JP2000202819A

JP2000202819A - ２分割構造のグリ―ンシ―ト

Info

Publication number: JP2000202819A
Application number: JP11004595A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Asakawa; 和夫淺川
Original assignee: Sumitomo Metal SMI Electronics Device Inc
Current assignee: Sumitomo Metal SMI Electronics Device Inc
Priority date: 1999-01-11
Filing date: 1999-01-11
Publication date: 2000-07-25

Abstract

(57)【要約】【課題】隣合うの２つのシートからなるグリーンシー
トの有効面積のアップが可能で、かつ切断後のシートの
搬送及び位置決めが可能な２分割構造のグリーンシート
を提供する。【解決手段】切断線１３を介して切断可能な２つのシ
ート１１、１２が隣合わされ、その矩形状の対角にそれ
ぞれ、切断後の２つのシート１１、１２を搬送、位置決
めするための第１及び第２のＣ面c₁、c₂が形成されると
共に、切断線１３の両伸延部に、２つのシート１１、１
２を搬送、位置決めするための第３のＣ面c₃を備えた切
れ込み１５が形成された２分割構造のグリーンシート１
０であって、切断線１３の両端に接続する切れ込み１５
の頂角１６を鈍角に設定することによって、グリーンシ
ート１０を２つのシート１１、１２に切断線１３を介し
て切断した時の切断ずれによるバリの発生を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミックパ
ッケージの製造において、１枚のグリーンシートを歩留
り良く２枚のシートに分割可能な２分割構造のグリーン
シートに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体素子を搭載する積層セラミ
ックパッケージの製造においては、まずセラミック粉
末、樹脂及びバインダーを含む原料からなる矩形状のグ
リーンシート素材を作成し、グリーンシート素材にスル
ーホールや導体パターンを形成している。次いで、複数
のグリーンシート素材が積層されたグリーンシート積層
体を形成した後、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、グ
リーンシート積層体の４角部にＣ面ｃを加工すると共
に、分割可能に隣合わせたシート７１、７２の隣接する
２角部に、２つのＣ面ｃからなるＶ字状の切れ込み７３
を形成することによって２分割構造のグリーンシート７
０を製造している。さらに、グリーンシート７０を切断
線７４に沿って切断し、切断されたシート７１、７２上
にはそれぞれ、複数の半導体素子を搭載するために、図
３（Ａ）のシート７２に示すように、分割溝７５が形成
され、焼成後、半導体素子を実装し、分割溝７５に沿っ
て分割されて個別の積層セラミックパッケージ製品とさ
れる。

【０００３】図３（Ａ）に示すように、幅Ｗ、長さＬの
矩形状のグリーンシート７０が丁度切断線７４に沿って
切断されれば、シート７１、７２共、４角部には同一の
Ｃ面ｃが形成されることになる。シート７１、７２に半
導体素子を実装する際に、４角部に形成された同一のＣ
面ｃによってシート７１、７２の搬送性及び位置決め性
が良好となる。しかしながら、グリーンシート７０をシ
ート７１、７２に切断する時、切断機にセットした時の
位置ずれ等により、図３（Ａ）に示すような切断線７４
に沿って切断できず、図３（Ｂ）に示すように切断時の
切断ずれｄ（２０〜４０μｍ程度）により細長の台形状
のバリ７６が片側のシート７１ａに発生していた。この
バリ７６が生じると、バリ７６の両端部と、シート７１
ａの切断線７４近傍のＣ面ｃとによって鋭角（４０〜７
０°程度）７７が形成されることになる。このバリ７６
があると、シート７１ａの搬送が確実に行えず、またシ
ート７１ａの位置決めが正確に行えず、即ち、搬送性及
び位置決め性が低下して所定の品質の製品を製造するこ
とができない。

【０００４】そこで、このバリ７６の発生を防止するた
めに、図４に示すように、隣合うシート８１、８２の間
に切断線８３からの切断ずれを吸収可能な、幅Ｄを有す
るダミー帯８４（斜線で示す）を設けている。このダミ
ー帯８４を設けるために、前記Ｖ字状の切れ込み７３に
代えて、切れ込み７３の底辺が幅Ｄ（約５ｍｍ）分長い
Ｖ字状の切れ込み８５が形成されたグリーンシート８０
（幅Ｗ、長さ（Ｌ＋Ｄ）の矩形状）が製作されていた。
なお、シート８１、８２の位置決め性や搬送性を考慮す
ると、シート８１、８２のコーナー部には最低３か所Ｃ
面ｃが形成される必要があった。また、シート８１、８
２の４か所のコーナー部はすべて同一のＣ面ｃとした
が、状況に応じて変えることもできる。なお、シート８
１、８２からなる１枚の２分割構造のグリーンシート８
０を製作するのは、シート８１、８２を別々に製作する
よりも、グリーンシート８０を形成して２つに分割した
方が、スルーホール、導体形成、積層工程が合理化でき
る為である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
グリーンシート８０においては、切断時のバリの発生を
防止するために、隣合うシート８１、８２の間にダミー
帯８４を設けた切れ込み８５が形成されているので、グ
リーンシート７０と同一の大きさのグリーンシート８０
からシート８１、８２の取数を確保するためには、シー
ト８１、８２の寸法をシート７１、７２より小さくする
ことになってグリーンシート８０の有効面積が低下する
という問題があった。なぜなら、斜線部で示されるダミ
ー帯８４を除去することになるからであった。

【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、隣合うの２つのシートからなるグリーンシート
の有効面積のアップが可能で、かつ切断後のシートの搬
送及び位置決めが可能な２分割構造のグリーンシートを
提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的に沿う本発明に
係る２分割構造のグリーンシートは、切断線を介して切
断可能な２つのシートが隣合わされ、その矩形状の対角
にそれぞれ、切断後の２つのシートを搬送、位置決めす
るための第１及び第２のＣ面が形成されると共に、切断
線の両伸延部に、２つのシートを搬送、位置決めするた
めの第３のＣ面を備えた切れ込みが形成された２分割構
造のグリーンシートであって、切断線の両端に接続する
切れ込みの頂角を鈍角に設定することによって、グリー
ンシートを２つのシートに切断線を介して切断した時の
切断ずれによるバリの発生を防止した構造としている。
従って、バリの発生がないので、シートの搬送や位置決
めに支障を来さない。

【０００８】ここで、第１〜第３のＣ面すべてが同一で
あるようにすることで、シートの搬送性や位置決め性が
向上する。また、切れ込みの形状を平行四辺形とするこ
ともでき、これによって切れ込みの形成作業が簡単にな
る。なお、第１〜第３のＣ面については、面すべてが同
一レベルの場合を含むと共に、シートの搬送や位置決め
に支障を来さない程度に面の一部にレベル差がある場合
も含まれる。

【０００９】

【発明の実施の形態】続いて、添付した図面を参照しつ
つ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発
明の理解に供する。ここに、図１は本発明の一実施の形
態に係る２分割構造のグリーンシートの平面図、図２は
本発明の他の実施の形態に係る２分割構造のグリーンシ
ートの要部拡大平面図である。

【００１０】図１に示すように、本発明の一実施の形態
に係る２分割構造のグリーンシート１０は、半導体素子
を搭載する積層セラミックパッケージの製造において使
用するもので、隣合うの２つの略矩形状のシート１１、
１２によって矩形状で積層状に構成されており、グリー
ンシート１０の矩形状の両対角には、切断後のシート１
１、１２を搬送、位置決めするための第１、第２のＣ面
c₁、c₂がそれぞれ形成されている。以下、これらについ
て詳しく説明する。

【００１１】グリーンシート１０は、幅Ｗが６０ｍｍ〜
８０ｍｍ程度、長さＬが９０ｍｍ〜１２０ｍｍ程度、厚
みが０．３ｍｍ〜２．０ｍｍ程度の矩形状のグリーンシ
ート素材を加工したもので、後工程で切断されるシート
１１、１２が切断線１３（破線で示す）を介して一体的
に隣接された構造となっている。分割可能なシート１
１、１２は、切断線１３を介して切断線１３上の中心Ｏ
を点対称に隣合わされており、シート１１、１２の切断
線１３の伸延部の２か所には、第３のＣ面c₃及び矩形状
の切り欠き１４が形成されている。従って、図１に示す
ように、グリーンシート１０の長さ方向の中央部両側に
は、シート１１、１２を搬送、位置決めするための第３
のＣ面c₃が形成されると共に、矩形状の切り欠き１４が
形成されており、第３のＣ面c₃の形成及び切り欠き１４
の形成によって、第３のＣ面c₃を一辺とする台形状の切
れ込み１５が形成されることになる。

【００１２】図１に示すように、切断線１３の両端に接
続する切れ込み１５の頂角１６が、従来のような鋭角
（４０〜８０°程度）ではなく、鈍角（１１０〜１５０
°程度）に設定されるので、積層セラミックパッケージ
の製造の後工程で、グリーンシート１０を切断線１３を
介してシート１１、１２に切断する際、切断ずれが発生
しても、バリの無い第３のＣ面c₃が形成できる。従来の
シート７１ａ（図３（Ｂ））では、位置決めに使えるＣ
面はバリの無い２か所であったが、本実施の形態では、
バリの無い３か所のＣ面が使える為、自動化ラインでの
搬送の柔軟性が向上する。

【００１３】次いで、本発明の一実施の形態に係る２分
割構造のグリーンシート１０を用いた積層セラミックパ
ッケージの製造方法について説明する。まず、グリーン
シート素材の作製工程において、有機溶剤としてのポリ
ビニルアルコール、バインダーとしてのポリビニルブチ
ラール、可塑剤としてのフタル酸ブチル、湿潤剤として
のポリエチレングリコールのアルキエーテル等を混合溶
解した溶剤に懸濁したアルミナ微粉末をキャスティング
し、乾燥して複数枚のグリーンシート素材を作製する。

【００１４】次に、スルーホール、導体パターン形成工
程において、前記グリーンシート素材に必要に応じて、
スルーホールをパンチングによって穿設し、スルーホー
ルに導体詰めし、さらにグリーンシート素材の表面にタ
ングステンペーストを印刷して、内部配線パターンやワ
イヤボンディングパターンとなる導体パターンを印刷形
成する。また、グリーンシート素材の半導体素子を搭載
するためのキャビティ形成用孔も形成する。

【００１５】さらに、グリーンシート積層体作製工程に
おいて、所定の枚数のグリーンシート素材の位置合わせ
孔を合わせて積み重ね、加圧して未焼成のグリーンシー
ト積層体を作製する。Ｃ面加工、切断工程において、図
１に示すように、幅Ｗ、長さＬのグリーンシート積層体
を準備し、このグリーンシート積層体の４角部の対角部
に第１、第２のＣ面c₁、c₂を加工し、次に、グリーンシ
ート積層体の長さ方向の中央部両側に、第３のＣ面c₃及
び切り欠き１４を有する台形状の切れ込み１５をカッタ
ーにより形成して、２分割構造のグリーンシート１０を
作製した後、グリーンシート１０を切断線１３に沿って
カッターにより切断してシート１１、１２を作製する。
これにより、シート１１、１２には、第１〜第３のＣ面
c₁〜c₃が形成される。

【００１６】次いで、分割溝形成工程において、シート
１１、１２それぞれ複数の半導体素子を搭載するための
分割溝（図３（Ａ）参照）を形成し、さらに焼成工程に
おいて、シート１１、１２を１５００〜１６００℃の温
度で焼成する。最後に、焼成されたシート１１、１２を
搬送、位置決めして複数の半導体素子の実装やワイヤー
ボンディング等を行った後、前記分割溝に沿って分割し
て個々の製品とする。シート１１、１２に複数の半導体
素子を実装する際、シート１１、１２には、第１〜第３
のＣ面c₁〜c₃が形成されているので、ラインでの搬送性
や位置決め性が向上する。

【００１７】

【実施例】グリーンシート１０の実施例について、図１
を参照しながら説明する。幅Ｗ＝７２ｍｍ、長さＬ＝１
０７ｍｍ、厚み０．５ｍｍのグリーンシート積層体か
ら、第１のＣ面c₁は角度α＝４５°、辺の長さｅ＝２．
５ｍｍ、第２のＣ面c₂は角度β＝４５°、辺の長さｆ＝
２．５ｍｍ、第３のＣ面c₃は角度γ＝４５°、辺の長さ
ｇ＝２．５ｍｍ、切り欠き１４は辺の長さｈ＝２．５ｍ
ｍ、辺の長さｉ＝２．５ｍｍとするコーナーカット及び
切れ込み１５を行ってグリーンシート１０を製造した。

【００１８】前記実施の形態のグリーンシート１０にお
いては、図１に示すように、切れ込み１５の形状を、台
形状としたが、これに限定されない。例えば、図２に部
分拡大図で示すような本発明の他の実施の形態に係る２
分割構造のグリーンシート１０ａにおいては、平行四辺
形状の切れ込み１５ａが形成されている。なお、図２に
おいて、前記グリーンシート１０と同一の構成要素につ
いては、同一の符号を付し、また類似の構成要素につい
ては、同一の番号にアルファベットを付して詳しい説明
を省略する。

【００１９】図に示すように、グリーンシート１０ａに
形成された切れ込み１５ａは、角度γと角度γ₁ とを同
一として平行四辺形状をなしており、従って切り欠き１
４ａは三角形状となっている。グリーンシート１０ａに
おいても、グリーンシート１０と同様に、シート１１
ａ、１２ａの３つのコーナー部に第１〜第３のＣ面c₁〜
c₃を形成することができるので、シート１１ａ、１２ａ
の搬送性や位置決め性が向上する。グリーンシート１０
の切れ込み１５は台形状で、グリーンシート１０ａの切
れ込み１５ａは平行四辺形状としたが、これに限定され
ず、第３のＣ面ｃ₃ を形成できると同時に、頂角１６ａ
を鈍角に維持可能であれば、その他の四角形又は５角形
以上の多角形状でも構わない。

【００２０】

【発明の効果】請求項１〜３記載の２分割構造のグリー
ンシートにおいては、切断線の両端に接続する切れ込み
の頂角を鈍角に設定することによって、２つのシートを
切断線を介して切断した時、仮に切断ずれが発生して
も、バリの発生がないため、シートの搬送や位置決めが
行い易くなる。さらに、グリーンシートの有効面積のア
ップが可能である。特に、請求項２記載の２分割構造の
グリーンシートにおいては、第１〜第３のＣ面すべてが
同一であるので、シートの搬送性や位置決め性がさらに
向上する。請求項３記載の２分割構造のグリーンシート
においては、切れ込みの形状を平行四辺形としているの
で、切れ込みの形成作業が簡単になると共に、廉価に製
造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係る２分割構造のグリ
ーンシートの平面図である。

【図２】本発明の他の実施の形態に係る２分割構造のグ
リーンシートの要部拡大平面図である。

【図３】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ従来例に係る２分割
構造のグリーンシートの平面図及び分割されたシートの
平面図である。

【図４】他の従来例に係る２分割構造のグリーンシート
の平面図である。

【符号の説明】

１０グリーンシート１０ａグリー
ンシート１１シート１１ａシート１２シート１２ａシート１３切断線１４切り欠き１４ａ切り欠き１５切れ込み１５ａ切れ込み１６頂角１６ａ頂角ｃ₁ 第１のＣ
面ｃ₂ 第２のＣ面ｃ₃ 第３のＣ
面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】切断線を介して切断可能な２つのシート
が隣合わされ、その矩形状の対角にそれぞれ、切断後の
前記２つのシートを搬送、位置決めするための第１及び
第２のＣ面が形成されると共に、前記切断線の両伸延部
に、前記２つのシートを搬送、位置決めするための第３
のＣ面を備えた切れ込みが形成された２分割構造のグリ
ーンシートであって、前記切断線の両端に接続する前記
切れ込みの頂角を鈍角に設定することによって、前記グ
リーンシートを前記２つのシートに前記切断線を介して
切断した時の切断ずれによるバリの発生を防止したこと
を特徴とする２分割構造のグリーンシート。
【請求項２】請求項１記載の２分割構造のグリーンシ
ートにおいて、前記第１〜第３のＣ面すべてが同一であ
ることを特徴とする２分割構造のグリーンシート。
【請求項３】請求項１又は２記載の２分割構造のグリ
ーンシートにおいて、前記切れ込みの形状を平行四辺形
としたことを特徴とする２分割構造のグリーンシート。