JP2000206905A - 平面ディスプレイ装置 - Google Patents
平面ディスプレイ装置Info
- Publication number
- JP2000206905A JP2000206905A JP730399A JP730399A JP2000206905A JP 2000206905 A JP2000206905 A JP 2000206905A JP 730399 A JP730399 A JP 730399A JP 730399 A JP730399 A JP 730399A JP 2000206905 A JP2000206905 A JP 2000206905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- electron source
- source plate
- display device
- reinforcing plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】電子源アレイを形成した電子源板と、蛍光体パ
ターンを形成した蛍光面板の間にスペーサを用いること
なく、平面ディスプレイを実現し、その製造コストを低
減する。 【解決手段】補強板により補強した電子源板とパネル前
面カバーまたは補強板により補強した電子源板と蛍光面
板、さらに電子源板と蛍光面板の間隔を一定に保つため
の枠ガラスにより高真空雰囲気を形成する。
ターンを形成した蛍光面板の間にスペーサを用いること
なく、平面ディスプレイを実現し、その製造コストを低
減する。 【解決手段】補強板により補強した電子源板とパネル前
面カバーまたは補強板により補強した電子源板と蛍光面
板、さらに電子源板と蛍光面板の間隔を一定に保つため
の枠ガラスにより高真空雰囲気を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子源アレイを形
成した電子源板と、蛍光体パターンを形成した蛍光面板
を対向させた構造の平面ディスプレイにおけるパネル構
成方法に関する。
成した電子源板と、蛍光体パターンを形成した蛍光面板
を対向させた構造の平面ディスプレイにおけるパネル構
成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】平面電子源アレイとして表面伝導型電子
源アレイを用いた平面ディスプレイの例が、ザ プロシ
ーディングズ オブ エスディーアイ９７（The procee
ding of SDI'97）のペーパー（paper）6.2 （pp.52〜5
5）に記載されている。
源アレイを用いた平面ディスプレイの例が、ザ プロシ
ーディングズ オブ エスディーアイ９７（The procee
ding of SDI'97）のペーパー（paper）6.2 （pp.52〜5
5）に記載されている。
【０００３】この例では、１０インチの２４０×２４０
×３ピクレスの平面ディスプレイにおいて、４０×３×
０．２mmのスペーサを２８個配した構造となっている。
電子源板と蛍光面板との間隔は３mm、スペーサ厚さが
０．２mmでアスペクト比は１５である。この平面ディス
プレイでは、ピクセルのピッチが０．６５×０．２９ｍ
ｍであり、ピクセルピッチに比べてスペーサ幅が十分小
さいとは言えず、画像を乱す問題があった。また、さら
にアスペクト比の高いスペーサを作製するのは現状技術
では非常に困難である。
×３ピクレスの平面ディスプレイにおいて、４０×３×
０．２mmのスペーサを２８個配した構造となっている。
電子源板と蛍光面板との間隔は３mm、スペーサ厚さが
０．２mmでアスペクト比は１５である。この平面ディス
プレイでは、ピクセルのピッチが０．６５×０．２９ｍ
ｍであり、ピクセルピッチに比べてスペーサ幅が十分小
さいとは言えず、画像を乱す問題があった。また、さら
にアスペクト比の高いスペーサを作製するのは現状技術
では非常に困難である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、上記
従来例のような高度なスペーサ技術を用いることなく平
面ディスプレイを実現することにある。
従来例のような高度なスペーサ技術を用いることなく平
面ディスプレイを実現することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明においては、上記
課題を解決するために、電子源板と蛍光面板とその間に
配した枠ガラスにより必要な高真空雰囲気を形成するの
ではなく、補強板により補強した電子源板とパネル前面
カバーにより、あるいは補強板等により補強した電子源
板と補強板等により補強した蛍光面板、さらに電子源板
と蛍光面板の間隔を一定に保つための枠ガラスにより、
高真空雰囲気を形成することにより平面ディスプレイパ
ネルを構成する。
課題を解決するために、電子源板と蛍光面板とその間に
配した枠ガラスにより必要な高真空雰囲気を形成するの
ではなく、補強板により補強した電子源板とパネル前面
カバーにより、あるいは補強板等により補強した電子源
板と補強板等により補強した蛍光面板、さらに電子源板
と蛍光面板の間隔を一定に保つための枠ガラスにより、
高真空雰囲気を形成することにより平面ディスプレイパ
ネルを構成する。
【０００６】
【発明の実施の形態】（実施例１）本発明の第１の実施
例を図１を用いて説明する。２５０ｍｍ×３３０mmで厚
さが１mmのソーダガラス板１０１上に、金属スパッタ法
によりＡｌを３００nmの厚さに蒸着する。次にフォトリ
ソグラフィーによるウエットエッチイングにより、ピッ
チが０．３mmで幅が０．２mmの６００本の横ストライプ
を形成する。次に、陽極酸化法により、各々のストライ
プ表面に酸化アルミニウムを５nm形成し、その後スパッ
タ法によりＩｒが１nm、Ｐｔが２nm、Ａｕが３nmの多層
薄膜を形成し、フォトリソグラフィー法とスパッタエッ
チング法により、下地のＡｌ横ストライプ構造と直交す
る方向に、ピッチが０．１mmで幅が０．０６mmの２４０
０本の縦ストライプを形成する。横ストライプと縦スト
ライプの交点が微小電子源となる。このようにして、ソ
ーダガラス上に６００×２４００の微小電子源アレイ構
造を形成する。
例を図１を用いて説明する。２５０ｍｍ×３３０mmで厚
さが１mmのソーダガラス板１０１上に、金属スパッタ法
によりＡｌを３００nmの厚さに蒸着する。次にフォトリ
ソグラフィーによるウエットエッチイングにより、ピッ
チが０．３mmで幅が０．２mmの６００本の横ストライプ
を形成する。次に、陽極酸化法により、各々のストライ
プ表面に酸化アルミニウムを５nm形成し、その後スパッ
タ法によりＩｒが１nm、Ｐｔが２nm、Ａｕが３nmの多層
薄膜を形成し、フォトリソグラフィー法とスパッタエッ
チング法により、下地のＡｌ横ストライプ構造と直交す
る方向に、ピッチが０．１mmで幅が０．０６mmの２４０
０本の縦ストライプを形成する。横ストライプと縦スト
ライプの交点が微小電子源となる。このようにして、ソ
ーダガラス上に６００×２４００の微小電子源アレイ構
造を形成する。
【０００７】次に、２２０mm×３００mmで厚さが１mmの
ソーダガラス板２０１の表面に、赤、緑、青の蛍光体に
よる繰り返しストライプパターン２４００本（８００×
３）を、フォトリソグラフィー法により形成する。スト
ライプピッチは０．１mmである。
ソーダガラス板２０１の表面に、赤、緑、青の蛍光体に
よる繰り返しストライプパターン２４００本（８００×
３）を、フォトリソグラフィー法により形成する。スト
ライプピッチは０．１mmである。
【０００８】作製した電子源板１０１と２４０mm×３２
０mmで厚さが７mmのソーダガラスでできた電子源板用補
強板４０１を接合し、さらに長さが２２０mmで一辺の幅
が３mm、厚さが３mmの棒状支持ガラス３０１を用いて蛍
光板２０１と、電子源板用補強板４０１で補強した電子
源板１０１を接合する。
０mmで厚さが７mmのソーダガラスでできた電子源板用補
強板４０１を接合し、さらに長さが２２０mmで一辺の幅
が３mm、厚さが３mmの棒状支持ガラス３０１を用いて蛍
光板２０１と、電子源板用補強板４０１で補強した電子
源板１０１を接合する。
【０００９】次に真空炉中で、厚さが７mmのソーダガラ
スでできたパネル前面カバー５０１とそれ以外の部分を
封着・封止することにより、パネル構造が完成する。完
成したパネルの縦電極と横電極の間に電圧を印加するこ
とにより、電子を放出し、加速電圧により加速して蛍光
体ストライプに照射することにより、画像を表示するこ
とができた。
スでできたパネル前面カバー５０１とそれ以外の部分を
封着・封止することにより、パネル構造が完成する。完
成したパネルの縦電極と横電極の間に電圧を印加するこ
とにより、電子を放出し、加速電圧により加速して蛍光
体ストライプに照射することにより、画像を表示するこ
とができた。
【００１０】（実施例２）本発明の第２の実施例を図２
を用いて説明する。２５０mm×３３０mmで厚さが１mmの
ソーダガラス板１０２上に、金属スパッタ法によりＡｌ
を３００nmの厚さに蒸着する。次にフォトリソグラフィ
ーによるウエットエッチイングにより、ピッチが０．３
mmで幅が０．２mmの６００本の横ストライプを形成す
る。
を用いて説明する。２５０mm×３３０mmで厚さが１mmの
ソーダガラス板１０２上に、金属スパッタ法によりＡｌ
を３００nmの厚さに蒸着する。次にフォトリソグラフィ
ーによるウエットエッチイングにより、ピッチが０．３
mmで幅が０．２mmの６００本の横ストライプを形成す
る。
【００１１】次に、陽極酸化法により、各々のストライ
プ表面に酸化アルミニウムを５nm形成し、その後スパッ
タ法によりＩｒが１nm、Ｐｔが２nm、Ａｕが３nmの多層
薄膜を形成し、フォトリソグラフィー法とスパッタエッ
チング法により、下地のＡｌ横ストライプ構造と直交す
る方向に、ピッチが０．１mmで幅が０．０６mmの２４０
０本の縦ストライプを形成する。横ストライプと縦スト
ライプの交点が微小電子源となる。このようにして、ソ
ーダガラス上に６００×２４００の微小電子源アレイ構
造を形成する。
プ表面に酸化アルミニウムを５nm形成し、その後スパッ
タ法によりＩｒが１nm、Ｐｔが２nm、Ａｕが３nmの多層
薄膜を形成し、フォトリソグラフィー法とスパッタエッ
チング法により、下地のＡｌ横ストライプ構造と直交す
る方向に、ピッチが０．１mmで幅が０．０６mmの２４０
０本の縦ストライプを形成する。横ストライプと縦スト
ライプの交点が微小電子源となる。このようにして、ソ
ーダガラス上に６００×２４００の微小電子源アレイ構
造を形成する。
【００１２】次に、２２０mm×３００mmで厚さが１mmの
ソーダガラス板２０１の表面に、赤、緑、青の蛍光体に
よる繰り返しストライプパターン２４００本（８００×
３）を、フォトリソグラフィー法により形成する。スト
ライプピッチは０．１mmである。
ソーダガラス板２０１の表面に、赤、緑、青の蛍光体に
よる繰り返しストライプパターン２４００本（８００×
３）を、フォトリソグラフィー法により形成する。スト
ライプピッチは０．１mmである。
【００１３】作製した電子源板１０２と２４０mm×３２
０mmで厚さが７mmの耐熱プラスティックでできた電子源
板用補強板４０２を接合し、また蛍光面板２０２と蛍光
面板用補強板６０２を接合する。次に、外寸が２２０mm
×３００mmで一辺の幅が３mm、厚さが３mmの枠ガラス３
０２を用いて、真空炉中において電子源板用補強板４０
１で補強した電子源板１０１と厚さが７mmのソーダガラ
スでできた蛍光面板用補強板６０２で補強した蛍光面板
２０２を封着・封止することにより、パネル構造が完成
する。
０mmで厚さが７mmの耐熱プラスティックでできた電子源
板用補強板４０２を接合し、また蛍光面板２０２と蛍光
面板用補強板６０２を接合する。次に、外寸が２２０mm
×３００mmで一辺の幅が３mm、厚さが３mmの枠ガラス３
０２を用いて、真空炉中において電子源板用補強板４０
１で補強した電子源板１０１と厚さが７mmのソーダガラ
スでできた蛍光面板用補強板６０２で補強した蛍光面板
２０２を封着・封止することにより、パネル構造が完成
する。
【００１４】完成したパネルの縦電極と横電極の間に電
圧を印加することにより、電子を放出し、加速電圧によ
り加速して蛍光体ストライプに照射することにより、画
像を表示することができた。
圧を印加することにより、電子を放出し、加速電圧によ
り加速して蛍光体ストライプに照射することにより、画
像を表示することができた。
【００１５】（実施例３）本発明の第３の実施例を図３
を用いて説明する。本実施例では、パネル前面カバー５
０３の上面にレンズ７０３を接合した点が第１の実施例
と異なる。レンズ７０３を付加することにより、実際の
蛍光面上の画像を拡大することができる。
を用いて説明する。本実施例では、パネル前面カバー５
０３の上面にレンズ７０３を接合した点が第１の実施例
と異なる。レンズ７０３を付加することにより、実際の
蛍光面上の画像を拡大することができる。
【００１６】（実施例４）次に、本発明の第４の実施例
を図４を用いて説明する。本実施例では、蛍光面板用補
強板６０４の上面にレンズ７０４を接合した点が第２の
実施例と異なる。レンズ７０４を付加することにより、
実際の蛍光面上の画像を拡大することができる。
を図４を用いて説明する。本実施例では、蛍光面板用補
強板６０４の上面にレンズ７０４を接合した点が第２の
実施例と異なる。レンズ７０４を付加することにより、
実際の蛍光面上の画像を拡大することができる。
【００１７】
【発明の効果】本発明により、電子源アレイを形成した
電子源板と、蛍光体パターンを形成した蛍光面板の間に
スペーサを用いることなく、平面ディスプレイを実現す
ることができるため、平面ディスプレイの低価格化に貢
献することができる。
電子源板と、蛍光体パターンを形成した蛍光面板の間に
スペーサを用いることなく、平面ディスプレイを実現す
ることができるため、平面ディスプレイの低価格化に貢
献することができる。
【図１】本発明の第１の実施例の平面ディスプレイ装置
の断面図。
の断面図。
【図２】本発明の第２の実施例の平面ディスプレイ装置
の断面図。
の断面図。
【図３】本発明の第３の実施例の平面ディスプレイ装置
の断面図。
の断面図。
【図４】本発明の第４の実施例の平面ディスプレイ装置
の断面図。
の断面図。
１０１…電子源板、２０１…蛍光面板、３０１…棒状支
持ガラス、４０１…電子源板用補強板、５０１…パネル
前面カバー。
持ガラス、４０１…電子源板用補強板、５０１…パネル
前面カバー。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐川 雅一 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 鈴木 睦三 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 Ｆターム(参考） 5C094 AA15 AA44 BA21 BA32 DA07 DA20 EB02 ED01 FB20
Claims (10)
- 【請求項１】電子源アレイを形成した電子源板と、蛍光
体パターンを形成した蛍光面板を対向させた構造の平面
ディスプレイにおいて、補強板により補強した電子源板
と蛍光面板をおおうパネル前面カバーにより囲まれた空
間に真空雰囲気を形成したことを特徴とする平面ディス
プレイ装置。 - 【請求項２】請求項１において、電子源板用の補強板
は、電子源板よりも厚く、かつパネル前面カバーは蛍光
面板よりも厚いことを特徴とする平面ディスプレイ装
置。 - 【請求項３】請求項１または２において、電子源板、電
子源板用補強板、蛍光板、パネル前面カバーが、ガラス
により構成されていることを特徴とする平面ディスプレ
イ装置。 - 【請求項４】請求項１または２において、電子源板、蛍
光板、パネル前面カバーが、ガラスにより構成され、か
つ電子源板用補強板がガラス以外の材質により構成され
ていることを特徴とする平面電子源ディスプレイ装置。 - 【請求項５】請求項１ないし４のいずれかにおいて、パ
ネル前面カバーにレンズ機能を付加したことを特徴とす
る平面ディスプレイ装置。 - 【請求項６】電子源アレイを形成した電子源板と、蛍光
体パターンを形成した蛍光面板を対向させた構造の平面
ディスプレイにおいて、補強板等により補強した電子源
板と、補強板等により補強した蛍光面板と、さらに電子
源板と蛍光面板の間隔を一定に保つための枠ガラスによ
り囲まれた空間に真空雰囲気を形成したことを特徴とす
る平面ディスプレイ装置。 - 【請求項７】請求項６において、電子源板用補強板は電
子源板より厚く、かつ蛍光面板用補強板は蛍光面板より
も厚いことを特徴とする平面ディスプレイ装置。 - 【請求項８】請求項６または７において、電子源板用補
強板、電子源板、および蛍光面板がガラスにより構成さ
れ、かつ蛍光面板用補強板がガラス以外の材質により構
成されていることを特徴とする平面ディスプレイ装置。 - 【請求項９】請求項６または７において、電子源板用補
強板、電子源板、蛍光面板用補強板、および蛍光面板が
ガラスにより構成されていることを特徴とする平面ディ
スプレイ装置。 - 【請求項１０】請求項６ないし９のいずれかにおいて、
蛍光面板の補強板に、レンズ機能を付加したことを特徴
とする平面ディスプレイ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP730399A JP2000206905A (ja) | 1999-01-14 | 1999-01-14 | 平面ディスプレイ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP730399A JP2000206905A (ja) | 1999-01-14 | 1999-01-14 | 平面ディスプレイ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000206905A true JP2000206905A (ja) | 2000-07-28 |
Family
ID=11662262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP730399A Pending JP2000206905A (ja) | 1999-01-14 | 1999-01-14 | 平面ディスプレイ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000206905A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7755269B2 (en) | 2006-01-06 | 2010-07-13 | Hitachi Displays, Ltd. | Spacer and image display panel using the same |
| US8022000B2 (en) | 2006-01-06 | 2011-09-20 | Hitachi Displays Ltd. | Display device and production method thereof |
| US8071183B2 (en) | 2006-06-02 | 2011-12-06 | Hitachi Displays, Ltd. | Display apparatus |
-
1999
- 1999-01-14 JP JP730399A patent/JP2000206905A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7755269B2 (en) | 2006-01-06 | 2010-07-13 | Hitachi Displays, Ltd. | Spacer and image display panel using the same |
| US8022000B2 (en) | 2006-01-06 | 2011-09-20 | Hitachi Displays Ltd. | Display device and production method thereof |
| US8071183B2 (en) | 2006-06-02 | 2011-12-06 | Hitachi Displays, Ltd. | Display apparatus |
| US8075961B2 (en) | 2006-06-02 | 2011-12-13 | Hitachi Displays, Ltd. | Display apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5347292A (en) | Super high resolution cold cathode fluorescent display | |
| JP4192681B2 (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
| JP2006156356A (ja) | 電子放出表示装置 | |
| JPH08313887A (ja) | プラズマアドレス表示パネル及びその製造方法 | |
| JP2004265781A (ja) | 平面型表示装置 | |
| US5899350A (en) | Hermetic container and a supporting member for the same | |
| JP3347648B2 (ja) | 表示装置 | |
| JP4134361B2 (ja) | 薄膜型電子源およびそれを用いた表示装置 | |
| JP2000206905A (ja) | 平面ディスプレイ装置 | |
| TWI270917B (en) | Image display device and the manufacturing method thereof | |
| JP2827306B2 (ja) | 画像表示装置 | |
| JPH09305125A (ja) | 画像表示素子およびシールスペーサ | |
| JPH0723897Y2 (ja) | 蛍光表示管 | |
| JPH04132147A (ja) | 画像表示装置の製造方法 | |
| JP2000323073A (ja) | 画像表示装置およびその製造方法 | |
| JP2584998B2 (ja) | 平板型画像表示装置 | |
| JP2528456Y2 (ja) | 蛍光表示装置 | |
| KR100212533B1 (ko) | 소형 fed용 패키지 | |
| JPH0648740Y2 (ja) | 蛍光発光管 | |
| JP2006049055A (ja) | 画像表示装置 | |
| JP2765853B2 (ja) | 平面型ディスプレイ | |
| JPH01173555A (ja) | パネル型陰極線管 | |
| JPH0317942A (ja) | 蛍光表示パネル用陰極組立体 | |
| JPH03276543A (ja) | 画像表示装置 | |
| WO2007097252A1 (ja) | 平面表示装置およびその製造方法 |