors 31 and 32 detects the presence of the container 100, and the other optical sensor does not detect the presence of the container 100, so that the container 100 is in a normal posture. It can be detected whether or not it is mounted. Therefore, based on the detection results of the optical sensors 31 and 32, it is possible to notify the operator that the container 100 is tilted or to execute processing for correcting the container 100 to a correct posture.

また、容器１００が傾斜しているときには検出範囲３１ａ及び３２ａのいずれかが容器１００に掛からなくなるように光センサ３１及び３２が配置されているため、容器１００が傾斜していることを確実に検出することが可能である。 Further, since the optical sensors 31 and 32 are arranged so that one of the detection ranges 31a and 32a is not caught on the container 100 when the container 100 is inclined, it is reliably detected that the container 100 is inclined. Is possible.

さらに、搬送ベルト２１及び２２が図１の領域Ａ２において容器１００から離隔するが、領域Ａ２に支持ローラ５１を設けることにより、容器１００に領域Ａ２を円滑に通過させることができる。 Further, although the conveyor belts 21 and 22 are separated from the container 100 in the region A2 of FIG. 1, by providing the support roller 51 in the region A2, the region A2 can be smoothly passed through the container 100.

＜変形例＞
以上は、本発明の好適な実施形態についての説明であるが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、課題を解決するための手段に記載された範囲の限りにおいて様々な変更が可能なものである。 <Modification>
The above is a description of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made within the scope described in the means for solving the problem. It is possible.

上述の実施形態において光センサ３１及び３２は、図２（ｂ）のように傾斜した姿勢で搬送された容器１００が検出範囲３１ａ及び３２ａのいずれか一方に掛からないように配置されている。しかし、光センサが上記のように配置されていなくてもよい。例えば、傾斜したまま搬送された容器１００の底面に検出範囲が掛かるように光センサが配置されていたとしても、底面において光センサの射出光が散乱しても底面の傾きによっては光センサが散乱光を検出しない場合がある。このような場合には、検出範囲を特に調整しておく必要もなく、傾斜したまま容器１００が搬送された場合には一方の光センサからの射出光が容器１００の側面において反射したり散乱したりせず、底面に向かって射出されるように光センサが配置されているだけでよい。 In the above-described embodiment, the optical sensors 31 and 32 are arranged so that the container 100 conveyed in an inclined posture as shown in FIG. 2B does not hang on either one of the detection ranges 31a and 32a. However, the optical sensor may not be arranged as described above. For example, even if the optical sensor is arranged so that the detection range is applied to the bottom surface of the container 100 that is conveyed while being inclined, even if the light emitted from the optical sensor is scattered on the bottom surface, the optical sensor is scattered depending on the inclination of the bottom surface. There are cases where light is not detected. In such a case, it is not necessary to adjust the detection range in particular, and when the container 100 is transported while being inclined, the light emitted from one of the optical sensors is reflected or scattered on the side surface of the container 100. It is only necessary to arrange the optical sensor so that it is emitted toward the bottom surface.

また、搬送ベルト２１及び２２には、突出部２１ａ及び２２ａが長さ方向に関して連続して形成されている。しかし、突出部が連続して形成されている必要はなく、搬送ベルト２１及び２２の長さ方向に関して途切れ途切れに形成されていてもよい。 The conveyor belts 21 and 22 have protrusions 21a and 22a formed continuously in the length direction. However, the protrusions do not need to be formed continuously, and may be formed discontinuously in the length direction of the conveyor belts 21 and 22.

また、搬送ベルト２１及び２２の２つのベルトが設けられており、それぞれに突出部が形成されているが、一対の突出部が形成された一体のベルトが設けられていてもよい。 Further, the two belts of the conveyor belts 21 and 22 are provided, and the protruding portions are formed in each of them, but an integrated belt having a pair of protruding portions may be provided.

本発明の一実施形態に係る搬送装置の正面図である。It is a front view of the conveyance apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った搬送装置の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the conveying apparatus along the II-II line of FIG. 搬送装置の従来の構成を示す図である。It is a figure which shows the conventional structure of a conveying apparatus.

Explanation of symbols

１搬送装置
２コンベアユニット
５１支持ローラ
１００容器
１１-１７、９０１、９０２搬送ローラ
２１、２２、９２１搬送ベルト
２１ａ、２２ａ、９２１ａ突出部
３１、３２、２００光センサ
３１ａ、３２ａ検出範囲 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conveyance apparatus 2 Conveyor unit 51 Support roller 100 Container 11-17, 901, 902 Conveyance roller 21, 22, 921 Conveyance belt 21a, 22a, 921a Protrusion part 31, 32, 200 Optical sensor 31a, 32a Detection range

Claims

A conveyor belt on which the object to be conveyed is placed on one surface;
A plurality of rollers around which the conveyor belt is wound so that a placement area on which the object to be conveyed is placed on the one surface is along a plane;
Roller driving means for driving the roller;
A pair of reflection-type optical sensors arranged so as to sandwich the object to be conveyed on the placement area with respect to the width direction of the conveyance belt, and emitting light toward the object to be conveyed on the placement area; With
A pair of projecting portions projecting from the one surface are formed on the transport belt so as to be larger than the width of the object to be transported on the placement area with respect to the width direction of the transport belt,
The pair of light beams is arranged such that a path of the emitted light is arranged between a position separated from the previous placement area by a height of the protrusion with respect to a direction perpendicular to the placement area and a position of the previous placement area. Each sensor is arranged,
When the roller driving means drives the roller, the conveyor belt is curved in a direction in which the one surface is recessed, and the protruding portion does not intersect the path of the emitted light in a curved region where the conveyor belt is curved. In addition, the plurality of rollers guide the conveyance belt.

A support roller is further provided at a position overlapping the curved region in plan view so as not to block the path of the emitted light, and the transport belt supports the object to be transported transported toward the curved region. The conveying apparatus according to claim 1.

The bottom surface of the transported object when the transported object is transported while the transported object is inclined and placed on the placement area so that the bottom surface of the transported object is hooked on the protrusion. The pair of photosensors are arranged so that the object to be conveyed is not caught in a detection range of the photosensor closer to the projecting portion on which the product is applied. Conveying device.