JP2000208923A - 半田付け装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半田の酸化を防止することで、確実に半田付
けを行うことができる。 【解決手段】 溶融半田１０が貯められる半田槽５と、
半田槽５の上側であってワーク２を搬送する搬送機構４
の上側に位置する上側カバー２６と搬送機構４の下側で
あって半田槽５の上側に位置する下側カバー２７とによ
り構成され、低酸素雰囲気が形成されるチャンバ６と、
チャンバ６内の上側に配設され、チャンバ６内に窒素ガ
ス等の不活性ガスを噴出する噴出部４２と、チャンバ６
内の搬送機構４と噴出部４２との間に配設され、噴出部
４２より噴射された不活性ガスをチャンバ６の上側に高
濃度に保持し、チャンバ６の上側に高濃度に保持された
不活性ガスをチャンバ６の下側に供給する複数の小孔４
７が半田槽５の液面に対応する領域に形成された整流板
４３とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回路基板と回路部
品から構成されるワークを搬送手段によって搬送しなが
ら、溶融はんだとワークを接触させて回路基板のランド
部に回路部品の端子を半田付けする半田付け装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、回路部品を仮止めした回路基板
（以下、ワークともいう。）を搬送手段により搬送しな
がら回路基板に形成されたランド部に回路部品の端子を
半田付けする半田付け装置は、半田付けを行う雰囲気中
の酸素により半田の表面が酸化し、半田の濡れ性が低下
し、ピンホールやブリッジ等の接続不良が生じすること
を防止するため、低酸素雰囲気で、回路部品の端子の回
路基板のランド部への半田付けを行う。

【０００３】例えば図１５に示す半田付け装置１０１
は、半田付けが行われる密閉空間部を構成するチャンバ
１０２を有し、このチャンバ１０２に溶融された半田
（以下、溶融半田ともいう。）が貯められる半田槽１０
３が配設されてなる。チャンバ１０２は、上側カバー１
０５と下側がバー１０６がワークの搬送機構を構成する
フレーム１０４に結合されることにより密閉空間部を構
成する。このチャンバ１０２内には、内部を予熱するプ
リヒータ１０７が複数配設されている。また、チャンバ
１０２の内部には、内部を低酸素雰囲気にするため不活
性ガスを注入するためのノズル１０８が配設されてい
る。ノズル１０８は、図１６に示すように、複数の小孔
１０９が穿設されており、これら小孔１０９より不活性
ガスが噴出される。チャンバ１０２内は、ノズル１０８
の小孔１０９より不活性ガスが注入されることにより、
低酸素雰囲気が形成される。半田槽１０３の底面には、
図１５に示すように、半田を溶融するヒータ１１０が配
設されている。半田槽１０３内には、溶融半田を搬送機
構により搬送されてくるワークに溶融半田を噴出するた
めの第１の半田ヘッド１１１及び第２の半田ヘッド１１
２が配設されている。

【０００４】また、チャンバ１０２には、ワークの入口
用開口部１１３及びワークの出口用開口部１１４が設け
られ、これら開口部１１３，１１４の周囲よりワークの
搬送方向に延長して延長カバー１１５，１１６が設けら
れている。そして、チャンバのワークの出入口用の開口
部１１３，１１４及び延長カバー１１５，１１６のワー
クの出入口用開口部１１７，１１８には、チャンバ１０
２内の低酸素雰囲気を保持するためのシャッタ１２１，
１２２，１２３，１２４が配設されている。

【０００５】以上のような半田付け装置１０１では、先
ず、搬送機構によりワークが搬送されると、上流側のシ
ャッタ１１７が開放され、次いで、上流側の延長カバー
１１５内にワークが導入され、この後シャッタ１１７閉
じられる。次に、チャンバ１０２の上流側の開口部１１
３を閉塞するシャッタ１２１が開放され、延長カバー１
１５内のワークは、チャンバ１０２内に搬送され、この
後シャッタ１２１が閉じられる。チャンバ１０２内にお
いて、ワークには、第１及び第２の半田ヘッド１１１，
１１２により溶融半田が接触され、半田付けが行われ
る。この後、チャンバ１０２の下流側の開口部１１４を
シャッタ１２２が開放し、チャンバ１０２内のワーク
は、下流側の延長カバー１１６内に搬送され、次いでシ
ャッタ１２２が閉じられる。そして、延長カバー１１６
内のワークは、シャッタ１２４が延長カバー１１６の下
流側の開口部１１８を開放することにより、半田付けさ
れたワークが取り出される。

【０００６】以上のような半田付け装置１０１では、シ
ャッタ１２１〜１２４が順に開閉動作することで、チャ
ンバ１０２内の低濃度酸素雰囲気を保持しながらワーク
に対し半田付けを行い、搬送することができる。そし
て、半田付け装置１０１は、チャンバ１０２内が低酸素
雰囲気に保持されることで、半田の酸化を防止すること
ができ、確実に回路基板のランド部に回路部品の端子を
半田付けすることができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、半田付け装
置１０１は、半田付けの効率を向上させるため、チャン
バ１０２内の酸素濃度を更に低くする必要がある。すな
わち、半田付け装置１０１では、チャンバ１０２内の酸
素濃度を更に低くすることで、接続不良を更になくすこ
とができ、また、半田槽１０３に生じる半田の酸化物の
発生を抑えることができ、この酸化物の除去作業の回数
を減らし、生産性の向上を図ることができる。

【０００８】また、上述した半田付け装置１０１は、ワ
ークのチャンバ１０２への挿入及びワークのチャンバ１
０２からの取り出しにシャッタ１２１〜１２４を必要と
し、これらを同期して操作させる必要があることから、
シャッタ１２１〜１２４の開閉機構及び制御機構が必要
となり、装置全体が複雑化し、装置全体の簡素化及び小
型化を図ることができなかった。

【０００９】更に、半田付け装置１０１は、シャッタ１
２１〜１２４の開閉機構及び制御機構を必要とし、装置
全体が複雑で大型であることから、チャンバ１０２及び
半田槽１０３のメンテナンスを行うのに多くの時間を要
することになり、メンテナンスの作業効率の向上を図る
ことが困難であった。

【００１０】更にまた、半田付け装置１０１は、シャッ
タ１２１〜１２４を開閉することにより、ワークを搬送
することから、ワークの搬送速度を上げることが困難で
あり、生産性の向上を図ることが困難であった。

【００１１】そこで、本発明は、半田の酸化を防止する
ことで、確実に半田付けを行うことができる新規な半田
付け装置を提供することを目的とする。

【００１２】また、本発明は、半田付け速度を上げ生産
効率の向上を図ることができる半田付け装置を提供する
ことを目的とする。

【００１３】更にまた、本発明は、チャンバや半田槽の
メンテナンスを容易に行うことができる半田付け装置を
提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る半田付け装
置は、上述のような課題を解決すべく、溶融された半田
が貯められる半田槽と、半田槽の上側であってワークを
搬送する搬送手段の上側に位置する上側カバーと搬送手
段の下側であって半田槽の上側に位置する下側カバーと
により構成され、低酸素雰囲気が形成されるチャンバ
と、チャンバ内の上側に配設され、チャンバ内に窒素ガ
ス等の不活性ガスを噴出する噴出部と、チャンバ内の搬
送手段と噴出部との間に配設され、噴出部より噴射され
た不活性ガスをチャンバの上側に高濃度に保持し、チャ
ンバの上側に高濃度に保持された不活性ガスをチャンバ
の下側に供給する複数の小孔が半田槽の液面に対応する
領域に形成された整流板とを備える。整流板は、小孔よ
りチャンバ下部に緩やかに不活性ガスを供給する。チャ
ンバ下部は、不活性ガスが緩やかに供給されることか
ら、半田付けが行われるチャンバ下部の雰囲気を乱すこ
となく不活性ガスが供給され低酸素雰囲気を形成するこ
とができる。また、チャンバの下部は、チャンバの側面
に設けられた部より整流板の開口部を介して目視可能と
される。

【００１５】また、この半田付け装置は、更に、ワーク
を出し入れするためチャンバのワークの搬送方向の壁面
に形成された開口部と、この開口部よりワークの搬送方
向に延長して上記ンバに設けられる延長カバーとを備
え、延長カバーの下側に、ワークの搬送方向と直交する
方向に、上記ンバー内の不活性ガスの流出を規制する規
制板が設けられてなる。また、延長カバーの上側には、
ワークの搬送方向と直交する方向に、チャンバ内の不活
性ガスの流出を規制する可撓性を有する規制カーテンが
配設されている。これにより、チャンバに設けられた出
入口要開口部より不活性ガスが流出することが防止でき
る。

【００１６】また、本発明に係る半田付け装置は、上述
のような課題を解決すべく、溶融された半田が貯められ
る半田槽と、半田槽の上側であってワークを搬送する搬
送手段の上側に位置する上側カバーと搬送手段の下側で
あって半田槽の上側に位置する下側カバーとにより構成
され、低酸素雰囲気が形成されるチャンバと、チャンバ
内の上側に配設され、チャンバ内に不活性ガスを噴出す
る第１の噴出部と、チャンバ内の搬送手段と第１の噴出
部との間に配設され、第１の噴出部より噴出された不活
性ガスをチャンバの上側に高濃度に保持し、チャンバの
上側に高濃度に保持された不活性ガスをチャンバの下側
に供給する整流板と、チャンバ内の整流板の下側に配設
され、ワークに対して半田付けを行う場所に向かって不
活性ガスを噴出する第２の噴出部とを備える。この半田
付け装置は、第２の噴出部がチャンバの下部にも不活性
ガスを噴出することから、ワークの半田付けが行われる
下部の不活性ガスの濃度を高めた低濃度酸素雰囲気を形
成することができ、良好に半田付けすることができる。
また、第２の噴出部は、半田付けを行う位置に不活性ガ
スを噴出することで、常に半田付けする場所の不活性ガ
スの濃度を一定に保つことができる。さらには、第２の
噴出部は、ワークが半田付けを行う位置に搬送されたと
き、一時的に不活性ガスの濃度が下がることを防止する
ことができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明が適用された半田付
け装置について、図面を参照して説明する。この半田付
け装置１は、図１に示すように、ワーク２の搬送方向を
長手方向とするフレーム３を有し、この本体フレーム３
にワーク２を搬送する搬送機構４が配設されてなる。ま
た、半田付け装置１は、本体フレーム３の下側に半田槽
５が配設され、この半田槽５とともに密閉空間部を構成
し、低酸素雰囲気が形成されるチャンバ６が配設されて
なる。この半田付け装置１は、搬送機構４によりチャン
バ６内にワーク２が搬送されると、ワーク２に半田槽５
内の溶融半田１０が接触され、半田付けが行われる。

【００１８】半田付けを行うワーク２を搬送する搬送機
構４は、図１乃至図３に示すように、本体フレーム３の
内側に、ワーク２を搬送するための搬送ガイドレール
７，８を有する。搬送ガイドレール７，８は、互いに平
行に配設され、搬送するワーク２を保持する保持片９が
取り付けられるチェーン１１が内蔵されている。チェー
ン１１は、ワーク２の搬送路の始端と終端に配設された
スプロケットホイール１２に噛合され、スプロケットホ
イール１２が図示しない駆動機構により回転駆動される
ことにより走行される。そして、チェーン１１には、ブ
ラケット１３を介してワーク２を保持する保持片９が複
数設けられている。保持片９は、図３に示すように、本
体フレーム３の内方に向かって先端部が折曲され、ここ
にワーク２の搬送方向と平行な両側縁部に係止される係
止部９ａが形成されている。ワーク２は、搬送ガイドレ
ール７，８のそれぞれに設けられた保持片９，９に保持
されて、スプロケットホイール１２が回転駆動されチェ
ーン１１が走行されることにより、図１中矢印Ｘ方向に
搬送される。また、このような搬送機構４は、ワーク２
の搬送方向である図１中Ｘ方向がやや上側を向くように
傾斜して配設される。

【００１９】半田付け装置１に用いられる半田槽５は、
図２及び図４に示すように、略矩形状に形成され、上面
が開口されてなる。半田槽５は、外部容器１６内に内部
容器１７が配設され、この内部容器１７内に溶融半田１
０が貯められる。内部容器１７の内面には、半田を加熱
し溶融するヒータ１８が配設されている。ヒータ１８
は、内部容器１７を構成する側壁１７ａの内周面に配設
され、半田の溶融温度まで内部容器１７内を加熱する。

【００２０】この半田槽５内には、内部容器１７内の溶
融半田１０を搬送機構４に保持されたワーク２に塗布す
るための第１の半田ヘッド２１と第２の半田ヘッド２２
とが並んで配設されている。第１の半田ヘッド２１は、
搬送されるワーク２の全面に溶融半田１０を噴射するヘ
ッドであり、ワーク２の搬送方向の上手側に配設され
る。第２の半田ヘッド２２は、第１の半田ヘッド２１に
より付着された溶融半田１０のうち余分な溶融半田１０
を除去する等第１の半田ヘッド２１の補完的な役割を有
するヘッドであり、ワークの搬送方向の下手側に配設さ
れる。これら第１の半田ヘッド２１と第２の半田ヘッド
２２は、先端部が溶融半田１０の液面Ｐよりやや突出
し、ワーク２に塗布する位置よりやや下側に位置するよ
う配設される。

【００２１】このような第１の半田ヘッド２１と第２の
半田ヘッド２２は、図２に示すように、ワーク２の搬送
方向と直交する方向を長手方向とし、ワーク２の全面に
溶融半田１０を塗布することができるように少なくとも
ワーク２の搬送方向と直交する辺より長くなるように形
成されている。第１の半田ヘッド２１及び第２の半田ヘ
ッド２２の先端部には、溶融半田１０を噴射するための
スリット２３，２４が形成されている。また、詳細は省
略するが第１の半田ヘッド２１と第２の半田ヘッド２２
には、内部容器１７内の溶融半田１０を吸引し、スリッ
ト２３，２４より溶融半田１０を噴射するための吸引機
構が配設されている。

【００２２】以上のような半田槽５は、図２に示すよう
に、支持台２５に支持されている。支持台２５は、半田
槽５を移動操作することができるように、ワーク２の搬
送方向と平行な図１及び図２中矢印Ｘ方向及び反矢印Ｘ
方向並びにワーク２の搬送方向と直交する図１及び図２
中矢印Ｙ方向及び反矢印Ｙ方向に移動可能にガイドされ
いる。半田槽５は、半田槽５のメンテナンスを行うと
き、先ず図１及び図２中矢印Ｘ方向に移動される。この
とき、搬送機構４が上手側が上を向くように傾斜して設
けられていることから、半田槽５は、図１に示すよう
に、搬送機構４に対してやや離間した状態となる。この
状態で、半田槽５は、図１及び図２中反矢印Ｙ方向に移
動させることにより、チャンバ６より取り外される。ま
た、半田槽５をチャンバ６に取り付ける場合、先ず、半
田槽５は、図１及び図２中矢印Ｙ方向に移動操作され
る。この後、半田槽５は、図１及び図２中反矢印Ｘ方向
に移動されることにより、チャンバ６に圧着した状態で
取り付けられる。このとき、詳細は後述するチャンバ６
を構成する下側カバー２７を本体フレーム３に圧着し、
チャンバ６内の気密性を維持することができる。なお、
半田槽５は、更に半田槽５を上下方向に移動操作するこ
とができる更なる支持台にも接続するようにしても良
い。

【００２３】また、ワーク３に対して半田付けが行われ
るチャンバ６は、図３及び図４に示すように、本体フレ
ーム３を介して上側に配設される上側カバー２６と、本
体フレーム３を介して下側に配設される下側カバー２７
とにより構成される。チャンバ６を構成する上側カバー
２６は、略矩形状に形成され、搬送機構４と対向する底
面が開放されてなる。また、上側カバー２６は、装置本
体の正面側の側面が上側に向かって鋭角に傾斜した傾斜
面部２６ａにより形成され、残る３側面が垂直な垂直面
部２６ｂにより形成されている。傾斜面部２６ａには、
略中央に、チャンバ６内を目視するための矩形状の窓部
２８が形成されている。また、傾斜面部２６ａには、窓
部２８を開閉するドア２９が回動可能に取り付けられて
いる。ドア２９には、開閉操作を容易に行うための操作
部２９ａが一体に設けられている。チャンバ６内は、窓
部２８が傾斜面部２６ａに設けられていることから、容
易に内部をみることができ、チャンバ６の下部６ｂも容
易に見ることができる。勿論、この窓部２８は、他の側
面も上側に向かって鋭角に傾斜する傾斜面部を形成し、
傾斜面部を構成する側面にそれぞれ設けるようにしても
良い。

【００２４】そして、このような上側カバー２６は、チ
ャンバ６内部のメンテナンス等を行うため本体フレーム
３に着脱可能により取り付けられる。このとき、上側カ
バー２６は、チャンバ６が密閉空間部を構成できるよう
にパッキングにより取り付けられる。

【００２５】この上側カバー２６は、図３及び図５に示
すように、チャンバ６内のメンテナンス等を行う際、移
動操作機構３１により背面側に移動操作することができ
る。この移動操作機構３１は、図３に示すように、上側
カバー２６に取り付けられ、上側カバー２６をワーク２
の搬送方向と直交する図３中矢印Ｙ方向でやや上方に向
かって移動させるための一対のガイド部材３２，３３
と、ガイド部材３２，３３が係合されるガイド溝３４，
３５が形成され、上側カバー２６を移動操作する際、上
側カバー２６を支持する支持部材３６，３７とを備え
る。ガイド部材３２，３３は、一端が上側カバー２６の
ワーク２の搬送方向と直交する側の側壁２６ａに取り付
けられ、他端がワーク２の搬送方向と直交する方向であ
ってやや上方を向くように取り付けられる。上側カバー
２６を支持する支持部材３６，３７は、互いに対向する
面にガイド部材３２，３３の他端側が係合するガイド溝
３４，３５が形成されている。ガイド溝３４，３５は、
上側カバー２６をワーク２の搬送方向と直交する方向に
移動操作した際、本体フレーム３と図３中Ｙ方向に移動
するとともに、本体フレーム３から離間する方向に移動
することができるように、ガイド部材３２，３３の傾斜
角に対応して設けられている。また、移動操作機構３１
は、上側カバー２６をワーク２の搬送方向である図３中
矢印Ｘ方向及び反矢印Ｘ方向に移動するためのガイド板
３８を有する。ガイド板３８は、装置本体を構成するシ
ャーシに固定され、このガイド板３８には、支持部材３
６，３７の基端側に設けられた係合部３９，４０が係合
される。

【００２６】以上のような上側カバー２６の移動操作機
構３１は、本体フレーム３と結合するパッキングを解除
した後、図示しない駆動機構によりガイド溝３４，３５
にガイド部材３２，３３が取り付けられた上側カバー２
６が図３中矢印Ｙ方向でやや上方に向かって図５中二点
鎖線で示す移動位置まで移動され、次いで、図示しない
駆動機構により図３中矢印Ｘ方向又は反矢印Ｘ方向に移
動される。これにより、上側カバー２６は、本体フレー
ム３に衝突することなく円滑に移動操作することがで
き、また、下側カバー２７と離間した位置まで移動され
ることから、容易に上側カバー２６のメンテナンスを行
うことができ、また、下側カバー２７若しくは半田槽５
のメンテナンスを行うことができる。また、上側カバー
２６は、移動位置まで直線的に移動されることから、移
動距離を短くすることができ、移動時間の短縮を図るこ
とができる。なお、上側カバー２６を移動操作する駆動
機構は、モータ等であってもよく、また、手動であって
もよい。

【００２７】また、チャンバ６を構成する下側カバー２
７は、上側カバー２６と大きさがほぼ同じ略矩形状に形
成され、搬送機構４と対向する上面が開放されてなる。
下側カバー２７は、側面が垂直壁２７ａにより形成され
ている。また、下側カバー２７には、底面側より半田槽
５が進入され、内部に第１及び第２の半田ヘッド２１，
２２が臨まされている。下側カバー２７には、半田槽５
が着脱可能に取り付けられており、パッキングにより取
り付けられることによりチャンバ６内の気密性を維持で
きるようにされている。また、下側カバー２７は、これ
と同様に、本体フレーム３にも着脱可能に取り付けられ
ており、パッキングにより取り付けられることによりチ
ャンバ６内の気密性を維持できるようにされている。半
田槽５は、上述したように、下側カバー２７と本体フレ
ーム３とのパッキング及び下側カバー２７と半田槽５と
のパッキングを外した後、支持台２５を操作し、下側カ
バー２７より取り外される。

【００２８】以上のような上側カバー２６，下側カバー
２７及び本体フレーム３とにより構成されるチャンバ６
は、本体フレーム３に対して上側カバー２６と下側カバ
ー２７とがパッキングにより取り付けられることで気密
性の保たれた密閉空間が内部に形成される。このように
密閉空間部が形成されたチャンバ６内には、図３及び図
４に示すように、上側カバー２６側に、内部を低酸素雰
囲気にするため、内部に不活性ガスを供給するためのガ
ス供給パイプ４１が設けられている。具体的に、ガス供
給パイプ４１は、図４に示すように、上側カバー２６の
上面側に、上面と側面とがなすコーナ部に沿って配管さ
れている。そして、このガス供給パイプ４１には、チャ
ンバ６の下方に向かって不活性ガスを噴出するための噴
出部４２が等間隔に設けられている。例えば図３に示す
ように、噴出部４２は、上側カバー２６のワーク２の搬
送方向と平行な長辺方向に、６つ等間隔に設けられ、上
側カバー２６のワーク２の搬送方向と直交する短辺方向
には、等間隔に３つ設けられている。チャンバ６内は、
噴出部４２が等間隔に設けられることで、チャンバ６内
の不活性ガスの濃度を均一にすることができる。

【００２９】ここで、チャンバ６内に注入される不活性
ガスは、半田が酸化することを防止するために用いられ
ることから、半田と化学反応を起こしにくく、酸化作用
の低い気体が用いられる。この不活性ガスは、好ましく
は窒素ガスであるが、他にヘリウム、ネオン、アルゴ
ン、クリプトン、クセノン、ラドン等を用いることも可
能であり、また、これらの混合ガスであってもよい。

【００３０】また、チャンバ６内の上側カバー２６側に
は、図３及び図４に示すように、噴出部４２より噴出さ
れた不活性ガスの気流を整流する整流板４３が配設され
ている。この整流板４３は、噴出部４２と搬送機構４と
の間に、チャンバ６内を上部６ａと下部６ｂに仕切るよ
うに配設される。この整流板４３は、外側に設けられる
外側平面部４４と、外側平面部４４と連続して下側に向
かって折曲された傾斜面部４５と、傾斜面部４５と連続
して内側に設けられる内側平面部４６とからなり、内側
平面部４６に複数の小孔４７が設けられてなる。外側平
面部４４は、噴出部４２と対向する位置に設けられる。
また、整流板４３は、図５に示すように、上側カバー２
６の正面側が、上面より垂下するように取り付けられる
とともに、残る側面側が上側カバー２６の垂直面部２６
ｂに接合されている。これにより、チャンバ６内は、上
側カバー２６の傾斜面部２６ａに設けられた窓部２８よ
りチャンバ６の下部、例えば半田層５の液面をを、整流
板４３に邪魔されることなく見ることができる。以上の
ように取り付けられた整流板４３は、チャンバ６の上部
６ａは、下部６ｂに比べて窒化ガスが高濃度に保持され
る。そして、チャンバ６の上部６ａの不活性ガスは、均
等に下部６ｂへ供給される。

【００３１】噴出部４２より噴出された不活性ガスは、
噴出部４２より外側平面部４４に向かって噴出され、外
側平面部４４により反射され、チャンバ６の上側へ向か
う。これにより、チャンバ６内における不活性ガスの濃
度は、上部６ａが下部６ｂより高濃度になる。そして、
流速が落ちた不活性ガスは、整流板４３に沿って小孔４
７が設けられた内側平面部４６に向かって流れる。この
とき、整流板４３には、傾斜面部４５が設けられている
ことから、緩やかに内側平面部４６に向かって流れる。
そして、不活性ガスは、内側平面部４６に設けられた複
数の小孔４７よりチャンバ６の下部６ｂに供給される。
このとき、不活性ガスは、チャンバ６の下部６ｂに緩や
かに供給されることから、下部６ｂの雰囲気を乱すこと
が防止でき、安定した窒化ガス雰囲気中で半田付けを行
うことができる。

【００３２】以上のように構成されるチャンバ６の下部
６ｂには、図３及び図４に示すように、搬送機構４によ
り搬送されるワーク２を出し入れするための入口用開口
部４８と出口用開口部４９とが設けられている。そし
て、チャンバ６には、入口用開口部４８から搬送機構４
を覆うように入口側カバー５１が一体的に設けられ、出
口用開口部４９から搬送機構４を覆うように出口用カバ
ー５２が設けられている。

【００３３】入口用カバー４８には、チャンバ６内の窒
素ガスが入口用開口部４８より流出すること規制する規
制カーテン５３が配設されている。規制カーテン５３
は、可撓性を有する耐熱性樹脂シートを略平紐状となる
ように切れ目を入れて形成されている。この規制カーテ
ン５１は、入口用カバー５１の上部より吊された際、下
端が搬送機構４に接触する長さに形成され、上部より垂
下するように取り付けられる。規制カーテン５３は、入
口用カバー５１より複数吊り下げられることで、チャン
バ６内の不活性ガスが入口用開口部４８より流出するこ
とを防止している。また、規制カーテン５３は、可撓性
を有することから、円滑にワーク２をチャンバ６内に搬
送することができる。

【００３４】また、出口用カバー５２には、チャンバ６
内の窒素ガスが出口用開口部４９より流出すること規制
する規制カーテン５４が設けられている。規制カーテン
５４は、可撓性を有する耐熱性樹脂シートを略平紐状と
なるように切れ目を入れて形成され、出口用カバー５２
の上部より吊された際、下端が搬送機構４に接触する長
さに形成され、上部より垂下するように取り付けられ
る。規制カーテン５４は、出口用カバー５２より複数吊
り下げられることで、チャンバ６内の不活性ガスが出口
用開口部４９の上部より流出することを防止している。
また、規制カーテン５４は、可撓性を有することから、
円滑にワーク２をチャンバ６内に搬送することができ
る。また、出口用カバー５２には、底部側から略垂直に
チャンバ６内の窒化ガスが出口用開口部４９より流出す
ることを規制する規制板５５が複数設けられている。規
制板５５は、チャンバ６内の不活性ガスが出口用開口部
４９の下部より流出することを防止している。すなわ
ち、不活性ガスは、ワーク２の搬送方向となる出口用開
口部４９より流出しやすいことから、入口用カバー５１
側には、規制カーテン５２が設けられているのみに対
し、出口用カバー５２には、規制カーテン５４及び規制
板５５が設けられ、不活性ガスが出口用開口部４９より
不活性ガスが流出しにくくなっている。

【００３５】なお、この規制板５５は、出口用カバー４
９側に設けるのみならず、入口用カバー５１側に設ける
ようにしても良い。入口用カバー５１側にも設けた場合
には、さらに入口用開口部４８からの不活性ガスの流出
を防止することができる。

【００３６】以上のような半田付け装置１は、先ずチャ
ンバ６内を低酸素の窒化ガスの雰囲気を形成した後、搬
送機構４によりワーク２がチャンバ６内に搬送される。
すなわち、チャンバ６内には、図３及び図４に示すよう
に、図示しない不活性ガスの供給機構によりガス供給パ
イプ４１に不活性ガスが供給され、噴出部４２より不活
性ガスが噴出されることにより不活性ガスが供給され
る。すると、この不活性ガスは、噴出部４２より外側平
面部４４に向かって噴出され、外側平面部４４により反
射され、チャンバ６の上側へ向かう。これにより、不活
性ガスは、流速が落ち、この後、整流板４３に沿って外
側平面部４４より傾斜面部４５を介して内側平面部４６
に向かって流れる。このとき、整流板４３には、傾斜面
部４５が設けられていることから、緩やかに内側平面部
４６に向かって流れ、不活性ガスは、小孔４７よりチャ
ンバ６の下部６ｂに供給される。かくして、チャンバ６
内には、不活性ガスによる低酸素雰囲気が形成される。
また、半田槽５では、半田がヒータ１８により溶融半田
１０にされている。

【００３７】ここで、図６は、チャンバ６内に窒素ガス
を１６０リットル／ｍｉｎで供給したときの、窒素ガス
の供給時間（分）とチャンバ６内に残留する酸素の酸素
濃度（ｐｐｍ）との関係を示す図であり、ここでの酸素
濃度は、実際に半田付けが行われるチャンバ６の下部６
ｂの第１及び第２の半田ヘッド２１，２２より１０ｍｍ
上で測定したものである。図６に示すように、チャンバ
６内では、窒素ガスの供給開始後約７分経過した後より
酸素濃度を約３００ｐｐｍ以下にすることができる。な
お、図示しないが、このときのチャンバ６の上部６ａの
酸素濃度は、５ｐｐｍ以下となる。

【００３８】また、図７は、チャンバ６内に供給する窒
素ガスの供給量（リットル／ｍｉｎ）とチャンバ６内に
残留する酸素濃度（ｐｐｍ）との関係を示す図である。
図７に示すように、チャンバ６内（下部６ｂの第１及び
第２の半田ヘッド２１，２２より１０ｍｍ上）では、窒
素ガスの供給量を増やすことで、低酸素雰囲気を効率よ
く形成することができる。すなわち、従来の半田付け装
置において、半田付けは、チャンバ６内の酸素濃度が数
千ｐｐｍの雰囲気で行われていたが、この半田付け装置
１では、チャンバ６内に窒素ガスを１６０リットル／ｍ
ｉｎで供給したとき、酸素濃度を３００ｐｐｍ以下の低
酸素雰囲気を形成することができ、半田付けを良好な半
田付けを行うことができるとともに、半田槽５に生じる
半田の酸化物であるドロスの発生量を抑えることができ
る。

【００３９】この後、チャンバ６内には、搬送機構４に
よりワーク２が搬送される。すなわち、ワーク２は、搬
送ガイドレール７，８のそれぞれに設けられた保持片
９，９に保持されて、スプロケットホイール１２が回転
駆動されチェーン１１が走行されることにより、図１中
矢印Ｘ方向に搬送される。このとき、入口用カバー５１
には、規制カーテン５３が設けられていることから、チ
ャンバ６内の不活性ガスが入口用開口部４８より流出す
ることが防止できる。また、規制カーテン５３は、可撓
性を有することから、ワーク２を円滑にチャンバ６内に
搬送することができる。

【００４０】そして、チャンバ６内に搬送されたワーク
２には、溶融半田１０が噴出される。すなわち、溶融半
田１０は、第１の半田ヘッド２１及び第２の半田ヘッド
２２より噴出され、ワークに接触される。このとき、チ
ャンバ６内は、低酸素雰囲気が形成されていることか
ら、半田の酸化を防止することができ、良好な半田付け
を行うことができる。また、チャンバ６内は、低酸素雰
囲気が形成されていることから、半田槽５内にドロスの
発生量を抑えることができ、ドロスの除去作業等のメン
テナンスの回数を減らすことができ、生産効率の向上を
図ることができる。また、半田付け装置１は、ドロスの
発生を押させることができることから、半田の使用量を
減らすことができる。

【００４１】半田付けが行われたワーク２は、搬送機構
４により出口用開口部４９より排出される。このとき、
出口用カバー５２には、規制カーテン５４及び規制板５
５が設けられていることから、不活性ガスの流出量を抑
えることができる。

【００４２】また、この半田付け装置１は、上側カバー
２６の傾斜面部２６ａに設けられた窓部２８よりチャン
バ６の内部を目視することができ、また、チャンバ６の
下部６ｂや半田槽５を目視することができる。このと
き、窓部２８は、上側カバー２６の正面側の傾斜面部２
６ａに形成されていることから、容易にチャンバ６内を
目視することができる。

【００４３】そして、この半田付け装置１では、チャン
バ６のメンテナンスを容易に行うことができる。すなわ
ち、上側カバー２６を取り外す場合には、本体フレーム
３と上側カバー２６とを結合するパッキングを解除し、
この後、図示しない駆動機構によりガイド溝３４，３５
にガイド部材３２，３３が取り付けられた上側カバー２
６を図３中矢印Ｙ方向でやや上方に向かって移動操作
し、図５中２点鎖線で示す移動位置まで移動する。この
後、上側カバー２６は、図示しない駆動機構により図３
中矢印Ｘ方向に移動されることで、本体フレーム３より
取り外される。これにより、上側カバー２６は、本体フ
レーム３に衝突することなく円滑に移動操作することが
でき、また、下側カバー２７と離間した位置まで移動さ
れることから、容易に上側カバー２６のメンテナンスを
行うことができ、また、下側カバー２７若しくは半田槽
５のメンテナンスを行うことができる。なお、上側カバ
ー２６を本体フレーム３の所定位置に取り付ける場合に
は、先ず、上側カバー２６を、図示しない駆動機構によ
り図３中反矢印Ｘ方向に移動し、この後、反矢印Ｙ方向
に移動することで本体フレーム３の所定位置に移動さ
れ、この後、本体フレーム３と上側カバー２６とをパッ
キングすることにより本体フレーム３に結合される。

【００４４】また、半田槽５に発生したドロスを除去す
る場合、半田槽５は、上述したように、下側カバー２７
と本体フレーム３とのパッキング及び下側カバー２７と
半田槽５とのパッキングを外した後、支持台２５を操作
し、下側カバー２７より取り外される。すなわち、半田
槽５は、先ず図１及び図２中矢印Ｘ方向に移動される。
このとき、搬送機構４が上手側が上を向くように傾斜し
て設けられていることから、半田槽５は、図１に示すよ
うに、搬送機構４に対してやや離間した状態となる。こ
の状態で、半田槽５は、図１及び図２中反矢印Ｙ方向に
移動させることにより、チャンバ６より取り外され、ド
ロスの除去作業を行うことができる。また、半田槽５を
チャンバ６に取り付ける場合、先ず、半田槽５は、図１
及び図２中矢印Ｙ方向に移動操作され、この後、図１及
び図２中矢印Ｘ方向に移動されることにより、チャンバ
６に圧着した状態で取り付けられる。このとき、下側カ
バー２７を本体フレーム３に圧着し、チャンバ６内の気
密性を維持することができる。

【００４５】ここで、図８は、ドロスの発生量（ｋｇ／
８ｈ）とチャンバ６内に残存する酸素の酸素濃度（ｐｐ
ｍ）との関係を示す図であり、ここでの酸素濃度は、図
６及び図７と同様に、実際に半田付けが行われるチャン
バ６の下部６ｂの第１及び第２の半田ヘッド２１，２２
より１０ｍｍ上で測定したものである。図８に示すよう
に、図６に示す条件、すなわち、チャンバ６内に窒素ガ
スを１６０リットル／ｍｉｎで供給し、３００ｐｐｍの
酸素濃度では、約０．５ｋｇのドロスが発生した。従来
の半田付け装置では、図示しないが８時間で１０ｋｇの
ドロスが発生していたことから、約９．５ｋｇ減少させ
ることができた。従来の半田付け装置では、半田槽より
ドロスがあふれ出ることを防止するため、通常３，４時
間に一度ラインを止めてドロスの除去作業を行っていた
が、この半田付け装置１では、４８時間の運転で１回の
ドロス除去作業を行えばよいことになり、生産効率の向
上を図ることができる。

【００４６】次に、本発明が適用された他の半田付け装
置６１について、図面を参照して説明する。なお、上述
した半田付け装置１と同一の部材については、同一の符
号を付してその詳細は省略する。この半田付け装置６１
は、上側カバー２６と下側カバー２７とにより構成され
るチャンバ６内の整流板４３により仕切られる上部６ａ
と下部６ｂのそれぞれに不活性ガスを噴出する第１の噴
出部６２と第２の噴出部６３が設けられたことを特徴と
する。ここで、第１の噴出部６２は、上述した半田付け
装置１の噴出部４２と同一であるため詳細は省略する。

【００４７】第２の噴出部６３は、図９に示すように、
下側カバー２７と本体フレーム３との間に配設される。
第２の噴出部６３は、略矩形状のチャンバ６の正面側と
背面側、すなわち、ワーク２の搬送方向と平行な側に配
設される。第２の噴出部６３は、図１０に示すように、
断面が略五角形となるようなガス供給パイプ６４の先端
部に複数設けられた小孔よりなる。そして、第２の噴出
部６３は、チャンバ６の内方、すなわちワーク２と溶融
半田１０との接触部に向かうように設けられている。こ
のような第２の噴出部６３からは、ガス供給パイプ６４
に不活性ガスが図示しないガス供給機構より供給される
ことで噴出される。ここで、噴出される不活性ガスは、
第１の噴出部６２より噴出される不活性ガスと同じもの
であり、例えば窒化ガスである。

【００４８】この第２の噴出部６３が形成されたガス供
給パイプ６４は、本体フレーム３と下側カバー２７の開
口端との間に配設される。そして、このガス供給パイプ
６４と本体フレーム３との間には、チャンバ６の気密性
を確保するための気密材６６が配設される。このような
第２の噴出部６３が設けられた半田付け装置６１は、上
述した半田付け装置１と同様に、下側カバー２７を着脱
することができる。

【００４９】このように第２の噴出部６３は、チャンバ
６の下部６ｂにも不活性ガスを噴出することから、ワー
ク２の半田付けが行われる下部６ｂの不活性ガスの濃度
を高めることができ、上述した半田付け装置１のチャン
バ６の下部６ｂより更に低濃度酸素雰囲気を形成するこ
とができ、良好に半田付けすることができる。また、第
２の噴出部６３は、半田付けを行う位置に不活性ガスを
噴出することで、常に半田付けする場所の不活性ガスの
濃度を一定に保つことができる。さらには、第２の噴出
部６３は、ワーク２が半田付けを行う位置に搬送された
とき、一時的に不活性ガスの濃度が下がることを防止す
ることができる。

【００５０】なお、この半田付け装置６１に用いる整流
板は、上述した小孔が形成されたものの他、不活性ガス
をチャンバ６の下部６ｂに供給できるものであれば、例
えば中央部に、矩形或いは円形の開口部が設けられたも
のであってもよい。

【００５１】ここで、図１１は、チャンバ６内に第１の
噴出部６２により窒素ガスを１３０リットル／ｍｉｎで
供給し、第２の噴出部６３により窒素ガスを３０リット
ル／ｍｉｎ供給し、合計でチャンバ６内に１６０リット
ル／ｍｉｎ供給したときの、窒素ガスの供給時間（分）
とチャンバ６内に残留する酸素の酸素濃度（ｐｐｍ）と
の関係を示す図であり、ここでの酸素濃度は、実際に半
田付けが行われるチャンバ６の下部６ｂの第１及び第２
の半田ヘッド２１，２２より１０ｍｍ上で測定したもの
である。図１１に示すように、チャンバ６内では、窒素
ガスの供給開始後約５分経過した後より酸素濃度を約３
０ｐｐｍ以下にすることができる。なお、図示しない
が、このときのチャンバ６の上部６ａの酸素濃度は、５
ｐｐｍ以下となる。

【００５２】また、図１２は、ワーク２の搬送中に、第
１の噴出部６２からのみ窒素ガスを１３０リットル／ｍ
ｉｎ供給したときのチャンバ６内の酸素濃度（ｐｐｍ）
の変動を示したものであり、ここでの酸素濃度は、実際
に半田付けが行われるチャンバ６の下部６ｂの第１及び
第２の半田ヘッド２１，２２より１０ｍｍ上で測定した
ものである。この場合、図１２に示すように、酸素濃度
の変動は、４５０ｐｐｍから８５０ｐｐｍの範囲で変動
していることがわかる。これに対して、図１３は、ワー
ク２の搬送中に、第１の噴出部６２がら窒素ガスを１３
０リットル／ｍｉｎ供給し、第２の噴出部６３から窒素
ガスを３０リットル／ｍｉｎ供給したときのチャンバ６
内の酸素濃度（ｐｐｍ）の変動を示したものであり、こ
こでの酸素濃度は、実際に半田付けが行われるチャンバ
６の下部６ｂの第１及び第２の半田ヘッド２１，２２よ
り１０ｍｍ上で測定したものである。この場合、図１３
に示すように、酸素濃度の変動は、５０ｐｐｍから２０
０ｐｐｍの範囲で変動していることがわかる。このよう
に、半田付け装置６１では、第２の噴出部６３より窒素
ガスを噴出することで、ワーク２の搬送時においても、
従来よりも低酸素雰囲気で酸素濃度の変動を少なくする
ことができる。従って、半田付け装置１は、半田付けを
良好に行うことができると共に、半田槽５に生じる半田
の酸化物であるドロスの発生量を抑えることができる。

【００５３】また、図１４は、ドロスの発生量（ｋｇ／
８ｈ）とチャンバ６内に残存する酸素の酸素濃度（ｐｐ
ｍ）との関係を示す図であり、ここでの酸素濃度は、実
際に半田付けが行われるチャンバ６の下部６ｂの第１及
び第２の半田ヘッド２１，２２より１０ｍｍ上で測定し
たものである。図１４に示すように、第１の噴出部６２
がら窒素ガスを１３０リットル／ｍｉｎ供給し、第２の
噴出部６３から窒素ガスを３０リットル／ｍｉｎ供給し
た３０ｐｐｍの酸素濃度では、約０．３ｋｇのドロスが
発生した。従来の半田付け装置では、図示しないが８時
間で１０ｋｇのドロスが発生していたことから、約９．
７ｋｇ減少させることができた。従来の半田付け装置で
は、半田槽よりドロスがあふれ出ることを防止するた
め、通常３，４時間に一度ラインを止めてドロスの除去
作業を行っていたが、この半田付け装置１では、８０時
間の運転で１回のドロス除去作業を行えばよいことにな
り、生産効率の向上を図ることができる。

【００５４】

【発明の効果】本発明に係る半田付け装置によれば、噴
出部より噴射された不活性ガスは、整流板の上側に高濃
度に保持され、整流板の小孔よりチャンバ下部の半田付
けが行われるチャンバ下部に不活性ガスが供給されるこ
とで、従来より酸素濃度の低い低酸素雰囲気を形成する
ことができ、半田の酸化を防止することができ、半田付
けを確実に行うことができる。また、この半田付け装置
は、従来より酸素濃度の低い低酸素雰囲気を形成するこ
とができることから、半田槽に半田の酸化物が発生する
ことを抑えることができ、半田の使用量を減らすことが
できるとともに、この酸化物の除去作業の回数を減らす
ことができ、生産効率の向上を図ることができる。

【００５５】また、本発明に係る半田付け装置によれ
ば、第２の噴出部がチャンバの下部にも不活性ガスを噴
出することから、ワークの半田付けが行われる下部の不
活性ガスの濃度を高めた低濃度酸素雰囲気を形成するこ
とができ、良好に半田付けすることができる。また、第
２の噴出部は、半田付けを行う位置に不活性ガスを噴出
することで、常に半田付けする場所の不活性ガスの濃度
を一定に保つことができる。さらには、第２の噴出部
は、ワークが半田付けを行う位置に搬送されたとき、一
時的に不活性ガスの濃度が下がることを防止することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明が適用された半田付け装置の外観斜視図
である。

【図２】上記半田付け装置の半田槽を示す斜視図であ
る。

【図３】上記半田付け装置のチャンバの構成を示す斜視
図である。

【図４】上記半田付け装置の断面図である。

【図５】上記半田付け装置をワークの上手側からみた側
面図である。

【図６】チャンバ内に窒素ガスを２００リットル／ｍｉ
ｎで供給したときの、窒素ガスの供給時間（分）とチャ
ンバ内に残留する酸素の酸素濃度（ｐｐｍ）との関係を
示す図である。

【図７】チャンバ内に供給する窒素ガスの供給量（リッ
トル／ｍｉｎ）とチャンバ内に残留する酸素濃度（ｐｐ
ｍ）との関係を示す図である。

【図８】ドロスの発生量（ｋｇ／８ｈ）とチャンバ内に
残存する酸素の酸素濃度（ｐｐｍ）との関係を示す図で
ある。

【図９】本発明が適用された他の半田付け装置をワーク
の上手側からみた側面図である。

【図１０】上記半田付け装置の第２の噴出部を示す斜視
図である。

【図１１】チャンバ内に第１の噴出部により窒素ガスを
１３０リットル／ｍｉｎで供給し、第２の噴出部により
窒素ガスを３０リットル／ｍｉｎ供給し、合計でチャン
バ６内に１６０リットル／ｍｉｎ供給したときの、窒素
ガスの供給時間（分）とチャンバ６内に残留する酸素の
酸素濃度（ｐｐｍ）との関係を示す図である。

【図１２】ワークの搬送中に、第１の噴出部からのみ窒
素ガスを１３０リットル／ｍｉｎ供給したときのチャン
バ６内の酸素濃度（ｐｐｍ）の変動を示した図である。

【図１３】ワークの搬送中に、第１の噴出部がら窒素ガ
スを１３０リットル／ｍｉｎ供給し、第２の噴出部から
窒素ガスを３０リットル／ｍｉｎ供給したときのチャン
バ内の酸素濃度（ｐｐｍ）の変動を示した図である、。

【図１４】ドロスの発生量（ｋｇ／８ｈ）とチャンバ内
に残存する酸素の酸素濃度（ｐｐｍ）との関係を示す図
である。

【図１５】従来の半田付け装置の示す断面図である。

【図１６】上記半田付け装置のチャンバ内に不活性ガス
を供給するノズルの斜視図である。

【符号の説明】

１ 半田付け装置、２ ワーク、３ 本体フレーム、４
搬送機構、５ 半田槽、６ チャンバ、６ａ 上部、
６ｂ 下部、１８ヒータ、２１ 第１の半田ヘッド、２
２ 第２の半田ヘッド、２６ 上側カバー、２７ 下側
カバー、２８ 窓部、３１ 移動操作機構、４１ ガス
供給パイプ、４２ 噴出部、４３ 整流板、４７ 小
孔、５１ 入口用カバー、５２ 出口用カバー、５３，
５４ 規制カーテン、規制板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 本宮 育次郎 宮城県加美郡中新田町字雁原325 ソニー 中新田株式会社内 (72)発明者 小黒 教示 東京都足立区千住旭町32−１ 株式会社弘 輝内 (72)発明者 長谷川 貴傑 東京都足立区千住旭町32−１ 株式会社弘 輝内 Ｆターム(参考） 4E080 AA01 AB01 BA07 CA06 CA07 DA04 EA02 EA07 5E319 AC01 CC23 CD28 CD35 GG05

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 溶融された半田が貯められる半田槽と、 上記半田槽の上側であってワークを搬送する搬送手段の
   上側に位置する上側カバーと上記搬送手段の下側であっ
   て上記半田槽の上側に位置する下側カバーとにより構成
   され、内部に低酸素雰囲気が形成されるチャンバと、 上記チャンバ内の上側に配設され、上記チャンバ内に不
   活性ガスを噴出する噴出部と、 上記チャンバ内の上記搬送手段と上記噴出部との間に配
   設され、上記噴出部より噴射された不活性ガスを上記チ
   ャンバの上側に高濃度に保持し、上記チャンバの上側に
   高濃度に保持された不活性ガスを上記チャンバの下側に
   供給する複数の小孔が上記半田槽の液面に対応する領域
   に形成された整流板とを備える半田付け装置。
2. 【請求項２】 上記不活性ガスは、窒素ガスであること
   を特徴とする請求項１記載の半田付け装置。
3. 【請求項３】 上記チャンバは、底面より上側に鋭角に
   形成された側壁が設けられ、この側壁に上記チャンバ内
   部を目視するための窓部が形成されていることを特徴と
   する請求項１記載の半田付け装置。
4. 【請求項４】 更に、上記ワークを出し入れするため上
   記チャンバの上記ワークの搬送方向の壁面に形成された
   開口部と、この開口部より上記ワークの搬送方向に延長
   して上記チャンバに設けられる延長カバーとを備え、上
   記延長カバーの下側には、上記ワークの搬送方向と直交
   する方向に、上記チャンバ内の不活性ガスの流出を規制
   する規制板が設けられることを特徴とする請求項１記載
   の半田付け装置。
5. 【請求項５】 更に、上記ワークを出し入れするため上
   記チャンバの上記ワークの搬送方向の壁面に形成された
   開口部と、この開口部より上記ワークの搬送方向に延長
   して上記チャンバに設けられる延長カバーとを備え、上
   記延長カバーの上側には、上記ワークの搬送方向と直交
   する方向に、上記チャンバ内の不活性ガスの流出を規制
   する可撓性を有する規制カーテンが配設されることを特
   徴とする請求項１記載の半田付け装置。
6. 【請求項６】 溶融された半田が貯められる半田槽と、 上記半田槽の上側であってワークを搬送する搬送手段の
   上側に位置する上側カバーと上記搬送手段の下側であっ
   て上記半田槽の上側に位置する下側カバーとにより構成
   され、内部に低酸素雰囲気が形成されるチャンバと、 上記チャンバ内の上側に配設され、上記チャンバ内に不
   活性ガスを噴出する第１の噴出部と、 上記チャンバ内の上記搬送手段と上記第１の噴出部との
   間に配設され、上記第１の噴出部より噴出された不活性
   ガスを上記チャンバの上側に高濃度に保持し、上記チャ
   ンバの上側に高濃度に保持された不活性ガスを上記チャ
   ンバの下側に供給する整流板と、 上記チャンバ内の上記整流板の下側に配設され、ワーク
   に対して半田付けを行う場所に向かって不活性ガスを噴
   出する第２の噴出部とを備える半田付け装置。
7. 【請求項７】 上記整流板は、この整流板の上側に高濃
   度に保持された不活性ガスを下側に供給する複数の小孔
   が上記半田槽の液面に対応して設けられてなることを特
   徴とする請求項６記載の半田付け装置。
8. 【請求項８】 上記整流板は、この整流板の上側に高濃
   度に保持された不活性ガスを下側に供給する開口部設け
   られてなることを特徴とする請求項６記載の半田付け装
   置。