JP2000243273A - プラズマディスプレイパネル用背面板の製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業性よく、低エネルギーで、寸法精度に優
れたプラズマディスプレイパネル用背面板を、歩留まり
よく作製できるプラズマディスプレイパネル用背面板の
製造法を提供する。 【解決手段】 複数の凸部を有する基体を用いて、この
基体に対応した形状の障壁材料及び蛍光体含有樹脂組成
物からなるパターンを基板上に形成し、次いで、焼成す
ることを特徴とするプラズマディスプレイ用背面板の製
造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル用背面板の製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、平板ディスプレイの１つとし
て、プラズマ放電により発光する蛍光体を設けることに
よって多色表示を可能にしたプラズマディスプレイパネ
ル（以下ＰＤＰと記す）が知られている。ＰＤＰは、ガ
ラスからなる平板状の前面板と背面板とが互いに平行に
かつ対向して配設され、両者はその間に設けられた障壁
により一定の間隔に保持されており、前面板、背面板及
び焼成後の障壁に囲まれた空間で放電する構造になって
いる。このような空間には、表示のための蛍光体が塗布
され、放電によって封入ガスから発生する紫外線によっ
て蛍光体が発光させられ、この光を観察者が視認できる
ようになっている。

【０００３】従来、ＰＤＰ用背面板は、複数の電極が整
列配置された基板上に、所定形状の障壁材料からなるパ
ターンを形成してこれを焼成し障壁を形成し、次いで、
障壁の形成された前記平面板上に蛍光体を含む樹脂組成
物からなるパターンを形成してこれを焼成し蛍光体パタ
ーンを形成することにより作製していた。

【０００４】障壁材料からなるパターンを形成する方法
としては、印刷スクリーンと障壁材料とを用いた厚膜印
刷法、感光性材料を用いて形成したレジストパターンの
間隙にガラスペーストを埋め込んだ後レジストパターン
を除去するアディティブ法（特開平２−１６５５３９号
公報、特開平２−１６５５４０号公報、特開平７−１９
２６２６号公報等）があるが、これらは、いずれも障壁
材料からなるパターンを所望の位置に形成した後に、５
００℃前後で焼成することにより、障壁を得ている。

【０００５】上記のようにして障壁が形成された基板上
に、蛍光体を含む樹脂組成物からなるパターンを形成す
る方法としては、各色の蛍光体を含む樹脂組成物蛍を、
スクリーン印刷等の印刷方法によって塗布する方法（特
開平１−１１５０２７号公報、特開平１−１２４９２９
号公報、特開平１−１２４９３０号公報、特開平２−１
５５１４２号公報等）、蛍光体を含有させた感光層を有
する感光性エレメント（感光性フィルム）を用いる方法
（特開平６−２７３９２５号公報等）が提案されてい
る。

【０００６】従来のＰＤＰ用背面板は、障壁材料からな
るパターンを焼成する際の加熱によって、基板が縮小す
る（対角５０cm程度の大きさの基板においては、数十〜
数百ミクロン縮小する）ために、あらかじめ設計した蛍
光体パターン形成用のスクリーン印刷のマスクや露光用
パターンマスクの位置あわせが困難となり、蛍光体パタ
ーンの高精細なパターニングを行うことがきわめて困難
であった。また、この問題は、ＰＤＰの表示面積が大き
くなるにつれて誤差が大きくなるために、大画面ＰＤＰ
の作製に際し、非常に大きな問題であった。

【０００７】また、予め基板の縮小の割合を考慮して、
蛍光体パターン用スクリーンマスク又は露光用パターン
マスクを作製して対応させる場合もあるが、焼成時の基
板の縮小幅は、必ずしも一定ではなく、部分的に縮小幅
が異なるために、やはり位置あわせが困難となり、製品
の歩留まりが悪く、大画面ＰＤＰを寸法精度よく作製す
ることが非常に困難であった。さらに、障壁材料と蛍光
体パターンはそれぞれ別個に焼成を行う必要があったた
め、エネルギー効率が悪く、製造コストを上昇させる原
因ともなっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】請求項１記載の発明
は、作業性よく、低エネルギーで、寸法精度に優れたプ
ラズマディスプレイパネル用背面板を、歩留まりよく作
製できるプラズマディスプレイパネル用背面板の製造法
を提供するものである。請求項２記載の発明は、低エネ
ルギーで、寸法精度に極めて優れたプラズマディスプレ
イパネル用背面板を、歩留まりよく作製できるプラズマ
ディスプレイパネル用背面板の製造法を提供するもので
ある。請求項３記載の発明は、極めて作業性よく、低エ
ネルギーで、寸法精度に優れたプラズマディスプレイパ
ネル用背面板を、歩留まりよく作製できるプラズマディ
スプレイパネル用背面板の製造法を提供するものであ
る。請求項４記載の発明は、請求項１、２及び３記載の
発明の効果に加えて、カラー表示が可能であるプラズマ
ディスプレイパネル用背面板の製造法を提供するもので
ある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、複数の凸部を
有する基体を用いて、この基体に対応した形状の障壁材
料及び蛍光体含有樹脂組成物からなるパターンを基板上
に形成し、次いで、焼成することを特徴とするプラズマ
ディスプレイ用背面板の製造法に関する。また、本発明
は、複数の凸部を有する基体の凸部の上面と側面に形成
された蛍光体含有樹脂組成物からなるパターン及び前記
蛍光体含有樹脂組成物からなるパターンが形成された凸
部と凸部の間隙に埋め込まれた障壁材料を、前記基体の
凸部の上面が基板に対向するようにして前記基板上に積
層し、次いで、複数の凸部を有する基体を除去して基板
上に障壁材料からなるパターン及び蛍光体含有樹脂組成
物からなるパターンを形成し、次いで、これらのパター
ンを焼成することを特徴とするプラズマディスプレイ用
背面板の製造法に関する。

【００１０】また、本発明は、複数の凸部を有する基体
で、基板上に障壁材料層を有しその上に前記の複数の凸
部を有する基体の凸部に対応した位置に蛍光体含有樹脂
組成物からなるパターンを形成した基板を、前記基体の
凸部の上面と前記基板の蛍光体を含有する樹脂組成物層
からなるパターンとが対向するようにして圧着し、次い
で、複数の凸部を有する基体を除去して基板上に障壁材
料及び蛍光体含有樹脂組成物からなる凹凸のパターンを
形成し、次いで、これらのパターンを焼成することを特
徴とするプラズマディスプレイ用背面板の製造法に関す
る。また、本発明は、蛍光体含有樹脂組成物からなるパ
ターンが、多色で、規則的に形成されてなる前記プラズ
マディスプレイパネル用背面板の製造法に関する。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明における複数の凸部を有す
る基体としては、特に制限はなく、金属、セラミック、
ガラス、プラスチック等の材料から構成されるシート、
ロール等の表面に複数の凸部を設けたものを使用するこ
とができ、また、これらの基体は、単一組成の材料から
なる一体化されたものであってもよく、組成の異なる同
系統の材料からなる複数の部分を組み合わせてなるもの
でもよく、異なる系統の材料からなる複数の部分を組み
合わせてなるものでもよい。積層工程、剥離工程におけ
る取り扱い性、作業性等の点から、表面に凸部が設けら
れた可とう性のあるプラスチック等から構成されるシー
トが好ましい。

【００１２】複数の凸部を有する基体の凸部の形状に
は、特に制限はなく、格子状、ストライプ状、ハニカム
状、三角形状、楕円形状等が可能である。このような複
数の凸部を有する基体は、通常、凸部の高さが２０〜５
００μｍ、幅が２０〜１０００μｍ、凹凸間の開口幅が
２０〜３００μｍとされる。

【００１３】基体自体の寸法精度、製造の簡便性、バリ
エーション性等の点から、可とう性のある支持体フィル
ム上に設けられた感光性樹脂組成物層を選択的に露光
し、次いで、現像により感光性樹脂組成物層を選択的に
除去して現像し、レジストパターンを形成する（感光性
樹脂組成物層へのフォトリソグラフ法の適用）ことによ
り、前記レジストパターンを凸部（選択的に除去された
部分は凹部となる）として有するものを複数の凸部を有
する基体として用いることがより好ましい。

【００１４】そのような基体は、例えば、感光性樹脂層
が支持体フィルム及びカバーフィルムで挟まれた感光性
エレメントを用い、支持体フィルム上からフォトマスク
を介して選択的に露光（パターン状露光）した後、カバ
ーフィルムを除去し、カバーフィルムが積層されていた
側から現像して支持体フィルム上にストライプ状のレジ
ストパターンを形成して得られる支持体フィルム及びそ
の上に形成された複数の凸部としてのストライプ状のレ
ジストパターンから構成される基体である。

【００１５】上記の感光性樹脂層が支持体フィルム及び
カバーフィルムで挟まれた感光性エレメントは、感光性
樹脂層を構成する各材料を有機溶剤に溶かし、支持体フ
ィルム上に塗布、乾燥して感光性樹脂層を形成し、カバ
ーフィルムをこの感光性樹脂層上に積層することにより
得ることができる。また、他の方法として、第１の支持
体フィルムと第２の支持体フィルム上に別々に形成した
感光性樹脂層をそれぞれ貼りあわせて得ることもできる
（この場合は第２の支持体フィルムをカバーフィルムと
して扱えばよい）。

【００１６】前記感光性樹脂層を構成する材料として
は、特に制限なく公知のものを使用でき、例えば、ポジ
型感光性樹脂組成物（１，２−ナフトキノンジアジド系
化合物、ｏ−ニトロベンジル系化合物等を用いた光可溶
性基生成型の組成物、オニウム塩等を用いた光酸発生・
酸分解型の組成物等）、ネガ型感光性樹脂組成物
（（ａ）エチレン性不飽和化合物、（ｂ）カルボキシル
基含有フィルム性付与ポリマ及び（ｃ）光重合開始剤を
必須成分として含有し、他に必要に応じて、（ｄ）染料
又は顔料、（ｅ）その他添加物を含んだ光重合型の組成
物等）などが挙げられる。感光性樹脂層の厚さは、形成
しようとするレジストパターンの高さ（厚さ）（これは
形成しようとする凸部の高さに対応）によって決定され
るが、通常、１５〜３００μｍ程度である。

【００１７】支持体フィルムや保護フィルムとしては、
ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリ
エチレン、ポリプロピレン等が挙げられ、その中でも、
ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンが好まし
く、ポリエチレンテレフタレートがより好ましい。支持
体フィルムや保護フィルムの厚さは、５〜３００μｍ程
度である。

【００１８】塗布方法としては、例えば、ナイフコート
法、ロールコート法、スプレーコート法、グラビアコー
ト法、バーコート法、カーテンコート法等が挙げられ、
乾燥温度は、６０〜１３０℃とすることが好ましく、乾
燥時間は、３分〜１時間とすることが好ましい。現像方
法としては、特に制限されず、ウェット現像、ドライ現
像等が挙げられる。ウェット現像の現像液としては、例
えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の弱アルカリ性
の稀薄水溶液が挙げられ、現像方式は、浸漬方式、スプ
レイ方式等が挙げられる。また、現像後に基板上に形成
された樹脂パターンを、強度、耐溶剤性等の向上の目的
で、加熱及び／又は露光してもよい。また、活性光とし
ては、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キセ
ノンアーク等から発生する光が用いられる。

【００１９】本発明における基板としては、特に制限は
なく、例えば、厚さ０．５〜５mm程度のガラス板、セラ
ミック板、プラスチック板等が挙げられる。なお、この
基板上には、厚さ０．２〜２０μｍ程度の電極、厚さ１
〜４０μｍ程度の誘電体層、厚さ１〜４０μｍ程度の保
護層等が形成されていてもよい。

【００２０】本発明における障壁材料は、無機材料、樹
脂成分、有機溶剤、シランカップリング剤等を含んでな
る組成物である。障壁材料に使用される無機材料として
は、例えば、ガラス粉末、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、酸化
チタン、酸化亜鉛、酸化バリウム、酸化カリウム、酸化
ナトリウム、酸化カルシウム、酸化ジルコニウム、酸化
カドミウム、酸化銅、酸化マグネシウム、酸化マンガ
ン、酸化ビスマス等の金属酸化物、顔料などが挙げられ
る。上記ガラス粉末のガラス組成としては、例えば、Ｐ
ｂＯ・Ｂ₂Ｏ₃・ＳｉＯ₂、ＰｂＯ・Ｂ₂Ｏ₃、ＺｎＯ・Ｂ₂
Ｏ₃・ＳｉＯ₂等が挙げられる。これら無機材料の軟化点
は、３５０〜１０００℃、粒度は、０．１〜５μｍであ
ることが、作業性、障壁の強度等の点から好ましい。無
機材料中、ガラス粉末の含有量は、形成される障壁の強
度、焼成時の形状保持性の点から、３０〜７５重量％と
することが好ましい。

【００２１】障壁材料に使用される樹脂成分は、焼成前
までパターン状に形成された障壁材料の形状を保持する
ために使用されるもので、公知のポリマー、オリゴマ
ー、モノマー等から構成され、有機溶剤を含んでいても
よい。これらの樹脂成分は、非硬化系でもでもよく、硬
化系の場合は、熱硬化系、光硬化系のいずれでもよい。
障壁材料中の樹脂成分の含有量は、無機材料の総量１０
０重量部に対して、３〜５００重量部とすることが好ま
しく、５〜５０重量部とすることがより好ましく、１０
〜３０重量部とすることが特に好ましい。この含有量が
３重量部未満であると、障壁材料をパターン状に形成す
ることが困難となる傾向があり、５００重量部を超える
と、障壁材料中の有機物を焼成により熱分解、消失させ
る工程でその熱分解、消失前の溶融段階で流動性が過大
となり障壁材料の形状保持性が劣る傾向がある。

【００２２】障壁材料に使用される有機溶剤としては、
特に制限なく公知のものを使用でき、その含有量は、障
壁材料の粘度が２０〜２００ポイズとなるような量を含
有させることが好ましく、そのような含有量は、無機材
料１００重量部に対して、１０〜１００重量部程度であ
る。有機溶剤の含有量が１０重量部未満であると、組成
物の粘度が大きすぎて作業性が劣る傾向があり、１００
重量部を超えると乾燥後の目減りが大きすぎる傾向があ
る。

【００２３】本発明における蛍光体含有樹脂組成物は、
蛍光体と樹脂成分を含有する組成物である。蛍光体含有
樹脂組成物における蛍光体としては、特に限定はなく、
金属酸化物を主体とするものが使用できる。赤色発色の
蛍光体（以下、赤色の蛍光体という）としては、例え
ば、Ｙ₂Ｏ₂Ｓ：Ｅｕ、Ｚｎ₃(ＰＯ₄)₂：Ｍｎ、Ｙ₂Ｏ₃：
Ｅｕ、ＹＶＯ₄：Ｅｕ、(Ｙ，Ｇｄ)ＢＯ₃：Ｅｕ、γ−Ｚ
ｎ₃(ＰＯ₄)₂：Ｍｎ、(ＺｎＣｄ)Ｓ：Ａｇ＋Ｉｎ₂Ｏ等が
挙げられる。

【００２４】緑色発色の蛍光体（以下、緑色の蛍光体と
いう）としては、例えば、ＺｎＳ：Ｃｕ、Ｚｎ₂Ｓｉ
Ｏ₄：Ｍｎ、ＺｎＳ：Ｃｕ＋Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ、Ｇｄ₂
Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ、Ｙ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂：Ｃｅ、ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａ
ｌ、Ｙ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ、ＺｎＯ：Ｚｎ、ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａ
ｌ＋Ｉｎ₂Ｏ₃、ＬａＰＯ₄：Ｃｅ，Ｔｂ、ＢａＯ・６Ａ
ｌ₂Ｏ₃：Ｍｎ等が挙げられる。青色発色の蛍光体（以
下、青色の蛍光体という）としては、例えば、ＺｎＳ：
Ａｇ、ＺｎＳ：Ａｇ，Ａｌ、ＺｎＳ：Ａｇ，Ｇａ，Ａ
ｌ、ＺｎＳ：Ａｇ，Ｃｕ，Ｇａ，Ｃｌ、ＺｎＳ：Ａｇ＋
Ｉｎ₂Ｏ₃、Ｃａ₂Ｂ₅Ｏ₉Ｃｌ：Ｅｕ²⁺、(Ｓｒ，Ｃａ，Ｂ
ａ，Ｍｇ)₁₀(ＰＯ₄)₆Ｃｌ₂：Ｅｕ²⁺、Ｓｒ₁₀(ＰＯ₄)₆Ｃ
ｌ₂：Ｅｕ²⁺、ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ²⁺、ＢａＭｇ
Ａｌ₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ²⁺、ＢａＭｇＡｌ₁₆Ｏ₂₆：Ｅｕ²⁺等が
挙げられる。

【００２５】蛍光体含有樹脂組成物における樹脂成分
は、焼成前までパターン状に形成された蛍光体含有樹脂
組成物の形状を保持するために使用されるもので公知の
ポリマー、オリゴマー、モノマー等から構成される。こ
れらの樹脂成分は、非硬化系でも硬化系でもよく、硬化
系の場合は、熱硬化系、光硬化系のいずれでもよい。蛍
光体含有樹脂組成物中の蛍光体の含有量は、樹脂成分の
総量１００重量部に対して、１０〜５００重量部とする
ことが好ましく、５０〜２５０重量部とすることがより
好ましい。この含有量が１０重量部未満では、ＰＤＰの
発光効率が低下する傾向があり、５００重量部を超える
と、均一な蛍光体含有樹脂組成物の調整が困難となる傾
向があり、また、形状保持性が低下する傾向がある。ま
た、蛍光体含有樹脂組成物には、公知の有機溶剤を含有
させてもよい。

【００２６】本発明のプラズマディスプレイ用背面板の
製造法は、複数の凸部を有する基体を用いて、この基体
に対応した形状の障壁材料及び蛍光体含有樹脂組成物か
らなるパターンを基板上に形成し、次いで、焼成するこ
とを特徴とする。本発明における複数の凸部を有する基
体に対応した形状の障壁材料及び蛍光体含有樹脂組成物
からなるパターンを基板上に形成し、焼成する方法とし
ては、例えば、下記に示す〔第１の方法〕、〔第２の方
法〕等が挙げられる。

【００２７】〔第１の方法〕とは、複数の凸部を有する
基体の凸部の上面と側面に形成された蛍光体含有樹脂組
成物からなるパターン及び前記蛍光体含有樹脂組成物か
らなるパターンが形成された凸部と凸部の間隙に埋め込
まれた障壁材料を、前記基体の凸部の上面が基板に対向
するようにして前記基板上に積層し、次いで、複数の凸
部を有する基体を除去して基板上に障壁材料からなるパ
ターン及び蛍光体含有樹脂組成物からなるパターンを形
成し、次いで、これらのパターンを焼成する方法であ
る。

【００２８】具体的に〔第１の方法〕は、例えば、
（Ｉ）複数の凸部を有する基体の凸部の上面と側面に蛍
光体含有樹脂組成物からなるパターンを形成する工程、
（II）前記蛍光体含有樹脂組成物からなるパターンが形
成された凸部と凸部の間隙に障壁材料を埋め込む工程、
（III）凸部の上面が基板に対向するようにして前記基
板に積層する工程、（IV）複数の凸部を有する基体を除
去する工程及び（Ｖ）パターンを焼成する工程の各工程
を順次行なうことにより実施することができる。

【００２９】〔第２の方法〕とは、複数の凸部を有する
基体で、基板上に障壁材料層を有しその上に前記の複数
の凸部を有する基体の凸部に対応した位置に蛍光体含有
樹脂組成物からなるパターンを形成した基板を、前記基
体の凸部の上面と前記基板の蛍光体を含有する樹脂組成
物層からなるパターンとが対向するようにして圧着し、
次いで、複数の凸部を有する基体を除去して基板上に障
壁材料及び蛍光体含有樹脂組成物からなる凹凸のパター
ンを形成し、次いで、これらのパターンを焼成する方法
である。

【００３０】具体的に〔第２の方法〕は、例えば、
（Ｉ′）基板上に障壁材料層を積層する工程、（II′）
障壁材料層の上に、蛍光体含有樹脂組成物からなるパタ
ーンを形成する工程、（III′）複数の凸部を有する基
体で、前記基体の凸部の上面と前記基板の蛍光体を含有
する樹脂組成物層からなるパターンとが対向するように
して圧着する工程、（IV）複数の凸部を有する基体を除
去する工程及び（Ｖ）パターンを焼成する工程の各工程
を順次行なうことにより実施することができる。

【００３１】なお、本発明のプラズマディスプレイ用背
面板の製造法は、カラー表示が可能であるプラズマディ
スプレイパネル用背面板を得るために、前記した方法に
おける蛍光体含有樹脂組成物からなるパターンを、多色
で、規則的に形成することが好ましい。

【００３２】以下、本発明の一態様である〔第１の方
法〕及び〔第２の方法〕について、図面を用いて詳述す
る。図１、図２及び図３は、本発明のプラズマディスプ
レイ用背面板の製造法の一例を示した模式図であり、図
１及び図２は前記した〔第１の方法〕であり、図３は前
記した〔第２の方法〕である。

【００３３】まず〔第１の方法〕について図１を用いて
説明する。 〔（Ｉ）複数の凸部を有する基体の凸部の上面と側面に
蛍光体含有樹脂組成物からなるパターンを形成する工
程〕複数の凸部２を有する基体１を図１（ａ）に示し
た。図１（ａ）において、基体１はストライプ状の凸部
２を有しており、図１（ａ）は、ストライプの長手方向
に垂直な面で切ったときの断面を示している。この凸部
２の形状は、後に、複数の凸部２を有する基体１が除去
された後に形成される放電空間の形状に対応している。

【００３４】複数の凸部２の上面及び側面に規則的に多
色の蛍光体含有樹脂組成物からなるパターンを形成した
状態を図１（ｂ）示した。図１（ｂ）において３ａは赤
色の蛍光体含有樹脂組成物からなるパターン、３ｂは緑
色の蛍光体含有樹脂組成物からなるパターン３ｃ及び青
色の蛍光体含有樹脂組成物からなるパターンである。多
色の蛍光体パターンは、例えば、赤、緑及び青の蛍光体
を、それぞれ一色ずつ含有する感光性樹脂組成物を使用
して一色毎に順次形成することができる。また、赤、緑
及び青の蛍光体を、それぞれ一色ずつ含有する樹脂組成
物を使用して複数の吹き出しノズルを備えたディスペン
サーを適用することにより三色併せて形成することもで
きる。

【００３５】複数の凸部２の上面及び側面に蛍光体含有
樹脂組成物からなるパターンを形成する方法としては、
液状の非感光性の蛍光体含有樹脂組成物を、スクリーン
印刷法、ディスペンサー法（移動可能な少なくとも１個
の吹き出しノズルを備えた装置の前記ノズルから蛍光体
含有樹脂組成物を所定の位置に吹き出すことを特徴とす
る）等を適用して行なうことができるが、位置精度、作
業性等の点から、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物に
フォトリソグラフ法を適用して行うことが好ましい。蛍
光体を含有する感光性樹脂組成物は、公知の感光性樹脂
組成物に蛍光体を添加して調整できる。このような蛍光
体を含有する感光性樹脂組成物として、例えば、特開平
９−２６５９０６号公報に記載されるものを使用するこ
とができる。

【００３６】蛍光体を含有する感光性樹脂組成物へのフ
ォトリソグラフ法の適用において、複数の凸部を有する
基体上に蛍光体を含有する感光性樹脂組成物層を形成す
る方法としては、液状の蛍光体を含有する感光性樹脂組
成物を、スクリーン印刷法、ディスペンサー法、ロール
コート法等を適用して行なうことができるが、位置精
度、作業性等の点から、支持体及び蛍光体を含有する感
光性樹脂組成物を有する感光性エレメントを、前記基体
１上に積層することにより行うことが好ましい。

【００３７】上記した、支持体及び蛍光体を含有する感
光性樹脂組成物層を有する感光性エレメントは、蛍光体
を含有する感光性樹脂組成物を厚さ５〜１００μｍ程度
の支持体上に塗布、乾燥し、支持体上に蛍光体を含有す
る感光性樹脂組成物層（蛍光体含有感光層）を形成する
ことにより製造できる。前記支持体としては、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン等が挙げられ、その中でも、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリエチレンが好ましく、ポリ
エチレンテレフタレートがより好ましい。支持体の厚さ
は、５〜３００μｍ程度である。

【００３８】このような蛍光体含有感光層を有する感光
性エレメントを用いての蛍光体含有樹脂組成物からなる
パターンの形成は次のようにして行うことができる。前
記感光性エレメントに保護フィルムが存在している場合
には、保護フィルムを除去後、必要に応じて蛍光体含有
感光層を加熱（９０〜１３０℃）しながら複数の凸部を
有する基体１（予熱されていてもよい）上に圧着（１〜
１０kgf/cm²）させることにより積層（ラミネート）
し、蛍光体含有感光層上に存在する支持体を剥離してネ
ガフィルム又はポジフィルムを介して活性光露光する
か、あるいは、感光層上に存在する支持体を剥離せずに
ネガフィルム又はポジフィルムを介して活性光露光す
る。活性光としては、例えば、カーボンアーク、水銀蒸
気アーク、キセノンアーク等から発生する光が用いられ
る。

【００３９】次いで、露光後、蛍光体含有感光層上に支
持体等が存在している場合には、これを除去した後、ア
ルカリ水溶液等を用いて、例えば、スプレー、揺動浸
漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知方法により
未露光部を除去し現像して、複数の凸部を有する基体の
所定の位置（前記凸部の上面及び側面）に蛍光体含有樹
脂組成物からなるパターンを形成することができる。

【００４０】〔（II）前記蛍光体含有樹脂組成物からな
るパターンが形成された凸部と凸部の間隙に障壁材料を
埋め込む工程〕前記蛍光体含有樹脂組成物からなるパタ
ーン３ａ、３ｂ、３ｃが形成された凸部２と凸部２の間
隙に障壁材料を埋め込んだ後の状態を図１（ｃ）に示し
た。蛍光体含有樹脂組成物からなるパターンが形成され
た凸部と凸部の間隙に障壁材料を埋め込む方法として
は、スクリーン、スキージー等を使用して行うことがで
きる。この際、障壁材料が有機溶剤を含む場合は、埋め
込んだ後、加熱して有機溶剤を除去することができ、こ
の埋め込み、加熱を繰り返し行うことができる。この障
壁材料が熱又は光硬化性である場合は、焼成前のいずれ
かの時点で加熱又は光照射して硬化させることもでき
る。

【００４１】〔（III）凸部の上面が基板に対向するよ
うにして前記基板に積層する工程〕前記蛍光体含有樹脂
組成物からなるパターン３ａ、３ｂ、３ｃが形成された
凸部２と凸部２の間隙に障壁材料を埋め込んだ後、これ
を凸部２の上面が基板５に対向するようにして配置した
状態を図１（ｄ）に示した。図１（ｄ）の状態で凸部２
の上面及び側面に規則的に形成された多色の蛍光体含有
樹脂組成物からなるパターン３ａ、３ｂ、３ｃと埋め込
まれた障壁材料４を有する基体１を予め電極６及び誘電
体層７が形成された基板５に積層した状態を図１（ｅ）
に示した。

【００４２】蛍光体含有樹脂組成物からなるパターンが
形成された凸部２と凸部２の間隙に障壁材料４が埋め込
まれた複数の凸部を有する基体１（図１（ｃ）の状態）
を、凸部２の上面が基板５に対向するようにして（図１
（ｄ）及び図１（ｅ）のようにして）前記基板５に積層
する。なお、前記基板５上に電極６が形成されている場
合は、複数の凸部を有する基体１の凸部２の上面が電極
６と重なるように位置あわせして積層し、凸部２と凸部
２の間隙に埋め込まれた障壁材料４が電極６と電極６の
間に配置されるようにすることが好ましい。

【００４３】〔（IV）複数の凸部を有する基体を除去す
る工程〕図１（ｅ）の状態から複数の凸部２を有する基
体１を除去して基板５上に障壁材料からなるパターン
４′及び蛍光体含有樹脂組成物からなるパターン３ａ、
３ｂ、３ｃを形成した状態を図１（ｆ）に示した。複数
の凸部を有する基体１を除去する方法としては、例え
ば、鉤型の治具等を用いて物理的に複数の凸部を有する
基体を剥がす方法などが挙げられる。また、作業性の向
上を目的に、静電気、吸引等の力を利用して、複数の凸
部を有する基体１を除去する方法などを使用することも
できる。

【００４４】また、複数の凸部を有する基体１の除去を
円滑にする点から、障壁材料からなるパターン４′及び
蛍光体含有樹脂組成物からなるパターン３ａ、３ｂ、３
ｃを形成するのに先立って、複数の凸部を有する基体１
の表面に離型剤を塗布してもよい。

【００４５】また、複数の凸部を有する基体１と、蛍光
体含有樹脂組成物からなるパターン３ａ、３ｂ、３ｃ、
障壁材料からなるパターン４′、電極６、誘電体層７及
び基板１からなる群から選ばれる１個以上との、そのい
ずれか一方又は両方を収縮させ、複数の凸部を有する基
体１と、蛍光体含有樹脂組成物からなるパターン３ａ、
３ｂ、３ｃ及び障壁材料からなるパターン４′との間に
微小間隙ができるようにし、複数の凸部を有する基体１
の除去を円滑にすることもできる。

【００４６】また、複数の凸部を有する基体１が、ネガ
型の感光性樹脂にフォトリソグラフ法を適用して作成さ
れている場合、複数の凸部を有する基体１の除去前に、
複数の凸部を有する基体１に活性光線を照射し更に光硬
化を進めて光硬化収縮を起こし、上述の微小間隙ができ
るようにし、複数の凸部を有する基体１の除去を円滑に
することもできる。

【００４７】また、複数の凸部を有する基体１が、ポジ
型の感光性樹脂にフォトリソグラフ法を適用して作成さ
れている場合、複数の凸部を有する基体１の除去前に、
複数の凸部を有する基体１に、活性光線を照射し、薬液
（アルカリ水溶液等）への溶解性を増大させることによ
り、蛍光体含有樹脂組成物からなるパターン３ａ、３
ｂ、３ｃを損傷することなく、複数の凸部を有する基体
１の薬液による除去を円滑にすることもできる。

【００４８】また、複数の凸部を有する基体１を、可撓
性の優れるもの、例えば、エチレン／エチルアクリレー
ト共重合体等の熱可塑性樹脂から構成されるものとし
て、複数の凸部を有する基体１の除去を円滑にすること
もできる。

【００４９】また、複数の凸部を有する基体１を除去し
た後、障壁材料４及び蛍光体含有樹脂組成物からなるパ
ターン３ａ、３ｂ、３ｃの形状を維持することを目的
に、加熱を行うこともできる。

【００５０】〔（Ｖ）パターンを焼成する工程〕図１
（ｆ）の状態で、これらのパターンを焼成して基板５上
に障壁４″及び蛍光体パターン３ａ′、３ｂ′、３ｃ′
を形成したプラズマディスプレイ用背面板の状態を図１
（ｇ）に示した。障壁材料からなるパターン４′及び蛍
光体含有樹脂組成物からなるパターン３ａ、３ｂ、３ｃ
を焼成して樹脂等の有機物を焼失させ障壁４″及び蛍光
体パターン３ａ′、３ｂ′、３ｃ′を基板５上に形成す
ることによりプラズマディスプレイ用背面板が得られ
る。この焼成の温度と時間は、３５０〜５８０℃、１〜
２０時間程度である。

【００５１】この図１により説明した製造法によれば障
壁材料からなるパターン４′及び蛍光体含有樹脂組成物
からなるパターン３ａ、３ｂ、３ｃを一括焼成するの
で、別々に焼成した場合（まず、障壁材料からなるパタ
ーンを焼成し、次いで蛍光体含有樹脂組成物からなるパ
ターンを焼成する）に比較して、省エネルギー効果が高
く、障壁材料からなるパターン４′の焼成時の収縮を考
慮する必要がなく、位置あわせが容易で、高い寸法精度
を実現でき、生産性も高い。

【００５２】なお、上記においては、図１（ｄ）で予め
誘電体層７が形成された基板が使用されているが、この
段階で電極６を有する基板５（誘電体層は形成されてい
ない）を使用し、この基板５に誘電体層用ペースト（例
えば、酸化鉛、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化カル
シウム等の無機粉末７０〜９７重量％及びアクリル系樹
脂、セルロース系樹脂等のバインダ樹脂３〜３０重量％
からなる組成物１００重量部に有機溶剤１０〜４００部
添加したもの等）を塗布、乾燥して誘電体層用ペースト
の層を形成し、その後は上記で説明したのと同様に行
い、最終的に行う焼成時に誘電体層用ペーストの層を焼
成し、誘電体層７としてプラズマディスプレイ用背面板
を得ることもできる。

【００５３】また、電極６を有する基板５（誘電体層は
形成されていない）に誘電体層用ペーストを塗布、乾燥
する代わりに、蛍光体含有樹脂組成物からなるパターン
３ａ、３ｂ、３ｃ及び埋め込まれた障壁材料４の上に誘
電体層用ペーストを塗布、乾燥しても同様にプラズマデ
ィスプレイ用背面板を得ることができる。これらの誘電
体層用ペーストを使用する方法は、より省エネルギー効
果が高い。

【００５４】また、図１で示した〔第１の方法〕とは別
に、誘電体層７と障壁４″の機能及び構成材料が類似し
ていることに着目したプラズマディスプレイ用背面板の
製造法を、他の〔第１の方法〕として図２に示した。こ
の図２で示される製造法の特徴は、図２（ｃ）にあり、
図１（ｃ）におけるより障壁材料４を余分に使用し、蛍
光体含有樹脂組成物からなるパターン３ａ、３ｂ、３ｃ
が形成された凸部２と凸部２の間隙だけに障壁材料４を
埋め込むのにとどまらず凸部２上面部分の蛍光体含有樹
脂組成物からなるパターンも覆うように障壁材料４を塗
布することである。

【００５５】図２（ｄ）、図２（ｅ）、図２（ｆ）及び
図２（ｇ）の状態を達成するための操作は、図１
（ｄ）、図１（ｅ）、図２（ｆ）及び図１（ｇ）の状態
を達成するための操作と同様であるが、図２（ｃ）で凸
部２上面部分の蛍光体含有樹脂組成物からなるパターン
も覆うように塗布された障壁材料４が、最終的に誘電体
層としての役割を果たすため、図２（ｄ）では基板５は
電極６のみを有している。図２（ｆ）に示されるように
複数の凸部２を有する基体１を除去した後、障壁材料か
らなるパターン４′及び蛍光体含有樹脂組成物からなる
パターン３ａ、３ｂ、３ｃを焼成することによりプラズ
マディスプレイ用背面板が得られる。この焼成の温度と
時間は、３５０〜５８０℃、１〜２０時間程度である。

【００５６】この図２で示した、他の〔第１の方法〕
は、図１で示した〔第１の方法〕による前記した利点に
加え、誘電体層も一度に形成できるので（通常、誘電体
層は電極の設けられた基板上に誘電体ペーストを塗布、
焼成して形成される）、省エネルギー効果が高く、より
位置あわせが容易でより高い寸法精度を実現でき、より
生産性も高い。

【００５７】次に、〔第２の方法〕について図３を用い
て説明する。後に使用する、複数の凸部２を有する基体
１を図３（ａ）に示した。 〔（Ｉ′）基板上に障壁材料の層を積層する工程〕基板
５上に、障壁材料４の層を形成した状態を図３（ｂ）に
示した。基板５上に、障壁材料４の層を形成する方法と
しては、障壁材料４を基板５上に、塗布、乾燥すること
により得られる。前記塗布方法としては、公知の方法を
用いることができ、例えば、ナイフコート法、ロールコ
ート法、スプレーコート法、グラビアコート法、バーコ
ート法、カーテンコート法、スクリーン印刷法等が挙げ
られる。乾燥方法としては、公知の方法を用いることが
でき、乾燥温度は、６０〜１３０℃とすることが好まし
く、乾燥時間は、３分〜１時間とすることが好ましい。
また、基板５上に障壁材料４を形成する方法として、障
壁材料４を支持体フィルム上に、塗布、乾燥し、基板５
上に障壁材料４の層が接するようにして配置し、圧力を
加えて、基板５上に障壁材料４の層を積層することもで
きる。

【００５８】また、障壁材料４の層は、後述する蛍光体
含有樹脂組成物からなるパターンのパターニング性を向
上することを目的に、障壁材料４の層の上面を、凹凸を
有する形状に加工してもよい。凹凸を有する形状に加工
する方法としては、凹凸を有する基材を圧着した後、こ
の凹凸を有する基材を除去する方法が挙げられる。この
ような凹凸を有する基材の材質としては、特に制限はな
く、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポ
リ塩化ビニル、テフロン、ステンレス等の金属等が挙げ
られる。また、凹凸を有する基材を除去する方法として
は、例えば鉤型の治具等を用いて物理的に凹凸を有する
基材を剥す方法などが挙げられる。

【００５９】〔（II′）障壁材料の層の上に、蛍光体含
有樹脂組成物からなるパターンを形成する工程〕基板５
上に形成した障壁材料４の層の上に、規則的に多色の蛍
光体含有樹脂組成物からなるパターン３ａ、３ｂ、３ｃ
を形成した状態を図３（ｃ）示した。障壁材料４の層上
に蛍光体含有樹脂組成物からなるパターン３ａ、３ｂ、
３ｃを形成する方法としては、基板５上に積層した障壁
材料４の層上に、蛍光体含有樹脂組成物を塗布、乾燥す
ることにより得られる。前記塗布方法としては、公知の
方法を用いることができ、例えば、スクリーン印刷法、
ディスペンサを用いる方法等が挙げられる。乾燥方法と
しては、公知の方法を用いることができ、乾燥温度は、
６０〜１３０℃とすることが好ましく、乾燥時間は、３
分〜１時間とすることが好ましい。

【００６０】多色の蛍光体含有樹脂組成物からなるパタ
ーンを形成するためには、赤、緑、青の蛍光体含有樹脂
組成物を障壁材料４の層上に、順次塗布、乾燥する操作
を繰り返すことにより得られる。また、障壁材料４の層
が凹凸を有する形状である場合には、その凹部に前記蛍
光体含有樹脂組成物を選択的に塗布することが、蛍光体
含有樹脂組成物層の混色を防止できる点で好ましい。こ
のようにして、基板５上に、障壁材料４の層を有し、そ
の上に、前記の複数の凸部を有する基体１の凸部２に対
応した位置に蛍光体含有樹脂組成物のパターン３ａ、３
ｂ、３ｃが規則的に形成することができる。

【００６１】〔（III′）複数の凸部を有する基体で、
前記基体の凸部の上面と前記基板の蛍光体を含有する樹
脂組成物層からなるパターンとが対向するようにして圧
着する工程〕複数の凸部を有する基体１の凸部２の上面
が、前記蛍光体含有樹脂組成物からなるパターン３ａ、
３ｂ、３ｃが形成された面と対向するようにして配置し
た状態を図３（ｄ）に示した。図３（ｄ）の状態で、複
数の凸部を有する基体１を圧着した状態を図３（ｅ）に
示した。

【００６２】圧着する方法としては、圧着ロールで圧着
する方法、プレス機で圧着する方法等が挙げられる。圧
着ロールで圧着させる方法において、圧着ロールは、加
熱圧着できるように加熱手段を備えたものであってもよ
く、加熱圧着する場合の加熱温度は、０〜１５０℃とす
ることが好ましく、２０〜１３５℃とすることがより好
ましく、３０〜１３０℃とすることが特に好ましい。こ
の加熱温度が、０℃未満では、障壁材料層及び蛍光体を
含有する樹脂組成物層の凹凸形状の形成性が低下する傾
向があり、１５０℃を超えると、蛍光体を含有する樹脂
組成物層と複数の凸部を有する基体との密着力が増大
し、蛍光体を含有する樹脂組成物層から複数の凸部を有
する基体を除去しにくくなる傾向がある。

【００６３】また、圧着時の圧着圧力は、線圧で５０〜
１×１０⁵N/mとすることが好ましく、２．５×１０²〜
５×１０⁴N/mとすることがより好ましく、５×１０²〜
４×１０⁴N/mとすることが特に好ましい。この圧着圧力
が、５０N/m未満では、障壁材料層及び蛍光体を含有す
る樹脂組成物層の凹凸形状の形成性が低下する傾向があ
り、１×１０⁵N/mを超えると、基板が破損する傾向があ
る。また、凹凸形状の形成性をさらに向上させる点か
ら、５×１０⁴Pa以下の減圧下で、上記した圧着及び加
熱圧着の操作を行うこともできる。なお、圧着の際、複
数の凸部を有する基体１を圧着して形成された、障壁材
料及び蛍光体含有樹脂組成物層の凹部には、単色の蛍光
体含有樹脂組成物層を形成できるように、複数の凸部を
有する基体１を位置決めして圧着する必要がある。

【００６４】プレス機で圧着させる方法において、プレ
ス機は、加熱圧着できるように加熱手段を備えたもので
あってもよく、加熱圧着する場合の加熱温度は、０〜１
５０℃とすることが好ましく、２０〜１３５℃とするこ
とがより好ましく、３０〜１３０℃とすることが特に好
ましい。この加熱温度が、０℃未満では、障壁材料層及
び蛍光体を含有する樹脂組成物層の凹凸形状の形成性が
低下する傾向があり、１５０℃を超えると、蛍光体を含
有する樹脂組成物層と複数の凸部を有する基体との密着
力が増大し、蛍光体を含有する樹脂組成物層から複数の
凸部を有する基体を除去しにくくなる傾向がある。

【００６５】また、圧着時の圧着圧力は、２×１０⁵〜
１×１０⁷Paとすることが好ましく、３×１０⁵〜８×１
０⁶Paとすることがより好ましく、５×１０⁵〜５×１０
⁶Paとすることが特に好ましい。この圧着圧力が、２×
１０⁵〜１×１０⁷Pa未満では、障壁材料層及び蛍光体を
含有する樹脂組成物層の凹凸形状の形成性が低下する傾
向があり、１×１０⁷Paを超えると、基板が破損する傾
向がある。また、凹凸形状の形成性をさらに向上させる
点から、５×１０⁴Pa以下の減圧下で、上記した圧着及
び加熱圧着の操作を行うこともできる。

【００６６】〔（IV）複数の凸部を有する基体を除去す
る工程〕図３（ｅ）の状態から複数の凸部を有する基体
１を除去して基板５上に障壁材料からなるパターン４′
及び蛍光体含有樹脂組成物からなるパターン３ａ、３
ｂ、３ｃを形成した状態を図３（ｆ）に示した。複数の
凸部を有する基体１を除去する方法としては、前記した
〔第１の方法〕と同様にして行なうことができる。ま
た、障壁材料４及び蛍光体含有樹脂組成物からなるパタ
ーンの凹部内面以外に残存した蛍光体含有樹脂組成物か
らなるパターン（不要部）を研磨等により完全に除去す
ることもできる。

【００６７】〔（Ｖ）パターンを焼成する工程〕図３
（ｆ）の状態で、これらのパターンを焼成して基板５上
に障壁４″及び蛍光体パターン３ａ′、３ｂ′、３ｃ′
を形成したプラズマディスプレイ用背面板の状態を図３
（ｇ）に示した。焼成する方法としては、前記した〔第
１の方法〕と同様にして行なうことができる。

【００６８】前述したこれらの本発明のプラズマディス
プレイ用背面板の製造法は、フィールドエミッションデ
ィスプレイ（ＦＥＤ）、エレクトロルミネッセンスディ
スプレイ（ＥＬＤ）等の自発光型ディスプレイにも適用
することができる。

【００６９】

【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。

【００７０】製造例１ 〔凸部としてのレジストパターン形成用の感光性エレメ
ントの調製〕メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル／
メタクリル酸共重合体〔組成（重量比）５３／３０／１
７、重量平均分子量１０万〕の４１重量部メチルセロソ
ルブ／トルエン（重量比８：２）溶液１３７ｇ（固形分
５５ｇ）、２，２−ビス〔４−（メタクリロキシペンタ
フェノキシ）フェニル〕プロパン３４ｇ、γ−クロロ−
β−ヒドロキシプロピル−β−メタクリロイルオキシエ
チル−ｏ−フタレート１１ｇ、２，２′−メチレンビス
（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）０．１ｇ、
トリブロモメチルフェニルスルフォン１．２ｇ、シリコ
ーンレベリング剤（ＳＨ−１９３、トーレシリコン株式
会社製）０．０４ｇ、１−７−ビス（９−アクリジニ
ル）ヘプタン０．２ｇ、ベンジルメチルケタール３ｇ、
ロイコクリスタルバイオレット１．０ｇ、マラカイトグ
リーン０．０５ｇ、トルエン７ｇ、メチルエチルケトン
１３ｇ及びメタノール３ｇを配合し、感光性樹脂組成物
の溶液を得た。

【００７１】この感光性樹脂組成物の溶液を５０μｍ厚
のポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴ）上に
均一に塗布し、１１０℃の熱風対流式乾燥機で約１０分
間乾燥して感光性フィルムを得た。乾燥後の感光層の膜
厚は７５μｍであった。次いで、得られた感光性フィル
ム２枚の感光層同士を貼りあわせ、感光層１５０μｍが
厚さ５０μｍのＰＥＴで挟まれた感光性エレメントが得
られた。

【００７２】製造例２ 〔障壁材料の調製〕表１に示された材料をライカイ機に
投入し１５分間混練してペースト状の障壁材料組成物を
得た。

【００７３】

【表１】

【００７４】製造例３ 〔赤色の蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層を有す
る感光性エレメント（Ａ−１）の作製〕表２に示す材料
を、ライカイ機を用いて１５分間混合し、赤色の蛍光体
を含有する感光性樹脂組成物の溶液を調製した。なお、
以下において、フィルム性付与ポリマの溶液としてはメ
タクリル酸メチル／メタクリル酸ｎ−ブチル／アクリル
酸エチル／メタクリル酸共重合体〔組成（重量比）５５
／１０／１５／２０、重量平均分子量８万〕のメチルセ
ロソルブ／トルエン（重量比６：４）の溶液（固形分４
５．５重量％）を用いた。

【００７５】

【表２】

【００７６】得られた溶液を、５０μｍの厚さのポリエ
チレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、８０
〜１１０℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥して溶剤
を除去し、赤色の蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の
層を形成した。得られた赤色の蛍光体を含有する感光性
樹脂組成物の層の乾燥後の厚さは５０μｍであった。次
いで、この赤色の蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の
層の上に、厚さが２５μｍのポリエチレンフィルムをカ
バーフィルムとして張り合わせ、赤色の蛍光体を含有す
る感光性樹脂組成物の層を有する感光性エレメント（Ａ
−１）を得た。

【００７７】製造例４ 〔緑色の蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層を有す
る感光性エレメント（Ａ−２）の作製〕表２に示す材料
で(Ｙ，Ｇｄ)ＢＯ₃：Ｅｕを、Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ²⁺に
変更した以外は製造例３と同様にして緑色の蛍光体を含
有する感光性樹脂組成物の層を有する感光性エレメント
（Ａ−２）を作成した。

【００７８】製造例５ 〔青色の蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層を有す
る感光性エレメント（Ａ−３）の作製〕表２に示す材料
で(Ｙ，Ｇｄ)ＢＯ₃：Ｅｕを、ＢａＭｇＡｌ₁₄Ｏ₂₃：Ｅ
ｕ²⁺に変更した以外は製造例３と同様にして青色の蛍光
体を含有する感光性樹脂組成物の層を有する感光性エレ
メント（Ａ−３）を作成した。

【００７９】製造例６ 〔熱可塑性樹脂層を有するフィルムの作製〕下記表３に
示す材料からなる樹脂溶液を、２０μｍの厚さのポリエ
チレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、１１
０℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥して溶剤を除去
し、熱可塑性樹脂層を形成した。得られた熱可塑性樹脂
層の乾燥後の厚さは、６０μｍであった。

【００８０】

【表３】

【００８１】次いで、熱可塑性樹脂層の上に、厚さが２
５μｍのポリエチレンフィルムをカバーフィルムとして
張り合わせて、熱可塑性樹脂層を含むエレメントを作製
した。

【００８２】実施例１ 〔複数の凸部を有する基体の製造〕製造例１で得た感光
性エレメントの一方のポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上にネガマスクを載置し、３kW高圧水銀灯（ＨＭＷ
−５９０、オーク製作所製）で８０mJ/cm²の露光を行
い、露光後５分以内に８０℃で１０分間加熱した。次い
で、ネガマスクを載置したのと反対側のポリエチレンテ
レフタレートフィルムを剥がした後、３０℃、１重量％
炭酸ナトリウム水溶液でスプレー現像を行った。さら
に、１重量％クエン酸水溶液（２０℃）に２分間浸漬処
理した。浸漬処理後、水洗、水切り、８０℃で５分間乾
燥後、７kWメタルハライドランプ（ＨＭＷ−６８０、
(株)オーク製作所製）で２０００mJ/cm²露光した後、１
５０℃で１００分加熱した。ポリエチレンテレフタレー
トフィルム上に形成された凸部としてのストライプ状レ
ジストパターンは、パターンサイズ３１０×４１０m
m²、ライン／スペース＝１５０μｍ／７０μｍ、レジス
ト厚さ１５０μｍ厚であった。

【００８３】〔（Ｉ）複数の凸部を有する基体の凸部の
上面と側面に蛍光体含有樹脂組成物からなるパターンを
形成する工程〕前記で得られたストライプ状レジストパ
ターンに、蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層が接
するように、製造例３で得られた赤色の蛍光体を含有す
る感光性樹脂組成物の層を有する感光性エレメント（Ａ
−１）のポリエチレンフィルムを剥がしながら、真空ラ
ミネータ（日立化成工業(株)製、商品名ＶＬＭ−１型）
を用いて、加熱温度が３０℃、気圧が４０００Pa以下、
圧着圧力が２．５×１０³N/m（線圧）、基板の送り速度
が０．５ｍ／分で積層した。

【００８４】次いで、蛍光体を含有する感光性樹脂組成
物の層を有する感光性エレメント（Ａ−１）のポリエチ
レンテレフタレートフィルムを剥離し、蛍光体を含有す
る感光性樹脂組成物の層の上に、製造例６で得られた熱
可塑性樹脂層を有するフィルムを、ポリエチレンフィル
ムを剥がしながら、ラミネータ（日立化成工業(株)製、
商品名ＨＬＭ−３０００型）を用いて、加熱温度が１１
０℃、圧着圧力が５×１０³N/m（線圧）、基板の送り速
度が０．５ｍ／分で積層し、蛍光体を含有する感光性樹
脂組成物の層をストライプ状のレジストパターンの上面
と側面に充分に追従させた。

【００８５】次いで、熱可塑性樹脂層を有するフィルム
を除去した後、ストライプ状レジストパターンの３本に
１本の間隔で作成された、レジストパターン幅と同程度
の活性光線透過幅を有するフォトマスクを密着させて、
(株)オーク製作所製、ＨＭＷ−２０１ＧＸ型露光機を使
用し、１００mJ/cm²で活性光線を像的に照射した。

【００８６】次いで、活性光線の照射後、常温で１時間
放置した後、１重量％炭酸ナトリウム水溶液を用いて、
３０℃で１２０秒間スプレー現像し、ストライプ状のレ
ジストパターンの上面及び側面に赤色の蛍光体含有樹脂
組成物からなるパターンを形成した。現像後、８０℃で
１０分間乾燥し、東芝電材(株)製東芝紫外線照射装置を
使用して、３J/cm²の紫外線照射を行い、さらに、１５
０℃で１時間加熱した。

【００８７】製造例４で得られた蛍光体を含有する感光
性樹脂組成物の層を有する感光性エレメント（Ａ−２）
及び製造例５で得られた蛍光体を含有する感光性樹脂組
成物の層を有する感光性エレメント（Ａ−３）について
もそれぞれ上記と同様にして行ない、ストライプ状レジ
ストパターンの上面及び側面に、赤色、緑色及び青色の
蛍光体を含有する樹脂組成物からなるパターンが規則的
に繰り返された多色の蛍光体含有樹脂組成物からなるパ
ターンを形成した（図２（ｂ）参照）。

【００８８】〔（II）前記蛍光体含有樹脂組成物からな
るパターンが形成された凸部と凸部の間隙に障壁材を埋
め込む工程〕製造例２で調製した障壁材料をゴムスキー
ジを使用して均一にその上面及び側面に蛍光体含有樹脂
組成物からなるパターンが形成されたレジストパターン
とレジストパターンの間隙に埋め込んだ。次いで、１分
以内に、５トール以下で３分間の減圧脱泡を行った後、
８０℃で３０分間乾燥した。その後、さらに、障壁材料
をゴムスキージを使用して多色の蛍光体含有樹脂組成物
からなるパターンを覆うようにして塗布し、８０℃で３
０分間乾燥した。次いで、１８０℃で２時間加熱し、障
壁材料を熱硬化させた（図２（ｃ）参照）。

【００８９】〔（III）凸部の上面が基板に対向するよ
うにして前記基板に積層する工程〕ストライプ状に電極
の形成されたガラス基板上に、前記のように多色の蛍光
体含有樹脂組成物からなるパターンが形成されレジスト
パターンとレジストパターンの間隙に障壁材料が埋め込
まれたものをレジストパターンの上面がガラス基板に対
向するようにして（図２（ｄ）参照）、前記ストライプ
状に電極の形成された基板にラミネータを用いて積層し
積層体を得た。ここで、埋め込まれた障壁材料（ストラ
イプ状）がストライプ状の電極間の中央に配置されるよ
うに位置あわせして積層した（図２（ｅ）参照）。

【００９０】〔（IV）複数の凸部を有する基体を除去す
る工程〕上記積層体からポリエチレンテレフタレートフ
ィルムを除去し、４０℃の５重量％水酸化ナトリウム水
溶液に浸漬してレジストパターンを剥離して除去した
（図２（ｆ）参照）。

【００９１】〔（Ｖ）パターンを焼成する工程〕次い
で、水洗、乾燥後、室温から３８０℃まで昇温速度が３
℃／分で昇温し、３８０℃で３０分間保持、さらに５５
０℃まて昇温速度が５℃／分で昇温し、５５０℃で３０
分間保持後、室温まで自然冷却することにより焼成し
て、ストライプ状に電極の形成されたガラス基板上に障
壁及び蛍光体パターンを形成しプラズマディスプレイ用
背面板を得た（図２（ｇ）参照）。

【００９２】得られたプラズマディスプレイ用背面板の
断面を電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したところストライ
プ状の電極間の中央にストライプ状の障壁が形成されて
おり、極めて高精細、高精度のプラズマディスプレイ用
背面板製造できたことが確認された。

【００９３】製造例７ ［赤色の蛍光体を含有する樹脂組成物層用溶液（Ａ−
４）の作製］表４に示す材料を、ライカイ機を用いて１
５分間混合し、赤色の蛍光体を含有する樹脂組成物層用
溶液（Ａ−４）を作製した。

【００９４】

【表４】

【００９５】製造例８ ［緑色の蛍光体を含有する樹脂組成物層用溶液（Ａ−
５）の作製］表５に示す材料を、ライカイ機を用いて１
５分間混合し、緑色の蛍光体を含有する樹脂組成物層用
溶液（Ａ−５）を作製した。

【００９６】

【表５】

【００９７】製造例９ ［青色の蛍光体を含有する樹脂組成物層用溶液（Ａ−
６）の作製］表６に示す材料を、ライカイ機を用いて１
５分間混合し、青色の蛍光体を含有する樹脂組成物層用
溶液（Ａ−６）を作製した。

【００９８】

【表６】

【００９９】実施例２ 〔（Ｉ′）基板上に障壁材料層を積層する工程〕製造例
２で得られた、障壁材料組成物を、基板上に均一に塗布
し、１１０℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥して溶
剤を除去し、障壁材料層を形成した（図３（ｂ）参
照）。得られた障壁材料層の厚さは５０μｍであった。

【０１００】〔（II′）障壁材料層の上に蛍光体含有樹
脂組成物からなるパターンを形成する工程〕次いで、障
壁材料層上にディスペンサを用いて赤色の蛍光体を含有
する樹脂組成物層用溶液（Ａ−４）を吐出して幅１３０
μｍ、厚さ５０μｍの赤色の蛍光体を含有する樹脂組成
物層パターンを４７０μｍ間隔で形成した。次に、緑色
の蛍光体を含有する樹脂組成物層用溶液（Ａ−５）を用
いて同様の形状の蛍光体パターンを赤の蛍光体を含有す
る樹脂組成物層の隣に７０μｍの間隔を空けて緑の蛍光
体を含有する樹脂組成物層パターンを形成した。次に、
青色の蛍光体を含有する樹脂組成物層用溶液（Ａ−６）
を用いて、同様の形状の蛍光体を含有する樹脂組成物層
パターンを緑の蛍光体を含有する樹脂組成物層の隣に７
０μｍの間隔を空けて青の蛍光体を含有する樹脂組成物
層パターンを形成した（図３（ｃ）参照）。その後、１
３０℃の乾燥機で３０分間乾燥し溶剤を除去した。

【０１０１】〔（III′）複数の凸部を有する基体で、
前記基体の凸部の上面と前記基板の蛍光体を含有する樹
脂組成物層からなるパターンとが対向するようにして圧
着する工程〕次いで、ポリカーボネート製の凹凸を有す
る基体（ストライプ状の凹凸、凹凸間の開口幅７０μ
ｍ、凸部の幅１４０μｍ、凸部の高さ１２０μｍ）の凸
部の上面と前記障壁材料層上に、蛍光体を含有する樹脂
組成物層が形成された基板の蛍光体を含有する樹脂組成
物層とが対向するように（図３（ｄ）参照）、ラミネー
タ（日立化成工業(株)製、商品名ＨＬＭ−３０００型）
を使用して、ラミネート温度が７０℃、ラミネート速度
が０．５ｍ／分、圧着圧力（シリンダ圧力）が４×１０
⁵Pa（厚さが３mm、縦１０cm×横１０cmの基体を用いた
ため、この時の線圧は９．８×１０^3N/m）で圧着した
（図３（ｅ）参照）。

【０１０２】〔（IV）複数の凸部を有する基体を除去す
る工程〕次いで、凹凸を有する基材を物理的に剥離して
除去した（図３（ｆ）参照）。具体的には、平板に複数
の吸引孔を設けた治具に基板を載置し、吸引して基板を
治具に密着固定させ、一方、凹凸を有する基材に粘着テ
ープを張り付け粘着テープを引っ張って凹凸を有する基
材を剥離除去した。

【０１０３】〔（Ｖ）パターンを焼成する工程〕次に、
４５０℃で３０分間加熱処理（焼成）を行い、不必要な
有機成分を除去し、ＰＤＰ用背面板を作製した（図３
（ｇ）参照）。

【０１０４】得られたバリアリブ及び蛍光体パターンの
断面を、実体顕微鏡及びＳＥＭにより目視にて観察し、
バリアリブ及び蛍光体パターンの形成状況を評価した結
果、バリアリブは良好な形状で形成され、蛍光体パター
ンはバリアリブ壁面及び基板底面上に均一に形成されて
いることが確認できた。

【０１０５】

【発明の効果】請求項１記載のプラズマディスプレイパ
ネル用背面板の製造法は、作業性よく、低エネルギー
で、寸法精度に優れたプラズマディスプレイパネル用背
面板を、歩留まりよく作製できる。請求項２記載のプラ
ズマディスプレイパネル用背面板の製造法は、低エネル
ギーで、寸法精度に極めて優れたプラズマディスプレイ
パネル用背面板を、歩留まりよく作製できる。請求項３
記載のプラズマディスプレイパネル用背面板の製造法
は、極めて作業性よく、低エネルギーで、寸法精度に優
れたプラズマディスプレイパネル用背面板を、歩留まり
よく作製できる。請求項４記載のプラズマディスプレイ
パネル用背面板の製造法は、請求項１、２及び３記載の
プラズマディスプレイパネル用背面板の製造法の効果を
奏し、カラー表示が可能であるプラズマディスプレイパ
ネル用背面板が作製できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板
の製造法の一例を示した模式図である。

【図２】本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板
製造の別の一例を示した模式図である。

【図３】本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板
製造の別の一例を示した模式図である。

【符号の説明】

１ …複数の凸部を有する基体 ２ …凸部 ３ａ …赤色の蛍光体を含有する樹脂組成物からなるパ
ターン ３ａ′…焼成後の赤色の蛍光体パターン ３ｂ …緑色の蛍光体を含有する樹脂組成物からなるパ
ターン ３ｂ′…焼成後の緑色の蛍光体パターン ３ｃ …青色の蛍光体を含有する樹脂組成物からなるパ
ターン ３ｃ′…焼成後の青色の蛍光体パターン ４ …障壁材料 ４′ …障壁材料からなるパターン ４″ …障壁 ５ …基板 ６ …電極 ７ …誘電体層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｃ０９Ｋ 11/08 Ｃ０９Ｋ 11/08 Ｊ ５Ｃ０４０ (72)発明者 佐藤 和也 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 川上 広幸 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 島村 真理子 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 村松 有紀子 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 田井 誠司 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 堀部 芳幸 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 樫村 鉄也 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 木村 直紀 東京都足立区西新井本町５−３−12 至誠 寮４−１ Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AB11 AB17 AC01 AD01 BC32 BC42 CA01 CA20 CA28 CB13 CB14 CC11 CC20 FA03 FA17 FA29 4F100 AK01B AR00C AS00B AT00A BA03 BA05 DD09B EC072 EJ482 GB90 JL04 JN17 JN17C 4H001 CA01 XA05 XA08 XA12 XA13 XA14 XA15 XA16 XA17 XA20 XA23 XA30 XA38 XA39 XA48 XA56 XA57 XA64 YA13 YA17 YA25 YA29 YA30 YA31 YA47 YA58 YA63 YA65 5C027 AA01 AA09 AA10 5C028 FF16 HH14 5C040 FA01 GA03 GB02 GF01 GF19 GG09 JA13 JA15 JA19 JA20 MA23 MA24 MA26

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の凸部を有する基体を用いて、この
   基体に対応した形状の障壁材料及び蛍光体含有樹脂組成
   物からなるパターンを基板上に形成し、次いで、焼成す
   ることを特徴とするプラズマディスプレイ用背面板の製
   造法。
2. 【請求項２】 複数の凸部を有する基体の凸部の上面と
   側面に形成された蛍光体含有樹脂組成物からなるパター
   ン及び前記蛍光体含有樹脂組成物からなるパターンが形
   成された凸部と凸部の間隙に埋め込まれた障壁材料を、
   前記基体の凸部の上面が基板に対向するようにして前記
   基板上に積層し、次いで、複数の凸部を有する基体を除
   去して基板上に障壁材料からなるパターン及び蛍光体含
   有樹脂組成物からなるパターンを形成し、次いで、これ
   らのパターンを焼成することを特徴とするプラズマディ
   スプレイ用背面板の製造法。
3. 【請求項３】 複数の凸部を有する基体で、基板上に障
   壁材料層を有しその上に前記の複数の凸部を有する基体
   の凸部に対応した位置に蛍光体含有樹脂組成物からなる
   パターンを形成した基板を、前記基体の凸部の上面と前
   記基板の蛍光体を含有する樹脂組成物層からなるパター
   ンとが対向するようにして圧着し、次いで、複数の凸部
   を有する基体を除去して基板上に障壁材料及び蛍光体含
   有樹脂組成物からなる凹凸のパターンを形成し、次い
   で、これらのパターンを焼成することを特徴とするプラ
   ズマディスプレイ用背面板の製造法。
4. 【請求項４】 蛍光体含有樹脂組成物からなるパターン
   が、多色で、規則的に形成されてなる請求項１、２又は
   ３記載のプラズマディスプレイパネル用背面板の製造
   法。