JP6962721B2 - 試料ホルダーおよび電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
ポールピースを有する対物レンズと、X線検出器と、を備えた電子顕微鏡に用いられる試料ホルダーであって、
試料が固定される試料台と、
前記試料台が前記電子顕微鏡の試料室に導入された場合に、前記ポールピースと前記X線検出器との間に位置する遮蔽板と、
シャフト部と、
前記シャフト部の先端に設けられたフレームと、
を含み、
前記試料台は、前記フレームに取り付けられ、
前記ポールピースは、上極と下極とを有し、
前記試料台は、前記上極と前記下極との間に挿入され、
前記試料台が前記試料室に導入された場合に、前記遮蔽板は、前記下極と前記X線検出器との間に位置し、
前記遮蔽板は、前記フレームに取り付けられ、
前記試料台が前記試料室に導入された場合に、前記遮蔽板は、前記フレームから前記下極側に突出している。
本発明に係る試料ホルダーの一態様は、
ポールピースを有する対物レンズと、X線検出器と、を備えた電子顕微鏡に用いられる試料ホルダーであって、
試料が固定される試料台と、
前記試料台が前記電子顕微鏡の試料室に導入された場合に、前記ポールピースと前記X線検出器との間に位置する遮蔽板と、
シャフト部と、
前記シャフト部の先端に設けられたフレームと、
を含み、
前記試料台は、前記フレームに取り付けられ、
前記フレームは、前記遮蔽板と独立して、前記シャフト部の軸まわりに回転可能に構成されている。
本発明に係る試料ホルダーを含む。
まず、第1実施形態に係る試料ホルダーについて、図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る試料ホルダー100を含む電子顕微鏡1の構成を示す図である。図1では、試料ホルダー100によって試料Sが試料室2に導入された状態を図示している。
位置決め装置14と、中間レンズ15と、投影レンズ16と、撮像装置17と、エネルギー分散型X線分光分析装置(以下「EDS」ともいう)20,30を含む。
等を介してモーター(駆動部)に接続されている。試料ホルダー100では、前記駆動部の駆動により、レバー162およびアーム160を介して試料台130を傾斜させ、試料台130に固定された試料Sを傾斜させることができる。
3bで発生し半導体検出器22に向かうX線の経路に配置される。例えば、半導体検出器22(検出面)から見て、ポールピースの下極13bが隠れるように、遮蔽板140が配置される。
成する元素であるFeおよびCoのピークが大幅に低減できた。この結果から、遮蔽板140,142,144を設けることによって、半導体検出器が不要なX線を取り込むことを制限できることがわかる。
次に、第2実施形態に係る試料ホルダー200について、図面を参照しながら説明する。図7および図8は、第2実施形態に係る試料ホルダー200を模式的に示す斜視図である。以下、第2実施形態に係る試料ホルダーにおいて、第1実施形態に係る試料ホルダー100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、図7および図8では、試料ホルダーの各部材を簡略化して図示している。
Claims (9)
- ポールピースを有する対物レンズと、X線検出器と、を備えた電子顕微鏡に用いられる試料ホルダーであって、
試料が固定される試料台と、
前記試料台が前記電子顕微鏡の試料室に導入された場合に、前記ポールピースと前記X線検出器との間に位置する遮蔽板と、
シャフト部と、
前記シャフト部の先端に設けられたフレームと、
を含み、
前記試料台は、前記フレームに取り付けられ、
前記ポールピースは、上極と下極とを有し、
前記試料台は、前記上極と前記下極との間に挿入され、
前記試料台が前記試料室に導入された場合に、前記遮蔽板は、前記下極と前記X線検出器との間に位置し、
前記遮蔽板は、前記フレームに取り付けられ、
前記試料台が前記試料室に導入された場合に、前記遮蔽板は、前記フレームから前記下極側に突出している、試料ホルダー。 - 請求項1において、
前記試料台が前記試料室に導入された場合に、前記遮蔽板は、前記対物レンズの光軸に沿って突出している、試料ホルダー。 - 請求項1において、
前記試料台が前記試料室に導入された場合に、前記遮蔽板は、前記対物レンズの光軸に対して傾いた方向に突出している、試料ホルダー。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記遮蔽板は、着脱可能に構成されている、試料ホルダー。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記電子顕微鏡は、前記X線検出器を2つ備え、
前記試料台が前記試料室に導入された場合に、前記遮蔽板は、2つの前記X線検出器のうちの一方と前記ポールピースとの間、および2つの前記X線検出器のうちの他方と前記ポールピースとの間に配置される、試料ホルダー。 - ポールピースを有する対物レンズと、X線検出器と、を備えた電子顕微鏡に用いられる試料ホルダーであって、
試料が固定される試料台と、
前記試料台が前記電子顕微鏡の試料室に導入された場合に、前記ポールピースと前記X線検出器との間に位置する遮蔽板と、
シャフト部と、
前記シャフト部の先端に設けられたフレームと、
を含み、
前記試料台は、前記フレームに取り付けられ、
前記フレームは、前記遮蔽板と独立して、前記シャフト部の軸まわりに回転可能に構成されている、試料ホルダー。 - 請求項6において、
前記電子顕微鏡と、集束イオンビームで試料を加工する集束イオンビーム装置と、に共用可能である、試料ホルダー。 - 請求項7において、
前記フレームは、前記試料台を片側から支持し、
前記試料台は、前記フレームを前記シャフト部の軸まわりに回転させることで、
前記試料台の前記フレームで支持されている側とは反対側に前記遮蔽板が位置する第1位置と、
前記試料台に固定された試料に、前記試料台の前記フレームで支持されている側とは反対側から前記集束イオンビームを照射可能な第2位置と、
に移動可能である、試料ホルダー。 - 請求項1ないし8のいずれか1項に記載の試料ホルダーを含む、電子顕微鏡。
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- 2018-06-13 US US16/007,276 patent/US10504690B2/en active Active
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