JP2000252325A - 半導体装置の実装構造およびその実装方法 - Google Patents

半導体装置の実装構造およびその実装方法

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JP2000252325A JP5494399A JP5494399A JP2000252325A JP 2000252325 A JP2000252325 A JP 2000252325A JP 5494399 A JP5494399 A JP 5494399A JP 5494399 A JP5494399 A JP 5494399A JP 2000252325 A JP2000252325 A JP 2000252325A
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哲郎 小松
Kazuo Shimokawa
一生 下川
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  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 集積回路をフリップチップ実装したエリアア
レイ型半導体パッケージ、特にCSPを配線基板に実装
する実装構造で、耐衝撃性の高い実装構造およびその実
装方法。 【解決手段】 集積回路1がフリップチップ実装されて
いるエリアアレイ型半導体パッケージが配線基板7には
んだ実装されている半導体装置の実装構造で、集積回路
1のフリップチップ実装部と前記エリアアレイ型半導体
パッケージのはんだ実装部とは、共に同じ封止樹脂8で
樹脂封止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の実装
構造およびその実装方法に関し、特に、集積回路をフリ
ップチップ実装したエリアアレイ型半導体パッケージを
配線基板にはんだ実装し、それを樹脂封止した実装構造
およびその実装方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、BGA(Ball Grid A
rray)等で接合されたエリアアレイ型半導体パッケ
ージは、集積回路(半導体チップ)をパッケージの基板
にワイヤボンディング実装し、集積回路とワイヤボンデ
ィング部を封止樹脂で樹脂封止していた。
【0003】また、近年、集積回路をフリップチップ実
装した構造のエリアアレイ型半導体パッケージが製造さ
れるようになってきている。このフリップチップ実装構
造の半導体パッケージは、液状の封止樹脂を用いて集積
回路とパッケージの基板の間隙を充填し樹脂封止した構
造に形成されている。
【0004】さらに、携帯電話などの携帯機器では、パ
ッケージサイズの小型化が要求されており、QFP(Q
uadrate Flat Package)などのリ
ード端子を持つパッケージに代わり、エリアアレイ型パ
ッケージが多く採用されている。その中でも、パッケー
ジサイズが集積回路(半導体チップ)のサイズより僅か
に大きいだけのエリアアレイ型パッケージすなわちCS
P(Chip Size Package)が採用され
ている。CSPは集積回路をCSP基板にフリップチッ
プ実装で形成されている。
【0005】CPSを携帯機器に使用する場合は、フリ
ップチップ実装部は、接続信頼性を確保するために液状
の封止樹脂を用いて、集積回路とパッケージのCSP基
板の間隔を充填し樹脂封止している。さらに、CPSの
配線基板への実装部を封止樹脂で樹脂封止している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、集積回
路(半導体チップ)をパッケージの基板にワイヤボンデ
ィング実装した構造では、多端子の集積回路を実装する
と、半導体パッケージのサイズが非常に大きくなってし
まい、実際上の問題として多端子の集積回路には適応で
きない。
【0007】また、液状の封止樹脂を用いて集積回路と
パッケージの基板の間隙を充填し樹脂封止した構造で
は、封止樹脂を集積回路(半導体チップ)の外側に塗布
するために、パッケージサイズが集積回路のサイズよ
り、その封止樹脂の塗布幅分だけ大きくなる(実際に
は、塗布幅の2倍程度)。
【0008】この塗布幅を狭くするには、塗布を数回に
分けて1回あたりの塗布量を減らせばよいが、塗布した
封止樹脂が集積回路とパッケージの基板の間隙に浸透す
るのを待って、次の塗布を行なわなければならず、生産
性が極端に悪くなる。通常、封止樹脂は次の塗布を行う
迄の待ち時間は30秒以上が必要である。
【0009】一方、生産性を優先し1回で封止樹脂を塗
布する場合には、塗布幅が2〜3mm必要となり、CS
Pといえどもパッケージサイズが集積回路(半導体チッ
プ)サイズより6〜7mmも大きくなってしまう問題が
ある。
【0010】また、CSP構造のエリアアレイ型半導体
パッケージは、配線基板にはんだ実装されたままの状態
で、樹脂封止されずに使用されているものが多い。その
ため、半導体パッケージのはんだ実装部は衝撃力に対す
る抵抗が弱い。
【0011】例えば、これらの半導体パッケージが、携
帯電話などの携帯機器に使用された場合、携帯機器を落
下させたときの衝撃力により、はんだ実装部が破断する
問題が発生している。
【0012】そのため、CPSを携帯機器に使用する場
合は、フリップチップ実装部は、接続の信頼性を確保す
るために液状の封止樹脂を用いて集積回路とパッケージ
の基板の間隔を充填し樹脂封止しているが、この場合
は、フリップチップ実装部の樹脂封止とCPSの配線基
板への実装部の樹脂封止との封止工程が2段階になり、
製造工程での処理時間の短縮が困難である。
【0013】本発明はこれらの事情に基づいてなされた
もので、集積回路をフリップチップ実装したエリアアレ
イ型半導体パッケージ、特にCSPを配線基板に実装す
る実装構造で、耐衝撃性の高い実装構造およびその実装
方法を提供することを目的としている。
【0014】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明による手
段によれば、集積回路がフリップチップ実装されている
エリアアレイ型半導体パッケージが配線基板にはんだ実
装されている半導体装置の実装構造において、前記集積
回路のフリップチップ実装部と前記エリアアレイ型半導
体パッケージのはんだ実装部とは、共に同じ封止樹脂で
樹脂封止されていることを特徴とする半導体装置の実装
構造である。
【0015】また請求項2の発明による手段によれば、
前記集積回路のフリップチップ実装部と前記エリアアレ
イ型半導体パッケージのはんだ実装部との樹脂封止は、
前記封止樹脂が連続していることを特徴とする半導体装
置の実装構造である。
【0016】また請求項3の発明による手段によれば、
前記エリアアレイ型半導体装置パッケージは、前記集積
回路の面積とこの集積回路が実装される基板の面積がほ
ぼ等しいことを特徴とする半導体装置の実装構造であ
る。
【0017】また請求項4の発明による手段によれば、
集積回路がフリップチップ実装されているエリアアレイ
型半導体パッケージを配線基板にはんだ実装する半導体
装置の実装構造において、前記集積回路のフリップチッ
プ実装部と前記エリアアレイ型半導体パッケージのはん
だ実装部とを、共に同じ封止樹脂で樹脂封止することを
特徴とする半導体装置の実装構造の実装方法である。
【0018】また請求項5の発明による手段によれば、
前記樹脂封止は、同一工程で行うことを特徴とする半導
体装置の実装構造の実装方法である。
【0019】また請求項6の発明による手段によれば、
前記樹脂封止は、前記集積回路および前記エリアアレイ
型半導体パッケージの一辺に沿って一筆書きで樹脂を供
給することによることを特徴とする半導体装置の実装構
造の実装方法である。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面を参照して説明する。図1(a)〜(f)は本発明の
実施の形態の工程を示す工程図である。
【0021】まず、図1(a)に示すように、集積回路
1(半導体チップ)に形成されている電極にはんだバン
プ2を形成する。このはんだバンプ2は直径がφ100
μmで、ピッチが250μm〜500μm程度で、CS
P用基板3への接合時の高さが50μm〜80μm程度
である。
【0022】次に、図1(b)に示すように、はんだバ
ンプ2が形成された集積回路1を図示しないフリップチ
ップボンデリングによりCSP用基板3の所定個所には
んだ接合による実装を行う。なお、CSP用基板3の裏
面には電極パッド4が形成されている。
【0023】次に、図1(c)に示すように、CSP用
基板3の集積回路1を実装した面の反対側の面の電極パ
ッド4に、はんだボール5を接合してCSP6を製造す
る。はんだボール5のサイズは、直径がφ300μm〜
φ600μmで、ピッチが0.5mm〜1.27mm程
度で、配線基板7への接合時の高さが300μm〜70
0μm程度である。なお、このとき用いた集積回路1の
サイズの一例は、9mm×9mm(厚さ:0.6mm)
である。
【0024】また、使用したCSP用基板3は、ガラス
エポキシ基板であり、そのサイズは、集積回路1のサイ
ズより各辺が1mm大きい、10mm×10mm(厚
さ:0.5mm)である。
【0025】次に、図1(d)に示すように、CSP6
を配線基板7の電極パッド4にリフローはんだ付けす
る。ここで使用した配線基板7は、ガラスエポキシ基板
で、そのサイズの一例は、30mm×100mm(厚
さ:0.8mm)である。
【0026】その後、図1(e)に示すように、フリッ
プチップ接続部とCSP6のはんだ接続部の双方を封止
するために、封止樹脂8をCSP6の集積回路1の周囲
部分および、そのCSP6の周囲の配線基板7上まで図
示しないディスペンサのディスペンスノズル9で一筆書
きでl回だけ塗布する。
【0027】この一筆書きは、ディスペンスノズル9の
中心位置を、CSP用基板3の端部を沿うように動か
し、この移動速度は2mm/秒であり、塗布時間は5秒
である。
【0028】ここで使用した封止樹脂8は、フリップチ
ップボンディング用のアンダーフィル剤として販売され
ている無溶剤型のエポキシ樹脂である。
【0029】その主な組成は、以下のとおりである。
【0030】 ビスフエノールA型エポキシ樹脂 5〜10% 脂環式エポキシ樹脂 5〜10% ビフェニル型エポキシ樹脂 5〜10% 酸無水物 15〜25% 二酸化珪素 55〜65% カーボンブラック 1%以下 封止樹脂8の塗布後、図1(e)に示すように封止樹脂
8が集積回路1とCSP用基板3の間隙およびCSP用
基板3と配線基板7との間隙に浸透していくので、それ
らの間隙を封止樹脂8が充填できるまでそのまま放置す
る。それらの浸透に要する時間は2分程度である。
【0031】それぞれの間隙に封止樹脂8が浸透して間
隙が封止樹脂8充填されると、その後、図示しないオー
ブンで加熱してその封止樹脂8を硬化させる。その際の
加熱・硬化条件は、150℃で1時間程度である。
【0032】これらの工程により、図2に示すような半
導体装置の実装構造が形成できる。この実装構造では、
集積回路1(半導体チップ)が、はんだバンプ2を介し
てCPS用基板3にフリップチップボンディングされて
CPS6が形成されており、このCPS6がはんだボー
ル5を介して配線基板7に実装されている。しかも、こ
れらの集積回路1(半導体チップ)のフリップチップ実
装部の封止樹脂8とCSP6のはんだ実装部の封止樹脂
8が同一のものになっている。
【0033】したがって、これらの構成により、集積回
路1(半導体チップ)をフリップチップ実装したエリア
アレイ型半導体パッケージで、特にCSP6を配線基板
7にはんだ実装した後に、フリップチップ実装部の封止
とCSP6のはんだ実装部の封止を同一の封止樹脂8を
用いて同時に行っているので、封止樹脂8を塗布する領
域をCSP用基板3のうち集積回路1の周囲だけでな
く、配線基板7に接合されたCSP6の周囲まで塗布で
きる。
【0034】このため、集積回路1のフリップチップ実
装部の封止に必要な封止樹脂8の量をCSP用基板3の
うち集積回路1の周囲だけでなく、配線基板7のCSP
6の周囲からも補給することができる。
【0035】それによって、CSP6のサイズが集積回
路1のサイズと同等あるいは、CSP6の各辺が1mm
程度大きいだけの小型のCSP6においても、1回の塗
布で集積回路1の封止が可能であるので、生産性が高く
高密度に集積回路1を実装することができる。
【0036】よって、従来行なわれていたCSP6を絶
縁樹脂(封止樹脂)などで配線基板7に接着しCSP6
のはんだ接合部を補強していた工程を省略し、集積回路
1のフリップチップ実装部の封止工程で同時に行うこと
ができ、製造コストも低減できるまた、実装の高密度の
比較について説明すると、図3(a)は本発明の実施の
形態の平面図で、図3(b)はその断面側面図である。
図4(a)は従来の技術の平面図で、図4(b)はその
断面側面図である。
【0037】本発明の実施の形態では、配線基板7上の
集積回路1とCPS用基板3との面積がほぼ等しく、か
つ、封止樹脂8がCPS用基板3の周囲に僅かにはみ出
ている程度である。
【0038】一方、従来の技術では、集積回路10より
もCPS用基板13が本発明の実施の形態の場合よりも
かなり大きく、それに伴い封止樹脂18の面積も広くな
る。さらにその配線基板17とCPS16との間隙の封
止樹脂20が、CPS用基板13の周囲にはみ出る構造
であるので、実装部の全体は配線基板17のかなりの面
積を占めることになる。
【0039】これらの比較で分かるように、本発明の実
施の形態での実装では、配線基板7での実装部の占有面
積が小さい。したがって、配線基板7への高密度実装が
可能になる。
【0040】さらに、本発明の実施の形態で示した上述
の構成によれば、CSP6のはんだ接合部が、封止樹脂
8で補強されているので、携帯電話などの携帯機器に搭
載した場合に、携帯機器を落下してもその衝撃力に耐え
うる構造になっている。
【0041】なお、上述した本発明の実施の形態では、
集積回路1のフリップチップ実装は、集積回路1にはん
だバンプ2を形成してはんだ接続を行ったが、集積回路
1に金バンプを形成して金バンプを導電性接着剤を用い
て接続したり、あるいは、CSP用基板3の電極パッド
4に供給したはんだを用いてはんだ接続などの他のフリ
ップチップ接続方法を用いたものに適用することもでき
る。
【0042】また、上述した本発明の実施の形態では、
CSP6にはんだボール5を接合したBGAタイプであ
るが、はんだボール5を接合しないLGA (Land
Grid Aray)タイプのCSP6でも同様に適
用することができる。
【0043】また、はんだボール5を接合したBGAタ
イプの代りに、コラムタイプのCGA(Column
Grid Aray)を用いることもできる。
【0044】また、使用した封止樹脂8は、上述した実
施の形態と成分の異なる封止樹脂8を用いてもよく、ま
た、CSP用基板3などの材質は、セラッミク基板なと
他の基板を使用してもよい。
【0045】
【発明の効果】本発明によれば、集積回路をフリップチ
ップ実装したエリアアレイ型半導体パッケージ、特にC
SPを、配線基板7にはんだ実装した後に、フリップチ
ップ実装部の封止とCSPのはんだ実装部の封止を同一
の封止樹脂を用いて同時に短時間で行い、生産性を上げ
ることができる。
【0046】また、集積回路のサイズと同等あるいは1
mm大きい程度にまで小型化にした高密度実装で、か
つ、耐衝撃性の高い半導体装置の実装構造が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)〜(f)は本発明の実施の形態の工程を
示す工程図。
【図2】本発明の実施の形態の半導体装置の実装構造を
示す断面側面図。
【図3】(a)は本発明の実施の形態の半導体装置の実
装構造を示す平面図、(b)はその断面側面図。
【図4】(a)は従来の技術の半導体装置の実装構造を
示す平面図、図4(b)はその断面側面図。
【符号の説明】 1…集積回路、2…はんだバンプ、3…CSP用基板、
4…電極パッド、5…はんだボール、6…CSP、7…
配線基板、8…封止樹脂
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5E336 AA04 AA14 BB16 BC34 CC32 CC36 EE03 GG14 5F044 KK08 KK16 LL11 QQ01 RR19 5F061 AA01 BA03 BA05 CA04

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 集積回路がフリップチップ実装されてい
    るエリアアレイ型半導体パッケージが配線基板にはんだ
    実装されている半導体装置の実装構造において、前記集
    積回路のフリップチップ実装部と前記エリアアレイ型半
    導体パッケージのはんだ実装部とは、共に同じ封止樹脂
    で樹脂封止されていることを特徴とする半導体装置の実
    装構造。
  2. 【請求項2】 前記集積回路のフリップチップ実装部と
    前記エリアアレイ型半導体パッケージのはんだ実装部と
    の樹脂封止は、前記封止樹脂が連続していることを特徴
    とする請求項1記載の半導体装置の実装構造。
  3. 【請求項3】 前記エリアアレイ型半導体装置パッケー
    ジは、前記集積回路の面積とこの集積回路が実装される
    基板の面積がほぼ等しいことを特徴とする請求項1又は
    2記載の半導体装置の実装構造。
  4. 【請求項4】 集積回路がフリップチップ実装されてい
    るエリアアレイ型半導体パッケージを配線基板にはんだ
    実装する半導体装置の実装構造において、前記集積回路
    のフリップチップ実装部と前記エリアアレイ型半導体パ
    ッケージのはんだ実装部とを、共に同じ封止樹脂で樹脂
    封止することを特徴とする半導体装置の実装構造の実装
    方法。
  5. 【請求項5】 前記樹脂封止は、同一工程で行うことを
    特徴とする請求項4記載の半導体装置の実装構造の実装
    方法。
  6. 【請求項6】 前記樹脂封止は、前記集積回路および前
    記エリアアレイ型半導体パッケージの一辺に沿って一筆
    書きで樹脂を供給することによることを特徴とする請求
    項4または5のいずれかに記載の半導体装置の実装構造
    の実装方法。
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