JP2000171981A - スクリーン印刷用製版の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】パターン焼付け位置の精度を高め得るスクリー
ン印刷用製版の製造方法を提供する。 【解決手段】マスク作製工程において、所定の相対位置
関係にある光透過領域Ｂおよび複数の位置合わせマーク
２２を備えたポジ・フィルム２０が作製され、スクリー
ン配置工程において、位置決めピン３４と、光透過領域
Ｂと位置合わせマーク２２との相対位置に応じて版枠１
２との相対位置が定められた複数の光射出位置３０から
スクリーン１６に向かって光を射出するための発光装置
とを備えた版・原版セット台２４の載置面２６に、位置
決めピン３４で版枠１２を位置決めしてスクリーン１６
が配置され、露光マスク固定工程において、光射出位置
３０から射出された光と位置合わせマーク２２とが重な
るようにポジ・フィルム２０がスクリーン１６上に固定
され、更に、露光工程において、スクリーン１６の一面
に塗着された感光性樹脂層４２がポジ・フィルム２０を
通して露光される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、版枠の内側に張設
されたスクリーンの一面に感光性樹脂でパターン形成さ
れたスクリーン印刷用製版の製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】スクリーン印刷を利用して厚膜材料を印
刷することにより、導体や絶縁体の厚膜パターンを有す
る厚膜式ＰＤＰ（Plasma Display Panel）基板、プラズ
マ・アドレス液晶パネル（Plasma Addressd Liquid Cry
stal Panel）のプラズマ・スイッチング用基板、ＶＦＤ
（Vacuum Fluorescent Display）の厚膜陽極基板、或い
は厚膜配線基板などが製造されることが知られている。
これらの厚膜基板では、印刷パターンの大型化および高
精細化への要求が年々高まる傾向にある。例えば、ＰＤ
Ｐ基板やプラズマ・スイッチング基板においては、ＨＤ
ＴＶ等の大型且つ高解像度の表示装置が望まれており、
また、ＶＦＤの厚膜陽極基板や厚膜配線基板等では、表
示密度或いは配線密度を高めると共に多数個取りにより
製造効率を高めることが望まれているためである。特
に、基板上に突設されたリブ状壁の頂部にグリッド電極
が備えられるリブ・グリッド型のＶＦＤでは、陽極配線
やグリッド配線が高密度で設けられるだけでなく、それ
らグリッド電極およびリブ状壁が複雑な曲線で構成され
ることから、線間隔を小さくして有効な表示面積を大き
くするためにも高精細化への要求が大きい。

【０００３】一般に、上記スクリーン印刷用製版は、所
定メッシュのスクリーンが版枠に張設された後、そのス
クリーンの一面に液状の感光性樹脂（エマルジョン）を
所定の厚さで塗布して乾燥させ、フィルムやガラス板等
の透光性の基板に遮光性の材料で露光パターンが形成さ
れた露光マスクを介して紫外線等の露光用の光を感光性
樹脂に照射することによりパターンを焼付け、更に、未
露光部分を洗浄除去することで作製される。このとき、
スクリーンは、形成される印刷領域すなわちパターン・
エリアの寸法延いては露光マスクの寸法よりも十分に大
きい寸法に構成されており、上記の露光（焼付け）処理
の際には、露光マスクがスクリーンの略中央に位置する
ように目視による位置合わせが行われる。このため、ス
クリーン印刷用製版のパターン焼付け位置の精度は低く
且つ製版毎に相違しており、厚膜印刷を施すに際して
は、印刷機においてスクリーンの一面に備えられた印刷
領域と基板等の被印刷体との相対位置を調節していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スクリ
ーン印刷をするに際して、スクリーン印刷用製版のスク
リーンは被印刷体の表面から離れた位置に配置され、ス
キージで基板に向かって押圧されることにより被印刷体
の表面に接触する位置まで弾性的に伸ばされる。このと
き、スクリーン上に形成されているパターンはその弾性
伸びの大きさに応じて印刷面に対して水平方向に変位さ
せられるが、その変位量はスクリーン全体で一様とはな
らず版枠の角に近づくほど小さくなるため、印刷された
パターンにスクリーン上の位置に応じた大きさの歪みが
生じる。そのため、印刷領域がスクリーンの中央からず
れた位置に設けられていると、前記のように印刷機上で
印刷領域と被印刷体との位置合わせを行っても、位置ず
れのためにスクリーン中央から遠ざかった部分では歪み
が大きくなってパターンの形状や寸法等の精度が低下す
ることから、高精細化が困難になるという問題があっ
た。このことは、例えばＰＡＬＣパネルにおいてスイッ
チング基板に放電空間を区画形成するために設けられる
隔壁と、液晶の表面に設けられるカラー・フィルタとの
位置ずれを発生させる。また、厚膜回路基板において
は、回路パターンが変形することによって回路部品の実
装が困難になる。更に、リブ・グリッドＶＦＤやＰＤＰ
等の基板のように、被印刷体に複数種類の厚膜を積層形
成する目的で複数種類のパターンのスクリーン印刷用製
版が用いられる場合には、スクリーンに焼き付けられた
パターンすなわち印刷領域の版枠に対する位置が相互に
異なると、印刷領域内の同一位置における歪みの大きさ
が相違することに起因して、それぞれで形成されるパタ
ーンの相対位置精度が低下するという問題もある。この
ような相対位置精度の低下は、印刷領域が大きくなるほ
ど上記の歪みが大きくなることに起因して著しくなるた
め、印刷パターンの大型化および高精細化を図る上で大
きな障害になっていた。

【０００５】以上のことから、印刷機におけるパターン
と被印刷体との相対位置の調節だけでは高精度の印刷を
成し得ないため、一層高精度のスクリーン印刷を可能と
するためには、スクリーンと印刷領域との相対位置精度
を高めることが望まれるのである。本発明はこのような
事情を背景として為されたものであり、その目的は、パ
ターン焼付け位置の精度を高め得るスクリーン印刷用製
版の製造方法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成するた
めの本発明の要旨とするところは、版枠に張設されたス
クリーンの一面に塗着された感光性樹脂を露光によりパ
ターン形成するスクリーン印刷用製版の製造方法であっ
て、(a) 所定の相対位置関係にある露光パターンおよび
複数の位置合わせマークを備えた露光マスクを用意する
工程と、(b) 前記版枠を載置面の所定位置に位置させる
ための位置決め装置と、前記位置合わせマークの位置に
応じてその版枠との相対位置が定められた複数の光射出
位置からその載置面上に配置された前記スクリーンに向
かって光を射出するための発光装置とを備えた露光マス
ク取付台において、その載置面の所定位置にその位置決
め装置でその版枠を位置決めしてそのスクリーンを配置
するスクリーン配置工程と、(c) 前記光射出位置から射
出された光と前記位置合わせマークとが重なるように前
記露光マスクを前記スクリーン上に載置して固定する露
光マスク固定工程と、(d) 前記スクリーンの一面に塗着
された前記感光性樹脂をそのスクリーン上に固定された
前記露光マスクを通して露光する露光工程とを、含むこ
とにある。

【０００７】

【発明の効果】このようにすれば、スクリーン印刷用製
版を製造するに際しては、露光マスクを用意する工程に
おいて、所定の相対位置関係にある露光パターンおよび
複数の位置合わせマークを備えた露光マスクが用意さ
れ、スクリーン配置工程において、版枠を載置面の所定
位置に位置させるための位置決め装置と、位置合わせマ
ークの位置に応じてその版枠との相対位置が定められた
複数の光射出位置からその載置面上に配置されたスクリ
ーンに向かって光を射出させるための発光装置とを備え
た露光マスク取付台のその載置面の所定位置に、位置決
め装置で版枠を位置決めしてスクリーンが配置され、露
光マスク固定工程において、光射出位置から射出された
光と位置合わせマークとが重なるように露光マスクがス
クリーン上に載置されて固定され、更に、露光工程にお
いて、スクリーンの一面に塗着された感光性樹脂がその
スクリーン上に固定された露光マスクを通して露光され
る。そのため、光射出位置に対して、位置合わせマーク
の位置に応じて定められた所定の相対位置に版枠が位置
するように露光マスク取付台の載置面にスクリーンが載
置された状態で、光射出位置から射出された光と位置合
わせマークとが重なるようにそのスクリーン上に露光マ
スクが固定されることから、その露光マスクに備えられ
る露光パターンとスクリーンとは、位置合わせマーク、
光射出位置、および版枠相互の位置関係に基づく一定の
相対位置に位置させられる。したがって、その後に行わ
れる感光性樹脂の露光処理では、スクリーンの一定の位
置に露光パターンが焼き付けられるため、パターン焼付
け位置の精度を高められる。

【０００８】上記により、スクリーン印刷用製版の版枠
に対する印刷領域の相対位置精度が高められるので、ス
クリーン印刷により被印刷体の表面に厚膜を形成した際
にもパターン形状や寸法等の変化が小さくなるため、被
印刷体延いては印刷領域の大型化および高精細化が容易
になる。しかも、被印刷体の表面に相互に異なるパター
ンを有する複数のスクリーン印刷用製版を用いて厚膜を
積層形成する場合にも、個々のスクリーン印刷用製版の
パターン形成を上記のように高精度で行うことにより、
製版毎に形成される厚膜相互の相対位置精度が高められ
るため、印刷領域の大型化および高精細化が容易にな
る。更に、版枠に対する印刷領域の相対位置精度が高め
られることにより、印刷時における版枠の適切な配設位
置が一定に保たれるため、それが版枠毎に相違する場合
に比較して印刷領域と被印刷体との相対位置合わせが容
易になる。また、複数のスクリーン印刷用製版を用いて
被印刷体に複数の厚膜パターンを順次形成する場合に
も、印刷領域内の同位置における歪みの程度が同様にな
ることから複数のパターンの相対位置精度が高められる
ため、印刷時におけるパターン相互の位置合わせも容易
になる。

【０００９】因みに、印刷工程におけるスクリーン印刷
用製版の印刷領域と被印刷体との位置合わせは、その被
印刷体上に試し刷りすることにより行われている。この
とき、版枠に対するパターン焼付け位置精度が低い場合
には、スクリーン印刷用製版を印刷機に取り付けた後、
目視により位置合わせ、試し刷りによる粗合わせ、およ
び試し刷りによる微調整を順次実施する必要があり、粗
合わせおよび微調整の目的で試し刷りが繰り返されるた
め多大な時間を必要としていた。これに対して、パター
ン焼付け位置精度が高い場合には、印刷機の版枠の取付
位置を一定に保って、実質的に取り付けるだけで比較的
精度の高い粗合わせが為されるようにできる。そのた
め、粗合わせの時間が不要になると共に、微調整に必要
な試し刷り回数も減じられることから、位置合わせに必
要な時間が飛躍的に短くなるのである。

【００１０】

【発明の他の態様】ここで、好適には、(b-2) 前記発光
装置は、前記露光マスク取付台の内部から前記載置面に
向かって光を発する発光器と、その発光器から発せられ
た光を透過させるための光透過部を前記光射出位置に有
する光透過装置とを、含むものである。このようにすれ
ば、露光マスク取付台の内部から発光器によって発せら
れた光が、光透過装置の光透過部を通して光射出位置か
ら選択的に射出される。そのため、その光透過部から射
出された光と前記の位置合わせマークとを重ね合わせる
ことにより、容易に露光マスクをスクリーンの一定位置
に位置させることができる。

【００１１】また、好適には、(b-3) 前記発光装置の光
射出位置は、前記スクリーンの前記載置面側に位置する
裏面に略接する高さ位置に設けられているものである。
このようにすれば、光射出位置がスクリーンの裏面に略
接する高さ位置に設けられていることから、そのスクリ
ーンの上に載置される露光マスクと光射出位置との距離
は略零になる。そのため、露光マスクの裏面側から観察
して位置合わせマークと光射出位置とを一定の相対位置
に位置させるに際して、発光装置から発せられる光の指
向性が低く或いは射出方向が載置面に垂直でない場合に
も、その光の特性に起因して相対位置の誤差が生じるこ
とが抑制される。

【００１２】また、好適には、前記のスクリーン印刷用
製版の製造方法は、複数種類のパターンの厚膜をスクリ
ーン印刷によって被印刷体の表面に順次形成するために
用いられるスクリーン印刷用製版を製造するに際して、
寸法および形状が同様な複数の版枠にそれぞれ張設され
た複数のスクリーンの一面に塗着された感光性樹脂をそ
れぞれ露光することにより互いに異なる複数種類のパタ
ーンをそれぞれ形成するスクリーン印刷用製版の製造方
法であって、(a) 露光パターンが形成された光透過領域
および複数の位置合わせマークを所定の相対位置関係で
それぞれ備えた複数の露光マスクを用意する工程と、
(b) 前記版枠を載置面の所定位置に位置させるための位
置決め装置と、前記位置合わせマークの位置に応じてそ
の版枠との相対位置が定められた複数の光射出位置から
その載置面上に配置された前記スクリーンに向かって光
を射出するための発光装置とを備えた露光マスク取付台
において、その載置面の所定位置にその位置決め装置で
前記複数の版枠を順次位置決めしてそのスクリーンを配
置するスクリーン配置工程と、(c) 前記光射出位置から
射出された光と前記位置合わせマークとが重なるよう
に、前記載置面に順次配置される前記複数のスクリーン
の各々の上に前記複数の露光マスクを順次載置して固定
する露光マスク固定工程と、(d) 前記複数のスクリーン
の一面にそれぞれ塗着された前記感光性樹脂をそれら複
数のスクリーンの各々の上にそれぞれ固定された前記複
数の露光マスクを通して露光する露光工程とを、含むも
のである。

【００１３】このようにすれば、複数の露光マスクを用
意する工程において、露光パターンが形成された光透過
領域および複数の位置合わせマークを所定の相対位置関
係でそれぞれ備えた複数の露光マスクが用意される一
方、スクリーン配置工程において、版枠を載置面の所定
位置に位置させるための位置決め装置と、位置合わせマ
ークの位置に応じて版枠との相対位置が定められた複数
の光射出位置からその載置面上に配置されたスクリーン
に向かって光を射出するための発光装置とを備えた露光
マスク取付台において、その載置面の所定位置に位置決
め装置で複数の版枠を順次位置決めしてスクリーンが配
置され、次いで、露光マスク固定工程において、光射出
位置から射出された光と位置合わせマークとが重なるよ
うに、前記載置面に順次載置される複数のスクリーンの
各々の上に複数の露光マスクが順次載置されて固定さ
れ、続く露光工程において、複数のスクリーンの一面に
それぞれ塗着された感光性樹脂がそれら複数のスクリー
ンの各々の上に固定された複数の露光マスクを通して露
光される。そのため、光射出位置に対して、位置合わせ
マークの位置に応じて定められた所定の相対位置に版枠
が位置するように露光マスク取付台の載置面にスクリー
ンが載置された状態で、光射出位置から射出された光と
位置合わせマークとが重なるように、複数のスクリーン
の各々の上に複数の露光マスクの各々が固定されること
から、それら複数の露光マスクにそれぞれ備えられる光
透過領域とスクリーンとは、位置合わせマーク、光射出
位置、および版枠相互の位置関係に基づく一定の相対位
置に位置させられる。したがって、その後に行われる感
光性樹脂の露光処理では、複数のスクリーンの一定の位
置に光透過領域にそれぞれ形成された露光パターンが焼
き付けられるため、複数のスクリーン印刷用製版相互の
パターン焼付け位置の精度を高めることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。なお、以下の実施例におい
て、各部の寸法比等は必ずしも正確に描かれていない。

【００１５】図１は、本発明の一適用例により製造され
た大型基板に用いられる比較的大型の厚膜スクリーン印
刷用製版１０の全体を示す斜視図、図２はその厚膜スク
リーン印刷用製版１０の要部断面図を示している。この
製版１０は、対辺が互いに平行な４辺により囲まれた矩
形枠であって、たとえば縦方向および横方向がそれぞれ
1 〜2(m)程度の枠寸法を有する軽合金製の版枠１２と、
エポキシ樹脂などの接着剤１４を用いてその版枠１２の
一面に固着されたスクリーン１６とを備えている。この
スクリーン１６は、たとえばステンレス鋼製の金属細線
或いはナイロン、ポリエステルなどの合成樹脂製の細線
を縦糸および横糸として織られたメッシュ（網）であ
り、たとえば５０メッシュ（＃５０）や８０メッシュ
（＃８０）などが用いられる。また、上記スクリーン１
６は、上記版枠１２よりも十分に大きな図示しない枠に
おいてたとえば紗張機を用いて５０メッシュで0.40(m
m)、８０メッシュで0.90(mm)の張力が付与されつつ、上
記版枠１２に接着されることにより、その張力が維持さ
れた状態で上記版枠１２に接着されている。なお、上記
張力は、株式会社トープロテック社製のＳＴＧ−７５Ｇ
型テンションゲージを用いて版枠１２の中央位置を測定
して得た値である。

【００１６】上記スクリーン１６の全面には、図２に示
すように、たとえば数十乃至百数十(μm)の厚みを備え
た感光性樹脂１８が固着されている。この感光性樹脂１
８は、印刷時において厚膜印刷ペーストを通過させない
レジスト層として機能するものであって、露光されるこ
とにより重合が進行して機械的強度が高められている
が、スクリーン１６の中央部には、上記感光性樹脂１８
が除去された所定パターンの厚膜ペースト通過領域Ａす
なわち印刷領域が形成されている。この所定パターンの
厚膜ペースト通過領域Ａは、原画が形成されたポジ・フ
ィルム２０（図４参照）などにより露光時に遮光された
非露光領域であって、感光性樹脂乳液（エマルジョン）
が乾燥により塗着されたままの状態であるため、たとえ
ば水に浸漬し、更に必要に応じて水を噴霧或いは噴射す
ることにより除去されたものである。

【００１７】以上のように構成された厚膜スクリーン印
刷用製版１０は、たとえば図３(a)、(b) に示す工程を
経て製造される。なお、大型基板の一面に隔壁や放電電
極等を構成する複数種類の厚膜パターンを順次形成する
場合には、一定の大きさを有する前記の印刷領域Ａにそ
れら複数種類の厚膜パターンの各々が備えられた複数の
製版１０が用意される。それら複数の製版１０は、何れ
も寸法および形状が同一の版枠１２を用いて、以下に説
明する同様な工程を経て製造される。図３(a)におい
て、先ず、スクリーン固定工程Ｓ１では、所定の張力が
付与された５０メッシュ（＃５０）程度のスクリーン１
６が、接着剤１４を用いて版枠１２の一面に接着され
る。続く洗浄工程Ｓ２では、版枠１２に接着されたスク
リーン１６が、苛性ソーダ或いはクレゾールなどのアル
カリを用いて脱脂された後、溶剤、洗剤、水などを用い
て洗浄される。

【００１８】次いで、感光性樹脂層塗着工程Ｓ３では、
版枠１２に張設されたスクリーン１６の一面すなわち印
刷時に基板と接触する側の面に、たとえばジアゾ系の感
光性樹脂乳剤（感光性樹脂液）を塗布して乾燥を行う塗
着作業を繰り返すことにより、スクリーン１６の開口を
閉じるすなわちスクリーン１６の目を塞ぐ所望厚みの感
光性樹脂層４２（後述する図６(b) 等を参照）を塗着す
る。たとえば、 30(μm)程度の膜厚を得る場合には、上
記の塗着作業が５乃至６回繰り返される。

【００１９】次いで、原版貼付工程Ｓ４では、別途作製
されたポジ・フィルム２０がスクリーン１６の中央部で
あって感光性樹脂層４２の上に密着状態で貼り付けられ
る。なお、原版貼付工程Ｓ４および後述する露光工程Ｓ
５における全作業は、感光性樹脂４２を露光しないよう
に、たとえば暗室内で行われる。図４に示すように、ポ
ジ・フィルム２０は、印刷パターンに対応する露光パタ
ーンを有する光透過領域Ｂを略中央部に備えたものであ
って、その光透過領域Ｂの周囲には、たとえば直径0.8
(mm) 程度の大きさの円形の位置合わせマーク２２が６
箇所に設けられている。この位置合わせマーク２２は、
後述する露光工程Ｓ５においてスクリーン１６に焼き付
けられる印刷パターンの焼付け位置精度を高める目的で
設けられたものであって、ポジ・フィルム２０は、位置
合わせマーク２２を利用して図３(b) に示される工程に
従ってスクリーン１６に貼り付けられる。本実施例にお
いては、ポジ・フィルム２０が露光マスクに相当する。

【００２０】上記の図３(b) において、マスク作製工程
Ｓ４１では、露光パターンおよび位置合わせマーク２２
が同時に焼き付けられた前記のポジ・フィルム２０を作
製する。複数種類のパターンを備えた複数の製版１０を
製造する場合には、同時に形成された露光パターンおよ
び位置合わせマーク２２をそれぞれ備えた複数のポジ・
フィルム２０がそのパターン毎に用意される。このと
き、それぞれの露光パターンが設けられている光透過領
域Ｂと位置合わせマーク２２との相対的な位置は、複数
のポジ・フィルム２０相互に同様に設定される。すなわ
ち、複数のポジ・フィルム２０は、それぞれに備えられ
ている複数の位置合わせマーク２２の位置が一致するよ
うに重ね合わせた場合に光透過領域Ｂの位置が一致する
ように作製される。本実施例においては、この工程が露
光マスクを用意する工程或いは複数の露光マスクを用意
する工程に対応する。次いで、スクリーン配置工程Ｓ４
２では、図５に示す版・原版セット台２４の載置面２６
の所定位置にスクリーン１６を配置する。

【００２１】上記の版・原版セット台２４は、超高圧水
銀灯やメタルハライドランプ等の前記の感光性樹脂１８
を感光しない光を発生させる発光器として機能するラン
プ２８を図６(b) に示されるように内部に備えて、載置
面２６から上方に光を射出するように構成されたライト
・テーブルである。図５に示すように、その載置面２６
上には、板状を成して光が選択的に射出される光射出位
置３０をその上面の６箇所に備えた位置合わせ治具３２
が略中央部に固定されると共に、版枠１２をその載置面
２６上の一定の位置に位置させるための３本の位置決め
ピン３４がその位置合わせ治具３２の側方に備えられて
いる。上記の６箇所の光射出位置３０は、相互の中心間
隔が前記のポジ・フィルム２０の位置合わせマーク２２
の中心間隔と同様に設定されており、光射出位置３０と
位置決めピン３４との相対位置は、版枠１２がその位置
決めピン３４によって位置決めされた際に光射出位置３
０がスクリーン１６の適切な位置に位置するように、後
述するように位置合わせマーク２２の位置に応じて、或
いはそれと光透過領域Ｂとの相対位置をも考慮して設定
されている。本実施例においては、上記の位置決めピン
３４が位置決め装置に相当する。

【００２２】また、位置合わせ治具３２は、光透過装置
として機能するものであって、図６(b) に示すようにラ
ンプ２８から発せられる光が透過させられる透明部３６
と、直径1.0(mm) 程度の円形の光透過穴３８を上記の光
射出位置３０に有してその透明部３６の一面に設けられ
た遮光部４０とから構成される。すなわち、位置合わせ
マーク２２の直径は、相対値で穴３８の0.8 程度であ
る。透明部３６は、例えばガラス板から成るものであ
り、遮光部４０は、例えば金属或いは樹脂製の膜或いは
薄板等から成るものである。そのため、版・原稿セット
台２４の内部から載置面２６に向かって発せられた光
は、６箇所の光透過位置３０すなわちその位置合わせ治
具３２の６箇所に設けられた光透過穴３８内だけから射
出されることとなる。本実施例においては、ランプ２８
および位置合わせ治具３２で発光装置が構成されてお
り、光透過穴３８が光透過部に相当する。

【００２３】前記のスクリーン配置工程Ｓ４２において
スクリーン１６を載置面２６上に配置するに際しては、
スクリーン１６が版枠１２の上側に位置する向きで位置
合わせ治具３２を覆うようにその載置面２６上に載置
し、版枠１２の二辺を前記の３本の位置決めピン３４に
押し当てる。これにより、それら３本の位置決めピン３
４によって予め定められた載置面２６上の定位置に版枠
１２が位置させられ、その版枠１２の内側に備えられて
いるスクリーン１６は、その中央に位置決め治具３２が
位置するように配置される。図６(a) は、このようにし
てスクリーン１６が載置面２６上に配置された状態を示
しており、光射出位置３０は、版枠１２に対して、その
光射出位置３０と位置決めピン３４との相対位置によっ
て定められた相対位置に位置させられている。このと
き、位置決め治具３２の厚さは版枠１２の厚さと略等し
くされていることから、図６(b) に示されるように、位
置決め治具３２の上面はスクリーン１６の裏面に略接す
ることとなる。なお、図６(a)、(b) に示されるよう
に、スクリーン１６の全面には感光性樹脂層４２が塗着
されて目が塞がれていることから、ランプ２８が消灯さ
せられている状態では、位置決め治具３２はスクリーン
１６越しには殆ど見えていない。

【００２４】図３(b) に戻って、マスク載置工程Ｓ４３
では、前記のポジ・フィルム２０をスクリーン１６に載
せる。この段階では、ポジ・フィルム２０は目視によっ
てスクリーン１６の略中央に位置させられる。続く、マ
スク位置決め工程Ｓ４４においては、版・原稿セット台
２４の内部に備えられているランプ２８が点灯させられ
ることにより光透過穴３８を通った光が６箇所の光射出
位置３０から射出された状態で、ポジ・フィルム２０と
スクリーン１６との位置合わせを行う。上述したように
スクリーンの目は感光性樹脂層４２によって塞がれてい
るが、光の強さを適宜設定することによってその感光性
樹脂４２を通してポジ・フィルム２０まで光を到達させ
ることが可能である。なお、ランプ２８は、ポジ・フィ
ルム２０をスクリーン１６に載せる際に予め点灯させて
も差し支えない。また、ランプ２８の光では感光性樹脂
４２は感光しないため、この位置合わせの際に感光性樹
脂４２の重合が進行することはない。

【００２５】上記の位置合わせは、例えば１０倍程度の
倍率のルーペでポジ・フィルム２０の上面側から観察し
て、位置合わせマーク２２と光射出位置３０から射出さ
れた光とが同軸に重なるようにポジ・フィルム２０の位
置を調節することによって行われる。前述したように、
６箇所の位置合わせマーク２２および６箇所の光射出位
置３０は相互の中心間隔が同様に設定されており、位置
合わせマーク２２は光透過穴３８よりも僅かに小さい直
径に形成されている。そのため、それらの間に幅0.1(m
m) 程度の円環状の隙間が形成されることから、高倍率
のルーペで観察して全ての位置合わせマーク２２の各々
の回りから一様に光が漏れる位置にポジ・フィルム２０
を位置させることにより、ポジ・フィルム２０の光透過
領域Ｂは、スクリーン１６上において光射出位置３０と
の相対位置が、その光透過領域Ｂと位置合わせマーク２
２との相対位置と同様となるように位置させられる。図
７は、このようにしてポジ・フィルム２０の位置合わせ
を行った状態を表しており、図８にその断面の要部を拡
大して示すように、ポジ・フィルム２０の位置合わせマ
ーク２２は、光透過穴３８の真上に位置させられてい
る。

【００２６】このとき、光射出位置３０および位置決め
ピン３４は載置面２６の一定の位置に固定されているた
め、その位置決めピン３４によって位置決めされた版枠
１２と光射出位置３０との相対位置は、光射出位置３０
と位置決めピン３４との相対位置で決定される。この結
果、上記のように位置合わせされることによって光射出
位置３０との相対位置が位置合わせマーク２２との相対
位置に基づいて決定されている光透過領域Ｂは、版枠１
２およびスクリーン１６に対して一定の相対位置に位置
させられる。すなわち、版枠１２と光透過領域Ｂとの相
対位置は、位置決めピン３４、光射出位置３０、位置合
わせマーク２２、および光透過領域Ｂ相互の位置関係に
基づいて一義的に決定される。前記の光射出位置３０と
位置決めピン３４との相対位置は、光透過領域Ｂと位置
合わせマーク２２との相対位置に応じて、上記のように
ポジ・フィルム２０が配置された際に版枠１２と光透過
領域Ｂとの相対位置がスクリーン１６の中央に光透過領
域Ｂの配置される位置関係となるように設定されている
のである。このようにして、ポジ・フィルム２０の光透
過領域Ｂ延いては露光パターンをスクリーン１６に対し
て高精度に位置決めした後、続く貼付工程Ｓ４５におい
て、図７に一点鎖線で示されるように、その位置関係で
ポジ・フィルム２０がスクリーン１６に粘着テープ４４
等によって貼り付けられて固定される。本実施例におい
ては、マスク載置工程Ｓ４３乃至貼付工程Ｓ４５が露光
マスク固定工程に対応する。

【００２７】複数の製版１０が製造される場合には、同
一の版・原稿セット台２４および位置合わせ治具３２を
用いて、上記のマスク位置決めおよび固定が製版１０毎
に、複数の版枠１２を載置面２６上で順次位置決めし
て、ルーペで観察して光射出位置３０から射出された光
とポジ・フィルム２０の位置合わせマーク２２とを重ね
合わせることで行われる。そのため、複数のポジ・フィ
ルム２０にそれぞれ備えられている位置合わせマーク２
２が各々の光透過領域Ｂに対して一定の位置関係で設け
られていることから、上記のように位置合わせ治具３２
から射出された光と位置合わせマーク２２とが重なるよ
うに位置合わせをすることにより、複数のスクリーン１
６の同一位置に光透過領域Ｂが位置するようにポジ・フ
ィルム２０がそれぞれ固定されることとなる。

【００２８】図３(a) に戻って、露光工程Ｓ５では、ア
ーク灯、或いはキセノン・ランプなどの紫外線を含む光
源を用いて所定時間の露光が行われる。このとき、前記
のようにポジ・フィルム２０がスクリーン１６の中央に
正確に位置させられていることから、そのスクリーン１
６へのパターン焼付けは、中央位置に高精度で為される
こととなる。更に、複数の製版１０を製造する場合には
露光工程Ｓ５が順次実施されるが、何れの製版１０にも
スクリーン１６上の同一位置にパターンが焼付けられる
こととなる。続く現像工程Ｓ６では、必要に応じて版枠
１２ごと水中に浸漬された後、水をスプレすることによ
り、未露光部分の感光性樹脂層４２が除去され、仕上工
程Ｓ７では、全面露光により感光性樹脂層４２から成る
レジスト膜すなわち感光性樹脂１８が強化される。これ
らの処理は、複数の製版１０を製造する場合には、製版
１０毎に順次実施される。

【００２９】ここで、図９は、ライン状の二種類の厚膜
パターン、例えば３電極型ＡＣ−ＰＤＰに備えられる隔
壁４６と書込電極４８とを、上記のようにして製造した
二枚のスクリーン印刷用製版１０を用いて基板上にスク
リーン印刷によって順次形成した状態を模式的に示す図
である。図に示される位置は、印刷領域Ａの周縁部に対
応しており、隔壁４６および書込電極４８は、それらの
長手方向における中央部が図示しない版枠１２に向かっ
て凸になるように湾曲させられている。しかしながら、
その変形状態（湾曲状態）は、隣接して位置するもの相
互に略同様になっているため、隔壁４６と書込電極４８
との相互間隔は、スクリーン１６上に形成されている印
刷領域Ａ内における値に略保たれている。前述のよう
に、複数の製版１０の各々に備えられる印刷領域Ａはス
クリーン１６の同一位置に高い位置精度で形成されてい
ることから、そのスクリーン１６の周縁部を固定してい
る版枠１２との距離に基づくパターンの変形が複数の製
版１０相互に同様となっているため、相互間隔が保たれ
て順次形成される厚膜の層間相対位置精度が高められる
のである。

【００３０】これに対して、図１０に一点鎖線α，βで
例示されるように印刷領域Ａが実線で示されるスクリー
ン１６の中央位置からずれて形成されている場合には、
その実線で示される位置に印刷領域Ａがある製版１０
と、一点鎖線α等で示されるように中央からずれた位置
に印刷領域Ａがある製版１０とでは、印刷領域Ａ内の対
応する部分がスクリーン１６上の異なる位置に位置する
こととなる。そのため、スクリーン印刷をするに際して
スキージでスクリーン１６を基板に向かって押し付けた
ときのパターンの変形は、そのスクリーン１６内におけ
る位置に応じて変化することから、上記のように印刷領
域Ａが異なる位置にある製版１０によってそれぞれ形成
される厚膜パターンは、変形状態が相違する。そのた
め、前記の図９に一点鎖線で書込電極４８の形成位置を
示すように、隔壁４６と湾曲状態が相違して、相互間隔
や相対的な位置関係を製版１０上における状態に維持し
得なくなる。したがって、このような場合には、変形の
許容幅を大きく設計する必要があって、大型化や高精細
化が困難になるのである。このことは、一辺が1 〜2(m)
程度と極めて大きな製版１０において、ＰＤＰに要求さ
れる数 (μm)、例えば、Ｓ−ＶＧＡであれば±3(μm)程
度の精度を実現するための大きな障害となる。なお、図
９においては湾曲状態が誇張して描かれている。

【００３１】なお、上記のように印刷するに際して、印
刷領域Ａと基板との相対位置を位置合わせする必要があ
るが、その位置合わせは、目視により大まかに版枠１２
の取付位置を定めて印刷機に製版１０を固定した後、パ
ターン焼付け時に同時に製版１０に形成される「とん
ぼ」と称される印を基準として、試し刷りを繰り返すこ
とで行われる。この場合において、製版１０の印刷領域
Ａは、スクリーン１６の中央に高い位置精度で形成され
ているため、版枠１２を固定するだけで十分に高い位置
精度が得られる。そのため、粗合わせを必要とすること
なく、１回、多くとも２回程度の試し刷りを行って版枠
１２の固定位置の微調整を行うだけで印刷領域Ａを所望
の位置に位置させることができる。したがって、製版１
０を印刷機に取り付けて位置調節を実施するために必要
な時間が著しく短くなって、生産効率が高められるとい
う利点もある。例えば、従来においては、1 〜2(m)四方
程度の大きさの製版を印刷機で位置決めするために10〜
15分程度の時間を要していたが、製版１０のようにパタ
ーン焼付け位置の精度を高めることにより、その所要時
間は1 〜2 分程度に減じられる。因みに、層間相対位置
精度が低い場合には、図９における隔壁４６と一点鎖線
で示される書込電極４８との位置関係から明らかなよう
に、厚膜の相互間隔が一様になるように基板と印刷領域
Ａとの位置合わせを行うことが困難になる。従来におい
て位置決めに必要な時間が長くなっていたのは、このこ
とも一因となっている。なお、上記の「とんぼ」は、位
置合わせマーク２２で兼ねても差し支えない。

【００３２】要するに、本実施例によれば、スクリーン
印刷用製版１０を製造するに際しては、マスク作製工程
Ｓ４１において、所定の相対位置関係にある光透過領域
Ｂおよび複数の位置合わせマーク２２を備えたポジ・フ
ィルム２０が作製され、スクリーン配置工程Ｓ４２にお
いて、版枠１２を載置面２６の所定位置に位置させるた
めの位置決めピン３４と、位置合わせマーク２２の位置
に応じてその版枠１２との相対位置が定められた複数の
光射出位置３０からその載置面２６上に配置されたスク
リーン１６に向かって光を射出させるためのランプ２８
および位置合わせ治具３２によって構成される発光装置
とを備えた版・原版セット台２４において、その載置面
２６の所定位置に位置決めピン３４で版枠１２を位置決
めしてスクリーン１６が配置され、露光マスク固定工程
において、光射出位置３０から射出された光と位置合わ
せマーク２２とが重なるようにポジ・フィルム２０がス
クリーン１６上に載置されて固定され、更に、露光工程
Ｓ５において、スクリーン１６の一面に塗着された感光
性樹脂層４２がそのスクリーン１６上に固定されたポジ
・フィルム２０を通して露光される。そのため、光射出
位置３０に対して、位置合わせマーク２２の位置に応じ
て定められた所定の相対位置に版枠１２が位置するよう
に版・原版セット台２４の載置面２６にスクリーン１６
が載置された状態で、光射出位置３０から射出された光
と位置合わせマーク２２とが重なるようにそのスクリー
ン１６上にポジ・フィルム２０が固定されることから、
そのポジ・フィルム２０に備えられる光透過領域Ｂとス
クリーン１６とは、位置合わせマーク２２、光射出位置
３０、および版枠１２相互の位置関係に基づく一定の相
対位置に位置させられる。したがって、その後に行われ
る感光性樹脂層４２の露光処理では、スクリーン１６の
一定の位置に光透過領域Ｂが焼き付けられるため、パタ
ーン焼付け位置の精度を高めることができる。

【００３３】上記により、基板の表面に相互に異なるパ
ターンを有する複数のスクリーン印刷用製版１０を用い
て隔壁４６や書込電極４８等の複数種類の厚膜を順次印
刷形成する場合にも、個々のスクリーン印刷用製版１０
のパターン形成を上記のように高精度で行うことによ
り、製版１０毎に形成される厚膜相互の相対位置精度が
高められるため、印刷領域Ａの大型化および高精細化が
容易になる。しかも、版枠１２に対する印刷領域Ａの相
対位置精度が高められることにより、印刷時における版
枠１２の適切な配設位置が一定に保たれるため、それが
版枠１２毎に相違する場合に比較して印刷領域Ａと基板
との相対位置合わせが容易になる。また、複数のスクリ
ーン印刷用製版１０を用いて被印刷体に複数の厚膜パタ
ーンを順次形成する場合にも、印刷領域Ａ内の同位置に
おける歪みの程度が同様になることから複数のパターン
の相対位置精度が高められるため、印刷時におけるパタ
ーン相互の位置合わせも容易になる。また、基板等の被
印刷体に一つの製版１０で設けられる個々の厚膜につい
ても、版枠１２に対する印刷領域Ａの相対位置精度が高
められるので、パターン形状や寸法等の変化が小さくな
るため、この点でも印刷領域の大型化および高精細化が
容易になる。

【００３４】また、本実施例においては、光射出位置３
０がスクリーン１６の裏面に略接する高さ位置に設けら
れていることから、そのスクリーン１６の上に載置され
るポジ・フィルム２０と光射出位置３０との距離は略零
（厳密に言えば、それらの間に感光性樹脂層４２を塗着
されたスクリーン１６が存在する）になる。そのため、
ポジ・フィルム２０の裏面側から観察して位置合わせマ
ーク２２と光射出位置３０とを一定の相対位置に位置さ
せるに際して、ランプ２８のように発せられる光の指向
性が低い場合にも、相対位置の誤差が生じることが抑制
される。

【００３５】また、本実施例においては、基板上に複数
種類のパターンの厚膜を順次形成するために用いられる
複数の製版１０が、マスク作製工程Ｓ４１において、光
透過領域Ｂおよび複数の位置合わせマーク２２を所定の
相対位置関係でそれぞれ表面に備えた複数のポジ・フィ
ルム２０が用意される一方、スクリーン配置工程Ｓ４２
において、版・原版セット台２４の載置面２６の所定位
置に位置決めピン３４で複数の版枠１２を順次位置決め
してスクリーン１６が配置され、次いで、露光マスク固
定工程において、光射出位置３０から射出された光と位
置合わせマーク２２とが重なるように、載置面２６に順
次載置される複数のスクリーン１６の各々の上に複数の
ポジ・フィルム２０が順次載置されて固定され、続く露
光工程Ｓ５において、複数のスクリーン１６の一面にそ
れぞれ塗着された感光性樹脂層４２がそれら複数のスク
リーン１６の各々の上に固定された複数のポジ・フィル
ム２０を通して露光される。そのため、光射出位置３０
に対して、光透過領域Ｂと位置合わせマーク２２との相
対位置に応じて定められた所定の相対位置に版枠１２が
位置するように版・原版セット台２４の載置面２６にス
クリーン１６が載置された状態で、光射出位置３０から
射出された光と位置合わせマーク２２とが重なるよう
に、複数のスクリーン１６の各々の上に複数のポジ・フ
ィルム２０の各々が固定されることから、それら複数の
ポジ・フィルム２０にそれぞれ備えられる光透過領域Ｂ
とスクリーン１６とは、位置合わせマーク２２、光射出
位置３０、および版枠１２相互の位置関係に基づく一定
の相対位置に位置させられる。したがって、その後に行
われる感光性樹脂層４２の露光処理では、複数のスクリ
ーン１６の一定の位置に光透過領域Ｂにそれぞれ形成さ
れたパターンが焼き付けられるため、複数のスクリーン
印刷用製版１０相互のパターン焼付け位置の精度を高め
ることができる。

【００３６】以上、本発明の一適用例を図面を用いて説
明したが、本発明はその他の態様においても適用され
る。

【００３７】たとえば、前述の実施例において、光射出
位置３０は、スクリーン１６の裏面に略接する高さに備
えられていたが、そこから射出される光が位置合わせマ
ーク２２との位置合わせに支障のない程度の指向性を有
していれば、スクリーン１６の裏面から離れた位置に備
えられていても差し支えない。

【００３８】また、実施例においては、発光装置がラン
プ２８および位置合わせ治具３２で構成されていたが、
版・原版セット台２４内の光射出位置３０の直下の位置
等に、指向性の高いレーザ等から成る複数の光源を備え
て発光装置を構成することもできる。

【００３９】また、実施例においては、版枠１２を載置
面２６の所定位置に位置させるための位置決め装置が３
本の位置決めピン３４で構成されていたが、これに代え
て、版枠１２の内周面と位置合わせ治具３２の外周面と
を当接させることによって版枠１２が位置決めされるよ
うに構成することもできる。すなわち、位置決め装置
は、実施例においては位置決め治具３２に備えられてい
る光射出位置３０との相対位置が一定となるように版枠
１２を固定するものであれば、適宜変更することができ
る。

【００４０】また、実施例においては、位置合わせマー
ク２２および光透過穴３８が何れも円形に構成されてい
たが、それらの形状は、予め定められた重なり状態を容
易に判別できる範囲で適宜変更される。また、位置合わ
せマーク２２および光射出位置３０の数は、２つ以上で
あれば任意に変更できる。

【００４１】また、実施例においては、露光マスクがポ
ジ・フィルム２０で構成されていたが、ガラス等にクロ
ム等の適当な遮光材料でパターン形成して露光マスクを
構成してもよい。

【００４２】また、実施例においては、露光パターンが
設けられている光透過領域Ｂの外側に位置合わせマーク
２２が備えられていたが、基板等の被印刷体の機能に支
障がない位置を適宜選択することにより、光透過領域Ｂ
内に位置合わせマーク２２を設けても差し支えない。

【００４３】また、実施例においては、透明部３６と光
透過穴３８を備えた遮光部４０とで位置決め治具３２が
構成されていたが、位置決め治具３２は、光射出位置３
０に貫通穴を備えて全体が遮光性の材料で構成されたも
のであってもよい。

【００４４】なお、上述したのはあくまでも本発明の一
実施例であり、本発明はその主旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の変更が加えられ得るものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一適用例の工程により製造された厚膜
スクリーン印刷用製版を示す斜視図である。

【図２】図１の厚膜スクリーン印刷用製版の要部を拡大
して示す断面図である。

【図３】(a) 、(b) は、図１の厚膜スクリーン印刷用製
版の製造工程の要部を説明する工程図である。

【図４】図３のマスク製造工程で製造されたポジ・フィ
ルムを示す図である。

【図５】図３の原版貼付工程で用いられる版・原版セッ
ト台を示す斜視図である。

【図６】(a) は、図５の版・原版セット台に版枠に固定
されたスクリーンを載置した状態を示す図であり、(b)
は、(a) におけるｂ−ｂ視断面図である。

【図７】図５の版・原版セット台に配置されたスクリー
ン上にポジ・フィルムを固定した状態を示す図である。

【図８】図７におけるVIII−VIII視断面の要部を拡大し
て示す図である。

【図９】図３の製造工程に従って製造された２枚の製版
を用いてライン状の二種類の厚膜パターンを形成した状
態を説明する図である。

【図１０】製版のスクリーン上における印刷領域の位置
関係を説明する図である。

【符号の説明】

１０：厚膜スクリーン印刷用製版 １２：版枠 １６：スクリーン １８：感光性樹脂 ２０：ポジ・フィルム（露光マスク） ２２：位置合わせマーク ２４：版・原版セット台（露光マスク取付台） ２６：載置面 ２８：ランプ（発光器） ３０：光射出位置 ３２：位置合わせ治具 ３４：位置決めピン（位置決め装置） ４２：感光性樹脂層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒田 一朗 福岡県朝倉郡夜須町大字三並字八ツ並2160 番地九州ノリタケ株式会社内 Ｆターム(参考） 2H096 AA19 AA26 AA27 AA28 EA13 JA02 2H097 GA06 GA32 KA05 KA12 KA28 LA05

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 版枠に張設されたスクリーンの一面に塗
   着された感光性樹脂を露光によりパターン形成するスク
   リーン印刷用製版の製造方法であって、 所定の相対位置関係にある露光パターンおよび複数の位
   置合わせマークを備えた露光マスクを用意する工程と、 前記版枠を載置面の所定位置に位置させるための位置決
   め装置と、前記位置合わせマークの位置に応じて該版枠
   との相対位置が定められた複数の光射出位置から該載置
   面上に配置された前記スクリーンに向かって光を射出す
   るための発光装置とを備えた露光マスク取付台におい
   て、その載置面の所定位置に該位置決め装置で該版枠を
   位置決めして該スクリーンを配置するスクリーン配置工
   程と、 前記光射出位置から射出された光と前記位置合わせマー
   クとが重なるように前記露光マスクを前記スクリーン上
   に載置して固定する露光マスク固定工程と、 前記スクリーンの一面に塗着された前記感光性樹脂を該
   スクリーン上に固定された前記露光マスクを通して露光
   する露光工程とを、含むことを特徴とするスクリーン印
   刷用製版の製造方法。
2. 【請求項２】 前記発光装置は、前記露光マスク取付台
   の内部から前記載置面に向かって光を発する発光器と、
   該発光器から発せられた光を透過させるための光透過部
   を前記光射出位置に有する光透過装置とを、含むもので
   ある請求項１のスクリーン印刷用製版の製造方法。
3. 【請求項３】 前記発光装置の光射出位置は、前記スク
   リーンの前記載置面側に位置する裏面に略接する高さ位
   置に設けられているものである請求項１または２のスク
   リーン印刷用製版の製造方法。