JP2000182225A - 複合ヘッドの製造方法、複合ヘッドおよびこれを具備する磁気記録再生装置 - Google Patents
複合ヘッドの製造方法、複合ヘッドおよびこれを具備する磁気記録再生装置Info
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- JP2000182225A JP2000182225A JP10353046A JP35304698A JP2000182225A JP 2000182225 A JP2000182225 A JP 2000182225A JP 10353046 A JP10353046 A JP 10353046A JP 35304698 A JP35304698 A JP 35304698A JP 2000182225 A JP2000182225 A JP 2000182225A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐摩耗性の向上及び記録再生信号の高品質化
を図る複合ヘッドの製造方法、複合ヘッドおよびこれを
具備する磁気記録再生装置の提供。 【解決手段】 第１の基板１ａ上に順次、各々絶縁層を
介して第１の磁性コアと第１の基板１ａと導通する台座
１０、ＭＲ素子、第２の磁性コア、コイルと第２の磁性
コアと閉磁路を構成する第３の磁性コア、台座１０上の
ＧＮＤ端子１５と導通する支柱１６、支柱１６上に絶縁
層を介して支柱１６に導通するＧＮＤパターン１７の形
成工程と、ＧＮＤパターン１７に一端を乗り上げＧＮＤ
パターン１７と導通する第２の基板１ｂを接着する工程
とを有し、第２の基板１ｂのＧＮＤパターン１７への乗
り上げにより形成される隙間１８に接着剤を充填し、第
２の基板１ｂを強固に接着するとともに第１，２の基板
１ａ，１ｂの導通化を図る。
を図る複合ヘッドの製造方法、複合ヘッドおよびこれを
具備する磁気記録再生装置の提供。 【解決手段】 第１の基板１ａ上に順次、各々絶縁層を
介して第１の磁性コアと第１の基板１ａと導通する台座
１０、ＭＲ素子、第２の磁性コア、コイルと第２の磁性
コアと閉磁路を構成する第３の磁性コア、台座１０上の
ＧＮＤ端子１５と導通する支柱１６、支柱１６上に絶縁
層を介して支柱１６に導通するＧＮＤパターン１７の形
成工程と、ＧＮＤパターン１７に一端を乗り上げＧＮＤ
パターン１７と導通する第２の基板１ｂを接着する工程
とを有し、第２の基板１ｂのＧＮＤパターン１７への乗
り上げにより形成される隙間１８に接着剤を充填し、第
２の基板１ｂを強固に接着するとともに第１，２の基板
１ａ，１ｂの導通化を図る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は複合ヘッドの製造方
法、複合ヘッドおよびこれを具備する磁気記録再生装置
に関し、さらに詳しくは、磁気抵抗効果型ヘッドとイン
ダクティブヘッドとを有する複合ヘッドの製造方法、複
合ヘッドおよびこれを具備する磁気記録再生装置に関す
る。
法、複合ヘッドおよびこれを具備する磁気記録再生装置
に関し、さらに詳しくは、磁気抵抗効果型ヘッドとイン
ダクティブヘッドとを有する複合ヘッドの製造方法、複
合ヘッドおよびこれを具備する磁気記録再生装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より高密度なハードディスクドライ
ブ（ＨＤＤ）装置においては、書き込み読み出しを行う
インダクティブヘッドと、保磁力が大であるコバルトア
ロイ系の磁性膜を有する磁気ディスクとの組み合わせに
よって、高記録密度化が図られてきた。しかしながら、
インダクティブヘッドを単独で用いる方式では、さらな
る高記録密度化に限界がある。すなわち、高記録密度化
に伴う高周波記録により、十分な再生信号レベルを得る
ためにはヘッドコイルのターン数を増大させることが必
要であるのに対し、同一ヘッドによる書き込み過程では
コイルのターン数の増大に伴うインダクタンス等の増加
が周波数特性向上の障害となるためである。高密度の記
録再生にとって、書き込みと再生に要求されるヘッド条
件は相反する条件である。したがって、書き込みと読み
出しの両方の機能を十分に満たすために、記録再生を分
離したヘッド、いわゆる記録再生分離型のヘッドが用い
られる傾向にある。このような記録再生分離型のヘッド
としては、書き込み機能を最適化したインダクティブヘ
ッドと、このインダクティブヘッド近傍に読み出し機能
を最適化したＭＲ（磁気抵抗効果）ヘッドを配置した、
いわゆる複合ヘッドが一般的である。
ブ（ＨＤＤ）装置においては、書き込み読み出しを行う
インダクティブヘッドと、保磁力が大であるコバルトア
ロイ系の磁性膜を有する磁気ディスクとの組み合わせに
よって、高記録密度化が図られてきた。しかしながら、
インダクティブヘッドを単独で用いる方式では、さらな
る高記録密度化に限界がある。すなわち、高記録密度化
に伴う高周波記録により、十分な再生信号レベルを得る
ためにはヘッドコイルのターン数を増大させることが必
要であるのに対し、同一ヘッドによる書き込み過程では
コイルのターン数の増大に伴うインダクタンス等の増加
が周波数特性向上の障害となるためである。高密度の記
録再生にとって、書き込みと再生に要求されるヘッド条
件は相反する条件である。したがって、書き込みと読み
出しの両方の機能を十分に満たすために、記録再生を分
離したヘッド、いわゆる記録再生分離型のヘッドが用い
られる傾向にある。このような記録再生分離型のヘッド
としては、書き込み機能を最適化したインダクティブヘ
ッドと、このインダクティブヘッド近傍に読み出し機能
を最適化したＭＲ（磁気抵抗効果）ヘッドを配置した、
いわゆる複合ヘッドが一般的である。
【０００３】ＭＲヘッドの再生出力は、磁気記録媒体と
の相対速度依存性がないことや、低クロストーク等の特
徴を有し、特に近年におけるスピンバブル膜による巨大
磁気抵抗(GMR;Giant Magneto-Resistive )効果や新しい
素子構造の開発、あるいはＰＲＭＬ(Partial Response
Maximum Likelyhood )信号処理方式等の採用により、西
暦２０００年には１０Ｇｂｉｔ／ｉｎ2 、転送速度２４
ＭＢ／ｓの記録面密度を有するＨＤＤ装置が可能になる
と予測されている。また、磁気テープを用いた磁気記録
装置の分野でも、１Ｇｂｉｔ／ｉｎ2 程度の記録面密度
を超えた時点から、ＭＲヘッドが採用されると見られて
いる。
の相対速度依存性がないことや、低クロストーク等の特
徴を有し、特に近年におけるスピンバブル膜による巨大
磁気抵抗(GMR;Giant Magneto-Resistive )効果や新しい
素子構造の開発、あるいはＰＲＭＬ(Partial Response
Maximum Likelyhood )信号処理方式等の採用により、西
暦２０００年には１０Ｇｂｉｔ／ｉｎ2 、転送速度２４
ＭＢ／ｓの記録面密度を有するＨＤＤ装置が可能になる
と予測されている。また、磁気テープを用いた磁気記録
装置の分野でも、１Ｇｂｉｔ／ｉｎ2 程度の記録面密度
を超えた時点から、ＭＲヘッドが採用されると見られて
いる。
【０００４】以下、ＭＲヘッドを構成するＭＲ素子に流
れるセンス電流がトラック幅方向と平行な方向に流れ
る、いわゆる横型のＭＲヘッドを有する複合ヘッドの一
例について、複合ヘッドの概略断面図である図８を参照
し、概略構成について説明する。たとえば浮上型スライ
ダ自体、あるいはこれに固着される第１の基板１ａ上
に、磁気記録媒体と対向する磁気記録媒体対向面２に臨
んで前方端部間に、ＭＲ素子３を挟んでＭＲ素子３のシ
ールドを成す第１の磁性コア４と第２の磁性コア５とが
形成されている。この第２の磁性コア５上にはさらに記
録時の磁気ギャップを構成する非磁性の絶縁層６と第３
の磁性コア７が、同様に磁気記録媒体対向面２に臨んで
形成されている。また符号８は、第２および第３の磁性
コア５，７の、たとえば各後方部の互いの磁気的結合部
を巡るように渦巻状パターンに形成されたコイルを示
し、この第２および第３の磁性コア５，７によって、記
録ヘッドが構成されている。ＭＲ素子３の磁気記録媒体
移動方向両端には、図示を省略するが、ＭＲ素子３にセ
ンス電流を提供するためのリードが設けられ、磁気記録
媒体対向面２に対向する磁気記録媒体からの信号磁界を
検出するように構成されている。なお、符号９はＭＲ素
子３にバイアス磁界を印加するバイアス導体である。
れるセンス電流がトラック幅方向と平行な方向に流れ
る、いわゆる横型のＭＲヘッドを有する複合ヘッドの一
例について、複合ヘッドの概略断面図である図８を参照
し、概略構成について説明する。たとえば浮上型スライ
ダ自体、あるいはこれに固着される第１の基板１ａ上
に、磁気記録媒体と対向する磁気記録媒体対向面２に臨
んで前方端部間に、ＭＲ素子３を挟んでＭＲ素子３のシ
ールドを成す第１の磁性コア４と第２の磁性コア５とが
形成されている。この第２の磁性コア５上にはさらに記
録時の磁気ギャップを構成する非磁性の絶縁層６と第３
の磁性コア７が、同様に磁気記録媒体対向面２に臨んで
形成されている。また符号８は、第２および第３の磁性
コア５，７の、たとえば各後方部の互いの磁気的結合部
を巡るように渦巻状パターンに形成されたコイルを示
し、この第２および第３の磁性コア５，７によって、記
録ヘッドが構成されている。ＭＲ素子３の磁気記録媒体
移動方向両端には、図示を省略するが、ＭＲ素子３にセ
ンス電流を提供するためのリードが設けられ、磁気記録
媒体対向面２に対向する磁気記録媒体からの信号磁界を
検出するように構成されている。なお、符号９はＭＲ素
子３にバイアス磁界を印加するバイアス導体である。
【０００５】このようにして、第１および第２の磁性コ
ア４，５間にＭＲ素子３が配置された、いわゆるシール
ド型構造を有するＭＲヘッドが構成されるとともに、第
２および第３の磁性コア５，７により構成される磁路に
コイル８が巻装されたインダクティブヘッドが構成され
る。この場合、第２の磁性コア５は、再生時にはＭＲ素
子３のシールド体として機能し、記録時には誘導用コア
として機能する。このような構成による従来の複合ヘッ
ドは、図９に磁気記録媒体対向面２側からみた複合ヘッ
ドの概略平面図に示したように、ＭＲヘッドのトラック
幅を規定するＭＲ素子３の幅と、インダクティブヘッド
のトラック幅を規定する第３の磁性コア７の幅とを、そ
れぞれのトラック幅方向に関する中心位置が一致するよ
うに形成されている。
ア４，５間にＭＲ素子３が配置された、いわゆるシール
ド型構造を有するＭＲヘッドが構成されるとともに、第
２および第３の磁性コア５，７により構成される磁路に
コイル８が巻装されたインダクティブヘッドが構成され
る。この場合、第２の磁性コア５は、再生時にはＭＲ素
子３のシールド体として機能し、記録時には誘導用コア
として機能する。このような構成による従来の複合ヘッ
ドは、図９に磁気記録媒体対向面２側からみた複合ヘッ
ドの概略平面図に示したように、ＭＲヘッドのトラック
幅を規定するＭＲ素子３の幅と、インダクティブヘッド
のトラック幅を規定する第３の磁性コア７の幅とを、そ
れぞれのトラック幅方向に関する中心位置が一致するよ
うに形成されている。
【０００６】ところで、上記した複合ヘッドをＨＤＤ装
置に用いた場合には、複合ヘッドと磁気記録媒体とは非
接触であるため摩耗に関する問題は発生しない。しかし
ながら、磁気テープを用いる磁気記録装置の場合、磁気
テープ走行時において磁気テープが常に複合ヘッドと接
触且つ摺動するため、複合ヘッドの磁気記録媒体対向面
２における摩耗が大きな問題となる。たとえば、磁気テ
ープが均等なテープテンションで走行しない場合では、
磁気記録媒体対向面２の磁気テープとの接触面全域にお
いて偏摩耗が発生し、高品質の記録再生信号を得ること
が困難となる虞がある。この偏摩耗を抑制する方法とし
ては、複合ヘッドの磁気記録媒体対向面２を臨むそれぞ
れの構成材の硬度をほぼ同一とする、たとえば図８に示
したようなＭＲヘッドとインダクティブヘッドとを第１
の基板１ａと第２の基板１ｂで挟む構成が従来より考え
られていたが、専用の工程を有してリードタイムが大と
なるために行われていなかった。このため、図８に示し
たようなＭＲヘッドとインダクティブヘッドとを第１の
基板１ａと第２の基板１ｂで挟む構成を採用し、この第
１，２の基板１ａ，１ｂを何れも導電性を有する材料で
構成して共通のＧＮＤにおとす構成の高品質の記録再生
信号が得られる複合ヘッドを、多くの工数を要すること
なく製造する方法が求められていた。
置に用いた場合には、複合ヘッドと磁気記録媒体とは非
接触であるため摩耗に関する問題は発生しない。しかし
ながら、磁気テープを用いる磁気記録装置の場合、磁気
テープ走行時において磁気テープが常に複合ヘッドと接
触且つ摺動するため、複合ヘッドの磁気記録媒体対向面
２における摩耗が大きな問題となる。たとえば、磁気テ
ープが均等なテープテンションで走行しない場合では、
磁気記録媒体対向面２の磁気テープとの接触面全域にお
いて偏摩耗が発生し、高品質の記録再生信号を得ること
が困難となる虞がある。この偏摩耗を抑制する方法とし
ては、複合ヘッドの磁気記録媒体対向面２を臨むそれぞ
れの構成材の硬度をほぼ同一とする、たとえば図８に示
したようなＭＲヘッドとインダクティブヘッドとを第１
の基板１ａと第２の基板１ｂで挟む構成が従来より考え
られていたが、専用の工程を有してリードタイムが大と
なるために行われていなかった。このため、図８に示し
たようなＭＲヘッドとインダクティブヘッドとを第１の
基板１ａと第２の基板１ｂで挟む構成を採用し、この第
１，２の基板１ａ，１ｂを何れも導電性を有する材料で
構成して共通のＧＮＤにおとす構成の高品質の記録再生
信号が得られる複合ヘッドを、多くの工数を要すること
なく製造する方法が求められていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、磁気
記録媒体、特に磁気テープに対する耐摩耗性の向上を図
るとともに、記録再生信号の高品質化を図る複合ヘッド
の製造方法、複合ヘッドおよびこれを具備する磁気記録
再生装置を提供することである。
記録媒体、特に磁気テープに対する耐摩耗性の向上を図
るとともに、記録再生信号の高品質化を図る複合ヘッド
の製造方法、複合ヘッドおよびこれを具備する磁気記録
再生装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の複合ヘッドの製造方法では、少なくとも、
導電性を有する第１の基板上に、絶縁層を介して第１の
磁性コアと第１の基板と導通する台座とを形成する工程
と、第１の磁性コア上に、絶縁層を介してＭＲ素子を形
成する工程と、ＭＲ素子上に、絶縁層を介して第２の磁
性コアを形成する工程と、第２の磁性コア上に、絶縁層
を介してコイルと第２の磁性コアと閉磁路を構成する第
３の磁性コアとを形成する工程と、第１の基板と導通す
る台座上に、台座と導通する支柱を形成する工程と、支
柱上に、絶縁層を介して支柱に導通するＧＮＤパターン
を形成する工程と、ＧＮＤパターンに一端を乗り上げ、
ＧＮＤパターンと導通する第２の基板を接着する工程と
を有することを特徴とする。
に、本発明の複合ヘッドの製造方法では、少なくとも、
導電性を有する第１の基板上に、絶縁層を介して第１の
磁性コアと第１の基板と導通する台座とを形成する工程
と、第１の磁性コア上に、絶縁層を介してＭＲ素子を形
成する工程と、ＭＲ素子上に、絶縁層を介して第２の磁
性コアを形成する工程と、第２の磁性コア上に、絶縁層
を介してコイルと第２の磁性コアと閉磁路を構成する第
３の磁性コアとを形成する工程と、第１の基板と導通す
る台座上に、台座と導通する支柱を形成する工程と、支
柱上に、絶縁層を介して支柱に導通するＧＮＤパターン
を形成する工程と、ＧＮＤパターンに一端を乗り上げ、
ＧＮＤパターンと導通する第２の基板を接着する工程と
を有することを特徴とする。
【０００９】本発明の複合ヘッドでは、少なくとも、導
電性を有する第１の基板と、第１の基板上に、絶縁層を
介して形成された第１の磁性コアと第１の基板と導通す
る台座と、第１の磁性コア上に、絶縁層を介して形成さ
れたＭＲ素子と、ＭＲ素子上に、絶縁層を介して形成さ
れた第２の磁性コアと、第２の磁性コア上に、絶縁層を
介して形成されたコイルと第２の磁性コアと閉磁路を構
成する第３の磁性コアと、台座上に形成され、台座と導
通する支柱と、支柱上に絶縁層を介して形成され、支柱
に導通するＧＮＤパターンと、ＧＮＤパターンに一端を
乗り上げ、ＧＮＤパターンと導通する第２の基板とを有
することを特徴とする。また、この複合ヘッドを具備す
る磁気記録再生装置を特徴とする。
電性を有する第１の基板と、第１の基板上に、絶縁層を
介して形成された第１の磁性コアと第１の基板と導通す
る台座と、第１の磁性コア上に、絶縁層を介して形成さ
れたＭＲ素子と、ＭＲ素子上に、絶縁層を介して形成さ
れた第２の磁性コアと、第２の磁性コア上に、絶縁層を
介して形成されたコイルと第２の磁性コアと閉磁路を構
成する第３の磁性コアと、台座上に形成され、台座と導
通する支柱と、支柱上に絶縁層を介して形成され、支柱
に導通するＧＮＤパターンと、ＧＮＤパターンに一端を
乗り上げ、ＧＮＤパターンと導通する第２の基板とを有
することを特徴とする。また、この複合ヘッドを具備す
る磁気記録再生装置を特徴とする。
【００１０】上述した手段によれば、多くの工数を要す
ることなく第１の基板と第２の基板とが、台座、支柱お
よびＧＮＤパターンを介して導通状態となる複合ヘッド
の提供が可能となる。また、第２の基板の一端をＧＮＤ
パターンに乗り上げさせることにより、第２の基板が磁
気記録媒体対向面に対して必然的に高精度に位置決めさ
れるとともに第１の基板と絶縁層との間に隙間が形成さ
れ、この隙間に接着剤を充填することにより第２の基板
を強固に接着することができる。
ることなく第１の基板と第２の基板とが、台座、支柱お
よびＧＮＤパターンを介して導通状態となる複合ヘッド
の提供が可能となる。また、第２の基板の一端をＧＮＤ
パターンに乗り上げさせることにより、第２の基板が磁
気記録媒体対向面に対して必然的に高精度に位置決めさ
れるとともに第１の基板と絶縁層との間に隙間が形成さ
れ、この隙間に接着剤を充填することにより第２の基板
を強固に接着することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明は、ＭＲヘッドとインダク
ティブヘッドとを有する複合ヘッドの製造方法、複合ヘ
ッドおよびこれを具備する磁気記録再生装置に適用する
ことができる。以下、本発明をＭＲヘッドを構成するＭ
Ｒ素子に流れるセンス電流がトラック幅方向と平行な方
向に流れる、いわゆる横型のＭＲヘッドを有する複合ヘ
ッドに適用した一例について、再生用のＭＲヘッドと記
録用のインダクティブヘッドとを積層した複合ヘッドの
概略工程説明図である図１〜図７を参照して説明する。
なお、図中の構成要素で従来の技術と同様の構造を成し
ているものについては、同一の参照符号を付すものとす
る。
ティブヘッドとを有する複合ヘッドの製造方法、複合ヘ
ッドおよびこれを具備する磁気記録再生装置に適用する
ことができる。以下、本発明をＭＲヘッドを構成するＭ
Ｒ素子に流れるセンス電流がトラック幅方向と平行な方
向に流れる、いわゆる横型のＭＲヘッドを有する複合ヘ
ッドに適用した一例について、再生用のＭＲヘッドと記
録用のインダクティブヘッドとを積層した複合ヘッドの
概略工程説明図である図１〜図７を参照して説明する。
なお、図中の構成要素で従来の技術と同様の構造を成し
ているものについては、同一の参照符号を付すものとす
る。
【００１２】まず、図１に示したように、非磁性且つ導
電性を有する第１の基板１ａ上の、後に台座１０が形成
される部位に設けられる開口孔を除く全面に、たとえば
Ａｌ2 Ｏ3 で構成された第１の絶縁層６ａを形成する。
電性を有する第１の基板１ａ上の、後に台座１０が形成
される部位に設けられる開口孔を除く全面に、たとえば
Ａｌ2 Ｏ3 で構成された第１の絶縁層６ａを形成する。
【００１３】つぎに、第１の絶縁層６ａ上の磁気記録媒
体対向面２側に第１の磁性コア４と、上記した開口孔を
塞ぐとともに一部が第１の絶縁層６ａにかぶる台座１０
とを形成する。これらは、たとえばセンダスト（Ｆｅ−
Ａｌ−Ｓｉ合金）により形成され、第１の基板１ａと台
座１０とは電気的に導通状態となっている。
体対向面２側に第１の磁性コア４と、上記した開口孔を
塞ぐとともに一部が第１の絶縁層６ａにかぶる台座１０
とを形成する。これらは、たとえばセンダスト（Ｆｅ−
Ａｌ−Ｓｉ合金）により形成され、第１の基板１ａと台
座１０とは電気的に導通状態となっている。
【００１４】つぎに、第１の磁性コア４、第１の絶縁層
６ａおよび台座１０を覆い、たとえばＡｌ2 Ｏ3 で構成
された第２の絶縁層６ｂを形成する。
６ａおよび台座１０を覆い、たとえばＡｌ2 Ｏ3 で構成
された第２の絶縁層６ｂを形成する。
【００１５】つぎに、磁気記録媒体対向面２を臨む第２
の絶縁層６ｂ上にＭＲ素子３を形成する。
の絶縁層６ｂ上にＭＲ素子３を形成する。
【００１６】つぎに、図１におけるＡ方向からみた概略
平面図である図２に示したように、ＭＲ素子３の磁気記
録媒体移動方向の両端に、ＭＲ素子３の磁化方向を安定
化する強磁性体で構成されたハード膜１１を形成し、さ
らにこのハード膜１１に接続するリード１２を形成す
る。
平面図である図２に示したように、ＭＲ素子３の磁気記
録媒体移動方向の両端に、ＭＲ素子３の磁化方向を安定
化する強磁性体で構成されたハード膜１１を形成し、さ
らにこのハード膜１１に接続するリード１２を形成す
る。
【００１７】つぎに、ＭＲ素子３、ハード膜１１、リー
ド１２および第２の絶縁層６ｂを覆い、たとえばＡｌ2
Ｏ3 で構成された第３の絶縁層６ｃを形成する。
ド１２および第２の絶縁層６ｂを覆い、たとえばＡｌ2
Ｏ3 で構成された第３の絶縁層６ｃを形成する。
【００１８】つぎに、第３の絶縁層６ｃのＭＲ素子３上
に、ＭＲ素子３に所定のバイアス磁界を印加するバイア
ス導体１３を形成する。
に、ＭＲ素子３に所定のバイアス磁界を印加するバイア
ス導体１３を形成する。
【００１９】つぎに、バイアス導体１３および第３の絶
縁層６ｃを覆い、たとえばＡｌ2 Ｏ3 で構成された第４
の絶縁層６ｄを形成する。
縁層６ｃを覆い、たとえばＡｌ2 Ｏ3 で構成された第４
の絶縁層６ｄを形成する。
【００２０】つぎに、磁気記録媒体対向面２を臨む第４
の絶縁層６ｄ上に第２の磁性コア５を形成することによ
り、再生用のＭＲヘッドが完成する。
の絶縁層６ｄ上に第２の磁性コア５を形成することによ
り、再生用のＭＲヘッドが完成する。
【００２１】つぎに、ＭＲヘッド上にインダクティブヘ
ッドを形成する。ここで形成されるインダクティブヘッ
ドは、従来の技術において参照した図８と同様に、通常
の誘導型の薄膜磁気ヘッド構造を有するものであり、た
とえばＡｌ2 Ｏ3 で構成された第５の絶縁層（図示せ
ず）を介して、コイル（図示せず）および第２の磁性コ
ア５と閉磁路を構成する第３の磁性コア（図示せず）を
形成する。この第２の磁性コア５と第３の磁性コアと
は、バック側で第５の絶縁層に設けた窓部を介して磁気
的に結合したバックギャップを構成するとともに、磁気
記録媒体対向面２側で所定の膜厚の第５の絶縁層（イン
ダクティブヘッドのギャップ）を挟んで対向配置するよ
うに形成される。
ッドを形成する。ここで形成されるインダクティブヘッ
ドは、従来の技術において参照した図８と同様に、通常
の誘導型の薄膜磁気ヘッド構造を有するものであり、た
とえばＡｌ2 Ｏ3 で構成された第５の絶縁層（図示せ
ず）を介して、コイル（図示せず）および第２の磁性コ
ア５と閉磁路を構成する第３の磁性コア（図示せず）を
形成する。この第２の磁性コア５と第３の磁性コアと
は、バック側で第５の絶縁層に設けた窓部を介して磁気
的に結合したバックギャップを構成するとともに、磁気
記録媒体対向面２側で所定の膜厚の第５の絶縁層（イン
ダクティブヘッドのギャップ）を挟んで対向配置するよ
うに形成される。
【００２２】つぎに、第１，２，３，４の絶縁層６ａ，
６ｂ，６ｃ，６ｄおよび第５の絶縁層を、たとえばイオ
ンミリングで部分的にエッチング除去し、コイルの両端
およびＭＲ素子３の図２に示したリード１２のそれぞれ
と接続して台座１０に至る４本の導体パターンを形成す
るとともに、これらとは別に台座１０上にＧＮＤ端子を
形成する。
６ｂ，６ｃ，６ｄおよび第５の絶縁層を、たとえばイオ
ンミリングで部分的にエッチング除去し、コイルの両端
およびＭＲ素子３の図２に示したリード１２のそれぞれ
と接続して台座１０に至る４本の導体パターンを形成す
るとともに、これらとは別に台座１０上にＧＮＤ端子を
形成する。
【００２３】つぎに、図３に示したように、上記した台
座１０上に形成されたＧＮＤ端子１５上を除く全面に、
たとえばＡｌ2 Ｏ3 で構成された第６の絶縁層６ｅを形
成する。この第６の絶縁層６ｅを形成した後、たとえば
銅メッキにより、ＧＮＤ端子１５上にＧＮＤ端子１５と
電気的に導通する支柱１６を形成する。さらに、第６の
絶縁層６ｅと支柱１６とが同一平面となるように、ポリ
ッシングする。
座１０上に形成されたＧＮＤ端子１５上を除く全面に、
たとえばＡｌ2 Ｏ3 で構成された第６の絶縁層６ｅを形
成する。この第６の絶縁層６ｅを形成した後、たとえば
銅メッキにより、ＧＮＤ端子１５上にＧＮＤ端子１５と
電気的に導通する支柱１６を形成する。さらに、第６の
絶縁層６ｅと支柱１６とが同一平面となるように、ポリ
ッシングする。
【００２４】つぎに、支柱１６および第６の絶縁層６ｅ
上に、支柱１６と電気的に導通するＧＮＤパターン１７
を形成する。
上に、支柱１６と電気的に導通するＧＮＤパターン１７
を形成する。
【００２５】つぎに、図４に示したように、一端の稜を
第６の絶縁層６ｅの磁気記録媒体対向面２側稜に対し
て、たとえば０〜１００μｍの範囲で一致あるいは突出
させて当接し、且つ他端をＧＮＤパターン１７に乗り上
げた姿勢で、第２の基板１ｂを接着剤を用いて接着す
る。この第２の基板１ｂの材質は、第１の基板１ａと同
様に、非磁性且つ導電性を有するもので構成されてい
る。すなわち、第１の基板１ａと第２の基板１ｂとは、
台座１０、ＧＮＤ端子１５、支柱１６およびＧＮＤパタ
ーン１７を介して電気的に導通状態となる。
第６の絶縁層６ｅの磁気記録媒体対向面２側稜に対し
て、たとえば０〜１００μｍの範囲で一致あるいは突出
させて当接し、且つ他端をＧＮＤパターン１７に乗り上
げた姿勢で、第２の基板１ｂを接着剤を用いて接着す
る。この第２の基板１ｂの材質は、第１の基板１ａと同
様に、非磁性且つ導電性を有するもので構成されてい
る。すなわち、第１の基板１ａと第２の基板１ｂとは、
台座１０、ＧＮＤ端子１５、支柱１６およびＧＮＤパタ
ーン１７を介して電気的に導通状態となる。
【００２６】また、第２の基板１ｂをＧＮＤパターン１
７に乗り上げるように構成することにより、第６の絶縁
層６ｅと第２の基板１ｂとの間に隙間１８が形成され
る。この隙間１８に接着剤を充填することにより、第６
の絶縁層６ｅに対して第２の基板１ｂを強固に接着する
ことができる。
７に乗り上げるように構成することにより、第６の絶縁
層６ｅと第２の基板１ｂとの間に隙間１８が形成され
る。この隙間１８に接着剤を充填することにより、第６
の絶縁層６ｅに対して第２の基板１ｂを強固に接着する
ことができる。
【００２７】つぎに、図５に示したように、磁気記録媒
体対向面２を機械的に研磨し、所定の円弧面に仕上げる
ことにより、導通する第１，２の基板１ａ，１ｂに挟ま
れ、再生用のＭＲヘッドと記録用のインダクティブヘッ
ドとを有する複合ヘッドが完成する。なお、この工程
は、磁気記録媒体が磁気テープの場合、磁気テープの走
行時のテープテンションを一定にするとともに、磁気記
録媒体対向面２の偏摩耗を抑制する上で必要不可欠な工
程である。
体対向面２を機械的に研磨し、所定の円弧面に仕上げる
ことにより、導通する第１，２の基板１ａ，１ｂに挟ま
れ、再生用のＭＲヘッドと記録用のインダクティブヘッ
ドとを有する複合ヘッドが完成する。なお、この工程
は、磁気記録媒体が磁気テープの場合、磁気テープの走
行時のテープテンションを一定にするとともに、磁気記
録媒体対向面２の偏摩耗を抑制する上で必要不可欠な工
程である。
【００２８】この場合、第２の基板１ｂの一端の稜が、
第６の絶縁層６ｅの磁気記録媒体対向面２側稜よりも内
側に引っ込んだ状態で接着されると、図６に示したよう
に、研磨後の磁気記録媒体対向面２が連続した円弧面と
ならず、偏摩耗抑制効果が不十分となる。また、第２の
基板１ｂの一端の稜が、第６の絶縁層６ｅの磁気記録媒
体対向面２側稜よりも大きくせり出した状態で接着され
ると、図７に示したように、磁気記録媒体対向面２を満
足する円弧面にするまでに多くの工数を要するのみなら
ず、研磨後に得られる磁気記録媒体対向面２の形状がば
らつくという問題が生じる。したがって、第２の基板１
ｂを接着する工程において、第２の基板１ｂを高精度に
位置決めすることが重要であり、ＧＮＤパターン１７の
磁気記録媒体対向面２の近傍側形成位置を制御し、第２
の基板１ｂの一端がＧＮＤパターン１７に僅かに乗り上
げる状態で接着すれば、第２の基板１ｂは磁気記録媒体
対向面２に対して必然的に高精度に位置決めすることが
できる。このようにして完成した複合ヘッドを具備する
磁気記録再生装置、特に磁気テープを用いる磁気記録再
生装置では、磁気テープに対する耐摩耗性の向上が図る
ことができるとともに、高品質の記録再生信号を得るこ
とが可能となる。
第６の絶縁層６ｅの磁気記録媒体対向面２側稜よりも内
側に引っ込んだ状態で接着されると、図６に示したよう
に、研磨後の磁気記録媒体対向面２が連続した円弧面と
ならず、偏摩耗抑制効果が不十分となる。また、第２の
基板１ｂの一端の稜が、第６の絶縁層６ｅの磁気記録媒
体対向面２側稜よりも大きくせり出した状態で接着され
ると、図７に示したように、磁気記録媒体対向面２を満
足する円弧面にするまでに多くの工数を要するのみなら
ず、研磨後に得られる磁気記録媒体対向面２の形状がば
らつくという問題が生じる。したがって、第２の基板１
ｂを接着する工程において、第２の基板１ｂを高精度に
位置決めすることが重要であり、ＧＮＤパターン１７の
磁気記録媒体対向面２の近傍側形成位置を制御し、第２
の基板１ｂの一端がＧＮＤパターン１７に僅かに乗り上
げる状態で接着すれば、第２の基板１ｂは磁気記録媒体
対向面２に対して必然的に高精度に位置決めすることが
できる。このようにして完成した複合ヘッドを具備する
磁気記録再生装置、特に磁気テープを用いる磁気記録再
生装置では、磁気テープに対する耐摩耗性の向上が図る
ことができるとともに、高品質の記録再生信号を得るこ
とが可能となる。
【００２９】本発明は、上記のＭＲヘッドを構成するＭ
Ｒ素子に流れるセンス電流がトラック幅方向と平行な方
向に流れる、いわゆる横型のＭＲヘッドを有する複合ヘ
ッドに適用した事例に限定されるものではなく、たとえ
ば、ＭＲヘッドを構成するＭＲ素子に流れるセンス電流
がトラック幅方向と垂直な方向に流れる、いわゆる縦型
のＭＲヘッドを有する複合ヘッドにも適用することがで
きる。
Ｒ素子に流れるセンス電流がトラック幅方向と平行な方
向に流れる、いわゆる横型のＭＲヘッドを有する複合ヘ
ッドに適用した事例に限定されるものではなく、たとえ
ば、ＭＲヘッドを構成するＭＲ素子に流れるセンス電流
がトラック幅方向と垂直な方向に流れる、いわゆる縦型
のＭＲヘッドを有する複合ヘッドにも適用することがで
きる。
【００３０】
【発明の効果】本発明の複合ヘッドの製造方法によれ
ば、多くの工数を要することなく、ＭＲヘッドとインダ
クティブヘッドとを第１の基板と第２の基板で挟む構成
の複合ヘッドを作製することが可能であるとともに、特
に磁気テープに対して耐摩耗性を有する複合ヘッドの提
供が可能となる。そして、この複合ヘッドを具備する磁
気記録再生装置では、高品質の記録再生信号を長期間維
持することが可能となる。
ば、多くの工数を要することなく、ＭＲヘッドとインダ
クティブヘッドとを第１の基板と第２の基板で挟む構成
の複合ヘッドを作製することが可能であるとともに、特
に磁気テープに対して耐摩耗性を有する複合ヘッドの提
供が可能となる。そして、この複合ヘッドを具備する磁
気記録再生装置では、高品質の記録再生信号を長期間維
持することが可能となる。
【図１】 本発明の複合ヘッドの製造方法を説明する概
略工程説明図である。
略工程説明図である。
【図２】 図１に続く本発明の複合ヘッドの製造方法を
説明し、図１におけるＡ方向からＭＲ素子をみた概略平
面図である。
説明し、図１におけるＡ方向からＭＲ素子をみた概略平
面図である。
【図３】 図２に続く、本発明の複合ヘッドの製造方法
を説明する概略工程説明図である。
を説明する概略工程説明図である。
【図４】 図３に続く、本発明の複合ヘッドの製造方法
を説明する概略工程説明図である。
を説明する概略工程説明図である。
【図５】 図４に続く、本発明の複合ヘッドの製造方法
を説明する概略工程説明図である。
を説明する概略工程説明図である。
【図６】 第２の基板の一端の稜が、磁気記録媒体対向
面よりも内側に引っ込んだ状態で研磨した後の、磁気記
録媒体対向面の概略状態図である。
面よりも内側に引っ込んだ状態で研磨した後の、磁気記
録媒体対向面の概略状態図である。
【図７】 第２の基板の一端の稜が、磁気記録媒体対向
面から大きくせり出した状態で研磨した後の、磁気記録
媒体対向面の概略状態図である。
面から大きくせり出した状態で研磨した後の、磁気記録
媒体対向面の概略状態図である。
【図８】 従来の複合ヘッドの概略断面図である。
【図９】 従来の複合ヘッドの磁気記録媒体対向面側か
らみた概略平面図である。
らみた概略平面図である。
１ａ…第１の基板、１ｂ…第２の基板、２…磁気記録媒
体対向面、３…ＭＲ素子、４…第１の磁性コア、５…第
２の磁性コア、６…絶縁層、６ａ…第１の絶縁層、６ｂ
…第２の絶縁層、６ｃ…第３の絶縁層、６ｄ…第４の絶
縁層、６ｅ…第６の絶縁層、７…第３の磁性コア、８…
コイル、９，１３…バイアス導体、１０…台座、１１…
ハード膜、１２…リード、１４…複合ヘッド、１５…Ｇ
ＮＤ端子、１６…支柱、１７…ＧＮＤパターン、１８…
隙間
体対向面、３…ＭＲ素子、４…第１の磁性コア、５…第
２の磁性コア、６…絶縁層、６ａ…第１の絶縁層、６ｂ
…第２の絶縁層、６ｃ…第３の絶縁層、６ｄ…第４の絶
縁層、６ｅ…第６の絶縁層、７…第３の磁性コア、８…
コイル、９，１３…バイアス導体、１０…台座、１１…
ハード膜、１２…リード、１４…複合ヘッド、１５…Ｇ
ＮＤ端子、１６…支柱、１７…ＧＮＤパターン、１８…
隙間
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも、 導電性を有する第１の基板上に、絶縁層を介して第１の
磁性コアと前記第１の基板と導通する台座とを形成する
工程と、 前記第１の磁性コア上に、絶縁層を介して磁気抵抗効果
素子を形成する工程と、 前記磁気抵抗効果素子上に、絶縁層を介して第２の磁性
コアを形成する工程と、 前記第２の磁性コア上に、絶縁層を介してコイルと前記
第２の磁性コアと閉磁路を構成する第３の磁性コアとを
形成する工程と、 前記台座上に、前記台座と導通する支柱を形成する工程
と、 前記支柱上に、絶縁層を介して前記支柱に導通するＧＮ
Ｄパターンを形成する工程と、 前記ＧＮＤパターンに一端を乗り上げ、前記ＧＮＤパタ
ーンと導通する第２の基板を接着する工程とを有するこ
とを特徴とする複合ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 少なくとも、 導電性を有する第１の基板と、 前記第１の基板上に、絶縁層を介して形成された第１の
磁性コアと前記第１の基板と導通する台座と、 前記第１の磁性コア上に、絶縁層を介して形成された磁
気抵抗効果素子と、 前記磁気抵抗効果素子上に、絶縁層を介して形成された
第２の磁性コアと、 前記第２の磁性コア上に、絶縁層を介して形成されたコ
イルと前記第２の磁性コアと閉磁路を構成する第３の磁
性コアと、 前記台座上に形成され、前記台座と導通する支柱と、 前記支柱上に絶縁層を介して形成され、前記支柱に導通
するＧＮＤパターンと、 前記ＧＮＤパターンに一端を乗り上げ、前記ＧＮＤパタ
ーンと導通する第２の基板とを有することを特徴とする
複合ヘッド。 - 【請求項３】 請求項２に記載の複合ヘッドを具備する
ことを特徴とする磁気記録再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10353046A JP2000182225A (ja) | 1998-12-11 | 1998-12-11 | 複合ヘッドの製造方法、複合ヘッドおよびこれを具備する磁気記録再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10353046A JP2000182225A (ja) | 1998-12-11 | 1998-12-11 | 複合ヘッドの製造方法、複合ヘッドおよびこれを具備する磁気記録再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000182225A true JP2000182225A (ja) | 2000-06-30 |
Family
ID=18428211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10353046A Abandoned JP2000182225A (ja) | 1998-12-11 | 1998-12-11 | 複合ヘッドの製造方法、複合ヘッドおよびこれを具備する磁気記録再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000182225A (ja) |
-
1998
- 1998-12-11 JP JP10353046A patent/JP2000182225A/ja not_active Abandoned
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20050404 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050909 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20070629 |