JP2000259251A - ネットワークサーボ - Google Patents
ネットワークサーボInfo
- Publication number
- JP2000259251A JP2000259251A JP11060792A JP6079299A JP2000259251A JP 2000259251 A JP2000259251 A JP 2000259251A JP 11060792 A JP11060792 A JP 11060792A JP 6079299 A JP6079299 A JP 6079299A JP 2000259251 A JP2000259251 A JP 2000259251A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- encoder
- servo
- drive unit
- servo drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 正確な位置を検出できるネットワークサー
ボを提供する。 【解決手段】エンコーダを備えてロボットのアームを駆
動するモータ１と、アームの位置を検出するセンサ５
と、エンコーダとセンサ５の信号を入力してモータ１の
回転位置を制御するとともに上位コントローラとネット
ワークで接続されたサーボドライブユニット３とからな
るサーボ系において、サーボドライブユニット３は、エ
ンコーダの信号を現在地カウンタとして取込んでラッチ
し、センサ信号をラッチデータとして取込んでラッチ
し、上位コントローラの伝送割込を現在値ラッチとして
取込んでラッチし、その他トルクデータとともにこれら
を切換えて上位コントローラの返送データとする。
ボを提供する。 【解決手段】エンコーダを備えてロボットのアームを駆
動するモータ１と、アームの位置を検出するセンサ５
と、エンコーダとセンサ５の信号を入力してモータ１の
回転位置を制御するとともに上位コントローラとネット
ワークで接続されたサーボドライブユニット３とからな
るサーボ系において、サーボドライブユニット３は、エ
ンコーダの信号を現在地カウンタとして取込んでラッチ
し、センサ信号をラッチデータとして取込んでラッチ
し、上位コントローラの伝送割込を現在値ラッチとして
取込んでラッチし、その他トルクデータとともにこれら
を切換えて上位コントローラの返送データとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はネットワークで接続
された半導体製造装置等のサーボドライブ装置に関す
る。
された半導体製造装置等のサーボドライブ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ＮＣ装置やロボット等のシステムにおい
ては、制御装置と機械原点が一致していなければ精度良
く動作させることができないため、機械原点との突き合
わせをすることが必要である。機械原点との突き合わせ
をする従来の方法は、制御装置を原点復帰モードにして
通常の電源投入時にその作業を実行すれば、一応、機械
原点と制御装置の原点を一致させることができていた。
ては、制御装置と機械原点が一致していなければ精度良
く動作させることができないため、機械原点との突き合
わせをすることが必要である。機械原点との突き合わせ
をする従来の方法は、制御装置を原点復帰モードにして
通常の電源投入時にその作業を実行すれば、一応、機械
原点と制御装置の原点を一致させることができていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、半年体製造
装置の搬送口ボットの場合、原点突き合わせの専用のワ
ークが非常に高価であったり、駆動用のサーボモータと
アームの間に設けられている動力伝達用のベルトに生じ
る伸びのため、常に機械原点との突き合わせが要求され
る。その際、サーボドライブの動作時にセンサー信号で
現在値をラッチすることが必要になる場合があるが、サ
ーボドライブがネットワークで結合されたシステムでは
上位コントローラにデータを戻しコントローラに入力し
た信号でサーボドライブから戻って来た現在値データを
ラッチしても正確な値を得ることが出来ないという問題
があった。そこで本発明は、その問題を解決するネット
ワークサーボを提供することを目的とする。
装置の搬送口ボットの場合、原点突き合わせの専用のワ
ークが非常に高価であったり、駆動用のサーボモータと
アームの間に設けられている動力伝達用のベルトに生じ
る伸びのため、常に機械原点との突き合わせが要求され
る。その際、サーボドライブの動作時にセンサー信号で
現在値をラッチすることが必要になる場合があるが、サ
ーボドライブがネットワークで結合されたシステムでは
上位コントローラにデータを戻しコントローラに入力し
た信号でサーボドライブから戻って来た現在値データを
ラッチしても正確な値を得ることが出来ないという問題
があった。そこで本発明は、その問題を解決するネット
ワークサーボを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のネットワークサ
ーボは、エンコーダを備えてロボットのアームを駆動す
るモータと、前記アームの位置を検出するセンサと、前
記エンコーダと前記センサの信号を入力して前記モータ
の回転位置を制御するとともに上位コントローラとネッ
トワークで接続されたサーボドライブユニットとからな
るサーボ系において、前記サーボドライブユニットは、
前記エンコーダの信号を現在地カウンタとして取込んで
ラッチし、前記センサ信号をラッチデータとして取込ん
でラッチし、前記上位コントローラの伝送割込を現在値
ラッチとして取込んでラッチし、その他トルクデータと
ともにこれらを切換えて前記上位コントローラの返送デ
ータとすることを特徴とする。これによって、センサ信
号をサーボドライブユニットに直接入力し、サーボドラ
イブユニットからの返送データの種類にラッチデータを
加えて、センサーとサーボドライブ内部の位置関係を正
確にすることができるのである。
ーボは、エンコーダを備えてロボットのアームを駆動す
るモータと、前記アームの位置を検出するセンサと、前
記エンコーダと前記センサの信号を入力して前記モータ
の回転位置を制御するとともに上位コントローラとネッ
トワークで接続されたサーボドライブユニットとからな
るサーボ系において、前記サーボドライブユニットは、
前記エンコーダの信号を現在地カウンタとして取込んで
ラッチし、前記センサ信号をラッチデータとして取込ん
でラッチし、前記上位コントローラの伝送割込を現在値
ラッチとして取込んでラッチし、その他トルクデータと
ともにこれらを切換えて前記上位コントローラの返送デ
ータとすることを特徴とする。これによって、センサ信
号をサーボドライブユニットに直接入力し、サーボドラ
イブユニットからの返送データの種類にラッチデータを
加えて、センサーとサーボドライブ内部の位置関係を正
確にすることができるのである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
基づいて説明する。図１は本発明の構成を示すブロック
図であり、ロボットのアームを駆動するネットワークサ
ーボドライブシステムの構成を示している。図において
１はエンコーダを備えたモータ、２１はモータ１で駆動
されるプーリ、２３はプーリ２１に掛けられたベルト、
２２はベルト２３が掛けられたプーリ、４はプーリ２２
に固定されたアーム、５はアーム４の原点を検出するセ
ンサ、３はモータ１に内蔵するエンコーダの信号とセン
サ５の信号を入力し、モータを駆動するサーボドライブ
ユニットであり、これらによってアーム４の位置を制御
するサーボ系をなしている。図１の（ａ）はアーム４が
センサ５から離れている場合を示しており、（ｂ）はサ
ーボ系の一部を示し、アーム４Bがセンサ５に接近する
と出力されるセンサ信号５１がパルスになることを示し
ている。またサーボドライブユニット３はネットワーク
を介して上位のコントローラと接続されている。
基づいて説明する。図１は本発明の構成を示すブロック
図であり、ロボットのアームを駆動するネットワークサ
ーボドライブシステムの構成を示している。図において
１はエンコーダを備えたモータ、２１はモータ１で駆動
されるプーリ、２３はプーリ２１に掛けられたベルト、
２２はベルト２３が掛けられたプーリ、４はプーリ２２
に固定されたアーム、５はアーム４の原点を検出するセ
ンサ、３はモータ１に内蔵するエンコーダの信号とセン
サ５の信号を入力し、モータを駆動するサーボドライブ
ユニットであり、これらによってアーム４の位置を制御
するサーボ系をなしている。図１の（ａ）はアーム４が
センサ５から離れている場合を示しており、（ｂ）はサ
ーボ系の一部を示し、アーム４Bがセンサ５に接近する
と出力されるセンサ信号５１がパルスになることを示し
ている。またサーボドライブユニット３はネットワーク
を介して上位のコントローラと接続されている。
【０００６】図２はサーボドライブユニット３の内部構
成の一部を示すブロック図であり、７１が現在値カウン
タ、７２がラッチデータ、７３が現在値ラッチ、７４が
その他トルクなどのデータ、８が切換え器である。サー
ボドライブユニット３に内蔵されたエンコーダの信号１
Ｂは現在値カウンタ７１に取込まれ、位置を計数する。
この値は一定周期の伝送割込でラッチされ伝送データと
して上位コントローラに送られる。センサ５のパルス信
号５１はラッチデータ７２に取込まれ、リアルタイムに
ラッチされる。これらのラッチされたデータは、ラッチ
データとして現在値データやトルクデータ等と同様の扱
いでネットワークを介して上位のコントローラに送られ
る。これらを受けた上位コントローラは、この位置を一
定になるよう制御することによってベルトの伸びや、プ
ーリの変形等の機械的なずれがあっても補正されるので
ある。なお、本発明のネットワークサーボの動作は以上
のとおりであるが、センサ信号の取込み動作は通常の運
転モードで行うことができるので、原点合わせのために
動作時間がかかるという２次的な問題が生じることはな
い。
成の一部を示すブロック図であり、７１が現在値カウン
タ、７２がラッチデータ、７３が現在値ラッチ、７４が
その他トルクなどのデータ、８が切換え器である。サー
ボドライブユニット３に内蔵されたエンコーダの信号１
Ｂは現在値カウンタ７１に取込まれ、位置を計数する。
この値は一定周期の伝送割込でラッチされ伝送データと
して上位コントローラに送られる。センサ５のパルス信
号５１はラッチデータ７２に取込まれ、リアルタイムに
ラッチされる。これらのラッチされたデータは、ラッチ
データとして現在値データやトルクデータ等と同様の扱
いでネットワークを介して上位のコントローラに送られ
る。これらを受けた上位コントローラは、この位置を一
定になるよう制御することによってベルトの伸びや、プ
ーリの変形等の機械的なずれがあっても補正されるので
ある。なお、本発明のネットワークサーボの動作は以上
のとおりであるが、センサ信号の取込み動作は通常の運
転モードで行うことができるので、原点合わせのために
動作時間がかかるという２次的な問題が生じることはな
い。
【０００７】
【発明の効果】本発明によれば、リアルタイムに機械位
置のずれを検出することができるので、ロボットアーム
の正確な位置検出を定常的に維持できて、ロボットアー
ムの実用性を高めることができるという効果がある。
置のずれを検出することができるので、ロボットアーム
の正確な位置検出を定常的に維持できて、ロボットアー
ムの実用性を高めることができるという効果がある。
【図１】本発明のネットワークサーボの構成を示すブロ
ック図
ック図
【図２】サーボドライブユニットのブロック図 １ モータ ２１、２２ プーリ ２３ ベルト ３ サーボドライブユニット ４ アーム ５ センサ ７１ 現在値カウンタ ７２ ラッチデータ ７３ 現在値ラッチ ８ 切換え器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F059 AA01 AA14 AA16 BA01 DA08 DA10 DC08 DD01 FB26 5H269 AB17 AB21 AB33 BB03 FF01 JJ02 JJ12 KK04 KK05 5H303 AA06 BB01 BB06 DD01 EE03 EE07 FF01 FF08 FF20 GG02 HH01 HH05 HH07 HH09 MM05
Claims (1)
- 【請求項１】エンコーダを備えてロボットのアームを駆
動するモータと、前記アームの位置を検出するセンサ
と、前記エンコーダと前記センサの信号を入力して前記
モータの回転位置を制御するとともに上位コントローラ
とネットワークで接続されたサーボドライブユニットと
からなるサーボ系において、 前記サーボドライブユニットは、前記エンコーダの信号
を現在地カウンタとして取込んでラッチし、前記センサ
信号をラッチデータとして取込んでラッチし、前記上位
コントローラの伝送割込を現在値ラッチとして取込んで
ラッチし、その他トルクデータとともにこれらを切換え
て前記上位コントローラの返送データとすることを特徴
とするネットワークサーボ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11060792A JP2000259251A (ja) | 1999-03-08 | 1999-03-08 | ネットワークサーボ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11060792A JP2000259251A (ja) | 1999-03-08 | 1999-03-08 | ネットワークサーボ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000259251A true JP2000259251A (ja) | 2000-09-22 |
Family
ID=13152525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11060792A Pending JP2000259251A (ja) | 1999-03-08 | 1999-03-08 | ネットワークサーボ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000259251A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008186421A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Yaskawa Electric Corp | 位置データラッチ装置および位置データラッチ方法 |
-
1999
- 1999-03-08 JP JP11060792A patent/JP2000259251A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008186421A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Yaskawa Electric Corp | 位置データラッチ装置および位置データラッチ方法 |
| JP4677994B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2011-04-27 | 株式会社安川電機 | サーボドライバ |
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