JP2000228534A - 光半導体実装装置 - Google Patents

光半導体実装装置

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JP2000228534A
JP2000228534A JP2896499A JP2896499A JP2000228534A JP 2000228534 A JP2000228534 A JP 2000228534A JP 2896499 A JP2896499 A JP 2896499A JP 2896499 A JP2896499 A JP 2896499A JP 2000228534 A JP2000228534 A JP 2000228534A
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Tomoyuki Hatakeyama
智之 畠山
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Olympus Optical Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item

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  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 発光素子及び受光素子を備えた光半導体実装
装置を小型化し、しかも光学性能を向上させる。 【解決手段】 対象物10に対して光を投射する発光素
子13と、対象物10からの光を受光する受光部21を
有すると共に、受光部21以外の部分に発光素子13が
接合された受光素子14と、発光素子13及び受光素子
14の受光部21の双方又は受光素子14の受光部21
が対象物10に対して臨むための透光部12を有した配
線基板11と、発光素子13の接合部分及び受光部21
以外の部位で受光素子14を配線基板11にフリップチ
ップ接合させる異方性導電材17とを備える。発光素子
13の実装領域が不要となるため小型化でき、発光素子
13が対象物10に接近するため、光学性能が向上す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、対象物に光を照射
し、対象物から反射した光を検出する機能を有する光半
導体実装装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図13は特開平10−132558号公
報に記載されている従来の光半導体実装装置を示す。こ
の光半導体実装装置では、ポリイミド配線基板5に透光
部3a及び3bを設け、一方の透光部3aに臨む基板裏
面側に発光素子1を実装し、他方の透光部3bに臨む基
板裏面側に受光素子2を実装している。発光素子1は対
象物4に対して光を出射し、受光素子2は対象物4から
反射した光を受光する。又、これらの発光素子1及び受
光素子2はエポキシ樹脂6に覆われることにより封止さ
れている。
【0003】発光素子1及び受光素子2の実装は次のよ
うにして行われる。発光素子1の表面電極はポリイミド
配線基板5のランドに直接接合し、裏面電極はAuワイ
ヤなどのボンディングワイヤ7によりポリイミド配線基
板5のランドに接合する。受光素子2はポリイミド配線
基板5とハンダバンプ8によりフリップチップ接合す
る。
【0004】この光半導体実装装置は、発光素子1から
の光がポリイミド配線基板5の透光部3aを通過して対
象物4に照射され、その反射光が透光部3bを通過して
受光素子2に入射する。このとき、対象物4からの反射
光が光源である発光素子1に直接戻ると、発光素子1の
動作が不安定になるため、対象物4の反射面に対して発
光素子1の光軸を傾けている。このような構造では、対
象物4に対するポリイミド配線基板5の反対面に発光素
子1と受光素子2とを実装しているため、発光素子1と
封止面との間隔を小さくでき、性能の最適化を容易に達
成しながら光半導体実装装置の全体を小型化することが
可能となっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
構造では、(1)発光素子1と受光素子2とを別々にポ
リイミド配線基板5に実装しており、(2)ポリイミド
配線基板5上にボンディングワイヤ7を引き出すための
配線部分が必要であり、(3)ボンディングワイヤ7及
びハンダバンプ8で接合しているため、接合部分の強度
が弱く、接合後に発光素子1および受光素子2をエポキ
シ樹脂6等で覆って封止する機械的補強が必要である。
という実装上の制約があるため、光半導体実装装置の小
型化に限界があった。
【0006】また、対象物4の反射面に対して発光素子
1の光軸を傾けるためのスペース9を基板端部に設ける
必要があり、発光素子1と対象物4の距離の最適化に一
定の制限が発生している。
【0007】本発明はこのような従来の問題点を考慮し
てなされたものであり、装置性能の最適化を容易にする
ことができると共に、受光素子とほぼ同等の実装サイズ
に小型化できることを可能にした光半導体実装装置を提
供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、対象物に対して光を投射する発
光素子と、前記対象物からの光を受光する受光部を有す
ると共に、この受光部以外の部分に前記発光素子が接合
された受光素子と、前記発光素子及び受光素子の受光部
の双方又は受光素子の受光部が前記対象物に対して臨む
ための透光部を有した配線基板と、前記発光素子の接合
部分及び受光部以外の部位で前記受光素子を配線基板に
フリップチップ接合させる異方性導電材と、を備えてい
ることを特徴とする。
【0009】この発明では、発光素子が受光素子上に接
合されることにより、これらの素子が一体化した状態で
配線基板へ実装される。このため、配線基板における素
子実装部位を小さくすることができる。又、発光素子が
受光素子に接合されるため、発光素子から配線基板へボ
ンディングワイヤを引き出す必要がなくなり、そのため
の配線部分も必要がなくなる。更に、異方性導電材が受
光素子を配線基板にフリップチップ接合するため、機械
的強度が大きくなり、樹脂による封止が不要となる。こ
れらにより、光半導体実装装置を小型化することができ
る。
【0010】請求項2の発明は、請求項1記載の発明で
あって、前記配線基板の透光部は、配線基板に設けた切
り欠きであり、この切り欠き内に前記発光素子が挿入さ
れていることを特徴とする。
【0011】この発明では、発光素子を配線基板の切り
欠きに挿入することにより、発光素子の発光部と対象物
との間に介在する配線基板の厚さを排除することができ
る。このため、発光素子と対象物とを接近させることが
できて、距離の調整範囲が大きくなり、光学性能の最適
化が容易となる。
【0012】請求項3の発明は、請求項1記載の発明で
あって、前記配線基板の透光部を透光性を有する封止材
で封止することを特徴とする。特徴とする。
【0013】この発明では、発光面及び受光面を封止す
ることにより、装置全体の耐湿性を向上させることがで
きる。
【0014】請求項4の発明は、請求項1空のいずれか
に記載の発明であって、前記受光素子を配線基板に接合
するフリップチップ接合部において、前記受光素子周縁
とその近傍の配線基板上を接着剤で補強することを特徴
とする。
【0015】この発明では、接着剤が受光素子周縁とそ
の近傍の配線基板上を補強するため、装置の機械的強度
を向上させることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施の形
態を図面に基づき説明する。なお、以下の実施の形態に
おいては、光半導体実装装置として、光源となる発光素
子として垂直共振器面発光レーザ(VCSEL:Ver
tical−Cavity Surface−Emit
ting Laser)を使用した反射型の光学式エン
コーダを挙げているが、本発明はこれに限定されるもの
でなく、各種光センサや光ピックアップ等に応用するこ
とが可能である。
【0017】また、光源が出射する光には、特に制限は
なく、例えば広がり角の大小や可干渉性の有無等に限定
されることがない。また、受光素子に到達する光は、光
源から出射された光が対象物に到達し、その結果として
発生する光であれば、その種類は限定されない。例え
ば、以下の実施の形態で開示されているような単純な反
射のみでなく、反射回折光、反射散乱光あるいは、光源
からの光によって対象物において励起された光であって
も良い。なお、以下の実施の形態において、同一の要素
は同一の符号を付して対応させるものである。
【0018】(実施の形態1)図1及び図2は本発明の
実施の形態1における平面図及びそのA−A線断面図で
ある、。
【0019】実施の形態1における光学式エンコーダー
は、移動するスケール10が対象物となっており、この
スケール10に対し、フレキシブル配線基板(以下、F
PC)11の表面側が対向している。FPC11の裏側
面すなわち後述する投光部12に対向して、FPC11
におけるスケール10側の面に接合された発光素子(以
下、VCSEL)13及び受光素子(以下、PD)14
が配置されている。なお、VCSEL13には、スケー
ル10に対してレーザー光を出射するレーザー出力口2
0が設けられている。
【0020】PD14はスケール10からの光を受光す
る受光部21を有しており、VCSEL13はPD14
における受光部21以外の面上に電気的に接合されてい
る。VCSEL13のPD14上への電気的接合は、V
CSEL13の表面電極とPD14表面の電極14aと
をボンディングワイヤとしてのAuワイヤ19によって
接続すると共に、VCSEL13の裏面電極とPD14
表面の別の電極(図示省略)とを導電性接着剤による接
合やAu−Au接合又はAu−Si接合することによっ
て行われる。
【0021】PD14上には、複数のAuバンプ15が
形成されており、このAuバンプ15とFPC11に形
成されたランド16とが異方性導電材17によって電気
的にフリップチップ接合されている。Auバンプ15は
ワイヤボンダーを用いたボールバンプ法やメッキ法によ
り形成することができる。又、接合後にVCSEL13
の表面及びAuワイヤ19がFPC11の裏面と接触し
ないように、Auバンプ15の高さ及びランド16の厚
さが設定されている。
【0022】FPC11の裏面側には、Cuなどの導電
性金属からなる配線パターン18がランド16と接続さ
れるように形成されている。又、ランド16としては、
配線パターン18と同材質か、又は同材質に加えて表面
上にNi下地のAuメッキ処理が施されることにより形
成されるものである。
【0023】Auバンプ15とFPC11のランド16
とを電気的に接合する異方性導電材17としては、フィ
ルム状に予め形成された異方性導電フィルム(AC
F)、又はペースト状の異方性導電ペースト(ACP)
などを用いることができる。この異方性導電材17はA
uバンプ15とランド16間を導通し、且つ、隣接する
Auバンプ及びランドとは絶縁するという異方性接続と
いう特性を有している。又、異方性導電材17は、Au
バンプ15とランド16との接合だけでなく、投光部1
2を除くPD14の上面とFPC11裏面のスペース部
分とを接着することによって、これらに対する補強を行
う機械的補強機能と、これらに対してごみや埃、水分の
侵入を防ぐ封止機能とを兼ね備えている。
【0024】上述したFPC11の透光部12は、FP
C11におけるVCSEL13のレーザー出力口20と
PD14の受光部21と重なる部分を切り欠くことによ
り形成されている。VCSEL13は異方性導電材17
によって周囲が覆われた状態で透光部12に臨んでいる
が、PD14上に接合されていることにより、そのレー
ザ出力口20がスケール10に接近した状態となってい
る。このため光半導体実装装置である光学式エンコーダ
ーの性能を向上させることができる。
【0025】このような構造では、FPC11上に形成
された配線パターン18を介して外部(図示省略)から
VCSEL13に電流を供給することにより、レーザー
出力口20から矢印で示すようなレーザー光が放射され
る。このレーザー光は透光部12を通ってスケール10
の表面に達して反射する。反射光は矢印で示すように再
び、透光部12を通ってPD14上の受光部21に達
し、そこで電気信号に変換される。そして、PD14か
らの出力は、配線パターン18を経由して外部の処理回
路(図示省略)の入力信号となる。
【0026】なお、この場合、スケール10には所定の
間隔で反射率の高い部分と低い部分が形成してあり、ス
ケール10による反射光の強度はスケール10の移動に
伴って周期的に変化するので、PD14の出力信号の変
化を検出してカウントすることによりスケール10の移
動量が検出される。
【0027】このような実施の形態では、VCSEL1
3がPD14に接合されるため、これらの素子が一体化
した状態でFPC11へ実装でき、素子実装部位を小さ
くできる。又、VCSEL13からFPC11に対して
Auワイヤ19を引き出す必要がなくなり、そのための
配線部分が必要がなくなり、更に、異方性導電材17が
PD14をFPC11にフリップチップ接合するため、
機械的強度が大きくなり、樹脂による封止が不要とな
る。従って、これらにより光半導体実装装置を小型化す
ることができる。
【0028】又、この実施の形態では、配線基板として
FPC11を用いているため、実装部22と外部回路と
の配線部23を同一基板上に形成することができる。こ
のため、構造的にシンプルであり、組み立て工数が少な
く製造コストも安くなる効果がある。
【0029】図3は、この実施の形態をロータリーエン
コーダーへ実装した状態を示し、60はロータリー筐体
であり、円柱状となっている。この実施の形態では、配
線基板としてFPC11を用いているため、ロータリー
筐体60の実装スペースの形状に応じて形状を容易に加
工することができる。このため、実装設計の自由度が増
加する効果がある。
【0030】(実施の形態2)図4は本発明の実施の形
態2の断面図である。この実施の形態では、配線基板と
して透過率の高いガラス基板24が用いられるものであ
る。ガラス基板24に対し、配線パターン25はアルミ
ニウムを蒸着し、エッチングすることにより形成されて
いる。この場合、ガラス基板24におけるVCSEL1
3のレーザー出力口20と重なる部分及びPD14の受
光部21と重なる部分には、配線パターン25が施され
ることがなく、これにより、ガラス基板24自体が透光
部となっている。
【0031】このような実施の形態2において、配線パ
ターン25を介して外部(図示省略)からVCSEL1
3に電流を供給することにより、レーザー出力口20か
ら矢印で示すようなレーザー光が放射される。このレー
ザー光は、ガラス基板24を通ってスケール10の表面
に到達する。スケール10から反射光は矢印で示すよう
に再びガラス基板24を通ってPD14上の受光部21
に達し、そこで電気信号に変換され、その出力は配線パ
ターン25を経由して外部の処理回路(図示省略)への
入力信号となる。
【0032】このような実施の形態では、実施の形態1
と同様に作用することができることに加えて、配線基板
として透過率の高いガラス基板24を用いているため、
配線基板に精密な加工精度を要する切り欠き等の加工を
施さなくても良く、しかも切り欠きがないため、基板の
表面からのゴミや埃の侵入を防止できる効果を有してい
る。また、ガラス基板24は硬質基板であるため、実施
の形態1に比べて素子の実装部分の機械的強度が強くな
り、耐久性が向上する効果がある。
【0033】(実施の形態3)図5は本発明の実施の形
態3の断面図であり、ガラスエポキシ基板或いはガラス
基板などの硬質基板27からなる実装部と、屈曲性を有
したFPC28からなる配線部とによって配線基板が形
成されている。
【0034】硬質基板27からなる実装部には、実施の
形態1と同様にVCSEL13が接合されたPD14が
異方性導電材17によってフリップチップ接合されてい
る。又、硬質基板27におけるVCSEL13のレーザ
ー出力口20及びPD14の受光部21に対応した部分
には、切り欠きなどによる透光部26が形成されてい
る。
【0035】接続部となるFPC28は外部回路(図示
省略)との接続が行われるものであり、そのための配線
パターン30が形成されている。又、硬質基板27にも
配線パターン29が実施の形態2と同様に形成されてい
る。これらの配線パターン29,30は対向しており、
ハンダや異方性導電剤(図示省略)などによって電気的
に接合されている。
【0036】この実施の形態では、配線パターン30及
び配線パターン29を介して外部(図示省略)からVC
SEL13に電流を供給することにより、レーザー出力
口20から矢印で示すようなレーザー光が放射される。
このレーザー光は硬質基板27の透光部26を通ってス
ケール10の表面に到達する。そして、スケール10か
らの反射光は矢印で示すように、再び硬質基板27の透
光部26通ってPD14上の受光部21に達して電気信
号に変換され、その出力は配線パターン29、及び30
を順に経由して外部の処理回路(図示省略)への入力信
号となる。
【0037】この実施の形態では、実施の形態1の効果
に加えて、機械的強度を要求される実装部に硬質基板2
7を用い、形状の自由度を要求される外部回路との配線
部にFPC28を用いるため、耐久性と実装設計の自由
度の双方を同時に向上させることができる効果がある。
【0038】(実施の形態4)図7は実施の形態4の断
面図である。この実施の形態においても、実施の形態1
と同様に、配線基板としてFPC33が用いられてい
る。このFPC33におけるVCSEL13及びPD1
4の受光部21に対応した部分には、切り欠きからなる
透光部34が形成されている。
【0039】切り欠きからなる透光部34には、VCS
EL13のレーザー出力口20及びPD14の受光部2
1が臨んでいる。この場合においても、VCSEL13
は受光部21を避けたPD14の上に接合されるもので
ある。又、PD14のAuバンプ31とFPC33のラ
ンド32とは、異方性導電材17によってフリップチッ
プ接合されている。
【0040】この実施の形態では、VCSEL13の表
面部分及びAuワイヤ19がFPC33に設けた透光部
34内に挿入されるように上述したフリップチップ接合
を行うものである。すなわち、VCSEL13裏面から
Auワイヤ19の頂部までの距離が、Auバンプ31と
ランド32との厚みの和以上であって、且つAuバンプ
31とランド32とFPC33の透光部34との厚みの
和以下となるようにフリップチップ接合する。このよう
にすることにより、VCSEL13のレーザー出力口2
1からスケール10までの距離を実施の形態1よりも短
くすることができる。
【0041】このような実施の形態では、FPC33の
表面とAuワイヤ19の頂部までの距離tが小さくなる
ため、VCSEL13のレーザー出力口20とスケール
10との距離を短くすることができ、距離の調整範囲が
大きくなる。このため、光学性能の最適化を行うことが
できる。
【0042】なお、この実施の形態では配線基板をFP
C33としたが、実施の形態3に示すように切り欠き2
6を有した硬質基板27であっても良い。
【0043】(実施の形態5)図7は実施の形態5の平
面図、図8はそのB−B線断面図である。この実施の形
態では、FPC36に設けられている切り欠きからなる
透光部37が、シリコーン樹脂やエポキシ樹脂からなる
透過性を有する封止材35で封止されるものである。こ
の場合、封止材35はFPC36の表面からはみ出さな
いことが良好である。
【0044】図9は実施の形態の変形々態を示し、この
形態においては、FPC36の透光部37を透光率の高
いガラス板38で覆っており、このガラス板38の周囲
をエポキシ系接着剤39によって固定することによって
封止している。
【0045】このような実施の形態では、VCSEL1
3及びPD14の受光部21が透光性の封止材35或い
はガラス板38によって封止されているため、耐湿性を
向上させることができる。
【0046】(実施の形態6)図10は実施の形態6の
断面図である。この実施の形態では、PD14周縁とそ
の近傍のFPC11をエポキシ系接着剤などの接着剤4
0によって補強するものである。なお、配線基板として
はFPC11としたが、ガラスエポキシ基板やガラス基
板等の硬質基板であっても良い。
【0047】このような実施の形態では、接着剤40に
よって補強されて機械的強度が付与されているため、外
部回路(図示省略)との配線部41に矢印で示した曲げ
応力が加わっても、曲げ応力によって実装部42が影響
を受けにくく、実装部42の破壊や故障を防止すること
ができる。
【0048】(実施の形態7)図12は実施の形態7の
断面図である。この実施の形態においても、VCSEL
44がPD43上に接合されているが、このVCSEL
44及びAuワイヤ45がFPC49から露出してい
る。すなわち、PD43はその一部がFPC49よりも
外側に位置するように異方性導電材17によってフリッ
プチップ接合されており、これによりその上に実装され
るVCSEL44がFPC49の基板端から露出するも
のである。従って、FPC49の透光部50はPD43
の受光部47にだけ臨むように設けられている。
【0049】このような構造では、VCSEL44のレ
ーザー出力口46からのレーザー光は、透光部50を通
らず、スケール48の表面に到達し、スケール48から
の反射光は矢印で示すように透光部50を通ってPD4
3上の受光部47に達する。
【0050】このような実施の形態では、VCSEL4
4をFPC49から露出させるため、Auワイヤ45の
接合工程を最終工程に行うことが可能となる。その結
果、Auワイヤ45がFPC49と接触して、組み立て
時に断線する危険率を低減できる効果がある。
【0051】(実施の形態8)図12は実施の形態8の
断面図である。この実施の形態では、VCSEL13に
一対のレーザー出力口51及び52が設けられると共
に、PD14にもレーザー出力口51,52に対応した
一対の受光部53,54が設けられている。これらのレ
ーザー出力口51,52及び受光部53,54に対し
て、FPC11の透光部55が臨むように形成されてい
る。
【0052】この実施の形態では、一方のレーザー出力
口51から放射されたレーザー光は、透光部55を通っ
てスケール(図示省略)の表面に到達し、スケールから
の反射光は透光部55を通ってPD14上の一方の受光
部53に達する。これと同様に、他方のレーザー出力口
52から放射されたレーザー光は、透光部55を通って
スケールの表面に到達し、その反射光は、透光部55を
通ってPD14上の他方の受光部54に達する。
【0053】このようにレーザー出力口及び受光部を一
対ずつ備えることにより、仮に対となるレーザー出力口
又は受光部が故障しても、装置が即座に停止することを
防止できる効果がある。
【0054】なお、この実施の形態では、レーザー出力
口及び受光部の数を2つとしたが、3つ以上でも構わな
い。
【0055】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、発光素子を受
光素子上に接合することにより、これらが一体化した状
態で配線基板へ実装でき、配線基板における素子実装部
位を小さくすることができ、しかも発光素子から配線基
板へボンディングワイヤを引き出す必要がなくなり、更
に、異方性導電材が受光素子を配線基板にフリップチッ
プ接合するため、機械的強度が大きくなって樹脂による
封止が不要となる。これらにより、光半導体実装装置を
小型化することができる。
【0056】請求項2の発明によれば、発光素子を配線
基板の切り欠きに挿入するため、発光素子と対象物とを
接近させることができ、距離の調整範囲が大きくなっ
て、光学性能の最適化が容易となる。
【0057】請求項3の発明によれば、発光面及び受光
面を封止するため、装置全体の耐湿性を向上させること
ができる。
【0058】請求項4の発明によれば、接着剤が受光素
子周縁とその近傍の配線基板上を補強するため、装置の
機械的強度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態1の平面図である。
【図2】図1のA−A線断面図である。
【図3】実施の形態1をロータリー筐体に適用した平面
図である。
【図4】実施の形態2の断面図である。
【図5】実施の形態3の断面図である。
【図6】実施の形態4の断面図である。
【図7】実施の形態5の平面図である。
【図8】図7のB−B線断面図である。
【図9】実施の形態5の変形々態の断面図である。
【図10】実施の形態6の断面図である。
【図11】実施の形態7の断面図である。
【図12】実施の形態8の断面図である。
【図13】従来例の断面図である。
【符号の説明】
10 スケール 11 FPC 12 透光部 13 VCSEL(発光素子) 14 PD(受光素子)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 対象物に対して光を投射する発光素子
    と、 前記対象物からの光を受光する受光部を有すると共に、
    この受光部以外の部分に前記発光素子が接合された受光
    素子と、 前記発光素子及び受光素子の受光部の双方又は受光素子
    の受光部が前記対象物に対して臨むための透光部を有し
    た配線基板と、 前記発光素子の接合部分及び受光部以外の部位で前記受
    光素子を配線基板にフリップチップ接合させる異方性導
    電材と、を備えていることを特徴とする光半導体実装装
    置。
  2. 【請求項2】 前記配線基板の透光部は、配線基板に設
    けた切り欠きであり、この切り欠き内に前記発光素子が
    挿入されていることを特徴とする請求項1記載の光半導
    体実装装置。
  3. 【請求項3】 前記配線基板の透光部を透光性を有する
    封止材で封止することを特徴とする請求項1記載の光半
    導体実装装置。
  4. 【請求項4】 前記受光素子を配線基板に接合するフリ
    ップチップ接合部において、前記受光素子周縁とその近
    傍の配線基板上を接着剤で補強することを特徴とする請
    求項1〜3のいずれかに記載の光半導体実装装置。
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