JP2000258107A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】インダクトシンセンサの電磁誘導量を増加させ
ることにより、位置検出精度を向上させた位置検出装置
を提供する。 【解決手段】センサ本体１と、センサ本体１に固定され
第一の平面的なコイルパターン４が設けられた基板から
なる第一スケール部３と、第一スケール部３と複数のコ
ラム８、１８を介して結合される第二の平面的なコイル
パターン１４が設けられた基板からなる第二スケール部
１３と、第一スケール部３と第二スケール部１３との中
間位置に配置され第一の平面的なコイルパターン４との
対向面に第三の平面的なコイルパターン６が設けられ第
二の平面的なコイルパターン１４との対向面に第四の平
面的なコイルパターン１６が設けられた基板からなるス
ライダ部５とを有することを特徴とする。
ることにより、位置検出精度を向上させた位置検出装置
を提供する。 【解決手段】センサ本体１と、センサ本体１に固定され
第一の平面的なコイルパターン４が設けられた基板から
なる第一スケール部３と、第一スケール部３と複数のコ
ラム８、１８を介して結合される第二の平面的なコイル
パターン１４が設けられた基板からなる第二スケール部
１３と、第一スケール部３と第二スケール部１３との中
間位置に配置され第一の平面的なコイルパターン４との
対向面に第三の平面的なコイルパターン６が設けられ第
二の平面的なコイルパターン１４との対向面に第四の平
面的なコイルパターン１６が設けられた基板からなるス
ライダ部５とを有することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電磁誘導方式による
位置検出装置に関し、特に、インダクトシンセンサの電
磁誘導量を増加させることにより、位置検出精度を向上
させた位置検出装置に関する。
位置検出装置に関し、特に、インダクトシンセンサの電
磁誘導量を増加させることにより、位置検出精度を向上
させた位置検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の位置検出装置について、図４、図
５、および図６を参照して説明する。
５、および図６を参照して説明する。
【０００３】図４は位置検出装置を示す概略正面図、図
５はスライダ部の平面的なコイルパターンを示す図、図
６はスケール部の平面的なコイルパターンを示す図であ
る。
５はスライダ部の平面的なコイルパターンを示す図、図
６はスケール部の平面的なコイルパターンを示す図であ
る。
【０００４】図４を参照すると、位置検出装置５０は、
センサ本体２１と、センサ本体２１に固定されるスケー
ル部２３と、スケール部２３に形成された平面的なコイ
ルパターン２４と、スケール部２３と対向して配置され
るスライダ部２５と、スライダ部２５に形成される平面
的なコイルパターン２６と、スライダ部２５と結合しス
ライダ部２５と共にスライド自在に配置された位置検出
対象物２２とから構成されている。
センサ本体２１と、センサ本体２１に固定されるスケー
ル部２３と、スケール部２３に形成された平面的なコイ
ルパターン２４と、スケール部２３と対向して配置され
るスライダ部２５と、スライダ部２５に形成される平面
的なコイルパターン２６と、スライダ部２５と結合しス
ライダ部２５と共にスライド自在に配置された位置検出
対象物２２とから構成されている。
【０００５】次に、上述のように構成された位置検出装
置５０の動作について、図４、図５、および図６を参照
して説明する。
置５０の動作について、図４、図５、および図６を参照
して説明する。
【０００６】図６に示すスケール部２３の平面的なコイ
ルパターン２４は、２つのコイルパターン２４Ａ、２４
Ｂより形成されており、平面的なコイルパターン２４と
図５に示すスライダ部２５の平面的なコイルパターン２
６とが対向して配置され、２つのコイルパターン２４
Ａ、２４Ｂに互いに９０゜位相のずれた正弦波を入力
し、スケール部２３の２つのコイルパターン２４Ａ、２
４Ｂから発生する磁界を、スライダ部２５の平面的なコ
イルパターン２６で電磁誘導により変位量に応じて位相
のずれた正弦波を検出することにより、スライダ部２５
と結合された位置検出対象物２２の位置検出が行われ
る。
ルパターン２４は、２つのコイルパターン２４Ａ、２４
Ｂより形成されており、平面的なコイルパターン２４と
図５に示すスライダ部２５の平面的なコイルパターン２
６とが対向して配置され、２つのコイルパターン２４
Ａ、２４Ｂに互いに９０゜位相のずれた正弦波を入力
し、スケール部２３の２つのコイルパターン２４Ａ、２
４Ｂから発生する磁界を、スライダ部２５の平面的なコ
イルパターン２６で電磁誘導により変位量に応じて位相
のずれた正弦波を検出することにより、スライダ部２５
と結合された位置検出対象物２２の位置検出が行われ
る。
【０００７】図６に示すスケール部２３の平面的なコイ
ルパターン２４は、平面的な２つのコイルパターン２４
Ａ、２４Ｂが変位検出方向上互いに交互に形成配置され
ているが、２つのコイルパターン２４Ａ、２４Ｂの形成
配置について、特開平２−２７５３１４号公報では、図
７に示すように、２つのコイルパターン３４Ａ、３４Ｂ
のパス数を２往復以上（図７では３往復）にすることに
より、スケール部２３に用いられるインダクトシン基板
の無駄な領域の比率を少なくし、変位検出方向における
コイルパターン３４Ａ、３４Ｂの配置密度を大きくし
て、検出精度を改善する技術が開示されている。
ルパターン２４は、平面的な２つのコイルパターン２４
Ａ、２４Ｂが変位検出方向上互いに交互に形成配置され
ているが、２つのコイルパターン２４Ａ、２４Ｂの形成
配置について、特開平２−２７５３１４号公報では、図
７に示すように、２つのコイルパターン３４Ａ、３４Ｂ
のパス数を２往復以上（図７では３往復）にすることに
より、スケール部２３に用いられるインダクトシン基板
の無駄な領域の比率を少なくし、変位検出方向における
コイルパターン３４Ａ、３４Ｂの配置密度を大きくし
て、検出精度を改善する技術が開示されている。
【０００８】また、特開平５−１３５２３６号公報で
は、図８に示すように、２つのコイルパターン４４Ａ、
４４Ｂの端部にコイルパターンの遊びａ、ｂを設けるこ
とにより、２つのコイルパターン４４Ａ、４４Ｂの長さ
を等しくし、各々のコイルパターン４４Ａ、４４Ｂのイ
ンピーダンスを等しくすることにより、検出精度を改善
する技術が開示されている。
は、図８に示すように、２つのコイルパターン４４Ａ、
４４Ｂの端部にコイルパターンの遊びａ、ｂを設けるこ
とにより、２つのコイルパターン４４Ａ、４４Ｂの長さ
を等しくし、各々のコイルパターン４４Ａ、４４Ｂのイ
ンピーダンスを等しくすることにより、検出精度を改善
する技術が開示されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述の位置検出装置
は、何れも、電磁誘導起電圧を大きくして位置検出精度
を向上させるためには、スケール部とスライダ部とのギ
ャップ長を小さくするか、或いはスケール部に入力する
正弦波の電圧を高くするなどの手段が必要となるが、そ
の場合、スケール部とスライダ部とを配置する際にコイ
ルパターン全体に亘り均一のギャップ長を得るための組
立作業性の困難さを伴い、位置検出装置の外部への漏洩
電磁誘導の悪影響を及ぼすなどの課題がある。
は、何れも、電磁誘導起電圧を大きくして位置検出精度
を向上させるためには、スケール部とスライダ部とのギ
ャップ長を小さくするか、或いはスケール部に入力する
正弦波の電圧を高くするなどの手段が必要となるが、そ
の場合、スケール部とスライダ部とを配置する際にコイ
ルパターン全体に亘り均一のギャップ長を得るための組
立作業性の困難さを伴い、位置検出装置の外部への漏洩
電磁誘導の悪影響を及ぼすなどの課題がある。
【００１０】本発明の目的は、インダクトシンセンサの
電磁誘導量を増加させることにより、位置検出精度を向
上させた位置検出装置を提供することにある。
電磁誘導量を増加させることにより、位置検出精度を向
上させた位置検出装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の位置検出装置
は、スケール部とスライダ部との相対的位置を電磁的に
検出する位置検出装置において、センサ本体と、センサ
本体に固定され第一の平面的なコイルパターンが設けら
れた基板からなる第一スケール部と、第一スケール部と
複数のコラムを介して結合される第二の平面的なコイル
パターンが設けられた基板からなる第二スケール部と、
第一スケール部と第二スケール部との中間位置に配置さ
れ第一の平面的なコイルパターンとの対向面に第三の平
面的なコイルパターンが設けられ第二の平面的なコイル
パターンとの対向面に第四の平面的なコイルパターンが
設けられた基板からなるスライダ部とを有することを特
徴とする。
は、スケール部とスライダ部との相対的位置を電磁的に
検出する位置検出装置において、センサ本体と、センサ
本体に固定され第一の平面的なコイルパターンが設けら
れた基板からなる第一スケール部と、第一スケール部と
複数のコラムを介して結合される第二の平面的なコイル
パターンが設けられた基板からなる第二スケール部と、
第一スケール部と第二スケール部との中間位置に配置さ
れ第一の平面的なコイルパターンとの対向面に第三の平
面的なコイルパターンが設けられ第二の平面的なコイル
パターンとの対向面に第四の平面的なコイルパターンが
設けられた基板からなるスライダ部とを有することを特
徴とする。
【００１２】複数のコラムは、第一スケール部と第二ス
ケール部とを一定間隔で平行に結合することを特徴とす
る。
ケール部とを一定間隔で平行に結合することを特徴とす
る。
【００１３】スライダ部は、第一スケール部と第二スケ
ール部との中間位置でスライド自在に配備されることを
特徴とする。
ール部との中間位置でスライド自在に配備されることを
特徴とする。
【００１４】第一スケール部および第二スケール部の端
面に切り欠き溝を設けたことを特徴とする。
面に切り欠き溝を設けたことを特徴とする。
【００１５】第一の平面的なコイルパターンと第二の平
面的なコイルパターンとは、両パターンがスライド方向
に対して合致した位置状態で対向して配置されることを
特徴とする。
面的なコイルパターンとは、両パターンがスライド方向
に対して合致した位置状態で対向して配置されることを
特徴とする。
【００１６】第三の平面的なコイルパターンと第四の平
面的なコイルパターンとは、両パターンがスライド方向
に対して合致した位置状態で配置されることを特徴とす
る。
面的なコイルパターンとは、両パターンがスライド方向
に対して合致した位置状態で配置されることを特徴とす
る。
【００１７】第三の平面的なコイルパターンと第四の平
面的なコイルパターンとは、同一パターンであることを
特徴とする。
面的なコイルパターンとは、同一パターンであることを
特徴とする。
【００１８】第一の平面的なコイルパターンと第二の平
面的なコイルパターンとは、同一パターンであることを
特徴とする。
面的なコイルパターンとは、同一パターンであることを
特徴とする。
【００１９】第一スケール部、第二スケール部、および
スライダ部は、ガラスエポキシ樹脂材料にて形成される
ことを特徴とする。
スライダ部は、ガラスエポキシ樹脂材料にて形成される
ことを特徴とする。
【００２０】第一、第二、第三、および第四の平面的な
コイルパターンは、エッチング工法により形成されるこ
とを特徴とする。
コイルパターンは、エッチング工法により形成されるこ
とを特徴とする。
【００２１】第一、第二、第三、および第四の平面的な
コイルパターンの材質は、金であることを特徴とする。
コイルパターンの材質は、金であることを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】次に本発明の位置検出装置の一実
施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２３】図１（ａ）は本発明の位置検出装置２０を
示す概略正面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＪ部拡大
図、図１（ｃ）は図１（ｂ）の側面図、図１（ｄ）は図
１（ｃ）の矢視ＦＦ断面図である。
示す概略正面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＪ部拡大
図、図１（ｃ）は図１（ｂ）の側面図、図１（ｄ）は図
１（ｃ）の矢視ＦＦ断面図である。
【００２４】図１（ａ）〜（ｄ）を参照すると、位置検
出装置２０は、センサ本体１と、センサ本体１に固定さ
れ第一の平面的なコイルパターン４が設けられたガラス
エポキシ樹脂材料の基板からなる第一スケール部３と、
第一スケール部３と複数のコラム８、１８を介して結合
される第二の平面的なコイルパターン１４が設けられた
ガラスエポキシ樹脂材料の基板からなる第二スケール部
１３と、第一スケール部３と第二スケール部１３との中
間位置に配置され第一の平面的なコイルパターン４との
対向面に第三の平面的なコイルパターン６が設けられ第
二の平面的なコイルパターン１４との対向面に第四の平
面的なコイルパターン１６が設けられたガラスエポキシ
樹脂材料の基板からなるスライダ部５と、スライダ部５
と結合しスライダ部５と共にスライド自在に配置された
位置検出対象物２２とから構成されている。
出装置２０は、センサ本体１と、センサ本体１に固定さ
れ第一の平面的なコイルパターン４が設けられたガラス
エポキシ樹脂材料の基板からなる第一スケール部３と、
第一スケール部３と複数のコラム８、１８を介して結合
される第二の平面的なコイルパターン１４が設けられた
ガラスエポキシ樹脂材料の基板からなる第二スケール部
１３と、第一スケール部３と第二スケール部１３との中
間位置に配置され第一の平面的なコイルパターン４との
対向面に第三の平面的なコイルパターン６が設けられ第
二の平面的なコイルパターン１４との対向面に第四の平
面的なコイルパターン１６が設けられたガラスエポキシ
樹脂材料の基板からなるスライダ部５と、スライダ部５
と結合しスライダ部５と共にスライド自在に配置された
位置検出対象物２２とから構成されている。
【００２５】複数のコラム８、１８は、第一スケール部
３と第二スケール部１３とを一定間隔で平行に結合する
と共に、第一の平面的なコイルパターン４と第二の平面
的なコイルパターン１４とが、両パターンがスライダ部
５のスライド方向に対して合致した位置状態で対向して
配置されるように結合しており、また、スライダ部５の
両側に配置された第三の平面的なコイルパターン６と第
四の平面的なコイルパターン１６とは、両パターンがス
ライド方向に対して合致した位置状態で形成されてい
る。
３と第二スケール部１３とを一定間隔で平行に結合する
と共に、第一の平面的なコイルパターン４と第二の平面
的なコイルパターン１４とが、両パターンがスライダ部
５のスライド方向に対して合致した位置状態で対向して
配置されるように結合しており、また、スライダ部５の
両側に配置された第三の平面的なコイルパターン６と第
四の平面的なコイルパターン１６とは、両パターンがス
ライド方向に対して合致した位置状態で形成されてい
る。
【００２６】また、スライダ部５はＴ字型をしており、
位置検出対象物２に取り付けられ、第三、第四の平面的
なコイルパターン６、１６の形成されていない方の面の
両端面部において、第一スケール部３および第二スケー
ル部１３の端面に形成された切り欠き溝７、１７にガイ
ド支持される構成として、スライダ部５に形成される第
三の平面的コイルパターン６とスケール部３に形成され
る第一の平面的コイルパターン４との間隔と、スライダ
部５に形成される第四の平面的コイルパターン１６とス
ケール部１３に形成される第二の平面的コイルパターン
１４との間隔とが、共に、同じ値（具体的には１００μ
ｍ）に保たれるように、スライダ部５の両端面部を切り
欠き溝７、１７のＨ面７ａ、Ｅ面１７ａに押し当てた状
態で上下方向に調整可能な構成としている。
位置検出対象物２に取り付けられ、第三、第四の平面的
なコイルパターン６、１６の形成されていない方の面の
両端面部において、第一スケール部３および第二スケー
ル部１３の端面に形成された切り欠き溝７、１７にガイ
ド支持される構成として、スライダ部５に形成される第
三の平面的コイルパターン６とスケール部３に形成され
る第一の平面的コイルパターン４との間隔と、スライダ
部５に形成される第四の平面的コイルパターン１６とス
ケール部１３に形成される第二の平面的コイルパターン
１４との間隔とが、共に、同じ値（具体的には１００μ
ｍ）に保たれるように、スライダ部５の両端面部を切り
欠き溝７、１７のＨ面７ａ、Ｅ面１７ａに押し当てた状
態で上下方向に調整可能な構成としている。
【００２７】さらに、スライダ部５の両側に設けられた
第三、第四の平面的なコイルパターン６、１６を示す図
２、および第一スケール部３と第二スケール部１３とに
各々設けられる第一、第二の平面的なコイルパターン
４、１４を示す図３を参照すると、第一、第二、第三、
および第四の平面的なコイルパターン４、１４、６、１
６は、精密エッチング工法により、材料としては金で形
成されており、第一、および第二の平面的なコイルパタ
ーン４、１４は同一であり、図３に示すように、２つの
コイルパターンＡ、Ｂが、交互に形成され、それぞれの
コイルパターンＡ、Ｂにおいて、パターン幅、パターン
間が両方とも、９４μｍの同じ幅になるように構成さ
れ、第三、および第四の平面的なコイルパターン６、１
６は同一であり、図２に示すようにパターン幅、パター
ン間が両方とも９４μｍとなるように構成され、第三、
第四の平面的なコイルパターン６、１６の端部Ｃ、Ｄで
スルーホール（図示せず）により、ショートされてい
る。
第三、第四の平面的なコイルパターン６、１６を示す図
２、および第一スケール部３と第二スケール部１３とに
各々設けられる第一、第二の平面的なコイルパターン
４、１４を示す図３を参照すると、第一、第二、第三、
および第四の平面的なコイルパターン４、１４、６、１
６は、精密エッチング工法により、材料としては金で形
成されており、第一、および第二の平面的なコイルパタ
ーン４、１４は同一であり、図３に示すように、２つの
コイルパターンＡ、Ｂが、交互に形成され、それぞれの
コイルパターンＡ、Ｂにおいて、パターン幅、パターン
間が両方とも、９４μｍの同じ幅になるように構成さ
れ、第三、および第四の平面的なコイルパターン６、１
６は同一であり、図２に示すようにパターン幅、パター
ン間が両方とも９４μｍとなるように構成され、第三、
第四の平面的なコイルパターン６、１６の端部Ｃ、Ｄで
スルーホール（図示せず）により、ショートされてい
る。
【００２８】次に、上述のように構成された位置検出装
置２０の動作について説明する。
置２０の動作について説明する。
【００２９】図１（ａ）〜（ｄ）、図２、および図３を
参照すると、センサ本体１に固定される第一スケール部
３、第二スケール部１３には、第一、第二の平面的なコ
イルパターン４、１４が精密エッチングにより、図３に
示す様な２つのコイルパターンＡ、Ｂが、各々パターン
幅とパターン間とが共に９４μｍの同じ間隔で、コイル
パターンＡ、Ｂが交互に金の材質で形成されており、コ
イルパターンＡ、Ｂに互いに９０゜位相のずれた駆動電
流１００ｍＡの正弦波を入力する。このとき、第一スケ
ール部３に形成された第一の平面的コイルパターン４か
らは、１００μｍ離れて対向するスライダ部５の片面に
図２に示すパターン幅とパターン間とが共に９４μｍの
同じ間隔で材質として金で形成された１つの第三の平面
的コイルパターン６に、第二スケール部１３に形成され
た第二の平面的コイルパターン１４からは、１００μｍ
離れて対向するスライダ部５のもう一方の面に第三の平
面的コイルパターン６と同一の第四の平面的コイルパタ
ーン１６に、それぞれ電磁誘導により、変位量に応じて
位相のずれた正弦波が検出される。
参照すると、センサ本体１に固定される第一スケール部
３、第二スケール部１３には、第一、第二の平面的なコ
イルパターン４、１４が精密エッチングにより、図３に
示す様な２つのコイルパターンＡ、Ｂが、各々パターン
幅とパターン間とが共に９４μｍの同じ間隔で、コイル
パターンＡ、Ｂが交互に金の材質で形成されており、コ
イルパターンＡ、Ｂに互いに９０゜位相のずれた駆動電
流１００ｍＡの正弦波を入力する。このとき、第一スケ
ール部３に形成された第一の平面的コイルパターン４か
らは、１００μｍ離れて対向するスライダ部５の片面に
図２に示すパターン幅とパターン間とが共に９４μｍの
同じ間隔で材質として金で形成された１つの第三の平面
的コイルパターン６に、第二スケール部１３に形成され
た第二の平面的コイルパターン１４からは、１００μｍ
離れて対向するスライダ部５のもう一方の面に第三の平
面的コイルパターン６と同一の第四の平面的コイルパタ
ーン１６に、それぞれ電磁誘導により、変位量に応じて
位相のずれた正弦波が検出される。
【００３０】このとき、第一スケール部３の第一の平面
的コイルパターン４と、第二スケール部１３の第二の平
面的コイルパターン１４とは、ぴったりと鏡に映したよ
うに重なるような位置に向かい合って構成されており、
また、スライダ部５の両面に形成されている第三、第四
の平面的コイルパターン６、１６も、裏と表で鏡に映し
たように、ぴったりと重なるように形成されているの
で、第一スケール部３に形成された第一の平面的コイル
パターン４からスライダ部５に形成された第三の平面的
コイルパターン６に誘導される正弦波電圧と、第二スケ
ール部１３に形成された第二の平面的コイルパターン１
４からスライダ部５に形成された第四の平面的コイルパ
ターン１６に誘導される正弦波電圧とは、同位相、か
つ、同出力電圧になる。
的コイルパターン４と、第二スケール部１３の第二の平
面的コイルパターン１４とは、ぴったりと鏡に映したよ
うに重なるような位置に向かい合って構成されており、
また、スライダ部５の両面に形成されている第三、第四
の平面的コイルパターン６、１６も、裏と表で鏡に映し
たように、ぴったりと重なるように形成されているの
で、第一スケール部３に形成された第一の平面的コイル
パターン４からスライダ部５に形成された第三の平面的
コイルパターン６に誘導される正弦波電圧と、第二スケ
ール部１３に形成された第二の平面的コイルパターン１
４からスライダ部５に形成された第四の平面的コイルパ
ターン１６に誘導される正弦波電圧とは、同位相、か
つ、同出力電圧になる。
【００３１】従って、スライダ部５の両面にそれぞれ形
成されている第三の平面的コイルパターン６と第四の平
面的コイルパターン１６とは、図２に示すパターン端部
Ｃ、Ｄでスルーホール（図示せず）によりショートされ
ているので、図４に示す従来の位置検出装置５０と比較
すると、約２倍の電磁誘導量が得られ、位置検出装置２
０の精度を向上させることが可能となる。
成されている第三の平面的コイルパターン６と第四の平
面的コイルパターン１６とは、図２に示すパターン端部
Ｃ、Ｄでスルーホール（図示せず）によりショートされ
ているので、図４に示す従来の位置検出装置５０と比較
すると、約２倍の電磁誘導量が得られ、位置検出装置２
０の精度を向上させることが可能となる。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の位置検出
装置は、上下に配したスケール部の各々の基板に平面的
なコイルパターンを設け、上下の平面的なコイルパター
ンが対向するように形成し、上下のスケール部の間に、
両方の面に所定の平面的なコイルパターンが設けられた
基板からなるスライダ部を配置するという簡単な構成に
より、電磁誘導量を大きくすることができ、位置検出装
置の精度を向上できるという効果がある。
装置は、上下に配したスケール部の各々の基板に平面的
なコイルパターンを設け、上下の平面的なコイルパター
ンが対向するように形成し、上下のスケール部の間に、
両方の面に所定の平面的なコイルパターンが設けられた
基板からなるスライダ部を配置するという簡単な構成に
より、電磁誘導量を大きくすることができ、位置検出装
置の精度を向上できるという効果がある。
【００３３】また、複数のコラムを介して上下のスケー
ル部を一定間隔に配置し、上下のスライダ部の各々の両
端面部に切り欠き溝を設け、切り欠き溝にスライダ部を
押し当てた状態で上下方向に移動可能とする簡単な構成
により、平面的なコイルパターン間のギャップ調整を容
易に行うことができ、スケール部とスライダ部の取り付
けを簡単に行うことができるという効果がある。
ル部を一定間隔に配置し、上下のスライダ部の各々の両
端面部に切り欠き溝を設け、切り欠き溝にスライダ部を
押し当てた状態で上下方向に移動可能とする簡単な構成
により、平面的なコイルパターン間のギャップ調整を容
易に行うことができ、スケール部とスライダ部の取り付
けを簡単に行うことができるという効果がある。
【図１】図１（ａ）は、本発明の位置検出装置の概略正
面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＪ部拡大図、図１
（ｃ）は、図１（ｂ）の側面図、図１（ｄ）は、図１
（ｃ）の矢視ＦＦ断面図である。
面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＪ部拡大図、図１
（ｃ）は、図１（ｂ）の側面図、図１（ｄ）は、図１
（ｃ）の矢視ＦＦ断面図である。
【図２】本発明のスライダ部の平面的なコイルパターン
を示す図である。
を示す図である。
【図３】本発明のスケール部の平面的なコイルパターン
を示す図である。
を示す図である。
【図４】従来の位置検出装置の概略正面図である。
【図５】従来のスライダ部の平面的なコイルパターンを
示す図である。
示す図である。
【図６】従来のスケール部の平面的なコイルパターンを
示す図である。
示す図である。
【図７】従来のスケール部の平面的なコイルパターンを
示す図である。
示す図である。
【図８】従来のスケール部の平面的なコイルパターンを
示す図である。
示す図である。
Ａ、Ｂ コイルパターン ２４Ａ、２４Ｂ コイルパターン ３４Ａ、３４Ｂ コイルパターン ４４Ａ、４４Ｂ コイルパターン ａ、ｂ コイルパターンの遊び Ｃ、Ｄ パターン端部 ７ａ Ｈ面 １７ａ Ｅ面 １、２１ センサ本体 ２、２２ 位置検出対象物 ３ 第一スケール部 １３ 第二スケール部 ４ 第一の平面的なコイルパターン １４ 第二の平面的なコイルパターン ５、２５ スライダ部 ６ 第三の平面的なコイルパターン １６ 第四の平面的なコイルパターン ７、１７ 切り欠き溝 ８、１８ コラム ２３ スケール部 ２４、２６ 平面的なコイルパターン ２０、５０ 位置検出装置
Claims (11)
- 【請求項１】 スケール部とスライダ部との相対的位置
を電磁的に検出する位置検出装置において、センサ本体
と、前記センサ本体に固定され第一の平面的なコイルパ
ターンが設けられた基板からなる第一スケール部と、前
記第一スケール部と複数のコラムを介して結合される第
二の平面的なコイルパターンが設けられた基板からなる
第二スケール部と、前記第一スケール部と前記第二スケ
ール部との中間位置に配置され前記第一の平面的なコイ
ルパターンとの対向面に第三の平面的なコイルパターン
が設けられ前記第二の平面的なコイルパターンとの対向
面に第四の平面的なコイルパターンが設けられた基板か
らなるスライダ部とを有することを特徴とする位置検出
装置。 - 【請求項２】 前記複数のコラムは、前記第一スケール
部と前記第二スケール部とを一定間隔で平行に結合する
ことを特徴とする請求項１記載の位置検出装置。 - 【請求項３】 前記スライダ部は、前記第一スケール部
と前記第二スケール部との中間位置でスライド自在に配
備されることを特徴とする請求項１記載の位置検出装
置。 - 【請求項４】 前記第一スケール部および前記第二スケ
ール部の端面に切り欠き溝を設けたことを特徴とする請
求項１記載の位置検出装置。 - 【請求項５】 前記第一の平面的なコイルパターンと前
記第二の平面的なコイルパターンとは、両パターンがス
ライド方向に対して合致した位置状態で対向して配置さ
れることを特徴とする請求項１、または２記載の位置検
出装置。 - 【請求項６】 前記第三の平面的なコイルパターンと前
記第四の平面的なコイルパターンとは、両パターンがス
ライド方向に対して合致した位置状態で配置されること
を特徴とする請求項１記載の位置検出装置。 - 【請求項７】 前記第三の平面的なコイルパターンと前
記第四の平面的なコイルパターンとは、同一パターンで
あることを特徴とする請求項１、または６記載の位置検
出装置。 - 【請求項８】 前記第一の平面的なコイルパターンと前
記第二の平面的なコイルパターンとは、同一パターンで
あることを特徴とする請求項１、または５記載の位置検
出装置。 - 【請求項９】 前記第一スケール部、前記第二スケール
部、および前記スライダ部は、ガラスエポキシ樹脂材料
にて形成されることを特徴とする請求項１、２、３、４
の何れか１項記載の位置検出装置。 - 【請求項１０】 前記第一、第二、第三、および第四の
平面的なコイルパターンは、エッチング工法により形成
されることを特徴とする請求項１、５、６、７、８、９
の何れか１項記載の位置検出装置。 - 【請求項１１】 前記第一、第二、第三、および第四の
平面的なコイルパターンの材質は、金であることを特徴
とする請求項１、５、６、７、８、９、１０の何れか１
項記載の位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06642299A JP3266134B2 (ja) | 1999-03-12 | 1999-03-12 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06642299A JP3266134B2 (ja) | 1999-03-12 | 1999-03-12 | 位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000258107A true JP2000258107A (ja) | 2000-09-22 |
| JP3266134B2 JP3266134B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
ID=13315353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06642299A Expired - Fee Related JP3266134B2 (ja) | 1999-03-12 | 1999-03-12 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3266134B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100956904B1 (ko) | 2007-03-07 | 2010-05-11 | 미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤 | 절대치 스케일 및 절대치 산출 방법 |
| CN109870176A (zh) * | 2017-12-01 | 2019-06-11 | 株式会社三丰 | 电磁感应型位置检测器 |
| JP7083528B1 (ja) * | 2021-01-06 | 2022-06-13 | 三男 眞鍋 | 位置測定装置 |
-
1999
- 1999-03-12 JP JP06642299A patent/JP3266134B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN109870176A (zh) * | 2017-12-01 | 2019-06-11 | 株式会社三丰 | 电磁感应型位置检测器 |
| JP7083528B1 (ja) * | 2021-01-06 | 2022-06-13 | 三男 眞鍋 | 位置測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3266134B2 (ja) | 2002-03-18 |
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