JP2000263364A - 主軸装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 予圧性能を高める。 【解決手段】 作動油を戻し用油圧室Ｒａと予圧用油圧
室Ｒｂとに供給すると、両油圧室Ｒａ，Ｒｂの受圧面積
Ａａ，Ａｂが、Ａａ＜Ａｂ に設定されているので、こ
ろがり軸受５には、油圧室Ｒａ，Ｒｂの油圧力の差圧に
予圧ばね８の付勢力を加えた力が予圧として作用する。
この状態で油管路３０，３１を閉じると、作動油の非圧
縮性により、可動スリーブ部材７が固定されるので、予
圧は、作動油による定位置予圧となる。油管路３０，３
１を開くと、油圧室Ｒａ，Ｒｂの油圧力の差圧に予圧ば
ね８の付勢力を加えた定圧予圧となる。この場合、予圧
量は、予圧ばね８の付勢力のみの予圧量よりも常に大き
くなる。したがって、高速回転時において充分な主軸剛
性が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械の主軸等
のころがり軸受に予圧をかけることができる主軸装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】図４に示すように、ハウジング６１内
に、主軸６２をタンデム配置の前後２組のころがり軸受
６３，６４で回転自在に支持した工作機械の主軸装置に
おいては、一般に、ころがり軸受６３，６４の外輪の間
にそれらに予圧を付加して間座６５を組み込むことが行
われている。

【０００３】この予圧方式はシンプルであるが、図５の
ように、高速回転で軸受予圧が急上昇して焼付きに至る
ため（予圧Ａ曲線）、回転数ｎB まで運転するには組込
み時に停止時予圧ＰA が与えられず、組込み時に予圧が
抜けてガタになる予圧ＰB の予圧Ｂ曲線を取らなければ
ならない。このため、低速回転時に主軸剛性がなく、切
削能力が劣ってしまうことになる。

【０００４】そこで、図６に示す主軸装置が提案されて
いる（特開平８−２９４８０２号公報）。これについて
説明すると、主軸６２を前後２組のころがり軸受６３，
６４で回転自在に支持したハウジング６１に、可動スリ
ーブ部材６６を、後側のころがり軸受６３の外輪に嵌着
するとともに、予圧用油圧室Ｒｓを形成して、主軸６２
の軸方向に移動自在に嵌挿し、油圧回路７３の３つの減
圧弁７５ａ，７５ｂ，７５ｃの選択によって、図７に示
すように定圧予圧量を３段に切り換えることができるよ
うになっている。

【０００５】なお、ハウジング６１は、その後端に後部
部材６１ａを一体に有する。また、可動スリーブ部材６
６には、外輪押え６６ａを持つ筒体６６ｂが一体に取り
付けられている。符号７７はモータであり、ステータ７
７ａによって回転させられるロータ７７ｂのロータスリ
ーブ７７ｃを主軸６２に嵌着してころがり軸受６３，６
４の間に設けられている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図６の主軸装
置には次のような問題点がある。 （イ） 定圧予圧のみの設定しかできず、低速での主軸
剛性が低下する。なお、同予圧の比較では、定圧予圧の
方が定位置予圧より軸受剛性が低い。 （ロ） 高剛性を得るために予圧を大きく設定すると、
軸受寿命が短くなる。 （ハ） 高くした予圧を下げるとき、Ｏリングの抵抗で
可動スリーブ部材６６がスムーズに変位しない。 （ニ） 工具のアンクランプ時に逆スラスト力（主軸が
前側に引き抜かれる向きの力）が主軸に伝わると、主軸
が前側に飛び出してしまう。

【０００７】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
定位置予圧と定圧予圧とが設定可能な主軸装置を提供す
ることを目的とする。本発明の他の目的は、定圧予圧量
を定位置予圧における停止時予圧量よりも大きく設定す
ることができる主軸装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の少なくとも１つの
目的を達成するために、請求項１記載の発明は、ハウジ
ング内に、主軸が、ころがり軸受で回転自在に支持され
た主軸装置において、外周にピストン部を有する可動ス
リーブ部材を、上記ころがり軸受の外輪に嵌着するとと
もに、戻し用油圧室と予圧用油圧室とをピストン部で画
成して上記ハウジングに主軸の軸方向に移動自在に嵌挿
し、上記ハウジングと可動スリーブ部材との間に予圧ば
ねを設け、また上記戻し用油圧室と予圧用油圧室にそれ
ぞれ連通してハウジングに形成された一対の油通路に、
油圧回路の油管路をそれぞれ接続し、上記各油管路にノ
ンリーク形切換弁をそれぞれ設けた構成とした。

【０００９】この手段では、作動油を油圧回路から各油
管路と各油通路とを通じて予圧用油圧室と戻し用油圧室
とにそれぞれ供給し、予圧用油圧室の油圧力を戻し用油
圧室の油圧力に対して同じかまたは大きくすると、両油
圧力の差圧に予圧ばねの力を加えた力がころがり軸受の
外輪に予圧となって付加され、定圧予圧となる。この状
態で両油管路のノンリーク形切換弁をそれぞれ閉じる
と、油管路と油通路及び油圧室内に封入された作動油の
非圧縮性により、可動スリーブ部材が固定されるので、
定位置予圧となる。

【００１０】請求項１記載の主軸装置において、可動ス
リーブ部材が外輪に嵌着されたころがり軸受と他のころ
がり軸受との間に、主軸に嵌着されたロータをステータ
によって回転させるモータを設けることができる（請求
項２）。この構成では、モータの発熱に起因して、前後
２組のころがり軸受の内外輪スパンを特定できないよう
なことがあっても、これに影響されることなく、ノンリ
ーク形切換弁を開閉することでころがり軸受に適正な定
位置予圧が付加される。

【００１１】請求項１又は２記載の主軸装置において、
油圧回路を、空圧源と、該空圧源の空気圧を油圧に変換
して作動油を油管路を通じて油圧室に供給するエアオイ
ルブースタと、上記空圧源に上記エアオイルブースタを
連絡した空気管路に設けられ、空圧源によるエアオイル
ブースタの加圧と脱圧を切り換える電磁方向切換弁とを
具備した構成とすることが好ましい（請求項３）。

【００１２】上記の構成では、電磁方向切換弁を加圧状
態にすると、空圧源の空気圧によってエアオイルブース
タが作動し、作動油を油圧室に供給する。また、電磁方
向切換弁を脱圧に切り換えると、エアオイルブースタの
脱圧によって油圧室が脱圧状態となる。エアオイルブー
スタは、空気の受圧面積と作動油の加圧面積の差によ
り、空気源から与えられた空気圧を油圧に変換（通常は
増圧）するが、作動油の使用流量が微量（例えば、０．
００５〜１．５ｃｃ）でも圧力を確実に調整できるた
め、無段階の連続的な圧力調整を可能とする上、油圧室
の圧力が異常に上昇したような場合、空気のクッション
作用によって上昇圧力を吸収する。

【００１３】請求項３記載の主軸装置において、空気管
路に電空レギュレータを設けることが好ましい（請求項
４）。この構成では、電空レギュレータは、ＮＣ装置等
からの電圧式や電流式等の外部指令によって作動し、空
気圧を調整して油圧室の作動油圧力を制御する。この場
合、使用空気流量が少なくても確実に圧力が調整される
ので、圧力制御が連続して迅速にかつ容易にできるよう
になる。

【００１４】請求項１ないし４のいずれかに記載の主軸
装置において、油管路に電磁比例流量制御弁を設けるこ
とが好ましい（請求項５）。この構成では、電磁比例流
量制御弁で作動油の流量を制御する。この場合、通常
は、電磁比例流量制御弁を開くことにより、作動油の流
量を多くして短時間で作動油を油圧室に供給し、その後
は、電磁比例流量制御弁を絞って作動油の流動抵抗を大
きくすることにより、例えば、断続切削力のピークが油
圧力により大きくなった時に生じる主軸の振動を軽減さ
せる。主軸の振動量と周波数は切削条件によって異なる
ため、電磁比例流量制御弁の開度を幾つか設定して使い
分けることで減衰特性を変えて最良の切削を選定でき
る。

【００１５】請求項４又は５記載の主軸装置において、
戻し用油圧室の受圧面積よりも予圧用油圧室の受圧面積
を大とし、空圧源と電空レギュレータを、戻し用油圧室
の油通路に油管路を接続した油圧回路と、予圧用油圧室
の油通路に油管路を接続した油圧回路とに共用とするこ
とが望ましい（請求項６）。この構成では、予圧用油圧
室と戻し用油圧室とに同一圧力の作動油をそれぞれ供給
して予圧量を高める。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を添付図面を
参照して説明する。図１ないし図３は本発明の実施の形
態を示すもので、符号１は主軸装置である。主軸装置１
は、ハウジング３と、主軸４と、ころがり軸受５，６
と、可動スリーブ部材７と、予圧ばね８と、モータ９と
を具備し、油圧回路１１によってころがり軸受に予圧を
付加することができるようになっている。

【００１７】ハウジング３は、その後端（図１で右端）
に円筒状の後部部材３ａと円筒状のカバー部材３ｂとを
一体に有する。後部部材３ａはハウジング３に多数のボ
ルト１３（図１には１本しか示されていない。）で固定
され、またカバー部材３ｂは後部部材３ａに多数のボル
ト１４（図１には１本しか示されていない。）で固定さ
れている。カバー部材３ｂには油通路３ｃ，３ｄが形成
されている。主軸４は、ハウジング３内に、タンデム配
置の２組のころがり軸受５，６によって周方向に回転自
在に支持されている。

【００１８】可動スリーブ部材７は円筒形状で、ピスト
ン部７ａと外輪押え７ｂとを有し、後側のころがり軸受
５，５の外輪に嵌着されるとともに、ピストン部７ａで
戻し用油圧室Ｒａと予圧用油圧室Ｒｂとを画成し、また
外輪押え７ｂをころがり軸受５の外輪の前端面に当接さ
せてハウジング３に主軸４の軸方向に移動自在に嵌挿さ
れている。戻し用油圧室Ｒａは、ハウジング３のカバー
部材３ｂと可動スリーブ部材７のフランジ７ｃによって
形成され、油通路３ｃに連通されている。また、予圧用
油圧室Ｒｂは、ハウジング３の端部部材３ａ及びカバー
部材３ｂと可動スリーブ部材７とによって形成され、油
通路３ｄに連通されている。なお、予圧用油圧室Ｒｂの
受圧面積Ａｂは、戻し用油圧室Ｒａの受圧面積Ａａより
も大きくされている。

【００１９】予圧ばね８は、ハウジング３の後部部材３
ａと可動スリーブ部材７のフランジ７ｃとの間に装入さ
れ、可動スリーブ部材７を後側に付勢している。モータ
９は主軸４を回転させるものであり、ステータ９ａによ
って回転させられるロータ９ｂのロータスリーブ９ｃに
主軸４を嵌挿して、ころがり軸受５，６の間に設けられ
ている。前側のころがり軸受６，６は、ハウジング３に
一体に嵌装された固定スリーブ部材３ｅに嵌着されてい
る。

【００２０】油圧回路１１は、戻し用油圧室Ｒａと予圧
用後側油圧室Ｒｂに作動油をそれぞれ供給するものであ
り、空圧源２１と、エアオイルブースタ２２と、電空レ
ギュレータ（電磁空圧レギュレータ）２３と、一対の電
磁方向切換弁２４と、一対の電磁比例流量制御弁２５
と、一対のノンリーク形切換弁（電磁切換弁）２６と、
一対の圧力センサ２７とを有する。

【００２１】空圧源２１はコンプレッサ等から成る。エ
アオイルブースタ２２は、受圧面積の大きい空圧シリン
ダ２２ａに加圧面積の小さい油圧シリンダ２２ｂを一体
に連結して成り、受圧面積と加圧面積の差により、与え
られた空気圧を油圧に変換・増圧するもので、空圧シリ
ンダ２２ａを空圧源２１に空気管路２９で接続して設け
られている。電空レギュレータ２３は、ＮＣ装置等の制
御装置（図示せず）からの電圧式又は電流式の外部指令
にしたがって空気圧を調整するものであり、空気管路２
９に設けられている。

【００２２】電磁方向切換弁２４は、励磁状態で空気管
路２９を空圧シリンダ２２ａのボトム側空気室に連絡す
るとともに、空圧シリンダ２２ａのロッド側空気室を大
気に開放してエアオイルブースタ２２を作動させ、ま
た、消磁状態で空圧シリンダ２２ａのロッド側空気室に
空気管路２９を連絡するとともに、ボトム側空気室を大
気に開放してエアオイルブースタ２２を脱圧状態にする
もので、空気管路２９の分岐管２９ａ，２９ｂにそれぞ
れ設けられている。

【００２３】各電磁比例流量制御弁２５と各ノンリーク
形切換弁２６及び各圧力センサ２７は、エアオイルブー
スタ２２の油圧シリンダ２２ｂにそれぞれ接続された油
管路３０，３１に、上流側から下流側に上記の順でそれ
ぞれ設けられている。各ノンリーク形切換弁２６は、油
管路３０，３１をそれぞれ開閉するものである。圧力セ
ンサ２７の出力信号は、前記制御装置に入力され、電空
レギュレータ２３のフィードバック制御に利用されるよ
うになっている。油管路３０はハウジング３の油通路３
ｃに接続され、他の油管路３１はハウジング３の油通路
３ｄに接続されている。

【００２４】次に、上記の構成とされた主軸装置の作用
を説明する。主軸４の回転停止時に予圧量がＰA （図
３）になるように電空レギュレータ２３に指令を出力
し、油圧回路１１の分岐管２９ａ，２９ｂの両電磁方向
切換弁２４のソレノイドをそれぞれ励磁して作動油を戻
し用油圧室Ｒａと予圧用油圧室Ｒｂとにそれぞれ供給す
ると、前述のように、戻し用油圧室Ｒａと予圧用油圧室
Ｒｂの受圧面積Ａａ，Ａｂが、Ａａ＜Ａｂ に設定され
ている関係から戻し用油圧室Ｒａの油圧力よりも予圧用
油圧室Ｒｂの油圧力が大きいので、後側のころがり軸受
５には、戻し用油圧室Ｒａの油圧力と予圧用油圧室Ｒｂ
の油圧力の差圧に予圧ばね８の付勢力を加えた力が予圧
として作用することになる。この状態で油圧回路１１の
両ノンリーク形切換弁２６を作動させて油管路３０，３
１をそれぞれ閉じると、油管路３０，３１と油通路３
ｃ，３ｄ及び油圧室Ｒａ，Ｒｂ内の作動油の非圧縮性に
より、可動スリーブ部材７が固定されるので、予圧は、
作動油による定位置予圧となる（図３の予圧Ａ曲線）。
このように可動スリーブ部材７が固定されているので、
重切削が可能となり、工具交換のため工具をアンクラン
プにして主軸４に逆スラスト力が加えられても主軸４が
変位しガタつくことがない。

【００２５】上記において、両圧力センサ２７の検出圧
力をモニターし、両油圧室Ｒａ，Ｒｂの圧力差から予圧
変化を割り出して設定内を維持するようにノンリーク形
切換弁２６を制御する。つまり、ノンリーク形切換弁２
６を閉じて定位置状態にした後、モータ９の発熱状態の
変化等から軸受予圧が変化すると、両圧力センサ２７間
に圧力差が検出される。この圧力差が設定値を越えたら
ノンリーク切換弁２６を開いて予圧を元に戻す。

【００２６】また、主軸４の回転数が、ｎA （図３）に
達したところで、主軸４の回転停止時の予圧量がＰB に
なるように電空レギュレータ２３に指令を出力するとと
もに、両ノンリーク形切換弁２６を開いて作動油の圧力
を設定圧力にしてから、両ノンリーク形切換弁２６を再
び閉じる。この場合は、予圧Ｂ曲線となる。

【００２７】また、予圧量がＰC になるように電空レギ
ュレータ２３に指令を出力し、両ノンリーク形切換弁２
６を開くことにより、定圧予圧となる（図３の予圧Ｃ曲
線）。この定圧予圧の場合、戻し用油圧室Ｒａと予圧用
油圧室Ｒｂの両油圧力の差圧が、予圧ばね８の付勢力に
重畳されるので、その時の予圧量ＰC （図３）は、定位
置予圧の停止時予圧量ＰA（予圧ばね８の付勢力のみの
予圧量）よりも常に大きくなる。したがって、高速回転
時において充分な主軸剛性が得られる。

【００２８】ところで、低圧予圧時においては、主軸４
を後方向に押すスラスト力に対しては、前側のころがり
軸受６と固定スリーブ部材３ｅで受けるため、主軸４が
大きく動いてしまうことが無いが、主軸４を前方向に引
っ張る逆スラスト力が過大に作用すると、主軸４が可動
スリーブ部材７と共に変位する。この時、油管路を電磁
比例流量制御弁２５で絞っておくと、圧力センサ部の油
圧が大きく変化する。圧力変化が設定された上限値を越
えたら警報をして機械停止などの措置を取ることが行わ
れる。空気圧を設定するエアオイルブースタ２２は、リ
リーフ弁の機能を持つため、流量が極めて少ない場合で
も圧力制御が可能になる。

【００２９】図３の予圧Ｃ曲線の後半は、主軸４の回転
数と設定予圧のテーブルに従い電空レギュレータ２３に
指令を与えて空気圧を変え、主軸４の回転上昇に伴って
油圧力、軸受予圧の上限を徐々に下げたものである。高
速回転で高い予圧を維持すると、軸受寿命が低下する
が、上記のように制御することによって寿命を延ばすこ
とができる。

【００３０】電磁比例流量制御弁２５は、通常、油圧室
Ｒａ，Ｒｂへの作動油の供給時には全開状態とし、供給
終了後は、適宜に絞って作動油の流動抵抗を大きくす
る。この結果、作動油の供給時間が短くなって素早い予
圧切換えが可能になり、また、切削力の変動に起因する
主軸４の変位が減衰されるようになる。

【００３１】予圧を下げたり解除したりする場合は、必
要があれば、予圧用油圧室Ｒｂを脱圧状態にして、戻し
用油圧室Ｒａに作動油を供給し、可動スリーブ部材７を
前側に変位させる。なお、上記の予圧操作は基本的なも
ので、これ以外の方法でも予圧を付加することが可能で
ある。

【００３２】図２の油圧回路１１は、空気管路２９を２
つに分岐し、空圧源２１と電空レギュレータ２３を２つ
の系に共用させた構造となっているが、空気管路２９を
分岐しない単独構造とすることも、空圧源のみを共用さ
せることもできる。油圧回路は、図のものに限らず、油
圧ポンプを用いた通常の油圧回路とすることができる。
また、油通路３ｃ，３ｄの油圧を個々に変えることがで
きるようにした場合は、油圧室Ｒａ，Ｒｂの受圧面積Ａ
ａ，Ａｂを、Ａａ≧Ａｂ とすることも可能である。な
お、作動油が非圧縮性があるといっても完全ではないた
め、ノンリーク形切換弁２６や電磁比例流量制御弁２５
は油圧室の近傍に設置し、伸縮性のない配管部品で接合
する必要がある。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明においては、油管路にノンリーク形切換弁があり、油
管路を閉じて作動油の非圧縮性を利用することができる
ため、工具交換時にプッシュロッドを押すことで主軸に
逆スラスト力が作用しても主軸が大きく前に飛び出るこ
とがない。また、油圧室が両方向にあり、予圧を下げる
時に、可動スリーブ部材を、Ｏリングの抵抗を考慮して
予圧減少方向に確実に変位させることができる。

【００３４】請求項１の主軸装置において、可動スリー
ブ部材が外輪に嵌着されたころがり軸受と他のころがり
軸受との間に、主軸に嵌着されたロータをステータによ
って回転させるモータを設けた構成とした場合、予圧を
与える前後２組の軸受間のスパンが長く、しかも、モー
タのステータとロータ温度変化の差ににより２組の軸受
間の内外輪スパンが特定できないような場合でも、的確
に定位置予圧を設定することができる。

【００３５】請求項１又は２記載の主軸装置において、
油圧回路を、空圧源と、該空圧源の空気圧を油圧に変換
して作動油を油管路を通じて油圧室に供給するエアオイ
ルブースタと、上記空圧源に上記エアオイルブースタを
連絡した空気管路に設けられ、空圧源によるエアオイル
ブースタの加圧と脱圧を切り換える電磁方向切換弁とを
具備した構成とした場合は、作動油の使用流量が微量で
も圧力を確実に調整できるエアオイルブースタの働きに
よって、無段階の連続的な圧力調整が可能となり、ま
た、エアオイルブースタのエアクッション作用によっ
て、油圧室の異常な圧力上昇を吸収することができる。

【００３６】請求項３記載の発明において、空気管路に
電空レギュレータを設けると、作動油の非圧縮性を利用
した定位置予圧を多段に設定できる上、定圧予圧も多段
に設定できる。また、定位置予圧設定は、主軸ユニット
の組立後に自由に予圧設定を決めることができる。

【００３７】請求項１ないし４のいずれかに記載の主軸
装置において、油管路に電磁比例流量制御弁を設けた場
合は、作動油の非圧縮性を利用して主軸の振動を減衰さ
せることができる。

【００３８】請求項４又は５記載の主軸装置において、
戻し用油圧室の受圧面積よりも予圧用油圧室の受圧面積
を大とし、空圧源と電空レギュレータを、戻し用油圧室
の油通路に油管路を接続した油圧回路と、予圧用油圧室
の油通路に油管路を接続した油圧回路とに共用とした場
合は、油圧回路の構成とその制御系を最も単純にするこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る主軸装置の実施の形態を示す断
面図である。

【図２】 図１の主軸装置の油圧回路の一例を示す図で
ある。

【図３】 図１の主軸装置の、回転数と予圧の関係を示
す図である。

【図４】 従来の主軸装置の主要部の断面図である。

【図５】 図４の主軸装置の、回転数と予圧の関係を示
す図である。

【図６】 従来の他の主軸装置の主要部の断面図であ
る。

【図７】 図６の主軸装置の、回転数と予圧の関係を示
す図である。

【符号の説明】

１ 主軸装置 ３ ハウジング ３ｃ，３ｄ 油通路 ４ 主軸 ５，６ ころがり軸受 ７ 可動スリーブ
部材 ７ａ ピストン部 ８ 予圧ばね ９ モータ ９ａ ステータ ９ｂ ロータ ９ｃ ロータスリ
ーブ １１ 油圧回路 ２１ 空圧源 ２２ エアオイルブースタ ２２ａ 空圧シリ
ンダ ２２ｂ 油圧シリンダ ２３ 電空レギュ
レータ ２４ 電磁方向切換弁 ２５ 電磁比例流
量制御弁 ２６ ノンリーク形切換弁 ２７ 圧力センサ ２９ 空気管路 ２９ａ，２９ｂ
分岐管 ３０，３１ 油管路

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ハウジング内に、主軸が、ころがり軸受
   で回転自在に支持された主軸装置において、 外周にピストン部を有する可動スリーブ部材が、上記こ
   ろがり軸受の外輪に嵌着されるとともに、戻し用油圧室
   と予圧用油圧室とをピストン部で画成して上記ハウジン
   グに主軸の軸方向に移動自在に嵌挿され、 上記ハウジングと可動スリーブ部材との間に予圧ばねが
   設けられ、 また上記戻し用油圧室と予圧用油圧室にそれぞれ連通し
   てハウジングに形成された一対の油通路に、油圧回路の
   油管路がそれぞれ接続され、 上記各油管路にノンリーク形切換弁がそれぞれ設けられ
   たことを特徴とする主軸装置。
2. 【請求項２】 可動スリーブ部材が外輪に嵌着されたこ
   ろがり軸受と他のころがり軸受との間に、主軸に嵌着さ
   れたロータをステータによって回転させるモータが設け
   られたことを特徴とする請求項１記載の主軸装置。
3. 【請求項３】 油圧回路は、 空圧源と、 該空圧源の空気圧を油圧に変換して作動油を油管路を通
   じて油圧室に供給するエアオイルブースタと、 上記空圧源に上記エアオイルブースタを連絡した空気管
   路に設けられ、空圧源によるエアオイルブースタの加圧
   と脱圧を切り換える電磁方向切換弁とを具備したことを
   特徴とする請求項１又は２記載の主軸装置。
4. 【請求項４】 空気管路に電空レギュレータが設けられ
   たことを特徴とする請求項３記載の主軸装置。
5. 【請求項５】 油管路に電磁比例流量制御弁が設けられ
   たことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに
   記載の主軸装置。
6. 【請求項６】 戻し用油圧室の受圧面積よりも予圧用油
   圧室の受圧面積が大とされ、 空圧源と電空レギュレータが、戻し用油圧室の油通路に
   油管路を接続した油圧回路と、予圧用油圧室の油通路に
   油管路を接続した油圧回路とに共用とされたことを特徴
   とする請求項４又は５記載の主軸装置。