JP2000182547A - 平面型表示装置 - Google Patents

平面型表示装置

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JP2000182547A
JP2000182547A JP10357935A JP35793598A JP2000182547A JP 2000182547 A JP2000182547 A JP 2000182547A JP 10357935 A JP10357935 A JP 10357935A JP 35793598 A JP35793598 A JP 35793598A JP 2000182547 A JP2000182547 A JP 2000182547A
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voltage
cathodes
electrode
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Morikazu Konishi
守一 小西
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    • H01J1/00Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
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    • H01J1/30Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
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    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
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    • HELECTRICITY
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    • G09G2300/08Active matrix structure, i.e. with use of active elements, inclusive of non-linear two terminal elements, in the pixels together with light emitting or modulating elements

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の電界放出型カソード及びその複数のカ
ソードのうちの選択されたカソードから放出された電子
の衝撃によって光輝せしめられる蛍光体層を有する平面
型表示装置において、複数のカソードから選択的に電子
を放出させるための駆動電圧の低圧化及び消費電力の低
減化が可能であると共に、高速動作の可能な平面型表示
装置を得る。 【解決手段】 複数の電界放出型カソードKと、その複
数のカソードKの表面に、その複数のカソードKからの
電子放射を可能にし得るショットキーバリアを形成する
強電界を固定的に与える高圧電極と、複数のカソードK
に接続され、その複数のカソードKからの電子の放射の
有無を制御する2次元MOSゲートアレイと、複数のカ
ソードKから選択的に放出された電子の衝撃によって、
光輝せしめられる蛍光体層Pとを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は電界放出型カソード
を備えた平面型表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】以下に、図15及び図16を参照して、
電界放出型カソード(エミッタ)を備えた平面型表示装
置の従来例を説明する。図15及び図16において、K
K及びGは、XYマトリックスを構成するそれぞれ複数
本の等間隔、等幅のカソード電極及びゲート電極(引き
出し電極)で、絶縁層Zを介して互いに交叉して対向す
る如く配されている。Aは複数のゲート電極Gに対し所
定間隔を以て対向するアノード電極である。アノード電
極Aの上面(下面も可)には蛍光体層Pが塗布されてい
る。
【0003】複数のカソード電極KK及び複数のゲート
電極Gの交叉部において、各ゲート電極Gには円形の孔
Hが穿設されると共に、この孔Hに連通するキャビティ
CVが絶縁層Z内に設けられる。このキャビティCV内
において、カソード電極KK上に、円錐形形状のスピン
ト( Spindt:人名) 型電界放出型カソード(エミッタ)
Kが植立される。電界放出型カソードKは、0.01V
/Å〜0.1V/Å程度の電界を選択的に与えることに
よって、トンネル効果により電子放出がなされる、M
o、W、Cr等の材料から構成される。そして、カソー
ドKの頂点が孔Hの中心に位置するように、孔H及びカ
ソードK間の位置関係が設定されている。
【0004】これらの電極G、カソード電極KK、カソ
ードK、アノード電極A、蛍光体層P及び絶縁層Zは、
ガラス等からなる偏平管内に収納され、偏平管内は真空
となされる。
【0005】アノード電極Aには、固定電圧、例えば、
3kVの直流電圧が印加されている。複数のゲート電極
Gには、スキャンドライバSDからの、例えば、100
Vの直流電圧が、図15において、上側のゲート電極G
から下側のゲート電極Gへと順次循環的に印加される。
複数のカソード電極KKには、データドライバDDから
の、画像信号に応じた0V(例えば、0V〜10Vの電
圧も可)の電圧が選択に印加される。
【0006】かくして、複数のゲート電極G及び複数の
カソード電極KKのうち、100Vの直流電圧が印加さ
されたゲート電極Gと、0Vの電圧が印加されたカソー
ド電極KKの交点において、カソードKとアノード電極
Aとの間で電界放射(電子放射)が開始され、ゲート電
極GによってカソードKから引き出された電子が、アノ
ード電極Aに衝撃されて、蛍光体層Pが発光する。
【0007】この平面型表示装置では、ゲート電極G及
びカソード電極KKの交点の、例えば、1000個分の
集まりが1画素として、画像が表示される。蛍光体層P
の全体を、白色発光蛍光体層にて構成すれば、モノクロ
ーム平面型表示装置が得られ、螢光体層Pを1画素毎の
幅を有する赤、緑及び青発光蛍光体ストライプにて構成
すれば、カラー平面型表示装置が得られる。
【0008】電界放出型カソード(エミッタ)Kの例と
しては、図16に図示したものの他に、種々あるが、そ
の一部の例を図17を参照して説明する。尚、図17A
1、B1、C1はカソードの平面図、図17A2、B
2、C2は、それぞれ図17A1、B1、C1のカソー
ドの断面図である。
【0009】図17A1、A2は一対の電極を示し、そ
の一方がカソード、他方がゲート電極で、カソードのゲ
ート電極と対向する端部から、図示を省略したアノード
電極に向かって電子が放出される。
【0010】図17B1、B2は、例えば、四角形の孔
を有するカソードを示し、その四角形の孔のエッジから
電子が放出される。
【0011】図17C1、C2は、円盤の上面が曲面、
例えば、球面を構成するように凹んだカソードを示し、
その凹みのエッジから電子が放出される。
【0012】電界放出型カソード(エミッタ)Kの例と
しては、金属/絶縁層/金属からなるMIM型の電子放
出素子にて構成しても良い。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】図15及び図16につ
いて説明した平面型表示装置では、放電発光の有無を、
カソード(エミッタ)及びゲート電極(引き出し電極)
へのそれぞれの所定電圧の印加の有無で行っていた。こ
のため、選択された画素を構成するカソードには、強電
界(例えば、0.05V/A)を画素の選択毎に印加す
る必要があるため、即ち、画素の選択/非選択時の電子
放出の制御を電界によって行っていたために、画素の選
択時の駆動電圧が高くなり、高速動作及び消費電力の点
で問題があった。
【0014】かかる点に鑑み、本発明は、複数の電界放
出型カソード及びその複数の電界放出型カソードのうち
の選択された電界放出型カソードから放出された電子の
衝撃によって光輝せしめられる蛍光体層を有する平面型
表示装置において、複数の電界放出型カソードから選択
的に電子を放出させるための駆動電圧の低電圧化及び消
費電力の低減化が可能であると共に、高速動作の可能な
平面型表示装置を提案しようとするものである。
【0015】又、本発明は、マトリックス状に配された
m行n列(但し、m、nは1以上の整数)の電界放出型
カソードからなる画素が、M行N列(但し、M、Nは2
以上の整数)のマトリックス状に配列された電界放出型
カソード群及びその電界放出型カソード群の画素毎に電
界放出型カソードから放出された電子の衝撃によって光
輝せしめられる蛍光体層を有する平面型表示装置におい
て、電界放出型カソード群から画素毎に選択的に電子を
放出させるための駆動電圧の低電圧化及び消費電力の低
減化が可能であると共に、高速動作の可能な平面型表示
装置を提案しようとするものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】第1の本発明による平面
型表示装置は、複数の電界放出型カソードと、その複数
の電界放出型カソードの表面に、その複数の電界放出型
カソードからの電子放射を可能にし得るショットキーバ
リアを形成する強電界を固定的に与える高圧電極と、複
数の電界放出型カソードに接続され、その複数の電界放
出型カソードからの電子の放射の有無を制御する2次元
MOSゲートアレイと、複数の電界放出型カソードから
選択的に放出された電子の衝撃によって、光輝せしめら
れる蛍光体層とを有するものである。
【0017】かかる第1の本発明によれば、高圧電極に
よって、複数の電界放出型カソードの表面に、その複数
の電界放出型カソードからの電子放射を可能にし得るシ
ョットキーバリアを形成する強電界を固定的に与え、2
次元MOSゲートアレイによって、複数の電界放出型カ
ソードからの電子の放射の有無を制御し、複数の電界放
出型カソードから選択的に放出された電子の衝撃によっ
て、蛍光体層を光輝せしめる。
【0018】
【発明の実施の形態】第1の本発明は、複数の電界放出
型カソードと、その複数の電界放出型カソードの表面
に、その複数の電界放出型カソードからの電子放射を可
能にし得るショットキーバリアを形成する強電界を固定
的に与える高圧電極と、複数の電界放出型カソードに接
続され、その複数の電界放出型カソードからの電子の放
射の有無を制御する2次元MOSゲートアレイと、複数
の電界放出型カソードから選択的に放出された電子の衝
撃によって、光輝せしめられる蛍光体層とを有する平面
型表示装置である。
【0019】第2の本発明は、マトリックス状に配され
たm行n列(但し、m、nは1以上の整数)の電界放出
型カソードからなる画素が、M行N列(但し、M、Nは
2以上の整数)のマトリックス状に配列された電界放出
型カソード群と、その電界放出型カソード群を構成する
各電界放出型カソードの表面に、その各電界放出型カソ
ードからの電子放射を可能にし得るショットキーバリア
を形成する強電界を固定的に与える高圧電極と、電界放
出型カソード群を構成する各電界放出型カソードがそれ
ぞれ各別にドレインに接続されたMOSゲートからなる
2次元MOSゲートアレイと、M行の画素の各電界放出
型カソードに接続されている各MOSゲートのゲート
に、その各MOSゲートをONにするパルス電圧を、M
行の行毎に順次循環的に印加する走査駆動手段と、その
走査駆動手段より発生するパルス電圧に同期して、N列
の画素の各電界放出型カソードに接続されている各MO
Sゲートのソースに同時に、表示しようとする画像に応
じて、N列の列毎に選択的に低電圧を印加する画像デー
タ駆動手段と、画素毎に選択的に電界放出型カソードか
ら放出される電子の衝撃によって、光輝せしめられる蛍
光体層とを有する平面型表示装置である。
【0020】第3の本発明は、第1の本発明の平面型表
示装置において、高圧電極は、蛍光体層が形成されたア
ノード電極である平面型表示装置である。
【0021】第4の本発明は、第1の本発明の平面型表
示装置において、高圧電極は、複数の電界放出型カソー
ドに近接しで設けられた引き出し電極である平面型表示
装置である。
【0022】第5の本発明は、 第1の本発明の平面型
表示装置において、複数の電界放出型カソードの近傍
に、シールド電極を設けた平面型表示装置である。
【0023】第6の本発明は、第5の本発明の平面型表
示装置において、シールド電極には、複数の電界放出型
カソードに選択的に印加される低電圧と略等しいか、又
は、その低電圧より低い電圧が印加されるようにした平
面型表示装置である。
【0024】第7の本発明は、第5の本発明の平面型表
示装置において、シールド電極に、少なくともMOSゲ
ートがOFFのときに、複数の電界放出型カソードに選
択的に印加される低電圧と略等しいか、又は、その低電
圧より低い電圧が印加されるようした平面型表示装置で
ある。
【0025】第8の本発明は、第2の本発明の平面型表
示装置において、高圧電極は、蛍光体層が形成されたア
ノード電極である平面型表示装置である。
【0026】第9の本発明は、第2の本発明の平面型表
示装置において、高圧電極は、電界放出型カソード群に
近接しで設けられた引き出し電極である平面型表示装置
である。
【0027】第10の本発明は、第2の本発明の平面型
表示装置において、電界放出型カソード群の近傍に、シ
ールド電極を設けた平面型表示装置である。
【0028】第11の本発明は、第10の本発明の平面
型表示装置において、シールド電極には、複数の電界放
出型カソードに選択的に印加される低電圧と略等しい
か、又は、その低電圧より低い電圧が印加されるように
した平面型表示装置である。
【0029】第12の本発明は、第10の本発明の平面
型表示装置において、シールド電極に、少なくともMO
SゲートがOFFのときに、電界放出型カソード群の電
界放出型カソードに選択に印加される低電圧と略等しい
か、又は、その低電圧より低い電圧が印加されるようし
た平面型表示装置である。
【0030】〔発明の実施の形態の具体例〕次に、図1
〜図7を参照して、本発明の実施の形態の具体例1の平
面型表示装置を説明する。先ず、図1及びそのα−α′
線上の断面の電極を示す図2を参照するに、Aはアノー
ド電極で、これに対向して、カソード群K′が設けられ
る。アノード電極Aの上面(下面も可)には蛍光体層P
が被着形成されている。アノード電極A及びカソード群
K′を構成する各カソード(電界放出カソード)Kの先
端との間の間隔を、例えば、0.5mmとしたとき、ア
ノード電極Aに3kVの直流電圧(固定電圧)を印加し
て、カソード群K′を構成する全カソードKに対して強
電界を与えて、全カソードKのショットキーバリアを、
電子放射が可能となるように低くしておく。そして、全
カソードKに対しそれぞれ設けられたMOSゲートによ
って、各カソードKからの電子の放出の有無を制御す
る。これらMOSゲートの集合を、2次元MOSゲート
アレイGAと称する。カソードKから電子の放出が行わ
れると、その電子がアノード電極Aを衝撃し、その部分
の蛍光体層Pが発光せしめられる。
【0031】カソード群K′は、例えば、マトリックス
配置された、例えば、円錐状のスピント型の多数のカソ
ードKから構成される。図1では、実際には、例えば、
25個×40個=1000個のカソードKを1画素とす
るが、ここでは、説明及び図示の簡単化のため、例え
ば、4個×5個のカソードKを1画素とする。そして、
M行N列(但し、M、Nは2以上の整数)の画素によっ
て1枚の画面が構成される。尚、図4では、第1行、第
1列の画素を代表して図示している。
【0032】各カソードKは、図4及び図5に示すよう
に、ゲートアレイGAの、例えば、nチャンネル(勿論
pチャンネルも可)の各MOSゲート{MOS(金属酸
化膜半導体)電界効果トランジスタからなるゲート}M
GのドレインDに接続される。そして、各画素を含む4
列ずつのMOSゲートMGの各ソースが配線W1(図
3、図5)を通じて共通に接続されて、列線Rを通じて
データドライバDDに接続される。尚、図5に示す如
く、配線W1上には層間絶縁膜IDが形成され、その層
間絶縁膜ID上に各カソードKが植立されている。
【0033】又、5行ずつのMOSゲートMGの各ゲー
ト電極Gがビアホール(Via hole)V(図5)を介し
て、配線W2(図3、図5)によって共通に接続され
て、行線Cを通じてスキャンドライバSDに接続されて
いる。
【0034】図5において、SBは、MOSゲートアレ
イGA、即ち、多数のMOSゲートMGが形成されてい
るp型の基板、ISは、各MOSゲートMGを分離する
素子分離領域である。ドレイン(ドレイン領域)D及び
ソース(ソース領域)Sは、n+ 型の領域である。IN
は基板SBの上面に形成された絶縁層(SiO2 層)で
ある。ゲート(ゲート電極)Gは、ドレインD及びソー
スS間の絶縁層IN上に形成されている。
【0035】次に、この具体例1の平面型表示装置の動
作を説明する。カソード群K′を構成する全電界放射型
カソードKの表面には、アノード電極Aによって、例え
ば、最低0.1V/Å程度の電界が掛かっている。スキ
ャンドライバSDは、複数の行線Cに対し上から下に向
かって順次循環的、例えば、5Vの波高値のパルス電圧
を印加し、これによって5Vの波高値のパルス電圧がゲ
ートGに印加された各MOSゲートMGはON状態にな
り、このパルス電圧に同期して、データドライバDDか
ら、各列線Rに対し、表示しようとする画像に応じて、
同時に画素毎に選択的に0電圧(接地電圧)が印加され
て、選択された画素の全MOSゲートMGのソースに接
地電位が与えられる。これによって、その選択された画
素の少なくとも1個以上のカソードKから電子が放出さ
れて、アノード電極Aを衝撃し、その部分の蛍光体層P
が発光せしめられる。このとき、アノード電極A及びカ
ソードK間の放電電流は、MOSゲート(MOSトラン
ジスタ)MGの整流作用によって、電圧−電流の飽和領
域での動作となり、一定電流に抑えられる。これによ
り、過電流によるカソードKの破壊を防止することがで
きる。
【0036】図7は、カソードKに与える電界強度y
(V/Å)を0.05、0.2、0.5、1.0、2.
0、5.0に変えたときの、カソード電極Kの表面から
の距離(Å)に対する電子のポテンシャルエネルギーと
ショットキーバリア(eV)の特性曲線を示す。尚、φ
はカソードKの、バキュームレベルからの仕事関数を示
す。実際は、ポテンシャルエネルギーから仕事関数φを
引いたものが、ショットキーバリアとなるが、ここで
は、図示及び説明の簡単のため、ポテンシャルエネルギ
ーの曲線及びショットキーバリアの曲線を重ねて図示し
ている。又、仕事関数φは電界が0のときのショットキ
ーバリアを示し、カソードKの材料に応じた一定値であ
る。仕事関数φが3〜4eVのカソードKの材料として
は、Mg、Cu、Mo、C、Si等がある。
【0037】そして、本願発明の原理は、カソードKに
対し、そのショットキーバリアが小さくなるような強電
界を常時与えておき(図7参照)、カソードKに接地電
位(低電位)を与えるか否かをMOSゲートMGのオン
オフで切換えて、カソードKからの電子の放射の有無を
制御している。これに対し、図15及び図16を参照し
て説明した従来の平面型表示装置では、ゲート(引き出
し電極)G及びカソードK間に、例えば、+100Vの
電圧を印加するか否かの切換え、即ち、カソードKに与
える電界の大きさの切換えを行って、カソードKのショ
ットキーバリアの大きさを小、大と変化させ(図7参
照)、これによって、カソードKからの電子の放射の有
無を制御している。
【0038】図4の具体例1のゲートアレイでは、各列
線Rを表示しようとする画像に応じて、データドライバ
DD内で選択的に接地するようにしたが、図6に示す如
く、各列線Rを、例えば、nチャンネルのMOSトラン
ジスタ(MOS電界効果トランジスタ)Qのドレイン及
びソース間を通じて接地し、データドライバDDから選
択された列線Rに接続されたMOSトランジスタQのゲ
ートに、例えば、5Vの波高値のパルス電圧を印加し
て、MOSトランジスタQをONにして、選択された列
線Rを接地するようにしても良い。
【0039】次に、図8及び図8のα−α′線上の電極
を示す図9を参照して、具体例2の平面型表示装置を説
明する。この具体例2は、具体例1におけるアノード電
極Aに代えて、カソード群K′の各カソードKの近傍に
引き出し電極DRを設けた場合である。引き出し電極D
Rの各カソードKに対応する部分には、それぞれ円形の
孔hを穿設する。各カソードKと、引き出し電極DRと
の間の間隔を、例えば、5μmに設定し、引き出し電極
DRに、例えば、100Vの直流電圧(固定電圧)を印
加する。そして、各カソードKを、具体例1の図3〜図
5と同様に、2次元ゲートアレイGAの各MOSゲート
MGのドレインに接続する。2次元ゲートアレイGAの
構成及び動作は、図3〜図5と同様であるので、その重
複説明を省略する。尚、蛍光体層Pを、引き出し電極D
Rに対向して設ける。
【0040】具体例2の場合は、アノード電極に代え
て、カソードKに近接した引き出し電極DRを設けたの
で、具体例1の場合と比較して高圧電極の電圧を低くす
ることができる。
【0041】次に、図10及び図10のα−α′線上の
電極を示す図11を参照して、具体例3の平面型表示装
置を説明する。具体例3の平面型表示装置は、具体例1
の平面型表示装置において、カソード群K′の各カソー
ドKに共通のシールド電極SHを設けた場合である。シ
ールド電極SHには、各カソードKの先端が突出する円
形の孔h′が設けられ、例えば、0Vが与えられる。
尚、3kVの直流電圧(固定電圧)が印加されるアノー
ド電極Aと、カソード電極Kの先端との間の距離は、例
えば、0.5mmである。
【0042】具体例1の平面型表示装置におけるカソー
ドK付近の電位分布は、図5の等電位線EVとして示す
如くである。この場合、カソード電極Kの先端と、配線
W1との間の距離は、例えば、5μmとする。
【0043】これに対し、具体例3の平面型表示装置の
場合のカソードK付近の電位分布は、図12の等電位線
EVとして示すように、アノード電極Aからの高圧電界
が、シールド電極SHによって遮蔽されるので、MOS
ゲートMGのドレインDに印加される電圧は、図5の場
合は、MOSゲートMGがOFFのときでも、30V程
度に及ぶが、図12の場合は、3V程度に低下するの
で、具体例3の場合は、MOSゲートMGが破壊される
おそれは殆どなくなる。MOSゲートMGの動作電圧が
低いことが、この種平面型表示装置の高速動作及び低消
費電力の両立のために必須とされるが、動作電圧が低い
ということは逆に絶縁耐圧の低下を意味する。しかし、
具体例3の場合は、動作電圧が5V程度と低いMOSト
ランジスタを使用したときでも、シールド電極SHのシ
ールド効果によって、そのMOSトランジスタの実際の
絶縁耐圧を、本来MOSトランジスタが持つ絶縁耐圧
(10〜15V)以下に保持することが可能となる。
【0044】次に、図13及び図13のα−α′線上の
電極を示す図14を参照して、具体例4の平面型表示装
置を説明する。具体例4では、具体例2の平面型表示装
置において、具体例3と同様のシールド電極SHを設け
た場合である。その他の構成及び動作は、具体例2及び
3と同様である。
【0045】尚、上述の各具体例においても、カソード
Kの形状は、上述した図17に図示したものや、金属/
絶縁層/金属からなるMIM型の電子放出素子等も可能
である。
【0046】上述の各具体例においては、MOSゲート
としてnチャンネル型MOSトランジスタを用いた場合
について述べたが、pチャンネル型MOSトランジスタ
を使用することもできる。
【0047】
【発明の効果】第1の本発明によれば、複数の電界放出
型カソードと、その複数の電界放出型カソードの表面
に、その複数の電界放出型カソードからの電子放射を可
能にし得るショットキーバリアを形成する強電界を固定
的に与える高圧電極と、複数の電界放出型カソードに接
続され、その複数の電界放出型カソードからの電子の放
射の有無を制御する2次元MOSゲートアレイと、複数
の電界放出型カソードから選択的に放出された電子の衝
撃によって、光輝せしめられる蛍光体層とを有するの
で、複数の電界放出型カソード及びその複数の電界放出
型カソードのうちの選択された電界放出型カソードから
放出された電子の衝撃によって光輝せしめられる蛍光体
層を有する平面型表示装置において、複数の電界放出型
カソードから選択的に電子を放出させるための駆動電圧
の低電圧化及び消費電力の低減化が可能であると共に、
高速動作の可能な平面型表示装置をを得ることができ
る。
【0048】第2の本発明によれば、マトリックス状に
配されたm行n列(但し、m、nは1以上の整数)の電
界放出型カソードからなる画素が、M行N列(但し、
M、Nは2以上の整数)のマトリックス状に配列された
電界放出型カソード群と、その電界放出型カソード群を
構成する各電界放出型カソードの表面に、その各電界放
出型カソードからの電子放射を可能にし得るショットキ
ーバリアを形成する強電界を固定的に与える高圧電極
と、電界放出型カソード群を構成する各電界放出型カソ
ードがそれぞれ各別にドレインに接続されたMOSゲー
トからなる2次元MOSゲートアレイと、M行の画素の
各電界放出型カソードに接続されている各MOSゲート
のゲートに、その各MOSゲートをONにするパルス電
圧を、M行の行毎に順次循環的に印加する走査駆動手段
と、その走査駆動手段より発生するパルス電圧に同期し
て、N列の画素の各電界放出型カソードに接続されてい
る各MOSゲートのソースに同時に、表示しようとする
画像に応じて、N列の列毎に選択的に低電圧を印加する
画像データ駆動手段と、画素毎に選択的に電界放出型カ
ソードから放出される電子の衝撃によって、光輝せしめ
られる蛍光体層とを有するので、マトリックス状に配さ
れたm行n列(但し、m、nは1以上の整数)の電界放
出型カソードからなる画素が、M行N列(但し、M、N
は2以上の整数)のマトリックス状に配列された電界放
出型カソード群及びその電界放出型カソード群の画素毎
に電界放出型カソードから放出された電子の衝撃によっ
て光輝せしめられる蛍光体層を有する平面型表示装置に
おいて、電界放出型カソード群から画素毎に選択的に電
子を放出させるための駆動電圧の低電圧化及び消費電力
の低減化が可能であると共に、高速動作の可能な平面型
表示装置を得ることができる。
【0049】第3の本発明によれば、第1の本発明の平
面型表示装置において、高圧電極は、蛍光体層が形成さ
れたアノード電極であるので、第1の本発明の効果に加
えて、構成の簡単な平面型表示装置を得ることができ
る。
【0050】第4の本発明によれば、第1の本発明の平
面型表示装置において、高圧電極は、複数の電界放出型
カソードに近接しで設けられた引き出し電極であるの
で、第1の本発明の効果に加えて、高圧電極の電圧を低
くすることのできる平面型表示装置を得ることができ
る。
【0051】第5の本発明によれば、第1の本発明の平
面型表示装置において、複数の電界放出型カソードの近
傍に、シールド電極を設けたので、第1の本発明の効果
に加えて、MOSゲートに高圧が印加されるおそれがな
く、このためMOSゲートの破壊を防止することのでき
る平面型表示装置を得ることができる。
【0052】第6の本発明によれば、第5の本発明の平
面型表示装置において、シールド電極には、複数の電界
放出型カソードに選択的に印加される低電圧と略等しい
か、又は、その低電圧より低い電圧が印加されるように
したので、第5の本発明と同様の効果の得られる平面型
表示装置を得ることができる。
【0053】第7の本発明によれば、第5の本発明の平
面型表示装置において、シールド電極に、少なくともM
OSゲートがOFFのときに、複数の電界放出型カソー
ドに選択的に印加される低電圧と略等しいか、又は、そ
の低電圧より低い電圧が印加されるようにしたので、第
5の本発明と同様の効果の得られる平面型表示装置を得
ることができる。
【0054】第8の本発明によれば、第2の本発明の平
面型表示装置において、高圧電極は、蛍光体層が形成さ
れたアノード電極であるので、第2の本発明の効果に加
えて、構成の簡単な平面型表示装置を得ることができ
る。
【0055】第9の本発明によれば、第2の本発明の平
面型表示装置において、高圧電極は、電界放出型カソー
ド群に近接しで設けられた引き出し電極であるので、第
2の本発明の効果に加えて、高圧電極の電圧を低くする
ことのできる平面型表示装置を得ることができる。
【0056】第10の本発明によれば、第2の本発明の
平面型表示装置において、電界放出型カソード群の近傍
に、シールド電極を設けたので、第2の本発明の効果に
加えて、MOSゲートに高圧が印加されるおそれがな
く、このためMOSゲートの破壊を防止することのでき
る平面型表示装置を得ることができる。
【0057】第11の本発明によれば、第10の本発明
の平面型表示装置において、シールド電極には、複数の
電界放出型カソードに選択的に印加される低電圧と略等
しいか、又は、その低電圧より低い電圧が印加されるよ
うにしたので、第10の本発明と同様の効果の得られる
平面型表示装置を得ることができる。
【0058】第12の本発明によれば、第10の本発明
の平面型表示装置において、シールド電極に、少なくと
もMOSゲートがOFFのときに、電界放出型カソード
群の電界放出型カソードに選択に印加される低電圧と略
等しいか、又は、その低電圧より低い電圧が印加される
ようしたので、第10の本発明と同様の効果の得られる
平面型表示装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の具体例1の平面型表示装
置を示すブロック線図である。
【図2】具体例1の電極を示す図1のα−α′線上の断
面図である。
【図3】具体例1のゲートアレイを示すブロック線図で
ある。
【図4】具体例1のゲートアレイの詳細を示すブロック
線図である。
【図5】具体例1のMOSゲート付近の構造及びカソー
ド付近の電位分布を示す断面図である。
【図6】具体例1のゲートアレイの変形例の詳細を示す
ブロック線図である。
【図7】電子のポテンシャルエネルギーとショットキー
バリアの電界依存性を示す特性曲線図である。
【図8】本発明の実施の形態の具体例2の平面型表示装
置を示すブロック線図である。
【図9】具体例2の電極を示す図2のα−α′線上の断
面図である。
【図10】本発明の実施の形態の具体例3の平面型表示
装置を示すブロック線図である。
【図11】具体例3の電極を示す図3のα−α′線上の
断面図である。
【図12】具体例3のMOSゲート付近の構造及びカソ
ード付近の電位分布を示す断面図である。
【図13】本発明の実施の形態の具体例4の平面型表示
装置を示すブロック線図である。
【図14】具体例4の電極を示す図3のα−α′線上の
断面図である。
【図15】従来の平面型表示装置を示すブロック線図で
ある。
【図16】従来の平面型表示装置の一部の断面図であ
る。
【図17】従来の平面型表示装置の電界放出型カソード
の例を示す平面図及び断面図である。
【符号の説明】 A アノード電極、P 蛍光体層、K′ カソード群、
K 電界放出型カソード、DR 引き出し電極、SH
シールド電極、GA 2次元ゲートアレイ、MG MO
Sゲート、SD スキャンドライバ、DD データドラ
イバ。

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の電界放出型カソードと、 該複数の電界放出型カソードの表面に、該複数の電界放
    出型カソードからの電子放射を可能にし得るショットキ
    ーバリアを形成する強電界を固定的に与える高圧電極
    と、 上記複数の電界放出型カソードに接続され、該複数の電
    界放出型カソードからの電子の放射の有無を制御する2
    次元MOSゲートアレイと、 上記複数の電界放出型カソードから選択的に放出された
    電子の衝撃によって、光輝せしめられる蛍光体層とを有
    することを特徴とする平面型表示装置。
  2. 【請求項2】 マトリックス状に配されたm行n列(但
    し、m、nは1以上の整数)の電界放出型カソードから
    なる画素が、M行N列(但し、M、Nは2以上の整数)
    のマトリックス状に配列された電界放出型カソード群
    と、 該電界放出型カソード群を構成する各電界放出型カソー
    ドの表面に、該各電界放出型カソードからの電子放射を
    可能にし得るショットキーバリアを形成する強電界を固
    定的に与える高圧電極と、 上記電界放出型カソード群を構成する各電界放出型カソ
    ードがそれぞれ各別にドレインに接続されたMOSゲー
    トからなる2次元MOSゲートアレイと、 上記M行の画素の各電界放出型カソードに接続されてい
    る各MOSゲートのゲートに、該各MOSゲートをON
    にするパルス電圧を、上記M行の行毎に順次循環的に印
    加する走査駆動手段と、 該走査駆動手段より発生する上記パルス電圧に同期し
    て、上記N列の画素の各電界放出型カソードに接続され
    ている各MOSゲートのソースに同時に、表示しようと
    する画像に応じて、上記N列の列毎に選択的に低電圧を
    印加する画像データ駆動手段と、 上記画素毎に選択的に上記電界放出型カソードから放出
    される電子の衝撃によって、光輝せしめられる蛍光体層
    とを有することを特徴とする平面型表示装置。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の平面型表示装置におい
    て、 上記高圧電極は、上記蛍光体層が形成されたアノード電
    極であることを特徴とする平面型表示装置。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載の平面型表示装置におい
    て、 上記高圧電極は、上記複数の電界放出型カソードに近接
    しで設けられた引き出し電極であることを特徴とする平
    面型表示装置。
  5. 【請求項5】 請求項1に記載の平面型表示装置におい
    て、 上記複数の電界放出型カソードの近傍に、シールド電極
    を設けたことを特徴とする平面型表示装置。
  6. 【請求項6】 請求項5に記載の平面型表示装置におい
    て、 上記シールド電極には、上記複数の電界放出型カソード
    に選択的に印加される低電圧と略等しいか、又は、該低
    電圧より低い電圧が印加されるようにしたことを特徴と
    する平面型表示装置。
  7. 【請求項7】 請求項5に記載の平面型表示装置におい
    て、 上記シールド電極に、少なくとも上記MOSゲートがO
    FFのときに、上記複数の電界放出型カソードに選択的
    に印加される低電圧と略等しいか、又は、該低電圧より
    低い電圧が印加されるようしたことを特徴とする平面型
    表示装置。
  8. 【請求項8】 請求項2に記載の平面型表示装置におい
    て、 上記高圧電極は、上記蛍光体層が形成されたアノード電
    極であることを特徴とする平面型表示装置。
  9. 【請求項9】 請求項2に記載の平面型表示装置におい
    て、 上記高圧電極は、上記電界放出型カソード群に近接しで
    設けられた引き出し電極であることを特徴とする平面型
    表示装置。
  10. 【請求項10】 請求項2に記載の平面型表示装置にお
    いて、 上記電界放出型カソード群の近傍に、シールド電極を設
    けたことを特徴とする平面型表示装置。
  11. 【請求項11】 請求項10に記載の平面型表示装置に
    おいて、 上記シールド電極には、上記複数の電界放出型カソード
    に選択的に印加される低電圧と略等しいか、又は、該低
    電圧より低い電圧が印加されるようにしたことを特徴と
    する平面型表示装置。
  12. 【請求項12】 請求項10に記載の平面型表示装置に
    おいて、 上記シールド電極に、少なくとも上記MOSゲートがO
    FFのときに、上記電界放出型カソード群の電界放出型
    カソードに選択に印加される低電圧と略等しいか、又
    は、該低電圧より低い電圧が印加されるようしたことを
    特徴とする平面型表示装置。
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