JP2000230949A - 表面抵抗測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】導電膜の性能劣化あるいは品位の劣化を防止で
きながら、表面抵抗を簡単かつ短時間に測定でき、局所
的な導電膜部分の表面抵抗から大きな面積の導電膜の表
面抵抗まで幅広い範囲にわたって測定でき、測定の精度
を向上させることができる表面抵抗測定装置を提供す
る。 【解決手段】導電膜２に設定間隔を空けて対向させる第
１電極３ａを支持部材４に支持させ、第１電極３ａが対
向する導電膜部分とは異なる導電膜部分に設定間隔を空
けて対向させる第２電極３ｂを支持部材４に支持させ
て、第１電極３ａと第２電極３ｂとの間に交流電圧を印
加することで、両電極３ａ，３ｂが対向する導電膜２に
電流が流れるよう構成し、導電膜２に流れる電流に基づ
いて導電膜２の表面抵抗を算出する表面抵抗算出手段１
８を設けてある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は表面抵抗測定装置に
関し、詳しくは、導電膜の表面抵抗を測定する表面抵抗
測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガラスあるいは高分子フィルムなどの表
面に電気抵抗の低い金属被膜または金属酸化物被膜を付
着させた導電基板は、その導電性を利用した用途、たと
えば液晶ディスプレイ、ＥＬディスプレイ、プラズマデ
ィスプレイといったフラットパネルディスプレイや、大
陽電池などの透明電極、プラウン管の窓の透明静電シー
ルド板、または透明電磁シールド板、発熱体などの電気
・電子分野の用途に広く使用されている。

【０００３】また、このような導電膜の中で光の選択透
過性を有するものは、その赤外光反射特性を利用して、
大陽エネルギ利用のための窓材や、建物、自動車などの
熱線反射用材料として利用されている。

【０００４】従来、上記のような導電基板の導電膜の表
面抵抗は、二端子もしくは二探針または四端子もしくは
四探針などの接触式表面抵抗測定法により測定されるの
が一般的であった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
接触式表面抵抗測定法は破壊測定であり、産業的には製
品の導電膜表面での傷の発生による性能劣化あるいは品
位の劣化が起こるという問題があった。

【０００６】上記のような導電膜表面での傷の発生を防
止するため、特開平５−１５６４３９号公報に開示され
ているように、光透過率と表面抵抗値の相関性を利用し
た光透過率測定による非接触式の表面祇抗の測定方法が
提案されている。

【０００７】ところが、導電膜および基板の厚みも光透
過率に影響を与えるため、この方式のみでは表面抵抗値
成分と導電膜および基板の厚み成分とを分離できず、表
面抵抗の測定には別途、表面抵抗の測定箇所での導電性
被膜および基板の各々の厚みを測定しなければならなく
なって、測定に手間と時間がかかるという問題がある。

【０００８】同じく導電膜表面での傷の発生を防止する
ため、特開昭６３−２２１５１９号公報に開示されてい
るように、光透過率の微分ピーク波長と導電膜内の荷電
キャリア濃度と表面抵抗値の相関性を利用した光透過率
測定による表面抵抗の測定方法が提案されている。

【０００９】この方法では、導電膜内の荷電キャリア濃
度が介在しているため、上記の特開平５−１５６４３９
号公報に開示されている技術と同様に、表面抵抗値成分
と導電膜および基板の厚み成分との分離ができず、表面
抵抗の測定には別途、測定箇所での導電膜および基板の
各々の膜厚を測定しなければならなくなって、前述の方
法と同様に測定に手間と時間がかかるという問題があ
る。

【００１０】さらに、導電膜表面での傷の発生を防止す
るため、電磁誘導コイルと導電膜との結合インダクタン
スを測定する方法（磁界を印加して発生する渦電流を測
定する方法）が知られている。

【００１１】この方法は、１００Ω／□程度以上の表面
抵抗値を持つ導電膜を測定するためには印加磁界の強度
をかなり上げる必要があるために、磁束の広がりが大き
くなり１００ｃｍ² 程度以下の面積内での局所的な表面
抵抗値を得ることはできない。また、オンラインの連続
測定では製造過程での基板のパスライン変動（基板面の
法線方向の振動）により、センサ部と測定対象である導
電膜との距離が変動し、測定誤差が大きくなるという問
題がある。

【００１２】本発明は上記の実情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、導電膜の性能劣化あるいは品位の劣化
を防止できながら、前記表面抵抗を簡単かつ短時間に測
定でき、局所的な導電膜部分の表面抵抗から大きな面積
の導電膜の表面抵抗まで幅広い範囲にわたって測定で
き、測定の精度を向上させることができる表面抵抗測定
装置を提供する点にある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１による発明の構
成・作用・効果は次の通りである。

【００１４】［構成］導電膜に設定間隔を空けて対向さ
せる第１電極を支持部材に支持させ、前記第１電極が対
向する導電膜部分とは離れた導電膜部分に設定間隔を空
けて対向させる第２電極を前記支持部材に支持させて、
前記第１電極と第２電極との間に交流電圧を印加するこ
とで、両電極が対向する前記導電膜に電流が流れるよう
構成し、前記導電膜に流れる電流に基づいて前記導電膜
の表面抵抗を算出する表面抵抗算出手段を設けてある。

【００１５】［作用］第１電極と第２電極との間に交流
電圧を印加することで、第１電極と、この第１電極が対
向する導電膜部分との間に静電容量が形成されるととも
に、第２電極と、この第２電極が対向する導電膜部分と
の間に静電容量が形成され、前記静電容量を介して導電
膜に交流電流が流れる。そして、この交流電流に基づい
て表面抵抗算出手段が導電膜の表面抵抗を算出する。

【００１６】このように、第１及び第２電極を導電膜に
接触させることなく測定するから、第１及び第２電極で
導電膜を傷つけるのを防止することができる。

【００１７】例えば、光透過率の測定と導電膜の膜厚の
測定といった複数種類の測定が必要な従来の技術に比べ
ると、請求項１の構成では導電膜に交流電流を流すとと
もに、この交流電流に基づいて導電膜の表面抵抗を算出
するだけであるから測定に手間と時間がかからない。

【００１８】例えば、第１電極と第２電極との間隔を変
更させると、導電膜の被測定部の面積を変更させること
ができる。

【００１９】前記一対の電極ヘッドを生産ラインに配置
し、導電膜を両電極に対して移動させながら測定するこ
とで、多数の導電膜をオンラインで連続的に測定するこ
とができる。

【００２０】そして、パスライン変動による測定誤差を
軽減することができる。

【００２１】次に、パスライン変動による測定誤差を軽
減できる理由を、本発明にかかる表面抵抗測定装置の等
価回路を示す図２に基づいて説明する。

【００２２】前記等価回路は、第１電極と導電膜とで形
成されるコンデンサ１１と、第２電極と導電膜とで形成
されるコンデンサ１２と、導電膜の被測定部の電気抵抗
１３とを備える。

【００２３】前記等価回路において、コンデンサ１１，
１２の静電容量による電圧降下をＶＣ、導電膜の被測定
部の電気抵抗による電圧降下をＶＲとする。ＶＣに対す
るＶＲの比率（ＶＲ／ＶＣ）を高めることによってパス
ライン変動による測定誤差を軽減することができる。

【００２４】これは、例えばＶＣが１Ｖ、ＶＲが１Ｖ、
パスライン変動によるＶＣの電圧降下の誤差が±０．５
Ｖであったとすると、パスライン変動による測定値の誤
差は±０．５／２＝±０．２５（すなわち±２５％）と
なるが、仮にここで、ＶＲを９Ｖにできたとすると、パ
スライン変動による測定値の誤差を±０．５／１０＝±
０，０５（すなわち±５％）にできるということであ
る。

【００２５】つまり、静電容量を大きくすることでＶＣ
を小さくしたり、第１電極と第２電極との間を大きくし
てＶＲを大きくしたりすることで、パスライン変動によ
る測定誤差を軽減することができる。

【００２６】さらに、第１電極と第２電極とに対する交
流電源の電源周波数を高くすると、コンデンサによるイ
ンピーダンスが下がってＶＲ／ＶＣを高めることがで
き、その結果、パスライン変動による測定誤差を軽減す
ることができる。

【００２７】［効果］従って、導電膜の性能劣化あるい
は品位の劣化を防止できながら、前記表面抵抗を簡単か
つ短時間に測定でき、導電膜の被測定部の面積を変更さ
せることができて、局所的な導電膜部分の表面抵抗から
大きな面積の導電膜の表面抵抗まで幅広い範囲にわたっ
て測定でき、パスライン変動による測定誤差を抑制でき
て、測定の精度を向上させることができる表面抵抗測定
装置を提供することができた。請求項２による発明の構
成・作用・効果は次の通りである。

【００２８】［構成］前記第１電極と第２電極とが並ぶ
方向に直交する方向で、かつ、前記導電膜の膜面に沿う
方向の第１及び第２電極の長さを変更調節可能に構成し
てある。

【００２９】［作用］請求項１の構成による作用と同様
の作用を奏することができるのに加え、次の作用を奏す
ることができる。

【００３０】前記第１及び第２電極の長さを変更調節す
ることで、導電膜の被測定部の面積を変更させることが
できる。

【００３１】［効果］従って、請求項１の構成による効
果と同様の効果を奏することができるのに加え、局所的
な導電膜部分の表面抵抗から大きな面積の導電膜の表面
抵抗まで幅広い範囲にわたる測定を、より行いやすくす
ることができた。

【００３２】請求項３による発明の構成・作用・効果は
次の通りである。

【００３３】［構成］請求項１又は２による発明の構成
において、前記表面抵抗算出手段は、前記導電膜に流れ
る交流電流を検出するとともに、その検出した交流電流
を交流電圧に変換する電流電圧変換器と、前記電流電圧
変換器で変換した交流電圧をアナログ直流電圧に変換す
る交流直流変換器と、前記交流直流変換器で変換したア
ナログ直流電圧をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器
と、前記Ａ／Ｄ変換器で変換したデジタル信号に基づい
て前記導電膜の表面抵抗を算出する演算器とを設けて構
成してある。

【００３４】［作用］請求項１又は２の構成による作用
と同様の作用を奏することができるのに加え、次の作用
を奏することができる。

【００３５】電流電圧変換器が、前記導電膜に流れる交
流電流を検出するとともに、その検出した交流電流を交
流電圧に変換する。そして、前記電流電圧変換器で変換
した交流電圧を交流直流変換器がアナログ直流電圧に変
換する。次に、前記交流直流変換器で変換したアナログ
直流電圧をＡ／Ｄ変換器がデジタル信号に変換し、前記
Ａ／Ｄ変換器で変換したデジタル信号に基づいて演算器
が導電膜の表面抵抗を算出する。

【００３６】［効果］従って、請求項１又は２の構成に
よる効果と同様の効果を奏することができるのに加え、
導電膜の表面抵抗を短時間で測定できるようになった。

【００３７】請求項４による発明の構成・作用・効果は
次の通りである。

【００３８】［構成］請求項３による発明の構成におい
て、前記電流電圧変換器は、前記第１電極又は第２電極
に接続された電気抵抗である。

【００３９】［作用］請求項３の構成による作用と同様
の作用を奏することができるのに加え、電流電圧変換器
を電気抵抗で構成してあるから、電流電圧変換器を安価
に形成することができる。

【００４０】［効果］従って、請求項３の構成による効
果と同様の効果を奏することができるのに加え、製作コ
ストを低廉化することができた。

【００４１】請求項５による発明の構成・作用・効果は
次の通りである。

【００４２】［構成］請求項１，２，３，４のいずれか
一つによる発明の構成において、前記第１電極と導電膜
との間隔、及び前記第２電極と導電膜との間隔を一定値
に固定する固定手段を設けてある。

【００４３】［作用］請求項１，２，３，４のいずれか
一つの構成による作用と同様の作用を奏することができ
るのに加え、次の作用を奏することができる。

【００４４】固定手段により前記第１電極と導電膜との
間隔、及び前記第２電極と導電膜との間隔を一定値に固
定するから、各電極と導電膜との間に形成される静電容
量の変動を抑制することができる。

【００４５】［効果］従って、請求項１，２，３，４の
いずれか一つの構成による効果と同様の効果を奏するこ
とができるのに加え、測定の精度をより向上させること
ができた。

【００４６】請求項６による発明の構成・作用・効果は
次の通りである。

【００４７】［構成］請求項５による発明の構成におい
て、前記固定手段を、前記第１電極と導電膜との間、及
び前記第２電極と導電膜との間にそれぞれ介在させる絶
縁スペーサーで構成してある。

【００４８】［作用］請求項５の構成による作用と同様
の作用を奏することができるのに加え、前記固定手段
を、前記第１電極と導電膜との間、及び前記第２電極と
導電膜との間にそれぞれ介在させる絶縁スペーサーで構
成してあるから、導電膜を絶縁スペーサで保護できて、
導電膜に傷がつくのを防止することができる。

【００４９】［効果］請求項５の構成による効果と同様
の効果を奏することができるのに加え、導電膜の性能劣
化あるいは品位の劣化をより防止しやすくなった。

【００５０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて脱明する。

【００５１】図１に表面抵抗測定装置を示してある。

【００５２】前記表面抵抗測定装置は、基板１に設けた
導電膜２に設定間隔を空けて対向させる板状の第１電極
３ａを支持部材４に支持させ、前記第１電極３ａが対向
する導電膜部分とは異なる導電膜部分に設定間隔を空け
て対向させる板状の第２電極３ｂを前記支持部材４に支
持させて、第１電極３ａと第２電極３ｂとの間に交流電
圧を印加することで、両電極３ａ，３ｂが対向する導電
膜２に電流Ｉが流れるよう構成してある。

【００５３】前記第１及び第２電極３ａ，３ｂを導電膜
２に設定間隔を空けて対向させるから、第１及び第２電
極３ａ，３ｂで導電膜２を傷つけるのを防止することが
できる。

【００５４】上記の構成に加えて、前記導電膜２に流れ
る電流に基づいて前記導電膜２の表面抵抗を算出する表
面抵抗算出手段１８を設け、この表面抵抗算出手段１８
は、導電膜２に流れる交流電流を検出するとともに、そ
の検出された交流電流を交流電圧に変換するＩ−Ｖ変換
器７（電流電圧変換器に相当）と、前記Ｉ−Ｖ変換器７
で変換した交流電圧をアナログ直流電圧に変換するＡＣ
−ＤＣ変換器８（交流直流変換器に相当）と、前記ＡＣ
−ＤＣ変換器８で変換したアナログ直流電圧をデジタル
信号に変換するＡ／Ｄ変換器９と、前記Ａ／Ｄ変換器９
で変換したデジタル信号に基づいて、導電膜２の表面抵
抗を算出する演算器１０とで構成してある。

【００５５】前記第１及び第２電極３ａ，３ｂは、ねじ
（図示せず）を介して支持部材４に取外し自在に取付け
て、大きさの異なる別の第１及び第２電極３ａ，３ｂと
交換可能に構成してある。

【００５６】前記支持部材４は、第１電極３ａと第２電
極３ｂとの間隔を変更調節可能に横方向（紙面左右方
向）に伸縮自在に構成してある（この伸縮機構は図示し
てない）。

【００５７】図１の表面抵抗測定装置の等価回路を図２
に示してある。

【００５８】前記等価回路は、第１電極３ａと導電膜２
とで形成されるコンデンサ１１と、第２電極３ｂと導電
膜２とで形成されるコンデンサ１２と、導電膜上の被測
定部の電気抵抗１３とを備えている。

【００５９】前記等価回路において、交流電源５の交流
電圧をＥ、電源角周波数をω、コンデンサ１１，１２の
静電容量をＣ、Ｉ−Ｖ変換器７の入力抵抗値をｒ、導電
膜２の後述の被測定部１９（図３参照）の電気抵抗値を
Ｒとすると、交流電流Ｉは次の式［数１］で表される。

【００６０】

【数１】 前記導電膜２の被測定部１９について説明すると、図３
に示すように、前記第１及び第２電極３ａ，３ｂの４頂
点のうち、相手側の第２又は第１電極３ｂ，３ａに近い
方の２頂点をそれぞれａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２とし、前
記頂点から導電膜２の表面に垂直線を下ろし、その垂直
線が導電膜２の表面と交わる点をそれぞれｃ１，ｃ２，
ｄ１，ｄ２とすると、ｃ１，ｃ２，ｄ２，ｄ１で囲まれ
た長方形の部分が被測定部１９となる。

【００６１】次に、上記のように構成された表面抵抗測
定装置の作動について説明する。

【００６２】1) 第１電極３ａと第２電極３ｂとの間に
交流電圧を印加することにより、前記コンデンサ１１，
１２を介して、導電膜２の被測定部１９に交流電流Ｉが
流れる。

【００６３】2) 前記交流電流ＩをＩ−Ｖ変換器７が交
流電圧に変換し、ＡＣーＤ変換器８が交流電圧の実効値
あるいは最大値等に等しいアナログ直流電圧に変換す
る。

【００６４】3) Ａ／Ｄ変換器９が、交流電圧の実効値
あるいは最大値等に等しいアナログ交流電圧値をデジタ
ル信号に変換する。

【００６５】4) 演算器１０が、上記デジタル信号値お
よび上記式［１］により導電膜２上の被測定部１９の電
気抵抗値Ｒを算出し、この電気抵抗値Ｒを導電膜上の被
測定部１９の面積で割ることにより表面抵抗値を算出す
る。

【００６６】前記等価回路において、コンデンサ１１，
１２の静電容量Ｃによる電圧降下をＶＣ、導電膜の被測
定部の電気抵抗Ｒによる電圧降下をＶＲとする。ＶＣに
対するＶＲの比率（ＶＲ／ＶＣ）を高めることによって
パスライン変動による測定誤差を軽減することができ
る。

【００６７】これは、例えばＶＣが１Ｖ、ＶＲが１Ｖ、
パスライン変動によるＶＣの電圧降下の誤差が±０．５
Ｖであったとすると、パスライン変動による測定値の誤
差は±０．５／２＝±０．２５（すなわち±２５％）と
なるが、仮にここで、ＶＲを９Ｖにできたとすると、パ
スライン変動による測定値の誤差を±０．５／１０＝±
０，０５（すなわち±５％）にできるということであ
る。

【００６８】前記第１電極３ａと第２電極３ｂとの間隔
を変更することや、第１及び第２電極３ａ，３ｂを支持
部材４から取り外して、電極幅（つまり、第１電極と第
２電極とが並ぶ方向に直交する方向で、かつ、前記導電
膜の膜面に沿う方向の第１及び第２電極の長さ）の異な
る第１及び第２電極３ａ，３ｂと交換することで、導電
膜２上の被測定部１９の面積を変更調節できる。

【００６９】これにより、局所的な面積内での表面抵抗
値から大面積内での表面抵抗値まで用途に応じた測定が
できる。

【００７０】前記第１及び第２電極３ａ，３ｂの形状、
あるいは前記設定間隔（第１及び第２電極３ａ，３ｂと
導電膜２との間隔）を変更することで、前記静電容量Ｃ
を調節でき、第１及び第２電極３ａ，３ｂの表面積を大
きくすることで静電容量Ｃを大きくすることができる。

【００７１】これによりＶＣを小さくできるため、パス
ライン変動による測定誤差を軽減することができる。

【００７２】また、第１電極３ａと第２電極３ｂとの距
離を大きくすることによりＶＲを大きくでき、パスライ
ン変動による測定誤差を軽減することができる。

【００７３】さらに、交流電源の電源周波数を高くする
ことにより静電容量Ｃによるインピーダンスが下がるた
め、ＶＲ／ＶＣを高めることができる。その結果パスラ
イン変動による測定誤差を軽減することができる。

【００７４】［別実施形態］前記第１電極３ａと第２電
極３ｂとの間隔を変更調節する手段として、大きさの異
なる第１及び第２電極３ａ，３ｂを支持部材４に取付け
変える手段や、第１及び第２電極３ａ，３ｂを支持する
支持部材４の位置を変える手段がある。

【００７５】前記第１及び第２電極３ａ，３ｂの導電膜
２に対する距離を一定値に固定する固定手段として、電
気絶縁性の膜状の絶縁スペーサ・樹脂フィルム・紙ある
いは板を電極３ａおよび電極３ｂと導電膜２との間に介
在させる手段がある。

【００７６】これにより、導電膜２に第１及び第２電極
３ａ，３ｂが直接接触することがなくなり、測定時に導
電膜に傷がつくのを回避できる。前記絶縁スペーサとし
ては柔らかいものがよい。絶縁スペーサを薄くすると、
前記静電容量Ｃを大きくすることができる。

【００７７】また、透明導電基板１と導電膜２の位置関
係を上下逆にすることによっても、測定時に導電膜に発
生する傷を軽減させることができる。

【００７８】交流電源６の電源周波数を数ＭＨｚ以上の
高周波にすると測定をより有効に行なうことができる。

【００７９】前記第１及び第２電極３ａ，３ｂは、上記
の実施形態に示されるような長方形状のものだけでな
く、くし状や短冊状など形状、大きさの異なるさまざま
なものを用いてもよい。

【００８０】前記第１及び第２電極３ａ，３ｂの電極幅
を変更する手段としては、例えば、幅の異なる電極と交
換可能にする、各電極３ａ，３ｂを複数枚の金属板を積
層させたものとしてその金属板の一部をスライド移動さ
せて幅を変更できるようにする手段がある。

【００８１】以上により、導電膜２上の被測定部１９の
面積の変更調節をさらに広範囲で行なうことができる。

【００８２】

【実施例】以下、この発明の実施例を説明する。

【００８３】本実施例において使用した表面抵抗測定装
置を以下に示す。

【００８４】電極として、８０ｍｍ×８０ｍｍ（厚さ１
ｍｍ）の銅板２枚を使用し、この銅板に厚さ１１０μｍ
のＰＥＴフィルムを張り付け、銅板のＰＥＴフィルムと
は反対面（銅板裏面）にはねじタップを切ってあり、平
めねじ（端子）があり、ここへ配線の芯線を半田付けし
た。

【００８５】この電極を電極間隔１ｃｍになるよう５０
ｍｍ×２００ｍｍ（厚さ３ｍｍ）で中央部に任意の位置
で電極を固定できるようスリットを設けたプラスチック
製の治具にねじで固定した。これを測定用電極ヘッドと
した。

【００８６】導電膜として、ＰＥＴ（Ｐｏｌｙ Ｅｔｈ
ｙｌｅｎｅ Ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）フィルム上
のＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ ０ｘｉｄｅ）被膜を
付着させたもので、５０〜２０００Ω／□の範囲で表面
抵抗値の異なるものを数枚使用した。

【００８７】交流電源として正弦波発振器を使用した。
正弦波発振器の発振周波数は５０ＭＨｚとした，Ｉ−Ｖ
変換器として１８Ωの金属被膜抵抗を使用し、銅板−正
弦波発振器間に配置した。

【００８８】ＡＣ‐ＤＣ変換器としてデジタルオシロス
コープを使用した。Ａ／Ｄ変換器としてＡ／Ｄ変換ボー
ドを使用した。演算器としてパソコンを使用した。

【００８９】なお、本実施例による測定結果の妥当性を
評価するため、本実施例にて使用する導電膜について予
めＪＩＳ Ｋ７１９４規格の４探針法にて表面抵抗値を
測定した。

【００９０】また、電極と導電膜間に形成される静電容
量で発生する電圧降下のうち、パスライン変動によって
生じる電圧降下誤差が許容誤差の範囲内に収まるように
回路定数を設定した。

【００９１】次に本実施例による表面抵抗測定方法を示
す。

【００９２】上記のようにして得られた電極ヘッドのＰ
ＥＴフィルム面を導電膜上に置き、正弦波発振器にて２
枚の銅板間に正弦波電圧を印加し、銅板−ＰＥＴフィル
ムーＩＴＯ被膜間に形成される静電容量を介してＩＴＯ
被膜に交流電流を流した。

【００９３】この交流電流により金属被膜抵抗に発生す
る高周波交流電圧の電圧値をデジタルオシロスコープに
より実効値に変換し、この実効値をＡ／Ｄ変換ボードに
てデジタルデータに変換し、このデジタルデータおよび
［式１］を用いパソコンにて表面抵抗値を算出した。

【００９４】本実施例による表面抵抗値測定結果を図４
に示す。また、前記ＪＩＳ Ｋ７１９４規格の４探針法
による表面抵抗値測定結果も同時に図４に示す。

【００９５】この結果、本実施例により測定した表面抵
抗値はＪＩＳ Ｋ７１９４規格の４探針法により測定し
た表面抵抗値と相関係数０．９９以上で一致した。

【００９６】この電極ヘッドは電極間隔を任意の位置で
固定したり、異なった大きさの電極を取り付けることが
できるため、被測定部の面積を任意に調節することがで
きる。

【００９７】また、この電極ヘッドを生産のラインに設
置し、連続的に流れているフィルムをこの下、または上
に滑らせながら測定することで、オンラインで連続測定
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】表面抵抗測定装置の概略斜視図

【図２】表面抵抗測定装置の等価回路図

【図３】導電膜の被測定部を示す斜視図

【図４】表面抵抗測定装置の実施例の実験結果を示す図

【符号の説明】

２ 導電膜 ３ａ 第１電極 ３ｂ 第２電極 ４ 支持部材 ７ 電流電圧変換器 ８ 交流直流変換器 ９ Ａ／Ｄ変換器 １０ 演算器 １８ 表面抵抗算出手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤田 浩 滋賀県大津市堅田二丁目１番１号 東洋紡 績株式会社総合研究所内 Ｆターム(参考） 2G028 AA02 AA04 BB20 BC02 CG02 DH04 EJ10 FK01 FK02 GL07 HM06 HM08 HN01 HN08 HN13 HN14

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 導電膜に設定間隔を空けて対向させる第
   １電極を支持部材に支持させ、前記第１電極が対向する
   導電膜部分とは離れた導電膜部分に設定間隔を空けて対
   向させる第２電極を前記支持部材に支持させて、前記第
   １電極と第２電極との間に交流電圧を印加することで、
   両電極が対向する前記導電膜に電流が流れるよう構成
   し、前記導電膜に流れる電流に基づいて前記導電膜の表
   面抵抗を算出する表面抵抗算出手段を設けてある表面抵
   抗測定装置。
2. 【請求項２】 前記第１電極と第２電極とが並ぶ方向に
   直交する方向で、かつ、前記導電膜の膜面に沿う方向の
   第１及び第２電極の長さを変更調節可能に構成してある
   請求項１記載の表面抵抗測定装置。
3. 【請求項３】 前記表面抵抗算出手段は、前記導電膜に
   流れる交流電流を検出するとともに、その検出した交流
   電流を交流電圧に変換する電流電圧変換器と、前記電流
   電圧変換器で変換した交流電圧をアナログ直流電圧に変
   換する交流直流変換器と、前記交流直流変換器で変換し
   たアナログ直流電圧をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変
   換器と、前記Ａ／Ｄ変換器で変換したデジタル信号に基
   づいて前記導電膜の表面抵抗を算出する演算器とを設け
   て構成してある請求項１又は２に記載の表面抵抗測定装
   置。
4. 【請求項４】 前記電流電圧変換器は、前記第１電極又
   は第２電極に接続された電気抵抗である請求項３に記載
   の表面抵抗測定装置。
5. 【請求項５】 前記第１電極と導電膜との間隔、及び前
   記第２電極と導電膜との間隔を一定値に固定する固定手
   段を設けてある請求項１，２，３，４のいずれか一つに
   記載の表面抵抗測定装置。
6. 【請求項６】 前記固定手段を、前記第１電極と導電膜
   との間、及び前記第２電極と導電膜との間にそれぞれ介
   在させる絶縁スペーサーで構成してある請求項５に記載
   の表面抵抗測定装置。