JP2000173212A - 磁気ヘッド構造および磁気ディスク装置 - Google Patents
磁気ヘッド構造および磁気ディスク装置Info
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- JP2000173212A JP2000173212A JP10351613A JP35161398A JP2000173212A JP 2000173212 A JP2000173212 A JP 2000173212A JP 10351613 A JP10351613 A JP 10351613A JP 35161398 A JP35161398 A JP 35161398A JP 2000173212 A JP2000173212 A JP 2000173212A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ランプロードのロード・アンロードで生じる
磨耗を低減し、その磁気ヘッド構造の耐用性、信頼性を
向上させる。 【解決手段】 磁気ヘッドスライダーをサスペンション
で支持する磁気ヘッド構造において、前記サスペンショ
ンの、スライダ取り付け側に、カーボンを主成分とする
薄膜を備えたことを特徴とする。
磨耗を低減し、その磁気ヘッド構造の耐用性、信頼性を
向上させる。 【解決手段】 磁気ヘッドスライダーをサスペンション
で支持する磁気ヘッド構造において、前記サスペンショ
ンの、スライダ取り付け側に、カーボンを主成分とする
薄膜を備えたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として、コンピ
ューターの外部記憶装置などに使用される磁気ヘッドお
よび磁気ディスク装置に関するものである。
ューターの外部記憶装置などに使用される磁気ヘッドお
よび磁気ディスク装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の磁気ヘッドおよび磁気ディスク
装置には、例えば、実開平４−１１１０５２号公報に記
載のものが知られている。即ち、磁気ディスク装置にお
いて、広く採用されているコンタクト・スタート・スト
ップ（以下、ＣＳＳと称す）方式に代わって、装置停止
時または非アクセス時に、磁気ヘッドを磁気ディスクの
外側に設けたランプに保持するランプロード方式が、既
に、業界の一部で採用されている。ランプロード方式
は、ＣＳＳ方式に比べ、耐衝撃特性、ヘッドと記録媒体
との吸着回避性に優れ、また、吸着防止に際して、磁気
ディスクにテクスチャなどの粗さを付与する必要がない
ために、信頼性を損なうことなく、しかも、ヘッド浮上
量を小さくできるメリットもある。
装置には、例えば、実開平４−１１１０５２号公報に記
載のものが知られている。即ち、磁気ディスク装置にお
いて、広く採用されているコンタクト・スタート・スト
ップ（以下、ＣＳＳと称す）方式に代わって、装置停止
時または非アクセス時に、磁気ヘッドを磁気ディスクの
外側に設けたランプに保持するランプロード方式が、既
に、業界の一部で採用されている。ランプロード方式
は、ＣＳＳ方式に比べ、耐衝撃特性、ヘッドと記録媒体
との吸着回避性に優れ、また、吸着防止に際して、磁気
ディスクにテクスチャなどの粗さを付与する必要がない
ために、信頼性を損なうことなく、しかも、ヘッド浮上
量を小さくできるメリットもある。
【０００３】このため、磁気ヘッドは、一般にスライダ
ーと、それを支持するサスペンションの構造に組み込ま
れており、前記サスペンションは、磁気ヘッドをキャリ
ッジに固定するためのマウント、適切な荷重で押し当て
るためのロードビーム、前記スライダーを支持するジン
バルなどで構成される。ランプロード方式は、ロードビ
ームのスライダー取り付け部とヘッド固定部との間でラ
ンプする方式（特開平６−６０５７９号公報に記載）
と、ロードビームの先端でランプする方式（前述の実開
平４−１１１０５２号公報に記載）が提案されている。
ーと、それを支持するサスペンションの構造に組み込ま
れており、前記サスペンションは、磁気ヘッドをキャリ
ッジに固定するためのマウント、適切な荷重で押し当て
るためのロードビーム、前記スライダーを支持するジン
バルなどで構成される。ランプロード方式は、ロードビ
ームのスライダー取り付け部とヘッド固定部との間でラ
ンプする方式（特開平６−６０５７９号公報に記載）
と、ロードビームの先端でランプする方式（前述の実開
平４−１１１０５２号公報に記載）が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ランプは、一般に樹脂で作製されるため、磁気ヘッドの
ランプロード／アンロード時に、金属製のサスペンショ
ンとの摺動の繰り返しに際して、ランプ側に磨耗が生じ
る。ここでの第１の問題点は、ランプの表面が荒れる
と、ランプとサスペンションとの間の摩擦係数が大きく
なり、ヘッドロード動作がスムーズに行えず、その際の
振動の影響で、磁気ヘッドが磁気ディスクと接触するこ
とである。
ランプは、一般に樹脂で作製されるため、磁気ヘッドの
ランプロード／アンロード時に、金属製のサスペンショ
ンとの摺動の繰り返しに際して、ランプ側に磨耗が生じ
る。ここでの第１の問題点は、ランプの表面が荒れる
と、ランプとサスペンションとの間の摩擦係数が大きく
なり、ヘッドロード動作がスムーズに行えず、その際の
振動の影響で、磁気ヘッドが磁気ディスクと接触するこ
とである。
【０００５】また、第２の問題点は、磨耗で生じた磨耗
粉が、エアフローまたは磁気ディスクへの付着を経由し
て、磁気ヘッドに付着し、その磁気ヘッドの浮上姿勢の
乱れから、信号の書き込み／読み出し不能、磁気ディス
クの損傷を引き起こすことである。
粉が、エアフローまたは磁気ディスクへの付着を経由し
て、磁気ヘッドに付着し、その磁気ヘッドの浮上姿勢の
乱れから、信号の書き込み／読み出し不能、磁気ディス
クの損傷を引き起こすことである。
【０００６】本発明は、上記事情に基づいてなされたも
ので、その目的とするところは、ランプロードのロード
・アンロードで生じる磨耗を低減し、その磁気ヘッド構
造の耐用性、信頼性を向上させることである。
ので、その目的とするところは、ランプロードのロード
・アンロードで生じる磨耗を低減し、その磁気ヘッド構
造の耐用性、信頼性を向上させることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このため、本発明では、
ランプロードのランプと磁気ヘッドの接触面とにカーボ
ンを主成分とした薄膜を付与し、ランプの磨耗を低減さ
せることができる磁気ヘッド構造および磁気ディスク装
置を提供する。
ランプロードのランプと磁気ヘッドの接触面とにカーボ
ンを主成分とした薄膜を付与し、ランプの磨耗を低減さ
せることができる磁気ヘッド構造および磁気ディスク装
置を提供する。
【０００８】この場合、カーボンを主成分とする前記薄
膜の下に、珪素を主成分とした薄膜を備えていること、
前記磁気ヘッド構造を採用したランプロード方式の磁気
ディスク装置であって、そのヘッドロード・アンロード
用ランプの表面に、カーボンを主成分とする薄膜を備え
たこと、前記ランプ表面におけるカーボンを主成分とす
る薄膜の下に、珪素を主成分とする薄膜を備えているこ
となどが好ましい実施の形態である。
膜の下に、珪素を主成分とした薄膜を備えていること、
前記磁気ヘッド構造を採用したランプロード方式の磁気
ディスク装置であって、そのヘッドロード・アンロード
用ランプの表面に、カーボンを主成分とする薄膜を備え
たこと、前記ランプ表面におけるカーボンを主成分とす
る薄膜の下に、珪素を主成分とする薄膜を備えているこ
となどが好ましい実施の形態である。
【０００９】従って、サスペンションまたはランプに付
与したカーボンを主成分とする薄膜は、低摩擦、自己潤
滑特性、優れた膜耐久性を有するので、ランプの磨耗を
低減することができる。なお、この場合、前記薄膜の密
着力を向上させる目的で、その下に下地膜として珪素を
主成分とする薄膜を付与してもよい。
与したカーボンを主成分とする薄膜は、低摩擦、自己潤
滑特性、優れた膜耐久性を有するので、ランプの磨耗を
低減することができる。なお、この場合、前記薄膜の密
着力を向上させる目的で、その下に下地膜として珪素を
主成分とする薄膜を付与してもよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら、詳細に説明する。図１のおい
て、本発明の磁気ヘッドの構造は、通常のように、スラ
イダー１、ジンバル２、ロードビーム３、マウント４で
構成される。信号の書き込み／呼び出しを行う磁気ヘッ
ドの素子を有するスライダー１を支えるために、ここで
は、舌状の板バネからなるジンバル２が用いられてお
り、このジンバル２は、その一端がロードビーム１に接
合されている。ロードビーム３は、スライダー１を磁気
ディスク上にロードさせた時に、適切な荷重を付加させ
る板バネからなり、磁気ヘッドを、磁気ディスク装置の
キャリッジに固定するためのマウント４も、ロードビー
ム３に接合されている。
て、図面を参照しながら、詳細に説明する。図１のおい
て、本発明の磁気ヘッドの構造は、通常のように、スラ
イダー１、ジンバル２、ロードビーム３、マウント４で
構成される。信号の書き込み／呼び出しを行う磁気ヘッ
ドの素子を有するスライダー１を支えるために、ここで
は、舌状の板バネからなるジンバル２が用いられてお
り、このジンバル２は、その一端がロードビーム１に接
合されている。ロードビーム３は、スライダー１を磁気
ディスク上にロードさせた時に、適切な荷重を付加させ
る板バネからなり、磁気ヘッドを、磁気ディスク装置の
キャリッジに固定するためのマウント４も、ロードビー
ム３に接合されている。
【００１１】一般にロードビーム３にジンバル２、マウ
ント４を接合した形態は、サスペンションと称されてお
り、以下、この呼称を用いる。このサスペンションの、
スライダー１を支持する側の表面には、ドライ成膜法に
より、膜厚：５nm以上のカーボンを主成分とする薄膜５
が付与されている。
ント４を接合した形態は、サスペンションと称されてお
り、以下、この呼称を用いる。このサスペンションの、
スライダー１を支持する側の表面には、ドライ成膜法に
より、膜厚：５nm以上のカーボンを主成分とする薄膜５
が付与されている。
【００１２】図２を参照すると、本発明の磁気ディスク
装置の実施の形態では、ベース６にスピンドルモータ
７、キャリッジ８、マグネット９、ランプ１０が固定さ
れ、スピンドルモータ７には磁気ディスク１１が装着さ
れ、キャリッジ８には磁気ヘッド１２が固定されてい
る。なお、ランプガイド部１０ａには、傾斜が形成され
ていて、この上を磁気ヘッド１２のロードビーム３の先
端が移動することで、ロード・アンロードが行われる。
また、ランプ１０の表面にも、サスペンションと同様
に、カーボンを主成分とする薄膜を付与してもよい。
装置の実施の形態では、ベース６にスピンドルモータ
７、キャリッジ８、マグネット９、ランプ１０が固定さ
れ、スピンドルモータ７には磁気ディスク１１が装着さ
れ、キャリッジ８には磁気ヘッド１２が固定されてい
る。なお、ランプガイド部１０ａには、傾斜が形成され
ていて、この上を磁気ヘッド１２のロードビーム３の先
端が移動することで、ロード・アンロードが行われる。
また、ランプ１０の表面にも、サスペンションと同様
に、カーボンを主成分とする薄膜を付与してもよい。
【００１３】従って、磁気ヘッド１２は、キャリッッジ
８の回転運動と、スピンドルモータ７の回転によって、
磁気ディスク１１の任意の場所にアクセスができ、ま
た、ロードビームランプ部３ａが、傾斜を有するランプ
ガイド部１０ａの上を移動し、ロード・アンロード動作
が行われる。
８の回転運動と、スピンドルモータ７の回転によって、
磁気ディスク１１の任意の場所にアクセスができ、ま
た、ロードビームランプ部３ａが、傾斜を有するランプ
ガイド部１０ａの上を移動し、ロード・アンロード動作
が行われる。
【００１４】図３は、ヘッドロード・アンロード時のス
ライダー１、ロードビームランプ部３ａ、ランプ１０お
よび磁気ディスク１１の位置関係を現した図である。位
置Ａでは、磁気ヘッド１１はロード状態にあり、スライ
ダー１は磁気ディスク上にある。また、アンロード時に
は、そこから、磁気ヘッド１２が磁気ディスク１１の外
周方向に移動し、位置Ｂでは、ロードビームランプ部３
ａが、ランプガイド部１０ａ上に乗り上げ、スライダ１
が磁気ディスク１１から離脱を始め、位置Ｃでは完全に
離脱する。また、ヘッドロード時には逆のシーケンスが
行われる。
ライダー１、ロードビームランプ部３ａ、ランプ１０お
よび磁気ディスク１１の位置関係を現した図である。位
置Ａでは、磁気ヘッド１１はロード状態にあり、スライ
ダー１は磁気ディスク上にある。また、アンロード時に
は、そこから、磁気ヘッド１２が磁気ディスク１１の外
周方向に移動し、位置Ｂでは、ロードビームランプ部３
ａが、ランプガイド部１０ａ上に乗り上げ、スライダ１
が磁気ディスク１１から離脱を始め、位置Ｃでは完全に
離脱する。また、ヘッドロード時には逆のシーケンスが
行われる。
【００１５】
【実施例】次に、本発明の実施例について説明する。こ
こでは、サスペンションが非磁性ステンレス（SUS304）
製であり、荷重２gfのロードビーム３に、同じく、非磁
性ステンレス製のジンバル２とマウント４とを、スポッ
ト溶接で接合させて、構成されている。
こでは、サスペンションが非磁性ステンレス（SUS304）
製であり、荷重２gfのロードビーム３に、同じく、非磁
性ステンレス製のジンバル２とマウント４とを、スポッ
ト溶接で接合させて、構成されている。
【００１６】この実施例１では、サスペンションに、逆
スパッタした後、ＣＶＤ法にて、ダイヤモンドライクカ
ーボン膜（以下、ＤＬＣ膜と称す）を、その膜厚：１０
０nmを付与し、同様に、実施例２では、シリコン膜：１
０nm、ＤＬＣ膜：１００nmを順次、成膜した。そして、
３０％ピコサイズのスライダー１を、紫外線硬化型接着
剤で、サスペンションのジンバル２に接着し、磁気ヘッ
ド１２を組み立てた。
スパッタした後、ＣＶＤ法にて、ダイヤモンドライクカ
ーボン膜（以下、ＤＬＣ膜と称す）を、その膜厚：１０
０nmを付与し、同様に、実施例２では、シリコン膜：１
０nm、ＤＬＣ膜：１００nmを順次、成膜した。そして、
３０％ピコサイズのスライダー１を、紫外線硬化型接着
剤で、サスペンションのジンバル２に接着し、磁気ヘッ
ド１２を組み立てた。
【００１７】一方、磁気ディスク１１は、外形：１３０
mmのガラス基板上に、１００nmのＮｉ−Ｐ、２０nmのＣ
ｒ系下地膜、１５nmのＣｏ系磁性膜、１０nmのカーボン
系保護膜を、順に、スパッタ法にて成膜し、最外表面に
は、２nmのパーフルオロポリエーテル系潤滑膜をディッ
ピング法にて付与した。
mmのガラス基板上に、１００nmのＮｉ−Ｐ、２０nmのＣ
ｒ系下地膜、１５nmのＣｏ系磁性膜、１０nmのカーボン
系保護膜を、順に、スパッタ法にて成膜し、最外表面に
は、２nmのパーフルオロポリエーテル系潤滑膜をディッ
ピング法にて付与した。
【００１８】ランプ１０は、１５度のランプ角度１０ｂ
で、液晶ポリマーで成形した。この発明の実施例３およ
び４では、ランプ１０表面に、ＣＶＤ法にて、それぞ
れ、ＤＬＣ膜：１００nmおよびシリコン膜：１０nm／Ｄ
ＣＬ膜：１００nmを付与した。
で、液晶ポリマーで成形した。この発明の実施例３およ
び４では、ランプ１０表面に、ＣＶＤ法にて、それぞ
れ、ＤＬＣ膜：１００nmおよびシリコン膜：１０nm／Ｄ
ＣＬ膜：１００nmを付与した。
【００１９】次に、これら本実施例と、これに対応する
比較例とについて、磁気ディスク装置において、比較評
価した耐久性試験結果を説明する。なお、比較例では、
カーボンを主成分とする薄膜を付与していないサスペン
ションの磁気ヘッド、並びに、ランプを用いている。
比較例とについて、磁気ディスク装置において、比較評
価した耐久性試験結果を説明する。なお、比較例では、
カーボンを主成分とする薄膜を付与していないサスペン
ションの磁気ヘッド、並びに、ランプを用いている。
【００２０】耐久性試験ａは、磁気ディスク装置の上部
をカバーで密封し、常温・常湿環境で、ロードおよびア
ンロード速度：２００mm/sで、ヘッドロード・アンロー
ド動作を１００万回、繰り返した。そして、磁気ディス
ク装置のカバーに穴をあけ、パーティクルカウンターの
プローブを、ランプ１０の近傍に設置し、磁気ディスク
装置内の清浄度の測定を行った。なお、ロードおよびア
ンロード速度は、加速評価とするため、一般的速度より
高めで設定した。耐久性試験の前後で、被試験磁気ディ
スクのディフェクトを、被試験でない別の磁気ヘッドを
用いて行い、その読み出し信号で評価した。
をカバーで密封し、常温・常湿環境で、ロードおよびア
ンロード速度：２００mm/sで、ヘッドロード・アンロー
ド動作を１００万回、繰り返した。そして、磁気ディス
ク装置のカバーに穴をあけ、パーティクルカウンターの
プローブを、ランプ１０の近傍に設置し、磁気ディスク
装置内の清浄度の測定を行った。なお、ロードおよびア
ンロード速度は、加速評価とするため、一般的速度より
高めで設定した。耐久性試験の前後で、被試験磁気ディ
スクのディフェクトを、被試験でない別の磁気ヘッドを
用いて行い、その読み出し信号で評価した。
【００２１】耐久性試験ｂは、６０℃−６０％環境で、
ヘッドロード・アンロード動作とシーク動作を組み合わ
せるモードで、上述の実施例と比較例とを比較した。な
お、シークのリピードは、ヘッドロード・アンロードを
１万回毎に半径：２０ｍｍから半径：４２ｍｍで、３時
間、繰り返し、このサイクルを１００回、実施した。
ヘッドロード・アンロード動作とシーク動作を組み合わ
せるモードで、上述の実施例と比較例とを比較した。な
お、シークのリピードは、ヘッドロード・アンロードを
１万回毎に半径：２０ｍｍから半径：４２ｍｍで、３時
間、繰り返し、このサイクルを１００回、実施した。
【００２２】図４は、この耐久性試験ａ後の磁気ディス
クのデフェクト個数の測定結果を示しており、本発明の
実施例は、比較例と比べ、ディフェクトが少ない。図６
は、耐久性試験ａでの磁気ディスク装置内の累積パーテ
ィクル個数の測定結果を示しており、本発明の実施例
は、比較例に比べ、発生するパーティクルが少ない。
クのデフェクト個数の測定結果を示しており、本発明の
実施例は、比較例と比べ、ディフェクトが少ない。図６
は、耐久性試験ａでの磁気ディスク装置内の累積パーテ
ィクル個数の測定結果を示しており、本発明の実施例
は、比較例に比べ、発生するパーティクルが少ない。
【００２３】また、図７は、耐久性試験ｂ後の磁気ヘッ
ド付着物量の相対量を示す図であり、本発明の実施例の
試験終了後、磁気ヘッドに生じた付着物量が、比較例よ
り少ないことを示している。
ド付着物量の相対量を示す図であり、本発明の実施例の
試験終了後、磁気ヘッドに生じた付着物量が、比較例よ
り少ないことを示している。
【００２４】
【発明の他の実施の形態】本発明の他の実施の形態とし
ては、ランプロードを、ロードビーム３の先端ではな
く、スライダー１とマウント４との間の位置で実施する
磁気ディスク装置のケースについて、その磁気ヘッド構
造を示している。なお、ここでは、サスペンションおよ
びランプ１０に付与する、カーボンを主成分とする薄膜
は、スパッタ法、ＥＣＲ−スパッタ法、イオンビーム法
で、成膜してもよい。
ては、ランプロードを、ロードビーム３の先端ではな
く、スライダー１とマウント４との間の位置で実施する
磁気ディスク装置のケースについて、その磁気ヘッド構
造を示している。なお、ここでは、サスペンションおよ
びランプ１０に付与する、カーボンを主成分とする薄膜
は、スパッタ法、ＥＣＲ−スパッタ法、イオンビーム法
で、成膜してもよい。
【００２５】また、サスペンションおよびランプ１０に
付与する、カーボンを主成分とする薄膜に、Ｈ、Ｎ、Ｓ
ｉ、Ｆ元素１つ以上を付加してもよい。更に、サスペン
ションおよびランプ１０に付与するシリコンを主成分と
する薄膜に、Ｈ、Ｏ、Ｎ、Ｃ、Ｆ元素１つ以上を付加し
てもよい。
付与する、カーボンを主成分とする薄膜に、Ｈ、Ｎ、Ｓ
ｉ、Ｆ元素１つ以上を付加してもよい。更に、サスペン
ションおよびランプ１０に付与するシリコンを主成分と
する薄膜に、Ｈ、Ｏ、Ｎ、Ｃ、Ｆ元素１つ以上を付加し
てもよい。
【００２６】
【発明の効果】本発明の第１の効果は、ヘッドロード時
の磁気ヘッドと磁気ディスクの接触頻度を低減でき、磁
気ディスク装置の信頼性を高めることである。その理由
は、ランプと接触する磁気ヘッドのサスペション部にＤ
ＬＣ膜を付与したことで、ランプの磨耗を抑制し、磁気
ヘッドとランプとの摩擦経数を低く、安定に保て、スム
ーズなローディング動作を維持できる点である。
の磁気ヘッドと磁気ディスクの接触頻度を低減でき、磁
気ディスク装置の信頼性を高めることである。その理由
は、ランプと接触する磁気ヘッドのサスペション部にＤ
ＬＣ膜を付与したことで、ランプの磨耗を抑制し、磁気
ヘッドとランプとの摩擦経数を低く、安定に保て、スム
ーズなローディング動作を維持できる点である。
【００２７】また、本発明の第２の効果は、磁気ヘッド
に生じる付着物を低減でき、それがもたらされる磁気デ
ィスク装置の故障を抑制できることである。故障として
は、付着物によって、磁気ヘッドの浮上姿勢が乱され、
磁気ディスクへの書き込み／読み出しを行う素子の、磁
気スペーシングが増大する場合には、書き込み／読み出
し不能となる場合、あるいは、ヘッドの浮上姿勢の乱れ
が、シーク時に磁気ディスクとの接触を引き起こし、磁
気ディスクに損傷を与える場合などがある。
に生じる付着物を低減でき、それがもたらされる磁気デ
ィスク装置の故障を抑制できることである。故障として
は、付着物によって、磁気ヘッドの浮上姿勢が乱され、
磁気ディスクへの書き込み／読み出しを行う素子の、磁
気スペーシングが増大する場合には、書き込み／読み出
し不能となる場合、あるいは、ヘッドの浮上姿勢の乱れ
が、シーク時に磁気ディスクとの接触を引き起こし、磁
気ディスクに損傷を与える場合などがある。
【図１】本発明の磁気ヘッドの構成を表す図である。
【図２】本発明の磁気ディスク装置の構成を表す図であ
る。
る。
【図３】ロード・アンロード時の磁気ヘッドの位置を表
す図である。
す図である。
【図４】耐久性試験ａ後の磁気ディスクのディフェクト
測定結果を表す図である。
測定結果を表す図である。
【図５】耐久性試験ａの累積パーティクル測定結果を表
す図である。
す図である。
【図６】耐久性試験ｂ後のヘッド付着物量を表す図であ
る。
る。
１ スライダー ２ ジンバル ３ ロードビーム ３ａ ロードビームランプ部 ４ マウント ５ 薄膜 ６ ベース ７ スピンドルモータ ８ キャリッジ ９ マグネット １０ ランプ １０ａ ランプガイド １１ 磁気ディスク １２ 磁気ヘッド
Claims (5)
- 【請求項１】 磁気ヘッドスライダーをサスペンション
で支持する磁気ヘッド構造において、前記サスペンショ
ンの、スライダ取り付け側に、カーボンを主成分とする
薄膜を備えたことを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 カーボンを主成分とする前記薄膜の下
に、珪素を主成分とした薄膜を備えていることを特徴と
する請求項１に記載の磁気ヘッド。 - 【請求項３】 前記請求項１あるいは２に記載の磁気ヘ
ッド構造を採用したランプロード方式の磁気ディスク装
置。 - 【請求項４】 前記請求項１あるいは２に記載の磁気ヘ
ッド構造を採用したランプロード方式の磁気ディスク装
置であって、そのヘッドロード・アンロード用ランプの
表面に、カーボンを主成分とする薄膜を備えたことを特
徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項５】 前記ランプ表面におけるカーボンを主成
分とする薄膜の下に、珪素を主成分とする薄膜を備えて
いることを特徴とする請求項４に記載の磁気ディスク装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10351613A JP2000173212A (ja) | 1998-12-10 | 1998-12-10 | 磁気ヘッド構造および磁気ディスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10351613A JP2000173212A (ja) | 1998-12-10 | 1998-12-10 | 磁気ヘッド構造および磁気ディスク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000173212A true JP2000173212A (ja) | 2000-06-23 |
Family
ID=18418458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10351613A Pending JP2000173212A (ja) | 1998-12-10 | 1998-12-10 | 磁気ヘッド構造および磁気ディスク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000173212A (ja) |
-
1998
- 1998-12-10 JP JP10351613A patent/JP2000173212A/ja active Pending
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