JP2000260675A - 基板処理装置および通信制御プログラムを記録した記録媒体 - Google Patents
基板処理装置および通信制御プログラムを記録した記録媒体Info
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- JP2000260675A JP2000260675A JP6623599A JP6623599A JP2000260675A JP 2000260675 A JP2000260675 A JP 2000260675A JP 6623599 A JP6623599 A JP 6623599A JP 6623599 A JP6623599 A JP 6623599A JP 2000260675 A JP2000260675 A JP 2000260675A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンピュータとの通信の喪失時に保存される
メッセージの挿入および削除の操作を容易に行うことが
でき、一部のレコードに破損が生じても他のメッセージ
に与える影響が少ない通信機能を備えた基板処理装置を
提供することである。 【解決手段】 メインコトローラ２０の通信制御モジュ
ール２１０は、ホストコンピュータ３０との通信の喪失
時に、ホストコンピュータ３０に送信すべきメッセージ
をデータベース管理ソフトウェア２３０を介してデータ
ベース２４０により構成されるスプールテーブルに格納
し、ホストコンピュータ３０との通信の回復時に、スプ
ールテーブルに格納されるメッセージをホストコンピュ
ータ３０に送信する。
メッセージの挿入および削除の操作を容易に行うことが
でき、一部のレコードに破損が生じても他のメッセージ
に与える影響が少ない通信機能を備えた基板処理装置を
提供することである。 【解決手段】 メインコトローラ２０の通信制御モジュ
ール２１０は、ホストコンピュータ３０との通信の喪失
時に、ホストコンピュータ３０に送信すべきメッセージ
をデータベース管理ソフトウェア２３０を介してデータ
ベース２４０により構成されるスプールテーブルに格納
し、ホストコンピュータ３０との通信の回復時に、スプ
ールテーブルに格納されるメッセージをホストコンピュ
ータ３０に送信する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板に所定の処理
を行う基板処理装置および基板処理装置においてホスト
コンピュータとの間での通信を制御する通信制御プログ
ラムを記録した記録媒体に関する。
を行う基板処理装置および基板処理装置においてホスト
コンピュータとの間での通信を制御する通信制御プログ
ラムを記録した記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基
板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基
板等の基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が
用いられている。例えば、半導体デバイスの製造プロセ
スでは、生産効率を高めるために一連の処理の各々をユ
ニット化し、複数のユニットを統合した基板処理装置が
用いられている。
板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基
板等の基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が
用いられている。例えば、半導体デバイスの製造プロセ
スでは、生産効率を高めるために一連の処理の各々をユ
ニット化し、複数のユニットを統合した基板処理装置が
用いられている。
【０００３】このような基板処理装置は、複数のユニッ
ト、それらの複数のユニットの動作を制御する複数のス
レーブコントローラ、および複数のユニットを協調動作
させるために複数のスレーブコントローラを統括制御す
るメインコントローラを備える。メインコントローラ
は、各スレーブコントローラに各種指令を与えるととも
に、各スレーブコントローラからの状態報告を受け、複
数のユニットの動作タイミングを統括的に管理および制
御する。
ト、それらの複数のユニットの動作を制御する複数のス
レーブコントローラ、および複数のユニットを協調動作
させるために複数のスレーブコントローラを統括制御す
るメインコントローラを備える。メインコントローラ
は、各スレーブコントローラに各種指令を与えるととも
に、各スレーブコントローラからの状態報告を受け、複
数のユニットの動作タイミングを統括的に管理および制
御する。
【０００４】また、この基板処理装置のメインコントロ
ーラは、製造プロセスの自動化のために通信ラインを介
して工場内のホストコンピュータに接続される。メイン
コントローラは、ホストコンピュータから送信される各
種指令および各種データを受信するとともに、各スレー
ブコントローラからの状態報告に基づいてホストコンピ
ュータに各種メッセージを送信する。
ーラは、製造プロセスの自動化のために通信ラインを介
して工場内のホストコンピュータに接続される。メイン
コントローラは、ホストコンピュータから送信される各
種指令および各種データを受信するとともに、各スレー
ブコントローラからの状態報告に基づいてホストコンピ
ュータに各種メッセージを送信する。
【０００５】特に、半導体製造装置の分野では、ホスト
コンピュータの通信リンクから見た装置動作の定義がＳ
ＥＭＩ Ｅ３０「ＳＥＭＩ製造装置の通信およびコント
ロールのための包括的モデル（ＧＥＭ）」として国際標
準化されている。このＧＥＭ規格では、半導体製造装置
とホストコンピュータとの間の通信が喪失した場合に、
半導体製造装置からホストコンピュータに送信すべきメ
ッセージを蓄積しておき、通信回復時に、蓄積されたメ
ッセージを半導体製造装置からホストコンピュータに送
信する「スプーリング機能」が規定されている。
コンピュータの通信リンクから見た装置動作の定義がＳ
ＥＭＩ Ｅ３０「ＳＥＭＩ製造装置の通信およびコント
ロールのための包括的モデル（ＧＥＭ）」として国際標
準化されている。このＧＥＭ規格では、半導体製造装置
とホストコンピュータとの間の通信が喪失した場合に、
半導体製造装置からホストコンピュータに送信すべきメ
ッセージを蓄積しておき、通信回復時に、蓄積されたメ
ッセージを半導体製造装置からホストコンピュータに送
信する「スプーリング機能」が規定されている。
【０００６】従来、このスプーリング機能は、図８に示
すスプールファイルを用いて実現されている。図８に示
すスプールファイルは、ファイルヘッダＦＨおよび複数
の可変長レコードＲ１〜Ｒｎにより構成される。ここ
で、ｎは任意の整数である。
すスプールファイルを用いて実現されている。図８に示
すスプールファイルは、ファイルヘッダＦＨおよび複数
の可変長レコードＲ１〜Ｒｎにより構成される。ここ
で、ｎは任意の整数である。
【０００７】ファイルヘッダＦＨには、先頭レコード位
置および最終レコード位置が格納される。また、各レコ
ードＲ１〜Ｒｎはヘッダ部ＨＤおよびメッセージ部ＭＥ
を含む。ヘッダ部ＨＤには、チェイン情報として前レコ
ード位置および次レコード位置が格納される。それによ
り、複数の可変長レコードＲ１〜Ｒｎがチェイン情報に
基づいて連結される。スプールファイルは、メモリ等の
一次記憶装置からハードディスク装置等の二次記憶装置
に転送されて保存される。
置および最終レコード位置が格納される。また、各レコ
ードＲ１〜Ｒｎはヘッダ部ＨＤおよびメッセージ部ＭＥ
を含む。ヘッダ部ＨＤには、チェイン情報として前レコ
ード位置および次レコード位置が格納される。それによ
り、複数の可変長レコードＲ１〜Ｒｎがチェイン情報に
基づいて連結される。スプールファイルは、メモリ等の
一次記憶装置からハードディスク装置等の二次記憶装置
に転送されて保存される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなスプール
ファイルにおいては、チェイン情報に基づいてレコード
の挿入および削除の操作が行われる。この場合、半導体
製造装置等の基板処理装置のソフトウェアは、スプール
ファイル内の物理的なレコード位置を管理し、そのレコ
ード位置に基づいて各可変長レコードＲ１〜Ｒｎを検索
する必要がある。そのため、スプーリング機能を実現す
るためのソフトウェアが複雑となる。
ファイルにおいては、チェイン情報に基づいてレコード
の挿入および削除の操作が行われる。この場合、半導体
製造装置等の基板処理装置のソフトウェアは、スプール
ファイル内の物理的なレコード位置を管理し、そのレコ
ード位置に基づいて各可変長レコードＲ１〜Ｒｎを検索
する必要がある。そのため、スプーリング機能を実現す
るためのソフトウェアが複雑となる。
【０００９】また、スプールファイルを二次記憶装置に
保存する際に、あるレコードのヘッダ部ＨＤに格納され
るチェイン情報が破損すると、そのレコード以降の全て
のレコードの物理的なレコード位置が不明となる。
保存する際に、あるレコードのヘッダ部ＨＤに格納され
るチェイン情報が破損すると、そのレコード以降の全て
のレコードの物理的なレコード位置が不明となる。
【００１０】このように、一部のレコードのヘッダ部Ｈ
Ｄに格納されるチェイン情報が破損すると、そのレコー
ドだけでなく他のレコードを検索することも困難とな
る。
Ｄに格納されるチェイン情報が破損すると、そのレコー
ドだけでなく他のレコードを検索することも困難とな
る。
【００１１】本発明の目的は、ホストコンピュータとの
通信の喪失時に保存されるメッセージの挿入および削除
の操作を容易に行うことができ、一部のレコードに破損
が生じても他のレコードに与える影響が少ない通信機能
を備えた基板処理装置を提供することである。
通信の喪失時に保存されるメッセージの挿入および削除
の操作を容易に行うことができ、一部のレコードに破損
が生じても他のレコードに与える影響が少ない通信機能
を備えた基板処理装置を提供することである。
【００１２】本発明の他の目的は、基板処理装置におい
てホストコンピュータとの通信が喪失時に保存されるメ
ッセージの挿入および削除の操作を容易に行うことがで
き、レコードの一部に破損が生じても他のレコードに与
える影響が少ない通信制御プログラムを記録した記録媒
体を提供することである。
てホストコンピュータとの通信が喪失時に保存されるメ
ッセージの挿入および削除の操作を容易に行うことがで
き、レコードの一部に破損が生じても他のレコードに与
える影響が少ない通信制御プログラムを記録した記録媒
体を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る基板処理装置は、ホストコンピュータとの間
で通信を行う機能を有する基板処理装置であって、基板
に所定の処理を行う基板処理部と、記憶手段と、基板処
理部の処理に基づくメッセージをホストコンピュータに
送信し、ホストコンピュータとの通信の喪失時に、ホス
トコンピュータに送信すべきメッセージを含むレコード
をデータベースとして記憶手段に記憶させ、ホストコン
ピュータとの通信の回復時に、記憶手段にデータベース
として記憶されたメッセージをホストコンピュータに送
信する通信制御手段とを備えたものである。
発明に係る基板処理装置は、ホストコンピュータとの間
で通信を行う機能を有する基板処理装置であって、基板
に所定の処理を行う基板処理部と、記憶手段と、基板処
理部の処理に基づくメッセージをホストコンピュータに
送信し、ホストコンピュータとの通信の喪失時に、ホス
トコンピュータに送信すべきメッセージを含むレコード
をデータベースとして記憶手段に記憶させ、ホストコン
ピュータとの通信の回復時に、記憶手段にデータベース
として記憶されたメッセージをホストコンピュータに送
信する通信制御手段とを備えたものである。
【００１４】本発明に係る基板処理装置においては、基
板処理部により基板に所定の処理が行われるとともに、
基板処理部の処理に基づくメッセージが通信制御手段に
よりホストコンピュータに送信される。ホストコンピュ
ータとの通信の喪失時には、ホストコンピュータに送信
すべきメッセージを含むレコードが通信制御手段により
記憶手段にデータベースとして記憶される。そして、ホ
ストコンピュータとの通信の回復時に、記憶手段にデー
タベースとして記憶されたメッセージが通信制御手段に
よりホストコンピュータに送信される。
板処理部により基板に所定の処理が行われるとともに、
基板処理部の処理に基づくメッセージが通信制御手段に
よりホストコンピュータに送信される。ホストコンピュ
ータとの通信の喪失時には、ホストコンピュータに送信
すべきメッセージを含むレコードが通信制御手段により
記憶手段にデータベースとして記憶される。そして、ホ
ストコンピュータとの通信の回復時に、記憶手段にデー
タベースとして記憶されたメッセージが通信制御手段に
よりホストコンピュータに送信される。
【００１５】このように、ホストコンピュータとの通信
の喪失時にメッセージを含むレコードがデータベースと
して記憶されるので、メッセージの挿入および削除の操
作を容易に行うことができ、一部のレコードに破損が生
じても他のレコードに与える影響が少ない。
の喪失時にメッセージを含むレコードがデータベースと
して記憶されるので、メッセージの挿入および削除の操
作を容易に行うことができ、一部のレコードに破損が生
じても他のレコードに与える影響が少ない。
【００１６】第２の発明に係る基板処理装置は、第１の
発明に係る基板処理装置の構成において、通信制御手段
は、データベースに格納されたレコードのうち最新のレ
コードを示す情報および最旧のレコードを示す情報を保
持し、新たなメッセージを格納するごとに最新のレコー
ドを示す情報を更新するものである。
発明に係る基板処理装置の構成において、通信制御手段
は、データベースに格納されたレコードのうち最新のレ
コードを示す情報および最旧のレコードを示す情報を保
持し、新たなメッセージを格納するごとに最新のレコー
ドを示す情報を更新するものである。
【００１７】この場合、最新のレコードを示す情報およ
び最旧のレコードを示す情報が通信制御手段により保持
されるので、ホストコンピュータとの通信の喪失時にデ
ータベース内にレコードを容易に時系列に格納すること
ができるとともに、ホストコンピュータとの通信の回復
時にデータベースに格納されたレコードを容易に時系列
に送信することができる。
び最旧のレコードを示す情報が通信制御手段により保持
されるので、ホストコンピュータとの通信の喪失時にデ
ータベース内にレコードを容易に時系列に格納すること
ができるとともに、ホストコンピュータとの通信の回復
時にデータベースに格納されたレコードを容易に時系列
に送信することができる。
【００１８】第３の発明に係る基板処理装置は、第２の
発明に係る基板処理装置の構成において、通信制御手段
は、データベースに格納されるレコードが所定の数に達
した場合にデータベースの最旧のレコードを削除して新
たなレコードを格納するとともに最新のレコードを示す
情報および最旧のレコードを示す情報を更新する機能を
有するものである。
発明に係る基板処理装置の構成において、通信制御手段
は、データベースに格納されるレコードが所定の数に達
した場合にデータベースの最旧のレコードを削除して新
たなレコードを格納するとともに最新のレコードを示す
情報および最旧のレコードを示す情報を更新する機能を
有するものである。
【００１９】この機能により、データベースが満杯にな
った場合に、古いレコードを削除して新たなレコードを
優先的にデータベースに格納することができる。
った場合に、古いレコードを削除して新たなレコードを
優先的にデータベースに格納することができる。
【００２０】第４の発明に係る基板処理装置は、第１〜
第３のいずれかの発明に係る基板処理装置の構成におい
て、通信制御手段は、データベースに格納すべきメッセ
ージの長さが所定の長さを越える場合にメッセージを複
数のレコードに分割してデータベースに格納するもので
ある。
第３のいずれかの発明に係る基板処理装置の構成におい
て、通信制御手段は、データベースに格納すべきメッセ
ージの長さが所定の長さを越える場合にメッセージを複
数のレコードに分割してデータベースに格納するもので
ある。
【００２１】これにより、種々の長さのメッセージを固
定長のレコードを用いてデータベースに格納することが
可能となる。
定長のレコードを用いてデータベースに格納することが
可能となる。
【００２２】第５の発明に係る通信制御プログラムを記
録した記録媒体は、基板処理部、制御部および記憶手段
を備えた基板処理装置においてホストコンピュータとの
間での通信を制御する通信制御プログラムを記録した記
録媒体であって、通信制御プログラムは、基板処理部の
処理に基づくメッセージをホストコンピュータに送信す
る処理と、ホストコンピュータとの通信の喪失時に、ホ
ストコンピュータに送信すべきメッセージを含むレコー
ドをデータベースとして記憶手段に記憶させる処理と、
ホストコンピュータとの通信の回復時に、データベース
として記憶されたメッセージをホストコンピュータに送
信する処理とを、制御部に実行させるものである。
録した記録媒体は、基板処理部、制御部および記憶手段
を備えた基板処理装置においてホストコンピュータとの
間での通信を制御する通信制御プログラムを記録した記
録媒体であって、通信制御プログラムは、基板処理部の
処理に基づくメッセージをホストコンピュータに送信す
る処理と、ホストコンピュータとの通信の喪失時に、ホ
ストコンピュータに送信すべきメッセージを含むレコー
ドをデータベースとして記憶手段に記憶させる処理と、
ホストコンピュータとの通信の回復時に、データベース
として記憶されたメッセージをホストコンピュータに送
信する処理とを、制御部に実行させるものである。
【００２３】本発明に係る通信制御プログラムを記録し
た記録媒体によれば、基板処理装置の基板処理部の処理
に基づくメッセージがホストコンピュータに送信され
る。ホストコンピュータとの通信の喪失時には、ホスト
コンピュータに送信すべきメッセージを含むレコードが
記憶手段にデータベースとして記憶される。そして、ホ
ストコンピュータとの通信の回復時に、記憶手段にデー
タベースとして記憶されたメッセージがホストコンピュ
ータに送信される。
た記録媒体によれば、基板処理装置の基板処理部の処理
に基づくメッセージがホストコンピュータに送信され
る。ホストコンピュータとの通信の喪失時には、ホスト
コンピュータに送信すべきメッセージを含むレコードが
記憶手段にデータベースとして記憶される。そして、ホ
ストコンピュータとの通信の回復時に、記憶手段にデー
タベースとして記憶されたメッセージがホストコンピュ
ータに送信される。
【００２４】このように、ホストコンピュータとの通信
の喪失時にメッセージを含むレコードがデータベースと
して記憶されるので、メッセージの挿入および削除の操
作を容易に行うことができ、一部のレコードに破損が生
じても他のレコードに与える影響が少ない。
の喪失時にメッセージを含むレコードがデータベースと
して記憶されるので、メッセージの挿入および削除の操
作を容易に行うことができ、一部のレコードに破損が生
じても他のレコードに与える影響が少ない。
【００２５】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例における
基板処理装置の構成を示すブロック図、図２は図１の基
板処理装置の正面図、図３は図１の基板処理装置の制御
系の構成を示すブロック図である。
基板処理装置の構成を示すブロック図、図２は図１の基
板処理装置の正面図、図３は図１の基板処理装置の制御
系の構成を示すブロック図である。
【００２６】図１の基板処理装置１において、搬送ユニ
ット１２の周囲を取り囲むように、複数の回転処理ユニ
ット１４が配置されている。図２に示すように、複数の
回転処理ユニット１４の下部には薬液温調ユニット１３
が配置され、複数の回転処理ユニット１４の上部には複
数のベークユニット１５が複数段に配置されている。ま
た、複数の回転処理ユニット１４の一端部側にはインデ
クサユニット（基板搬入搬出装置）１１が配置されてい
る。インデクサユニット１１の側面にはメインパネル４
０が設けられている。
ット１２の周囲を取り囲むように、複数の回転処理ユニ
ット１４が配置されている。図２に示すように、複数の
回転処理ユニット１４の下部には薬液温調ユニット１３
が配置され、複数の回転処理ユニット１４の上部には複
数のベークユニット１５が複数段に配置されている。ま
た、複数の回転処理ユニット１４の一端部側にはインデ
クサユニット（基板搬入搬出装置）１１が配置されてい
る。インデクサユニット１１の側面にはメインパネル４
０が設けられている。
【００２７】搬送ユニット１２は、基板Ｗを保持する基
板保持部１２１を有し、鉛直軸方向に移動可能かつθ軸
方向（鉛直軸を中心とする回転方向）に回転可能に設け
られている。基板保持部１２１は、Ｘ軸方向（水平面内
で前進および後退する方向）に移動可能に設けられてい
る。
板保持部１２１を有し、鉛直軸方向に移動可能かつθ軸
方向（鉛直軸を中心とする回転方向）に回転可能に設け
られている。基板保持部１２１は、Ｘ軸方向（水平面内
で前進および後退する方向）に移動可能に設けられてい
る。
【００２８】回転処理ユニット１４は、基板を回転させ
ながら基板に所定の処理を行う。この回転処理ユニット
１４としては、基板上にフォトレジスト液等の処理液を
塗布する回転式塗布ユニット、基板に現像処理を行う回
転式現像ユニット、基板を洗浄する回転式洗浄ユニット
等がある。ベークユニット１５は、基板に加熱、冷却等
の温度処理を行う。このベークユニット１５としては、
基板を加熱する加熱ユニット（ホットプレート）、基板
を冷却する冷却ユニット（クーリングプレート）等があ
る。薬液温調ユニット１３は、回転処理ユニット１４で
用いられる薬液（処理液）の温度調整を行う。
ながら基板に所定の処理を行う。この回転処理ユニット
１４としては、基板上にフォトレジスト液等の処理液を
塗布する回転式塗布ユニット、基板に現像処理を行う回
転式現像ユニット、基板を洗浄する回転式洗浄ユニット
等がある。ベークユニット１５は、基板に加熱、冷却等
の温度処理を行う。このベークユニット１５としては、
基板を加熱する加熱ユニット（ホットプレート）、基板
を冷却する冷却ユニット（クーリングプレート）等があ
る。薬液温調ユニット１３は、回転処理ユニット１４で
用いられる薬液（処理液）の温度調整を行う。
【００２９】インデクサユニット１１は、移載ロボット
１１２を有する。移載ロボット１１２は、矢印Ｕの方向
に移動し、カセット１１１から基板Ｗを取り出して搬送
ユニット１２に渡し、逆に一連の処理が施された基板Ｗ
を搬送ユニット１２から受け取ってカセット１１１に戻
す。
１１２を有する。移載ロボット１１２は、矢印Ｕの方向
に移動し、カセット１１１から基板Ｗを取り出して搬送
ユニット１２に渡し、逆に一連の処理が施された基板Ｗ
を搬送ユニット１２から受け取ってカセット１１１に戻
す。
【００３０】搬送ユニット１２は、インデクサユニット
１１の移載ロボット１１２との間で基板Ｗの受け渡しを
行い、回転処理ユニット１４およびベークユニット１５
への基板の搬入および搬出を行う。
１１の移載ロボット１１２との間で基板Ｗの受け渡しを
行い、回転処理ユニット１４およびベークユニット１５
への基板の搬入および搬出を行う。
【００３１】図３に示すように、本実施例の基板処理装
置１の制御系は、メインコントローラ２０、インデクサ
ユニット用のスレーブコントローラ２１、搬送ユニット
用のスレーブコントローラ２２、薬液温調ユニット用の
スレーブコントローラ２３、回転処理ユニット用のスレ
ーブコントローラ２４およびベークユニット用のスレー
ブコントローラ２５を含む。
置１の制御系は、メインコントローラ２０、インデクサ
ユニット用のスレーブコントローラ２１、搬送ユニット
用のスレーブコントローラ２２、薬液温調ユニット用の
スレーブコントローラ２３、回転処理ユニット用のスレ
ーブコントローラ２４およびベークユニット用のスレー
ブコントローラ２５を含む。
【００３２】複数のスレーブコントローラ２１〜２５
は、通信ライン２００を介してメインコントローラ２０
に接続され、メインコントローラ２０は通信ライン２０
１を介してホストコンピュータ３０に接続されている。
また、メインコントローラ２０は、各種指令および各種
データの入力および表示を行うためのメインパネル４０
が接続されている。
は、通信ライン２００を介してメインコントローラ２０
に接続され、メインコントローラ２０は通信ライン２０
１を介してホストコンピュータ３０に接続されている。
また、メインコントローラ２０は、各種指令および各種
データの入力および表示を行うためのメインパネル４０
が接続されている。
【００３３】各スレーブコントローラ２１〜２５は、そ
れぞれの制御プログラムに従って動作し、メインコント
ローラ２０からの指令に従って各ユニット１１〜１５の
動作を制御する。
れぞれの制御プログラムに従って動作し、メインコント
ローラ２０からの指令に従って各ユニット１１〜１５の
動作を制御する。
【００３４】図４は図３の基板処理装置１のメインコン
トローラ２０の構成を示すブロック図である。
トローラ２０の構成を示すブロック図である。
【００３５】図４に示すように、メインコントローラ２
０は、通信制御モジュール２１０、装置制御モジュール
２２０、データベース管理ソフトウェア２３０およびデ
ータベース２４０を含む。データベース２４０は例えば
リレーショナルデータベースである。
０は、通信制御モジュール２１０、装置制御モジュール
２２０、データベース管理ソフトウェア２３０およびデ
ータベース２４０を含む。データベース２４０は例えば
リレーショナルデータベースである。
【００３６】通信制御モジュール２１０は、ＣＰＵ（中
央演算処理装置）、およびメモリ等の一次記憶装置を含
み、通信ライン２０１を介してホストコンピュータ３０
に接続される。また、装置制御モジュール２２０は、Ｃ
ＰＵ、およびメモリ等の一次記憶装置を含み、通信ライ
ン２００を介して複数のスレーブコントローラ２１〜２
５に接続される。データベース管理ソフトウェア２３０
およびデータベース２４０はハードディスク装置等の二
次記憶装置２５０に格納される。
央演算処理装置）、およびメモリ等の一次記憶装置を含
み、通信ライン２０１を介してホストコンピュータ３０
に接続される。また、装置制御モジュール２２０は、Ｃ
ＰＵ、およびメモリ等の一次記憶装置を含み、通信ライ
ン２００を介して複数のスレーブコントローラ２１〜２
５に接続される。データベース管理ソフトウェア２３０
およびデータベース２４０はハードディスク装置等の二
次記憶装置２５０に格納される。
【００３７】通信制御モジュール２１０は、通信制御プ
ログラムに従って動作し、ホストコンピュータ３０から
の各種指令および各種データを受信して装置制御モジュ
ールに転送するとともに、装置制御モジュール２２０か
ら与えられる各種メッセージをホストコンピュータ３０
に送信する。
ログラムに従って動作し、ホストコンピュータ３０から
の各種指令および各種データを受信して装置制御モジュ
ールに転送するとともに、装置制御モジュール２２０か
ら与えられる各種メッセージをホストコンピュータ３０
に送信する。
【００３８】通信制御プログラムは、二次記憶装置２５
０に保存され、通信制御モジュール２１０の一次記憶装
置に呼び出されて実行される。
０に保存され、通信制御モジュール２１０の一次記憶装
置に呼び出されて実行される。
【００３９】また、この通信制御モジュール２１０は、
ホストコンピュータ３０との間の通信が喪失した場合
に、通信制御プログラムに従って後述するスプーリング
機能を実行し、ホストコンピュータ３０に送信すべきメ
ッセージをデータベース管理ソフトウェア２３０を介し
てデータベース２４０により構成されるスプールテーブ
ルに格納し、二次記憶装置２５０に保存する。
ホストコンピュータ３０との間の通信が喪失した場合
に、通信制御プログラムに従って後述するスプーリング
機能を実行し、ホストコンピュータ３０に送信すべきメ
ッセージをデータベース管理ソフトウェア２３０を介し
てデータベース２４０により構成されるスプールテーブ
ルに格納し、二次記憶装置２５０に保存する。
【００４０】装置制御モジュール２２０は、通信制御モ
ジュール２１０から転送される各種指令および各種デー
タに基づいて複数のユニット１１〜１５を協調動作させ
るために複数のスレーブコントローラ２１〜２５を統括
制御する。また、この装置制御モジュール２２０は、各
スレーブコントローラ２１〜２５から与えられる状態報
告をメッセージとして通信制御モジュール２１０に与え
る。
ジュール２１０から転送される各種指令および各種デー
タに基づいて複数のユニット１１〜１５を協調動作させ
るために複数のスレーブコントローラ２１〜２５を統括
制御する。また、この装置制御モジュール２２０は、各
スレーブコントローラ２１〜２５から与えられる状態報
告をメッセージとして通信制御モジュール２１０に与え
る。
【００４１】本実施例では、ユニット１１〜１５および
スレーブコントローラ２１〜２５が基板処理部を構成
し、二次記憶装置２５０が記憶手段に相当し、通信制御
モジュール２１０が通信制御手段または制御部に相当す
る。
スレーブコントローラ２１〜２５が基板処理部を構成
し、二次記憶装置２５０が記憶手段に相当し、通信制御
モジュール２１０が通信制御手段または制御部に相当す
る。
【００４２】図５〜図７は図４の通信制御モジュール２
１０により作成されるスプールテーブルの例を示す図で
ある。このスプールテーブルは図４のデータベース２４
０により構成される。以下、図５〜図７を参照しながら
図４の通信制御モジュール２１０によるスプーリング機
能を説明する。
１０により作成されるスプールテーブルの例を示す図で
ある。このスプールテーブルは図４のデータベース２４
０により構成される。以下、図５〜図７を参照しながら
図４の通信制御モジュール２１０によるスプーリング機
能を説明する。
【００４３】図５のスプールテーブルＳＴにおいて、第
１列〜第６列にそれぞれスプール番号、スプール時間、
ストリームコード、ファンクションコード、ブロック番
号およびスプールデータが格納される。スプールテーブ
ルの各行はそれぞれ１つのレコードを構成する。
１列〜第６列にそれぞれスプール番号、スプール時間、
ストリームコード、ファンクションコード、ブロック番
号およびスプールデータが格納される。スプールテーブ
ルの各行はそれぞれ１つのレコードを構成する。
【００４４】図４の通信制御モジュール２１０は、一次
記憶装置にスプールテーブルＳＴを保持するとともに、
最大スプールサイズ（最大レコード数）、最旧スプール
番号および最新スプール番号を内部変数として保持す
る。本実施例では、最大スプールサイズをｎとする。こ
こで、ｎは任意の整数である。
記憶装置にスプールテーブルＳＴを保持するとともに、
最大スプールサイズ（最大レコード数）、最旧スプール
番号および最新スプール番号を内部変数として保持す
る。本実施例では、最大スプールサイズをｎとする。こ
こで、ｎは任意の整数である。
【００４５】スプール番号は、当該レコードを識別する
ための番号である。スプール時間は、当該レコードが挿
入された時間を表す。ストリームコードおよびファンク
ションコードは、メッセージのフォーマットを表す。メ
ッセージの長さが所定の最大格納サイズを越える場合に
は、そのメーセッジは複数のブロックに分割されて複数
のレコードに格納される。ブロック番号は、１つのメッ
セージが複数のブロックに分割された場合の各ブロック
を識別する番号である。メッセージが分割されない場合
には、ブロック番号として「０」が格納される。スプー
ルデータはヘッダ部およびメッセージ部からなり、メッ
セージ部にメッセージが格納される。
ための番号である。スプール時間は、当該レコードが挿
入された時間を表す。ストリームコードおよびファンク
ションコードは、メッセージのフォーマットを表す。メ
ッセージの長さが所定の最大格納サイズを越える場合に
は、そのメーセッジは複数のブロックに分割されて複数
のレコードに格納される。ブロック番号は、１つのメッ
セージが複数のブロックに分割された場合の各ブロック
を識別する番号である。メッセージが分割されない場合
には、ブロック番号として「０」が格納される。スプー
ルデータはヘッダ部およびメッセージ部からなり、メッ
セージ部にメッセージが格納される。
【００４６】ホストコンピュータ３０との通信が喪失
し、スプーリング機能が実行されると、通信制御モジュ
ール２１０からホストコンピュータ３０に送信すべきメ
ッセージを含むレコードがスプール番号をキー項目とし
てスプールテーブルＳＴに挿入される。スプールテーブ
ルＳＴのレコードには「１」から昇順にスプール番号が
付与される。このとき、最旧スプール番号は「１」のま
ま保持され、最新スプール番号が順次更新される。
し、スプーリング機能が実行されると、通信制御モジュ
ール２１０からホストコンピュータ３０に送信すべきメ
ッセージを含むレコードがスプール番号をキー項目とし
てスプールテーブルＳＴに挿入される。スプールテーブ
ルＳＴのレコードには「１」から昇順にスプール番号が
付与される。このとき、最旧スプール番号は「１」のま
ま保持され、最新スプール番号が順次更新される。
【００４７】図５の例では、スプール番号「１」のレコ
ードが最も古い時点で挿入されたので、最旧スプール番
号は「１」となっている。また、スプール番号「４」の
レコードが最も新しい時点で挿入されたので、最新スプ
ール番号は「４」となっている。
ードが最も古い時点で挿入されたので、最旧スプール番
号は「１」となっている。また、スプール番号「４」の
レコードが最も新しい時点で挿入されたので、最新スプ
ール番号は「４」となっている。
【００４８】２番目のメッセージは２つのブロックに分
割され、それらのブロックにブロック番号「１」および
「２」が付与され、ブロック番号「１」およびブロック
番号「２」のメッセージを含む２つのレコードがスプー
ル番号「２」および「３」として続けて格納されてい
る。
割され、それらのブロックにブロック番号「１」および
「２」が付与され、ブロック番号「１」およびブロック
番号「２」のメッセージを含む２つのレコードがスプー
ル番号「２」および「３」として続けて格納されてい
る。
【００４９】なお、スプールテーブルＳＴのスプールデ
ータ、最旧スプール番号および最新スプール番号は、デ
ータベース２４０の値として随時二次記憶装置２５０に
保存される。
ータ、最旧スプール番号および最新スプール番号は、デ
ータベース２４０の値として随時二次記憶装置２５０に
保存される。
【００５０】スプールテーブルＳＴの満杯時の処理とし
ては、上書きまたは破棄を設定することができる。スプ
ールテーブルＳＴの満杯時の処理が上書きに設定されて
いる場合には、最新スプール番号の更新により最新スプ
ール番号が最大スプールサイズｎに到達すると、最旧ス
プール番号のレコードが削除され、最旧スプール番号が
カウントアップされるとともに空いたスプール番号に新
たなレコードが挿入される。そして、最新スプール番号
が更新される。スプールテーブルＳＴの満杯時の処理が
破棄に設定されている場合には、最新スプール番号の更
新により最新スプール番号が最大スプールサイズｎに到
達すると、新たなレコードは破棄される。
ては、上書きまたは破棄を設定することができる。スプ
ールテーブルＳＴの満杯時の処理が上書きに設定されて
いる場合には、最新スプール番号の更新により最新スプ
ール番号が最大スプールサイズｎに到達すると、最旧ス
プール番号のレコードが削除され、最旧スプール番号が
カウントアップされるとともに空いたスプール番号に新
たなレコードが挿入される。そして、最新スプール番号
が更新される。スプールテーブルＳＴの満杯時の処理が
破棄に設定されている場合には、最新スプール番号の更
新により最新スプール番号が最大スプールサイズｎに到
達すると、新たなレコードは破棄される。
【００５１】図６の例では、最新スプール番号が最大ス
プールサイズｎに到達すると、最旧スプール番号「１」
のレコードが削除され、最旧スプール番号が「２」にカ
ウントアップされるとともに、空いたスプール番号
「１」に新たなレコードが挿入され、最新スプール番号
が「１」に更新される。
プールサイズｎに到達すると、最旧スプール番号「１」
のレコードが削除され、最旧スプール番号が「２」にカ
ウントアップされるとともに、空いたスプール番号
「１」に新たなレコードが挿入され、最新スプール番号
が「１」に更新される。
【００５２】以降、新たなレコードの挿入ごとに最旧ス
プール番号および最新スプール番号を順次更新し、最旧
スプール番号および最新スプール番号がそれぞれ最大ス
プールサイズに到達するとそれらを順次「１」に戻す処
理を繰り返し行う。
プール番号および最新スプール番号を順次更新し、最旧
スプール番号および最新スプール番号がそれぞれ最大ス
プールサイズに到達するとそれらを順次「１」に戻す処
理を繰り返し行う。
【００５３】なお、削除すべきメッセージが複数のブロ
ックにわたっている場合には、それらの複数のブロック
を含む複数のレコードが一括して削除され、一時的に空
いたスプール番号が発生する。この場合、次のレコード
の挿入時に空いたスプール番号が使用される。
ックにわたっている場合には、それらの複数のブロック
を含む複数のレコードが一括して削除され、一時的に空
いたスプール番号が発生する。この場合、次のレコード
の挿入時に空いたスプール番号が使用される。
【００５４】例えば、図６のスプール番号「２」および
「３」のレコードが一括して削除された場合には、図７
に示すように、新たなレコードがスプール番号「２」に
挿入される。そして、最旧スプール番号が「４」に更新
されるとともに、最新スプール番号が「２」に更新され
る。この場合、空いたスプール番号「３」は、次のレコ
ードの挿入時に用いられる。
「３」のレコードが一括して削除された場合には、図７
に示すように、新たなレコードがスプール番号「２」に
挿入される。そして、最旧スプール番号が「４」に更新
されるとともに、最新スプール番号が「２」に更新され
る。この場合、空いたスプール番号「３」は、次のレコ
ードの挿入時に用いられる。
【００５５】また、新たにスプールテーブルＳＴに格納
するメッセージが複数のブロックに分割される場合に
は、スプールテーブルＳＴ内の複数のレコードが一括し
て削除される。
するメッセージが複数のブロックに分割される場合に
は、スプールテーブルＳＴ内の複数のレコードが一括し
て削除される。
【００５６】メインコントローラ２０とホストコンピュ
ータ３０との通信が回復すると、通信制御モジュール２
１０はホストコンピュータ３０の要求に従ってスプール
テーブルＳＴ内のメッセージを最旧スプール番号のレコ
ードから順にホストコンピュータ３０に送信する。それ
に伴って、送信されたメッセージを含むレコードがスプ
ールテーブルＳＴから削除されるとともに、最旧スプー
ル番号が更新される。
ータ３０との通信が回復すると、通信制御モジュール２
１０はホストコンピュータ３０の要求に従ってスプール
テーブルＳＴ内のメッセージを最旧スプール番号のレコ
ードから順にホストコンピュータ３０に送信する。それ
に伴って、送信されたメッセージを含むレコードがスプ
ールテーブルＳＴから削除されるとともに、最旧スプー
ル番号が更新される。
【００５７】スプールテーブルＳＴからホストコンピュ
ータ３０へのメッセージの送信中にも、スプールテーブ
ルＳＴへの新たなレコードの挿入および最新スプール番
号の更新が行われる。最旧スプール番号から昇順の方向
にある全てのレコードのメッセージの送信が終了し、最
旧スプール番号が最新スプール番号に到達すると、スプ
ールテーブルＳＴからのメッセージの送信が終了し、通
信制御モジュール２１０のスプーリング機能が非活性状
態となる。
ータ３０へのメッセージの送信中にも、スプールテーブ
ルＳＴへの新たなレコードの挿入および最新スプール番
号の更新が行われる。最旧スプール番号から昇順の方向
にある全てのレコードのメッセージの送信が終了し、最
旧スプール番号が最新スプール番号に到達すると、スプ
ールテーブルＳＴからのメッセージの送信が終了し、通
信制御モジュール２１０のスプーリング機能が非活性状
態となる。
【００５８】通信の回復時にホストコンピュータ３０か
らパージ要求があった場合には、スプールテーブルＳＴ
の全てのレコードが一括削除される。
らパージ要求があった場合には、スプールテーブルＳＴ
の全てのレコードが一括削除される。
【００５９】本実施例の基板処理装置においては、メイ
ンコントローラ２０とホストコンピュータ３０との通信
の喪失時にメインコントローラ２０からホストコンピュ
ータ３０に送信すべきメッセージがデータベース２４０
により構成されるスプールテーブルＳＴに格納される。
それにより、スプーリング機能の実行時におけるメッセ
ージの操作が容易になるため、通信制御モジュール２１
０の処理性能が向上する。
ンコントローラ２０とホストコンピュータ３０との通信
の喪失時にメインコントローラ２０からホストコンピュ
ータ３０に送信すべきメッセージがデータベース２４０
により構成されるスプールテーブルＳＴに格納される。
それにより、スプーリング機能の実行時におけるメッセ
ージの操作が容易になるため、通信制御モジュール２１
０の処理性能が向上する。
【００６０】また、スプールテーブルＳＴに格納された
メッセージの順序が各レコードに付与されたスプール番
号で管理されるので、スプールテーブルＳＴ内のいずれ
かのレコードに破損が生じても、他のレコードにほとん
ど影響を与えない。例えばスプールテーブルＳＴを二次
記憶装置２５０に保存する際にいずれかのレコードが消
失しても、スプール番号を用いてスプールテーブルＳＴ
内の他のレコードを容易に検索することができる。
メッセージの順序が各レコードに付与されたスプール番
号で管理されるので、スプールテーブルＳＴ内のいずれ
かのレコードに破損が生じても、他のレコードにほとん
ど影響を与えない。例えばスプールテーブルＳＴを二次
記憶装置２５０に保存する際にいずれかのレコードが消
失しても、スプール番号を用いてスプールテーブルＳＴ
内の他のレコードを容易に検索することができる。
【００６１】上記実施例では、通信制御プログラムが記
録される記録媒体としてハードディスク装置等の二次記
憶装置２５０が用いられているが、通信制御プログラム
をフロッピィディスク、ＣＤＲＯＭ、光ディスク、半導
体メモリ等の他の記録媒体に記録してもよい。
録される記録媒体としてハードディスク装置等の二次記
憶装置２５０が用いられているが、通信制御プログラム
をフロッピィディスク、ＣＤＲＯＭ、光ディスク、半導
体メモリ等の他の記録媒体に記録してもよい。
【図１】本発明の一実施例における基板処理装置の平面
図である。
図である。
【図２】図１の基板処理装置の正面図である。
【図３】図１の基板処理装置の制御系の構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図４】図３の基板処理装置のメインコントローラの構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図５】図４の通信制御モジュールにより作成されるス
プールテーブルの一例を示す図である。
プールテーブルの一例を示す図である。
【図６】図４の通信制御モジュールにより作成されるス
プールテーブルの他の例を示す図である。
プールテーブルの他の例を示す図である。
【図７】図４の通信制御モジュールにより作成されるス
プールテーブルのさらに他の例を示す図である。
プールテーブルのさらに他の例を示す図である。
【図８】従来の基板処理装置のスプーリング機能により
実現されるスプールファイルの一例を示す図である。
実現されるスプールファイルの一例を示す図である。
１ 基板処理装置 １１ インデクサユニット １２ 搬送ユニット １３ 薬液温調ユニット １４ 回転処理ユニット １５ ベークユニット ２０ メインコントローラ ３０ ホストコンピュータ ２１〜２５ スレーブコントローラ ２００，２０１ 通信ライン ２１０ 通信制御モジュール ２２０ 装置制御モジュール ２３０ データベース管理ソフトウェア ２４０ データベース ２５０ 二次記憶装置 ＳＴ スプールテーブル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井上 秀和 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 吉田 多久司 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 Ｆターム(参考） 5F031 CA05 CA07 GA47 GA48 PA04
Claims (5)
- 【請求項１】 ホストコンピュータとの間で通信を行う
機能を有する基板処理装置であって、 基板に所定の処理を行う基板処理部と、 記憶手段と、 前記基板処理部の処理に基づくメッセージを前記ホスト
コンピュータに送信し、前記ホストコンピュータとの通
信の喪失時に、前記ホストコンピュータに送信すべきメ
ッセージを含むレコードをデータベースとして前記記憶
手段に記憶させ、前記ホストコンピュータとの通信の回
復時に、前記記憶手段に前記データベースとして記憶さ
れたメッセージを前記ホストコンピュータに送信する通
信制御手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 【請求項２】 前記通信制御手段は、前記データベース
に格納されたレコードのうち最新のレコードを示す情報
および最旧のレコードを示す情報を保持し、新たなメッ
セージを格納するごとに前記最新のレコードを示す情報
を更新することを特徴とする請求項１記載の基板処理装
置。 - 【請求項３】 前記通信制御手段は、前記データベース
に格納されるレコードが所定の数に達した場合に前記デ
ータベースの最旧のレコードを削除して新たなレコード
を格納するとともに、前記最新のレコードを示す情報お
よび前記最旧のレコードを示す情報を更新する機能を有
することを特徴とする請求項２記載の基板処理装置。 - 【請求項４】 前記通信制御手段は、前記データベース
に格納すべきメッセージの長さが所定の長さを越える場
合にメッセージを複数のレコードに分割して前記データ
ベースに格納することを特徴とする請求項１〜３のいず
れかに記載の基板処理装置。 - 【請求項５】 基板処理部、制御部および記憶手段を備
えた基板処理装置においてホストコンピュータとの間で
の通信を制御する通信制御プログラムを記録した記録媒
体であって、 前記通信制御プログラムは、 前記基板処理部の処理に基づくメッセージを前記ホスト
コンピュータに送信する処理と、 前記ホストコンピュータとの通信の喪失時に、前記ホス
トコンピュータに送信すべきメッセージを含むレコード
をデータベースとして前記記憶手段に記憶させる処理
と、 前記ホストコンピュータとの通信の回復時に、前記デー
タベースとして記憶されたメッセージを前記ホストコン
ピュータに送信する処理とを、前記制御部に実行させる
ことを特徴とする通信制御プログラムを記録した記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6623599A JP3945932B2 (ja) | 1999-03-12 | 1999-03-12 | 基板処理装置および通信制御プログラムを記録した記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6623599A JP3945932B2 (ja) | 1999-03-12 | 1999-03-12 | 基板処理装置および通信制御プログラムを記録した記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000260675A true JP2000260675A (ja) | 2000-09-22 |
| JP3945932B2 JP3945932B2 (ja) | 2007-07-18 |
Family
ID=13310001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6623599A Expired - Fee Related JP3945932B2 (ja) | 1999-03-12 | 1999-03-12 | 基板処理装置および通信制御プログラムを記録した記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3945932B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009155444A2 (en) * | 2008-06-19 | 2009-12-23 | Varian Semiconductor Equipment Associates | Material transport systems using autonomous controls |
| US8099790B2 (en) * | 2006-12-25 | 2012-01-17 | Funai Electric Co., Ltd. | Optical disk replay device |
-
1999
- 1999-03-12 JP JP6623599A patent/JP3945932B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8099790B2 (en) * | 2006-12-25 | 2012-01-17 | Funai Electric Co., Ltd. | Optical disk replay device |
| WO2009155444A2 (en) * | 2008-06-19 | 2009-12-23 | Varian Semiconductor Equipment Associates | Material transport systems using autonomous controls |
| WO2009155444A3 (en) * | 2008-06-19 | 2010-04-08 | Varian Semiconductor Equipment Associates | Material transport systems using autonomous controls |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3945932B2 (ja) | 2007-07-18 |
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