JP2000230870A - 圧力検出装置 - Google Patents
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Abstract
出装置は、温度を検出できないという課題があった。 【解決手段】 芯電極3と可撓性外電極5間に抵抗検出
手段8と振動電圧検出手段7を接続する構成により、ケ
ーブル状圧力センサに印加される圧力を従来の振動電圧
検出手段7で検出すると共に、芯電極3両端間の抵抗を
抵抗検出手段8により検出し、その温度特性を利用し
て、芯電極3周辺の可撓性圧電体4の温度も検出でき
る。
Description
サを用いた圧力検出装置に関するものである。
以下のようなものであった。
に示すように、線状導電材1と導電ゴム2とから構成さ
れた芯電極3の周囲に可撓性圧電体4を配置し、その周
囲に可撓性外電極5を配置し、さらにその周囲に熱収縮
チューブから成る外皮6を被覆して成るケーブル状圧力
センサが開示されている。可撓性圧電体4として、合成
ゴムや合成樹脂の中にチタン酸鉛などのセラミック圧電
体粉末を添加した複合体あるいはビニリデンフルオロラ
イド(VDF)/トリフルオロエチレン(TrFE)共
重合体系などの圧電性高分子が用いられる。また、可撓
性外電極5として、アルミニウム箔や塗装法による銀系
導電性塗膜が用いられる。6は外皮、7は振動電圧検出
手段である。
259577号公報にも開示されている。この公報で
は、可撓性圧電体4として、ポリエチレン、ポリプロピ
レンや塩化ビニルなどの樹脂の中にチタン酸鉛などのセ
ラミック圧電体粉末を添加した複合体が開示されてい
る。可撓性外電極5として、無電解メッキ法によるニッ
ケル膜や銅膜、および蒸着法によるアルミニウム膜や銀
膜が開示されている。
全面に時間的に変化する圧力が印加されたとき、その部
分の圧力センサに生じる加速度に応じた振動電圧が芯電
極3と外電極5間に誘起される。この振動電圧を振動電
圧検出手段7で検出することにより、時間的に変化する
圧力を検出していた。
ケーブル状圧力センサでは、時間的に変化する圧力を検
出できるが、温度を検出できないという課題を有してい
た。可撓性圧電体4として前述した複合体を用いても、
圧電性高分子を用いても、その最高使用温度は(80〜
120)℃程度である。可撓性圧電体4が最高使用温度
以上に曝された場合、その圧電性能が低下する。従っ
て、可撓性圧電体4の使用に当たっては充分な温度管理
を必要とするが、従来のケーブル状圧力センサでは、温
度センサを別途に準備していたので、(1)複雑な構成
になる、(2)温度センサで検出される温度は必ずしも
可撓性圧電体4の温度と一致しない、などの課題があっ
た。
決するために、芯電極と、前記芯電極の周囲に配置され
た可撓性圧電体と、前記可撓性圧電体の表面に配置され
た可撓性外電極を含むケーブル状圧力センサと、前記芯
電極の両端に接続された抵抗検出手段と、前記芯電極と
前記可撓性外電極に接続された振動電圧検出手段とから
なる圧力検出装置である。
の温度とほぼ等しい。上記発明によれば、抵抗検出手段
により芯電極の抵抗が検出できるので、抵抗の温度依存
性に基づき芯電極周囲の可撓性圧電体の平均温度を検出
できると共に振動電圧検出手段により圧力もまた検出で
きる。従って、温度センサを特別に準備する必要がない
ので、簡素な構成で両者を検出できる。
出装置は、芯電極と、前記芯電極の周囲に配置された可
撓性圧電体と、前記可撓性圧電体の表面に配置された可
撓性外電極を含むケーブル状圧力センサと、前記芯電極
の両端に接続された抵抗検出手段と、前記芯電極と前記
可撓性外電極に接続された振動電圧検出手段を備えたも
のである。
きるので、芯電極周囲の可撓性圧電体の平均温度を抵抗
の温度依存性に基づき検出できる。また、振動電圧検出
手段により圧力もまた検出できる。従って、温度センサ
を特別に準備する必要がないので、簡素な構成で両者を
検出できる。
は、抵抗検出手段に、抵抗温度特性に基づき抵抗を温度
に換算する温度算出手段を接続した構成である。
度算出手段により温度に換算されるので、容易に温度を
直読できある。
は、芯電極が絶縁性支持体に保持されたコイル状金属か
ら成る構成である。
ル状金属の抵抗であるので、直線状の金属に比べ大きな
抵抗を示す。従って、抵抗の検出が容易になる。
は、絶縁性支持体がポリエステル繊維束から成る構成で
ある。
あり、且つ、可撓性に富むと共に機械的強度も大きいの
で、ケーブル状圧力センサ全体の可撓性を損なうことな
くコイル状金属を支持できる。
は、コイル状金属が平板状である構成である。
に、前もって、芯電極と可撓性外電極間に直流の高電圧
を印加して、可撓性圧電体を分極する必要がある。この
ときコイル状金属が平板状であるので、円筒状に比べ、
芯電極と可撓性外電極間に均一な高電界が印加され易
い。
は、コイル状金属が銅または銅合金から成る構成であ
る。
業的にも多く利用されているので、ケーブル状圧力セン
サ全体の可撓性を損なうことなく、量産できる。
は、抵抗検出手段が直流抵抗を検出する構成である。
抵抗は周波数依存性を有しないので、コイル状金属のイ
ンダクタンスや浮遊容量の影響を受けることなく、コイ
ル状金属の抵抗を検出できる。
は、振動電圧検出手段がコンデンサを介して芯電極と可
撓性外電極に接続された構成である。
直流電位が印加される。他方、振動電圧は交流信号であ
る。振動電圧検出手段により振動電圧を検出するとき、
コンデンサで直流成分を除去しているので、直流成分の
影響を受けることなく振動電圧を検出できる。
は、可撓性外電極をアース電位とし、芯電極から振動電
圧信号を取出す構成である。
り外部空間からシールドされるので、抵抗や振動電圧の
検出時に外部空間のノイズの影響を受けない。
て説明する。
力検出装置の構成図である。
た後、可撓性外電極5を形成してケーブル状圧力センサ
を構成した。芯電極3として、従来例で示した構成の芯
電極や複数の金属細線だけから成る芯電極などが用いら
れる。可撓性圧電体4として、ゴムや樹脂の中にチタン
酸鉛、チタン酸鉛ジルコン酸鉛などのセラミック圧電体
粉末を添加した複合体、あるいは、ビニリデンフルオロ
ライド(VDF)/トリフルオロエチレン(TrFE)
共重合体系などの圧電性高分子が用いられる。また、可
撓性外電極5として、アルミニウム箔や塗装法による銀
系導電性塗膜、あるいは、ポリエチレンテレフタレート
・フィルム上にアルミニウム層の形成された導電性フィ
ルムが用いられる。ケーブル状圧力センサを上述のよう
にして形成した後、芯電極3と可撓性外電極5間に振動
電圧検出手段7と抵抗検出手段8を接続して、本発明の
圧力検出装置が構成される。
手段8により検出される。芯電極3は上述したような導
電性材料が用いられる。これらの導電性材料は特有の抵
抗温度特性を示すので、検出された抵抗から温度を求め
ることができる。他方、ケーブル状圧力センサの一部あ
るいは全面に時間的に変化する圧力が印加されたとき、
その部分の圧力センサに生じる加速度に応じた振動電圧
が芯電極3と外電極5間に誘起される。この振動電圧は
振動電圧検出手段7により検出される。この振動電圧を
利用して、時間的に変化する圧力が検出される。このよ
うに、図1に示した実施例1の構成は、温度と圧力を同
時に検出できる。
抗温度特性を参照する必要がある。しかし、その度にい
ちいち参照することは、煩雑な作業であるので、図2に
示すように、抵抗温度特性に基づき抵抗を温度に換算す
る温度算出手段を抵抗検出手段8に接続することが望ま
しい。これにより温度を直読できるからである。
力検出装置の構成図である。
られたコイル状金属11から構成される。図6に示した
従来例構成では、線状導電材1と導電ゴム2から成る芯
電極3が開示されている。しかし、この場合、線状導電
材1として、通常、複数の金属細線が用いられるので、
芯電極3の両端間の抵抗はほぼ金属細線により決められ
る。従って、その抵抗は、多くの場合室温で0.1Ω/
m以下と非常に低いので、抵抗の検出が困難になる。図
3に示した実施例2の構成では、芯電極3が絶縁性支持
体10に巻き付けられたコイル状金属11から構成され
るので、芯電極3の両端間の抵抗はコイル状金属11の
両端間の抵抗により決められる。コイル状金属11の有
効長さは、ケーブル状圧力センサの長さよりもはるかに
長いので、その両端間の抵抗は1Ω/m以上になる。従
って、抵抗の検出が容易になる。例えば、銅と銀の合金
線(0.3mmW×0.05mmt)の場合、室温で2.7Ω
/m以上である。
維束から構成されることが好ましい。ポリエステル繊維
は高い機械的強度と可撓性を有するので、ケーブル状圧
力センサ全体の可撓性を損なうことなくコイル状金属を
支持できる。また、その耐熱性も120℃以上であるの
で、可撓性圧電体4の最高使用温度[(80〜120)
℃程度]でも充分な安定性を示す。
とが好ましい。ケーブル状圧力センサは、図1や図3に
示した構成に形成された後、芯電極3と可撓性外電極5
間に直流高電圧(5〜10)kV/mm程度を印加して、可
撓性圧電体4を分極する工程により圧電性を付与され
る。この分極工程では、芯電極3と可撓性外電極5間に
なるべく均一な高電界を印加する必要がある。コイル状
金属11が円筒状やそれと類似の形状の場合に比べ、平
板状の場合均一な高電界が得られる。また、コイル状金
属の材質として、銅または銅合金が優れている。これら
材料は可撓性に富むので、絶縁性支持体に巻き付けて容
易にコイル状に成形できると共にケーブル状圧力センサ
全体の可撓性を損なはない。また、工業的にも多く利用
されているので、量産性に優れる。
くインダクタンスや浮遊容量を有するので、その交流抵
抗は周波数依存性を有する。しかし、直流抵抗は周波数
依存性を有しないので、コイル状金属のインダクタンス
や浮遊容量の影響を受けることなく、コイル状金属の抵
抗を検出できる点で直流抵抗が優れている。前述した銅
と銀の合金線(0.3mmW×0.05mmt)を用いて形成
したケーブル状圧力センサ(長さ約7m)の芯電極3の
両端間の直流抵抗、即ち、コイル状合金線の両端間の直
流抵抗の抵抗温度特性を図4に示す。同図から明らかな
ように、0℃でも約18Ω(約2.5Ω/m)の高い抵
抗値を示すと共に約3800ppm/℃の高い抵抗温度係数
を示す。従って、抵抗の検出も、また、その抵抗温度特
性に基づいて、芯電極3周辺の可撓性圧電体4の温度を
算出することも容易である。
ーブル状圧力センサを配置して行ったので、ケーブル状
圧力センサの温度は均一である。しかし、実用状態で
は、必ずしも全体的に均一な温度にならない。このよう
な場合、抵抗は平均的な値を示すので、温度も平均温度
が検出される。実用状態での温度分布を把握することに
より、例えば耐熱性120℃のケーブル状圧力センサで
あれば、平均温度が例えば80℃になったときに、警報
を発するなどの手段ができるので、平均温度検出は実用
的にも有効である。
振動電圧検出手段7も有しているので、直流抵抗のみな
らず、時間的に変化する圧力に基づく振動電圧も検出で
きる。直流抵抗を検出するとき芯電極3の両端には直流
電位が印加される。他方、振動電圧は交流信号である。
振動電圧検出手段7により振動電圧を検出するとき、図
5に示すように、振動電圧検出手段7がコンデンサを介
して芯電極3と可撓性外電極5に接続された構成が望ま
しい。コンデンサで直流成分を除去しているので、直流
成分の影響を受けることなく振動電圧を検出できるから
である。
段8と振動電圧検出手段7を接続する場合、可撓性外電
極5をアース電位とし、芯電極3から電圧信号を取出す
ことが望ましい。芯電極3は、アース電位の可撓性外電
極5により外部空間からシールドされるので、電圧信号
はノイズから遮断されるからである。可撓性外電極5か
ら信号を取出した場合、可撓性外電極5は外部空間から
シールドされてないので、電圧信号は外部空間からのノ
イズの影響が大きくなる。
例の外皮6について特に触れてないが、保護などの必要
に応じて用いてもよいことは明らかである。また、外皮
6として、熱収縮チューブ以外にも塩化ビニールやウレ
タン樹脂などを用いてもよい。
かかる圧力検出装置は、抵抗検出手段により芯電極の抵
抗が検出できるので、抵抗の温度依存性に基づき芯電極
周囲の可撓性圧電体の平均温度を検出できると共に振動
電圧検出手段により圧力もまた検出できる。従って、温
度センサを特別に準備する必要がないので、簡素な構成
で両者を検出できる。
は、抵抗検出手段により検出された抵抗は、温度算出手
段により温度に換算されるので、容易に温度を直読でき
ある。
は、抵抗検出手段により検出する抵抗は、コイル状金属
の抵抗であるので、直線状金属線に比べ大きな抵抗を示
す。従って、抵抗の検出が容易になる。
は、ポリエステル繊維束から成る絶縁性支持体は、電気
的に絶縁性であり、且つ、可撓性に富むと共に機械的強
度も大きいので、ケーブル状圧力センサ全体の可撓性を
損なうことなくコイル状金属を支持できる。
は、コイル状金属が平板状である。ケーブル状圧力セン
サの圧電性を得るために、前もって、芯電極と可撓性外
電極間に直流の高電圧を印加して、可撓性圧電体を分極
する必要がある。このときコイル状金属が平板状である
ので、円筒状に比べ、芯電極と可撓性外電極間に均一な
高電界が印加され易い。
は、銅または銅合金は、可撓性に富むと共に工業的にも
多く利用されているので、ケーブル状圧力センサ全体の
可撓性を損なうことなく、量産できる。
は、抵抗検出手段が直流抵抗を検出する構成である。交
流抵抗は周波数依存性を有するが、直流抵抗は周波数依
存性を有しないので、コイル状金属のインダクタンスや
浮遊容量の影響を受けることなく、コイル状金属の抵抗
を検出できる。
は、振動電圧検出手段がコンデンサを介して芯電極と可
撓性外電極に接続された構成である。直流抵抗を検出す
るとき芯電極の両端には直流電位が印加される。他方、
振動電圧は交流信号である。振動電圧検出手段により振
動電圧を検出するとき、コンデンサで直流成分を除去し
ているので、直流成分の影響を受けることなく振動電圧
を検出できる。
は、可撓性外電極をアース電位とし、芯電極から振動電
圧信号を取出す構成である。芯電極は、アース電位の可
撓性外電極により外部空間からシールドされるので、振
動電圧の検出時に外部空間のノイズの影響を受けない。
図
構成図
図
抵抗の温度特性の一例を示す特性図
構成図
装置の構成図
Claims (9)
- 【請求項1】芯電極と、前記芯電極の周囲に配置された
可撓性圧電体と、前記可撓性圧電体の表面に配置された
可撓性外電極を含むケーブル状圧力センサと、前記芯電
極の両端に接続された抵抗検出手段と、前記芯電極と前
記可撓性外電極に接続された振動電圧検出手段とを備え
た圧力検出装置。 - 【請求項2】抵抗検出手段に、抵抗温度特性に基づき抵
抗を温度に換算する温度算出手段を接続した請求項1記
載の圧力検出装置。 - 【請求項3】芯電極が絶縁性支持体に保持されたコイル
状金属から成る請求項1項記載の圧力検出装置。 - 【請求項4】絶縁性支持体がポリエステル繊維束から成
る請求項3項記載の圧力検出装置。 - 【請求項5】コイル状金属が平板状である請求項3項記
載の圧力検出装置。 - 【請求項6】コイル状金属が銅または銅合金から成る請
求項5項記載の圧力検出装置。 - 【請求項7】抵抗検出手段が直流抵抗を検出する請求項
1項記載の圧力検出装置。 - 【請求項8】振動電圧検出手段がコンデンサを介して芯
電極と可撓性外電極に接続された請求項1項記載の圧力
検出装置。 - 【請求項9】可撓性外電極をアース電位とし、芯電極か
ら振動電圧信号を取出す請求項1記載の圧力検出装置。
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CNB99111969XA CN1147720C (zh) | 1998-08-05 | 1999-08-05 | 压电式压力传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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