JP2000174611A - 半導体回路および半導体記憶装置 - Google Patents

半導体回路および半導体記憶装置

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JP2000174611A
JP2000174611A JP10345971A JP34597198A JP2000174611A JP 2000174611 A JP2000174611 A JP 2000174611A JP 10345971 A JP10345971 A JP 10345971A JP 34597198 A JP34597198 A JP 34597198A JP 2000174611 A JP2000174611 A JP 2000174611A
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mos transistor
drain
voltage
transistor
power supply
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Kazuto Koyou
和人 古用
Masayo Fujita
雅世 藤田
Hiroshi Kagiwata
裕志 鍵渡
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成により、確実にリーク電流を低減
させる半導体回路および半導体記憶装置を提供するこ
と。 【解決手段】 ソースが低レベル電圧Vssを供給する
電源ノードに接続されたMOSトランジスタ12と、ソ
ースが低レベル電圧Vssを供給する電源ノードに接続
され、ドレインおよびゲートがMOSトランジスタ12
のドレインに接続されたMOSトランジスタ14とから
なる構成によって、ノードN1からMOSトランジスタ
12のゲートに入力する信号に応じて、MOSトランジ
スタ12のドレインと接続された仮想低電源ノードVL
の電位を制御でき、低電圧電源として仮想低電源ノード
VLにソースを接続したMOSトランジスタ22に生じ
るリーク電流を低減させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、低電圧かつ低消費
電流での動作が可能な半導体回路および半導体記憶装置
に関し、特にリーク電流の低減を実現する半導体回路お
よび半導体記憶装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体回路は、高集積化の実現に
伴って大規模な回路が開発され、回路の動作時の消費電
力やスタンバイ時におけるリーク電流が増加する傾向に
ある。しかしながら、電子機器の携帯性が要望される昨
今においては、電池等の低電圧電源を使用して長時間駆
動することが、電子機器の実用性を高める上でも重要な
条件となる。
【0003】電子機器を構成する半導体回路、特に高集
積化されたMOSトランジスタの動作においては、通
常、低電圧による動作に伴ってリーク電流が増加すると
いう問題を含んでいる。よって、上記したニーズに応え
るためには、半導体回路において、低駆動電圧化と低リ
ーク電流化といった2つの相反する条件を満たす必要が
ある。
【0004】そこで、閾値電圧(Vth)を低く設定し
たMOSトランジスタにより構成される半導体回路にお
いて、スタンバイ時のリーク電流を低減させる技術が盛
んに研究されている。例えば、特開平第5−34755
0号公報、特開平7−086916号公報、特開平8−
227580号公報、特許番号第2631335号公報
等には、高速化、低消費電力化を図った半導体集積回路
または論理回路について開示されている。
【0005】さらに、例えば、Symposium on VLSI Circ
uits, Digest of Technical Papers, pp.25-26, April
1995, Hiroyuki Mizuno et al. による「Driving Sour
ce-Line(DSL) Cell Architecture for Sub-1-V High-Sp
eed Low-Power Applications」、あるいは、Symposium
on VLSI Circuits, Digest of Technical Papers,pp.12
6-127, December 1996, Hiroyuki Yamauchi et al. に
よる「A 0.8V/100MHz/Sub-5mW-Operated Mega-bit SRAM
Cell Architecture with Charge-Recycle Offset-Sour
ce Driving(OSD) Scheme」においては、リーク電流の低
減化を実現するSRAMのメモリセルについて開示され
ている。
【0006】図29は、MOSトランジスタにより構成
される従来の半導体回路(第1の従来例)の回路構成を
示す説明図である。特に、図29は、高レベル電圧Vd
dと低レベル電圧Vssが電源電圧として供給される論
理回路を示している。図29に示す論理回路は、閾値電
圧Vthが高く設定された(以下、高Vthと称する)
Pチャネル型のMOSトランジスタ101、閾値電圧V
thが低く設定された(以下、低Vthと称する)Pチ
ャネル型のMOSトランジスタ103、低VthのNチ
ャネル型のMOSトランジスタ104が直列に接続され
てなるインバータINV1と、低VthのPチャネル型
のMOSトランジスタ105、低VthのNチャネル型
のMOSトランジスタ106、高VthのNチャネル型
のMOSトランジスタ106とが直列に接続されてなる
インバータINV2と、から構成されている。
【0007】なお、図29および以下の説明において参
照されるすべての図面において、黒丸を付したMOSト
ランジスタは、閾値電圧Vthが高く設定された高Vt
hのMOSトランジスタを示す。
【0008】インバータINV1において、MOSトラ
ンジスタ102およびMOSトランジスタ103は、ゲ
ートをともにノードN103に接続し、ドレインを互い
に接続している。また、MOSトランジスタ103のソ
ースがMOSトランジスタ101のドレインに接続さ
れ、MOSトランジスタ102のソースが低レベル電圧
Vssに接続されている。
【0009】これより、MOSトランジスタ102とM
OSトランジスタ103からなる構成(CMOSインバ
ータ)は、MOSトランジスタ103のソース側から高
レベル電圧Vddが供給されることにより、ノードN1
03に入力される信号のレベルを反転させた信号を相互
接続されたドレイン側に出力する。
【0010】インバータINV2において、MOSトラ
ンジスタ104およびMOSトランジスタ105は、ゲ
ートを互いに接続し、ドレインをともにノードN104
に接続している。また、MOSトランジスタ105のソ
ースが高レベル電圧Vddに接続され、MOSトランジ
スタ104のソースがMOSトランジスタ106のドレ
インに接続されている。
【0011】これにより、MOSトランジスタ104と
MOSトランジスタ105からなる構成(CMOSイン
バータ)は、MOSトランジスタ104のソースと低レ
ベル電圧Vssとが接続されることにより、相互接続さ
れたゲートに入力される信号のレベルを反転させた信号
をノードN104に出力する。
【0012】相互接続されたMOSトランジスタ102
およびMOSトランジスタ103のドレインと、相互接
続されたMOSトランジスタ104およびMOSトラン
ジスタ105のゲートは互いに接続されているので、こ
の論理回路は、ノードN103を入力端子とし、ノード
N104を出力端子としたバッファ回路を構成する。
【0013】ここで、仮にこの論理回路がスタンバイ状
態である場合に、ノードN103にハイレベルの入力信
号が与えられていると、MOSトランジスタ103はO
FF状態となり、これに伴ってMOSトランジスタ10
4にローレベルの信号が入力され、MOSトランジスタ
104もまたOFF状態となる。
【0014】この状態において、MOSトランジスタ1
03の閾値電圧は低く設定されているために、MOSト
ランジスタ103は、OFF状態であるにもかかわら
ず、高レベル電圧Vddによって供給される電流の一部
を、ON状態であるMOSトランジスタ102を介して
低レベル電圧Vssへと貫通して流してしてしまう。す
なわち、MOSトランジスタ103においてリーク電流
を生じてしまう。
【0015】MOSトランジスタ104の閾値電圧もま
た低く設定されているために、MOSトランジスタ10
4は、OFF状態であるにもかかわらず、高レベル電圧
VddからON状態であるMOSトランジスタ105を
介して供給される電流の一部を、低レベル電圧Vssへ
と貫通して流してしてしまう。すなわち、MOSトラン
ジスタ104においてリーク電流が生じてしまう。
【0016】そこで、スタンバイ状態においては、ノー
ド101にハイレベルの入力信号を入力することによ
り、MOSトランジスタ101をOFF状態にし、高レ
ベル電圧VddとMOSトランジスタ103のソースと
の接続を遮断して、MOSトランジスタ103における
リーク電流の発生を阻止する。また、同時に、ノード1
02にローレベルの入力信号を入力することにより、M
OSトランジスタ106をOFF状態にし、MOSトラ
ンジスタ104のソースと低レベル電圧Vssとの接続
を遮断して、MOSトランジスタ104におけるリーク
電流の発生を阻止する。
【0017】なお、MOSトランジスタ101およびM
OSトランジスタ106の閾値電圧はともに高く設定さ
れているので、MOSトランジスタ101およびMOS
トランジスタ106におけるリーク電流は十分に抑制さ
れている。
【0018】この論理回路がアクティブ状態である場合
には、ノード101にローレベルの信号を入力し、ノー
ド102にハイレベルの信号を入力することで、MOS
トランジスタ101およびMOSトランジスタ106が
ともにON状態となり、インバータINV1、INV2
は通常の動作をおこなうことができる。
【0019】しかしながら、図29に示した論理回路の
スタンバイ状態においては、MOSトランジスタ102
およびMOSトランジスタ103の閾値電圧がともに低
く設定されているために、MOSトランジスタ102お
よびMOSトランジスタ103において、低レベル電圧
Vssとの接続によるリーク電流が生じ、ノードP10
1の電位が低レベル電圧Vssの電位に限りなく近づい
てしまう。
【0020】また、同様に、MOSトランジスタ104
およびMOSトランジスタ105の閾値電圧がともに低
く設定されているために、MOSトランジスタ104お
よびMOSトランジスタ105において、高レベル電圧
Vddとの接続によるリーク電流が生じ、ノードP10
2の電位が高レベル電圧Vddの電位に限りなく近づい
てしまう。
【0021】そのため、論理回路がスタンバイ状態から
アクティブ状態に復帰する場合に、ノードP101を高
レベル電圧Vddの示すハイレベルに、ノードP102
を低レベル電圧Vssの示すローレベルに移行させる必
要があり、この移行に時間を要してしまうといった問題
が生ずる。
【0022】この問題を解決した論理回路が、つぎに説
明する第2の従来例である。図30は、MOSトランジ
スタにより構成される従来の半導体回路(第2の従来
例)の回路構成を示す説明図である。図30に示す論理
回路は、MOSトランジスタ101に並列に接続された
抵抗R1と、MOSトランジスタ106に並列に接続さ
れた抵抗R2とを備えている点が、図29に示した論理
回路と異なる。なお、図29と共通する部分には同一符
号を付して、その説明を省略する。
【0023】図30において、抵抗R1、R2の抵抗値
はともに数MΩ程度に設定されており、上述したノード
P101の電位低下およびノードP102の電位上昇を
抑制する。ここで、上述したように、スタンバイ状態に
おいて、ノードN103にハイレベルの入力信号が入力
され、ノードN101にハイレベルの入力信号が入力さ
れ、ノードN106にローレベルの入力信号が入力され
ることで、MOSトランジスタ101とMOSトランジ
スタ106がともにOFF状態である場合を仮定する
と、ノードP101は、抵抗R1とMOSトランジスタ
103におけるリーク電流による抵抗分割によって電位
が若干低下する。
【0024】このため、MOSトランジスタ103のゲ
ート−ソース間電圧Vgsは、MOSトランジスタ10
3のOFF状態方向のオーバードライブと同等の作用に
よって、MOSトランジスタ103自体のリーク電流が
減少し、結果的にインバータINV1のスタンバイ状態
におけるリーク電流が低減される。同様に、インバータ
INV2においても、MOSトランジスタ104自体の
リーク電流が減少し、結果的にインバータINV2のス
タンバイ状態におけるリーク電流が低減される。
【0025】このように、図30に示した論理回路は、
第1の従来例における問題、すなわちノードP101お
よびP102の電位変動が小さく抑えられ、スタンバイ
状態からアクティブ状態への移行時間を短縮することが
でき、高速な動作が可能になる。
【0026】つぎに、SRAMのメモリセルにおいてリ
ーク電流の低減化を図る従来技術について説明する。図
31は、MOSトランジスタにより構成される従来の半
導体回路(第3の従来例)の回路構成を示す説明図であ
る。特に、図31は、高レベル電圧Vddと、負電圧発
生回路(図示は省略する)によって発生される負電圧を
供給する仮想電源ノードSLとを電源電圧として用いる
記憶回路を示している。
【0027】図31に示した記憶回路は、Pチャネル型
のMOSトランジスタ111、Nチャネル型のMOSト
ランジスタ112、Pチャネル型のMOSトランジスタ
113、Nチャネル型のMOSトランジスタ114、N
チャネル型のMOSトランジスタ116、Nチャネル型
のMOSトランジスタ118によってメモリセルを構成
し、4つのMOSトランジスタ111〜114によって
フリップフロップを形成している。
【0028】このフリップフロップにおいて、特に、M
OSトランジスタ111およびMOSトランジスタ11
3はロードトランジスタとして機能し、MOSトランジ
スタ112およびMOSトランジスタ114はドライバ
トランジスタとして機能する。また、MOSトランジス
タ116およびMOSトランジスタ118は、データ転
送用MOSトランジスタとして機能し、ハイ/ローいず
れかのレベルの信号とそのレベルを反転させた信号がそ
れぞれ伝送される一対の相補性のビット線BL/BLB
を介して、上記フリップフロップへのデータの書き込み
/読み出し制御をおこなう。
【0029】ここで、例えば、上記メモリセルのノード
P1の電位がローレベルを示す場合、すなわちフリップ
フロップにローレベルの信号が保持されている場合を仮
定すると、スタンバイ状態において、まず、ワード線W
Lに0Vの信号が入力され、仮想電源ノードSLもまた
0Vに設定されるので、MOSトランジスタ116の閾
値電圧Vthをリーク電流が許容できる程度に十分高く
設定することにより、メモリセルのスタンバイ状態にお
けるリーク電流の発生を抑制することができる。
【0030】一方、アクティブ状態においては、ワード
線WLに高レベル電圧Vddが入力され、仮想電源ノー
ドSLには負電圧発生回路によって発生された負電圧
(−0.5Vから−0.8V程度)が与えられる。これ
により、MOSトランジスタ116のソース電位すなわ
ちノードP1の電位が上記した負電圧の示す電位とな
り、MOSトランジスタ116のゲート−ソース間電圧
Vgsは、「Vdd+負電圧の絶対値」となって、MO
Sトランジスタ116のゲートには実質的にゲートオー
バードライブがかかる。
【0031】よって、MOSトランジスタ116におい
て、閾値電圧Vthが高く設定されているために、通
常、スタンバイ状態からアクティブ状態への移行に時間
を要してしまうといった問題を有するのに対して、アク
ティブ状態において、MOSトランジスタ116のゲー
トにオーバードライブがかかるため、結果的に高速な書
き込み/読み出しが可能となる。
【0032】しかしながら、MOSトランジスタ116
を通して流れる読み出し電流は、1セルあたり50〜1
00μA程度であるため、複数のメモリセルから構成さ
れる半導体記憶装置においては、複数のメモリセルから
データを読み出す際、すなわちアクティブ状態に、装置
全体として大きな読み出し電流が流れる。この読み出し
電流は上述した負電圧発生回路によって吸収される必要
があるが、負電圧を発生するには電力を消費するため、
大きな読み出し電流を吸収するためには駆動能力の大き
な負電圧発生回路が必要となり、結果的にアクティブ状
態において半導体記憶装置全体の消費電力が増大してし
まうという問題があった。
【0033】この問題を解決した記憶回路が、つぎに説
明する第4の従来例である。図32は、MOSトランジ
スタにより構成される従来の半導体回路(第4の従来
例)の回路構成を示す説明図である。図32に示す記憶
回路は、フリップフロップを構成する4つのMOSトラ
ンジスタ111〜114の閾値電圧Vthが高く設定さ
れている点と、電圧発生回路によって仮想電源ノードS
Lに電圧が与えられる点と、MOSトランジスタ11
6、118がほぼ0Vの低Vthに設定されている点
と、高レベル電圧Vddに代えて電圧発生回路によって
高電圧が与えられる仮想高電源ノードSHに接続する点
と、が図31に示した記憶回路と異なる。なお、図31
と共通する部分には同一符号を付して、その説明を省略
する。
【0034】上述したように、メモリセルのノードP1
の電位がローレベルを示す場合、すなわちフリップフロ
ップにローレベルの信号が保持されている場合を仮定す
ると、スタンバイ状態において、まず、ワード線WLに
0Vの信号が入力され、仮想電源ノードSLは電圧発生
回路により0.6Vに設定される。よって、MOSトラ
ンジスタ116のゲート−ソース間電圧Vgsは、−
0.6Vとなって、MOSトランジスタ116のゲート
には実質的に負のゲートオーバードライブがかかる。
【0035】これにより、MOSトランジスタ116の
閾値電圧Vthが0Vに設定されていても、上記した負
のオーバードライブがかかるために、MOSトランジス
タ116において生じるリーク電流は十分許容できる程
度となる。さらに、このスタンバイ状態においては、上
述したフリップフロップに保持されているデータが失わ
れないように、仮想高電源ノードSHに与えられる電圧
は、電圧発生回路によって1.4Vまでプルアップされ
る。
【0036】一方、アクティブ状態においては、ワード
線WLに高レベル電圧Vddが入力され、仮想電源ノー
ドSLは0Vに設定される。これにより、MOSトラン
ジスタ116ゲート−ソース間電圧Vgsに閾値電圧を
超える十分大きな電圧が印加され、高速な書き込み/読
み出しが可能となる。
【0037】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た第1の従来例における問題を解決した第2の従来例で
ある論理回路は、MOSトランジスタ103とMOSト
ランジスタ104に生じるリーク電流によって、ノード
P101、P102の電位がそれぞれ決定されるため、
設計時に十分注意してMOSトランジスタ103および
MOSトランジスタ104の負荷抵抗値を設定しても、
半導体回路の製造プロセスのバラツキ等によって、MO
Sトランジスタ103およびMOSトランジスタ104
に生じるリーク電流が定まらず、ノードP101、P1
02の電位変動が大きくなってしまう。
【0038】さらに、今日の高速性を前提とした半導体
製造プロセスにおいては、数MΩの十分正確な抵抗を作
成するための適当な材質が用いられておらず、そのよう
な抵抗を作成するには、何らかの新たな製造工程を付加
する必要があり、製造工程の増加とコストアップを招く
という問題があった。
【0039】また、上述した第3の従来例における問題
を解決した第4の従来例である記憶回路は、仮想電源ノ
ードSLおよび仮想高電源ノードSHに与える電圧を制
御するのに電圧発生回路を使用しているため、スタンバ
イ状態において、電圧発生器自体を駆動させるための電
流が新たに消費されてしまうという問題があった。
【0040】本発明は、上記問題に鑑みてなされたもの
であって、簡単な構成により、スタンバイ状態における
リーク電流をより一層低減させる半導体回路および半導
体記憶装置成を提供することを目的とする。
【0041】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、請求項1の発明において、異な
る閾値電圧を有する複数のMOSトランジスタにより構
成され、第1の電圧(高レベル電圧Vdd)とこの高レ
ベル電圧Vddよりも低い電圧である第2の電圧(低レ
ベル電圧Vss)を電源電圧として動作する半導体回路
は、ソースが電源ノード(低レベル電圧Vssが供給さ
れる仮想低電源ノードVLまたは高レベル電圧Vddが
供給される仮想高電源ノードVH)に接続され、かつ第
1の閾値電圧(高Vth)に設定された第1のMOSト
ランジスタ(MOSトランジスタ12または15)と、
この第1のMOSトランジスタのドレインと電源ノード
(仮想低電源ノードVLまたは仮想高電源ノードVH)
との間に、第1のMOSトランジスタと並列にダイオー
ド接続され、かつ第2の閾値電圧(高Vthまたは低V
thでもよく、特に限定しない閾値電圧値)に設定され
た第2のMOSトランジスタ(MOSトランジスタ1
3、14または16、17)と、ソースが第1のMOS
トランジスタのドレインに接続され、第1の閾値電圧よ
り十分低い第3の閾値電圧(低Vth)に設定された第
3のMOSトランジスタ(MOSトランジスタ22また
は23)と、を備えたことを特徴とする。
【0042】この請求項1の発明によれば、第1のMO
Sトランジスタのゲートに入力する信号によって、第1
のMOSトランジスタのドレインと第3のMOSトラン
ジスタのソースとの接続点となるノードの電位(仮想低
電源ノードVLまたは仮想高電源ノードVH)を制御す
ることができ、スタンバイ状態において第3のMOSト
ランジスタにおけるリーク電流を低減させることができ
る。
【0043】また、請求項2の発明において、異なる閾
値電圧を有する複数のMOSトランジスタにより構成さ
れ、第1の電圧(高レベル電圧Vdd)とこの高レベル
電圧Vddよりも低い電圧である第2の電圧(低レベル
電圧Vss)を電源電圧として動作する半導体回路は、
ソースが低レベル電圧Vssに接続され、かつ第1の閾
値電圧(高Vth)に設定されたNチャネル型のMOS
トランジスタ12と、ソースが低レベル電圧Vssに接
続され、ドレインおよびゲートがMOSトランジスタ1
2のドレインに接続され、かつ第2の閾値電圧(高Vt
h)に設定されたNチャネル型のMOSトランジスタ1
4と、ソースがMOSトランジスタ12のドレインに接
続され、かつ第1および第2の閾値電圧より低い第3の
閾値電圧(低Vth)に設定されたNチャネル型のMO
Sトランジスタ22と、を備えたことを特徴とする。
【0044】この請求項2の発明によれば、スタンバイ
状態において、MOSトランジスタ12のゲートにロー
レベルの信号を入力してMOSトランジスタ12をOF
F状態にすることにより、MOSトランジスタ12のド
レインとMOSトランジスタ22のソースとの接続点と
なる仮想低電源ノードVLの電位をMOSトランジスタ
14の閾値電圧分だけ高いレベルに引き上げることがで
き、MOSトランジスタ22におけるリーク電流を低減
させることができる。
【0045】また、請求項3において、異なる閾値電圧
を有する複数のMOSトランジスタにより構成され、第
1の電圧(高レベル電圧Vdd)とこの高レベル電圧V
ddよりも低い電圧である第2の電圧(低レベル電圧V
ss)を電源電圧として動作する半導体回路は、低レベ
ル電圧Vssに接続され、かつ第1の閾値電圧(高Vt
h)に設定されたNチャネル型のMOSトランジスタ1
2と、ソースがMOSトランジスタ12のドレインに接
続され、ドレインおよびゲートが低レベル電圧Vssに
接続され、かつ第1の閾値電圧より低い第2の閾値電圧
(特に低Vthでなくてもよい)に設定されたPチャネ
ル型のMOSトランジスタ13と、ソースがMOSトラ
ンジスタ12のドレインに接続され、かつ第1の閾値電
圧より低い第3の閾値電圧(低Vth)に設定されたN
チャネル型のMOSトランジスタ22と、を備えたこと
を特徴とする。
【0046】この請求項3の発明によれば、スタンバイ
状態において、MOSトランジスタ12のゲートにロー
レベルの信号を入力してMOSトランジスタ12をOF
F状態にすることにより、MOSトランジスタ12のド
レインとMOSトランジスタ22のソースとの接続点と
なる仮想低電源ノードVLの電位をMOSトランジスタ
13の閾値電圧分だけ高いレベルに引き上げることがで
き、MOSトランジスタ22におけるリーク電流を低減
させることができる。
【0047】また、請求項4において、異なる閾値電圧
を有する複数のMOSトランジスタにより構成され、第
1の電圧(高レベル電圧Vdd)とこの高レベル電圧V
ddよりも低い電圧である第2の電圧(低レベル電圧V
ss)を電源電圧として動作する半導体回路は、ソース
が高レベル電圧Vddに接続され、かつ第1の閾値電圧
(高Vth)に設定されたPチャネル型のMOSトラン
ジスタ15と、ソースが高レベル電圧Vddに接続さ
れ、ドレインおよびゲートがMOSトランジスタ15の
ドレインに接続され、かつ第2の閾値電圧(高Vth)
に設定されたPチャネル型のMOSトランジスタ17
と、ソースがMOSトランジスタ15のドレインに接続
され、かつ第1および第2の閾値電圧より低い第3の閾
値電圧(低Vth)に設定されたPチャネル型のMOS
トランジスタ23と、を備えたことを特徴とする。
【0048】この請求項4の発明によれば、スタンバイ
状態において、MOSトランジスタ15のゲートにハイ
レベルの信号を入力してMOSトランジスタ15をOF
F状態にすることにより、MOSトランジスタ15のド
レインとMOSトランジスタ23のソースとの接続点と
なる仮想高電源ノードVHの電位をMOSトランジスタ
17の閾値電圧分だけ低いレベルに引き下げることがで
き、MOSトランジスタ23におけるリーク電流を低減
させることができる。
【0049】また、請求項5において、異なる閾値電圧
を有する複数のMOSトランジスタにより構成され、第
1の電圧(高レベル電圧Vdd)とこの高レベル電圧V
ddよりも低い電圧である第2の電圧(低レベル電圧V
ss)を電源電圧として動作する半導体回路は、ソース
が高レベル電圧Vddに接続され、かつ第1の閾値電圧
(高Vth)に設定されたPチャネル型のMOSトラン
ジスタ15と、ソースがMOSトランジスタ15のドレ
インに接続され、ドレインおよびゲートが高レベル電圧
Vddに接続され、かつ第1の閾値電圧より低い第2の
閾値電圧(特に低Vthでなくてもよい)に設定された
Nチャネル型のMOSトランジスタ16と、ソースがM
OSトランジスタ15のドレインに接続され、かつ第1
の閾値電圧より低い第3の閾値電圧(低Vth)に設定
されたPチャネル型のMOSトランジスタ23と、を備
えたことを特徴とする。
【0050】この請求項5の発明によれば、スタンバイ
状態において、MOSトランジスタ15のゲートにハイ
レベルの信号を入力してMOSトランジスタ15をOF
F状態にすることにより、MOSトランジスタ15のド
レインとMOSトランジスタ23のソースとの接続点と
なる仮想高電源ノードVHの電位をMOSトランジスタ
16の閾値電圧分だけ低いレベルに引き下げることがで
き、MOSトランジスタ23におけるリーク電流を低減
させることができる。
【0051】また、請求項6において、請求項2または
3に記載の半導体回路は、ソースが高レベル電圧Vdd
に接続され、ドレインがMOSトランジスタ22のドレ
インに接続され、ゲートがMOSトランジスタ22のゲ
ートに接続され、かつ第1の閾値電圧より低い第4の閾
値電圧(低Vth)に設定されたPチャネル型のMOS
トランジスタ25を備え、MOSトランジスタ22とM
OSトランジスタ25との対によりCMOSインバータ
回路を構成することを特徴とする。
【0052】この請求項6の発明によれば、スタンバイ
状態において、MOSトランジスタ12のゲートにロー
レベルの信号を入力してMOSトランジスタ12をOF
F状態にすることにより、仮想低電源ノードVLの電位
をMOSトランジスタ14または13の閾値電圧分だけ
高いレベルに引き上げることができ、CMOSインバー
タ回路の入力(ノードN2)としてローレベルの信号が
入力されてMOSトランジスタ22がOFF状態となっ
ても、ON状態となったMOSトランジスタ25を介し
て高レベル電圧Vddから供給される電流がMOSトラ
ンジスタ22を貫通することにより生じるリーク電流
を、低減させることができる。
【0053】また、請求項7において、請求項4または
5に記載の半導体回路は、ソースが低レベル電圧Vss
に接続され、ドレインがMOSトランジスタ23のドレ
インに接続され、ゲートがMOSトランジスタ23のゲ
ートに接続され、かつ第1の閾値電圧より低い第4の閾
値電圧(低Vth)に設定されたNチャネル型のMOS
トランジスタ24を備え、MOSトランジスタ23とM
OSトランジスタ24との対によりCMOSインバータ
回路を構成することを特徴とする。
【0054】この請求項7の発明によれば、スタンバイ
状態において、MOSトランジスタ15のゲートにハイ
レベルの信号を入力してMOSトランジスタ15をOF
F状態にすることにより、仮想高電源ノードVHの電位
をMOSトランジスタ17または16の閾値電圧分だけ
低いレベルに引き下げることができ、CMOSインバー
タ回路の入力(ノードN2)としてハイレベルの信号が
入力されてMOSトランジスタ23がOFF状態となっ
ても、仮想高電源ノードVHから供給される電流がMO
Sトランジスタ23を貫通してON状態となったMOS
トランジスタ24を介して低レベル電圧Vssに流れ込
むことが抑止され、これによりリーク電流を低減させる
ことができる。
【0055】また、請求項8において、請求項2または
3に記載の半導体回路は、ソースがMOSトランジスタ
22のドレインに接続され、かつ第1の閾値電圧より低
い第4の閾値電圧(低Vth)に設定されたNチャネル
型のMOSトランジスタ26と、ソースが高レベル電圧
Vddに接続され、ドレインがMOSトランジスタ26
のドレインに接続され、ゲートがMOSトランジスタ2
6のゲートに接続され、かつ第1の閾値電圧より低い第
5の閾値電圧(低Vth)に設定されたPチャネル型の
MOSトランジスタ27と、ソースが、高レベル電圧V
ddに接続され、ドレインがMOSトランジスタ26の
ドレインに接続され、ゲートがMOSトランジスタ22
のゲートに接続され、かつ第1の閾値電圧より低い第6
の閾値電圧(低Vth)に設定されたPチャネル型のM
OSトランジスタ29と、を備え、MOSトランジスタ
22、26、27、29によりNAND回路を構成する
ことを特徴とする。
【0056】この請求項8の発明によれば、低レベル電
圧Vss側から供給される電圧を仮想低電源ノードVL
において制御することができ、スタンバイ状態におい
て、MOSトランジスタ12のゲートにローレベルの信
号を入力してMOSトランジスタ12をOFF状態にす
ることにより、仮想低電源ノードVLの電位をMOSト
ランジスタ14または13の閾値電圧分だけ高いレベル
に引き上げることができ、NAND回路の入力(ノード
N2、N4)により、MOSトランジスタ22、26の
いずれかがOFF状態となっても、高レベル電圧Vdd
から供給される電流がOFF状態となったMOSトラン
ジスタ22、26を貫通して低レベル電圧Vssに流れ
込むことが抑止され、これによりリーク電流の低減を実
現したNAND回路を提供することができる。
【0057】また、請求項9において、異なる閾値電圧
を有する複数のMOSトランジスタにより構成され、第
1の電圧(高レベル電圧Vdd)とこの高レベル電圧V
ddよりも低い電圧である第2の電圧(低レベル電圧V
ss)を電源電圧として動作する半導体回路は、ソース
が高レベル電圧Vddに接続され、かつ第1の閾値電圧
(高Vth)に設定されたPチャネル型のMOSトラン
ジスタ15と、ソースが高レベル電圧Vddに接続さ
れ、ドレインおよびゲートがMOSトランジスタ15の
ドレインに接続され、かつ第2の閾値電圧(高Vth)
に設定されたPチャネル型のMOSトランジスタ17
と、ソースが低レベル電圧Vssに接続され、かつ第1
および第2の閾値電圧より低い第3の閾値電圧(低Vt
h)に設定されたNチャネル型のMOSトランジスタ2
8と、ソースがMOSトランジスタ28のドレインに接
続され、かつ第1および第2の閾値電圧より低い第4の
閾値電圧(低Vth)に設定されたNチャネル型のMO
Sトランジスタ24と、ドレインがMOSトランジスタ
24のドレインに接続され、ゲートがMOSトランジス
タ24のゲートに接続され、かつ第1および第2の閾値
電圧より低い第5の閾値電圧(低Vth)に設定された
Pチャネル型のMOSトランジスタ23と、ドレインが
MOSトランジスタ24のドレインに接続され、ゲート
がMOSトランジスタ28のゲートに接続され、かつ第
1および第2の閾値電圧より低い第6の閾値電圧(特に
低Vthでなくてもよい)に設定されたPチャネル型の
MOSトランジスタ31と、を備え、MOSトランジス
タ23のソースとMOSトランジスタ31のソースのう
ち少なくとも一方がMOSトランジスタ15のドレイン
に接続され、MOSトランジスタ23、24、28、3
1によりNAND回路を構成することを特徴とする。
【0058】この請求項9の発明によれば、高レベル電
圧Vdd側から供給される電圧を仮想高電源ノードVH
において制御することができ、スタンバイ状態におい
て、MOSトランジスタ15のゲートにハイレベルの信
号を入力してMOSトランジスタ15をOFF状態にす
ることにより、仮想高電源ノードVHの電位をMOSト
ランジスタ17の閾値電圧分だけ低いレベルに引き下げ
ることができ、NAND回路の入力(ノードN2、N
4)により、MOSトランジスタ24、28のいずれか
がOFF状態となっても、高レベル電圧Vddから供給
される電流がOFF状態となったMOSトランジスタ2
4、28を貫通して低レベル電圧Vssに流れ込むこと
が抑止され、これによりリーク電流の低減を実現したN
AND回路を提供することができる。
【0059】また、請求項10において、異なる閾値電
圧を有する複数のMOSトランジスタにより構成され、
第1の電圧(高レベル電圧Vdd)とこの高レベル電圧
Vddよりも低い電圧である第2の電圧(低レベル電圧
Vss)を電源電圧として動作する半導体回路は、ソー
スが高レベル電圧Vddに接続され、かつ第1の閾値電
圧(高Vth)に設定されたPチャネル型のMOSトラ
ンジスタ15と、ソースがMOSトランジスタ15のド
レインに接続され、ドレインおよびゲートが高レベル電
圧Vddに接続され、かつ第1の閾値電圧より低い第2
の閾値電圧(特に低Vthでなくてもよい)に設定され
たNチャネル型のMOSトランジスタ16と、ソースが
低レベル電圧Vssに接続され、かつ第1の閾値電圧よ
り低い第3の閾値電圧(低Vth)に設定されたNチャ
ネル型のMOSトランジスタ28と、ソースがMOSト
ランジスタ28のドレインに接続され、かつ第1の閾値
電圧より低い第4の閾値電圧(低Vth)に設定された
Nチャネル型のMOSトランジスタ24と、ドレインが
MOSトランジスタ24のドレインに接続され、ゲート
がMOSトランジスタ24のゲートに接続され、かつ第
1の閾値電圧より低い第5の閾値電圧(低Vth)に設
定されたPチャネル型のMOSトランジスタ23と、ド
レインがMOSトランジスタ24のドレインに接続さ
れ、ゲートがMOSトランジスタ28のゲートに接続さ
れ、かつ第1の閾値電圧より低い第6の閾値電圧(特に
低Vthでなくてもよい)に設定されたPチャネル型の
MOSトランジスタ31と、を備え、MOSトランジス
タ23のソースとMOSトランジスタ31のソースのう
ち少なくとも一方がMOSトランジスタ15のドレイン
に接続され、MOSトランジスタ23、24、28、3
1によりNAND回路を構成することを特徴とする。
【0060】この請求項10の発明によれば、高レベル
電圧Vdd側から供給される電圧を仮想高電源ノードV
Hにおいて制御することができ、スタンバイ状態におい
て、MOSトランジスタ15のゲートにハイレベルの信
号を入力してMOSトランジスタ15をOFF状態にす
ることにより、仮想高電源ノードVHの電位をMOSト
ランジスタ16の閾値電圧分だけ低いレベルに引き下げ
ることができ、NAND回路の入力(ノードN2、N
4)により、MOSトランジスタ24、28のいずれか
がOFF状態となっても、高レベル電圧Vddから供給
される電流がOFF状態となったMOSトランジスタ2
4、28を貫通して低レベル電圧Vssに流れ込むこと
が抑止され、これによりリーク電流の低減を実現したN
AND回路を提供することができる。
【0061】また、請求項11において、請求項4また
は5に記載の半導体回路は、ソースがMOSトランジス
タ23のドレインに接続され、かつ第1の閾値電圧より
低い第4の閾値電圧(低Vth)に設定されたPチャネ
ル型のMOSトランジスタ33と、ソースが低レベル電
圧Vssに接続され、ドレインがMOSトランジスタ3
3のドレインに接続され、ゲートがMOSトランジスタ
33のゲートに接続され、かつ第1の閾値電圧より低い
第5の閾値電圧(低Vth)に設定されたNチャネル型
のMOSトランジスタ30と、ソースが低レベル電圧V
ssに接続され、ドレインがMOSトランジスタ30の
ドレインに接続され、ゲートがMOSトランジスタ23
のゲートに接続され、かつ第1の閾値電圧より低い第6
の閾値電圧(特に低Vthでなくてもよい)に設定され
たNチャネル型のMOSトランジスタ32と、を備え、
MOSトランジスタ23、30、32、33によりNO
R回路を構成することを特徴とする。
【0062】この請求項11の発明によれば、高レベル
電圧Vdd側から供給される電圧を仮想高電源ノードV
Hにおいて制御することができ、スタンバイ状態におい
て、MOSトランジスタ15のゲートにハイレベルの信
号を入力してMOSトランジスタ15をOFF状態にす
ることにより、仮想高電源ノードVHの電位をMOSト
ランジスタ17または16の閾値電圧分だけ低いレベル
に引き下げることができ、NOR回路の入力(ノードN
2、N4)により、MOSトランジスタ23、33のい
ずれかがOFF状態となっても、高レベル電圧Vddか
ら供給される電流がOFF状態となったMOSトランジ
スタ23、33を貫通して低レベル電圧Vssに流れ込
むことが抑止され、これによりリーク電流の低減を実現
したNOR回路を提供することができる。
【0063】また、請求項12において、異なる閾値電
圧を有する複数のMOSトランジスタにより構成され、
第1の電圧(高レベル電圧Vdd)とこの高レベル電圧
Vddよりも低い電圧である第2の電圧(低レベル電圧
Vss)を電源電圧として動作する半導体回路は、ソー
スが低レベル電圧Vssに接続され、かつ第1の閾値電
圧(高Vth)に設定されたNチャネル型のMOSトラ
ンジスタ12と、ソースが低レベル電圧Vssに接続さ
れ、ドレインおよびゲートがMOSトランジスタ12の
ドレインに接続され、かつ第2の閾値電圧(高Vth)
に設定されたNチャネル型のMOSトランジスタ14
と、ソースが高レベル電圧Vddに接続され、かつ第1
および第2の閾値電圧より低い第3の閾値電圧(低Vt
h)に設定されたPチャネル型のMOSトランジスタ3
5と、ソースがMOSトランジスタ35のドレインに接
続され、かつ第1および第2の閾値電圧より低い第4の
閾値電圧(低Vth)に設定されたPチャネル型のMO
Sトランジスタ25と、ドレインがMOSトランジスタ
25のドレインに接続され、ゲートがMOSトランジス
タ25のゲートに接続され、かつ第1および第2の閾値
電圧より低い第5の閾値電圧(低Vth)に設定された
Nチャネル型のMOSトランジスタ22と、ドレインが
MOSトランジスタ25のドレインに接続され、ゲート
がMOSトランジスタ35のゲートに接続され、かつ第
1および第2の閾値電圧より低い第6の閾値電圧(特に
低Vthでなくてもよい)に設定されたNチャネル型の
MOSトランジスタ34と、を備え、MOSトランジス
タ22のソースとMOSトランジスタ34のソースのう
ち少なくとも一方がMOSトランジスタ12のドレイン
に接続され、MOSトランジスタ22、25、34、3
5によりNOR回路を構成することを特徴とする。
【0064】この請求項12の発明によれば、低レベル
電圧Vss側から供給される電圧を仮想低電源ノードV
Lにおいて制御することができ、スタンバイ状態におい
て、MOSトランジスタ12のゲートにローレベルの信
号を入力してMOSトランジスタ12をOFF状態にす
ることにより、仮想低電源ノードVLの電位をMOSト
ランジスタ14の閾値電圧分だけ高いレベルに引き上げ
ることができ、NOR回路の入力(ノードN2、N4)
により、MOSトランジスタ25、35のいずれかがO
FF状態となっても、高レベル電圧Vddから供給され
る電流がOFF状態となったMOSトランジスタ25、
35を貫通して低レベル電圧Vssに流れ込むことが抑
止され、これによりリーク電流の低減を実現したNOR
回路を提供することができる。
【0065】また、請求項13において、異なる閾値電
圧を有する複数のMOSトランジスタにより構成され、
第1の電圧(高レベル電圧Vdd)とこの高レベル電圧
Vddよりも低い電圧である第2の電圧(低レベル電圧
Vss)を電源電圧として動作する半導体回路は、ソー
スが低レベル電圧Vssに接続され、かつ第1の閾値電
圧(高Vth)に設定されたNチャネル型のMOSトラ
ンジスタ12と、ソースがMOSトランジスタ12のド
レインに接続され、ドレインおよびゲートが低レベル電
圧Vssに接続され、かつ第1の閾値電圧より低い第2
の閾値電圧(特に低Vthでなくてもよい)に設定され
たPチャネル型のMOSトランジスタ13と、ソースが
高レベル電圧Vddに接続され、かつ第1の閾値電圧よ
り低い第3の閾値電圧(低Vth)に設定されたPチャ
ネル型のMOSトランジスタ35と、ソースがMOSト
ランジスタ35のドレインに接続され、かつ第1の閾値
電圧より低い第4の閾値電圧(低Vth)に設定された
Pチャネル型のMOSトランジスタ25と、ドレインが
MOSトランジスタ25のドレインに接続され、ゲート
がMOSトランジスタ25のゲートに接続され、かつ第
1の閾値電圧より低い第5の閾値電圧(低Vth)に設
定されたNチャネル型のMOSトランジスタ22と、ド
レインがMOSトランジスタ25のドレインに接続さ
れ、ゲートがMOSトランジスタ35のゲートに接続さ
れ、かつ第1の閾値電圧より低い第6の閾値電圧(特に
低Vthでなくてもよい)に設定された設定されたNチ
ャネル型のMOSトランジスタ34と、を備え、MOS
トランジスタ22のソースとMOSトランジスタ34の
ソースのうち少なくとも一方がMOSトランジスタ12
のドレインに接続され、MOSトランジスタ22、2
5、34、35によりNOR回路を構成することを特徴
とする。
【0066】この請求項13の発明によれば、低レベル
電圧Vss側から供給される電圧を仮想低電源ノードV
Lにおいて制御することができ、スタンバイ状態におい
て、MOSトランジスタ12のゲートにローレベルの信
号を入力してMOSトランジスタ12をOFF状態にす
ることにより、仮想低電源ノードVLの電位をMOSト
ランジスタ13の閾値電圧分だけ高いレベルに引き上げ
ることができ、NOR回路の入力(ノードN2、N4)
により、MOSトランジスタ25、35のいずれかがO
FF状態となっても、高レベル電圧Vddから供給され
る電流がOFF状態となったMOSトランジスタ25、
35を貫通して低レベル電圧Vssに流れ込むことが抑
止され、これによりリーク電流の低減を実現したNOR
回路を提供することができる。
【0067】また、請求項14において、請求項1〜1
3のいずれか一つに記載の半導体回路は、複数のMOS
トランジスタ回路(インバータ回路、NAND回路、N
OR回路等)が、第1の電圧(高レベル電圧Vdd)ま
たは第2の電圧(低レベル電圧Vss)のうちのいずれ
か一方への接続に代えて、MOSトランジスタ12また
は15のドレインに接続されるので、MOSトランジス
タ12およびMOSトランジスタ13(または14)に
よって電位制御される仮想低電源ノードVLと、MOS
トランジスタ15およびMOSトランジスタ16(また
は17)によって電位制御される仮想高電源ノードVH
と、を複数のMOSトランジスタ回路間で共有して利用
することができ、各MOSトランジスタ回路において生
じるリーク電流を低減することができる。
【0068】また、請求項15において、請求項1〜1
4のいずれか一つに記載の半導体回路は、MOSトラン
ジスタ12または15と、MOSトランジスタ12また
は15と同チャネル型のMOSトランジスタ14または
17とは、バックゲート効果による高い閾値電圧の設定
を可能にする。
【0069】また、請求項16において、異なる閾値電
圧を有する複数のMOSトランジスタによりメモリセル
を構成し、第1の電圧(高レベル電圧Vdd)と該第1
の電圧よりも低い第2の電圧(低レベル電圧Vss)を
電源電圧として動作する半導体記憶装置は、メモリセル
が、高レベル電圧Vddまたは低レベル電圧Vssのう
ちのいずれか一方との接続に代えて、前記請求項1〜1
5のいずれか一つに記載の半導体回路における第1のM
OSトランジスタ(MOSトランジスタ12または1
5)のドレインに接続されるので、第1のMOSトラン
ジスタのゲートに入力する信号によって、第1のMOS
トランジスタのドレインに接続される仮想電源ノード
(VLまたはVH)の電位を制御でき、メモリセルを構
成するMOSトランジスタのうちスタンバイ状態におい
てOFF状態となるMOSトランジスタにおけるリーク
電流を低減させることができるとともに、前記請求項1
〜15のいずれか一つに記載の半導体回路の構成を共有
することができる。
【0070】また、請求項17および18において、異
なる閾値電圧を有する複数のMOSトランジスタにより
メモリセルを構成し、第1の電圧(高レベル電圧Vd
d)と該第1の電圧よりも低い第2の電圧(低レベル電
圧Vss)を電源電圧として動作する半導体記憶装置
は、ソースが低レベル電圧Vssに接続されたNチャネ
ル型のMOSトランジスタ12と、ソースが低レベル電
圧Vssに接続され、ドレインおよびゲートがMOSト
ランジスタ12のドレインに接続された高Vthに設定
されたNチャネル型のMOSトランジスタ14またはソ
ースがMOSトランジスタ12のドレインに接続され、
ドレインおよびゲートが低レベル電圧Vssに接続され
たPチャネル型のMOSトランジスタ13と、ソースが
高レベル電圧Vddに接続されたPチャネル型のMOS
トランジスタ75と、ソースがMOSトランジスタ12
のドレインに接続され、ドレインがMOSトランジスタ
75のドレインに接続され、ゲートがMOSトランジス
タ75のゲートに接続されたNチャネル型のMOSトラ
ンジスタ74との対により構成される第1のCMOSイ
ンバータと、ソースが高レベル電圧Vddに接続された
Pチャネル型のMOSトランジスタ77と、ソースがM
OSトランジスタ12のドレインに接続され、ドレイン
がMOSトランジスタ77のドレインおよびMOSトラ
ンジスタ75のゲートに接続され、ゲートがMOSトラ
ンジスタ77のゲートおよびMOSトランジスタ75の
ドレインに接続されたNチャネル型のMOSトランジス
タ76との対により構成される第2のCMOSインバー
タと、ソースがMOSトランジスタ75のドレインに接
続されたNチャネル型のデータ転送用MOSトランジス
タ70と、第1のCMOSインバータと第2のCMOS
インバータの対によりメモリセルを構成することを特徴
とする。
【0071】これら請求項17および18の発明によれ
ば、スタンバイ状態において、MOSトランジスタ12
のゲートにローレベル信号を入力してMOSトランジス
タ12をOFF状態にすることにより、データ転送用M
OSトランジスタ70のゲート−ソース間電圧にはMO
Sトランジスタ14または13の閾値電圧分だけ負のオ
ーバードライブがかかり、これによりデータ転送用MO
Sトランジスタ70におけるリーク電流の発生を抑制す
ることができる。
【0072】また、請求項19および20において、異
なる閾値電圧を有する複数のMOSトランジスタにより
メモリセルを構成し、第1の電圧(高レベル電圧Vd
d)と該第1の電圧よりも低い第2の電圧(低レベル電
圧Vss)を電源電圧として動作する半導体記憶装置
は、ソースが高レベル電圧Vddに接続され、かつ第1
の閾値電圧(高Vth)に設定されたPチャネル型のM
OSトランジスタ15と、ソースが高レベル電圧Vdd
に接続され、ドレインおよびゲートがMOSトランジス
タ15のドレインに接続されたPチャネル型のMOSト
ランジスタ17またはソースがMOSトランジスタ15
のドレインに接続され、ドレインおよびゲートが高レベ
ル電圧Vddに接続されたNチャネル型のMOSトラン
ジスタ16と、ソースが低レベル電圧Vssに接続され
たNチャネル型のMOSトランジスタ74と、ソースが
MOSトランジスタ15のドレインに接続され、ドレイ
ンがMOSトランジスタ74のドレインに接続され、ゲ
ートがMOSトランジスタ74のゲートに接続されたP
チャネル型のMOSトランジスタ75との対により構成
される第1のCMOSインバータと、ソースが低レベル
電圧Vssに接続されたNチャネル型のMOSトランジ
スタ76と、ソースがMOSトランジスタ15のドレイ
ンに接続され、ドレインがMOSトランジスタ76のド
レインおよびMOSトランジスタ74のゲートに接続さ
れ、ゲートがMOSトランジスタ76のゲートおよびM
OSトランジスタ74のドレインに接続されたPチャネ
ル型のMOSトランジスタ77との対により構成される
第2のCMOSインバータと、ドレインがMOSトラン
ジスタ74のドレインに接続されたPチャネル型のデー
タ転送用MOSトランジスタ71と、前記第1のCMO
Sインバータと第2のCMOSインバータの対によりメ
モリセルを構成することを特徴とする。
【0073】これら請求項19および20の発明によれ
ば、スタンバイ状態において、MOSトランジスタ15
のゲートにハイレベル信号を入力してMOSトランジス
タ15をOFF状態にすることにより、データ転送用M
OSトランジスタ71のゲート−ソース間電圧にはMO
Sトランジスタ17または16の閾値電圧分だけOFF
方向のオーバードライブがかかり、これによりデータ転
送用MOSトランジスタ71におけるリーク電流の発生
を抑制することができる。
【0074】また、請求項21において、請求項17〜
20のいずれか一つに記載の半導体記憶装置は、ソース
またはドレインがMOSトランジスタ76のドレインに
接続され、ゲートがデータ転送用MOSトランジスタ7
0または71のゲートに接続されたNチャネル型または
Pチャネル型のデータ転送用MOSトランジスタ72ま
たは73を備えているので、スタンバイ状態において、
このデータ転送用MOSトランジスタ72または73に
おけるリーク電流の発生をも抑制することができる。
【0075】また、請求項22において、請求項17〜
21のいずれか一つに記載の半導体記憶装置は、メモリ
セルへのデータの書き込み時において、メモリセルに対
してデータの書き込みをおこなうための書き込み信号が
入力された際に、仮想電源ノード(VLまたはVH)の
電位を制御するMOSトランジスタ12または15をO
N状態にしないことで、書き込みデータを示す信号が電
源ノード(高レベル電圧VddまたはVss)に一部流
れることで消費される電力を低減させることができる。
【0076】また、請求項23において、請求項17〜
22のいずれか一つに記載の半導体記憶装置は、MOS
トランジスタ12〜17、74〜77のうち少なくとも
MOSトランジスタ12または15と、MOSトランジ
スタ12または15と同チャネル型のMOSトランジス
タ14または17とは、バックゲート効果による高い閾
値電圧の設定を可能にする。
【0077】
【発明の実施の形態】以下に、本発明にかかる半導体回
路および半導体記憶装置の好適な実施の形態を図面に基
づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。
【0078】(実施の形態1)図1は、実施の形態1に
かかる半導体回路の回路構成を示す説明図である。図1
において、実施の形態1にかかる半導体回路は、低レベ
ル電圧Vssが電源電圧として供給され、高Vthに設
定されたNチャネル型のMOSトランジスタ12および
14と低Vthに設定されたNチャネル型のMOSトラ
ンジスタ22とから構成される。
【0079】MOSトランジスタの閾値電圧を高くまた
は低く設定するには、以下に示す3つの方法が考えら
れ、これらの方法を単独に用いるかあるいは適宜組み合
わせて用いることができる。
【0080】(1)MOSトランジスタのチャネル領域
における不純物濃度を、他のMOSトランジスタのチャ
ネル領域における不純物濃度よりも高くまたは低く設定
する。この方法では、Pチャネル型、Nチャネル型の両
方のMOSトランジスタの閾値電圧を変えることができ
る。
【0081】(2)通常、Nチャネル型のMOSトラン
ジスタのゲート材料としてn型の不純物を含む多結晶シ
リコンが用いられているが、Nチャネル型のMOSトラ
ンジスタのゲート材料としてp型の不純物を含む多結晶
シリコンを用いる。この方法は、Nチャネル型のMOS
トランジスタの閾値電圧を高く設定する場合のみに用い
られる。
【0082】(3)他のMOSトランジスタのバックゲ
ートに供給されるバイアス電圧と異なる値のバイアス電
圧を、閾値電圧を高くまたは低く設定したいMOSトラ
ンジスタのバックゲートに供給する。
【0083】具体的に、Pチャネル型のMOSトランジ
スタの閾値電圧を高く設定するには、Pチャネル型のM
OSトランジスタのバックゲートに供給されるバイアス
電圧を、他のPチャネル型のMOSトランジスタのバッ
クゲートに供給されるバイアス電圧よりも高くする。N
チャネル型のMOSトランジスタの閾値電圧を高く設定
するには、Nチャネル型のMOSトランジスタのバック
ゲートに供給されるバイアス電圧を、他のNチャネル型
のMOSトランジスタのバックゲートに供給されるバイ
アス電圧よりも低くする。この方法では、バイアス電圧
の値を変えること、すなわちバックゲート効果によっ
て、MOSトランジスタの閾値電圧を変えることができ
る。
【0084】図1において、高Vthに設定されたMO
Sトランジスタ12は、ソースを低レベル電圧Vssに
接続し、ゲートをノードN1に接続している。また、高
Vthに設定されたMOSトランジスタ14は、ソース
を低レベル電圧Vssに接続し、ドレインとゲートを互
いに接続しており、ダイオード接続されたロードトラン
ジスタとして機能する。また、MOSトランジスタ12
のドレインとMOSトランジスタ14のドレインとは互
いに接続され、その結果、MOSトランジスタ12とM
OSトランジスタ14とは並列接続を成している。
【0085】よって、MOSトランジスタ12は、ノー
ドN1に入力される信号がハイレベルを示す場合にON
状態となり、MOSトランジスタ12のドレイン側は低
レベル電圧Vssと同電位になる。
【0086】一方、ノードN1に入力される信号がロー
レベルを示す場合に、MOSトランジスタ12はOFF
状態となり、MOSトランジスタ12のドレイン側は、
低レベル電圧VssとMOSトランジスタ14の負荷に
よって定まる電位となる。
【0087】このように、MOSトランジスタ12とM
OSトランジスタ14からなる対においては、MOSト
ランジスタ12のゲートに入力される信号のレベルに応
じて、MOSトランジスタ12のドレイン側の電位が制
御される。この電位が与えられるノードは、低レベル電
圧Vssを電源電圧として電位制御されることから、以
下において、特に仮想低電源ノードVLと称する。
【0088】図1においては、上記仮想低電源ノードV
Lに、MOSトランジスタ12とMOSトランジスタ1
4のドレインが接続され、さらに、MOSトランジスタ
22のソースが接続されている。また、MOSトランジ
スタ22は、ゲートをノードN2に接続し、ドレインを
ノードN3に接続している。
【0089】したがって、例えば、MOSトランジスタ
22のドレインが高レベル電圧Vddにプルアップされ
ている場合には、ノードN2にハイレベルの信号が入力
されると、MOSトランジスタ22はON状態となり、
仮想低電源ノードVLにより与えられる電位をノードN
3に出力する。一方、ノードN2にローレベルの信号が
入力されると、MOSトランジスタ22はOFF状態と
なり、高レベル電圧Vddにより与えられる電位をノー
ドN3に出力する。
【0090】すなわち、図1に示した半導体回路は、ノ
ードN2を入力端子とし、ノードN3を出力端子とし、
さらに、低レベルの電圧が、仮想低電源ノードVLにお
いて供給される回路である。ここで、回路の応答速度を
高めるために、かつ低消費電力化を図るために、MOS
トランジスタ22の閾値電圧Vthが低く設定されてい
るが、この低Vth化に伴って、ノードN2にローレベ
ルの信号を入力してMOSトランジスタ22をOFF状
態にした場合に、MOSトランジスタ22においてリー
ク電流が発生してしまう。
【0091】しかし、MOSトランジスタ22がOFF
状態にあっても、MOSトランジスタ22のソースに接
続された仮想低電源ノードVLは、ノードN1に入力さ
れる信号をローレベルにしてMOSトランジスタ12を
OFF状態にすることによってMOSトランジスタ14
の閾値電圧Vth分だけ高いレベルに引き上げられ、M
OSトランジスタ22のドレイン側から供給される高レ
ベル電圧Vdd等によって供給される電流がMOSトラ
ンジスタ22を貫通して流れること、すなわちリーク電
流の発生を抑制している。
【0092】また、MOSトランジスタ12およびMO
Sトランジスタ14自体においても、閾値電圧Vthが
高く設定されているために、リーク電流の発生が抑制さ
れている。
【0093】さらに、MOSトランジスタ22のOFF
状態、すなわちMOSトランジスタ22のゲートにロー
レベルの信号が入力されている状態においては、仮想低
電源ノードVLによって与えられる高く引き上げられた
レベルの電位が、MOSトランジスタ22のソースの電
位となるので、MOSトランジスタ22のゲート−ソー
ス間電圧Vgsは、MOSトランジスタ14の閾値電圧
Vth分の負のゲートオーバードライブがかかり、MO
Sトランジスタ22におけるリーク電流は、十分許容で
きる小さな値を示すことになる。
【0094】また、MOSトランジスタ12に並列接続
される負荷をMOSトランジスタ14のダイオード接続
によって構成しているので、この半導体回路を製造する
にあたって、従来の半導体製造プロセスを活用でき、バ
ラツキの少ない、安定して動作する半導体回路を提供す
ることができる。
【0095】図2は、実施の形態1にかかる他の半導体
回路の回路構成を示す説明図である。図2に示す半導体
回路は、図1のダイオード接続されたNチャネル型のM
OSトランジスタ14に代えて、ダイオード接続された
Pチャネル型のMOSトランジスタ13を、MOSトラ
ンジスタ12と並列に接続した点のみが、図1に示した
半導体回路と異なる。なお、この場合、MOSトランジ
スタ13の閾値電圧は、構成配置上、通常は高Vthに
設定されない。
【0096】なお、図1と共通する部分には同一符号を
付して、説明を省略する。この半導体回路においても、
図1に示した半導体回路と同様に、高速化および低消費
電力化を実現するとともに、低リーク電流化が図れる。
【0097】図3は、実施の形態1にかかる他の半導体
回路の回路構成を示す説明図である。図3に示す半導体
回路は、高レベル電圧Vddが電源電圧として供給さ
れ、高Vthに設定されたPチャネル型のMOSトラン
ジスタ15および17と低Vthに設定されたPチャネ
ル型のMOSトランジスタ23とから構成される。
【0098】図3において、高Vthに設定されたMO
Sトランジスタ15は、ソースを高レベル電圧Vddに
接続し、ゲートをノードN1に接続している。また、高
Vthに設定されたMOSトランジスタ17は、ソース
を高レベル電圧Vddに接続し、ドレインとゲートを互
いに接続しており、ダイオード接続されたロードトラン
ジスタとして機能する。また、MOSトランジスタ15
のドレインとMOSトランジスタ17のドレインとは互
いに接続され、その結果、MOSトランジスタ15とM
OSトランジスタ17とは並列接続を成している。
【0099】よって、MOSトランジスタ15は、ノー
ドN1に入力される信号がローレベルを示す場合にON
状態となり、MOSトランジスタ15のドレイン側は高
レベル電圧Vddと同電位になる。一方、MOSトラン
ジスタ15は、ノードN1に入力される信号がハイレベ
ルを示す場合にOFF状態となり、MOSトランジスタ
15のドレイン側は、高レベル電圧VddとMOSトラ
ンジスタ17の負荷によって定まる電位となる。
【0100】このように、MOSトランジスタ15とM
OSトランジスタ17からなる対においては、MOSト
ランジスタ15のゲートに入力される信号のレベルに応
じて、MOSトランジスタ15のドレイン側の電位が制
御される。この電位が与えられるノードは、高レベル電
圧Vddを電源電圧として電位制御されることから、以
下において、特に仮想高電源ノードVHと称する。
【0101】図3においては、仮想高電源ノードVH
に、MOSトランジスタ15とMOSトランジスタ17
のドレインが接続され、さらに、MOSトランジスタ2
3のソースが接続されている。また、MOSトランジス
タ23は、ゲートをノードN2に接続し、ドレインをノ
ードN3に接続している。
【0102】したがって、例えば、MOSトランジスタ
23のドレインが低レベル電圧Vssにプルダウンされ
ている場合には、ノードN2にローレベルの信号が入力
されると、MOSトランジスタ23はON状態となり、
仮想高電源ノードVHにより与えられる電位をノードN
3に出力する。一方、ノードN2にハイレベルの信号が
入力されると、MOSトランジスタ23はOFF状態と
なり、低レベル電圧Vssにより与えられる電位をノー
ドN3に出力する。
【0103】すなわち、図3に示した半導体回路は、ノ
ードN2を入力端子とし、ノードN3を出力端子とし、
さらに、高レベルの電圧が、仮想高電源ノードVHにお
いて供給される回路である。ここで、回路の応答速度を
高めるため、かつ低消費電力化を図るために、MOSト
ランジスタ23の閾値電圧Vthが低く設定されてい
る。この低Vth化に伴って、ノードN2にハイレベル
の信号を入力してMOSトランジスタ23をOFF状態
にした場合に、MOSトランジスタ23においてリーク
電流が発生してしまう。
【0104】しかし、MOSトランジスタ23がOFF
状態にあっても、MOSトランジスタ23のソースに接
続された仮想高電源ノードVHは、ノードN1に入力さ
れる信号をハイレベルにしてMOSトランジスタ15を
OFF状態にすることによってMOSトランジスタ17
の閾値電圧Vth分だけ低いレベルに引き下げられ、M
OSトランジスタ23のドレイン側から供給される低レ
ベル電圧Vss等に供給される電流がMOSトランジス
タ23を貫通して流れること、すなわちリーク電流の発
生を抑制している。
【0105】また、MOSトランジスタ15およびMO
Sトランジスタ17自体においても、閾値電圧Vthが
高く設定されているために、リーク電流の発生が抑制さ
れている。
【0106】さらに、MOSトランジスタ23のOFF
状態、すなわちMOSトランジスタ23のゲートにハイ
レベルの信号が入力されている状態においては、仮想高
電源ノードVHによって与えられる低く引き下げられた
レベルの電位が、MOSトランジスタ23のソースの電
位となるので、MOSトランジスタ23のゲート−ソー
ス間電圧Vgsは、MOSトランジスタ17の閾値電圧
Vth分だけOFF状態方向のゲートオーバードライブ
と同等の作用によって、MOSトランジスタ23におけ
るリーク電流は、十分許容できる小さな値を示すことに
なる。
【0107】また、MOSトランジスタ15に並列接続
される負荷をMOSトランジスタ17のダイオード接続
によって構成しているので、この半導体回路を製造する
にあたって、従来の半導体製造プロセスを活用でき、バ
ラツキが少なく、安定して動作する半導体回路を提供す
ることができる。
【0108】図4は、実施の形態1にかかる他の半導体
回路の回路構成を示す説明図である。図4に示す半導体
回路は、図3のダイオード接続されたPチャネル型のM
OSトランジスタ17に代えて、ダイオード接続された
Nチャネル型のMOSトランジスタ16を、MOSトラ
ンジスタ15と並列に接続した点が、図3に示した半導
体回路と異なる。なお、この場合、MOSトランジスタ
16の閾値電圧は、構成配置上、通常は高Vthに設定
されない。
【0109】なお、図3と共通する部分には同一符号を
付して、その説明を省略する。この半導体回路において
も、図3に示した半導体回路と同様に、高速化および低
消費電力化を実現するとともに、低リーク電流化が図れ
る。
【0110】以上に説明した実施の形態1によれば、ソ
ースが電源電圧(Vss、Vdd)のいずれか一方が供
給される電源ノードに接続され、かつ閾値電圧が高く設
定されたMOSトランジスタ(12または15)と、M
OSトランジスタ(12または15)のドレインと前記
電源ノードとの間においてMOSトランジスタ(12ま
たは15)と並列にダイオード接続され、かつ閾値電圧
が高く設定されたMOSトランジスタ(14または1
7)と、ソースがMOSトランジスタ(12または1
5)のドレインに接続され、かつ閾値電圧が低く設定さ
れたMOSトランジスタ(22または23)と、から半
導体回路を構成し、MOSトランジスタ(12または1
5)のドレインおよびMOSトランジスタ(22または
23)のソースと接続される仮想電源ノード(VL、V
H)の電位が、MOSトランジスタ(12または15)
のゲートに入力する信号により制御できるので、例え
ば、半導体回路のスタンバイ状態において、MOSトラ
ンジスタ(22または23)のリーク電流を低減させる
ことができる。
【0111】また、MOSトランジスタ(12または1
5)に並列接続される負荷を、MOSトランジスタ(1
4または17)によって構成しているので、従来の半導
体製造プロセスが活用でき、バラツキが少なく、安定し
て動作する半導体回路を提供することができる。
【0112】(実施の形態2)つぎに、実施の形態2に
かかる半導体回路について説明する。図5は、実施の形
態2にかかるインバータ回路の回路構成を示す説明図で
ある。図5において、実施の形態2にかかるインバータ
回路は、高レベル電圧Vddと低レベル電圧Vssが電
源電圧として供給され、図1に示した半導体回路に、低
VthのPチャネル型のMOSトランジスタ25を追加
し、MOSトランジスタ22とMOSトランジスタ25
とからなる対によりCMOSインバータを構成するイン
バータ回路である。なお、図1と共通する部分には同一
符号を付して、その説明を省略する。
【0113】図5において、MOSトランジスタ22の
ドレインは、ノードN3に接続されるとともに、MOS
トランジスタ25のソースに接続されている。また、M
OSトランジスタ22のゲートは、ノードN2に接続さ
れるとともに、MOSトランジスタ25のゲートに接続
されている。一方、MOSトランジスタ25は、ソース
を高レベル電圧Vddに接続している。
【0114】よって、ノードN2にハイレベルの信号が
入力された場合は、MOSトランジスタ25はOFF状
態に、MOSトランジスタ22はON状態になり、ノー
ドN3は仮想低電源ノードVLと同電位になる。また、
ノードN2にローレベルの信号が入力された場合は、M
OSトランジスタ25はON状態に、MOSトランジス
タ22はOFF状態になり、ノードN3は高レベル電圧
Vddと同電位になる。
【0115】ここで、ノードN1にハイレベルの信号が
入力される状態では、MOSトランジスタ12がON状
態となり、仮想低電源ノードVLは、低レベル電圧Vs
sと同電位になる。よって、このインバータ回路は、ノ
ードN2にハイレベルの信号が入力された場合にノード
N3にローレベルの信号が出力され、ノードN2にロー
レベルの信号が入力された場合にノードN3にハイレベ
ルの信号が出力されて、ノードN2を入力端子とし、ノ
ードN3を出力端子とした通常の反転動作をおこなうイ
ンバータとして機能する。すなわち、ノードN1にハイ
レベルの信号が入力される状態は、インバータ回路のア
クティブ状態を示す。
【0116】これに対して、ノードN1にローレベルの
信号が入力される状態は、インバータ回路のスタンバイ
状態を示し、このスタンバイ状態では、MOSトランジ
スタ12がOFF状態となり、上記実施の形態1におい
て説明したように、仮想低電源ノードVLの電位がMO
Sトランジスタ14の高Vth分だけ引き上げられ、ノ
ードN2にローレベルの信号が入力されてMOSトラン
ジスタ22がOFF状態となっても、ON状態となった
MOSトランジスタ25を介して高レベル電圧Vddか
ら供給される電流は、MOSトランジスタ22を貫通せ
ず、よって、リーク電流の発生が抑制される。
【0117】このように、図5に示したインバータ回路
は、MOSトランジスタ12とMOSトランジスタ14
からなる対によって定められる仮想低電源ノードVL
を、MOSトランジスタ22とMOSトランジスタ25
とからなるCMOSインバータの低電源ノードとして接
続することにより、ノードN1にローレベルの信号を入
力することによるスタンバイ状態において、本来、低V
thのMOSトランジスタを用いることによる利点であ
る高速化および低消費電力化を損なわずに、低Vthの
MOSトランジスタ22におけるリーク電流の発生を抑
制することができる。
【0118】また、実施の形態1と同様に、MOSトラ
ンジスタ12に並列接続される負荷をMOSトランジス
タ14のダイオード接続によって構成しているので、従
来の半導体製造プロセスを活用して製造され、バラツキ
が少なく、安定してインバータ動作をおこなえる半導体
回路を提供することができる。
【0119】図6は、実施の形態2にかかる他のインバ
ータ回路の回路構成を示す説明図である。図6に示すイ
ンバータ回路は、図5のダイオード接続されたNチャネ
ル型のMOSトランジスタ14に代えて、ダイオード接
続されたPチャネル型のMOSトランジスタ13を、M
OSトランジスタ12と並列に接続した点のみが、図5
に示したインバータ回路と異なる。
【0120】なお、図5と共通する部分には同一符号を
付して、その説明を省略する。インバータ回路として構
成されたこの半導体回路においても、図5に示したイン
バータ回路と同様に、高速化および低消費電力化を実現
するとともに、低リーク電流化が図れる。
【0121】図7は、実施の形態2にかかる他のインバ
ータ回路の回路構成を示す説明図である。図7におい
て、実施の形態2にかかるインバータ回路は、高レベル
電圧Vddと低レベル電圧Vssが電源電圧として供給
され、図3に示した半導体回路に、低VthのNチャネ
ル型のMOSトランジスタ24を追加し、MOSトラン
ジスタ23とMOSトランジスタ24とからなる対によ
りCMOSインバータを構成するインバータ回路であ
る。なお、図3と共通する部分には同一符号を付して、
その説明を省略する。
【0122】図7において、MOSトランジスタ23の
ドレインは、ノードN3に接続されるとともに、MOS
トランジスタ24のソースに接続されている。また、M
OSトランジスタ23のゲートは、ノードN2に接続さ
れるとともに、MOSトランジスタ24のゲートに接続
されている。一方、MOSトランジスタ24は、ソース
を低レベル電圧Vssに接続している。
【0123】よって、ノードN2にローレベルの信号が
入力された場合は、MOSトランジスタ24はOFF状
態に、MOSトランジスタ23はON状態になり、ノー
ドN3は仮想高電源ノードVHと同電位になる。また、
ノードN2にハイレベルの信号が入力された場合は、M
OSトランジスタ24はON状態に、MOSトランジス
タ23はOFF状態になり、ノードN3は低レベル電圧
Vssと同電位になる。
【0124】ここで、ノードN1にローレベルの信号が
入力される状態では、MOSトランジスタ15がON状
態となり、仮想高電源ノードVHは、高レベル電圧Vd
dと同電位になる。よって、このインバータ回路は、ノ
ードN2にハイレベルの信号が入力された場合にノード
N3にローレベルの信号が出力され、ノードN2にロー
レベルの信号が入力された場合にノードN3にハイレベ
ルの信号が出力されて、ノードN2を入力端子とし、ノ
ードN3を出力端子とした通常の反転動作をおこなうイ
ンバータとして機能する。すなわち、ノードN1にロー
レベルの信号が入力される状態は、インバータ回路のア
クティブ状態を示す。
【0125】これに対して、ノードN1にハイレベルの
信号が入力される状態は、インバータ回路のスタンバイ
状態を示し、このスタンバイ状態では、MOSトランジ
スタ15がOFF状態となり、実施の形態1において説
明したように、仮想高電源ノードVHの電位がMOSト
ランジスタ17の高Vth分だけ引き下げられ、ノード
N2にハイレベルの信号が入力されてMOSトランジス
タ23がOFF状態となっても、仮想高電源ノードVH
から供給される電流がMOSトランジスタ23を貫通し
て、ON状態となったMOSトランジスタ24を介して
低レベル電圧Vssに流れ込むことはない。すなわち、
MOSトランジスタ23において、リーク電流の発生が
抑制される。
【0126】このように、図7に示したインバータ回路
は、MOSトランジスタ15とMOSトランジスタ17
からなる対によって定められる仮想高電源ノードVH
を、MOSトランジスタ23とMOSトランジスタ24
とからなるCMOSインバータの高電源ノードとして接
続することにより、ノードN1にハイレベルの信号を入
力することによるスタンバイ状態において、本来、低V
thのMOSトランジスタを用いることによる利点であ
る高速化および低消費電力化を損なわずに、低Vthの
MOSトランジスタ23におけるリーク電流の発生を抑
制することができる。
【0127】また、実施の形態1と同様に、MOSトラ
ンジスタ15に並列接続される負荷をMOSトランジス
タ17のダイオード接続によって構成しているので、従
来の半導体製造プロセスを活用して製造され、バラツキ
が少なく、安定してインバータ動作をおこなえる半導体
回路を提供することができる。
【0128】図8は、実施の形態2にかかる他のインバ
ータ回路の回路構成を示す説明図である。図8に示すイ
ンバータ回路は、図7のダイオード接続されたNチャネ
ル型のMOSトランジスタ17に代えて、ダイオード接
続されたNチャネル型のMOSトランジスタ16を、M
OSトランジスタ15と並列に接続した点が、図7に示
したインバータ回路と異なる。
【0129】なお、図7と共通する部分には同一符号を
付して、その説明を省略する。インバータ回路として構
成されたこの半導体回路においても、図7に示した半導
体回路と同様に、高速化および低消費電力化を実現する
とともに、低リーク電流化が図れる。
【0130】以上に説明した実施の形態2によれば、実
施の形態1に示した半導体回路に対して、さらに、ソー
スが高レベル電圧Vddまたは低レベル電圧Vssに接
続され、ドレインがMOSトランジスタ(22または2
3)のドレインに接続され、ゲートがMOSトランジス
タ(22または23)のゲートに接続され、かつ閾値電
圧が低く設定されたPチャネル型またはNチャネル型の
MOSトランジスタ(25または24)を備えてインバ
ータ回路を構成し、MOSトランジスタ(12または1
5)のドレインおよびMOSトランジスタ(22または
23)のソースと接続される仮想電源ノード(VL、V
H)の電位が、MOSトランジスタ(12または15)
のゲートに入力する信号により制御できるので、インバ
ータ回路のスタンバイ状態において、MOSトランジス
タ(22または23)およびMOSトランジスタ(25
または24)のリーク電流を低減させることができる。
【0131】また、MOSトランジスタ(12または1
5)に並列接続される負荷を、MOSトランジスタ(1
4または17)によって構成しているので、従来の半導
体製造プロセスが活用でき、バラツキが少なく、安定し
てインバータ動作をおこなえる半導体回路を提供するこ
とができる。
【0132】(実施の形態3)つぎに、実施の形態3に
かかる半導体回路について説明する。図9は、実施の形
態3にかかるNAND回路の回路構成を示す説明図であ
る。図9において、実施の形態3にかかるNAND回路
は、高レベル電圧Vddと低レベル電圧Vssが電源電
圧として供給され、図1に示した半導体回路に、低Vt
hのNチャネル型のMOSトランジスタ26と、低Vt
hのPチャネル型のMOSトランジスタ27と、低Vt
hのPチャネル型のMOSトランジスタ29とを追加
し、MOSトランジスタ22、26、27、29からな
る構成によってNAND演算処理をおこなうNAND回
路である。なお、図1と共通する部分には同一符号を付
して、その説明を省略する。
【0133】図9において、MOSトランジスタ22の
ゲートは、ノードN2に接続されるとともに、MOSト
ランジスタ29のゲートに接続されている。また、MO
Sトランジスタ22のドレインは、MOSトランジスタ
26のソースに接続されている。
【0134】また、MOSトランジスタ26は、ドレイ
ンをMOSトランジスタ27のドレインに接続するとと
もにノードN5に接続し、ゲートをMOSトランジスタ
27のゲートに接続するとともにノードN4に接続して
いる。MOSトランジスタ27のソースは、高レベル電
圧Vddに接続している。また、MOSトランジスタ2
9は、ソースを高レベル電圧Vddに接続し、ドレイン
をノードN5に接続している。
【0135】よって、ノードN2とノードN4にともに
ハイレベルの信号が入力された場合は、MOSトランジ
スタ22はON状態に、MOSトランジスタ26はON
状態に、MOSトランジスタ27はOFF状態になり、
また、MOSトランジスタ29はOFF状態になって、
ノードN5は仮想低電源ノードVLと同電位になる。
【0136】また、ノードN2にハイレベルの信号が入
力され、ノードN4にローレベルの信号が入力された場
合は、MOSトランジスタ22はON状態に、MOSト
ランジスタ26はOFF状態に、MOSトランジスタ2
7はON状態になり、また、MOSトランジスタ29は
OFF状態になって、ノードN5は高レベル電圧Vdd
と同電位になる。
【0137】ノードN2にローレベルの信号が入力さ
れ、ノードN4にハイレベルの信号が入力された場合
は、MOSトランジスタ22はOFF状態に、MOSト
ランジスタ26はON状態に、MOSトランジスタ27
はOFF状態になり、また、MOSトランジスタ29は
ON状態になって、ノードN5は高レベル電圧Vddと
同電位になる。
【0138】また、ノードN2とノードN4にともにロ
ーレベルの信号が入力された場合は、MOSトランジス
タ22はOFF状態に、MOSトランジスタ26はOF
F状態に、MOSトランジスタ27はON状態になり、
また、MOSトランジスタ29はON状態になって、ノ
ードN5は高レベル電圧Vddと同電位になる。
【0139】ここで、ノードN1にハイレベルの信号が
入力される状態では、MOSトランジスタ12がON状
態となり、仮想低電源ノードVLは、低レベル電圧Vs
sと同電位になる。よって、このNAND回路は、ノー
ドN2およびノードN4を入力端子とし、ノードN5を
出力端子とした通常のNAND演算をおこなうNAND
回路として機能する。すなわち、ノードN1にハイレベ
ルの信号が入力される状態は、NAND回路のアクティ
ブ状態を示す。
【0140】これに対して、ノードN1にローレベルの
信号が入力される状態は、NAND回路のスタンバイ状
態を示し、このスタンバイ状態では、MOSトランジス
タ12がOFF状態となり、上記実施の形態1において
説明したように、仮想低電源ノードVLの電位がMOS
トランジスタ14の高Vth分だけ引き上げられ、MO
Sトランジスタ22、26のいずれかがOFF状態とな
ったしても、高レベル電圧Vddから供給される電流が
OFF状態となったMOSトランジスタを貫通して仮想
低電源ノードVLに流れ込むことはない。すなわち、M
OSトランジスタ22、26において、リーク電流の発
生が抑制される。
【0141】このように、図9に示したNAND回路
は、MOSトランジスタ12とMOSトランジスタ14
からなる対によって定められる仮想低電源ノードVL
を、MOSトランジスタ22、26、27、29からな
るNAND演算をおこなう構成の低電源ノードとして接
続することにより、ノードN1にローレベルの信号を入
力することによるスタンバイ状態において、本来、低V
thのMOSトランジスタを用いることによる利点であ
る、高速化および低消費電力化を損なわずに、低Vth
のMOSトランジスタ22、26におけるリーク電流の
発生を抑制することができる。
【0142】また、実施の形態1と同様に、MOSトラ
ンジスタ12に並列接続される負荷をMOSトランジス
タ14のダイオード接続によって構成しているので、従
来の半導体製造プロセスを活用して製造され、バラツキ
が少なく、安定してNAND演算処理をおこなえる半導
体回路を提供することができる。
【0143】図10は、実施の形態3にかかる他のNA
ND回路の回路構成を示す説明図である。図10に示す
NAND回路は、図9のダイオード接続されたNチャネ
ル型のMOSトランジスタ14に代えて、ダイオード接
続されたPチャネル型のMOSトランジスタ13を、M
OSトランジスタ12と並列に接続した点のみが、図9
に示したNAND回路と異なる。
【0144】なお、図9と共通する部分には同一符号を
付して、その説明を省略する。NAND回路として構成
されたこの半導体回路においても、図9に示したNAN
D回路と同様に、高速化および低消費電力化を実現する
とともに、低リーク電流化を図ることができる。
【0145】図11は、実施の形態3にかかる他のNA
ND回路の回路構成を示す説明図である。図11におい
て、実施の形態3にかかるNAND回路は、高レベル電
圧Vddと低レベル電圧Vssが電源電圧として供給さ
れ、図3に示した半導体回路に、低VthのNチャネル
型のMOSトランジスタ24と、低VthのNチャネル
型のMOSトランジスタ28と、Pチャネル型のMOS
トランジスタ31とを追加し、MOSトランジスタ2
3、24、28、31からなる構成によってNAND演
算処理をおこなうNAND回路である。なお、図3と共
通する部分には同一符号を付して、その説明を省略す
る。
【0146】図11において、MOSトランジスタ23
のゲートは、ノードN2に接続されるとともに、MOS
トランジスタ24のゲートに接続されている。また、M
OSトランジスタ23のドレインは、MOSトランジス
タ24のドレインに接続されるとともにノードN5に接
続されている。
【0147】MOSトランジスタ24のソースは、MO
Sトランジスタ28のドレインに接続されている。MO
Sトランジスタ28は、ソースを低レベル電圧Vssに
接続し、ゲートをノードN4に接続するとともにMOS
トランジスタ31のゲートに接続している。MOSトラ
ンジスタ31は、ソースを高レベル電圧Vddに接続
し、ドレインをノードN5に接続している。
【0148】よって、ノードN2とノードN4にともに
ハイレベルの信号が入力された場合は、MOSトランジ
スタ23はOFF状態に、MOSトランジスタ24はO
N状態に、MOSトランジスタ28はON状態になり、
また、MOSトランジスタ31はOFF状態になって、
ノードN5は低レベル電圧Vssと同電位になる。
【0149】また、ノードN2にハイレベルの信号が入
力され、ノードN4にローレベルの信号が入力された場
合は、MOSトランジスタ23はON状態に、MOSト
ランジスタ24はOFF状態に、MOSトランジスタ2
8はOFF状態になり、また、MOSトランジスタ31
はON状態になって、ノードN5は高レベル電圧Vdd
と同電位になる。
【0150】ノードN2にローレベルの信号が入力さ
れ、ノードN4にハイレベルの信号が入力された場合
は、MOSトランジスタ23はON状態に、MOSトラ
ンジスタ24はOFF状態に、MOSトランジスタ27
はON状態になり、また、MOSトランジスタ29はO
FF状態になって、ノードN5は仮想高電源ノードVH
と同電位になる。
【0151】また、ノードN2とノードN4にともにロ
ーレベルの信号が入力された場合は、MOSトランジス
タ23はON状態に、MOSトランジスタ24はOFF
状態に、MOSトランジスタ28はOFF状態になり、
また、MOSトランジスタ31はON状態になって、ノ
ードN5は高レベル電圧Vddと同電位になる。
【0152】ここで、ノードN1にローレベルの信号が
入力される状態では、MOSトランジスタ15がON状
態となり、仮想高電源ノードVHは、高レベル電圧Vd
dと同電位になる。よって、このNAND回路は、ノー
ドN2およびノードN4を入力端子とし、ノードN5を
出力端子とした通常のNAND演算をおこなうNAND
回路として機能する。すなわち、ノードN1にローレベ
ルの信号が入力される状態は、NAND回路のアクティ
ブ状態を示す。
【0153】これに対して、ノードN1にハイレベルの
信号が入力される状態は、NAND回路のスタンバイ状
態を示し、このスタンバイ状態では、MOSトランジス
タ15がOFF状態となり、上記実施の形態1において
説明したように、仮想高電源ノードVHの電位がMOS
トランジスタ17の高Vth分だけ引き下げられ、MO
Sトランジスタ23がOFF状態となったしても、高レ
ベル電圧Vddから供給される電流がMOSトランジス
タ23を貫通して低レベル電圧Vssに流れ込むことは
ない。すなわち、MOSトランジスタ23において、リ
ーク電流の発生が抑制される。
【0154】このように、図11に示したNAND回路
は、MOSトランジスタ15とMOSトランジスタ17
からなる対によって定められる仮想高電源ノードVH
を、MOSトランジスタ23、24、28、31からな
るNAND演算をおこなう構成の高電源ノードとして接
続することにより、ノードN1にハイレベルの信号を入
力することによるスタンバイ状態において、本来、低V
thのMOSトランジスタを用いることによる利点であ
る高速化および低消費電力化を損なわずに、低Vthの
MOSトランジスタ23におけるリーク電流の発生を抑
制することができる。
【0155】また、実施の形態1と同様に、MOSトラ
ンジスタ15に並列接続される負荷をMOSトランジス
タ17のダイオード接続によって構成しているので、従
来の半導体製造プロセスを活用して製造され、バラツキ
が少なく、安定してNAND演算処理をおこなえる半導
体回路を提供することができる。
【0156】なお、図11に示したNAND回路におい
ては、MOSトランジスタ31のソースが高レベル電圧
Vddに固定されて接続されているため、スタンバイ状
態における低リーク電流化の効果は、MOSトランジス
タ23に対してのみ及ぼされる。そこで、MOSトラン
ジスタ31のソースもまた、仮想高電源ノードVHに接
続することで、MOSトランジスタ23、24、28、
31のいずれかがOFF状態となった場合に、OFF状
態となったMOSトランジスタにおいて、リーク電流の
低減を図ることができる。
【0157】また、MOSトランジスタ23のソースに
高レベル電圧Vddを接続し、MOSトランジスタ31
のソースに仮想高電源ノードVHを接続することもでき
るが、この場合は、MOSトランジスタ31に対しての
み低リーク電流化の効果が及ぼされる。
【0158】図12は、実施の形態3にかかる他のNA
ND回路の回路構成を示す説明図である。図12に示す
NAND回路は、図11のダイオード接続されたPチャ
ネル型のMOSトランジスタ17に代えて、ダイオード
接続されたNチャネル型のMOSトランジスタ16を、
MOSトランジスタ15と並列に接続した点のみが、図
11に示したNAND回路と異なる。
【0159】なお、図11と共通する部分には同一符号
を付して、その説明を省略する。NAND回路として構
成されたこの半導体回路においても、図11に示したN
AND回路と同様に、高速化および低消費電力化を実現
するとともに、低リーク電流化を図ることができる。
【0160】以上に説明した実施の形態3によれば、実
施の形態1に示した半導体回路に対して、さらに、ソー
スがMOSトランジスタ(22または23)のドレイン
に接続され、かつ閾値電圧が低く設定されたNチャネル
型のMOSトランジスタ(26または24)と、ソース
が高レベル電圧Vddまたは低レベル電圧Vssに接続
され、ドレインがMOSトランジスタ(26または2
4)のドレインに接続され、ゲートがMOSトランジス
タ(26または24)のゲートに接続され、かつ閾値電
圧が低く設定されたPチャネル型またはNチャネル型の
MOSトランジスタ(27または28)と、ソースが高
レベル電圧Vddに接続され、ドレインがMOSトラン
ジスタ(26または24)のドレインに接続され、ゲー
トがMOSトランジスタ(22または23)のゲートに
接続され、かつ閾値電圧が低く設定されたPチャネル型
のMOSトランジスタ(29または31)と、を備えて
NAND回路を構成し、MOSトランジスタ(12また
は15)のドレインおよびMOSトランジスタ(22ま
たは23)のソースと接続される仮想電源ノード(V
L、VH)の電位が、MOSトランジスタ(12または
15)のゲートに入力する信号により制御できるので、
NAND回路のスタンバイ状態において、MOSトラン
ジスタ(22または23)、MOSトランジスタ(26
または24)、MOSトランジスタ(27または2
8)、MOSトランジスタ(29または31)の少なく
とも1つのリーク電流を低減させることができる。
【0161】また、MOSトランジスタ(12または1
5)に並列接続される負荷を、MOSトランジスタ(1
4または17)によって構成しているので、従来の半導
体製造プロセスが活用でき、バラツキが少なく、安定し
てNAND演算処理をおこなえる半導体回路を提供する
ことができる。
【0162】(実施の形態4)つぎに、実施の形態4に
かかる半導体回路について説明する。図13は、実施の
形態4にかかるNOR回路の回路構成を示す説明図であ
る。図13において、実施の形態4にかかるNOR回路
は、高レベル電圧Vddと低レベル電圧Vssが電源電
圧として供給され、図1に示した半導体回路に、低Vt
hのPチャネル型のMOSトランジスタ25と、低Vt
hのPチャネル型のMOSトランジスタ35と、Nチャ
ネル型のMOSトランジスタ34とを追加し、MOSト
ランジスタ22、25、34、35からなる構成によっ
てNOR演算処理をおこなうNOR回路である。なお、
図1と共通する部分には同一符号を付して、その説明を
省略する。
【0163】図13において、MOSトランジスタ22
のゲートは、ノードN2に接続されるとともに、MOS
トランジスタ25のゲートに接続されている。また、M
OSトランジスタ22のドレインは、MOSトランジス
タ25のドレインに接続されるとともにノードN5に接
続されている。
【0164】また、MOSトランジスタ25のソース
は、MOSトランジスタ35のドレインに接続されてい
る。MOSトランジスタ35は、ゲートをノードN4に
接続するとともにMOSトランジスタ34のゲートに接
続し、ソースを高レベル電圧Vddに接続している。ま
た、MOSトランジスタ34は、ソースをノードN5に
接続し、ドレインを低レベル電圧Vssに接続してい
る。
【0165】よって、ノードN2とノードN4にともに
ハイレベルの信号が入力された場合は、MOSトランジ
スタ22はON状態に、MOSトランジスタ25はOF
F状態に、MOSトランジスタ35はOFF状態にな
り、また、MOSトランジスタ34はON状態になっ
て、ノードN5は低レベル電圧Vssと同電位になる。
【0166】また、ノードN2にハイレベルの信号が入
力され、ノードN4にローレベルの信号が入力された場
合は、MOSトランジスタ22はON状態に、MOSト
ランジスタ25はOFF状態に、MOSトランジスタ3
5はON状態になり、また、MOSトランジスタ34は
OFF状態になって、ノードN5は仮想低電源ノードV
Lと同電位になる。
【0167】また、ノードN2にローレベルの信号が入
力され、ノードN4にハイレベルの信号が入力された場
合は、MOSトランジスタ22はOFF状態に、MOS
トランジスタ25はON状態に、MOSトランジスタ3
5はOFF状態になり、また、MOSトランジスタ34
はON状態になって、ノードN5は低レベル電圧Vss
と同電位になる。
【0168】また、ノードN2とノードN4にともにロ
ーレベルの信号が入力された場合は、MOSトランジス
タ22はOFF状態に、MOSトランジスタ25はON
状態に、MOSトランジスタ35はON状態になり、ま
た、MOSトランジスタ34はOFF状態になって、ノ
ードN5は高レベル電圧Vddと同電位になる。
【0169】ここで、ノードN1にハイレベルの信号が
入力される状態では、MOSトランジスタ12がON状
態となり、仮想低電源ノードVLは、低レベル電圧Vs
sと同電位になる。よって、このNOR回路は、ノード
N2およびノードN4を入力端子とし、ノードN5を出
力端子とした通常のNOR演算をおこなうNOR回路と
して機能する。すなわち、ノードN1にハイレベルの信
号が入力される状態は、NOR回路のアクティブ状態を
示す。
【0170】これに対して、ノードN1にローレベルの
信号が入力される状態は、NOR回路のスタンバイ状態
を示し、このスタンバイ状態では、MOSトランジスタ
12がOFF状態となり、実施の形態1において説明し
たように、仮想低電源ノードVLの電位がMOSトラン
ジスタ14の高Vth分だけ引き上げられ、MOSトラ
ンジスタ22がOFF状態となったしても、高レベル電
圧Vddから供給される電流がMOSトランジスタ22
を貫通して仮想低電源ノードVLに流れ込むことはな
い。すなわち、MOSトランジスタ22において、リー
ク電流の発生が抑制される。
【0171】このように、図13に示したNOR回路
は、MOSトランジスタ12とMOSトランジスタ14
からなる対によって定められる仮想低電源ノードVL
を、MOSトランジスタ22、25、34、35からな
るNOR演算をおこなう構成の低電源ノードとして接続
することにより、ノードN1にローレベルの信号を入力
することによるスタンバイ状態において、本来、来低V
thのMOSトランジスタを用いることによる利点であ
る高速化および低消費電力化を損なわずに、低Vthの
MOSトランジスタ22におけるリーク電流の発生を抑
制することができる。
【0172】また、実施の形態1と同様に、MOSトラ
ンジスタ12に並列接続される負荷をMOSトランジス
タ14のダイオード接続によって構成しているので、従
来の半導体製造プロセスを活用して製造され、バラツキ
の少ない、安定してNOR演算処理をおこなえる半導体
回路を提供することができる。
【0173】なお、図13に示したNOR回路において
は、MOSトランジスタ34のソースが低レベル電圧V
ssに固定されて接続されているため、スタンバイ状態
における低リーク電流化の効果は、MOSトランジスタ
22に対してのみ及ぼされる。そこで、MOSトランジ
スタ34のソースもまた、仮想低電源ノードVLに接続
することで、MOSトランジスタ22、25、34、3
5のいずれかがOFF状態となった場合に、OFF状態
となったMOSトランジスタにおいて、リーク電流の低
減を図ることができる。
【0174】また、MOSトランジスタ22のソースに
低レベル電圧Vssを接続し、MOSトランジスタ34
のソースに仮想低電源ノードVLを接続することもでき
るが、この場合は、MOSトランジスタ34に対しての
み低リーク電流化の効果が及ぼされる。
【0175】図14は、実施の形態4にかかる他のNO
R回路の回路構成を示す説明図である。図14に示すN
OR回路は、図13のダイオード接続されたNチャネル
型のMOSトランジスタ14に代えて、ダイオード接続
されたPチャネル型のMOSトランジスタ13を、MO
Sトランジスタ12と並列に接続した点のみが、図13
に示したNOR回路と異なる。なお、図13と共通する
部分には同一符号を付して、その説明を省略する。NO
R回路として構成されたこの半導体回路においても、図
13に示したNOR回路と同様に、高速化および低消費
電力化を実現するとともに、低リーク電流化を図ること
ができる。
【0176】図15は、実施の形態4にかかる他のNO
R回路の回路構成を示す説明図である。図15におい
て、実施の形態4にかかるNOR回路は、高レベル電圧
Vddと低レベル電圧Vssが電源電圧として供給さ
れ、図3に示した半導体回路に、低VthのPチャネル
型のMOSトランジスタ33と、低VthのNチャネル
型のMOSトランジスタ30と、低VthのNチャネル
型のMOSトランジスタ32とを追加し、MOSトラン
ジスタ23、30、32、33からなる構成によってN
OR演算処理をおこなうNOR回路である。なお、図3
と共通する部分には同一符号を付して、その説明を省略
する。
【0177】図15において、MOSトランジスタ23
のゲートは、ノードN2に接続されるとともに、MOS
トランジスタ32のゲートに接続されている。また、M
OSトランジスタ23のドレインは、MOSトランジス
タ33のソースに接続されている。MOSトランジスタ
33は、ゲートをノードN4に接続し、ドレインをノー
ドN5に接続するとともにMOSトランジスタ30のド
レインに接続している。MOSトランジスタ30は、ゲ
ートをMOSトランジスタ33のゲートに接続し、ソー
スを低レベル電圧Vssに接続している。MOSトラン
ジスタ32は、ソースを低レベル電圧Vssに接続し、
ドレインをノードN5に接続している。
【0178】よって、ノードN2とノードN4にともに
ハイレベルの信号が入力された場合は、MOSトランジ
スタ23はOFF状態に、MOSトランジスタ33はO
FF状態に、MOSトランジスタ30はON状態にな
り、また、MOSトランジスタ32はON状態になっ
て、ノードN5は低レベル電圧Vssと同電位になる。
【0179】また、ノードN2にハイレベルの信号が入
力され、ノードN4にローレベルの信号が入力された場
合は、MOSトランジスタ23はOFF状態に、MOS
トランジスタ33はON状態に、MOSトランジスタ3
0はOFF状態になり、また、MOSトランジスタ32
はON状態になって、ノードN5は低レベル電圧Vss
と同電位になる。
【0180】また、ノードN2にローレベルの信号が入
力され、ノードN4にハイレベルの信号が入力された場
合は、MOSトランジスタ23はON状態に、MOSト
ランジスタ33はOFF状態に、MOSトランジスタ3
0はON状態になり、また、MOSトランジスタ32は
OFF状態になって、ノードN5は低レベル電圧Vss
と同電位になる。
【0181】また、ノードN2とノードN4にともにロ
ーレベルの信号が入力された場合は、MOSトランジス
タ23はON状態に、MOSトランジスタ33はON状
態に、MOSトランジスタ30はOFF状態になり、ま
た、MOSトランジスタ32はOFF状態になって、ノ
ードN5は仮想高電源ノードVHと同電位になる。
【0182】ここで、ノードN1にローレベルの信号が
入力される状態では、MOSトランジスタ15がON状
態となり、仮想高電源ノードVHは、高レベル電圧Vd
dと同電位になる。よって、このNOR回路は、ノード
N2およびノードN4を入力端子とし、ノードN5を出
力端子とした通常のNOR演算をおこなうNOR回路と
して機能する。すなわち、ノードN1にローレベルの信
号が入力される状態は、NOR回路のアクティブ状態を
示す。
【0183】これに対して、ノードN1にハイレベルの
信号が入力される状態は、NOR回路のスタンバイ状態
を示し、このスタンバイ状態では、MOSトランジスタ
15がOFF状態となり、実施の形態1において説明し
たように、仮想高電源ノードVHの電位がMOSトラン
ジスタ17の高Vth分だけ引き下げられ、MOSトラ
ンジスタ23、30のいずれかがOFF状態となったし
ても、高レベル電圧Vddから供給される電流がOFF
状態となったMOSトランジスタを貫通して低レベル電
圧Vssに流れ込むことはない。すなわち、MOSトラ
ンジスタ23、30において、リーク電流の発生が抑制
される。
【0184】このように、図15に示したNOR回路
は、MOSトランジスタ15とMOSトランジスタ17
からなる対によって定められる仮想高電源ノードVH
を、MOSトランジスタ23、30、32、33からな
るNOR演算をおこなう構成の高電源ノードとして接続
することにより、ノードN1にハイレベルの信号を入力
することによるスタンバイ状態において、本来、低Vt
hのMOSトランジスタを用いることによる利点である
高速化および低消費電力化を損なわずに、低VthのM
OSトランジスタ23、30におけるリーク電流の発生
を抑制することができる。
【0185】また、実施の形態1と同様に、MOSトラ
ンジスタ15に並列接続される負荷をMOSトランジス
タ17のダイオード接続によって構成しているので、従
来の半導体製造プロセスを活用して製造され、バラツキ
の少ない、安定してNOR演算処理をおこなえる半導体
回路を提供することができる。
【0186】図16は、実施の形態4にかかる他のNO
R回路の回路構成を示す説明図である。図16に示すN
OR回路は、図15のダイオード接続されたPチャネル
型のMOSトランジスタ17に代えて、ダイオード接続
されたNチャネル型のMOSトランジスタ16を、MO
Sトランジスタ15と並列に接続した点のみが、図15
に示したNOR回路と異なる。
【0187】なお、図15と共通する部分には同一符号
を付して、その説明を省略する。NOR回路として構成
されたこの半導体回路においても、図15に示したNO
R回路と同様に、高速化および低消費電力化を実現する
とともに、低リーク電流化が図れる。
【0188】以上に説明した実施の形態4によれば、実
施の形態1に示した半導体回路に対して、さらに、ソー
スがMOSトランジスタ(22または23)のドレイン
に接続され、かつ閾値電圧が低く設定されたPチャネル
型のMOSトランジスタ(25または33)と、ソース
が高レベル電圧Vddまたは低レベル電圧Vssに接続
され、ドレインがMOSトランジスタ(25または3
3)のドレインに接続され、ゲートがMOSトランジス
タ(25または33)のゲートに接続され、かつ閾値電
圧が低く設定されたPチャネル型またはNチャネル型の
MOSトランジスタ(35または30)と、ソースが低
レベル電圧Vssに接続され、ドレインがMOSトラン
ジスタ(25または33)のドレインに接続され、ゲー
トがMOSトランジスタ(22または23)のゲートに
接続され、かつ閾値電圧が低く設定されたNチャネル型
のMOSトランジスタ(34または32)と、を備えて
NOR回路を構成し、MOSトランジスタ(12または
15)のドレインおよびMOSトランジスタ(22また
は23)のソースと接続される仮想電源ノード(VL、
VH)の電位が、MOSトランジスタ(12または1
5)のゲートに入力する信号により制御できるので、N
OR回路のスタンバイ状態において、MOSトランジス
タ(22または23)、MOSトランジスタ(25また
は33)、MOSトランジスタ(35または30)、M
OSトランジスタ(34または32)の少なくとも1つ
のリーク電流を低減させることができる。
【0189】また、MOSトランジスタ(12または1
5)に並列接続される負荷を、MOSトランジスタ(1
4または17)によって構成しているので、従来の半導
体製造プロセスが活用でき、バラツキが少なく、安定し
てNOR演算処理をおこなえる半導体回路を提供するこ
とができる。
【0190】(実施の形態5)つぎに、実施の形態5に
かかる半導体回路について説明する。上記において説明
した実施の形態1〜4にかかる半導体回路は、電源ノー
ド(低レベル電圧Vss、高レベル電圧Vdd)と接続
し、仮想電源ノード(仮想低電源ノードVL、仮想高電
源ノードVH)の電位を制御するMOSトランジスタ
(12または15)のゲートに入力する信号として、外
部の回路または内部の回路において生成される、例えば
以下に示すような種々の信号を利用することができる。
【0191】(1)外部の装置との同期動作をおこなう
ための同期クロック、またはこの同期クロックに基づい
て生成される信号が利用できる。同期クロックに基づい
て生成される信号として、例えば同期クロックを分周し
た信号や同期クロックを入力したカウンタからの出力信
号等が挙げられる。
【0192】(2)デコード信号、またはこのデコード
信号に基づいて生成される信号が利用できる。このデコ
ード信号は、実施の形態1〜4にかかる半導体回路を備
えて構成されるデコード回路に、外部の装置から入力さ
れる信号であってもよいし、実施の形態1〜4にかかる
半導体回路に直接に外部の装置から入力される信号であ
ってもよい。デコード信号に基づいて生成される信号と
して、例えば複数のデコード信号の一部の信号やデコー
ド信号を反転した信号等が挙げられる。
【0193】(3)回路の機能を選択するため回路機能
選択信号、またはこの回路機能選択信号に基づいて生成
される信号が利用できる。回路機能選択信号は、実施の
形態1〜4にかかる半導体回路を備えて構成される複数
の機能を有する回路に、外部の装置から入力される信号
であってもよいし、実施の形態1〜4にかかる半導体回
路に直接に外部の装置から入力される信号であってもよ
い。回路機能選択信号に基づいて生成される信号とし
て、例えば回路機能選択信号を反転した信号や回路機能
選択信号をデコードした信号等が挙げられる。
【0194】(4)チップをアクティブにするためのチ
ップ選択信号、またはこのチップ選択信号に基づいて生
成される信号が利用できる。チップ選択信号は、実施の
形態1〜4にかかる半導体回路を備えて構成される集積
回路に、外部の装置から入力される信号であってもよい
し、実施の形態1〜4にかかる半導体回路に直接に外部
の装置から入力される信号であってもよい。チップ選択
信号に基づいて生成される信号として、例えばチップ選
択信号を反転した信号や他の複数の集積回路に入力され
るチップ選択信号の論理和や論理積の結果として出力さ
れる信号等が挙げられる。
【0195】(5)動作モードを選択する動作モード選
択信号、またはこの動作モード選択信号に基づいて生成
される信号が利用できる。動作モード選択信号は、実施
の形態1〜4にかかる半導体回路を備えて構成される複
数の動作モードを有する回路に、外部の装置から入力さ
れる信号であってもよいし、実施の形態1〜4にかかる
半導体回路に直接に外部の装置から入力される信号であ
ってもよい。動作モード選択信号に基づいて生成される
信号として、例えば動作モード選択信号を反転した信号
や動作モード選択信号をデコードした信号等が挙げられ
る。
【0196】(6)実施の形態1〜4にかかる半導体回
路の出力信号、またはこの出力信号に基づいて生成され
る信号が利用できる。この出力信号を同一または他の実
施の形態1〜4にかかる半導体回路に入力することによ
り、スタンバイ状態とアクティブ状態間の変更を安定し
ておこなうことができる。出力信号に基づいて生成され
る信号として、例えば出力信号に論理演算を施した結果
として出力される信号等が挙げられる。
【0197】(7)以上に示した(1)〜(6)の信号
の組み合わせによって生成される信号が利用できる。例
えば、(1)の同期クロックと(6)の出力信号との論
理演算に基づいて生成される信号を実施の形態1〜4に
かかる半導体回路に入力する。
【0198】ここでは、例として上記した(7)の同期
クロックと出力信号との論理演算に基づいて生成される
信号を入力し、図1および図3に示した回路を備えた半
導体回路について説明する。
【0199】図17は、実施の形態5にかかる半導体回
路の回路構成を示す説明図である。特に、図17に示す
半導体回路は、動作の都合上、スタンバイ状態が確定で
きない回路に対して、外部からの同期クロックと、半導
体回路自体の出力信号とを用いて、強制的にMOSトラ
ンジスタ12、15によるリーク電流の抑制動作(リー
クカット)をおこなうことを特徴としている。
【0200】図17において、実施の形態5にかかる半
導体回路は、高レベル電圧Vddと低レベル電圧Vss
が電源電圧として供給され、図1と図3に示した半導体
回路を相互に接続し、NORゲート101と、NAND
ゲート102と、インバータ103を追加し、外部から
同期クロックφを入力する半導体回路である。なお、図
1および図3と共通する部分には同一符号を付して、そ
の説明を省略する。また、図中において、NORゲート
101と、NANDゲート102と、インバータ103
に付された黒丸は、これら論理ゲートが高VthのMO
Sトランジスタにより構成されていることを示す。
【0201】特に、図17に示した半導体回路におい
て、NORゲート101と、NANDゲート102と、
インバータ103は、それぞれ実施の形態4に示したN
ORゲート、実施の形態3に示したNANDゲート、実
施の形態2に示したインバータを用いることが好まし
い。
【0202】図17において、図1に示した半導体回路
のMOSトランジスタ22のドレインと、図3に示した
半導体回路のMOSトランジスタ23のドレインとが接
続され、さらにMOSトランジスタ22とMOSトラン
ジスタ23のゲートが互いに接続されている。
【0203】これにより、結果的にPチャネル型のMO
Sトランジスタ23とNチャネル型のMOSトランジス
タ22からなる対によりCMOSインバータが構成さ
れ、このCMOSインバータに供給する電源電圧とし
て、MOSトランジスタ15と17からなる対によって
制御される仮想高電源ノードVHと、MOSトランジス
タ12と14からなる対によって制御される仮想低電源
ノードVLが接続されたインバータ回路が構成されてい
る。
【0204】また、MOSトランジスタ22およびMO
Sトランジスタ23のゲートは、ノードN7に接続さ
れ、MOSトランジスタ22およびMOSトランジスタ
23のドレインは、ノードN8に接続されている。ここ
で、ノードN7とノードN8は、それぞれ上記したイン
バータ回路の入力端子、出力端子となる。そして、ノー
ドN8は、NORゲート101の一方の入力端子とNA
NDゲート102の一方の入力端子に接続される。
【0205】NORゲート101の他方の入力端子に
は、外部から与えられる同期クロックφがノードN6か
ら入力されている。さらに、この同期クロックφは、イ
ンバータ103に入力され、インバータ103において
反転された反転同期クロックφ(上バー)が出力され
る。この反転同期クロックφ(上バー)は、NANDゲ
ート102の他方の入力端子に入力される。また、NO
Rゲート101の出力端子は、MOSトランジスタ15
のゲートに接続され、NANDゲート102の出力端子
は、MOSトランジスタ12のゲートに接続される。
【0206】よって、インバータ回路のノードN8から
出力される出力信号と、外部から入力される同期クロッ
クφとが、NORゲート101に入力されて論理演算
(NOR演算)が施され、その結果(信号S1)が、仮
想高電源ノードVHの電位を制御するMOSトランジス
タ15のゲートに入力される。
【0207】一方、インバータ回路のノードN8から出
力される出力信号と、インバータ103から出力された
反転同期クロックφ(上バー)とは、NANDゲート1
02に入力されて論理演算(NAND演算)が施され、
その結果(信号S2)が、仮想低電源ノードVLの電位
を制御するMOSトランジスタ12のゲートに入力され
る。
【0208】つぎに、この半導体回路の動作を説明す
る。図18は、図17に示した半導体回路の動作を示す
タイムチャートである。なお、初期状態において、反転
同期クロックφ(上バー)、信号S1、S2、ノードN
7の入力信号、仮想高電源ノードVHの電位はすべてハ
イレベルを示し、同期クロックφ、ノードN8の出力信
号、仮想低電源ノードVLの電位はすべてローレベルを
示している。ただし、仮想高電源ノードVHは、実施の
形態1において説明した理由により、MOSトランジス
タ17の閾値電圧Vth分だけ電位が引き下げられてい
る。
【0209】図18において、まず、同期クロックφの
立ち上がりT11に対して、ノードN8のローレベル信
号の入力により、NORゲート101から出力される信
号S1は立ち下がる(T31)。この信号S1の立ち下
がりT31に対して、MOSトランジスタ15がON状
態となり、仮想高電源ノードVHの電位は、高レベル電
圧Vddにプルアップされる(T71)。
【0210】ここで、ノードN7にローレベルの入力信
号が入力されると(T51)、ノードN8からハイレベ
ルの出力信号が出力される(T61)。このハイレベル
の出力信号の立ち上がりT61に対して、同期クロック
φの立ち下がりに伴う反転同期クロックφ(上バー)の
立ち上がりT21の入力により、NANDゲート102
から出力される信号S2は立ち下がる(T41)。この
信号S2の立ち下がりT41に対して、MOSトランジ
スタ12がOFF状態となり、仮想低電源ノードVLの
電位は、MOSトランジスタ14の閾値電圧Vth分だ
け引き上げられる(T81)。
【0211】つづいて、同期クロックφの立ち上がりに
伴う反転同期クロックφ(上バー)の立ち下がりT22
に対して、ノードN8のハイレベル信号の入力により、
NANDゲート102から出力される信号S2は立ち上
がる(T42)。この信号S2の立ち上がりT42に対
して、MOSトランジスタ12がON状態となり、仮想
低電源ノードVLの電位は、低レベル電圧Vssにプル
ダウンされる(T82)。
【0212】ここで、ノードN7にハイレベルの入力信
号が入力されると(T52)、ノードN8からローレベ
ルの出力信号が出力される(T62)。このローレベル
の出力信号の立ち下がりT62に対して、同期クロック
φの立ち下がりT12の入力により、NORゲート10
1から出力される信号S1は立ち上がる(T32)。こ
の信号S1の立ち上がりT32に対して、MOSトラン
ジスタ15がOFF状態となり、仮想高電源ノードVH
の電位は、MOSトランジスタ17の閾値電圧Vth分
だけ引き下げられる(T72)。
【0213】このように、以上に説明した実施の形態5
によれば、外部から入力される同期クロックφがローレ
ベルに移行する度に、MOSトランジスタ12、15が
交互にOFF状態を示し、MOSトランジスタ22とM
OSトランジスタ23からなるCMOSインバータに対
するリークカットを実行することができる。
【0214】すなわち、同期クロックのハイレベル状態
にアクティブとなることで本来の機能を果たす半導体回
路において、同期クロックのローレベル状態を半導体回
路のスタンバイ状態と確定することによりリークカット
がおこなわれ、より確実なリーク電流の低減とそれに伴
う低消費電力化を図ることができる。
【0215】(実施の形態6)つぎに、実施の形態6に
かかる半導体回路について説明する。実施の形態6にか
かる半導体回路は、実施の形態1〜4にかかる半導体回
路において、MOSトランジスタ12、14からなる対
によって制御される仮想低電源ノードVL、または、M
OSトランジスタ15、17からなる対によって制御さ
れる仮想高電源ノードVHが、複数のMOSトランジス
タ回路において共有して接続されていることを特徴とし
ている。
【0216】図19は、実施の形態6にかかる半導体回
路の回路構成を示す説明図である。図19に示す半導体
回路は、特に、仮想低電源ノードVLまたは仮想高電源
ノードVHが共有接続された4段のインバータ回路を示
しているが、NAND回路、NOR回路等の論理回路や
その他の機能回路を含む構成としてもよい。なお、図1
または図3と共通する部分には同一符号を付して、その
説明を省略する。
【0217】図19において、MOSトランジスタ12
と14からなる対によって仮想低電源ノードVLが与え
られており、MOSトランジスタ15と17からなる対
によって仮想高電源ノードVHが与えられている。Nチ
ャネル型のMOSトランジスタ36とPチャネル型のM
OSトランジスタ37からなる第1のCMOSインバー
タは、その入力端子となるゲートをノードN13に接続
し、Nチャネル型のMOSトランジスタ38とPチャネ
ル型のMOSトランジスタ39からなる第2のCMOS
インバータは、その入力端子となるゲートを第1のCM
OSインバータのドレインに接続している。
【0218】また、Nチャネル型のMOSトランジスタ
40とPチャネル型のMOSトランジスタ41からなる
第3のCMOSインバータは、その入力端子となるゲー
トを第2のCMOSインバータのドレインに接続し、N
チャネル型のMOSトランジスタ42とPチャネル型の
MOSトランジスタ43からなる第4のCMOSインバ
ータは、その入力端子となるゲートを第3のCMOSイ
ンバータのドレインに接続し、その出力端子となるドレ
インをノードN14に接続している。
【0219】ここで、第1のCMOSインバータと第3
のCMOSインバータは、ともにPチャネル型のMOS
トランジスタ37、41のソースを高レベル電圧Vdd
に接続しており、また、Nチャネル型のMOSトランジ
スタ36、40のソースを1つの仮想低電源ノードVL
に共通に接続している。よって、第1のCMOSインバ
ータとMOSトランジスタ12、14からなる対とによ
って、図5に示すインバータ回路を表している。そし
て、第3のCMOSインバータとMOSトランジスタ1
2、14からなる対とによって、同様に図5に示すイン
バータ回路を表している。
【0220】これにより、MOSトランジスタ12のゲ
ートに接続されたノードN12に、ローレベルの信号を
入力することで、第1および第3のCMOSインバータ
のリーク電流を低減することができ、さらには、回路の
構成が複雑になることを防ぐことができる。また、仮想
低電源ノードVLの電位を制御する構成(MOSトラン
ジスタ12、14からなる対)が1つであることから、
消費電力の増加を抑えることができる。
【0221】また、第2のCMOSインバータと第4の
CMOSインバータは、ともにNチャネル型のMOSト
ランジスタ38、42のソースを低レベル電圧Vssに
接続しており、また、Pチャネル型のMOSトランジス
タ39、43のソースを1つの仮想高電源ノードVHに
共通に接続している。よって、第2のCMOSインバー
タとMOSトランジスタ15、17からなる対とによっ
て、図7に示すインバータ回路を表している。そして、
第4のCMOSインバータとMOSトランジスタ15、
17からなる対とによって、同様に図7に示すインバー
タ回路を表している。
【0222】これにより、MOSトランジスタ15のゲ
ートに接続されたノードN11に、ハイレベルの信号を
入力することで、第2および第4のCMOSインバータ
のリーク電流を低減することができ、さらには、回路の
構成が複雑になることを防ぐことができる。また、仮想
高電源ノードVHの電位を制御する構成(MOSトラン
ジスタ15、17からなる対)が1つであることから、
消費電力の増加を抑えることができる。
【0223】なお、図19においては、すべてのCMO
Sインバータに、共有の仮想電源ノードを接続したが、
この共有接続は一部のCMOSインバータに対してのみ
おこなってもよく、また、2つ以上の仮想電源ノードを
与えるように、MOSトランジスタ12、14からなる
対、または、MOSトランジスタ15、17からなる対
を複数個備えるようにしてもよい。
【0224】また、仮想電源ノードの共有接続をおこな
わずに、仮想電源ノードとの固有の接続をおこなう回路
と、仮想電源ノードとの接続をおこなわない回路とが混
合されていてもよい。図20は、一部の回路のみが仮想
電源ノードに接続された半導体回路の回路構成を示す説
明図である。なお、図1または図3と共通する部分には
同一符号を付して、その説明を省略する。
【0225】図20において、MOSトランジスタ12
と14からなる対によって仮想低電源ノードVLが与え
られており、MOSトランジスタ15、17からなる対
によって仮想高電源ノードVHが与えられている。
【0226】また、図20に示す半導体回路は、Nチャ
ネル型のMOSトランジスタ44、Pチャネル型のMO
Sトランジスタ45、Nチャネル型のMOSトランジス
タ46、Pチャネル型のMOSトランジスタ47から構
成されるNAND回路と、Nチャネル型のMOSトラン
ジスタ48、Pチャネル型のMOSトランジスタ49か
ら構成される第1のインバータ回路と、Nチャネル型の
MOSトランジスタ22、Pチャネル型のMOSトラン
ジスタ25、Nチャネル型のMOSトランジスタ12、
Nチャネル型のMOSトランジスタ14から構成される
第2のインバータ回路と、Pチャネル型のMOSトラン
ジスタ15、Pチャネル型のMOSトランジスタ17、
Pチャネル型のMOSトランジスタ23、Nチャネル型
のMOSトランジスタ24から構成される第3のインバ
ータ回路と、を備えている。
【0227】そして、上記Nチャネル型のMOSトラン
ジスタ44、Pチャネル型のMOSトランジスタ45、
Nチャネル型のMOSトランジスタ46、Pチャネル型
のMOSトランジスタ47から構成されるNAND回路
は、ノードN15およびノードN16を入力端子とし、
出力端子となるMOSトランジスタ45のドレインを次
段の第1のインバータ回路におけるMOSトランジスタ
49のゲートに接続している。
【0228】上記第1のインバータ回路は、出力端子と
なるドレインを次段の第2のインバータ回路におけるM
OSトランジスタ25のゲートに接続している。上記第
2のインバータ回路は、特に図5に示すインバータ回路
に相当し、出力端子となるMOSトランジスタ25のド
レインを次段の第3のインバータ回路におけるMOSト
ランジスタ23のゲートに接続して、ノードN12に入
力される信号によって仮想低電源ノードVLの電位を制
御する。
【0229】上記第3のインバータ回路は、特に図7に
示すインバータ回路に相当し、出力端子となるMOSト
ランジスタ23のドレインをノードN17に接続して、
ノードN11に入力される信号によって仮想高電源ノー
ドVHの電位を制御する。
【0230】このように、上記NAND回路および上記
第1のインバータ回路は、仮想電源ノードに接続せず、
上記第2および第3のインバータ回路のみが仮想電源ノ
ードに接続されて、低リーク電流化が図れるようにする
こともできる。
【0231】つぎに、一部の回路において仮想電源ノー
ドの共有接続をおこない、なおかつ実施の形態5におい
て示した(2)デコード信号またはこのデコード信号に
基づいて生成される信号を利用した半導体回路について
説明する。図21は、一部の回路で仮想電源ノードの共
有接続がおこなわれ、かつデコード信号を入力する半導
体回路の回路構成を示す説明図である。図21に示す半
導体回路は、特に実施の形態2に示したインバータ回路
において仮想電源ノードの共有接続をおこなったデコー
ド回路を示している。
【0232】図21において、Pチャネル型のMOSト
ランジスタ51とNチャネル型のMOSトランジスタ5
0とPチャネル型のMOSトランジスタ53とNチャネ
ル型のMOSトランジスタ62によって第1のNAND
回路が構成され、Pチャネル型のMOSトランジスタ6
1とNチャネル型のMOSトランジスタ60とPチャネ
ル型のMOSトランジスタ63とNチャネル型のMOS
トランジスタ62によって第2のNAND回路が構成さ
れている。
【0233】また、Pチャネル型のMOSトランジスタ
55とNチャネル型のMOSトランジスタ54によって
第1のインバータ回路が構成され、Pチャネル型のMO
Sトランジスタ65とNチャネル型のMOSトランジス
タ64によって第2のインバータ回路が構成されてい
る。
【0234】ここで、高VthのNチャネル型のMOS
トランジスタ12とMOSトランジスタ14からなる対
により仮想低電源ノードVLが与えられ、ノードN19
に入力される信号に応じて仮想低電源ノードVLの電位
が制御される。また、高VthのNチャネル型のMOS
トランジスタ15とMOSトランジスタ17からなる対
により仮想高電源ノードVHが与えられ、インバータ1
05によって出力されるノードN19に入力される信号
の反転信号に応じて、仮想高電源ノードVHの電位が制
御される。ここで、図中のインバータ105に付された
黒丸は、この論理ゲートが高VthのMOSトランジス
タにより構成されていることを示す。
【0235】そして、Pチャネル型のMOSトランジス
タ57とNチャネル型のMOSトランジスタ56からな
るCMOSインバータと、Pチャネル型のMOSトラン
ジスタ67とNチャネル型のMOSトランジスタ66か
らなるCMOSインバータとがともに仮想低電源ノード
VLに共有接続され、それぞれ第3、第4のインバータ
回路を構成する。
【0236】さらに、Pチャネル型のMOSトランジス
タ59とNチャネル型のMOSトランジスタ58からな
るCMOSインバータと、Pチャネル型のMOSトラン
ジスタ69とNチャネル型のMOSトランジスタ68か
らなるCMOSインバータとがともに仮想低電源ノード
VLに共有接続され、それぞれ第5、第6のインバータ
回路を構成する。
【0237】つぎに、図21に示すデコード回路の動作
について説明する。まず、ノードN18およびノードN
19に入力される信号がデコード信号であり、特にノー
ドN20にはノードN18に入力される信号の反転信号
が入力される。ノードN19およびノードN20に入力
される信号は、第1のNAND回路によって演算され、
その出力は第1のインバータ回路に入力される。第1の
インバータ回路において反転された信号は、次段の第3
のインバータ回路に入力されて反転され、さらに第5の
インバータ回路に入力される。第5のインバータ回路に
おいて反転された信号はノードN21に出力される。
【0238】また、ノードN18およびノードN19に
入力される信号は、第2のNAND回路によって演算さ
れ、その出力は第2のインバータ回路に入力される。第
2のインバータ回路において反転された信号は、次段の
第4のインバータ回路に入力されて反転され、さらに第
6のインバータ回路に入力される。第6のインバータ回
路において反転された信号はノードN22に出力され
る。
【0239】このデコード回路は、特に、記憶回路に適
用されるアドレスデコーダの一部を示しており、例え
ば、下位アドレス信号と上位アドレス信号がデコード信
号としてそれぞれノードN18、ノードN19に入力さ
れる場合、ノードN19に入力される信号に応じて、M
OSトランジスタ12またはMOSトランジスタ15が
ON/OFFされるため、上位アドレス信号の変化に応
じた第3〜第6のインバータ回路のリークカット制御を
おこなうことができる。さらに、一部のインバータ回路
において仮想電源ノードを共有しているので、回路サイ
ズを小さくすることができるとともに、消費電力の増加
を回避できる。
【0240】このように、以上に説明した実施の形態6
によれば、複数のMOSトランジスタから構成される半
導体回路において、実施の形態1〜4に示した仮想電源
ノードを共有して接続しているので、低リーク電流化を
達成するとともに、回路の小型化が図れ、消費電力の増
加を抑えることもできる。また、回路サイズが節約され
た分だけ仮想電源ノードを制御するMOSトランジスタ
の駆動力を高めることができることにより、このMOS
トランジスタのゲートにおいて生じる寄生負荷増大によ
る動作の遅れを緩和することが可能になる。
【0241】(実施の形態7)つぎに、実施の形態7に
かかる半導体記憶装置について説明する。図22は、実
施の形態7にかかる半導体記憶装置の回路構成を示す説
明図である。図22に示す半導体記憶装置は、高Vth
のNチャネル型のMOSトランジスタ74と、高Vth
のPチャネル型のMOSトランジスタ75と、高Vth
のNチャネル型のMOSトランジスタ76と、高Vth
のPチャネル型のMOSトランジスタ77と、Nチャネ
ル型のMOSトランジスタ70と、Nチャネル型のMO
Sトランジスタ72とによってメモリセルを構成し、4
つの高VthのMOSトランジスタ74〜77によって
フリップフロップを形成している。
【0242】図22において、高Vthに設定されたN
チャネル型のMOSトランジスタ12は、ソースを低レ
ベル電圧Vssに接続し、ゲートをノードN31に接続
している。また、高Vthに設定されたNチャネル型の
MOSトランジスタ14は、ソースを低レベル電圧Vs
sに接続し、ドレインとゲートを互いに接続しており、
ダイオード接続されたロードトランジスタとして機能す
る。また、MOSトランジスタ12のドレインとMOS
トランジスタ14のドレインとは互いに接続され、その
結果、MOSトランジスタ12とMOSトランジスタ1
4とは並列接続を成している。
【0243】よって、MOSトランジスタ12は、ノー
ドN31に入力される信号がハイレベルを示す場合にO
N状態となり、MOSトランジスタ12のドレイン側は
低レベル電圧Vssと同電位になる。一方、ノードN3
1に入力される信号がローレベルを示す場合に、MOS
トランジスタ12はOFF状態となり、MOSトランジ
スタ12のドレイン側、すなわち上述した仮想低電源ノ
ードVLは、低レベル電圧VssとMOSトランジスタ
14の負荷によって定まる電位となる。
【0244】一方、MOSトランジスタ75は、ソース
を高レベル電圧Vddに接続し、ゲートをMOSトラン
ジスタ74のゲートに接続するとともにMOSトランジ
スタ77のドレインに接続し、ドレインをMOSトラン
ジスタ74のドレインに接続している。また、MOSト
ランジスタ77は、ソースを高レベル電圧Vddに接続
し、ゲートをMOSトランジスタ76のゲートに接続す
るとともにMOSトランジスタ75のドレインに接続
し、ドレインをMOSトランジスタ76のドレインに接
続している。
【0245】MOSトランジスタ74およびMOSトラ
ンジスタ76のソースはともに仮想低電源ノードVLに
接続されている。これらのMOSトランジスタ74〜7
7から構成されるフリップフロップにおいて、特に、M
OSトランジスタ75およびMOSトランジスタ77は
ロードトランジスタとして機能し、MOSトランジスタ
74およびMOSトランジスタ76はドライバトランジ
スタとして機能する。
【0246】MOSトランジスタ70は、ソースをMO
Sトランジスタ75のドレインに接続し、ゲートをノー
ドWLに接続し、ドレインをノードBLに接続してい
る。また、MOSトランジスタ72は、ソースをMOS
トランジスタ77のドレインに接続し、ゲートをノード
WLに接続し、ドレインをノードBLBに接続してい
る。
【0247】これらのMOSトランジスタ70およびM
OSトランジスタ72は、データ転送用MOSトランジ
スタとして機能し、ハイ/ローいずれかのレベルの信号
とそのレベルを反転させた信号がそれぞれ伝送される一
対の相補性のノードBL/BLBを介して、上記のフリ
ップフロップへのデータの書き込み/読み出し制御をお
こなう。
【0248】ここで、例えば、上記のメモリセルのノー
ドP1の電位がローレベルを示す場合、すなわちフリッ
プフロップにローレベルの信号が保持されている場合を
仮定する。この仮定において、MOSトランジスタ77
はON状態になり、これにともなってノードP2の電位
がハイレベルを示し、MOSトランジスタ74がON状
態となる。ここで、ワード線WLに0Vの信号が入力さ
れることでスタンバイ状態が確定され、MOSトランジ
スタ70および72はともにOFF状態となる。この
際、仮想低電源ノードVLが低レベル電圧Vssと同電
位を示すならば、ノードBLから、ON状態であるMO
Sトランジスタ74を介して低レベル電圧Vssに流れ
込むリーク電流がMOSトランジスタ70において発生
してしまう。
【0249】そこで、スタンバイ状態において、ノード
N31にローレベルの信号を入力することにより、MO
Sトランジスタ12をOFF状態にし、上述したよう
に、MOSトランジスタ14の閾値電圧Vth分だけ引
き上げられた電位を仮想低電源ノードVLに与える。
【0250】これにより、MOSトランジスタ70のゲ
ート−ソース間電圧Vgsには、MOSトランジスタ1
4の閾値電圧Vth分だけ負のオーバードライブがかか
り、MOSトランジスタ70におけるリーク電流の発生
を十分に抑制することができる。また、MOSトランジ
スタ12は、高Vthに設定されているため、OFF状
態においてもリーク電流はほとんど発生せず、低消費電
力化を図ることができる。
【0251】一方、ワード線WLに高レベル電圧Vdd
が入力されることで確定されるアクティブ状態において
は、ノードN31にハイレベルの信号を入力すること
で、ON状態とし、仮想低電源ノードを低レベル電圧V
ssと同電位にする。これにより、MOSトランジスタ
70のゲート−ソース間電圧Vgsに閾値電圧を超える
十分大きな電圧が印加され、高速な書き込み/読み出し
が可能となる。
【0252】また、MOSトランジスタ12に並列接続
される負荷を、MOSトランジスタ14のダイオード接
続によって構成しているので、この半導体記憶装置を製
造するにあたって、従来の半導体製造プロセスを活用で
き、バラツキがなく、安定して動作する半導体記憶装置
を提供することができる。
【0253】図23は、実施の形態7にかかる他の半導
体記憶装置の回路構成を示す説明図である。図23に示
す半導体記憶装置は、図22のダイオード接続されたN
チャネル型のMOSトランジスタ14に代えて、ダイオ
ード接続されたPチャネル型のMOSトランジスタ13
を、MOSトランジスタ12と並列に接続した点のみ
が、図22に示した半導体記憶装置と異なる。
【0254】なお、図22と共通する部分には同一符号
を付して、その説明を省略する。メモリセルを構成する
この半導体記憶装置においても、図22に示す半導体記
憶装置と同様に、高速化および低消費電力化を実現する
とともに、低リーク電流化を図ることができる。
【0255】図24は、実施の形態7にかかる他の半導
体記憶装置の回路構成を示す説明図である。図24に示
す半導体記憶装置は、高VthのNチャネル型のMOS
トランジスタ74と、高VthのPチャネル型のMOS
トランジスタ75と、高VthのNチャネル型のMOS
トランジスタ76と、高VthのPチャネル型のMOS
トランジスタ77と、Pチャネル型のMOSトランジス
タ71と、Pチャネル型のMOSトランジスタ73とに
よってメモリセルを構成し、4つの高VthのMOSト
ランジスタ74〜77によってフリップフロップを形成
している。
【0256】図24において、高Vthに設定されたP
チャネル型のMOSトランジスタ15は、ソースを高レ
ベル電圧Vddに接続し、ゲートをノードN31に接続
している。また、高Vthに設定されたPチャネル型の
MOSトランジスタ17は、ソースを高レベル電圧Vd
dに接続し、ドレインとゲートを互いに接続しており、
ダイオード接続されたロードトランジスタとして機能す
る。また、MOSトランジスタ15のドレインとMOS
トランジスタ17のドレインとは互いに接続され、その
結果、MOSトランジスタ15とMOSトランジスタ1
7とは並列接続を成している。
【0257】よって、MOSトランジスタ15は、ノー
ドN31に入力される信号がローレベルを示す場合にO
N状態となり、MOSトランジスタ15のドレイン側は
高レベル電圧Vddと同電位になる。一方、MOSトラ
ンジスタ15は、ノードN31に入力される信号がハイ
レベルを示す場合にOFF状態となり、MOSトランジ
スタ15のドレイン側、すなわち上述した仮想高電源ノ
ードVHは、高レベル電圧VddとMOSトランジスタ
17の負荷によって定まる電位となる。
【0258】一方、MOSトランジスタ75は、ソース
を仮想高電源ノードVHに接続し、ゲートをMOSトラ
ンジスタ74のゲートに接続するとともにMOSトラン
ジスタ77のドレインに接続し、ドレインをMOSトラ
ンジスタ74のドレインに接続している。また、MOS
トランジスタ77は、ソースを仮想高電源ノードVHに
接続し、ゲートをMOSトランジスタ76のゲートに接
続するとともにMOSトランジスタ75のドレインに接
続し、ドレインをMOSトランジスタ76のドレインに
接続している。
【0259】MOSトランジスタ74およびMOSトラ
ンジスタ76のソースはともに低レベル電圧Vssに接
続されている。これらMOSトランジスタ74〜77か
ら構成されるフリップフロップにおいて、特に、MOS
トランジスタ74およびMOSトランジスタ76はロー
ドトランジスタとして機能し、MOSトランジスタ75
およびMOSトランジスタ77はドライバトランジスタ
として機能する。
【0260】MOSトランジスタ71は、ソースをMO
Sトランジスタ75のドレインに接続し、ゲートをノー
ドWLに接続し、ドレインをノードBLに接続してい
る。また、MOSトランジスタ73は、ソースをMOS
トランジスタ77のドレインに接続し、ゲートをノード
WLに接続し、ドレインをノードBLBに接続してい
る。
【0261】これらMOSトランジスタ71およびMO
Sトランジスタ73は、データ転送用MOSトランジス
タとして機能し、ハイ/ローいずれかのレベルの信号と
そのレベルを反転させた信号がそれぞれ伝送される一対
の相補性のノードBL/BLBを介して、上記のフリッ
プフロップへのデータの書き込み/読み出し制御をおこ
なう。
【0262】ここで、例えば、上記のメモリセルのノー
ドP1の電位がハイレベルを示す場合、すなわちフリッ
プフロップにハイレベルの信号が保持されている場合を
仮定する。この仮定において、MOSトランジスタ76
はON状態になり、これにともなってノードP2の電位
がローレベルを示し、MOSトランジスタ75がON状
態となる。ここで、ワード線WLに高レベル電圧Vdd
の信号が入力されることでスタンバイ状態が確定され、
MOSトランジスタ71、73はともにOFF状態とな
る。この際、仮想高電源ノードVHが高レベル電圧Vd
dと同電位を示すならば、高レベル電圧Vddから、O
N状態であるMOSトランジスタ75を介してノードB
Lに流れ込むリーク電流がMOSトランジスタ71にお
いて発生してしまう。
【0263】そこで、スタンバイ状態において、ノード
N31にハイレベルの信号を入力することにより、MO
Sトランジスタ15をOFF状態にし、上述したよう
に、MOSトランジスタ17の閾値電圧Vth分だけ引
き下げられた電位を仮想高電源ノードVHに与える。こ
れにより、MOSトランジスタ71のゲート−ソース間
電圧Vgsには、MOSトランジスタ17の閾値電圧V
th分だけOFF方向のオーバードライブがかかり、M
OSトランジスタ71におけるリーク電流の発生を十分
に抑制することができる。また、MOSトランジスタ1
5は、高Vthに設定されているため、OFF状態にお
いてもリーク電流はほとんど発生せず、低消費電力化が
図れる。
【0264】一方、ワード線WLに0Vが入力されるこ
とで確定されるアクティブ状態においては、ノードN3
1にローレベルの信号を入力することでON状態とし、
仮想高電源ノードを高レベル電圧Vddと同電位にす
る。これにより、MOSトランジスタ71のゲート−ソ
ース間電圧Vgsに閾値電圧を超える十分大きな電圧が
印加され、高速な書き込み/読み出しが可能となる。
【0265】また、MOSトランジスタ15に並列接続
される負荷を、MOSトランジスタ17のダイオード接
続によって構成しているので、この半導体記憶装置を製
造するにあたって、従来の半導体製造プロセスを活用で
き、バラツキが少なく、安定して動作する半導体記憶装
置を提供することができる。
【0266】図25は、実施の形態7にかかる他の半導
体記憶装置の回路構成を示す説明図である。図25に示
す半導体記憶装置は、図24のダイオード接続されたP
チャネル型のMOSトランジスタ17に代えて、ダイオ
ード接続されたNチャネル型のMOSトランジスタ16
を、MOSトランジスタ15と並列に接続した点のみ
が、図25に示した半導体記憶装置と異なる。
【0267】なお、図25と共通する部分には同一符号
を付して、その説明を省略する。メモリセルを構成する
この半導体記憶装置においても、図25に示した半導体
記憶装置と同様に、高速化および低消費電力化を実現す
るとともに、低リーク電流化が図れる。
【0268】また、実施の形態7の図23〜図25にお
いて、データ転送用MOSトランジスタとして機能する
2つのMOSトランジスタをフリップフロップに接続し
たが、このデータ転送用MOSトランジスタは、いずれ
か一方でもよい。図26は、データ転送用MOSトラン
ジスタを1つだけ備えた場合の半導体記憶装置の回路構
成を示す説明図である。図26は、特に図24において
MOSトランジスタ73を取り除いた場合の半導体記憶
装置を示している。これらデータ転送用MOSトランジ
スタとして機能するMOSトランジスタの数の選択は、
設計上適宜変更できる事項である。
【0269】また、上記した半導体記憶装置においてメ
モリセルへのデータの書き込み時において、仮想電源ノ
ードの電位を制御するMOSトランジスタをON状態に
しないことで、書き込みデータを示す信号が電源ノード
に一部流れることで消費される電力を低減させることが
できる。
【0270】以上に説明した実施の形態7によれば、ソ
ースが電源電圧(Vss、Vdd)のいずれか一方が供
給される電源ノードに接続され、かつ閾値電圧が高く設
定されたMOSトランジスタ(12または15)と、M
OSトランジスタ(12または15)のドレインと前記
電源ノードとの間においてMOSトランジスタ(12ま
たは15)と並列にダイオード接続され、かつ閾値電圧
が高く設定されたMOSトランジスタ(14または1
7)と、ソースが電源電圧(Vss、Vdd)のいずれ
か一方が供給される電源ノードに接続されたPチャネル
型またはNチャネル型のMOSトランジスタ(75また
は74)とソースがMOSトランジスタ(12または1
5)のドレインに接続され、ドレインがMOSトランジ
スタ(75または74)のドレインに接続され、ゲート
がMOSトランジスタ(75または74)のゲートに接
続されたNチャネル型またはPチャネル型のMOSトラ
ンジスタ(74または75)との対により構成されるC
MOSインバータと、ソースが電源電圧(Vss、Vd
d)のいずれか一方が供給される電源ノードに接続され
たPチャネル型またはNチャネル型のMOSトランジス
タ(77または76)とソースがMOSトランジスタ
(12または15)のドレインに接続され、ドレインが
MOSトランジスタ(77または76)のドレインおよ
びMOSトランジスタ(75または74)のゲートに接
続され、ゲートがMOSトランジスタ(77または7
6)およびMOSトランジスタ(75または74)のド
レインに接続されたNチャネル型またはPチャネル型の
MOSトランジスタ(76または77)との対により構
成されるCMOSインバータと、ソースまたはドレイン
がMOSトランジスタ(77または76)のドレインお
よび/またはMOSトランジスタ(75または74)の
ドレインに接続されたNチャネル型またはPチャネル型
のMOSトランジスタ(70、71、72、73)と、
を備えて半導体記憶装置を構成し、MOSトランジスタ
(12または15)のドレインおよびMOSトランジス
タ(74、75、76、77)のソースと接続される仮
想電源ノード(VL、VH)の電位が、MOSトランジ
スタ(12または15)のゲートに入力する信号により
制御できるので、例えば、半導体記憶装置のスタンバイ
状態において、MOSトランジスタ(74、75、7
6、77)のリーク電流を低減させることができる。
【0271】また、MOSトランジスタ(12または1
5)に並列接続される負荷を、MOSトランジスタ(1
4または17)によって構成しているので、従来の半導
体製造プロセスが活用でき、バラツキの少ない、安定し
て動作する半導体記憶装置を提供することができる。
【0272】(実施の形態8)つぎに、実施の形態8に
かかる半導体記憶装置について説明する。実施の形態7
において説明した半導体記憶装置は、電源ノード(低レ
ベル電圧Vss、高レベル電圧Vdd)と接続し、仮想
電源ノード(仮想低電源ノードVL、仮想高電源ノード
VH)の電位を制御するMOSトランジスタ(MOSト
ランジスタ12または15)のゲートに入力する信号と
して、外部の回路または内部の回路において生成される
信号、例えば以下に示すような種々の信号を利用するこ
とができる。
【0273】(1)外部の装置との同期動作をおこなう
ための同期クロック、またはこの同期クロックに基づい
て生成される信号を利用することができる。同期クロッ
クに基づいて生成される信号として、例えば同期クロッ
クを分周した信号や同期クロックを入力したカウンタか
らの出力信号等が挙げられる。
【0274】(2)データ転送用MOSトランジスタと
して機能するMOSトランジスタ70〜73のいずれか
のゲートに入力されるデータ読み出し信号、またはこの
データ読み出し信号に基づいて生成される信号を利用す
ることができる。データ読み出し信号は、実施の形態7
にかかる半導体記憶装置に、データ読み出しを指示する
コマンドデコーダ等の回路を備えて、この回路から出力
される信号であってもよいし、実施の形態7にかかる半
導体記憶装置に直接に外部の装置から入力される信号で
あってもよい。
【0275】データ読み出し信号に基づいて生成される
信号として、例えばデータ読み出し信号と同期クロック
との論理積の結果として出力される信号の一部の信号や
データ読み出し信号を反転した信号等が挙げられる。
【0276】(3)書き込みデータまたは読み出しデー
タを伝送するのに用いるデータ転送用MOSトランジス
タを、MOSトランジスタ70〜73のうちから選択す
るトランスファ選択信号、またはこのトランスファ選択
信号に基づいて生成される信号を利用することができ
る。
【0277】トランスファ選択信号は、外部の装置から
入力される信号であってもよいし、実施の形態7にかか
る半導体記憶装置の内部において生成される信号であっ
てもよい。トランスファ選択信号に基づいて生成される
信号として、例えばトランスファ選択信号を反転した信
号やトランスファ選択信号と同期クロックとの論理演算
の結果として衆力される信号等が挙げられる。
【0278】(4)チップをアクティブにするためのチ
ップ選択信号、またはこのチップ選択信号に基づいて生
成される信号を利用することができる。チップ選択信号
は、実施の形態7にかかる半導体記憶装置が集積回路と
して構成される場合に、この集積回路に外部の装置から
入力される信号であってもよいし、実施の形態7にかか
る半導体記憶装置に直接に外部の装置から入力される信
号であってもよい。チップ選択信号に基づいて生成され
る信号として、例えばチップ選択信号を反転した信号や
他の複数の集積回路に入力されるチップ選択信号の論理
和や論理積の結果として出力される信号等が挙げられ
る。
【0279】(5)実施の形態7にかかる半導体記憶装
置において、複数のメモリセルが備えられ、複数のメモ
リセルが複数のメモリセルアレイブロックとして識別で
きる場合に、アクセスされるメモリセルアレイブロック
を示すメモリセルアレイブロック選択信号、またはメモ
リセルアレイブロック選択信号に基づいて生成される信
号を利用することができる。
【0280】メモリセルアレイブロック選択信号は、外
部の装置から入力される信号であってもよいし、実施の
形態7にかかる半導体記憶装置の内部において生成され
る信号であってもよい。メモリセルアレイブロック選択
信号に基づいて生成される信号として、例えばメモリセ
ルアレイブロック選択信号をデコードした信号等が挙げ
られる。
【0281】また、マトリクス状に配列された複数のメ
モリセルから構成される半導体記憶装置において、特に
実施の形態7にかかる半導体記憶装置を適用することは
有効となる。図27は、実施の形態8にかかる半導体記
憶装置の回路構成を示す説明図である。
【0282】図27は、特に、ワード線方向に配列した
少なくとも2つのメモリセルを備えた半導体記憶装置に
おいて、電源ノード(高レベル電圧Vdd、低レベル電
圧Vss)との接続に代えて、実施の形態7に示した高
VthのMOSトランジスタ(12または15)と高V
thのMOSトランジスタ(14または17)の対によ
って電位が制御される仮想電源ノードに、ワード線方向
に共通に接続することを特徴としている。
【0283】また、図28は、実施の形態8にかかる他
の半導体記憶装置の回路構成を示す説明図である。図2
8は、特に、ビット線方向に配列した少なくとも2つの
メモリセルを備えた半導体記憶装置において、電源ノー
ド(高レベル電圧Vdd、低レベル電圧Vss)との接
続に代えて、実施の形態7に示した高VthのMOSト
ランジスタ(12または15)と高VthのMOSトラ
ンジスタ(14または17)の対によって電位が制御さ
れる仮想電源ノードに、ワード線方向に共通に接続する
ことを特徴としている。
【0284】図27および図28において、4つのメモ
リセルM1、M2、M3、M4が示されており、メモリ
セルM1およびM2の低レベル電圧側に接続されるノー
ドが、高VthのMOSトランジスタ84と、MOSト
ランジスタ84に並列にダイオード接続された高Vth
のMOSトランジスタ82とからなる対によって電位制
御される仮想低電源ノードVL1が共通に接続されてい
る。
【0285】仮想低電源ノードVL1の電位は、ノード
N32にローレベルの信号を入力することで、MOSト
ランジスタ82のVth分だけ引き上げられ、各メモリ
セルM1、M2におけるリーク電流を低減するととも
に、図27ではワード方向において、また図28ではビ
ット線方向において、MOSトランジスタ84とMOS
トランジスタ82とからなる対を1つだけ共通して用い
ているので、回路サイズを小さくすることができ、低消
費電力化を図ることができる。
【0286】また、メモリセルM1およびM2と同様
に、メモリセルM3およびM4の低レベル電圧側に接続
されるノードが、高VthのMOSトランジスタ88
と、MOSトランジスタ88に並列にダイオード接続さ
れた高VthのMOSトランジスタ86とからなる対に
よって電位制御される仮想低電源ノードVL2が共通に
接続されている。
【0287】仮想低電源ノードVL2の電位は、ノード
N33にローレベルの信号を入力することで、MOSト
ランジスタ86のVth分だけ引き上げられ、各メモリ
セルM3、M4におけるリーク電流を低減するととも
に、図27ではワード方向において、また図28ではビ
ット線方向において、MOSトランジスタ86とMOS
トランジスタ88とからなる対を1つだけ共通して用い
ているので、回路サイズが小さくでき、低消費電力化を
図ることができる。
【0288】なお、仮想低電源ノードVL1、VL2を
与えるMOSトランジスタの構成は、実施の形態7にお
いて説明したように、MOSトランジスタ82、86に
代えて、Pチャネル型のダイオード接続されたMOSト
ランジスタを使用することもできる。さらに、実施の形
態7において説明したように、ノードP11、ノードP
12、ノードP21、ノードP22に仮想高電源ノード
VHを接続することもできる。
【0289】このように、以上に説明した実施の形態8
によれば、実施の形態7にかかる半導体記憶装置に対し
て外部の装置から入力される種々の信号に応じて低リー
ク電流化を実現することができ、さらに、複数のメモリ
セルから構成される半導体記憶装置に対しても、本発明
の特徴となる仮想電源ノードを提供するMOSトランジ
スタの対を搭載することができ、またこの仮想電源ノー
ドを複数のメモリセル間において共有して接続すること
により、回路の小型化、確実なリーク電流の低減および
それに伴う低消費電力化を図ることができる。
【0290】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1〜5,1
5にかかる発明によれば、第1のMOSトランジスタの
ドレインと第3のMOSトランジスタのソースとの接続
点となるノードの電位が、第1のMOSトランジスタの
ゲートに入力する信号によって制御でき、例えば、第3
のMOSトランジスタのドレインに電源電圧が接続され
た場合に、第1のMOSトランジスタをOFF状態にす
ることで、第3のMOSトランジスタのリーク電流を低
減させることができるとともに低消費電流化および高速
化を図ることができ、また、前記ノードの電位を定める
のにダイオード接続された第2のMOSトランジスタを
用いているので、従来の半導体製造プロセスを活用して
バラツキの少ない製造を可能とし、安定して動作する半
導体回路が得られるという効果を奏する。
【0291】また、請求項6または7にかかる発明によ
れば、第1のMOSトランジスタのドレインと第3のM
OSトランジスタのソースとの接続点となるノードの電
位が、第1のMOSトランジスタのゲートに入力する信
号によって制御でき、第1のMOSトランジスタをOF
F状態にすることで、第3のMOSトランジスタおよび
第4のMOSトランジスタのリーク電流を低減させるこ
とができるとともに低消費電流化および高速化を図るこ
とができ、また、前記ノードの電位を定めるのにダイオ
ード接続された第2のMOSトランジスタを用いている
ので、従来の半導体製造プロセスを活用してバラツキの
少ない製造を可能とし、安定したインバータ動作が可能
となる半導体回路が得られるという効果を奏する。
【0292】また、請求項8〜10にかかる発明によれ
ば、第1のMOSトランジスタのドレインと第3のMO
Sトランジスタのソースとの接続点となるノードの電位
が、第1のMOSトランジスタのゲートに入力する信号
によって制御でき、第1のMOSトランジスタをOFF
状態にすることで、第3のMOSトランジスタおよび第
4のMOSトランジスタのリーク電流を低減させること
ができるとともに低消費電流化および高速化を図ること
ができ、また、前記ノードの電位を定めるのにダイオー
ド接続された第2のMOSトランジスタを用いているの
で、従来の半導体製造プロセスを活用してバラツキの少
ない製造を可能とし、安定したNAND演算動作が可能
となる半導体回路が得られるという効果を奏する。
【0293】また、請求項11〜13にかかる発明によ
れば、第1のMOSトランジスタのドレインと第3のM
OSトランジスタのソースとの接続点となるノードの電
位が、第1のMOSトランジスタのゲートに入力する信
号によって制御でき、第1のMOSトランジスタをOF
F状態にすることで、第3のMOSトランジスタおよび
第4のMOSトランジスタのリーク電流を低減させるこ
とができるとともに低消費電流化および高速化を図るこ
とができ、また、前記ノードの電位を定めるのにダイオ
ード接続された第2のMOSトランジスタを用いている
ので、従来の半導体製造プロセスを活用してバラツキの
少ない製造を可能とし、安定したNOR演算動作が可能
となる半導体回路が得られるという効果を奏する。
【0294】また、請求項14にかかる発明によれば、
第1のMOSトランジスタのドレインと第3のMOSト
ランジスタのソースとの接続点となるノードを共有して
接続することにより、複数のMOSトランジスタ回路に
おいて、低リーク電流化を達成されるとともに、回路の
小型化が図れ、消費電力の増加を抑えることのできる半
導体回路が得られるという効果を奏する。
【0295】また、請求項16〜23の発明によれば、
第1のMOSトランジスタのドレインと第3のMOSト
ランジスタのソースとの接続点となるノードの電位が、
第1のMOSトランジスタのゲートに入力する信号によ
って制御でき、第1のMOSトランジスタをOFF状態
にすることで、メモリセルにおけるリーク電流を低減さ
せることができるとともに低消費電流化および高速化を
図ることができ、また、前記ノードの電位を定めるのに
ダイオード接続された第2のMOSトランジスタを用い
ているので、従来の半導体製造プロセスを活用したバラ
ツキの少ない製造を可能とし、安定したデータ読み出し
/書き込み動作が可能となる半導体記憶装置が得られる
という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態1にかかる半導体回路の回路構成を
示す説明図である。
【図2】実施の形態1にかかる他の半導体回路の回路構
成を示す説明図である。
【図3】実施の形態1にかかる他の半導体回路の回路構
成を示す説明図である。
【図4】実施の形態1にかかる他の半導体回路の回路構
成を示す説明図である。
【図5】実施の形態2にかかるインバータ回路の回路構
成を示す説明図である。
【図6】実施の形態2にかかる他のインバータ回路の回
路構成を示す説明図である。
【図7】実施の形態2にかかる他のインバータ回路の回
路構成を示す説明図である。
【図8】実施の形態2にかかる他のインバータ回路の回
路構成を示す説明図である。
【図9】実施の形態3にかかるNAND回路の回路構成
を示す説明図である。
【図10】実施の形態3にかかる他のNAND回路の回
路構成を示す説明図である。
【図11】実施の形態3にかかる他のNAND回路の回
路構成を示す説明図である。
【図12】実施の形態3にかかる他のNAND回路の回
路構成を示す説明図である。
【図13】実施の形態4にかかるNOR回路の回路構成
を示す説明図である。
【図14】実施の形態4にかかる他のNOR回路の回路
構成を示す説明図である。
【図15】実施の形態4にかかる他のNOR回路の回路
構成を示す説明図である。
【図16】実施の形態4にかかる他のNOR回路の回路
構成を示す説明図である。
【図17】実施の形態5にかかる半導体回路の回路構成
を示す説明図である。
【図18】実施の形態5にかかる半導体回路の動作を示
すタイムチャートである。
【図19】実施の形態6にかかる半導体回路の回路構成
を示す説明図である。
【図20】実施の形態6において、一部の回路のみが仮
想電源ノードに接続された半導体回路の回路構成を示す
説明図である。
【図21】実施の形態6において、一部の回路で仮想電
源ノードの共有接続がおこなわれ、かつデコード信号を
入力する半導体回路の回路構成を示す説明図である。
【図22】実施の形態7にかかる半導体記憶装置の回路
構成を示す説明図である。
【図23】実施の形態7にかかる他の半導体記憶装置の
回路構成を示す説明図である。
【図24】実施の形態7にかかる他の半導体記憶装置の
回路構成を示す説明図である。
【図25】実施の形態7にかかる他の半導体記憶装置の
回路構成を示す説明図である。
【図26】データ転送用MOSトランジスタを1つだけ
備えた場合の半導体記憶装置の回路構成を示す説明図で
ある。
【図27】実施の形態8にかかる半導体記憶装置の回路
構成を示す説明図である。
【図28】実施の形態8にかかる他の半導体記憶装置の
回路構成を示す説明図である。
【図29】従来の半導体回路(第1の従来例)の回路構
成を示す説明図である。
【図30】従来の半導体回路(第2の従来例)の回路構
成を示す説明図である。
【図31】従来の半導体回路(第3の従来例)の回路構
成を示す説明図である。
【図32】従来の半導体回路(第4の従来例)の回路構
成を示す説明図である。
【符号の説明】
15,17 高VthのPチャネル型のMOSトランジ
スタ 12,14 高VthのNチャネル型のMOSトランジ
スタ 23,25,27,29,31,33,35,37,3
9,41,43,45,47,49,51,53,5
5,57,59,61,63,65,67,69,7
5,77 低VthのPチャネル型のMOSトランジス
タ 22,24,26,28,30,32,34,36,3
8,40,42,44,46,48,50,54,5
6,58,60,62,64,66,68,70,7
2,74,76 低VthのNチャネル型のMOSトラ
ンジスタ 13 Pチャネル型のMOSトランジスタ 16 Nチャネル型のMOSトランジスタ VL 仮想低電圧ノード VH 仮想高電圧ノード 101 NORゲート 102 NANDゲート 103 インバータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鍵渡 裕志 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 Fターム(参考) 5B015 HH04 JJ05 KB42 QQ03 5J042 BA04 CA09 CA24 CA25 CA27 DA00 5J056 AA03 BB49 CC00 DD13 DD28 DD43 EE04 EE13 HH04 KK00

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 異なる閾値電圧を有する複数のMOSト
    ランジスタにより構成され、第1の電圧と該第1の電圧
    よりも低い第2の電圧を電源電圧として動作する半導体
    回路において、 ソースが前記第1の電圧または第2の電圧のうちのいず
    れか一方が供給される電源ノードに接続され、かつ第1
    の閾値電圧に設定された第1のMOSトランジスタと、 前記第1のMOSトランジスタのドレインと前記電源ノ
    ードとの間において前記第1のMOSトランジスタと並
    列にダイオード接続され、かつ第2の閾値電圧に設定さ
    れた第2のMOSトランジスタと、 ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第3の閾値電
    圧に設定された第3のMOSトランジスタと、 を備えたことを特徴とする半導体回路。
  2. 【請求項2】 異なる閾値電圧を有する複数のMOSト
    ランジスタにより構成され、第1の電圧と該第1の電圧
    よりも低い第2の電圧を電源電圧として動作する半導体
    回路において、 ソースが前記第2の電圧が供給される低電位電源ノード
    に接続され、かつ第1の閾値電圧に設定されたNチャネ
    ル型の第1のMOSトランジスタと、 ソースが前記低電位電源ノードに接続され、ドレインお
    よびゲートが前記第1のMOSトランジスタのドレイン
    に接続され、かつ第2の閾値電圧に設定されたNチャネ
    ル型の第2のMOSトランジスタと、 ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、かつ前記第1および第2の閾値電圧より低い第
    3の閾値電圧に設定されたNチャネル型の第3のMOS
    トランジスタと、 を備えたことを特徴とする半導体回路。
  3. 【請求項3】 異なる閾値電圧を有する複数のMOSト
    ランジスタにより構成され、第1の電圧と該第1の電圧
    よりも低い第2の電圧を電源電圧として動作する半導体
    回路において、 ソースが前記第2の電圧が供給される低電位電源ノード
    に接続され、かつ第1の閾値電圧に設定されたNチャネ
    ル型の第1のMOSトランジスタと、 ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、ドレインおよびゲートが前記低電位電源ノード
    に接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第2の閾
    値電圧に設定されたPチャネル型の第2のMOSトラン
    ジスタと、 ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第3の閾値電
    圧に設定されたNチャネル型の第3のMOSトランジス
    タと、 を備えたことを特徴とする半導体回路。
  4. 【請求項4】 異なる閾値電圧を有する複数のMOSト
    ランジスタにより構成され、第1の電圧と該第1の電圧
    よりも低い第2の電圧を電源電圧として動作する半導体
    回路において、 ソースが前記第1の電圧が供給される高電位電源ノード
    に接続され、かつ第1の閾値電圧に設定されたPチャネ
    ル型の第1のMOSトランジスタと、 ソースが前記高電位電源ノードに接続され、ドレインお
    よびゲートが前記第1のMOSトランジスタのドレイン
    に接続され、かつ第2の閾値電圧に設定されたPチャネ
    ル型の第2のMOSトランジスタと、 ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、かつ前記第1および第2の閾値電圧より低い第
    3の閾値電圧に設定されたPチャネル型の第3のMOS
    トランジスタと、 を備えたことを特徴とする半導体回路。
  5. 【請求項5】 異なる閾値電圧を有する複数のMOSト
    ランジスタにより構成され、第1の電圧と該第1の電圧
    よりも低い第2の電圧を電源電圧として動作する半導体
    回路において、 ソースが前記第1の電圧が供給される高電位電源ノード
    に接続され、かつ第1の閾値電圧に設定されたPチャネ
    ル型の第1のMOSトランジスタと、 ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、ドレインおよびゲートが前記高電位電源ノード
    に接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第2の閾
    値電圧に設定されたNチャネル型の第2のMOSトラン
    ジスタと、 ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第3の閾値電
    圧に設定されたPチャネル型の第3のMOSトランジス
    タと、 を備えたことを特徴とする半導体回路。
  6. 【請求項6】 ソースが前記第1の電圧が供給される高
    電位電源ノードに接続され、ドレインが前記第3のMO
    Sトランジスタのドレインに接続され、ゲートが前記第
    3のMOSトランジスタのゲートに接続され、かつ前記
    第1の閾値電圧より低い第4の閾値電圧に設定されたP
    チャネル型の第4のMOSトランジスタを備え、 前記第3のMOSトランジスタと前記第4のMOSトラ
    ンジスタとの対によりCMOSインバータ回路を構成す
    ることを特徴とする請求項2または3に記載の半導体回
    路。
  7. 【請求項7】 ソースが前記第2の電圧が供給される低
    電位電源ノードに接続され、ドレインが前記第3のMO
    Sトランジスタのドレインに接続され、ゲートが前記第
    3のMOSトランジスタのゲートに接続され、かつ前記
    第1の閾値電圧より低い第4の閾値電圧に設定されたN
    チャネル型の第4のMOSトランジスタを備え、 前記第3のMOSトランジスタと前記第4のMOSトラ
    ンジスタとの対によりCMOSインバータ回路を構成す
    ることを特徴とする請求項4または5に記載の半導体回
    路。
  8. 【請求項8】 ソースが前記第3のMOSトランジスタ
    のドレインに接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低
    い第4の閾値電圧に設定されたNチャネル型の第4のM
    OSトランジスタと、 ソースが前記第1の電圧が供給される高電位電源ノード
    に接続され、ドレインが前記第4のMOSトランジスタ
    のドレインに接続され、ゲートが前記第4のMOSトラ
    ンジスタのゲートに接続され、かつ前記第1の閾値電圧
    より低い第5の閾値電圧に設定されたPチャネル型の第
    5のMOSトランジスタと、 ソースが、前記高電位電源ノードに接続され、ドレイン
    が前記第4のMOSトランジスタのドレインに接続さ
    れ、ゲートが前記第3のMOSトランジスタのゲートに
    接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第6の閾値
    電圧に設定されたPチャネル型の第6のMOSトランジ
    スタと、 を備え、 前記第3〜6のMOSトランジスタによりNAND回路
    を構成することを特徴とする請求項2または3に記載の
    半導体回路。
  9. 【請求項9】 異なる閾値電圧を有する複数のMOSト
    ランジスタにより構成され、第1の電圧と該第1の電圧
    よりも低い第2の電圧を電源電圧として動作する半導体
    回路において、 ソースが前記第1の電圧が供給される高電位電源ノード
    に接続され、かつ第1の閾値電圧に設定されたPチャネ
    ル型の第1のMOSトランジスタと、 ソースが前記高電位電源ノードに接続され、ドレインお
    よびゲートが前記第1のMOSトランジスタのドレイン
    に接続され、かつ第2の閾値電圧に設定されたPチャネ
    ル型の第2のMOSトランジスタと、 ソースが前記第2の電圧が供給される低電位電源ノード
    に接続され、かつ前記第1および第2の閾値電圧より低
    い第3の閾値電圧に設定されたNチャネル型の第3のM
    OSトランジスタと、 ソースが前記第3のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、かつ前記第1および第2の閾値電圧より低い第
    4の閾値電圧に設定されたNチャネル型の第4のMOS
    トランジスタと、 ドレインが前記第4のMOSトランジスタのドレインに
    接続され、ゲートが前記第4のMOSトランジスタのゲ
    ートに接続され、かつ前記第1および第2の閾値電圧よ
    り低い第5の閾値電圧に設定されたPチャネル型の第5
    のMOSトランジスタと、 ドレインが前記第4のMOSトランジスタのドレインに
    接続され、ゲートが前記第3のMOSトランジスタのゲ
    ートに接続され、かつ前記第1および第2の閾値電圧よ
    り低い第6の閾値電圧に設定されたPチャネル型の第6
    のMOSトランジスタと、 を備え、 前記第5のMOSトランジスタのソースと前記第6のM
    OSトランジスタのソースのうち少なくとも一方が前記
    第1のMOSトランジスタのドレインに接続され、 前記第3〜6のMOSトランジスタによりNAND回路
    を構成することを特徴とする半導体回路。
  10. 【請求項10】 異なる閾値電圧を有する複数のMOS
    トランジスタにより構成され、第1の電圧と該第1の電
    圧よりも低い第2の電圧を電源電圧として動作する半導
    体回路において、 ソースが前記第1の電圧が供給される高電位電源ノード
    に接続され、かつ第1の閾値電圧に設定されたPチャネ
    ル型の第1のMOSトランジスタと、 ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、ドレインおよびゲートが前記高電位電源ノード
    に接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第2の閾
    値電圧に設定されたNチャネル型の第2のMOSトラン
    ジスタと、 ソースが前記第2の電圧が供給される低電位電源ノード
    に接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第3の閾
    値電圧に設定されたNチャネル型の第3のMOSトラン
    ジスタと、 ソースが前記第3のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第4の閾値電
    圧に設定されたNチャネル型の第4のMOSトランジス
    タと、 ドレインが前記第4のMOSトランジスタのドレインに
    接続され、ゲートが前記第4のMOSトランジスタのゲ
    ートに接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第5
    の閾値電圧に設定されたPチャネル型の第5のMOSト
    ランジスタと、 ドレインが前記第4のMOSトランジスタのドレインに
    接続され、ゲートが前記第3のMOSトランジスタのゲ
    ートに接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第6
    の閾値電圧に設定されたPチャネル型の第6のMOSト
    ランジスタと、 を備え、 前記第5のMOSトランジスタのソースと前記第6のM
    OSトランジスタのソースのうち少なくとも一方が前記
    第1のMOSトランジスタのドレインに接続され、 前記第3〜6のMOSトランジスタによりNAND回路
    を構成することを特徴とする半導体回路。
  11. 【請求項11】 ソースが前記第3のMOSトランジス
    タのドレインに接続され、かつ前記第1の閾値電圧より
    低い第4の閾値電圧に設定されたPチャネル型の第4の
    MOSトランジスタと、 ソースが前記第2の電圧が供給される低電位電源ノード
    に接続され、ドレインが前記第4のMOSトランジスタ
    のドレインに接続され、ゲートが前記第4のMOSトラ
    ンジスタのゲートに接続され、かつ前記第1の閾値電圧
    より低い第5の閾値電圧に設定されたNチャネル型の第
    5のMOSトランジスタと、 ソースが前記低電位電源ノードに接続され、ドレインが
    前記第4のMOSトランジスタのドレインに接続され、
    ゲートが前記第3のMOSトランジスタのゲートに接続
    され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第6の閾値電圧
    に設定されたNチャネル型の第6のMOSトランジスタ
    と、 を備え、 前記第3〜6のMOSトランジスタによりNOR回路を
    構成することを特徴とする請求項4または5に記載の半
    導体回路。
  12. 【請求項12】 異なる閾値電圧を有する複数のMOS
    トランジスタにより構成され、第1の電圧と該第1の電
    圧よりも低い第2の電圧を電源電圧として動作する半導
    体回路において、 ソースが前記第2の電圧が供給される低電位電源ノード
    に接続され、かつ第1の閾値電圧に設定されたNチャネ
    ル型の第1のMOSトランジスタと、 ソースが前記低電位電源ノードに接続され、ドレインお
    よびゲートが前記第1のMOSトランジスタのドレイン
    に接続され、かつ第2の閾値電圧に設定されたNチャネ
    ル型の第2のMOSトランジスタと、 ソースが前記第1の電圧が供給される高電位電源ノード
    に接続され、かつ前記第1および第2の閾値電圧より低
    い第3の閾値電圧に設定されたPチャネル型の第3のM
    OSトランジスタと、 ソースが前記第3のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、かつ前記第1および第2の閾値電圧より低い第
    4の閾値電圧に設定されたPチャネル型の第4のMOS
    トランジスタと、 ドレインが前記第4のMOSトランジスタのドレインに
    接続され、ゲートが前記第4のMOSトランジスタのゲ
    ートに接続され、かつ前記第1および第2の閾値電圧よ
    り低い第5の閾値電圧に設定されたNチャネル型の第5
    のMOSトランジスタと、 ドレインが前記第4のMOSトランジスタのドレインに
    接続され、ゲートが前記第3のMOSトランジスタのゲ
    ートに接続され、かつ前記第1および第2の閾値電圧よ
    り低い第6の閾値電圧に設定されたNチャネル型の第6
    のMOSトランジスタと、 を備え、 前記第5のMOSトランジスタのソースと前記第6のM
    OSトランジスタのソースのうち少なくとも一方が前記
    第1のMOSトランジスタのドレインに接続され、 前記第3〜6のMOSトランジスタによりNOR回路を
    構成することを特徴とする半導体回路。
  13. 【請求項13】 異なる閾値電圧を有する複数のMOS
    トランジスタにより構成され、第1の電圧と該第1の電
    圧よりも低い第2の電圧を電源電圧として動作する半導
    体回路において、 ソースが前記第2の電圧が供給される低電位電源ノード
    に接続され、かつ第1の閾値電圧に設定されたNチャネ
    ル型の第1のMOSトランジスタと、 ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、ドレインおよびゲートが前記低電位電源ノード
    に接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第2の閾
    値電圧に設定されたPチャネル型の第2のMOSトラン
    ジスタと、 ソースが前記第1の電圧が供給される高電位電源ノード
    に接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第3の閾
    値電圧に設定されたPチャネル型の第3のMOSトラン
    ジスタと、 ソースが前記第3のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第4の閾値電
    圧に設定されたPチャネル型の第4のMOSトランジス
    タと、 ドレインが前記第4のMOSトランジスタのドレインに
    接続され、ゲートが前記第4のMOSトランジスタのゲ
    ートに接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第5
    の閾値電圧に設定されたNチャネル型の第5のMOSト
    ランジスタと、 ドレインが前記第4のMOSトランジスタのドレインに
    接続され、ゲートが前記第3のMOSトランジスタのゲ
    ートに接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第6
    の閾値電圧に設定された設定されたNチャネル型の第6
    のMOSトランジスタと、 を備え、 前記第5のMOSトランジスタのソースと前記第6のM
    OSトランジスタのソースのうち少なくとも一方が前記
    第1のMOSトランジスタのドレインに接続され、 前記第3〜6のMOSトランジスタによりNOR回路を
    構成することを特徴とする半導体回路。
  14. 【請求項14】 複数のMOSトランジスタ回路が前記
    第1の電圧または第2の電圧のうちのいずれか一方が供
    給される電源ノードに代えて、前記第1のMOSトラン
    ジスタのドレインに接続されたことを特徴とする請求項
    1〜13のいずれか一つに記載の半導体回路。
  15. 【請求項15】 前記第1のMOSトランジスタおよび
    該第1のMOSトランジスタと同チャネル型の前記第2
    のMOSトランジスタは、バックゲートに、他のMOS
    トランジスタのバックゲートに供給されるバイアス電圧
    よりも高いバイアス電圧が供給されることにより、他の
    MOSトランジスタの閾値電圧より高い閾値電圧に設定
    されることを特徴とする請求項1〜14のいずれか一つ
    に記載の半導体回路。
  16. 【請求項16】 異なる閾値電圧を有する複数のMOS
    トランジスタによりメモリセルを構成し、第1の電圧と
    該第1の電圧よりも低い第2の電圧を電源電圧として動
    作する半導体記憶装置において、 前記メモリセルは、前記第1の電圧または第2の電圧の
    うちのいずれか一方が供給される電源ノードとの接続に
    代えて、前記請求項1〜15のいずれか一つに記載の半
    導体回路における前記第1のMOSトランジスタのドレ
    インに接続されたことを特徴とする半導体記憶装置。
  17. 【請求項17】 異なる閾値電圧を有する複数のMOS
    トランジスタにより構成され、第1の電圧と該第1の電
    圧よりも低い第2の電圧を電源電圧として動作する半導
    体記憶装置において、 ソースが前記第2の電圧が供給される低電位電源ノード
    に接続されたNチャネル型の第1のMOSトランジスタ
    と、 ソースが前記低電位電源ノードに接続され、ドレインお
    よびゲートが前記第1のMOSトランジスタのドレイン
    に接続されたNチャネル型の第2のMOSトランジスタ
    と、 ソースが前記第1の電圧が供給される高電位電源ノード
    に接続されたPチャネル型の第3のMOSトランジスタ
    と、ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレイン
    に接続され、ドレインが前記第3のMOSトランジスタ
    のドレインに接続され、ゲートが前記第3のMOSトラ
    ンジスタのゲートに接続されたNチャネル型の第4のM
    OSトランジスタとの対により構成される第1のCMO
    Sインバータと、 ソースが前記高電位電源ノードに接続されたPチャネル
    型の第5のMOSトランジスタと、ソースが前記第1の
    MOSトランジスタのドレインに接続され、ドレインが
    前記第5のMOSトランジスタのドレインおよび前記第
    3のMOSトランジスタのゲートに接続され、ゲートが
    前記第5のMOSトランジスタのゲートおよび前記第3
    のMOSトランジスタのドレインに接続されたNチャネ
    ル型の第6のMOSトランジスタとの対により構成され
    る第2のCMOSインバータと、ソースが前記第3のM
    OSトランジスタのドレインに接続されたNチャネル型
    の第1のデータ転送用MOSトランジスタと、 前記第1のCMOSインバータと前記第2のCMOSイ
    ンバータの対によりメモリセルを構成し、 前記第1のMOSトランジスタが前記第2〜6のMOS
    トランジスタおよび前記第1のデータ転送用MOSトラ
    ンジスタのうちの少なくとも一つのMOSトランジスタ
    の閾値電圧より高い閾値電圧に設定されたことを特徴と
    する半導体記憶装置。
  18. 【請求項18】 異なる閾値電圧を有する複数のMOS
    トランジスタにより構成され、第1の電圧と該第1の電
    圧よりも低い第2の電圧を電源電圧として動作する半導
    体記憶装置において、 ソースが前記第2の電圧が供給される低電位電源ノード
    に接続され、かつ第1の閾値電圧に設定されたNチャネ
    ル型の第1のMOSトランジスタと、 ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、ドレインおよびゲートが前記低電位電源ノード
    に接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第2の閾
    値電圧に設定されたPチャネル型の第2のMOSトラン
    ジスタと、 ソースが前記第1の電圧が供給される高電位電源ノード
    に接続されたPチャネル型の第3のMOSトランジスタ
    と、ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレイン
    に接続され、ドレインが前記第3のMOSトランジスタ
    のドレインに接続され、ゲートが前記第3のMOSトラ
    ンジスタのゲートに接続された第4のMOSトランジス
    タとの対により構成される第1のCMOSインバータ
    と、 ソースが前記高電位電源ノードに接続されたPチャネル
    型の第5のMOSトランジスタと、ソースが前記第1の
    MOSトランジスタのドレインに接続され、ドレインが
    前記第5のMOSトランジスタのドレインおよび前記第
    3のMOSトランジスタのゲートに接続され、ゲートが
    前記第5のMOSトランジスタのゲートおよび前記第3
    のMOSトランジスタのドレインに接続されたNチャネ
    ル型の第6のMOSトランジスタとの対により構成され
    る第2のCMOSインバータと、 ソースが前記第3のMOSトランジスタのドレインに接
    続されたNチャネル型の第1のデータ転送用MOSトラ
    ンジスタと、 前記第1のCMOSインバータと前記第2のCMOSイ
    ンバータの対によりメモリセルを構成することを特徴と
    する半導体記憶装置。
  19. 【請求項19】 異なる閾値電圧を有する複数のMOS
    トランジスタにより構成され、第1の電圧と該第1の電
    圧よりも低い第2の電圧を電源電圧として動作する半導
    体記憶装置において、 ソースが前記第1の電圧が供給される高電位電源ノード
    に接続され、かつ第1の閾値電圧に設定されたPチャネ
    ル型の第1のMOSトランジスタと、 ソースが高電位電源ノードに接続され、ドレインおよび
    ゲートが前記第1のMOSトランジスタのドレインに接
    続されたPチャネル型の第2のMOSトランジスタと、 ソースが前記第2の電圧が供給される低電位電源ノード
    に接続されたNチャネル型の第3のMOSトランジスタ
    と、ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレイン
    に接続され、ドレインが前記第3のMOSトランジスタ
    のドレインに接続され、ゲートが前記第3のMOSトラ
    ンジスタのゲートに接続されたPチャネル型の第4のM
    OSトランジスタとの対により構成される第1のCMO
    Sインバータと、 ソースが前記低電位電源ノードに接続されたNチャネル
    型の第5のMOSトランジスタと、ソースが前記第1の
    MOSトランジスタのドレインに接続され、ドレインが
    前記第5のMOSトランジスタのドレインおよび前記第
    3のMOSトランジスタのゲートに接続され、ゲートが
    前記第5のMOSトランジスタのゲートおよび前記第3
    のMOSトランジスタのドレインに接続されたPチャネ
    ル型の第6のMOSトランジスタとの対により構成され
    る第2のCMOSインバータと、ドレインが前記第3の
    MOSトランジスタのドレインに接続されたPチャネル
    型の第1のデータ転送用MOSトランジスタと、 前記第1のCMOSインバータと前記第2のCMOSイ
    ンバータの対によりメモリセルを構成し、 前記第1のMOSトランジスタが前記第2〜6のMOS
    トランジスタおよび前記第1のデータ転送用MOSトラ
    ンジスタのうちの少なくとも一つのMOSトランジスタ
    の閾値電圧より高い閾値電圧に設定されたことを特徴と
    する半導体記憶装置。
  20. 【請求項20】 異なる閾値電圧を有する複数のMOS
    トランジスタにより構成され、第1の電圧と該第1の電
    圧よりも低い第2の電圧を電源電圧として動作する半導
    体記憶装置において、 ソースが前記第1の電圧が供給される高電位電源ノード
    に接続され、かつ第1の閾値電圧に設定されたPチャネ
    ル型の第1のMOSトランジスタと、 ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレインに接
    続され、ドレインおよびゲートが前記高電位電源ノード
    に接続され、かつ前記第1の閾値電圧より低い第2の閾
    値電圧に設定されたNチャネル型の第2のMOSトラン
    ジスタと、 ソースが前記第2の電圧が供給される低電位電源ノード
    に接続されたNチャネル型の第3のMOSトランジスタ
    と、ソースが前記第1のMOSトランジスタのドレイン
    に接続され、ドレインが前記第3のMOSトランジスタ
    のドレインに接続され、ゲートが前記第3のMOSトラ
    ンジスタのゲートに接続されたPチャネル型の第4のM
    OSトランジスタとの対により構成される第1のCMO
    Sインバータと、 ソースが前記低電位電源ノードに接続されたNチャネル
    型の第5のMOSトランジスタと、ソースが前記第1の
    MOSトランジスタのドレインに接続され、ドレインが
    前記第5のMOSトランジスタのドレインおよび前記第
    3のMOSトランジスタのゲートに接続され、ゲートが
    前記第5のMOSトランジスタのゲートおよび前記第3
    のMOSトランジスタのドレインに接続されたPチャネ
    ル型の第6のMOSトランジスタとの対により構成され
    る第2のCMOSインバータと、ドレインが前記第3の
    MOSトランジスタのドレインに接続されたPチャネル
    型の第1のデータ転送用MOSトランジスタと、 前記第1のCMOSインバータと前記第2のCMOSイ
    ンバータの対によりメモリセルを構成することを特徴と
    する半導体記憶装置。
  21. 【請求項21】 ソースまたはドレインが前記第5のM
    OSトランジスタのドレインに接続され、ゲートが前記
    第1のデータ転送用MOSトランジスタのゲートに接続
    されたNチャネル型またはPチャネル型の第2のデータ
    転送用MOSトランジスタを備えたことを特徴とする請
    求項17〜20のいずれか一つに記載の半導体記憶装
    置。
  22. 【請求項22】 前記メモリセルに対してデータの書き
    込みをおこなうための書き込み信号を入力し、前記第1
    のMOSトランジスタは該書き込み信号が入力された際
    に導通しないことを特徴とする請求項17〜21のいず
    れか一つに記載の半導体記憶装置。
  23. 【請求項23】 前記第1〜6のMOSトランジスタの
    うち少なくとも第1のMOSトランジスタおよび該第1
    のMOSトランジスタと同チャネル型の前記第2のMO
    Sトランジスタは、バックゲートに、他のMOSトラン
    ジスタのバックゲートに供給されるバイアス電圧よりも
    高いバイアス電圧が供給されることにより、他のMOS
    トランジスタの閾値電圧より高い閾値電圧に設定される
    ことを特徴とする請求項17〜22のいずれか一つに記
    載の半導体記憶装置。
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