JP2000180598A

JP2000180598A - 紫外線照射装置

Info

Publication number: JP2000180598A
Application number: JP10355613A
Authority: JP
Inventors: Fumitoshi Takemoto; 史敏竹元; Nobuyoshi Hishinuma; 宣是菱沼; Shinji Sugioka; 晋次杉岡; Hideki Fushitsugu; 英樹藤次
Original assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Current assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Priority date: 1998-12-15
Filing date: 1998-12-15
Publication date: 2000-06-30

Abstract

(57)【要約】【課題】被処理物を確実にしかも効率良く洗浄できる
紫外線照射装置を提供することにある。【解決手段】容器１内部に真空紫外光を放射する紫外
線ランプ２が配置され、該容器１に前記紫外線ランプ２
から放射される真空紫外光を取り出す窓部材３が形成さ
れて、該窓部材３から放射された真空紫外光によって被
処理物を処理する紫外線照射装置において、前記窓部材
３は、真空紫外光を放射する放射面３１の一部が、被処
理物方向に突出していることを特徴とする紫外線照射装
置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、紫外線ランプから
放射される真空紫外光、具体的には波長２００ｎｍ以下
の紫外光と、この真空紫外光によって同時に生成するオ
ゾンによって乾式洗浄するための紫外線照射装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から紫外線ランプである低圧水銀灯
や誘電体バリア放電ランプを用いた紫外線照射装置によ
る乾式洗浄技術が知られており、この紫外線照射装置に
よって、液晶パネルのパネル電極表面の洗浄を行なって
いた。

【０００３】詳細に説明すると、図２に示すように、被
処理物である液晶パネルＰは、大きさの異なった厚さ
０．７ｍｍのガラス基板Ａ，Ｂを貼り合わせて作成され
ており、このガラス基板Ａ，Ｂの間に不図示のＴＦＴが
配置されている。そして、ガラス基板Ａの露出表面Ａ１
には、不図示のＴＦＴにつながるパネル電極Ｃが印刷さ
れている。

【０００４】このパネル電極Ｃには、ＴＦＴを駆動させ
るためのドライバＩＣが接続されている。この接続方法
は、一般的に、先ず、パネル電極Ｃの表面に異方性導電
膜Ｄを配置し低温低圧状態で仮圧着する。この仮圧着さ
れた状態の異方性導電膜Ｄ上にドライバＩＣを配置して
アライメントを行ない、所定の位置関係が出たところで
高温高圧状態で本圧着を行なう。

【０００５】上記工程において、パネル電極Ｃと異方性
導電膜Ｄとの仮圧着を行なう場合、パネル電極Ｃと異方
性導電膜Ｄとの密着性が悪く、剥がれやすいという問題
があるので、図３に示すように紫外線照射装置Ｅを用い
て、パネル電極Ｃの表面を真空紫外光と、真空紫外光に
よって同時に生成されるオゾンによって乾式洗浄して密
着性を上げることが行われている。

【０００６】図３を用いて詳細に説明すると、紫外線照
射装置Ｅは、ステンレス製の容器１の内部に、１７２ｎ
ｍにピーク波長を有する誘電体バリア放電ランプ２が複
数配置されており、容器１の前方には真空紫外光を透過
するための合成石英ガラスよりなる窓部材３が配置され
ている。この容器１は、密閉されており、誘電体バリア
放電ランプ２は大気と隔離され、容器１内には、誘電体
バリア放電ランプ２から放射される光に対して透過性で
あり真空紫外光を吸収しない不活性体、例えば窒素、ア
ルゴン、ネオン等のガスが充満されている。４は、必要
によって設けられる誘電体バリア放電ランプ２から放射
される真空紫外光を効率良く窓部材３の方向に反射させ
る反射鏡である。

【０００７】そして、窓部材３から放射された真空紫外
光が、ガラス基板Ａの露出表面Ａ１に形成されたパネル
電極Ｃに照射されることにより、パネル電極Ｃの表面を
洗浄して、異方性導電膜Ｄとの密着性を向上させるもの
である。

【０００８】一方、前述したように、誘電体バリア放電
ランプ２から放射される真空紫外光は、１７２ｎｍにピ
ーク波長を有するものであり、この１７２ｎｍの真空紫
外光は、空気中の酸素に非常に良く吸収される。

【０００９】ここで、酸素による真空紫外光の吸収と被
処理物上での真空紫外光強度との関係を、その原理に基
づいて図３を用いて説明する。誘電体バリア放電ランプ
２から放射された真空紫外光による窓部材３の放射面３
１における真空紫外光強度をＩ、空気が存在する窓部材
３の放射面３１から被処理物であるパネル電極Ｃまでの
距離をＬ（ｃｍ）、特定波長（この場合、１７２ｎｍ）
における酸素の光吸収係数をα（ｃｍ^-1）、空気中の酸
素濃度をｘ（％）とすると、パネル電極Ｃ上での真空紫
外光強度Ｉａとの関係は下記の式１に示すようになる。Ｉａ＝Ｉｅ^―α ^XL/100・・・・＜式１＞この式１から分かるように、空気による真空紫外光の吸
収を小さくするために、空気が存在する窓部材３の放射
面３１からパネル電極Ｃまでの距離Ｌを小さくしなけれ
ばならない。

【００１０】従って、被処理物である液晶パネルＰは窓
部材３にできるだけ近づけて配置される必要がある。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、液晶パ
ネルＰは前述したように、大きさの異なった２枚のガラ
ス基板Ａ、Ｂを貼り合わせたものであり、真空紫外光に
よって洗浄処理されるパネル電極Ｃは、少なくとも窓部
材３からガラス基板Ｂの厚さぶんの距離だけ離れたとこ
ろに位置するようになる。

【００１２】具体的に説明すると、窓部材３の真空紫外
光を放射する放射面３１にガラス基板Ｂが接触した状態
でも、ガラス基板Ｂの厚さは０．７ｍｍあるので、窓部
材３の放射面３１とパネル電極Ｃまでの距離は、０．７
ｍｍ離れていることになる。しかし、実際には、液晶パ
ネルＰの搬送や破損を考慮して、窓部材３の放射面３１
にガラス基板Ｂが接触することはなく、０．３ｍｍ以上
離れているので、窓部材３の放射面３１とパネル電極Ｃ
までの距離は、１．０ｍｍ以上離れていることになる。

【００１３】このように、窓部材３の放射面３１とパネ
ル電極Ｃが大きく離れているので、この空間に存在する
空気中の酸素によって１７２ｎｍの真空紫外光が吸収さ
れてしまい、所望の洗浄効果を得るためには、真空紫外
光の照射時間を長くしなければなず、場合によっては、
洗浄効果が得られない場合もあった。

【００１４】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであって、その目的は、被処理物を確実にし
かも効率良く洗浄できる紫外線照射装置を提供すること
にある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に記載の紫外線照射装置は、容器内部に真
空紫外光を放射する紫外線ランプが配置され、該容器に
前記紫外線ランプから放射される真空紫外光を取り出す
窓部材が形成されて、該窓部材から放射された真空紫外
光によって被処理物を処理する紫外線照射装置におい
て、前記窓部材は、真空紫外光を放射する放射面の一部
が、被処理物方向に突出していることを特徴とする。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の紫外線照射装置
と被処理物である液晶パネルとの位置関係を示す説明図
である。紫外線照射装置Ｅ１は、ステンレス製の容器１
の内部に、１７２ｎｍにピーク波長を有する真空紫外光
を放射するための誘電体バリア放電ランプ２が複数配置
されており、容器１の前方には真空紫外光を透過するた
めの合成石英ガラスよりなる窓部材３が配置されてい
る。なお、図２、図３と同一符号は、同一部分を示す。
本実施例において、紫外線ランプとして誘電体バリア放
電ランプを用いたが、低圧水銀灯、ホロカソードラン
プ、マイクロ波放電ランプ、高周波放電ランプなど真空
紫外光を放射する紫外線ランプであれば、どのようなラ
ンプでも良い。

【００１７】この窓部材３は、被処理物である液晶パネ
ルＰに対向する表面が、真空紫外光を放射する放射面３
１になっており、この放射面３１の一部が液晶パネルＰ
の方向に突出して突出放射面３１１になっている。本実
施例の場合、ガラス基板Ｂの厚さは０．７ｍｍであり、
放射面３１から突出放射面３１１の突出長Ｌは２ｍｍで
ある。そして、突出放射面３１１からガラス基板Ａの露
出面Ａ１に形成されたパネル電極Ｃまでの距離Ｌ１は
０．３ｍｍである。なお、ガラス基板Ｂと放射面３１と
は、接触しておらず、１．６ｍｍ離れている。また、こ
の突出放射面３１１の形成方法は、窓部材３の厚みを大
きくすることによって形成されている。

【００１８】本実施例において、突出放射面の形成方法
は、窓部材の一部の厚みを変えた一体物で形成されてい
るが、一定の厚みを有する窓部材に、この窓部材と同じ
材質のものを別途貼り合わせて形成してもよい。

【００１９】窓部材３の突出放射面３１１から放射され
る真空紫外光は、突出長だけ窓部材３を通過する距離が
長くなるが、この窓部材３自体による真空紫外光の吸収
は少なく、具体的には、放射面３１から放射される真空
紫外光の強度を１００％とした場合、突出放射面３１１
から放射される真空紫外光の強度は９８％であり、窓部
材３に被処理物方向に突出するように突出放射面３１１
を設けても、突出放射面３１１から放射される真空紫外
光の強度の低下がほとんどない。

【００２０】液晶パネルＰを窓部材３の下方に配置する
場合、ガラス基板Ａの露出表面Ａ１に形成されたパネル
電極Ｃがこの突出放射面３１１と対向するように配置す
る。

【００２１】したがって、窓部材３の突出放射面３１１
とパネル電極Ｃとの離間距離は、ガラス基板Ｂの厚さで
ある０．７ｍｍより短くなり、この場合０．３ｍｍであ
り、突出放射面３１１から放射された真空紫外光は、
０．３ｍｍという極薄い空気が存在する空間を通過して
パネル電極Ｃに照射される。この結果、突出放射面３１
１から放射された真空紫外光は、空気中の酸素によって
吸収されることがほんとんどなく、パネル電極Ｃを確実
に洗浄することができる。

【００２２】突出放射面とパネル電極との距離が０．３
ｍｍの図１に示す本願発明の紫外線照射装置における、
パネル電極表面の真空紫外光の強度を測定すると４．６
（ｍＷ／ｃｍ²）であった。一方、比較例として、窓部
材に突出放射面を設けず、窓部材の放射面とパネル電極
との距離が１．０ｍｍであって、その他は図１と同じ紫
外線照射装置における、パネル電極表面の真空紫外光の
強度を測定すると３．８（ｍＷ／ｃｍ²）であった。

【００２３】この結果より、本願発明の紫外線照射装置
は、比較例の紫外線照射装置に比べ、パネル電極表面の
真空紫外光の強度が２０％も向上したことが分かる。従
って、本願発明の紫外線照射装置は、窓部材をパネル電
極に近づけることにより、パネル電極表面の真空紫外光
の強度を大きくすることができるので、確実にパネル電
極を洗浄できる。また、本願発明の紫外線照射装置は、
比較例の紫外線照射装置に比べパネル電極表面での真空
紫外光の強度が大きいので、同じ洗浄効果を得るまでの
処理時間を短くすることができ、効率良くパネル電極を
洗浄できる。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の紫外線照
射装置は、容器内部に真空紫外光を放射する紫外線ラン
プが配置され、容器に形成された窓部材から真空紫外光
が放射されて被処理物を処理する紫外線照射装置であっ
て、この窓部材は、真空紫外光を放射する放射面の一部
が被処理物方向に突出しているので、窓部材を被処理物
に近づけることができ、窓部材から放射された真空紫外
光が空気中の酸素によってほとんど吸収されずに被処理
物に照射されるので、被処理物を確実にしかも効率良く
洗浄することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の紫外線照射装置と被処理物である液晶
パネルとの位置関係を示す説明図である。

【図２】液晶パネルの説明図である。

【図３】従来の紫外線照射装置と被処理物である液晶パ
ネルとの位置関係を示す説明図である。

【符号の説明】

１容器２誘電体バリア放電ランプ３窓部材３１放射面３１１突出放射面４反射鏡Ｅ紫外線照射装置Ｅ１紫外線照射装置Ｐ液晶パネルＡガラス基板Ａ１露出表面Ｂガラス基板Ｃパネル電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者藤次英樹兵庫県姫路市別所町佐土1194番地ウシオ電機株式会社内Ｆターム(参考） 2H090 JC19 LA01 LA04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】容器内部に真空紫外光を放射する紫外線
ランプが配置され、該容器に前記紫外線ランプから放射
される真空紫外光を取り出す窓部材が形成されて、該窓
部材から放射された真空紫外光によって被処理物を処理
する紫外線照射装置において、前記窓部材は、真空紫外光を放射する放射面の一部が、
被処理物方向に突出していることを特徴とする紫外線照
射装置。