JPH11191368A

JPH11191368A - 多色蛍光面の製造法

Info

Publication number: JPH11191368A
Application number: JP9367726A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Nakajima; 寛幸中島; Tsukasa Izumi; 司出水
Original assignee: Nippon Synthetic Chemical Industry Co Ltd
Current assignee: Nippon Synthetic Chemical Industry Co Ltd
Priority date: 1997-12-25
Filing date: 1997-12-25
Publication date: 1999-07-13

Abstract

(57)【要約】【課題】従来に比し一段と高精細化した信頼性のある
カラープラズマディスプレイパネルの多色蛍光面の製造
法を提供することを目的とする。【解決手段】フォトレジストフィルム法により、基板
(S) 上に、各色の蛍光体を含有する蛍光体含有隔壁(W)
を、隔壁間のスペースであるセルが同一色の蛍光体含有
隔壁(W) で挟まれるようにかつ異なる色の蛍光体含有隔
壁(W) が背中合わせとなるように設置した後、さらに、
隔壁付き基板の同一色の蛍光体含有隔壁(W) で挟まれた
各セル内に、対応する色の蛍光体を埋め込み、焼成して
固定する。セル内への蛍光体の埋め込みは、ペースト状
の蛍光体含有組成物の直接埋め込み、フォトレジストフ
ィルムを利用した必要部位のマスキングを行った状態で
のペースト状の蛍光体含有組成物の埋め込み、または、
蛍光体含有フォトレジストフィルムに由来する硬化レジ
ストの埋め込みによりなされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラープラズマデ
ィスプレイパネル（カラーＰＤＰ）の多色蛍光面の製造
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】最近、各種平板ディスプレイの開発が盛
んに行われており、中でもプラズマディスプレイパネル
（ＰＤＰ）は大きな注目を浴びている。これは、ＰＤＰ
が壁掛けテレビや各種電光掲示装置の用途に最もマッチ
しているという事情によるものである。

【０００３】カラーＰＤＰにおいては、放電セル内に色
表示のための蛍光体が埋め込まれており、セル上下の電
極への加電圧からの放電により、封入ガスから発生した
紫外線で蛍光体が発光する。セルの隔壁には、ＰＤＰの
種類によって、ストライプ状の隔壁や格子状の隔壁があ
る。場合によっては隔壁で囲まれた円形のセルもある。

【０００４】「フラットパネル・ディスプレイ１９９
６、日経マイクロデバイス編、１９９５年１２月１１日
発行」の２０９〜２１５頁には、「大画面カラーＰＤＰ
向け製造装置へのニーズを解説」と題する記事が掲載さ
れており、カラーＰＤＰの隔壁の製造プロセス方式に
は、印刷法、アディティブ法、サンド・ブラスト法、感
光性ペースト法があることが図解で示されている。

【０００５】より詳細に述べると、印刷法は、基板上に
スクリーン印刷による厚膜印刷、乾燥を多数回繰り返
し、最後に焼成して隔壁を形成する方法である。アディ
ティブ法は、基板上に感光性フィルムをラミネートし、
マスクを介して露光し、現像してレジストを形成してか
ら、そのレジストの隙間に隔壁材を埋め込んで乾燥し、
レジストを除去してから、最後に焼成を行って隔壁を形
成する方法である。サンドブラスト法は、基板上に隔壁
材の層を設け、さらにその上から感光性フィルムをラミ
ネートし、マスクを介して露光し、現像し、さらに現像
を隔壁材に及ぶまで行い、ついでブラスト処理してか
ら、レジストを除去し、最後に焼成を行って隔壁を形成
する方法である。感光性ペースト法は、基板上に隔壁材
を含有した感光性ペーストを塗布し、乾燥し、マスクを
介して露光し、ついで現像し、最後に焼成を行って隔壁
を形成する方法である。

【０００６】隔壁を設けた基板のセルに蛍光体を埋め込
む方法については、たとえば特開平２−１５５１４２号
公報に説明がある。すなわち、該公報には、従来は前面
板の背面に蛍光体を含む感光性スラリーを塗布した後、
フォトマスクを介して感光し、さらに現像、焼成を行っ
ていたこと、また輝度を上げる目的で隔壁（障壁）の壁
面に蛍光面を形成することも行われていることが述べら
れており、この公報の発明においては、後者のタイプの
隔壁壁面に蛍光面を形成するための有利な方法として、
セル隔壁内に蛍光体スラリー液を充填し、直後に背面板
を傾け、スラリー液に含有される蛍光体がセル隔壁上に
沈降するまで静置してから乾燥し、蛍光面を硬化させる
方法を採用している。

【０００７】本出願人の出願にかかる特開平６−２７３
９２５号公報には、蛍光体を含有させた感光性樹脂組成
物をベースフィルムに積層したフォトレジストフィルム
について、およびそのフォトレジストフィルムを蛍光表
示体製造時における蛍光体のパターン形成材料に用いる
ことが示されている。この方法は、蛍光体を分散させた
従来の液状のフォトレジストに代えて、貼合方式で取り
扱うことのできる蛍光体含有ドライフィルム（フォトレ
ジストフィルム）を用いる方法にかかるものである。こ
の公報には、フルカラーのＰＤＰを形成するためには、
赤色、青色、緑色のそれぞれの蛍光体を含有するフォト
レジストフィルムを用いて露光、現像、焼成を繰り返し
行うこと、また予めガラス隔壁によってセルが形成され
たＰＤＰ用平面基板に、上記のフォトレジストフィルム
を用いて露光〜焼成の工程を実施することができること
の記載がある。

【０００８】隔壁自体をガラスフリットを含有する蛍光
体ペーストで作製する方法も知られている。たとえば、
特開平５−１８２５９２号公報には、フォトレジストフ
ィルムを用いて基板上に雌型を形成し、その雌型の空間
内にガラスフリットを含有する蛍光体ペーストを充填
し、前記雌型を消失させて、蛍光体による隔壁（セル障
壁）を形成する方法が示されている。

【０００９】特開平３−１７９６３６号公報には、隔壁
（セル障壁）が蛍光体からなるもので構成され、かつそ
の蛍光体からなるものが隔壁の半分の巾ずつ異なる色で
配置されているようにしたものが示されている。隔壁の
形成は、フォトレジストのコーティング、露光、現像に
より隔壁形成個所を作り、そこに蛍光体含有スラリー液
（フリットガラスを混入してもよい）を入れる工程を経
て行われる。ただし、フォトレジストとしてドライフィ
ルムを用いることは示されていない。

【００１０】同じく特開平２−２９７８３７号公報に
は、隔壁（セル障壁）をガラスフリットを含有する蛍光
体ペーストで形成することが示されており、そのときの
隔壁の形成は、ガラスフリットを含有する蛍光体ペース
トをスクリーン印刷により多数回重ね刷りすることによ
って行われ、隔壁の半分の巾ずつが互いに異なる色の蛍
光体を用いて形成される。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】カラー蛍光面を形成す
る場合、上述の特開平２−１５５１４２号公報の発明
は、まず基板上に通常の隔壁を形成したものを準備し、
ついで隔壁で区切られたセルに選択的に蛍光体含有組成
物を埋め込んでから乾燥、硬化し、最後に一括して焼成
するものであり、特開平６−２７３９２５号公報の発明
は、まず基板上に通常の隔壁を形成したものを準備し、
ついで隔壁で区切られたセルに各色の蛍光体を含有する
フォトレジストフィルムを用いて露光、現像、焼成を繰
り返し行うものである。しかしながら、これらの方法
は、隔壁の内面側およびセルの底部に蛍光体による蛍光
面を設計通りに均一に設けることが難しく、そのため所
期の性能が得られないことがある。

【００１２】特開平５−１８２５９２号公報、特開平３
−１７９６３６号公報および特開平２−２９７８３７号
公報の発明は、隔壁自体をガラスフリットを含有する蛍
光体ペーストで作製したものであるが、これらの発明の
ように隔壁を蛍光面とするのみでは、カラーＰＤＰの性
能上、なお改良の余地がある。

【００１３】本発明は、このような背景下において、従
来に比し一段と高精細化した信頼性のあるカラーＰＤＰ
の多色蛍光面の製造法を提供することを目的とするもの
である。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明のカラープラズマ
ディスプレイパネルの多色蛍光面の製造法は、フォトレ
ジストフィルム法により、基板(S) 上に、各色の蛍光体
を含有する蛍光体含有隔壁(W) を、隔壁間のスペースで
あるセルが同一色の蛍光体含有隔壁(W) で挟まれるよう
にかつ異なる色の蛍光体含有隔壁(W) が背中合わせとな
るように設置した後、さらに、隔壁付き基板の同一色の
蛍光体含有隔壁(W) で挟まれた各セル内に、対応する色
の蛍光体を埋め込み、焼成して固定することを特徴とす
るものである。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下本発明を詳細に説明する。

【００１６】《蛍光体含有隔壁(W) の形成》まず本発明
においては、フォトレジストフィルム法により、基板
(S) 上に、各色の蛍光体を含有する蛍光体含有隔壁(W)
を、隔壁間のスペースであるセルが同一色の蛍光体含有
隔壁(W) で挟まれるようにかつ異なる色の蛍光体含有隔
壁(W)が背中合わせとなるように設置する。このような
構造の蛍光体含有隔壁(W) は、典型的には、次の方法に
より製造される。

【００１７】〈第１／逐次焼成〉蛍光体含有隔壁(W) の
形成法の一つは、次の工程を経るものである。１．基板(S) 上に、フォトレジストフィルム(r) に由来
する硬化レジスト(r^*)を所定の間隔をおいて所定のパタ
ーンで形成する。２．形成した硬化レジスト(r^*)のパターン間に、第１の
色の蛍光体を含有する蛍光体含有隔壁形成用組成物(w)
を埋め込む。３．上記の硬化レジスト(r^*)を剥離除去してからまたは
除去することなく、焼成処理により、上記で埋め込んだ
蛍光体含有隔壁形成用組成物(w) 中の有機分を熱分解し
て第１の色の蛍光体を含有する蛍光体含有隔壁(W) とな
す。４．さらに上記一連の工程を各色につき繰り返して、基
板(S) 上に、各色の蛍光体を含有する蛍光体含有隔壁
(W) を、隔壁間のスペースであるセルが同一色の蛍光体
含有隔壁(W) で挟まれるようにかつ異なる色の蛍光体含
有隔壁(W) が背中合わせとなるように設置する。

【００１８】〈第２／一括焼成〉蛍光体含有隔壁(W) の
形成法の他の一つは、次の工程を経るものである。１．基板(S) 上に、フォトレジストフィルム(r) に由来
する硬化レジスト(r^*)を所定の間隔をおいて所定のパタ
ーンで形成する。２．形成した硬化レジスト(r^*)のパターン間に、第１の
色の蛍光体を含有する蛍光体含有隔壁形成用組成物(w)
を埋め込み、ついで硬化レジスト(r^*)を剥離除去する。３．さらに上記一連の工程を各色につき繰り返す。４．最後に、焼成処理により、上記で埋め込んだ蛍光体
含有隔壁形成用組成物(w) 中の有機分を熱分解して、各
色の色の蛍光体を含有する蛍光体含有隔壁(W)となす。５．これにより、基板(S) 上に、各色の蛍光体を含有す
る蛍光体含有隔壁(W)を、隔壁間のスペースであるセル
が同一色の蛍光体含有隔壁(W) で挟まれるようにかつ異
なる色の蛍光体含有隔壁(W) が背中合わせとなるように
設置する。

【００１９】〈フォトレジストフィルム(r) 〉上記にお
けるフォトレジストフィルム(r) としては、感光性樹脂
組成物を、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィ
ルム、ポリスチレンフィルムなどのベースフィルム面に
塗工した後、その塗工面の上からポリエチレンフィル
ム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリエステルフィ
ルムなどの保護フィルムを被覆してドライフィルムレジ
スト用積層体としたものが用いられる。このときの感光
性樹脂組成物層の膜厚は、通常は１０〜２００μm とす
ることが多い。

【００２０】フォトレジストフィルム(r) の感光性樹脂
組成物としては、典型的には、ベースポリマー、エチレ
ン性不飽和化合物、光重合開始剤からなるものが用いら
れる。感光性樹脂組成物中には、そのほか、染料、密着
性付与剤、可塑剤、熱重合禁止剤、溶剤、表面張力改質
剤、安定剤、連鎖移動剤、消泡剤、難燃剤などの添加剤
を適宜添加することができる。

【００２１】ベースポリマーとしては、アクリル系樹
脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリビ
ニルアルコール系樹脂などがあげられ、これらの中では
（メタ）アクリレートを主成分とし、必要に応じてエチ
レン性不飽和カルボン酸や他の共重合可能なモノマーを
共重合したアクリル系共重合体が重要である。アセトア
セチル基含有アクリル系共重合体を用いることもでき
る。

【００２２】エチレン性不飽和化合物としては、たとえ
ば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエ
チレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチ
レングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレング
リコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリ
コールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メ
タ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メ
タ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メ
タ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレー
ト、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペ
ンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペン
タエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、２，２
−ビス（４−（メタ）アクリロキシジエトキシフェニ
ル）プロパン、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキ
シポリエトキシフェニル）プロパン、２−ヒドロキシ−
３−（メタ）アクリロイルオキシプロピル（メタ）アク
リレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ
（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシ
ジルエーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリ
シジルエステルジ（メタ）アクリレート、グリセリンポ
リグリシジルエーテルポリ（メタ）アクリレートなどの
多官能モノマーが用いられる。これらの多官能モノマー
と共に、下記の如き単官能モノマーを適当量併用するこ
ともできる。

【００２３】単官能モノマーとしては、たとえば、２−
ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキ
シプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチ
ル（メタ）アクリレート、２−フェノキシ−２−ヒドロ
キシプロピル（メタ）アクリレート、２−（メタ）アク
リロイルオキシ−２−ヒドロキシプロピルフタレート、
３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレ
ート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、２−（メ
タ）アクリロイルオキシエチルアシッドホスフェート、
フタル酸誘導体のハーフ（メタ）アクリレート、Ｎ−メ
チロール（メタ）アクリルアミドなどがあげられる。

【００２４】光重合開始剤としては、たとえば、ベンゾ
イン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエ
ーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン
ｎ−ブチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベ
ンジルジフェニルジスルフィド、ベンジルジメチルケタ
ール、ジベンジル、ジアセチル、アントラキノン、ナフ
トキノン、３，３’−ジメチル−４−メトキシベンゾフ
ェノン、ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルア
ミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミ
ノ）ベンゾフェノン、４，４’−ジエチルアミノベンゾ
フェノン、ピバロインエチルエーテル、１，１−ジクロ
ロアセトフェノン、ｐ−ｔ−ブチルジクロロアセトフェ
ノン、ヘキサアリールイミダゾール二量体、２，２’−
ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，５，４’，５’−テ
トラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２−クロロ
チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２，４−
ジエチルチオキサントン、２，２’−ジエトキシアセト
フェノン、２，２’−ジメトキシ−２−フェニルアセト
フェノン、２，２’−ジクロロ−４−フェノキシアセト
フェノン、フェニルグリオキシレート、α−ヒドロキシ
イソブチルフェノン、ジベンゾスパロン、１−（４−イ
ソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチル−
１−プロパノン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フ
ェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、トリブ
ロモフェニルスルホン、トリブロモメチルフェニルスル
ホンなどが用いられる。

【００２５】ベースポリマー１００重量部に対するエチ
レン性不飽和化合物の割合は、たとえば１０〜２００重
量部（殊に４０〜１００重量部）とすることが望まし
い。エチレン性不飽和化合物の過少は硬化不良、可撓性
の低下、現像速度の遅延を招くおそれがあり、その過多
は粘着性の増大、コールドフロー、硬化レジストの剥離
速度低下を招くおそれがある。光重合開始剤は、ベース
ポリマーとエチレン性不飽和化合物との合計量１００重
量部に対し、１〜２０重量部程度とするのが適当であ
る。

【００２６】〈硬化レジスト(r^*)の形成〉隔壁を形成す
るにあたっては、基板(S) 上に、フォトレジストフィル
ム(r) に由来する硬化レジスト(r^*)を所定の間隔をおい
て所定のパターンで形成する。硬化レジスト(r^*)の形成
は、フォトレジストフィルム(r) の基板(S) への貼合、
パターンマスクを介しての露光、および未露光部分の現
像除去によりなされる。

【００２７】なおＰＤＰ基板の隔壁には、ＰＤＰの種類
によって、ストライプ状の隔壁や格子状の隔壁があり、
隔壁で囲まれた円形のセルもある。そこで、目的とする
形状の隔壁が形成されるように、硬化レジスト(r^*)を形
成するように留意する。

【００２８】基板(S) 上へのフォトレジストフィルム
(r) の貼合には、通常はホットロールによるラミネート
方式が採用される。貼合に際しては、フォトレジストフ
ィルムのベースフィルムと感光性樹脂組成物層との接着
力および保護フィルムと感光性樹脂組成物層との接着力
を比較し、接着力の低い方のフィルムを剥離してから、
感光性樹脂組成物層の側を基板(S) 上に貼合し、他方の
フィルム上にパターンマスクを密着させて露光する。こ
のときには、もし必要なら、貼合したフォトレジストフ
ィルム(r) 上に残ったフィルムを剥がしてさらにフォト
レジストフィルム(r) を積み重ねていくことも可能であ
る。また感光性樹脂組成物層が粘着性を有していないと
きは、上記他方のフィルムを剥離してから、パターンマ
スクを感光性樹脂組成物層に直接接触させて露光するこ
ともできる。

【００２９】露光は、通常紫外線照射により行い、その
際の光源としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、カーボ
ンアーク灯、キセノン灯、メタルハライドランプ、ケミ
カルランプなどが用いられる。紫外線照射後は、必要に
応じて加熱を行い、硬化の完全を図ることもできる。

【００３０】露光後は、フォトレジストフィルム(r) 上
にフィルムがあるときはそのフィルムを剥離除去してか
ら、現像を行う。現像は、たとえば、炭酸ソーダ、炭酸
カリウムなどのアルカリの 0.1〜５重量％程度の濃度あ
るいはその前後の濃度の稀薄水溶液を用いて行うのが通
常である。

【００３１】〈蛍光体含有隔壁形成用組成物(w) の埋め
込み〉上記で形成した硬化レジスト(r^*)のパターン間に
は、適宜の手段で第１の色の蛍光体を含有する蛍光体含
有隔壁形成用組成物(w) を埋め込む。埋め込み手段とし
ては、スクリーン印刷法、ディスペンサーにより流し込
みをする方法をはじめ、任意の方法が採用できる。

【００３２】このときの蛍光体含有隔壁形成用組成物
(w) としては、たとえば、ガラス粉体、耐火物粉体、樹
脂、分散安定剤、溶剤などを適宜組み合わせた組成物
（つまりリブペースト）に、さらに蛍光体を配合したも
のが用いられる。蛍光体含有隔壁形成用組成物(w) に占
める蛍光体の割合は、１０〜８０重量％とすることが多
い。

【００３３】蛍光体含有隔壁形成用組成物(w) を埋め込
むときには、埋め込みの後、一旦１００℃以上の温度で
乾燥する操作を複数回繰り返し、必要な厚みを確保する
ようにすることが好ましい。

【００３４】蛍光体としては、希土類オキシハライド等
を母体とし、この母体を賦活剤で賦活したものが好まし
く、たとえば紫外線励起型としては、・赤色のものとして、Y₂O₃: Eu、YVO₄: Eu、(Y,Gd)BO
₃: Eu 、・青色のものとして、Sr₅(PO₄)₃Cl: Eu 、BaMgAl₁₄O
₂₃: Eu 、BaMgAl₁₆O₂₇: Eu 、・緑色のものとして、Zn₂GeO₂: Mn 、BaAl₁₂O₁₆: Mn
、Zn₂SiO₄: Mn 、LaPO₄:Tb 、などがあげられる。その他の蛍光体としては、・赤色のものとして、Y₂OsS: Eu 、γ-Zn₃(PO₄)₂: M
n、(ZnCd)S: Ag + In₂O₃、・青色のものとして、ZnS: Ag + 赤色顔料、Y₂SiO₃:
Cs、・緑色のものとして、ZnS: Cu,Al、ZnS: Au,Cu,Al 、
(ZnCd)S: Cu,Al、Zn₂SiO₄: Mn,As、Y₃Al₅O₁₂: Ce、Gd₂O
₂S: Tb、Y₃Al₅O₁₂: Tb、ZnO: Zn 、などがあげられる。

【００３５】〈工程の繰り返し、逐次焼成処理〉第１の
蛍光体含有隔壁(W) の形成法にあっては、上記の硬化レ
ジスト(r^*)を剥離除去してからまたは除去することな
く、焼成処理により、上記で埋め込んだ蛍光体含有隔壁
形成用組成物(w) 中の有機分を熱分解して第１の色の蛍
光体を含有する蛍光体含有隔壁(W) となす。そしてさら
に、上記一連の工程を各色につき繰り返す。硬化レジス
ト(r^*)を事前に剥離除去するときには、剥離液（アルカ
リ水溶液系の剥離液や有機溶剤系の剥離液）を用いて行
えばよい。硬化レジスト(r^*)の剥離除去を行わないとき
には、その硬化レジスト(r^*)は焼成時に分解除去される
ことになる。

【００３６】〈工程の繰り返し、一括焼成処理〉第２の
蛍光体含有隔壁(W) の形成法にあっては、上記の硬化レ
ジスト(r^*)を剥離除去してから、上記一連の工程を各色
につき繰り返し、最後に、焼成処理により、上記で埋め
込んだ蛍光体含有隔壁形成用組成物(w) 中の有機分を熱
分解して、各色の色の蛍光体を含有する蛍光体含有隔壁
(W) となす。

【００３７】〈焼成温度〉焼成温度は、４２０〜５５０
℃程度、好ましくは４５０〜５２０℃程度とするのが通
常である。本焼成に先立ち、たとえば３５０℃程度の温
度にまで昇温してからこの温度に一定時間保つことによ
り、有機分を充分に除去するようにすることもできる。

【００３８】〈蛍光体含有隔壁(W) 付き基板〉フォトレ
ジストフィルム法による上記工程を経ることにより、基
板(S) 上に、各色の蛍光体を含有する蛍光体含有隔壁
(W) が、隔壁間のスペースであるセルが同一色の蛍光体
含有隔壁(W) で挟まれるようにかつ異なる色の蛍光体含
有隔壁(W) が背中合わせとなるように設置される。

【００３９】《セル内への蛍光体の埋め込み》上記のよ
うに基板(S) 上に蛍光体含有隔壁(W) を形成させただけ
ではカラーＰＤＰとしての性能が不足する。そこで本発
明においては、さらに、隔壁付き基板の同一色の蛍光体
含有隔壁(W) で挟まれた各セル内に、対応する色の蛍光
体を埋め込み、焼成して固定する。

【００４０】蛍光体の埋め込みは、対応する色の蛍光体
含有組成物をセル内に任意の方法により順に埋め込み、
さらには、各色の埋め込みのたびに逐次的に、または全
色の埋め込み後に一括して、焼成を行うことにより、蛍
光体含有組成物中の有機分を熱分解すると共に、蛍光体
を各セル内に固定することにより達成される。焼成条件
については、先に述べた隔壁形成の場合と同様の条件が
採用される。セル内への蛍光体含有組成物の埋め込み
は、典型的には、以下に述べる方法によってなされる。

【００４１】〈方法１／ペースト状での直接埋め込み〉
方法１は、同一色の蛍光体含有隔壁(W) で挟まれたそれ
ぞれのセル内に、対応する色の蛍光体含有組成物をペー
スト状で順に直接埋め込む方法である。蛍光体含有組成
物としては、硬化型の樹脂をバインダーとして用い、必
要に応じて水や有機溶剤等の媒体を併用して、全体を混
合することにより蛍光体を均一に分散させたペースト状
の組成物が用いられる。バインダーの例は、ポリビニル
アルコール系樹脂に重クロム酸を架橋剤として配合した
ものである。組成物に占める蛍光体の割合は、固形分基
準で、１０〜９５重量％程度とすることが多い。

【００４２】〈方法２／フォトレジストフィルムを利用
しての埋め込み〉方法２は、同一色の蛍光体含有隔壁
(W) で挟まれたそれぞれのセル内に、フォトレジストフ
ィルムに由来する硬化レジストを所定のパターンで形成
してマスキングを行ってから、ある色の蛍光体含有隔壁
(W) で挟まれたセルに同色の蛍光体含有組成物をペース
ト状で埋め込むこと、ついで硬化レジストを除去するこ
と、そしてこの操作を次の色についても行うこと、最後
の色については、蛍光体の固定を要しない空きセルがな
いときは、そのまま残余のセルに蛍光体含有組成物をペ
ースト状で埋め込み、一方、蛍光体の固定を要しない空
きセルがあるときは、硬化レジストによるマスキングお
よび蛍光体含有組成物のペースト状での埋め込みを行
い、さらに必要に応じ硬化レジストの除去を行うことで
ある。この方法２は、フォトレジストフィルムを利用し
て蛍光体含有組成物を埋め込むセルのみを順に開口して
いくので、方法１に比し精度の良いものとなる。

【００４３】〈方法３／蛍光体含有フォトレジストフィ
ルムの利用〉方法３は、同一色の蛍光体含有隔壁(W) で
挟まれたそれぞれのセル内に、蛍光体含有隔壁(W) と同
色の蛍光体含有フォトレジストフィルムに由来する各色
の硬化レジストを順に埋め込んでいく方法である。

【００４４】蛍光体含有フォトレジストフィルムとして
は、蛍光体含有感光性樹脂組成物をベースフィルム面に
塗工した後、その塗工面の上から保護フィルムを被覆し
てドライフィルムレジスト用積層体としたものが用いら
れる。このときの蛍光体含有感光性樹脂組成物として
は、典型的には、ベースポリマー、エチレン性不飽和化
合物、光重合開始剤からなるものに、蛍光体を配合した
ものが用いられる。蛍光体含有感光性樹脂組成物中に
は、そのほかに種々の添加剤を適宜添加することができ
る。蛍光体の割合は、ベースポリマーとエチレン性不飽
和化合物との合計量１００重量部に対し、１０〜５００
重量部とすることが多い。

【００４５】この方法３においては、まず、第１の色の
蛍光体を含有するフォトレジストフィルムを基板(S) 上
に貼合し、露光、現像することにより、所定のセルの所
に第１の色の硬化レジストを形成させる。ついでその上
から第２の色の蛍光体を含有するフォトレジストフィル
ムを基板(S) 上に貼合し、露光、現像することにより、
所定のセルの所に第２の色の硬化レジストを形成させ
る。さらにその上から第３の色の蛍光体を含有するフォ
トレジストフィルムを基板(S) 上に貼合し、露光、現像
することにより、所定のセルの所に第３の色の硬化レジ
ストを形成させる。

【００４６】ＡＣ駆動型カラーＰＤＰの場合には通常は
３色のほかに空きセルは要求されないが、ＤＣ駆動型カ
ラーＰＤＰの場合には３色のほかに空きセルが要求され
るのが一般的である。そこでこのような場合には、その
セル予定部分は空きセルにしておくかあるいは蛍光体を
含有しないフォトレジストフィルムの貼合、露光、現像
により、蛍光体を含有しない硬化レジストを形成してお
くなどの工夫を講じる。

【００４７】

【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。以下、「％」とあるのは重量％である。

【００４８】実施例１〈蛍光体含有隔壁(W) の形成〉図１および図２は蛍光体
含有隔壁(W) の形成までの工程を模式的に示した説明図
である。図１は前半部、図２は後半部の関係にある。

【００４９】市販のリブペースト（有鉛ガラスパウダ
ー、無機芯材およびエポキシアクリレート樹脂系バイン
ダーを、テルピネオールを主とする高沸点溶剤で分散さ
せたもの、固形分８０％、溶剤２０％）に、固形分比が
重量基準で１：１になるように赤色、緑色、青色の蛍光
体を含有させた３種のペースト（蛍光体含有隔壁形成用
組成物(w) ）を準備した。

【００５０】基板(S) の一例としてのガラス基板（旭硝
子株式会社製の耐熱ガラス「ＰＤ２００」）を６０℃に
予熱し、その上にフォトレジストフィルム(r) の一例と
してのＮＥＦ−１５０（日本合成化学工業株式会社製）
から保護フィルムを剥離除去したものを１００℃のホッ
トロールで１m/min の速さでラミネートした後、支持フ
ィルムを剥離除去する操作を３度繰り返し、３層の感光
性樹脂層（合計厚みは１５０μm ）をラミネートした
（図１の（イ）および（ロ））。

【００５１】ついでこれを室温まで冷却してから、赤色
の蛍光体含有隔壁を形成したい部分以外が硬化するよう
にパターンマスクを載せ、平行光を１００mJ/cm²照射し
て露光を行った。その後、 0.5％濃度の炭酸ソーダ水溶
液（２０℃）をシャワリングして未露光部分を除去し、
ついで１８０℃で１０分間バーニングを行って、硬化を
完了させた（図１の（ハ））。

【００５２】形成した硬化レジスト(r^*)のパターン間
に、赤色蛍光体を含有する蛍光体を含有させたペースト
（蛍光体含有隔壁形成用組成物(w) ）をスクリーン印刷
法により直接的に埋め込んで１２０℃で乾燥し、目減り
の分にさらに同じペーストを刷り込んで１２０℃で乾燥
し、その後１０℃/minの速さで５００℃まで昇温して、
２０分間保持した後、徐冷した。これにより、赤色の蛍
光体を含有する蛍光体含有隔壁(W) が形成された（図１
の（ニ）および（ホ））。

【００５３】以下、上記一連の工程を各色につき繰り返
して、基板(S) 上に、赤色、緑色、青色の蛍光体を含有
する蛍光体含有隔壁(W) を形成した（図２の（ヘ）〜
（ワ）。

【００５４】このようにして得られた隔壁付き基板にあ
っては、基板(S) 上に、各色の蛍光体を含有する蛍光体
含有隔壁(W) が、隔壁間のスペースであるセルが同一色
の蛍光体含有隔壁(W) で挟まれるようにかつ異なる色の
蛍光体含有隔壁(W) が背中合わせとなるように設置され
た構造を有している。

【００５５】〈セル内への蛍光体の埋め込み〉図３は本
発明の方法により得られる多色蛍光面の一例を模式的に
示した断面図である。

【００５６】上記で得た隔壁付き基板のそれぞれのセル
内に、対応する色の蛍光体含有組成物をスクリーン印刷
法によりペースト状で順に直接埋め込んでいった。

【００５７】この工程を経た基板(S) を、８℃/minの速
度で昇温して３５０℃にし、充分空気を送り込みながら
２０分間保持することによってポリマーの分解除去を促
進した後、そのまま空気を送り込みながら１０℃/minの
速度で５００℃にまで昇温し、この温度で３０分間保持
することにより焼成を行った。その後、３０分間かけて
徐冷した。この焼成処理により、蛍光体含有組成物中の
有機分は熱分解され、各セル内に赤色、緑色、青色の蛍
光体Ｒ，Ｇ，Ｂが固定されたＡＣ駆動型のカラーＰＤＰ
の多色蛍光面が得られた（図３参照）。

【００５８】実施例２実施例１と同様にして蛍光体含有隔壁(W) を形成した
（図１〜２参照）。得られた隔壁付き基板に対し、フォ
トレジストフィルムに由来する硬化レジストを所定のパ
ターンで形成してマスキングを行ってから、赤色の蛍光
体含有隔壁(W) で挟まれたセルに赤色の蛍光体含有組成
物をペースト状で埋め込み、ついで硬化レジストを剥離
除去した。この操作を、青色、緑色のものについても繰
り返した。最後に焼成処理を行うことにより、蛍光体含
有組成物中の有機分を熱分解し、各セル内に赤色、緑
色、青色の蛍光体Ｒ，Ｇ，Ｂが固定されたＡＣ駆動型の
カラーＰＤＰの多色蛍光面が得られた（図３参照）。

【００５９】実施例３実施例１と同様にして蛍光体含有隔壁(W) を形成した
（図１〜２参照）。得られた隔壁付き基板に、まず赤色
の蛍光体含有フォトレジストフィルムを貼合し、露光、
現像することにより、赤色の蛍光体含有隔壁(W) で挟ま
れたセル内に赤色の蛍光体の硬化レジストを形成させ
た。ついでその上から、緑色の蛍光体含有フォトレジス
トフィルムを貼合し、露光、現像することにより、緑色
の蛍光体含有隔壁(W) で挟まれたセルに緑色の蛍光体の
硬化レジストを形成させた。さらにその上から、青色の
蛍光体含有フォトレジストフィルムを貼合し、露光、現
像することにより、青色の蛍光体含有隔壁(W) で挟まれ
たセルに青色の蛍光体の硬化レジストを形成させた。最
後に焼成処理を行うことにより、蛍光体を含有する硬化
レジスト中の有機分を熱分解し、各セル内に赤色、緑
色、青色の蛍光体Ｒ，Ｇ，Ｂが固定されたＡＣ駆動型の
カラーＰＤＰの多色蛍光面が得られた（図３参照）。

【００６０】

【発明の効果】本発明においては、フォトレジストフィ
ルム法により、基板(S) 上に、各色の蛍光体を含有する
蛍光体含有隔壁(W) を、隔壁間のスペースであるセルが
同一色の蛍光体含有隔壁(W) で挟まれるようにかつ異な
る色の蛍光体含有隔壁(W) が背中合わせとなるように設
置している。このように隔壁自体を蛍光面となっている
ので、基本的に、蛍光面が設計通りに均一に設けられ
る。

【００６１】加えて、さらにその隔壁付き基板の同一色
の蛍光体含有隔壁(W) で挟まれた各セル内に、対応する
色の蛍光体を埋め込み、焼成して固定しているので、輝
度が一段と高くなり、信頼性ある高精細のカラーＰＤＰ
の多色蛍光面が得られる。

【００６２】よって本発明は、高精細パネルに対応する
ことのできる高性能のカラーＰＤＰを得る工業的な技術
として有用である。

【図面の簡単な説明】

【図１】蛍光体含有隔壁(W) の形成までの工程のうちの
前半の工程を模式的に示した説明図である。

【図２】蛍光体含有隔壁(W) の形成までの工程のうちの
後半の工程を模式的に示した説明図である。

【図３】本発明の方法により得られる多色蛍光面の一例
を模式的に示した断面図である。

【符号の説明】

(S) …基板、 (w) …隔壁形成用組成物、 (W) …蛍光体含有隔壁、 (r) …フォトレジストフィルム、 (r^*)…硬化レジスト、Ｒ, Ｇ, Ｂ…蛍光体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フォトレジストフィルム法により、基板
(S) 上に、各色の蛍光体を含有する蛍光体含有隔壁(W)
を、隔壁間のスペースであるセルが同一色の蛍光体含有
隔壁(W) で挟まれるようにかつ異なる色の蛍光体含有隔
壁(W) が背中合わせとなるように設置した後、さらに、
隔壁付き基板の同一色の蛍光体含有隔壁(W) で挟まれた
各セル内に、対応する色の蛍光体を埋め込み、焼成して
固定することを特徴とするカラープラズマディスプレイ
パネルの多色蛍光面の製造法。
【請求項２】隔壁付き基板の同一色の蛍光体含有隔壁
(W) で挟まれた各セル内への対応する色の蛍光体の埋め
込みを、ペースト状の蛍光体含有組成物の直接埋め込み
により行うことを特徴とする請求項１記載の製造法。
【請求項３】隔壁付き基板の同一色の蛍光体含有隔壁
(W) で挟まれた各セル内への対応する色の蛍光体の埋め
込みを、フォトレジストフィルムを利用した必要部位の
マスキングを行った状態でのペースト状の蛍光体含有組
成物の埋め込みにより行うことを特徴とする請求項１記
載の製造法。
【請求項４】隔壁付き基板の同一色の蛍光体含有隔壁
(W) で挟まれた各セル内への対応する色の蛍光体の埋め
込みを、蛍光体含有フォトレジストフィルムに由来する
硬化レジストの埋め込みにより行うことを特徴とする請
求項１記載の製造法。