JP2000226964A - 安全扉及び安全扉を備える半導体の製造又は検査のための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 挟み込みによって手指が押しつぶされること
による怪我等の発生を回避することができる安全扉及び
そのような安全扉を備える半導体の製造又は検査のため
の装置を提供すること。 【解決手段】 本発明の安全扉を備える半導体の製造又
は検査のための装置は、半導体を製造又は検査するため
の装置本体と、同装置本体に設けられた開口部と、駆動
装置によって一つの軸線に沿って駆動され、開口部の一
部分を覆う第一扉と、軸線に沿って第一扉に向かって付
勢され、開口部の一部分を覆う第二扉とを備える。開口
部を閉鎖するときに自動扉に手指を挟んだ場合には、付
勢されただけの状態で開口部の一部分を閉鎖している第
二扉が第一扉の駆動方向へ移動すると共に、第一扉が開
口部の一部分のみを覆う位置で停止するので、手指には
第二扉を付勢する圧力しか作用せず、手指を押しつぶす
危険性を回避することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、開口部を閉鎖する
ときに開口部に手指を挟んでも安全である機構を有する
安全扉及びこのような安全扉を備えた半導体の製造又は
検査のための装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】異なる空間を区画する壁に設けられた開
口部が自動扉で開閉される場合、開口部付近で人間が作
業をする可能性がある環境下では、扉に人間の手指を挟
まれる危険性がある。例えば、半導体を製造又は検査す
るための装置においては、装置外部に設置されたウエハ
カセットからウエハを装置内に搬送するための開口部が
装置の壁に設けられており、ウエハカセットと半導体の
製造又は検査のための装置との間のウエハ搬送に自動ハ
ンドリングロボットが使用されており、開口部を閉鎖す
る扉が自動で開閉するようになっている。装置外部のカ
セットの交換は通常人間が介在して行われるため、ウエ
ハカセットの交換作業の際に自動扉に手指を挟まれ、手
指を自動扉に押しつぶされる危険性がある。

【０００３】この自動扉への手指の挟み込みを防止する
ために、一般には、開口部又は自動扉の周囲に進入防止
用の安全柵が設けられる。また、上記のように人間が開
口部又は扉の付近で作業を行う必要がある場合には、エ
リアセンサ等を使用して、人間が開口部又は自動扉付近
にいることを検知し、開口部又は自動扉付近に人間がい
るときには、半導体の製造又は検査のための装置に自動
扉の開閉を行わせないように制御するなどの対策が必要
となる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】エリアセンサ等のセン
サを使用し、制御装置等のソフトウエアによって自動扉
の開閉を制御する場合には、ソフトウエアやセンサ及び
制御装置等のハードウエアの故障によって誤動作が発生
し、手指の挟み込み事故が発生する危険性がある。

【０００５】本発明の目的は、挟み込みの予防ではな
く、万一自動扉の誤動作が発生しても、挟み込みによっ
て手指が押しつぶされることによる怪我等の発生を回避
することができる機構を有する、安全扉及びそのような
安全扉を備える半導体の製造又は検査のための装置を提
供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の安全扉を備える
半導体の製造又は検査のための装置は、半導体を製造又
は検査するための装置本体と、同装置本体に設けられた
開口部と、駆動装置によって一つの軸線に沿って駆動さ
れ、開口部の一部分を覆う第一扉と、軸線に沿って第一
扉に向かって付勢されており、開口部の一部分を覆う第
二扉とを備え、前記第一扉と前記第二扉とによって開口
部を閉鎖することを特徴とする。

【０００７】第一扉が駆動されて開口部を閉鎖するとき
に自動扉に手指を挟んだ場合には、付勢されただけの状
態で開口部の一部分を閉鎖している第二扉が第一扉の駆
動方向へ移動すると共に、第一扉が開口部の一部分のみ
を覆う位置で停止するので、手指には概略第二扉を付勢
する圧力しか作用せず、手指を押しつぶす危険性を回避
することができる。

【０００８】本発明の安全扉を備える半導体の製造又は
検査のための装置の一つの実施形態においては、第一扉
が装置本体の下側に設けられ、第二扉が装置本体の上側
に設けられ、第二扉が重力によって第一扉に向かって付
勢される。本発明の安全扉を備える半導体の製造又は検
査のための装置の別な実施形態においては、第一扉が装
置本体の上側に設けられ、第二扉が装置本体の下側に設
けられ、第二扉がバネによって第一扉に向かって付勢さ
れる。

【０００９】本発明の安全扉を備える半導体の製造又は
検査のための装置の開口部を閉鎖する部分の一つの実施
形態においては、第一扉と第二扉が当接して開口部を閉
鎖する。本発明の安全扉を備える半導体の製造又は検査
のための装置の開口部を閉鎖する部分の別な実施形態に
おいては、第一扉と第二扉が重なる部分を有することに
よって開口部を閉鎖する。

【００１０】好適には、本発明の安全扉を備える半導体
の製造又は検査のための装置は、第二扉の位置の変動を
検出するための検出器をさらに備える。検出器を備える
ことによって、検出器によって手指の挟み込みを検知し
た場合に、駆動される第一扉を開いて、手指の挟み込み
の状態を解消することができるようになる。本発明はさ
らに、壁に設けられた開口部を閉鎖する安全扉であっ
て、駆動装置によって一つの軸線に沿って駆動され、開
口部の一部分を覆う第一扉と、同軸線に沿って第一扉に
向かって付勢されており、開口部の一部分を覆う第二扉
とを備え、前記第一扉と前記第二扉とによって開口部を
閉鎖する安全扉を提供する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態に関して
図面を参照して詳細に説明する。実施形態は半導体検査
工程を含む半導体製造装置に関して示されているが、例
示的なものであり、限定するものではない。したがっ
て、本発明の安全扉は半導体製造装置以外のものにも適
用可能である。

【００１２】図１は本発明の安全扉１２を備える半導体
製造装置１０の側面図であり、図２は図１に示される本
発明の安全扉１２を備える半導体製造装置１２の安全扉
の部分を矢印１の方向から見た矢視図である。図１にお
いては、簡単のために半導体製造装置１０の本体部分が
仮想線によって示されている。なお、本願における「半
導体製造装置」には、半導体を製造するための装置、半
導体を検査するための装置、及び半導体を製造し且検査
するための装置を含むものとする。本発明の安全扉１２
を備える半導体製造装置１０は、半導体を製造又は検査
するための装置本体１４と、装置本体１４の壁１６に設
けられた開口部１８と、第一扉２０と、第二扉２２とを
備える。第一扉２０及び第二扉２２の幅は装置本体１４
に設けられた開口部１８を覆うに十分な寸法である。装
置外部に設置されたウエハカセット２４からウエハを装
置内部に搬送するために、開口部１８が装置本体１４の
壁１６に設けられている。

【００１３】第一扉２０が駆動装置２６によって一つの
軸線２８に沿って駆動される。図１及び図２において
は、駆動装置２６として、シリンダ３０ａとピストン３
０ｂからなるエアシリンダ３０が使用されている。エア
シリンダ３０が装置本体１４の壁１６に取り付けられて
おり、第一扉２０がエアシリンダ３０の可動のピストン
３０ｂに固定されている。図１においては、一つのエア
シリンダ３０が使用されているが、複数のエアシリンダ
が使用されてもよい。駆動装置２６としては、エアシリ
ンダ、リニアモータなどのリニアアクチュエータ、歯車
機構等と組み合わせて使用される回転モータなどが使用
され得る。

【００１４】第一扉２０はさらに一つの軸線２８に沿っ
て移動するように案内する案内装置３２を備えてもよ
い。図１及び図２においては、案内レール３４とスライ
ダ３６とからなる案内装置が使用されている。第一扉２
０の左右の両端縁部に任意の従来の結合手段によってス
ライダ３６が取り付けられ、このスライダ３６が装置本
体１４の壁１６に取り付けられている案内レール３４上
を滑動して、第一扉２０を案内する。図１においては、
二本の案内レール３４が開口部１８の幅よりも広く離間
されて、開口部１８の下側に配置されている。しかしな
がら、案内装置３２として、案内レール３４とスライダ
３６の組み合わせ以外のもの、例えば、直線ベアリング
等が使用されてもよい。また、駆動装置２６としてエア
シリンダ又はリニアアクチュエータが使用されるときに
は、必ずしも案内装置３２を備える必要はない。例え
ば、エアシリンダを使用する場合には、エアシリンダが
第一扉２０を軸線２８に沿って移動させる案内機能を兼
ねることが可能である。

【００１５】第一扉２０が駆動装置２６又は案内装置３
２によって案内されて、機械的に移動可能な範囲の第二
扉２２側の限界位置まで移動されても、開口部１８には
高さで１５〜２０ｍｍ程度の隙間が残るようにされてい
る。この隙間が付勢されているだけで駆動装置を具備し
ていない第二扉２２によって覆われている。好適には、
第一扉２０の両端縁部２０ｂにスライダ３６を取り付け
たときに、第一扉２０が装置本体１４の壁１６の開口部
１８から離れすぎないようにするために、第一扉２０の
左右両端縁部２０ｂは階段状に中央部２０ａに対して一
段高くなっている。また、図１においては、第一扉２０
は中央部２０ａの下側が凹状になっている。このように
することで、扉の軽量化を図ると共に例えばエアシリン
ダである駆動装置２６の設置スペースを作りだすことが
できる。

【００１６】第二扉２２は第一扉２０に向かって付勢さ
れており、第一扉２０が移動する軸線２８と同じ軸線に
沿って移動可能である。図１及び図２に示されるように
第二扉２２が第一扉２０の上側に配置されている場合に
は、第二扉２２は重力によって第一扉２０に向かって付
勢される。第二扉２２が第一扉２０の下側に配置されて
いる場合には、第二扉２２はバネ、弾性ゴム等の付勢手
段によって第一扉２０に向かって付勢される。第二扉２
２がバネ、弾性ゴム等の付勢手段によって第一扉２０に
向かって付勢されているのであれば、第一扉２０及び第
二扉２２が開口部１８の左右に配置され、左右両側から
開口部１８を閉鎖することも可能となる。

【００１７】好適には、第二扉２２はさらに軸線２８に
沿って移動するために案内装置３８を備える。図１及び
図２においては、案内レール４０とスライダ４２とから
なる案内装置が使用されており、二本の案内レール４０
が開口部１８の幅よりも広く離間されて、開口部１８の
上側に配置されている。図３は図２の第二扉２２付近を
示す拡大詳細図であり、図４は図３に示される部分の側
面図である。

【００１８】図３及び図４において、第二扉２２は、案
内装置３８と、案内装置３８に取り付けられる支持板４
４と、支持板４４に取り付けられる扉部材４６とを備え
る。。図３及び図４に示される実施形態においては、案
内装置３８として、案内レール３８とスライド４０の組
み合わせたものが使用されているが、案内レールとスラ
イドの組み合わせ以外のもの、例えば、直線ベアリング
等が使用されてもよい。

【００１９】図３及び図４に示される実施形態において
は、二つの案内レール４０が装置本体１４に例えばネジ
等の任意の従来の結合手段によって取り付けられてお
り、支持板４４がこれらの案内レール４０上を滑動する
二つのスライダ４２上に架設されている。扉部材４６が
この支持板４４に任意の従来の結合手段によって取り付
けられる。

【００２０】第二扉２２は、図３及び図４の場合には重
力、すなわち、第二扉２２の重量によって、第一扉側に
付勢されて、通常は、案内装置３８によって案内され得
る最も第一扉側に位置しており、図４に詳細に示される
ように開口部１８の一部分Ａのみを覆っている。第二扉
２２がバネ等の付勢手段によって第一扉２０に向かって
付勢されているときも同様である。部分Ａの高さは、好
適には、手指の厚さ程度、すなわち、１５〜２０ｍｍで
ある。また、第二扉２２が最も第一扉側に位置しており
且つ第一扉２０によって開口部１８が開放されている状
態において、開口部１８の残りの開放されている部分を
通して装置外部に置かれたウエハカセット２４の上下両
端部のウエハを装置本体１４内に搬送することができ
る。

【００２１】好適には、本発明の安全扉１２はさらに第
二扉２２の位置の変動を検出する検出器４８を備える。
第二扉２２は第一扉側に付勢されて、通常は、案内装置
３８によって案内され得る最も第一扉側に位置している
ので、第二扉２２の位置の変動を検出することにより、
第一扉２０と第二扉２２との間に手指等の異物が挟まれ
たことを検知することができる。検出器４８によって手
指の挟み込みを検知した場合に、駆動される第一扉２０
を開いて、手指の挟み込みの状態を解消することが可能
となる。図１〜図４においては、検知器４８として、マ
イクロフォトスイッチが使用されているが、マイクロス
イッチ等の接触式スイッチ、フォトセンサ等の光学式セ
ンサ、磁気センサ、移動量を検出する差動トランス等の
他の形式の検出器も使用可能である。

【００２２】図５〜図７は、第一扉２０及び第二扉２２
によって開口部１８を閉鎖する方法を示す、第一扉２０
と第二扉２２の端部付近の部分側面図である。図５は第
一扉２０及び第二扉２２によって開口部１８を閉鎖する
部分の第一実施形態である。第一扉２０及び第二扉２２
の対向する端部はそれぞれＬ字状に形成されており、こ
れらのＬ字状端部が互いと当接することによって装置本
体１４の開口部１８が閉鎖される。図１及び図２に示さ
れるように、何方か一方の端部のみがＬ字形状に形成さ
れていてもよい。各端部は丸められてＪ字形状にされて
もよい。さらに、当接表面にはシール部材５０が取り付
けられていてもよい。

【００２３】図６は第一扉２０及び第二扉２２によって
開口部１８を閉鎖する部分の第二実施形態である。第一
扉２０及び第二扉２２は、図６に示されるように重なり
部分を有することによって装置本体１４の開口部１８を
閉鎖する。第一扉２０と第二扉２２の重なり部分には微
小な隙間５２が存在し、それによって、第一扉２０と第
二扉２２の表面の接触による摩擦を防止する。好適に
は、図６に示されるように第二扉２２の端部形状はＪ字
形状に形成される。Ｊ字形状にされることによって、万
一手指が扉の間に挟まれたときに、手指の痛みが小さく
なり得る。気密性を向上させるために、第一扉２０と第
二扉２の間にできる隙間５２を埋めるシール部材５０が
第一扉２０に取り付けられてもよい。

【００２４】図７は第一扉２０及び第二扉２２によって
開口部１８を閉鎖する部分の第三実施形態である。第一
扉２０の端部に窪み５４が設けられ、この窪み５４に第
二扉２２の端部が挿入されることによって装置本体１４
の開口部１８を閉鎖する。窪み５４の寸法は第二扉２２
が窪み５４内に挿入可能であるように、第二扉２２の寸
法よりも大きい。好適には、第一扉２０及び第二扉２２
の端部に存在する角が面取りされ、丸められる。また、
第一扉２０と第二扉２の接触部分にシール部材５０が取
り付けられてもよい。

【００２５】以下においては、第一扉が装置本体の上側
にあり且つ第二扉が装置本体の下側にある図１及び図２
に示される場合を例として、本発明の安全扉の作動に関
して説明する。開口部１８が開放されている状態のとき
には、第一扉２０の開口部側の端部が開口部１８の外側
に位置する図１及び図２に示される位置まで第一扉２０
が移動させられている。第二扉２２は、バネ等の付勢手
段又は重力によって第一扉側に付勢されて、通常は、案
内装置３８によって案内され得る最も第一扉側に位置し
ており、図４に詳細に示されるように開口部１８の一部
分Ａのみを覆っている。部分Ａの高さは、好適には、手
指の厚さ程度、すなわち、１５〜２０ｍｍである。

【００２６】開口部１８が閉鎖されるときには、第一扉
２０が駆動装置２６によって上方に移動させられ、駆動
装置２６又は案内装置３２によって機械的に制限される
上側の移動限界位置まで移動する。この上側移動限界位
置においても、第一扉２０の上端と開口部１８の上側の
縁との間には少なくとも手指の厚さ分の距離、すなわ
ち、１５ｍｍ以上の距離が開いている。第一扉２０が上
側移動限界位置まで移動すると、第一扉２０の上端は第
二扉２２の下端と当接する。好適には、第一扉２０と第
二扉２２が当接するときに、第一扉２０が第二扉２２を
僅かに上方に押し上げる。このように第一扉２０が第二
扉２２を僅かに上方に押し上げることによってより確実
に開口部１８が閉鎖される。

【００２７】本発明の安全扉１２に人間の手指等の異物
が挟まれたときには、駆動される第一扉２０によって手
指も上方へ移動させられ、手指等の異物が第二扉２２に
押しつけられる。第二扉２２は概略重力による重量のみ
によって下方に付勢されているので、手指等の異物が第
一扉２０と第二扉２２との間に挟まると、第二扉２２は
上方に移動し、手指等の異物を第一扉２０と第二扉２２
との間で押しつぶすことを回避する。このとき異物に
は、ほぼ第二扉２２の重量分の力しかかからず、第一扉
２０が上方移動限界位置まで移動しても、第一扉２０の
上端と開口部１８の上側の縁との間には手指の厚さ以上
の距離があるため、異物を完全に押しつぶすことはな
く、特に人間の手指の場合にはほとんど押しつぶすこと
はない。

【００２８】第二扉２２がその重量で第一扉２０に向か
って付勢されている場合には、第二扉２２の質量を調整
することによって異物を挟んだときに異物に加えられる
力を調整することができる。同様に、第二扉２２がバネ
等の付勢手段によって第一扉２０に向かって付勢されて
いる場合には、付勢手段の付勢力を調整することによっ
て異物を挟んだときに異物に加えられる力を調整するこ
とができる。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
ように構成された本発明によれば、扉の誤動作又は人的
ミスによって万一扉に手指を挟まれたときにも、駆動さ
れていない第二扉が移動することによって、挟まれた手
指に加えられる力を最小限に抑え、挟み込みによる怪我
等の発生を回避することができる。また、機械的に上記
の機能を達成することによって、センサ等の故障による
誤動作の発生の恐れをなくし、安全性を高めている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の安全扉を備える半導体の製造又は検査
のための装置の側面図である。

【図２】図１に示される本発明の安全扉を備える半導体
の製造又は検査のための装置の安全扉の部分を矢印１の
方向から見た矢視図である。

【図３】図２の第二扉付近を示す拡大詳細図である。

【図４】図３に示される部分の側面図である。

【図５】第一扉及び第二扉によって開口部を閉鎖する部
分の第一実施形態を示す第一扉と第二扉の端部付近の部
分側面図である。

【図６】第一扉及び第二扉によって開口部を閉鎖する部
分の第二実施形態を示す第一扉と第二扉の端部付近の部
分側面図である。

【図７】第一扉及び第二扉によって開口部を閉鎖する部
分の第三実施形態を示す第一扉と第二扉の端部付近の部
分側面図である。

【符号の説明】

１０…半導体製造装置 １２…安全扉 １４…装置本体 １８…開口部 ２０…第一扉 ２２…第二扉 ２６…駆動装置 ２８…軸線

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体を製造又は検査するための装置本
   体と、 前記装置本体に設けられた開口部と、 駆動装置によって一つの軸線に沿って駆動され、前記開
   口部の一部分を覆う第一扉と、 前記軸線に沿って前記第一扉に向かって付勢されてお
   り、前記開口部の一部分を覆う第二扉とを備え、 前記第一扉と前記第二扉とによって前記開口部を閉鎖す
   ることを特徴とする、安全扉を備える半導体の製造又は
   検査のための装置。
2. 【請求項２】 前記第一扉が装置本体の下側に設けら
   れ、前記第二扉が装置本体の上側に設けられ、前記第二
   扉が重力によって前記第一扉に向かって付勢される、請
   求項１に記載の安全扉を備える半導体の製造又は検査の
   ための装置。
3. 【請求項３】 前記第一扉が装置本体の上側に設けら
   れ、前記第二扉が装置本体の下側に設けられ、前記第二
   扉がバネによって前記第一扉に向かって付勢される、請
   求項１に記載の安全扉を備える半導体の製造又は検査の
   ための装置。
4. 【請求項４】 前記第一扉と前記第二扉が当接して前記
   開口部を閉鎖する、請求項１に記載の安全扉を備える半
   導体の製造又は検査のための装置。
5. 【請求項５】 前記第一扉と前記第二扉が重なる部分を
   有することによって前記開口部を閉鎖する、請求項１に
   記載の安全扉を備える半導体の製造又は検査のための装
   置。
6. 【請求項６】 前記第二扉の位置が変動したことを検出
   するための検出器をさらに備える、請求項１に記載の安
   全扉を備える半導体の製造又は検査のための装置。
7. 【請求項７】 壁に設けられた開口部を閉鎖する安全扉
   であって、 駆動装置によって一つの軸線に沿って駆動され、前記開
   口部の一部分を覆う第一扉と、 前記軸線に沿って前記第一扉に向かって付勢されおり、
   前記開口部の一部分を覆う第二扉とを備え、 前記第一扉と前記第二扉とによって前記開口部を閉鎖す
   ることを特徴とする、安全扉。