JP2000171721A - 顕微鏡装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レボルバに保持されている最大倍率の対物レ
ンズより高い倍率で簡単に標本観察を行うことができる
顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】 複数の対物レンズを保持する電動レボル
バ４０と、対物レンズを介して得られる観察像を観察す
る観察光学系と、観察光学系中に配置可能であり、観察
像を拡大する変倍系７０と、観察光学系に配置された対
物レンズを検出する対物レンズ検出器４５と、対物レン
ズを切り換えるレボルバ回転スイッチ４４とを備えた顕
微鏡装置において、制御部８０がレボルバ回転スイッチ
４４から対物レンズを最大倍率に切り換える回転方向信
号４４ａ，４４ｂを入力したとき、対物レンズ検出器４
５からの検知信号４５ａを参照して変倍系７０を観察光
学系中に配置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は顕微鏡装置に関
し、特に電動によって回転するレボルバを備えた顕微鏡
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の顕微鏡装置は、複数の対物レンズ
を保持する電動レボルバと、電動レボルバを回転させて
対物レンズを切り換えるためのレボルバ回転スイッチと
を備える。

【０００３】レボルバ回転スイッチを押すと、電動レボ
ルバが回転し、対物レンズが順次切り換わる。

【０００４】一般に、まず低倍の対物レンズによる観察
後、徐々に高倍の対物レンズに切り換えて観察を行う。

【０００５】したがって、電動レボルバには低倍から高
倍への倍率の順序で対物レンズが保持されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、観察によっ
ては検鏡者が選択したい倍率や選択したい対物レンズの
数は、レボルバに保持可能な対物レンズの数より多くな
る場合がある。

【０００７】このような場合、検鏡者はレボルバに保持
されている対物レンズの中から任意の対物レンズを外
し、観察したい倍率等を備えた他の対物レンズに付け替
えなければならない。

【０００８】しかし、対物レンズを付け替えたときに
は、再度ピント合せと標本の観察したい範囲を視野内に
入れることが必要であるので、多くの手間と時間がかか
ってしまう。

【０００９】また、可視光及び紫外光の両方で観察が可
能な顕微鏡装置の場合、レボルバには可視光用対物レン
ズの他に紫外光用対物レンズも保持されているが、それ
らの対物レンズのうち紫外光用対物レンズは高価等の理
由から通常１つか２つである。

【００１０】そのため、紫外光による観察を行うときに
は、倍率選択の自由度が無いか、あっても低く、更に高
倍での観察を行うときには他の紫外光対物レンズに付け
替えなければならず、多くの手間と時間がかかってしま
う。

【００１１】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題はレボルバに保持されている最大倍
率の対物レンズより高い倍率で簡単に標本観察を行うこ
とができる顕微鏡装置を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、複数の対物レンズを保持する
レボルバと、前記対物レンズを介して得られる観察像を
観察する観察光学系と、前記観察光学系の光路中に配置
可能であり、前記観察像を拡大する変倍系と、前記観察
光学系の光路中に配置された前記対物レンズを検出する
対物レンズ検出手段と、前記対物レンズを切り換える切
換手段とを備えた顕微鏡装置において、前記切換手段か
ら前記対物レンズを最大倍率に切り換える切換信号を入
力したとき、前記対物レンズ検出手段からの検知信号を
参照して前記変倍系を前記観察光学系中に配置する制御
手段を備えていることを特徴とする。

【００１３】切換手段から対物レンズを最大倍率に切り
換える切換信号を入力したときには、対物レンズは切り
換わらず、観察光学系中に変倍系が配置される。

【００１４】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の顕微鏡装置において、前記対物レンズ検出手段は前記
レボルバの位置情報に基づいて前記観察光学系の光路中
に配置された前記対物レンズを検知することを特徴とす
る。

【００１５】レボルバの位置に対応させて対物レンズを
予め登録しておくことによって観察光学系に配置された
対物レンズを検知することができる。

【００１６】請求項３に記載の発明は、可視光用対物レ
ンズと紫外光用対物レンズとを保持するレボルバと、前
記対物レンズを介して得られる観察像を観察する観察光
学系と、前記観察光学系の光路中に配置可能であり、前
記観察像を拡大する変倍系と、前記観察光学系の光路中
に配置された前記対物レンズを検出する対物レンズ検出
手段と、前記対物レンズを切り換える切換手段とを備え
た顕微鏡装置において、前記切換手段から前記紫外光用
対物レンズの最大倍率に切り換える切換信号を入力した
とき、前記対物レンズ検出手段からの検知信号を参照し
て前記変倍系を前記観察光学系中に配置する制御手段を
備えていることを特徴とする。

【００１７】切換手段から紫外光用対物レンズの最大倍
率に切り換える切換信号を入力したときには、対物レン
ズは切り換わらず、観察光学系中に変倍系が配置され
る。

【００１８】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
の顕微鏡装置において、前記対物レンズ検出手段は前記
レボルバの位置情報に基づいて前記観察光学系の光路中
に配置された前記対物レンズを検知することを特徴とす
る。

【００１９】レボルバの位置に対応させて対物レンズを
予め登録しておくことによって観察光学系に配置された
可視光用対物レンズと紫外光用対物レンズとを検知する
ことができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。

【００２１】図１及び図２は顕微鏡装置を示す破断面図
である。

【００２２】なお、図１は照明光として可視光照明系を
選択したときの状態を示し、図２は照明光として紫外光
照明系を選択したときの状態を示す図である。

【００２３】この顕微鏡装置は、顕微鏡本体１０と、鏡
筒３０と、電動レボルバ（レボルバ）４０と、レボルバ
回転スイッチ（切換手段）４４と、ステージ５０と、紫
外光用ディテクタ６０と、変倍系７０とを備える。

【００２４】顕微鏡本体１０は、ベース１０Ａと、支柱
１０Ｂと、アーム１０Ｄとで構成される。

【００２５】アーム１０Ｄの背面側には、ハロゲンラン
プ２２を内蔵するランプハウス９０が設けられている。
また、アーム１０Ｄの上部には、紫外像検出ユニット１
０Ｃが載置されている。この紫外像検出ユニット１０Ｃ
は、顕微鏡本体１０に対して着脱可能である。

【００２６】鏡筒３０は紫外像検出ユニット１０Ｃの上
部に取り付けられ、接眼レンズ３１を有する。

【００２７】紫外光用ディテクタ６０は紫外像検出ユニ
ット１０Ｃの上部に取り付けられ、紫外光用ＣＣＤ（図
示せず）を有する。

【００２８】電動レボルバ４０はアーム１０Ｄの下面に
取り付けられ、電動レボルバ４０には複数の対物レンズ
４１，４２が保持されている。対物レンズ４１は可視光
用を、対物レンズ４２は紫外光用をそれぞれ示す。電動
レボルバ４０はモータ（図示せず）によって駆動され
る。

【００２９】なお、紫外光用対物レンズは、可視光と紫
外光との両方において適正な収差補正をすることが困難
なために使用されている。

【００３０】レボルバ回転スイッチ４４は電動レボルバ
４０の回転方向を指示するボタン式スイッチ４４Ａ，４
４Ｂを備え、スイッチ４４Ａ，４４Ｂを押すことによっ
て電動レボルバ４０が正転又は逆転する。

【００３１】ステージ５０はベース１０Ａ上に設けら
れ、対物レンズ４１，４２の光軸に沿って上下動する。

【００３２】紫外像検出ユニット１０Ｃ内には水銀ラン
プ１２、ＵＶフィルタ１３、紫外光用リレー光学系を構
成するリレーレンズ１４，１５、シャッタ１６、ハーフ
ミラー１７及び変倍系７０が配置されている。

【００３３】変倍系７０は紫外光観察光学系の光路Ｌ２
上に配置可能であり、変倍レンズ７１，７２によって観
察像を拡大する。変倍系７０は変倍レンズホルダ７８に
保持されている。

【００３４】変倍レンズホルダ７８は複数のコロ７３ａ
を転動可能に支持するコロレース機構を介して固定ガイ
ド部７５に取り付けられ、固定ガイド部７５に対して移
動可能である。

【００３５】変倍レンズホルダ７８の上部にはラック７
６Ａが形成され、このラック７６Ａはモータ（例えばＤ
Ｃモータ）７７の回転軸に固着されたピニオン７７Ａと
噛み合っている。モータ７７は紫外像検出ユニット１０
Ｃに固着されている。

【００３６】シャッタ１６はソレノイド１６Ａによって
駆動され、可視光観察を行うとき、紫外光が観察系光路
に入射しないように紫外光照明系光路に挿入される。

【００３７】アーム１０Ｄ内にはハロゲンランプ２２及
び可視光用リレー光学系を構成するリレーレンズ２４，
２５が配置されている。

【００３８】また、紫外像検出ユニット１０Ｃの内部空
間とアーム１０Ｄの内部空間とは開口Ｓを介して連通し
ており、この開口Ｓを介して２階建て構造の中空ブロッ
ク１８が両内部空間に渡って配置されている。

【００３９】ハーフミラー１８Ａの上部に第１の遮光体
１８Ｂが、第２の遮光体１８Ｃの上部に全反射ミラー１
８Ｄがそれぞれ一体に形成されている。

【００４０】この中空ブロック１８はアーム１０Ｄのモ
ータ２０で駆動される。

【００４１】中空ブロック１８は、水銀ランプ１２及ハ
ロゲンランプ２２の光路に対して直交する方向（図面を
貫通する方向）へ移動できる。

【００４２】したがって、紫外光照明光路に対して全反
射ミラー１８Ｄ及び遮光体１８Ｂのいずれか一方を配置
することができるとともに、可視光照明系光路に対して
ハーフミラー１８Ａ及び遮光体１８Ｃのいずれか一方を
配置することができる。

【００４３】遮光体１８Ｂを紫外光照明系光路に配置し
たとき、貫通孔１８Ｆの中心軸は可視光観察光学系の光
路Ｌ１上に位置する。

【００４４】また、遮光体１８Ｃを可視光照明系光路に
配置したとき、貫通孔１８Ｇの中心軸は紫外光観察光学
系の光路Ｌ２上に位置する。

【００４５】中空ブロック１８は、複数のコロ１８ａを
転動可能に支持するコロレース機構を介して固定ガイド
部１９に取り付けられ、固定ガイド部１９に対して移動
可能である。

【００４６】中空ブロック１８の上部にはラック１８Ｅ
が形成され、このラック１８Ｅはモータ（例えばＤＣモ
ータ）２０の回転軸に固着されたピニオン２０Ａと噛み
合っている。モータ２０は固定ガイド部１９に固着され
ている。

【００４７】照明光として可視光が選択されたとき、モ
ータ２０が作動して中空ブロック１８が移動し、ハーフ
ミラー１８Ａが可視光照明系光路に配置される。

【００４８】ハロゲンランプ２２から出射された照明光
は、ハーフミラー１８Ａによって反射され、可視光用対
物レンズ４１を介して試料５１上の所定領域に照射され
る。この可視光照明系は試料５１に対してケーラー照明
を達成するように構成されている。

【００４９】試料５１からの反射光はハーフミラー１８
Ａを透過した後、貫通孔１８Ｆを通り、鏡筒３０内の結
像レンズ３２により結像され、接眼レンズ３１により可
視光観察される。

【００５０】このとき、水銀ランプ１２からの照明光は
第２の照明光選択部材１８Ｂによって遮断されるととも
に、シャッタ１６によっても遮断されるので、紫外光が
試料５１や可視光観察光学系の光路Ｌ１に入射すること
はない。

【００５１】また、照明光として紫外光が選択されたと
き、モータ２０が作動して中空ブロック１８が移動し、
全反射ミラー１８Ｄが紫外光照明系光路に配置される。

【００５２】水銀ランプ１２から出射された照明光は、
ＵＶフィルタ１３を通過することにより、可視光を含ま
ない紫外光だけの照明光となる。

【００５３】照明光は紫外光用のリレーレンズ１４，１
５を通りハーフミラー１７を透過し、全反射ミラー１８
Ｄによって貫通孔１８Ｇ及び紫外光用対物レンズ４２へ
と偏光され、試料５１上の所定領域に照射される。

【００５４】この紫外光照明系は試料５１に対してケー
ラー照明を達成するように構成されている。

【００５５】試料５１からの反射光は貫通孔１８Ｇを通
り、全反射ミラー１８Ｄで反射され、更にハーフミラー
１７により紫外光用ディテクタ６０に導かれる。

【００５６】ハーフミラー１７によって反射された光は
紫外光用結像レンズ７４により結像され、紫外光用ディ
テクタ６０の紫外光用ＣＣＤによって受光される。

【００５７】紫外光用ＣＣＤによって受光された紫外光
は電気信号に変換され、モニタ（図示せず）によって可
視化され、観察される。

【００５８】このとき、ハロゲンランプ２２からの照明
光は遮光体１８Ｃによって遮断されるので、可視光が試
料５１や紫外光観察光学系の光路Ｌ２に入射することは
ない。

【００５９】ところで、変倍系７０を光路Ｌ２上に配置
すると、変倍系７０が光路Ｌ２から外れているときに比
べて観察像を例えば２倍に拡大することができる。

【００６０】次に、レボルバ４０が１番から５番までの
５個の取付孔を有し、１番から４番までは倍率順に可視
光用対物レンズが取り付けられ、５番に紫外光用対物レ
ンズが取り付けられている場合を例に、対物レンズと変
倍系７０との関係を説明する。

【００６１】図３はこの発明の一実施形態に係る顕微鏡
装置のブロック構成図、図４は制御部による制御の一例
を説明するフローチャートである。

【００６２】顕微鏡装置は対物レンズ検出器（対物レン
ズ検出手段）４５と、制御部（制御手段）８０とを備え
る。

【００６３】対物レンズ検出器４５は電動レボルバ４０
に内蔵されているフォトインタラプタである。

【００６４】制御部８０は、例えばワンチップマイコン
で構成される。

【００６５】制御部８０はレボルバ回転スイッチ４４か
ら出力される電動レボルバ４０の回転方向を指示する回
転方向信号４４ａと対物レンズ検出器４５から出力され
る対物レンズ検出信号（検知信号）４５ａに基いて電動
レボルバ４０、変倍系７０及び中空ブロック１８を制御
する。なお、対物レンズ検出器４５は電動レボルバ４０
の位置信号４０ａに基いて対物レンズを検知する。

【００６６】光路上に例えば１番の対物レンズが配置さ
れているとき、スイッチ４４Ａが押されると、制御部８
０は回転方向信号４４ａに基いてレボルバ回転信号８０
ｃを出力し、第１駆動装置（モータ）４６を駆動して電
動レボルバ４０を正転させる。その結果、１番、２番、
３番及び４番の順序で対物レンズが光路上に配置される
（Ｓ１）。

【００６７】更に、スイッチ４４Ａが押されたとき、制
御部８０は回転方向信号（正転）４４ａに基いて第１駆
動装置（モータ）４６を駆動してレボルバ４０を正転さ
せ、５番の対物レンズを光路上に配置し（Ｓ２）、５番
の対物レンズ検出信号４５ａを入力する。

【００６８】このとき、制御部８０は５番の対物レンズ
検出信号４５ａに基いてブロック移動信号８０ａを出力
してモータ７７を駆動して中空ブロック１８を移動し、
紫外光照明系に切り換える（Ｓ３）。

【００６９】同時に、制御部８０はシャッタ制御信号８
０ｂを出力してシャッタ１６を開くとともに、ハロゲン
ランプ２２を消灯する（Ｓ４）。

【００７０】スイッチ４４Ａが押される（Ｓ５）。

【００７１】制御部８０は電動レボルバ４０に５番の対
物レンズが配置されているという対物レンズ検出信号４
５ａを入力している場合において、回転方向信号（正
転）４４ａ（最大倍率に切り換える切換信号）を入力し
たとき、対物レンズ検出信号４５ａを参照してモータ７
７を駆動し、変倍系７０を光路上に配置し（Ｓ６）、観
察像を２倍にする。

【００７２】更に、スイッチ４４Ａが押される（Ｓ
７）。

【００７３】制御部８０はシャッタ制御信号８０ｂを出
力してシャッタ１６を閉じるとともに、ハロゲンランプ
２２を点灯する（Ｓ８）。その結果、紫外光照明系から
可視光照明系に切り換わる。

【００７４】制御部８０は回転方向信号４４ａを入力し
たとき、モータ７７を駆動し、変倍系７０を光路上から
外す（Ｓ９）。

【００７５】制御部８０はレボルバ回転信号８０ｃを出
力し、第１駆動装置（モータ）４６を駆動して電動レボ
ルバ４０を正転させる（Ｓ１０）。その結果、１番の対
物レンズが光路上に配置される。

【００７６】制御部８０はＳ５で回転方向信号（逆転）
４４ｂを入力したとき、シャッタ制御信号８０ｂを出力
してシャッタ１６を閉じるとともに、ハロゲンランプ２
２を点灯する（Ｓ１１）。その結果、紫外光照明系から
可視光照明系に切り換わる。

【００７７】更に、制御部８０はレボルバ回転信号８０
ｃを出力して第１駆動装置（モータ）４６を駆動してレ
ボルバ４０を逆転させる（Ｓ１２）。その結果、４番の
対物レンズが光路上に配置される。

【００７８】制御部８０はＳ７で回転方向信号（逆転）
４４ｂを入力したとき、モータ７７を駆動し、変倍系７
０を光路上から外し（Ｓ１３）、Ｓ５に戻る。

【００７９】一方、Ｓ１においてスイッチ４４Ｂが押さ
れると、制御部８０は回転方向信号４４ｂ（逆転）に基
いて電動レボルバ４０を逆転させるとともに、モータ７
７を駆動させて変倍系７０を光路上に配置させる（Ｓ１
４）。

【００８０】制御部８０はブロック移動信号８０ａを出
力してモータ７７を駆動して中空ブロック１８を移動さ
せ、紫外光照明系に切り換える（Ｓ１５）。

【００８１】制御部８０はシャッタ制御信号８０ｂを出
力してシャッタ１６を開くとともに、ハロゲンランプ２
２を消灯し（Ｓ１６）、Ｓ７へ進む。

【００８２】以下上記ステップを繰り返す。

【００８３】この実施形態によれば、電動レボルバ４０
に保持されている対物レンズよりも高い倍率で標本を観
察でき、しかも倍率の変更に当り、対物レンズを付け替
えたときのように、再度のピント合せと試料の観察した
い範囲を視野内に入れる作業が必要ないので、多くの手
間と時間が節約される。

【００８４】可視光と紫外光の両方で観察を行うときに
は、紫外光用対物レンズは通常１つか２つしか用意され
ないが、このようなの場合に２種類以上の倍率で紫外光
による観察を行えるので、倍率選択の自由度が高くな
り、特に有用である。

【００８５】なお、上記実施形態では、レボルバ回転ス
イッチ４４を用いて電動レボルバ４０を回転させて対物
レンズを切り換えているが、電動レボルバ４０の番地に
対応する個数より１個多いスイッチを設け、このスイッ
チを押すことによって電動レボルバ４０を回転させて所
望の対物レンズを選択する構成としてもよい。

【００８６】また、上記実施形態では、紫外光の光源と
して水銀ランプ１２を用いたが、水銀ランプ１２では、
特に極紫外（ＤＵＶ）と呼ばれる非常に波長の短い波長
の場合、観察に必要な十分な光量を得ることが難しいた
め、水銀ランプ１２の代わりに紫外光又は極紫外光を出
射するレーザを光源を用いてもよい。

【００８７】更に、対物レンズは紫外光と可視光の両方
で収差補正された共用の対物レンズを用いても、可視光
用の対物レンズだけとしてもよい。

【００８８】また、中空ブロック１８は必ずしも一体に
形成する必要はなく、中空ブロック１８を２分割して紫
外像検出ユニット１０Ｃとアーム１０Ｄとに独立に設け
てもよい。

【００８９】更に、上記実施形態は乾燥系の対物レンズ
を用いた場合で説明したが、乾燥系の対物レンズと油や
水等の液体を用いた液浸系の対物レンズとをレボルバ４
０に保持させ、両方の対物レンズを切り換える顕微鏡に
本発明を適用することもできる。

【００９０】また、紫外像検出ユニット１０Ｃとアーム
１０Ｄとを分離可能な構成としたが、可視光と紫外光と
を完全に分けることができれば一体的に構成してもよ
い。

【００９１】

【発明の効果】以上に説明したように請求項１又は２に
記載の発明の顕微鏡装置によれば、レボルバに保持され
ている最大倍率の対物レンズより高い倍率で簡単に標本
観察を行うことができ、しかも対物レンズを付け替えた
ときのように、再度のピント合せと試料の観察したい範
囲を視野内に入れる作業が必要ないので、多くの手間と
時間が節約される。

【００９２】請求項３又は４に記載の発明の顕微鏡装置
によれば、レボルバに保持されている最大倍率の対物レ
ンズより高い倍率で簡単に標本観察を行うことができ、
しかも対物レンズを付け替えたときのように、再度のピ
ント合せと試料の観察したい範囲を視野内に入れる作業
が必要ないので、多くの手間と時間が節約される。ま
た、可視光と紫外光の両方で観察を行うときのように紫
外光用対物レンズが１つか２つしか用意されないときで
あっても、２種類以上の倍率で紫外光による観察を行え
るので、倍率選択の自由度が高くなる。更に、高価な紫
外光用対物レンズを別に用意する必要がないので、顕微
鏡装置を安価に構成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は顕微鏡装置を示す破断面図であり、照明
光として可視光照明系を選択したときの状態を示す図で
ある。

【図２】図２は顕微鏡装置を示す破断面図であり、照明
光として紫外光照明系を選択したときの状態を示す図で
ある。

【図３】図３はこの発明の一実施形態に係る顕微鏡装置
のブロック構成図である。

【図４】図４は制御部による制御の一例を説明するフロ
ーチャートである。

【符号の説明】

４０ 電動レボルバ（レボルバ） ４１，４２ 対物レンズ ４４ レボルバ回転スイッチ（切換手段） ４４ａ，４４ｂ 回転方向信号（切換信号） ４５ 対物レンズ検出器（対物レンズ検出手段） ４５ａ 対物レンズ検出信号（検知信号） ７０ 変倍系 Ｌ１ 可視光観察光学系の光路 Ｌ２ 紫外光観察光学系の光路

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の対物レンズを保持するレボルバ
   と、 前記対物レンズを介して得られる観察像を観察する観察
   光学系と、 前記観察光学系の光路中に配置可能であり、前記観察像
   を拡大する変倍系と、 前記観察光学系の光路中に配置された前記対物レンズを
   検出する対物レンズ検出手段と、 前記対物レンズを切り換える切換手段とを備えた顕微鏡
   装置において、 前記切換手段から前記対物レンズを最大倍率に切り換え
   る切換信号を入力したとき、前記対物レンズ検出手段か
   らの検知信号を参照して前記変倍系を前記観察光学系中
   に配置する制御手段を備えていることを特徴とする顕微
   鏡装置。
2. 【請求項２】 前記対物レンズ検出手段は前記レボルバ
   の位置情報に基づいて前記観察光学系の光路中に配置さ
   れた前記対物レンズを検知することを特徴とする請求項
   １に記載の顕微鏡装置。
3. 【請求項３】 可視光用対物レンズと紫外光用対物レン
   ズとを保持するレボルバと、 前記対物レンズを介して得られる観察像を観察する観察
   光学系と、 前記観察光学系の光路中に配置可能であり、前記観察像
   を拡大する変倍系と、 前記観察光学系の光路中に配置された前記対物レンズを
   検出する対物レンズ検出手段と、 前記対物レンズを切り換える切換手段とを備えた顕微鏡
   装置において、 前記切換手段から前記紫外光用対物レンズの最大倍率に
   切り換える切換信号を入力したとき、前記対物レンズ検
   出手段からの検知信号を参照して前記変倍系を前記観察
   光学系中に配置する制御手段を備えていることを特徴と
   する顕微鏡装置。
4. 【請求項４】 前記対物レンズ検出手段は前記レボルバ
   の位置情報に基づいて前記観察光学系の光路中に配置さ
   れた前記対物レンズを検知することを特徴とする請求項
   ３に記載の顕微鏡装置。