JP2000251812A - 電子レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子レンズの光軸を調節する際、発生するカ
ジリを無くすること。 【解決手段】 多段に連結された複数のレンズＲ1〜Ｒ4
を有するとともに、下端部に電子が入射する電子入射口
Ｒ1aと、上端部に電子が出射する電子出射口１８bと、
前記上端部の外側面に設けた上端部被支持面１８aと、
上下方向の中間部の外側面に設けた中間部被支持面３９
cとを有する円筒状レンズＲと、前記上端部被支持面１
８aを回転可能且つ上下動可能に支持する上端部支持面
１７bを有するレンズ上端支持部材１７と、前記中間部
被支持面３９cを回転可能且つ上下動不能に支持する中
間部支持面７１a＋７３bを有し、前記光軸Ｌと垂直な水
平面内で移動可能な水平移動部材７１＋７３と、前記水
平移動部材７１＋７３の水平面内の位置を調節して保持
する位置調節部材保持装置４３＋６１とから構成される
電子レンズ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光電子分光装置に
備えられた特定のエネルギを有する電子を選択する半球
面型アナライザにエネルギを調節した電子を入射させる
ための減速レンズ（電子レンズ）、および電子顕微鏡装
置、電子ビーム、イオンビームを用いた分析装置等の荷
電粒子線装置の電子レンズに関し、特に、光軸を調節す
るための機構を備えた電子レンズに関する。

【０００２】

【従来の技術】前記減速レンズとしては従来下記の技術
（Ｊ01）が知られている。 （Ｊ01）図９に示す技術 図９は従来の減速レンズを備えた光電子分光装置の概略
説明図である。図９において、光電子分光装置Ｋの超高
真空に保持された真空室Ｋ1内の下方には試料ステージ
０１が配置されている。前記試料ステージ０１の上面に
は試料Ｓが保持されており、試料ステージ０１の斜め上
方には前記試料ＳにＸ線を照射するためのＸ線照射装置
０２が配置されている。前記試料ステージ０１の上方に
は、円筒状の減速レンズＧが配置されており、前記減速
レンズＧの上端には半球面型アナライザＡが接続されて
いる。前記円筒状の減速レンズＧは、略円筒状の外筒０
３と、前記外筒０３の下端部に固定されたシールドカバ
ー０４とを有している。前記外筒０３およびシールドカ
バー０４の内側には、上下方向に延びる光軸Ｌに沿って
多段に積み重ねられた複数のレンズ０６が配置されてい
る。また、前記シールドカバー０４の下端部には前記Ｘ
線の照射により前記試料Ｓから放出された電子が入射す
る電子入射口０４aが形成されている。

【０００３】前記減速レンズＧの上端に接続されている
半球面型アナライザＡは、１８０°半球形の外半球部材
０７および内半球部材０８を有している。前記外半球部
材０７と前記内半球部材０８との間には所定のエネルギ
を有する電子のみ選択して通過させる選択電子通過路０
９が形成されており、前記選択電子通過路０９の前記減
速レンズＧ接続側には前記減速レンズＧを通過した電子
が入射するアナライザ側電子入射口０１１が設けられて
おり、前記選択電子通過路０９の前記減速レンズＧが接
続されていない側には前記選択された電子が出射するア
ナライザ側電子出射口０１２が設けられている。前記ア
ナライザ側電子出射口０１２の下方には前記選択電子通
過路０９を通過して選択された電子を検出するための検
出器０１３が配置されている。

【０００４】前記Ｘ線照射装置０２から出射されたＸ線
を前記試料ステージ０１に保持された試料Ｓに照射す
る。前記Ｘ線の照射により前記試料Ｓから放出された速
度（運動エネルギ）の異なる複数の電子は前記減速レン
ズＧの電子入射口０４aに入射する。前記減速レンズＧ
内に入射した電子は、速度（運動エネルギ）が調整され
て、前記アナライザ側電子入射口０１１に入射する。前
記アナライザ側電子入射口０１１に入射した電子のうち
所定の運動エネルギを有する電子のみが前記アナライザ
側電子出射口０１２から出射して検出器０１３に検出さ
れる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】（前記（Ｊ01）の問題
点）前記来技術（Ｊ01）の減速レンズＧは一般的に光軸
Ｌを調節する調節部材を設けて前記半球型アナライザＡ
の感度、分解能を最善の状態にすることが難しかった。
前記減速レンズＧの光軸Ｌを調節する調節部材を設けて
前記半球型アナライザＡの感度、分解能を最善の状態に
しようとしても超高真空下では前記調節部材のかじりの
発生により、経時的に動きの精度の低下や軸受けの寿命
が短いなどの問題点があり実用化にいたっていない。前
記問題点は減速レンズＧの場合の問題点であるが、従来
の他の電子レンズにおいても精度の高い電子レンズの光
軸調節を行おうとすると前記減速レンズＧの場合と同様
の問題があった。

【０００６】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容を課題とする。 （Ｏ01）電子レンズの光軸を調節する際に移動する部材
間のカジリを無くすること。

【０００７】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決し
た本発明を説明するが、本発明の説明において本発明の
構成要素の後に付記したカッコ内の符号は、本発明の構
成要素に対応する後述の実施例の構成要素の符号であ
る。なお、本発明を後述の実施例の構成要素の符号と対
応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするた
めであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではな
い。

【０００８】（第１発明）前記課題を解決するために、
本出願の第１発明の電子レンズは、下記の要件を備えた
ことを特徴とする、（Ａ01）上下方向に延びる光軸
（Ｌ）に沿って多段に連結された複数のレンズ（Ｒ1〜
Ｒ4）を有するとともに、下端部に電子が入射する電子
入射口（Ｒ1a）と、上端部に電子が出射する電子出射口
（１８b）と、前記上端部の外側面に設けた上端部被支
持面（１８a，１８a′）と、上下方向の中間部の外側面
に設けた中間部被支持面（３９c）とを有する円筒状レ
ンズ（Ｒ）、（Ａ02）前記上端部被支持面（１８a，１
８a′）を回転可能且つ上下動可能に支持する上端部支
持面（１７b，１７b′）を有するレンズ上端支持部材
（１７）、（Ａ03）前記中間部被支持面（３９c）を回
転可能且つ上下動不能に支持する中間部支持面（７１a
＋７３b）を有し、前記光軸（Ｌ）と垂直な水平面内で
移動可能な水平移動部材（７１＋７３）、（Ａ04）前記
水平移動部材（７１＋７３）の水平面内の位置を調節し
て保持する位置調節部材保持装置（４３＋６１）。

【０００９】（第１発明の作用）前記構成を備えた本出
願の第１発明の電子レンズでは、上下方向に延びる光軸
（Ｌ）に沿って多段に連結された複数のレンズ（Ｒ1〜
Ｒ4）を有する円筒状レンズ（Ｒ）は、前記上端部の外
側面に設けた上端部被支持面（１８a，１８a′）と、上
下方向の中間部の外側面に設けた中間部被支持面（３９
c）とを有する。レンズ上端支持部材（１７）の上端部
支持面（１７b，１７b′）は、前記上端部被支持面（１
８a，１８a′）を回転可能且つ上下動可能に支持する。
前記光軸（Ｌ）と垂直な水平面内で移動可能な水平移動
部材（７１＋７３）の中間部支持面（７１a＋７３b）
は、前記中間部被支持面（３９c）を回転可能且つ上下
動不能に支持する。位置調節部材保持装置（４３＋６
１）は、前記水平移動部材（７１＋７３）の水平面内の
位置を調節して保持する。前記水平移動部材（７１＋７
３）の水平移動により前記円筒状レンズ（Ｒ）は、上端
部被支持面（１８a，１８a′）が上下動しながら回転し
て前記光軸（Ｌ）の向きが調節される。そして、円筒状
レンズ（Ｒ）の下端部の電子入射口（Ｒ1a）から入射し
た電子を円筒状レンズ（Ｒ）の上端部に有する電子出射
口（１８b）から所定の方向に出射させることができ
る。また、上端部支持面（１７b，１７b′）は、前記上
端部被支持面（１８a，１８a′）を回転可能且つ上下動
可能に支持するので、前記光軸（Ｌ）の向きを調節する
際、円筒状レンズ（Ｒ）は滑らかに移動することができ
るので、カジリが発生しない。

【００１０】（第２発明）前記課題を解決するために、
本出願の第２発明の電子レンズは、下記の要件を備えた
ことを特徴とする、（Ｂ01）上下方向に延びる光軸
（Ｌ）に沿って多段に連結された複数のレンズ（Ｒ1〜
Ｒ4）を有するとともに、下端部に電子が入射する電子
入射口（Ｒ1a）と、上端部に電子が出射する電子出射口
（１８b）と、前記上端部の外側面に設けた上端部被支
持面（１８a）と、上下方向の中間部の外側面に設けた
中間部被支持面（３９c，９２a）とを有する円筒状レン
ズ（Ｒ）、（Ｂ02）前記上端部被支持面（１８a）を回
転可能且つ上下動不能に支持する上端部支持面（１７
b″）を有するレンズ上端支持部材（１７）、（Ｂ03）
前記中間部被支持面（３９c，９２a）を回転可能且つ上
下動可能に支持する中間部支持面（９１a，９３a）を有
し、前記光軸（Ｌ）と垂直な水平面内で移動可能な水平
移動部材（９１）、（Ｂ04）前記水平移動部材（９１，
９３）の水平面内の位置を調節して保持する位置調節部
材保持装置（４３＋６１）。

【００１１】（第２発明の作用）前記構成を備えた本出
願の第２発明の電子レンズでは、上下方向に延びる光軸
（Ｌ）に沿って多段に連結された複数のレンズ（Ｒ1〜
Ｒ4）を有する円筒状レンズ（Ｒ）は、前記上端部の外
側面に設けた上端部被支持面（１８a）と、上下方向の
中間部の外側面に設けた中間部被支持面（３９c，９２
a）とを有する。レンズ上端支持部材（１７）の上端部
支持面（１７b″）は、前記上端部被支持面（１８a）を
回転可能且つ上下動不能に支持する。前記光軸（Ｌ）と
垂直な水平面内で移動可能な水平移動部材（９１）の中
間部支持面（９１a，９３a）は、前記中間部被支持面
（３９c，９２a）を回転可能且つ上下動可能に支持す
る。位置調節部材保持装置（４３＋６１）は、前記水平
移動部材（９１，９３）の水平面内の位置を調節して保
持する。前記水平移動部材（９１，９３）の水平移動に
より前記円筒状レンズ（Ｒ）は、中間部被支持面（３９
c，９２a）が上下動しながら回転して前記光軸（Ｌ）の
向きが調節される。そして、円筒状レンズ（Ｒ）の下端
部の電子入射口（Ｒ1a）から入射した電子を円筒状レン
ズ（Ｒ）の上端部に有する電子出射口（１８b）から所
定の方向に出射させることができる。また、中間部支持
面（９１a，９３a）は、前記中間部被支持面（３９c，
９２a）を回転可能且つ上下動可能に支持するので、前
記光軸（Ｌ）の向きを調節する際、円筒状レンズ（Ｒ）
は滑らかに移動することができるので、カジリが発生す
ることがない。

【００１２】

【発明の実施の形態】（第１発明の実施の形態１）第１
発明の実施の形態１の電子レンズは、前記第１発明にお
いて下記の要件を備えたことを特徴とする、（Ａ05）球
面により形成された前記中間部被支持面（３９c）およ
び球面により形成された前記中間部支持面（７１a＋７
３b）。

【００１３】（第１発明の実施の形態１の作用）前記構
成を備えた第１発明の実施の形態１の電子レンズでは、
球面により形成された前記中間部支持面（７１a＋７３
b）は、球面により形成された前記中間部被支持面（３
９c）を回転可能且つ上下動不能に支持することができ
る。

【００１４】（第１発明の実施の形態２）第１発明の実
施の形態２の電子レンズは、前記第１発明または第１発
明の実施の形態１において下記の要件を備えたことを特
徴とする、（Ａ06）球面により形成された前記上端部被
支持面（１８a）および円筒面により形成された前記上
端部支持面（１７b）。

【００１５】（第１発明の実施の形態２の作用）前記構
成を備えた第１発明の実施の形態２の電子レンズでは、
円筒面により形成された前記上端部支持面（１７b）
は、球面により形成された前記上端部被支持面（１８
a）を回転可能且つ上下動可能に支持することができ
る。

【００１６】（第１発明の実施の形態３）第１発明の実
施の形態３の電子レンズは、前記第１発明または第１発
明の実施の形態１もしくは２において下記の要件を備え
たことを特徴とする、（Ａ07）円筒面により形成された
前記上端部被支持面（１８a′）および前記上端部被支
持面（１８a′）に円周方向に沿って線接触して前記上
端部被支持面（１８a′）を回転可能且つ上下動可能に
支持する曲面より形成された前記上端部支持面（１７
b′）。

【００１７】（第１発明の実施の形態３の作用）前記構
成を備えた第１発明の実施の形態３の電子レンズでは、
前記上端部被支持面（１８a′）に円周方向に沿って線
接触する曲面より形成された前記上端部支持面（１７
b′）は、円筒面により形成された前記上端部被支持面
（１８a′）を回転可能且つ上下動可能に支持すること
ができる。

【００１８】（第１発明の実施の形態４）第１発明の実
施の形態１の電子レンズは、前記第１発明または第１発
明の実施の形態１〜３のいずれかにおいて下記の要件を
備えたことを特徴とする、（Ａ08）最下段に設けられた
第１レンズ（Ｒ1）とその上方に設けられた第２レンズ
（Ｒ2）とを有する前記円筒状レンズ（Ｒ）であって、
前記第２レンズ（Ｒ2）の外側を囲んで配置された磁気
シールドカバー（２４）と一体的に構成された前記第１
レンズ（Ｒ1）を有する前記円筒状レンズ（Ｒ）。 （第１発明の実施の形態４の作用）前述の構成を備えた
第４発明の実施の形態１の電子レンズでは、前記円筒状
レンズ（Ｒ）は最下段に設けられた第１レンズ（Ｒ1）
とその上方に配置された第２レンズ（Ｒ2）とを有し、
前記第１レンズ（Ｒ1）は、前記第２レンズ（Ｒ2）の外
側を囲んで配置された磁気シールドカバー（２４）と一
体的に構成される。このため、前記第１レンズ（Ｒ1）
に入射した電子が外部の磁気により曲げられるのを防ぐ
ことができるとともに、前記円筒状レンズ（Ｒ）の最下
段の構成が簡単になる。

【００１９】（第１発明の実施の形態５）第１発明の実
施の形態５の電子レンズは、前記第１発明または前記第
１発明の実施の形態１〜４のいずれかにおいて下記の要
件を備えたことを特徴とする、（Ａ09）前記第１レンズ
（Ｒ1）に固定された非磁性材料製の半球状のメッシュ
レンズ（Ｒ0）。 （第１発明の実施の形態５の作用）前述の構成を備えた
第１発明の実施の形態５の電子レンズでは、非磁性材料
製の半球状のメッシュレンズ（Ｒ0）は、前記第１レン
ズ（Ｒ1）に固定され、電子ビームを収束させる。

【００２０】（第１発明の実施の形態６）第１発明の実
施の形態６の電子レンズは、前記第１発明の実施の形態
２もしくは５のいずれかにおいて下記の要件備えたこと
を特徴とする、（Ａ010）前記球面状の中間部支持面
（７１a＋７３b）の上側半分または下側半分のうちの一
方の支持面を形成する球面軸受け本体部材（７１）と、
他方の支持面を形成するとともに前記球面軸受け本体部
材（７１）に対して位置調節可能に結合され且つ、前記
位置調節により前記球面状の中間部支持面（７１a＋７
３b）と前記球面状の中間部被支持面（３９c）との隙間
を調節可能な隙間調節用球面軸受け部材（７３）とを有
する前記水平移動部材（７１＋７３）。

【００２１】（第１発明の実施の形態６の作用）前述の
構成を備えた第１発明の実施の形態２の電子レンズで
は、水平移動部材（７１＋７３）の球面軸受け本体部材
（７１）は、前記球面状の中間部支持面（７１a＋７３
b）の上側半分または下側半分のうちの一方の支持面を
形成する。他方の支持面を形成する前記隙間調節用球面
軸受け部材（７３）を前記球面軸受け本体部材（７１）
に対して位置調節することにより、前記球面状の中間部
支持面（７１a＋７３b）と前記球面状の中間部被支持面
（３９c）との隙間を調節することができる。したがっ
て、球面状の中間部支持面（７１a＋７３b）と中間部被
支持面（３９c）との隙間を小さくすることができる。
前記隙間が小さい場合、前記水平移動部材（７１＋７
３）を前記水平面内に移動させるたとき前記円筒状レン
ズ（Ｒ）の光軸（Ｌ）の傾きを精度良く調節することが
できる。

【００２２】（第２発明の実施の形態１）第２発明の実
施の形態１の電子レンズは、前記第２発明において下記
の要件を備えたことを特徴とする、（Ｂ05）球面により
形成された前記上端部被支持面（１８a）および球面に
より形成された前記上端部支持面（１７b″）。

【００２３】（第２発明の実施の形態１の作用）前記構
成を備えた第２発明の実施の形態１の電子レンズでは、
球面により形成された前記上端部支持面（１７b″）
は、球面により形成された前記上端部被支持面（１８
a）を回転可能且つ上下動不能に支持することができ
る。

【００２４】（第２発明の実施の形態２）第２発明の実
施の形態２の電子レンズは、前記第２発明または第２発
明の実施の形態１において下記の要件を備えたことを特
徴とする、（Ｂ06）球面により形成された前記中間部被
支持面（３９c）および円筒面により形成された前記中
間部支持面（９１a）。

【００２５】（第２発明の実施の形態２の作用）前記構
成を備えた第２発明の実施の形態２の電子レンズでは、
円筒面により形成された前記中間部支持面（９１a）
は、球面により形成された前記中間部被支持面（３９
c）を回転可能且つ上下動可能に支持することができ
る。

【００２６】（第２発明の実施の形態３）第２発明の実
施の形態３の電子レンズは、前記第２発明または第２発
明の実施の形態１もしくは２において下記の要件を備え
たことを特徴とする、（Ｂ07）円筒面により形成された
前記中間部被支持面（９２a）および前記中間部被支持
面（９２a）に円周方向に沿って線接触して前記中間部
被支持面（９２a）を回転可能且つ上下動可能に支持す
る曲面より形成された前記中間部支持面（９３a）。

【００２７】（第２発明の実施の形態３の作用）前記構
成を備えた第２発明の実施の形態３の電子レンズでは、
前記中間部被支持面（９２a）に円周方向に沿って線接
触する曲面より形成された前記中間部支持面（９３a）
は、円筒面により形成された前記中間部被支持面（９２
a）を回転可能且つ上下動可能に支持することができ
る。

【００２８】なお、第２発明においても、前記第１発明
の実施の形態４〜５とほぼ同様の実施の形態が可能であ
る。

【００２９】

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施の形
態の例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例
に限定されるものではない。なお、以後の説明の理解を
容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方
向、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢
印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す
側をそれぞれ、前方、後方、左方、右方、上方、下方、
または、前側、後側、左側、右側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙
面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に
「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印
を意味するものとする。

【００３０】（実施例１）図１は本発明の実施例１の電
子レンズ（減速レンズ）が備えられた光電子分光装置の
全体説明図である。図２は実施例１の電子レンズ（減速
レンズ）の拡大説明図である。図３は実施例１の水平移
動部材および位置調節部材保持装置の拡大図である。図
４は前記図２のIＶ−IＶ線断面図である。図５は実施例
１の電子レンズ（減速レンズ）の下段部分の拡大図であ
る。

【００３１】図１において、光電子分光装置Ｋの超高真
空に保持された真空室Ｋ1内の下方には試料ステージ１
が配置されている。前記試料ステージ１の上面には試料
Ｓが保持されており、試料ステージ１の斜め上方には前
記試料ＳにＸ線を照射するためのＸ線照射装置２が配置
されている。前記試料ステージ１の上方（Ｚ方向）に
は、円筒状の減速レンズＧが配置されており、前記減速
レンズＧの上端には半球面型アナライザＡが接続されて
いる。

【００３２】図１、図２において、円筒状の減速レンズ
Ｇは、前記半球面型アナライザＡの外壁に固定された外
筒３を有している。図２において、前記外筒３は、上方
（Ｚ方向）に配置された前記半球面型アナライザＡの外
壁に固定された外筒上部４を有している。前記外筒上部
４の下方（−Ｚ方向）には、円筒状の外筒中間部６が配
置されており、前記外筒中間部６の下方には円筒状の外
筒下部７が配置されている。図１、図２において、前記
外筒上部４の下端部で外周面にはリング状の外筒上部連
結部材８が嵌合しており、前記外筒中間部６の上端部で
外周面にはリング状の外筒中間部被連結部材９が嵌合し
ている。前記外筒上部連結部材８と前記外筒中間部被連
結部材９とは植込みボルト１１によって連結されてい
る。前記外筒中間部６の下端部および外筒下部７の上端
部にもリング状の外筒中間部連結部材１２および外筒下
部被連結部材１３がそれぞ嵌合しており、前記外筒中間
部連結部材１２および外筒下部被連結部材１３は複数の
ネジ１４（図２、図５参照）によって連結されている。
また、図２、図４において、前記外筒中間部６の中間部
分には水平移動装置嵌合孔６aおよび前記水平移動装置
嵌合孔６aの反対側の位置に移動部材当接部材嵌合孔６b
が各３個つづ形成されている。

【００３３】図２において、前記外筒３の上端部で内側
には支持部材嵌合孔１６aが形成された上壁１６が固定
されている。前記支持部材嵌合孔１６aにはレンズ上端
支持部材１７が嵌合して固定されている。前記レンズ上
端支持部材１７の中央には、上端支持孔１７aが形成さ
れており、前記上端支持孔１７aの内周には円筒状の上
端部支持面１７bが設けられている。前記上端支持孔１
７aには、円筒状レンズＲの上端部が嵌合して回転可能
且つ上下動可能に支持されている。図２、図５におい
て、円筒状レンズＲは、上下方向に延びる光軸Ｌに沿っ
て、前記外筒下部７の下方に延びており、前記円筒状レ
ンズＲの下端部に設けられた第１レンズＲ1と、前記第
１レンズＲ1の上側に配置された第２レンズＲ2および前
記第２レンズＲ2上段の第３レンズＲ3と、前記第３レン
ズＲ3上段の第４レンズＲ4、第５レンズＲ5、第６レン
ズＲ6および第７レンズＲ7とによって構成されている。

【００３４】図２において、前記最上段の第７レンズＲ
7の上端部には上端被支持部１８が形成されており、前
記上端被支持部１８の外周面には球面状の上端部被支持
面１８aが設けられている。前記上端被支持部１８は前
記レンズ上端支持部材１７の上端支持孔１７aに嵌合し
て回転可能且つ上下動可能に支持されている。前記上端
被支持部１８の内周には前記円筒状レンズＲ内を通過し
て所定のエネルギに調節された電子が出射する電子出射
口１８bが形成されている。前記第７レンズＲ7の下端部
分と下方の前記第６レンズＲ6の上端部分とは、絶縁部
材１９を介して連結されており、前記第６、第５、第
４、第３の各レンズＲ6，Ｒ5，Ｒ4，Ｒ3もそれぞれ絶縁
部材２０，２１，２２を介して連結されている。

【００３５】図２、図５において、前記絶縁部材２０，
２２に支持された磁気シールドカバー２３下端には下端
磁気シールドカバー２４が連結されている。前記下端磁
気シールドカバー２４は、下方（−Ｚ方向）に行くに従
い外径が小さくなる形状をしており、その下端は第２レ
ンズＲ2よりも下方に延びている。前記下端磁気シール
ドカバー２４の下端部であって前記第２レンズＲ2より
下方に配置された部分により前記第１レンズＲ1が構成
されている。すなわち、第１レンズＲ1および下端磁気
シールドカバー２４は一体形成されている。前記第１レ
ンズＲ1下端の電子入射口Ｒ1aには、非磁性材であるＴ
ＭＣＶ材（商品名）製のメッシュレンズＲ0が一体的に
連結されている。

【００３６】前記下端磁気シールドカバー２４の外側壁
には、給電用端子固定孔２６，２６が形成されており、
側壁の内周側で下端部には絶縁部材支持段部２７および
その上方の部分に絶縁部材当接面２８が形成されてい
る。前記絶縁部材当接面２８に当接する絶縁部材２９に
より前記下端磁気シールドカバー２４、第２、第３の各
レンズＲ2，Ｒ3がそれぞれ接触しないようになってい
る。また、前記絶縁部材支持段部２７に支持されている
絶縁部材３１により、前記下端磁気シールドカバー２４
の内側の第２レンズＲ2の外周面が前記下端磁気シール
ドカバー２４の内周面に接触しないよう支持されてい
る。図５において、前記下端磁気シールドカバー２４の
給電用端子固定孔２６には、それぞれ絶縁部材で構成さ
れた給電用端子絶縁部材３３を介して給電用端子３４が
固定されており、前記給電用端子３４，３４には給電用
ケーブル３６，３６が接続されている。

【００３７】図２、図３において、前記円筒状レンズＲ
の中間部分を構成する前記第４レンズＲ4は、上側レン
ズ部３７および下側レンズ部３８を有しており、前記上
側レンズ部３７の下端部の嵌合部３７aには、下側レン
ズ部３８の上端部に形成された被嵌合部３８aが嵌合し
ている。図２、図３において、前記上側レンズ部３７の
嵌合部３７aは、前記上側レンズ部３７の上部側の外径
より小さな径に形成されており、前記嵌合部３７aの中
心部には電子通過孔３７a1（図２参照）が形成されてい
る。前記嵌合部３７aの上端側には中間被支持部材固定
面３７b（図３参照）が設けられている。また、図３に
示すように前記下側レンズ部３８の被嵌合部３８aの外
径も下側レンズ部３８の下部側の径より小さく形成され
ている。前記被嵌合部３８aの外周には中間被支持部材
嵌合面３８bが設けられており、前記中間被支持部材嵌
合面３８bの下端部側にはネジ螺合段部３８cが形成され
ている。図２、図３において、前記中間被支持部材固定
面３７bおよびネジ螺合段部３８cにはリング状の中間被
支持部材３９が固定されている。前記中間被支持部材３
９は、前記上側レンズ部３７の中間被支持部材固定面３
７bに貫通して螺合するネジ４１と前記下側レンズ部３
８のネジ螺合段部３８cに螺合するネジ４２とにより固
定されている。

【００３８】図３において、前記リング状の中間被支持
部材３９の上端部には前記ねじ４１が貫通して螺合する
ネジ貫通部３９aが形成されており、前記ネジ貫通部３
９aの下方で内周には前記ネジ４２が上下方向に貫通し
て螺合する被固定部３９bが形成されている。前記ネジ
貫通部３９aの下方で外周には球面状の中間部被支持面
３９cが形成されている。

【００３９】図２、図３、図４において、前記リング状
の中間被支持部材３９の外周側で前記外筒中間部６の各
水平移動装置嵌合孔６aには水平移動装置４３の被嵌合
円筒部材４４がそれぞれ嵌合する。図３において、前記
水平移動装置４３の被嵌合円筒部材４４の外端部にはフ
ランジ４４aが形成されており、前記フランジ４４aの外
端面にはリング状のガイド部材固定部材４６が固定され
ている。前記ガイド部材固定部材４６の中心部には移動
軸貫通孔４６aが形成されている。前記移動軸貫通孔４
６aの内側には、略円筒状の外端側ベローズ固定部材４
７が嵌合しており、前記外端側ベローズ固定部材４７の
外端部で内側にはガイド部材４８の内側円筒部４８aが
嵌合している。

【００４０】前記ガイド部材４８の内側円筒部４８aの
外端部にはフランジ部４８bが一体的に形成されてお
り、前記フランジ部４８bの外端部には前記内側円筒部
４８aの内径より内径の大きな外側円筒部４８cが形成さ
れている。前記外側円筒部４８cの内周側で前記前記フ
ランジ部４８bの外端面にはばね当接面４８dが設けられ
ている。前記外側円筒部４８cの外周面には雄ネジが形
成されている。前記外側円筒部４８cの外周面の雄ネジ
にはツマミ４９の内周面に形成された雌ネジが螺合す
る。図３において、前記ツマミ４９の円周の部分には空
気抜き孔４９aが形成されており、前記ツマミ４９の内
側で外端側の部分にはボール被当接部材５１が埋め込ま
れている。

【００４１】図３において、前記ツマミ４９、ガイド部
材４８、外端側ベローズ固定部材４７および被嵌合円筒
部材４４の内側には移動軸５２が内外方向（左右方向）
に移動可能に支持されている。前記ツマミ４９の内側に
配置されている前記移動軸５２の外端部（右端部）に
は、大径部５２aが形成されており、前記大径部５２aの
内端には、先端部側が前記被嵌合円筒部材４４の内側に
延びて前記大径部５２aより外径の小さな軸部５２bが形
成されている。前記大径部５２aはガイド部材４８の外
側円筒部４８cの内周で上側および下側の部分に形成さ
れた溝により内外方向（左右方向）にガイドされてい
る。前記大径部５２aの内端面側と前記ガイド部材４８
のばね当接面４８dとの間には圧縮バネ５３が配置され
ており、前記圧縮バネ５３は前記移動軸５２を外方へ付
勢している。前記大径部５２aの外端部にはボール５４
が埋め込まれており、前記ボール５４は前記ツマミ４９
の内側で外端側の部分に埋め込まれた前記ボール被当接
部材５１に当接している。

【００４２】図３において、前記被嵌合円筒部材４４の
内側に配置される前記移動軸５２の軸部５２bの先端側
の部分は軸側ベローズ固定部材５６に貫通しており、前
記軸側ベローズ固定部材５６はピン５７によって前記軸
部５２bに固定されている。前記軸側ベローズ固定部材
５６の外端部および前記外端側ベローズ固定部材４７の
内端部にはベローズ５８の両端が接続されている。した
がって、図３において前記ツマミ４９を軸回りに回転さ
せて前記ツマミ４９の前記ボール被当接部材５１が前記
移動軸５６の外端に埋め込まれているボール５４を内側
の方（左方、Ｙ方向）へ押圧すると、前記移動軸５６の
先端部が内側の方（左方、Ｙ方向）に移動し、前記前記
ツマミ４９を前記移動軸５６の先端部が内側に移動する
方向と反対側に回転させると前記圧縮バネ５３により前
記移動軸５６の大径部５２aが外側の方（右方、−Ｙ方
向）へ押圧されて前記移動軸５６の先端部が外側の方
（右方、−Ｙ方向）へ移動するようになっている。

【００４３】図２、図３、図４において、前記水平移動
装置４３の嵌合している位置と反対側で前記外筒中間部
６の各移動部材当接部材嵌合孔６bには移動部材押圧装
置６１の被嵌合円筒部材６２がそれぞれ嵌合する。図
３、図４において、前記移動部材押圧装置６１の被嵌合
円筒部材６２の外端部にはフランジ部６２aが形成され
ており、前記フランジ部６２aの外端面には円板部材６
３が固定されていて、前記被嵌合円筒部材６２内を密閉
している。前記円板部材６３の内端側の部分で中心部に
は凹部６３aが形成されており、凹部６３aの中心には空
気抜き孔６３bが形成されている。前記移動部材押圧装
置６１の被嵌合円筒部材６２の内側で前記円板部材６３
の内端側には略円筒状のガイド部材６４が配置されてお
り、前記ガイド部材６４の外端部が前記円板部材６３の
凹部６３aに嵌合する。前記ガイド部材６４の中間の部
分にはバネ被当接フランジ部６４aが形成されており、
前記バネ被当接フランジ部６４aの内端側で上側の部分
にはピンガイド溝６４bが形成されている。前記ガイド
部材６４には、その中心軸（図３においてＹ軸）に沿っ
て内端側が開口する当接部材ガイド孔６４cが形成され
ている。

【００４４】図３において、前記当接部材ガイド孔６４
cには、当接部材６６の外端部が内外（右左）方向にス
ライド可能に配置されている。前記当接部材６６の先端
部（内端部）は前記球面軸受け本体部材７１の当接部材
当接凹部７１dに当接しており、前記当接部材６６の中
間部分にはバネ被当接フランジ部６６aが形成されてい
る。図３、図４において、前記ガイド部材６４の当接部
材ガイド孔６４cにスライド可能に支持されている前記
当接部材６６の外端部には、ピン６７が固定されてお
り、前記ピン６７の上部は前記ガイド部材６４のピンガ
イド溝６４bを貫通している。図３において、前記当接
部材６６のスライド移動により前記ピン６７の上部が前
記ガイド部材６４のピンガイド溝６４bに沿って内外方
向にガイドされるようになっている。前記ガイド部材６
４のバネ被当接フランジ部６４aと前記当接部材６６の
バネ被当接フランジ部６６aとの間には圧縮バネ６８が
配置されており、前記当接部材６６の先端部を前記外筒
中間部６の中心側（内側）へ付勢している。なお、前記
符号４４〜５８で示された要素から前記水平移動装置４
３が構成されており、前記符号６２〜６８で示された要
素から前記移動部材押圧装置６１が構成されている。前
記水平移動装置４３と前記移動部材押圧装置６１とから
実施例１の位置調節部材保持装置（４３＋６１）が構成
される。

【００４５】図２、図３、図４において、前記水平移動
装置４３の移動軸５２および移動部材押圧装置６１の当
接部材６６の先端側で前記中間被支持部材３９の球面状
の中間部被支持面３９c外周には、リング状の球面軸受
け本体部材７１が配置されている。図３において、前記
リング状の球面軸受け本体部材７１の内周には前記中間
被支持部材３９の球面状の中間部被支持面３９cを前後
方向の軸（Ｘ軸）回りに回転可能に支持する球面状の軸
受け側中間部支持面７１a（図３参照）が設けられてお
り、前記球面状の軸受け側中間部支持面７１aの上端部
には隙間調節部材嵌合段部７１b（図３参照）が形成さ
れている。

【００４６】図３、図４において、前記リング状の球面
軸受け本体部材７１の外周には移動軸被当接部材嵌合部
７１cが合計３個形成されており、前記各移動軸被当接
部材嵌合部７１cの直径方向反対側の外周の部分には当
接部材当接凹部７１dが形成されている。前記各移動軸
被当接部材嵌合部７１cには移動軸被当接部材７２が嵌
合し、前記移動軸被当接部材７２の外側面には前記磁気
シールドカバー２３の孔を貫通した前記水平移動装置４
３の移動軸５２の先端部が当接する。また、前記当接部
材当接凹部７１dには、前記磁気シールドカバー２３の
孔を貫通した前記移動部材押圧装置６１の当接部材６６
の先端部が当接する。

【００４７】図３において、前記隙間調節部材嵌合段部
７１bには隙間調節用球面軸受け部材７３の円筒部７３a
が嵌合しており、前記円筒部７３aの内周には調節部材
側中間部支持面７３bが設けられており、前記調節部材
側中間部支持面７３bは前記中間被支持部材３９の球面
状の中間部被支持面３９cに当接する。図３において、
前記隙間調節用球面軸受け部材７３の円筒部７３aの上
端部にはフランジ部７３cが一体的に形成されている。
前記フランジ部７３cには合計４個の固定ネジ７４（図
３、図４参照）が上下方向に貫通しており、前記固定ネ
ジ７４の先端部は前記球面軸受け本体部材７１の上側の
部分に螺合する。フランジ部７３cの前記各固定ネジ７
４が螺合している位置の間には合計４個の調節ネジ７６
（図３、図４参照）が上下方向に貫通して螺合してお
り、前記各調節ネジ７６の先端は前記球面軸受け本体部
材７１の上端面に当接する。前記各ネジ７４，７６を上
下することにより前記隙間調節用球面軸受け部材７３の
円筒部７３aを上下させて、前記球面軸受け本体部材７
１の球面状の軸受け側中間部支持面７１aと前記中間被
支持部材３９の球面状の中間部被支持面３９cとの間の
隙間を小さくするようになっている。

【００４８】したがって、図３において、前記水平移動
装置４３の移動軸５２の先端部が左方へ移動すると、前
記移動軸被当接部材７２を介して前記球面軸受け本体部
材７１の右側の部分が外筒中間６の中心方向（左方、Ｙ
方向）に移動する。前記移動軸５２の先端部が右方へ移
動すると、前記球面軸受け本体部材７１の右側の部分を
外方へ移動させるようになっている。図４に示すように
前記球面軸受け本体部材７１は円周方向に等間隔離れて
３個の水平移動装置４３の移動軸５２の先端部が３方向
から当接されるので、前記各移動軸５２をそれぞれ内外
方向へ移動させて、前記球面軸受け本体部材７１を前記
光軸Ｌと垂直な水平面内に移動するようになっている。

【００４９】また、前記球面軸受け本体部材７１は、図
４に示すように前記水平移動装置４３の移動軸５２の先
端部および前記移動部材押圧装置６１の反対側の位置に
固定されている前記水平装置５１の移動軸５２の先端部
とにより押圧されて、所定の位置に保持されるようにな
っている。図２において、前記球面軸受け本体部材７１
の前記水平面内の移動により前記球面軸受け本体部材７
１の内側の中間被支持部材３９が回転して、前記中間被
支持部材３９を固定している円筒状レンズＲの下端部が
前記円筒状レンズＲの上端部を支点にして左右方向（Ｙ
軸方向）に移動するようになっている。なお、前記球面
軸受け本体部材７１と隙間調節用球面軸受け部材７３と
から水平移動部材（７１＋７３）が構成され、前記球面
軸受け本体部材７１の軸受け側中間部支持面７１aと隙
間調節用球面軸受け部材７３の調節部材側中間部支持面
７３bとから水平移動部材（７１＋７３）の中間部支持
面（７１a＋７３b）が構成される。

【００５０】図１において、前記減速レンズＧの上端に
接続されている半球面型アナライザＡは、１８０°半球
形の外半球部材８１および内半球部材８２を有してい
る。前記外半球部材８１と前記内半球部材８２との間に
は所定のエネルギを有する電子のみ選択して通過させる
選択電子通過路８３が形成されており、前記選択電子通
過路８３の前記減速レンズＧ接続側には前記減速レンズ
Ｇを通過した電子が入射するアナライザ側電子入射口８
４が設けられており、前記選択電子通過路８３の前記減
速レンズＧ接続されていない側には前記選択された電子
が出射するアナライザ側電子出射口８６が設けられてい
る。前記アナライザ側電子出射口８６の下方には前記選
択電子通過路８３を通過して選択された電子を検出する
ための検出器８７が配置されている。

【００５１】（実施例１の作用）図２、図３において、
各水平移動装置４３のツマミ４９を回転させて、前記移
動軸５２を内外方向に移動させる。前記移動軸５２の先
端部が球面軸受け本体部材７１の外側面を押圧して、前
記球面軸受け本体部材７１が前記光軸Ｌと垂直な水平面
内で移動する。前記球面軸受け本体部材７１の球面状の
軸受け側中間部支持面７１aに支持された中間被支持部
材３９の球面状の中間部被支持面３９cが回転する。こ
のとき、球面軸受け本体部材７１の隙間調節部材嵌合段
部７１bに嵌合している隙間調節用球面軸受け部材７３
により、前記球面軸受け本体部材７１の軸受け側中間部
支持面７１aと前記中間被支持部材３９の中間部被支持
面３９cとの間の隙間が小さくなっているので、前記球
面軸受け本体部材７１のわずかな動きでも前記中間被支
持部材３９が回転する。このため、前記中間被支持部材
３９を精度良く回転させることができる。

【００５２】前記円筒状レンズＲに固定されている中間
被支持部材３９の中間部被支持面３９cの回転により、
前記レンズ上端支持部材１７の円筒状の上端部支持面１
７bに支持された円筒状レンズＲの上端部被支持面１８a
が回転且つ上下動し、前記円筒状レンズＲの下部が前記
水平面内に移動する。前記移動部材押圧装置６１の当接
部材６６の先端部は球面軸受け本体部材７１の当接部材
当接凹部７１dに当接して前記水平移動装置４３の移動
軸５２とともに前記球面軸受け本体部材７１を所定の位
置に保持する。したがって、円筒状レンズＲの下端部に
有する電子入射口Ｒ1aおよび円筒状レンズＲの上端部に
有する電子出射口１８aの各中心に光軸Ｌが通過するよ
うに調節することができる。

【００５３】前記円筒状レンズＲに固定されている中間
被支持部材３９の球面状の中間部被支持面３９cは前記
球面軸受け本体部材７１の軸受け側中間部支持面７１a
である球面状の面に支持され、且つ前記円筒状レンズＲ
の球面状の上端部被支持面１８aはレンズ上端支持部材
１７の上端部支持面１７bである円筒状の面に支持され
ているので、前記円筒状レンズＲは滑らかに移動し、カ
ジリが発生しない。このため、長期間にわたり超高真空
下でも前記円筒状レンズＲの動きの精度がよく精度の高
い前記光軸Ｌの調節が行うことが可能となる。また、円
筒状レンズＲ最下段の第１レンズＲ1は前記下端磁気シ
ールドカバー２４と一体的に構成されており、前記メッ
シュレンズＲ0は、前記下端磁気シールドカバー２４と
一体的に連結されているので、前記減速レンズＧの下端
部の構成が簡単になる。

【００５４】（実施例２）図６は本発明の実施例２の電
子レンズ（減速レンズ）が備えられた光電子分光装置の
要部拡大説明図である。なお、この実施例２の説明にお
いて、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には
同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。この
実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違している
が、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
前記実施例１では、前記上端部被支持面１８aが球面に
より形成され且つ前記上端部支持面１７bが円筒面によ
り形成されていたのに対し、本実施例２では、円筒面に
より形成された前記上端部被支持面１８a′および前記
上端部被支持面１８a′に円周方向に沿って線接触して
前記上端部被支持面１８a′を回転可能且つ上下動可能
に支持する曲面より形成された前記上端部支持面１７
b′が設けられている。この実施例２の作用は前記実施
例１と同様である。

【００５５】（実施例３）図７は本発明の実施例３の電
子レンズ（減速レンズ）が備えられた光電子分光装置の
要部拡大説明図である。なお、この実施例３の説明にお
いて、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には
同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。この
実施例３は、下記の点で前記実施例１と相違している
が、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
この実施例３では、前記円筒状レンズＲ上方の前記レン
ズ上端支持部材１７の球面状の上端部支持面１７b″が
円筒状レンズＲの上端部被支持面１８aに回転可能支持
している。また、この実施例３では、前記実施例１の球
面軸受け本体部材７１の代わりに内周面に円筒状の中間
部支持面９１aが設けられた円筒面軸受け本体部材９１
（実施例３の水平移動部材）が前記中間被支持部材３９
の球面状の中間部被支持面３９cを回転可能且つ上下動
可能に支持している。前記円筒面軸受け本体部材９１の
外周には移動軸被当接部材嵌合部９１bが合計３個形成
されており、前記各移動軸被当接部材嵌合部９１bの直
径方向反対側の外周の部分には当接部材当接凹部９１c
が形成されている。前記各移動軸被当接部材嵌合部９１
bには前記移動軸被当接部材７２が嵌合し、前記移動軸
被当接部材７２の外側面には前記水平移動装置４３の移
動軸５２の先端部が当接する。前記当接部材当接凹部９
１cには、前記移動部材押圧装置６１の当接部材６６の
先端部が当接する。また、この実施例３では前記実施例
１の隙間調節用球面軸受け部材７３は省略されている。

【００５６】この実施例３においても水平移動装置４３
により前記円筒面軸受け本体部材９１を水平面内に移動
させて前記中間被支持部材３９の球面状の中間部被支持
面３９cを回転且つ上下動させる。前記円筒状レンズＲ
に固定されている前記中間被支持部材３９の中間部被支
持面３９cの回転且つ上下動により、前記円筒状レンズ
Ｒ上方のレンズ上端支持部材１７の球面状の上端部支持
面１７b″に支持された円筒状レンズＲの上端部被支持
面１８aが回転する。円筒状レンズＲの上端部被支持面
１８aの回転により、前記円筒状レンズＲの下部が前記
水平面内に移動し、円筒状レンズＲの下端部に有する電
子入射口Ｒ1aおよび円筒状レンズＲの上端部に有する電
子出射口１８aの各中心に光軸Ｌが通過するように調節
することができる。

【００５７】また、前記円筒状レンズＲに固定されてい
る中間被支持部材３９の球面状の中間部被支持面３９c
は前記円筒面軸受け本体部材９１の中間部支持面９１a
である円筒状の面に支持され、且つ前記円筒状レンズＲ
の球面状の上端部被支持面１８aはレンズ上端支持部材
１７の上端部支持面１７b″である球面状の面に支持さ
れているので、前記円筒状レンズＲは滑らかに移動し、
カジリが発生しない。このため、長期間にわたり超高真
空下でも前記円筒状レンズＲの動きの精度がよく精度の
高い前記光軸Ｌの調節が行うことが可能である。

【００５８】（実施例４）図８は本発明の実施例４の電
子レンズ（減速レンズ）が備えられた光電子分光装置の
要部拡大説明図である。なお、この実施例４の説明にお
いて、前記実施例３の構成要素に対応する構成要素には
同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。この
実施例４は、下記の点で前記実施例３と相違している
が、他の点では前記実施例３と同様に構成されている。

【００５９】この実施例４では円筒状レンズＲの中間部
分に固定されている中間被支持部材９２の外周は円筒状
の中間部被支持面９２aが設けてある。前記中間被支持
部材９２の上端部には前記ねじ４１が貫通して螺合する
ネジ貫通部９２bが形成されており、前記ネジ貫通部９
２bの下方で内周には前記ネジ４２が上下方向に貫通し
て螺合する被固定部９２cが形成されている。前記中間
被支持部材９２の円筒状の中間部被支持面９２aの外周
には、曲面軸受け本体部材９３（実施例４の水平移動部
材）が配置されており、前記曲面軸受け本体部材９３の
内周には前記円筒状の中間部被支持面９２aの円周方向
に沿って線接触して回転可能且つ上下動可能に支持する
曲面である中間部支持面９３aが設けられている。前記
曲面軸受け本体部材９３の外周には移動軸被当接部材嵌
合部９３bが形成されており、前記移動軸被当接部材嵌
合部９３bの直径方向反対側の外周の部分には当接部材
当接凹部９３cが形成されている。前記移動軸被当接部
材嵌合部９３bには移動軸被当接部材７２が嵌合し、前
記移動軸被当接部材７２の外側面には水平移動装置４３
の移動軸５２の先端部が当接する。また、前記当接部材
当接凹部９３bには、移動部材押圧装置６１の当接部材
６６の先端部が当接する。

【００６０】この実施例４においても水平移動装置４３
により前記曲面軸受け本体部材９３を水平面内に移動さ
せて前記中間被支持部材３９の球面状の中間部被支持面
３９cが回転且つ上下動させる。前記円筒状レンズＲに
固定されている中間被支持部材９２の中間部被支持面９
２aの回転且つ上下動により、前記円筒状レンズＲ上方
のレンズ上端支持部材１７の球面状の上端部支持面１７
b″に支持された円筒状レンズＲの上端部被支持面１８a
が回転する。円筒状レンズＲの上端部被支持面１８aの
回転により、前記円筒状レンズＲの下端部が前記水平面
内に移動し、円筒状レンズＲの下端部に有する電子入射
口Ｒ1aおよび円筒状レンズＲの上端部に有する電子出射
口１８aの各中心に光軸Ｌが通過するように調節するこ
とができる。

【００６１】また、前記円筒状レンズＲに固定されてい
る中間被支持部材９２の円筒状の中間部被支持面９２a
は前記曲面軸受け本体部材９３の中間部支持面９３aで
ある前記曲面に支持され、且つ前記円筒状レンズＲの球
面状の上端部被支持面１８aはレンズ上端支持部材１７
の上端部支持面１７b″である球面状の面に支持されて
いるので、前記円筒状レンズＲは滑らかに移動し、カジ
リが発生しない。このため、長期間にわたり超高真空下
でも前記円筒状レンズＲの動きの精度がよく精度の高い
前記光軸Ｌの調節が行うことが可能である。

【００６２】以上、本発明の実施例を詳述したが、本発
明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求
の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変
更を行うことが可能である。本発明の変更実施例を下記
に例示する。 （Ｈ01)前記各実施例では本発明の電子レンズが減速レ
ンズの場合を例示したが、本発明の電子レンズは減速レ
ンズ以外の他の荷電粒子線装置の電子レンズにも採用可
能である。 （Ｈ02）前記中間被支持部材３９，９２の中間部被支持
面３９c，９２aは円筒状レンズＲの外周面に形成するこ
とも可能である。

【００６３】

【発明の効果】前述の本発明の電子レンズは、下記の効
果を奏することができる。 （Ｅ01）電子レンズの光軸を調節する際に移動する部材
間にカジリが無いので、長期間にわたり精度良く調節す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明の実施例１の電子レンズ（減速
レンズ）が備えられた光電子分光装置の全体説明図であ
る。

【図２】 図２は実施例１の電子レンズ（減速レンズ）
の拡大説明図である。

【図３】 図３は実施例１の水平移動部材および位置調
節部材保持装置の拡大図である。

【図４】 図４は前記図２のIＶ−IＶ線断面図である。

【図５】 図５は実施例１の電子レンズ（減速レンズ）
の下段部分の拡大図である。

【図６】 図６は本発明の実施例２の電子レンズ（減速
レンズ）が備えられた光電子分光装置の要部拡大説明図
である。

【図７】 図７は本発明の実施例３の電子レンズ（減速
レンズ）が備えられた光電子分光装置の要部拡大説明図
である。

【図８】 図８は本発明の実施例４の電子レンズ（減速
レンズ）が備えられた光電子分光装置の要部拡大説明図
である。

【図９】 図９は従来の減速レンズを備えた光電子分光
装置の概略説明図である。

【符号の説明】

Ｌ…光軸、Ｒ…円筒状レンズ、Ｒ0…メッシュレンズ、
Ｒ1〜Ｒ4…複数のレンズ、Ｒ1…第１レンズ、Ｒ1a…電
子入射口、Ｒ2…第２レンズ、１７…レンズ支持部材、
１７b，１７b′，１７b″…上端部支持面、１８a，１８
a′…上端部被支持面、１８b…電子出射口、３９c…中
間部被支持面、４３＋６１…位置調節部材保持装置、７
１＋７３；９１；９３…水平移動部材、７１a＋７３b，
９１a，９２a，９３a…中間部支持面。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記の要件を備えたことを特徴とする電
   子レンズ、（Ａ01）上下方向に延びる光軸に沿って多段
   に連結された複数のレンズを有するとともに、下端部に
   電子が入射する電子入射口と、上端部に電子が出射する
   電子出射口と、前記上端部の外側面に設けた上端部被支
   持面と、上下方向の中間部の外側面に設けた中間部被支
   持面とを有する円筒状レンズ、（Ａ02）前記上端部被支
   持面を回転可能且つ上下動可能に支持する上端部支持面
   を有するレンズ上端支持部材、（Ａ03）前記中間部被支
   持面を回転可能且つ上下動不能に支持する中間部支持面
   を有し、前記光軸と垂直な水平面内で移動可能な水平移
   動部材、（Ａ04）前記水平移動部材の水平面内の位置を
   調節して保持する位置調節部材保持装置。
2. 【請求項２】 下記の要件を備えたことを特徴とする電
   子レンズ、（Ｂ01）上下方向に延びる光軸に沿って多段
   に連結された複数のレンズを有するとともに、下端部に
   電子が入射する電子入射口と、上端部に電子が出射する
   電子出射口と、前記上端部の外側面に設けた上端部被支
   持面と、上下方向の中間部の外側面に設けた中間部被支
   持面とを有する円筒状レンズ、（Ｂ02）前記上端部被支
   持面を回転可能且つ上下動不能に支持する上端部支持面
   を有するレンズ上端支持部材、（Ｂ03）前記中間部被支
   持面を回転可能且つ上下動可能に支持する中間部支持面
   を有し、前記光軸と垂直な水平面内で移動可能な水平移
   動部材、（Ｂ04）前記水平移動部材の水平面内の位置を
   調節して保持する位置調節部材保持装置。