JP2000227455A - 電圧供給装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 正確な電圧をデバイスに供給することが可能
な電圧供給装置を提供する。 【解決手段】 電圧供給端子１２を備えたデバイス１３
に所定の電圧を供給するための電圧供給装置であって、
電圧供給基板１０と電圧供給部１１とを具備し、電圧供
給基板１０は、互いに電気的に独立しそれぞれ電圧供給
時に電圧供給端子１２と接触する供給ライン端子１４お
よびフィードバック用ライン端子１５と、供給ライン端
子１４と電気的に接続されている電圧供給ライン１６
と、フィードバック用ライン端子１５と電気的に接続さ
れている電圧フィードバック用ライン１７とを備え、前
記電圧供給部１１は、デバイス１３に供給する所定の電
圧の基準電圧を出力する基準電源１８と、基準電源１８
からの基準電圧および電圧フィードバック用ライン１７
からのフィードバック電圧を入力し両電圧が等しくなる
ように調整された電圧を電圧供給ライン１６に出力する
電圧調整部１９とを備えていることを特徴とする電圧供
給装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＩＣなどの
デバイスを計測するときに該デバイスに電圧を供給する
ための電圧供給装置および方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣなどのデバイスの性能を評価するた
めに、これらのデバイスの電気特性を計測することが行
われる。電気計測は、被計測デバイスに計測用の信号を
送り、この計測用信号に対する該デバイスからの応答信
号を測定するなどして行われる。

【０００３】デバイスの計測はデバイス計測器を用いて
行われる。デバイス計測器は、デバイスに信号を送りま
た受け取るための信号回路を備えた計測器本体のほか、
デバイスと信号をやり取りするためのプローブ端子また
はソケット端子等を備えている。デバイスが単体のとき
には、デバイス上に設けられたパッドにプローブを当て
プローブおよびパッドを介してデバイスと信号をやり取
りする。デバイスがパッケージに封入されているときに
は、パッケージをソケットに装着しソケットのソケット
端子およびこれと接触するパッケージのリード端子を介
してデバイスと信号をやり取りする。

【０００４】デバイス計測器本体は、上述の信号回路の
ほかに、デバイスを駆動するための電源電圧等の電圧を
供給する電圧供給装置を有している。安定して精度の高
いデバイスの計測を行うためには、電圧供給装置から正
確な電圧をデバイスに供給する必要がある。

【０００５】図５は、従来のデバイス計測器を示す概略
図である。図５においては、説明を容易にするために、
デバイス計測器の有する電圧供給装置に関連する部分の
みを示している。

【０００６】デバイス計測器は、測定器（テスタ）１お
よびテストボード２からなる。デバイス３はテストボー
ド２上に装着される。このデバイス３は、電源電圧等の
電圧が供給されるための電圧供給端子４を有している。
電圧供給端子４は、デバイス上の電源パッドまたはデバ
イスが封入されているパッケージのリード端子等であ
る。測定器１には、電源電圧等の電圧を発生させる装置
が組み込まれている。測定器１で発生した電圧は、テス
トボード２上の配線（ライン）を介して被計測デバイス
３の電圧供給端子４へと供給される。

【０００７】テストボード２上には、デバイスと信号を
やり取りするための配線（図示せず）のほか、電圧供給
ライン５および電圧フィードバック用ライン６が設けら
れている。電圧供給ライン５の先には供給ライン端子７
が取付けられている。供給ライン端子７は、パットと直
接接触するプローブ端子またはソケットのソケット端子
等である。供給ライン端子７を前述の電圧供給端子４と
接触させたのち、電圧供給ライン５を通じて被計測デバ
イス３に電圧を供給する。フィードバック用ライン６
は、電圧供給ライン５の先の部分、つまり電圧供給ライ
ン５と供給ライン端子７との接続箇所に近い部分に結線
されている。フィードバック用ライン６は、この結線箇
所での電圧を計測器１へフィードバックする。このよう
に電圧をフィードバックするのは、テストボード２上の
電圧供給ライン５の配線抵抗による電圧降下を補償し
て、より正確な電圧を電圧供給端子４に供給するためで
ある。

【０００８】測定器（テスタ）１は、信号回路（図示せ
ず）のほか、基準電源８および比較器９を有している。
基準電源８から出力された電圧が、比較器９を介して、
電圧供給ライン５へと送られる。

【０００９】基準電源８は、デバイス３に供給するべき
電圧を有する基準電圧を出力する。

【００１０】比較器９は、基準電源８からの基準電圧お
よびフィードバック用ライン６からのフィードバック電
圧を入力して比較する。比較の結果、これらの電圧の間
に差があるときには、その電圧差がなくなるように調整
された電圧が比較器９から電圧供給ライン５へ出力され
る。このような電圧が出力される結果、フィードバック
用ライン６が結線されている電圧供給ライン５の先の部
分において、基準電圧に等しい電圧が実現される。こう
して、電圧供給ライン５での電圧降下が補償された、基
準電圧により近い、つまりより正確な電圧が被計測デバ
イス３の電圧供給端子４へと供給される。

【００１１】しかし、上述した従来の電圧供給装置にお
いては、テストボード２上の電圧供給ライン５の配線抵
抗による電圧降下を補償することはできるが、テストボ
ード２から先の被計測デバイス３までの間の部材の抵抗
による電圧降下を補償することはできなかった。テスト
ボード２から被計測デバイス２までの間の部材とは、例
えば、プローブ端子、ソケットのソケット端子、および
パッケージのリード端子等である。これらの部材の抵抗
による電圧降下を補償することができないため、被計測
デバイス３に供給される電圧は、依然正確なものとはな
っていなかった。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、正確な電圧をデバイスに供給することが可能な電圧
供給装置および方法を提供することである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、電圧が
供給されるための電圧供給端子を備えた被電圧供給デバ
イスに所定の電圧を供給するための電圧供給装置であっ
て、電圧供給基板と電圧供給部とを具備し、前記電圧供
給基板は、互いに電気的に独立しそれぞれ電圧供給時に
電圧供給端子と接触する供給ライン端子およびフィード
バック用ライン端子と、供給ライン端子と電気的に接続
されている電圧供給ラインと、フィードバック用ライン
端子と電気的に接続されている電圧フィードバック用ラ
インとを備え、前記電圧供給部は、被電圧供給デバイス
に供給するべき所定の電圧の基準電圧を出力する基準電
源と、基準電源からの基準電圧および電圧フィードバッ
ク用ラインからのフィードバック電圧を入力し両電圧が
等しくなるように調整された電圧を電圧供給ラインに出
力する電圧調整部とを備えていることを特徴とする電圧
供給装置が提供される。

【００１４】また、本発明によれば、電圧が供給される
ための電圧供給端子と、この電圧供給端子と電気的に接
続されている電圧フィードバック用端子とを備えた被電
圧供給デバイスに所定の電圧を供給するための電圧供給
装置であって、電圧供給基板と電圧供給部とを具備し、
前記電圧供給基板は、電圧供給時に電圧供給端子と接触
する供給ライン端子と、供給ライン端子と電気的に独立
し電圧供給時に電圧フィードバック用端子と接触するフ
ィードバック用ライン端子と、供給ライン端子と電気的
に接続されている電圧供給ラインと、フィードバック用
ライン端子と電気的に接続されている電圧フィードバッ
ク用ラインとを備え、前記電圧供給部は、被電圧供給デ
バイスに供給するべき所定の電圧の基準電圧を出力する
基準電源と、基準電源からの基準電圧および電圧フィー
ドバック用ラインからのフィードバック電圧を入力し両
電圧が等しくなるように調整された電圧を電圧供給ライ
ンに出力する電圧調整部とを備えていることを特徴とす
る電圧供給装置が提供される。

【００１５】さらに、本発明によれば、電圧が供給され
るための電圧供給端子を備えた被電圧供給デバイスに所
定の電圧を供給するための電圧供給方法であって、電圧
供給時に電圧供給端子と電気的に接続される電圧供給ラ
インと、電圧供給ラインと電気的に独立し電圧供給時に
電圧供給端子と電気的に接続される電圧フィードバック
用ラインとを用い、電圧フィードバック用ラインを介し
て測定する電圧供給端子上の電圧が所定の電圧となるよ
うに、電圧供給ラインを介して該端子に電圧を供給する
ことを特徴とする電圧供給方法が提供される。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明を
詳細に説明する。

【００１７】図１は、本発明に係る電圧供給装置の一例
を示す概略断面図である。

【００１８】本発明に係る電圧供給装置は、電圧を供給
するための電圧供給端子１２を有する被電圧供給デバイ
ス１３に、例えば電源電圧などの所定の電圧を供給する
ものである。電圧供給端子１２は、例えばアルミニウ
ム、銅等の金属などによって形成されている。また、デ
バイス１３には、ＩＣなどのデバイスの単体のほかパッ
ケージに封入されているデバイスも含まれる。

【００１９】電圧供給端子１２としては、例えば、被電
圧供給デバイス１３がデバイス単体のときにはデバイス
上の電源パッド等のパッドであり、該デバイス１３がパ
ッケージに封入されたデバイスのときにはパッケージの
リード端子などである。

【００２０】電圧供給端子１２がデバイス１３上のパッ
ドであるときには、このパッドは通常ＩＣ等で用いられ
ている電源パッド等をそのまま用いても良いが、通常の
電源パッドよりも大きく形成したパッドを新たに用いる
方が好ましい。通常の電源パッドよりも大きいパッドを
用いることによって、後述する供給ライン端子およびフ
ィードバック用ライン端子を、このパッドに同時に接触
するように作製および配置することが容易になる。

【００２１】なお、電圧供給端子１２がパッケージのリ
ード端子であるときには、リード端子はデバイス上の電
源パッド等とワイヤーボンディングなどによってパッケ
ージ内で接続されている。

【００２２】本発明に係る電圧供給装置は、電圧供給基
板１０および電圧供給部１１を具備している。

【００２３】本発明に係る電圧供給基板１０は、電圧供
給部１１からの電圧を被電圧供給デバイス１３へと供給
するために、該デバイス１３と電気的に連絡するための
ものである。前述の被電圧供給デバイス１３は、例え
ば、電圧供給基板１０上に装着される。電圧供給基板１
０は、供給ライン端子１４、フィードバック用ライン端
子１５、電圧供給ライン１６、および電圧フィードバッ
ク用ライン１７を備えている。

【００２４】供給ライン端子１４およびフィードバック
用ライン端子１５は、電圧供給基板１０上で電気的に接
続されておらず、互いに電気的に独立している。

【００２５】供給ライン端子１４およびフィードバック
用ライン端子１５は、被電圧供給デバイス１３に電圧を
供給するときに、それぞれ該デバイス１３の電圧供給端
子１２と接触により電気的に接続されるためのものであ
る。両ライン端子１４および１５は、電圧供給端子１２
に同時に接触する。

【００２６】供給ライン端子１４およびフィードバック
用ライン端子１５は、それぞれ例えば針状のプローブ端
子またはソケットのソケット端子などである。供給ライ
ン端子１４およびフィードバック用ライン端子１５と
も、銅、アルミニウム等の金属などによって形成されて
いる。被電圧供給デバイス１３がデバイス単体のときに
は、デバイス上のパッド等にプローブ端子を当てて接触
させることによって、供給ライン端子１４およびフィー
ドバック用ライン端子１５と電圧供給端子１５とを接触
させる。被電圧供給デバイス１３がパッケージに封入さ
れているときには、このパッケージをソケットに装着し
てソケットのソケット端子とパッケージのリード端子と
を接触させることによって、供給ライン端子１４および
フィードバック用ライン端子１５と電圧供給端子１５と
を接触させる。

【００２７】本発明に係る電圧供給ライン１６は、後述
する電圧供給部１１からの電圧を被電圧供給デバイス１
３の電圧供給端子１２に送るための配線である。電圧供
給ライン１６は、電圧供給基板１０上で供給ライン端子
１４と電気的に接続されている。

【００２８】電圧フィードバック用ライン１７は、被電
圧供給デバイス１３の電圧供給端子１２上の電圧を電圧
供給部１１へとフィードバックするための配線である。
電圧フィードバック用ライン１７は、電圧供給基板１０
上でフィードバック用ライン端子１５と電気的に接続さ
れている。

【００２９】上述の電圧供給ライン１６および電圧フィ
ードバック用ライン１７とも、銅、アルミニウム等の金
属などによって形成されている。

【００３０】電圧供給ライン１６と電圧フィードバック
用ライン１７も、電圧供給基板１０上では電気的に接続
されておらず、互いに電気的に独立している。両ライン
１６、１７は、被電圧供給デバイス１３へ電圧を供給す
るときに、該デバイス１３の電圧供給端子１２とライン
１４および１５とがそれぞれ接触することにより、はじ
めて基板１１上で電気的に接続される。

【００３１】本発明に係る電圧供給部１１は、上述の電
圧供給基板１０を介して被電圧供給デバイス１３へ電圧
を供給するためのものである。電圧供給部１１は、基準
電源１８、および電圧調整部１９を備えている。

【００３２】基準電源１８は、被電圧供給デバイス１３
に供給するべき所定の電圧値を有する基準電圧を出力す
る。基準電源１８としては、例えば定圧直流電源などが
挙げられる。また、所定の電圧値としては、例えば３．
０Ｖ〜５．０Ｖである。

【００３３】電圧調整部１８は、例えば、２つの入力端
子および１つの出力端子を備えた比較回路等によって構
成される。このような比較回路は、例えばオペアンプな
どを用いて作製することができる。

【００３４】電圧調整部１９は、基準電源１８からの基
準電圧を調整したのちに、調整した電圧を上述した電圧
供給ライン１６へと出力する。基準電圧の調整は、電圧
フィードバック用ライン１７からのフィードバック電圧
に基いて行う。フィードバック電圧は、これまでの説明
から明らかなように、被電圧供給デバイス１３の電圧供
給端子１２上での電圧を測定した値である。

【００３５】電圧調整部１９での電圧の調整は、以下の
ようにして行う。すなわち、基準電圧およびフィードバ
ック電圧を入力して比較する。比較した結果、両電圧に
差があるときには、その電圧差がなくなるように調整さ
れた電圧を電圧供給ライン１６へ出力する。具体的に
は、両電圧の電圧差に比例した電圧を基準電圧に加え、
この合計の電圧を出力する。こうして、基準電圧および
フィードバック電圧が等しくなるように調整された電圧
が、電圧供給ライン１６へと出力される。以上の結果、
電圧供給端子１２において基準電圧に等しい電圧が実現
される。

【００３６】上述したように、本発明に係る電圧供給装
置においては、被電圧供給デバイス１３の電圧供給端子
１２上の電圧を直接フィードバックしながら、該端子１
３に調整された電圧を供給している。すなわち、供給基
板１０上の電圧供給ライン１６の配線抵抗による電圧降
下だけでなく、プローブ端子、ソケット端子などの供給
ライン端子１４の配線抵抗、およびパッケージのリード
部分などの配線抵抗による電圧降下をも補償することが
できる。そのため、電圧供給端子１２に供給される電圧
は、基準電圧に非常に近い正確なものとなっている。

【００３７】図２は、本発明に係る電圧供給装置の他の
例を示す概略断面図である。

【００３８】図１に示した部材と同様の部材について
は、同符号を示して説明を省略する。

【００３９】本例においては、被電圧供給デバイス１３
は、電圧供給端子１２のほかに電圧フィードバック用端
子２０を有している。

【００４０】電圧フィードバック用端子２０としても、
前述した電圧供給端子１２と同様に、例えば、デバイス
１３上のパッド、パッケージのリード端子などが挙げら
れる。電圧フィードバック用端子２０も、電圧供給端子
１２と同様に、例えばアルミニウム等の金属などによっ
て形成されている。

【００４１】電圧フィードバック端子２０は、デバイス
１３上の配線２１によって電圧供給端子１２と電気的に
接続されている。配線２１の長さは、例えば２００μm
である。配線２１は、例えばアルミニウム等の金属など
によって形成されている。

【００４２】本例においては、被電圧供給デバイス１３
に電圧を供給するときに、供給ライン端子１４は該デバ
イス１３の電圧供給端子１２のみと接触する。そして、
フィードバック用ライン端子１５は該デバイス１３の電
圧フィードバック用端子２０のみと接触する。

【００４３】上述したように、図２の装置においては、
デバイス１３上の電圧フィードバック用端子２０および
配線２１を介して、電圧供給端子１２上の電圧が電圧調
整部１９へと直接フィードバックされている。そのた
め、図１の装置と同様に、電圧供給ライン１６の配線抵
抗、プローブ端子およびソケット端子などの供給ライン
端子１４の配線抵抗、ならびにパッケージのリード部分
などの配線抵抗による電圧降下が補償されている。従っ
て、図１に示した装置と同様に、基準電圧に非常に近い
正確な値の電圧が電圧供給端子１２に供給される。

【００４４】図３は、本発明に係る電圧供給装置をデバ
イス計測装置に組み込んだ一例を示す概略図である。図
３のデバイス計測装置は、本発明に係る電圧供給装置に
よって被計測デバイスに電源電圧などの所定の電圧を供
給しながら、該デバイスを計測する。図３の装置は、パ
ッケージに封入されたデバイスを計測するタイプのもの
である。

【００４５】図３のデバイス計測装置は、テスタ（計測
器）３０、およびテストボード３１を備えている。テス
トボード３１は、本発明に係る電圧供給基板を兼ね、ソ
ケット部３３および基盤部３４からなる。ソケット部３
３は、被計測デバイス１３が封入されたパッケージ３５
を装着するためのものである。

【００４６】被計測デバイス１３は、樹脂等によってパ
ッケージ３５に封入されている。図３においては、封入
のための樹脂等は省略してある。被計測デバイス１３
は、外部と計測信号等をやり取りするための複数のパッ
ド３８をその表面に有している。パッド３８には、電源
パッド３９、およびフィードバック電圧を送るためのセ
ンスパッド４０が含まれている。電源パッド３９とセン
スパッド４０とは、デバイス１３上の配線４１によって
電気的に接続されている。

【００４７】パッケージ３５の有する複数のリード端子
３６には、被計測デバイス１３と計測信号等をやり取り
するための端子のほか、本発明に係る電圧供給端子１２
および電圧フィードバック用端子２０が含まれている。

【００４８】デバイス１３上のパッド３８は、ワイヤー
ボンディング４２によって、パッケージ３５のリード端
子３６とそれぞれ接続されている。デバイス１３上の電
源パッド３９は、パッケージ３５の電圧供給端子１２と
接続されている。また、デバイス１３上のセンスパッド
４０は、パッケージ３５の電圧フィードバック用端子２
０と接続されている。図３においては、説明を容易にす
るために、電源パッド３９と電圧供給端子１２とを接続
するワイヤーボンディング４３、およびセンスパッド４
０と電圧フィードバック用端子２０とを接続するワイヤ
ーボンディング４４のみを示している。

【００４９】ソケット部３３には、パッケージ３５がソ
ケット部３３に装着されたときに、パッケージ３５のリ
ード端子３６と接触により電気的に接続されるための複
数のソケット端子３７が設けられている。ソケット端子
３７には、被計測デバイス１３と計測信号等をやり取り
するための端子のほか、本発明に係る供給ライン端子１
４、およびフィードバック用ライン端子１５が含まれて
いる。

【００５０】パッケージ３５の電圧供給端子１２とソケ
ット部３３の供給ライン端子１４とが、接触により接続
される。また、パッケージ３５の電圧フィードバック用
端子２０とソケット部３３のフィードバック用ライン端
子１５とが、接触により接続される。

【００５１】図３に示す基盤部３４には、テスタ３０と
被計測デバイス１３との間で計測信号等をやり取りする
ための配線のほかに、本発明に係る電圧供給ライン１６
および電圧フィードバック用ライン１７等が設けられて
いる。図３においては、説明を容易にするために、電圧
供給ライン１６および電圧フィードバック用ライン１７
のみを示している。

【００５２】ソケット部３３の供給ライン端子１４は基
盤部３４の電圧供給ライン１７と接続されている。ソケ
ット部３３のフィードバック用ライン端子１５は基盤部
３４の電圧フィードバック用ライン１７と接続されてい
る。

【００５３】図３のデバイス計測装置の備えるテスタ３
０は、被計測デバイス１３に計測用信号等を送りまた受
け取るための信号回路のほか、本発明に係る電圧供給部
を備えている。図３においては、説明を容易にするため
に、本発明に係る電圧供給部のみを示している。

【００５４】電圧供給部は、基準電源１８、および電圧
調整部であるセンスアンプ３２からなる。センスアンプ
３２は比較回路の一種から構成されている。センスアン
プ３２は、基準電源１８からの基準電圧、および前述し
た電圧フィードバック用ライン１７からのフィードバッ
ク電圧を入力し、図１に示す電圧調整部１９と同様に、
調整された電圧を電圧供給ライン１６へ出力する。

【００５５】上述したように、図３に示す電圧供給装置
においては、被電圧供給デバイス１３の電圧供給端子４
０上の電圧を直接フィードバックしながら、調整された
電圧を被電圧供給デバイス１３に供給している。すなわ
ち、基盤部３４上の電圧供給ライン１６の配線抵抗によ
る電圧降下だけでなく、ソケット端子３７やパッケージ
基板３５などの供給ライン、すなわちワイヤーボンディ
ング４３、電圧供給端子１２、および供給ライン端子１
４の配線抵抗による電圧降下をも補償することができ
る。そのため、被電圧供給デバイス１３に供給される電
圧は、基準電圧に非常に近い正確なものとなっている。

【００５６】図４は、本発明に係る電圧供給装置をデバ
イス計測装置に組み込んだ他の例を示す概略図である。
図３に示した部材と同様の部材については、同じ符号を
付して説明を省略する。

【００５７】図４のデバイス計測装置は、デバイス単体
を計測するタイプであり、デバイス上のパッドに接触さ
せるための計測用のプローブを有している。プローブの
先端をパッドに接触させ、プローブを介して計測信号等
のやり取りおよび所定の電圧の供給を行う。

【００５８】図４に示すデバイス計測装置は、テスタ
（計測器）３０、およびプローブカード５０を備えてい
る。テスタ３０は、図３に示したデバイス計測装置に備
わっているものと同様である。プローブカード５０は、
本発明に係る電圧供給基板を兼ねている。

【００５９】プローブカード５０には、被計測デバイス
１３上のパッドと接触して計測信号等のやり取りをする
ためのプローブ５１、およびプローブ５１と接続されて
いる配線（図示せず）のほか、本発明に係る供給ライン
端子である電圧供給用プローブ５２、およびフィードバ
ック用ライン端子であるフィードバック用プローブ５
３、ならびに本発明に係る電圧供給ライン１６、電圧フ
ィードバック用ライン１７等が設けられている。電圧供
給用プローブ５２は電圧供給ライン１６と接続され、フ
ィードバック用プローブ５３は電圧フィードバック用ラ
イン１７と接続されている。

【００６０】図４においては、説明を容易にするため
に、電圧供給用プローブ５１、フィードバック用プロー
ブ５２、電圧供給ライン１６、およびフィードバック用
ライン１７のみを示している。

【００６１】プローブカード５０は、上述の複数のプロ
ーブを配置するための針元リング５４を有している。各
プローブは、針元リング５４上で互いに電気的に独立し
て下方に向けて配置されている。

【００６２】載置台（図示せず）に載置された被計測デ
バイス１３が、プローブカード５０の下方からプローブ
カード５０に向って上昇してくる。上昇によって、該デ
バイス１３の各パッドが所定のプローブの先端と接触す
る。すなわち、被計測デバイス１３の電源パッド３９は
電圧供給用プローブ５２と接触し、センスパッド４０は
フィードバック用プローブ５３と接触する。

【００６３】上述したように、図４に示す電圧供給装置
においては、被電圧供給デバイス１３の電圧供給端子４
０上の電圧を直接フィードバックしながら、調整された
電圧を被電圧供給デバイス１３に供給している。すなわ
ち、プローブカード５０上の電圧供給ライン１６の配線
抵抗による電圧降下だけでなく、プローブカード５０の
電圧供給プローブ５２などの配線抵抗による電圧降下を
も補償することができる。そのため、被電圧供給デバイ
ス１３に供給される電圧は、基準電圧に非常に近い正確
なものとなっている。

【００６４】

【発明の効果】以上、詳述したように、本発明によっ
て、正確な電圧をデバイスに供給することが可能な電圧
供給装置および電圧供給方法が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電圧供給装置の一例を示す概略
図。

【図２】本発明に係る電圧供給装置の他の例を示す概略
図。

【図３】本発明に係る電圧供給装置をデバイス測定装置
に組み込んだ一例を示す概略図。

【図４】本発明に係る電圧供給装置をデバイス測定装置
に組み込んだ他の例を示す概略図。

【図５】従来の電圧供給装置を示す概略図。

【符号の説明】

１０…電圧供給基板 １１…電圧供給部 １２…電圧供給端子 １３…被電圧供給デバイス １４…供給ライン端子 １５…フィードバック用ライン端子 １６…電圧供給ライン １７…電圧フィードバック用ライン １８…基準電源 １９…電圧調整部 ２０…電圧フィードバック用端子 ２１…配線 ３０…テスタ ３１…テストボード ３２…センスアンプ ３３…ソケット部 ３４…基盤部 ３５…パッケージ ３６…リード端子 ３７…ソケット端子 ３８…パッド ３９…電源パッド ４０…センスパッド ４１…配線 ４２、４３、４４…ワイヤーボンディング ５０…プローブカード ５１…プローブ ５２…電圧供給用プローブ ５３…フィードバック用プローブ ５４…針元リング

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電圧が供給されるための電圧供給端子を
   備えた被電圧供給デバイスに所定の電圧を供給するため
   の電圧供給装置であって、電圧供給基板と電圧供給部と
   を具備し、 前記電圧供給基板は、互いに電気的に独立しそれぞれ電
   圧供給時に電圧供給端子と接触する供給ライン端子およ
   びフィードバック用ライン端子と、供給ライン端子と電
   気的に接続されている電圧供給ラインと、フィードバッ
   ク用ライン端子と電気的に接続されている電圧フィード
   バック用ラインとを備え、 前記電圧供給部は、被電圧供給デバイスに供給するべき
   所定の電圧の基準電圧を出力する基準電源と、基準電源
   からの基準電圧および電圧フィードバック用ラインから
   のフィードバック電圧を入力し両電圧が等しくなるよう
   に調整された電圧を電圧供給ラインに出力する電圧調整
   部とを備えていることを特徴とする電圧供給装置。
2. 【請求項２】 電圧が供給されるための電圧供給端子
   と、この電圧供給端子と電気的に接続されている電圧フ
   ィードバック用端子とを備えた被電圧供給デバイスに所
   定の電圧を供給するための電圧供給装置であって、電圧
   供給基板と電圧供給部とを具備し、 前記電圧供給基板は、電圧供給時に電圧供給端子と接触
   する供給ライン端子と、供給ライン端子と電気的に独立
   し電圧供給時に電圧フィードバック用端子と接触するフ
   ィードバック用ライン端子と、供給ライン端子と電気的
   に接続されている電圧供給ラインと、フィードバック用
   ライン端子と電気的に接続されている電圧フィードバッ
   ク用ラインとを備え、 前記電圧供給部は、被電圧供給デバイスに供給するべき
   所定の電圧の基準電圧を出力する基準電源と、基準電源
   からの基準電圧および電圧フィードバック用ラインから
   のフィードバック電圧を入力し両電圧が等しくなるよう
   に調整された電圧を電圧供給ラインに出力する電圧調整
   部とを備えていることを特徴とする電圧供給装置。
3. 【請求項３】 電圧が供給されるための電圧供給端子を
   備えた被電圧供給デバイスに所定の電圧を供給するため
   の電圧供給方法であって、 電圧供給時に電圧供給端子と電気的に接続される電圧供
   給ラインと、 電圧供給ラインと電気的に独立し電圧供給時に電圧供給
   端子と電気的に接続される電圧フィードバック用ライン
   とを用い、 電圧フィードバック用ラインを介して測定する電圧供給
   端子上の電圧が所定の電圧となるように、電圧供給ライ
   ンを介して該端子に電圧を供給することを特徴とする電
   圧供給方法。