JP2000171473A - 防音ボックス - Google Patents
防音ボックスInfo
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- JP2000171473A JP2000171473A JP10350418A JP35041898A JP2000171473A JP 2000171473 A JP2000171473 A JP 2000171473A JP 10350418 A JP10350418 A JP 10350418A JP 35041898 A JP35041898 A JP 35041898A JP 2000171473 A JP2000171473 A JP 2000171473A
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- soundproof box
- sound
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- soundproof
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 この発明は試料と試料から受ける原子間力及
び磁気力等の物理量を検出する機構を有する、試料表面
の形状及び状態を観察するプロ−ブ顕微鏡といった分析
及び計測機器に対し、外乱成分となる、外部音響成分を
減衰させる防音ボックスの提供を目的とするものであ
る。 【解決手段】 本発明は、周囲からの音響成分に対し、
装置を保護する防音ボックスにおいて、ドーム状の形状
や半円等型（かまぼこ形状）といった、主として曲率面
からなる構成にした。また、防音ボックスの断面は金属
板、遮音材及び吸音材の多層構造にした。また、防音ボ
ックス内に設置される装置を操作するにあたり、開放部
２が開放部２に構成された、取手機構の操作と連動し、
開放部２の保持がどの位置でも行える機構を構成するこ
とで、重い開放部に対し、開放部２と固定部１間に手等
がはさまれるといった問題に対し、安全性を持たせた。
び磁気力等の物理量を検出する機構を有する、試料表面
の形状及び状態を観察するプロ−ブ顕微鏡といった分析
及び計測機器に対し、外乱成分となる、外部音響成分を
減衰させる防音ボックスの提供を目的とするものであ
る。 【解決手段】 本発明は、周囲からの音響成分に対し、
装置を保護する防音ボックスにおいて、ドーム状の形状
や半円等型（かまぼこ形状）といった、主として曲率面
からなる構成にした。また、防音ボックスの断面は金属
板、遮音材及び吸音材の多層構造にした。また、防音ボ
ックス内に設置される装置を操作するにあたり、開放部
２が開放部２に構成された、取手機構の操作と連動し、
開放部２の保持がどの位置でも行える機構を構成するこ
とで、重い開放部に対し、開放部２と固定部１間に手等
がはさまれるといった問題に対し、安全性を持たせた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は試料と試料から受
ける原子間力及び磁気力等の物理量を検出する機構を有
する、試料表面の形状及び状態を観察するプロ−ブ顕微
鏡といった分析及び計測機器に対し、外乱成分となる、
外部音響成分を減衰させる防音ボックスに関する。
ける原子間力及び磁気力等の物理量を検出する機構を有
する、試料表面の形状及び状態を観察するプロ−ブ顕微
鏡といった分析及び計測機器に対し、外乱成分となる、
外部音響成分を減衰させる防音ボックスに関する。
【０００２】
【従来の技術】試料表面の形状及び状態を観察するプロ
−ブ顕微鏡は一般的に、試料と試料から受ける原子間力
及び磁気力等の物理量を検出する機構を３次元的に相対
運動させる、粗い位置決め的な粗動機構及び微細な位置
決め的な微動機構と、前記試料と前記原子間力及び磁気
力等の物理量を検出する機構間を一定の距離に保つ制御
手段と、設置環境からくる装置への振動伝達を低減させ
る除振機構と、装置全体を制御する制御部及びコンピュ
ータを有した構成からなる。
−ブ顕微鏡は一般的に、試料と試料から受ける原子間力
及び磁気力等の物理量を検出する機構を３次元的に相対
運動させる、粗い位置決め的な粗動機構及び微細な位置
決め的な微動機構と、前記試料と前記原子間力及び磁気
力等の物理量を検出する機構間を一定の距離に保つ制御
手段と、設置環境からくる装置への振動伝達を低減させ
る除振機構と、装置全体を制御する制御部及びコンピュ
ータを有した構成からなる。
【０００３】プロ−ブ顕微鏡は分解能が非常に高く、原
子構造をも確認できる装置であることは知られている。
一方で分解能が良い分、外乱に対する感度も敏感である
と言える。外乱は信号成分に混ることで、分解能の低減
の要因となる。外乱として、床からくる振動に関して
は、前記物理量を検出する機構、前記検出機構または試
料を動かす前記粗動機構及び微動機構といった装置部分
を通常、除振機構上に構成することにより対応されてい
るが、床以外からくる音響エネルギーにより、信号を検
出する装置部分が振動し、外乱として信号成分に混ざ
り、分解能を低減させることがある。
子構造をも確認できる装置であることは知られている。
一方で分解能が良い分、外乱に対する感度も敏感である
と言える。外乱は信号成分に混ることで、分解能の低減
の要因となる。外乱として、床からくる振動に関して
は、前記物理量を検出する機構、前記検出機構または試
料を動かす前記粗動機構及び微動機構といった装置部分
を通常、除振機構上に構成することにより対応されてい
るが、床以外からくる音響エネルギーにより、信号を検
出する装置部分が振動し、外乱として信号成分に混ざ
り、分解能を低減させることがある。
【０００４】この音響エネルギーから保護するために、
信号を検出する装置部分を防音ボックス内に構成するこ
とが一般的である。防音ボックスとして、図６(a) 及び
６(b) に示す様なものがある。防音ボックスは、試料の
取り扱いや測定の準備作業等で、防音ボックス内に設置
される装置部分を操作する為に、固定部６１に対し扉部
６２が構成され、取手６３を用いて開閉できる様になっ
ている。扉部６２はガスダンパ−６４等により支持され
ている。
信号を検出する装置部分を防音ボックス内に構成するこ
とが一般的である。防音ボックスとして、図６(a) 及び
６(b) に示す様なものがある。防音ボックスは、試料の
取り扱いや測定の準備作業等で、防音ボックス内に設置
される装置部分を操作する為に、固定部６１に対し扉部
６２が構成され、取手６３を用いて開閉できる様になっ
ている。扉部６２はガスダンパ−６４等により支持され
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図６(a) 及び６(b) に
示した様に、防音ボックスは主に幾つかの平面により構
成されているのが一般的である。この構成においては、
周囲からくる音響による圧力（音圧）を平面で受けるこ
とになる。これにより、平面が太鼓状の振動をし、防音
ボックスが周囲からの音響を低減する機能を果たさず、
逆に内部に構成した装置部に対し、音源と成ってしま
い、分解能の低下の要因となる。特に、平面の形状から
くる振動モード（共振周波数）と周囲の音響成分（周波
数）が一致または近くにある場合、外乱を増幅すること
になる。
示した様に、防音ボックスは主に幾つかの平面により構
成されているのが一般的である。この構成においては、
周囲からくる音響による圧力（音圧）を平面で受けるこ
とになる。これにより、平面が太鼓状の振動をし、防音
ボックスが周囲からの音響を低減する機能を果たさず、
逆に内部に構成した装置部に対し、音源と成ってしま
い、分解能の低下の要因となる。特に、平面の形状から
くる振動モード（共振周波数）と周囲の音響成分（周波
数）が一致または近くにある場合、外乱を増幅すること
になる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、各種信号を
検出する計測及び分析装置部分を覆う防音ボックスの形
状を曲率面を主体とした構成にした。
検出する計測及び分析装置部分を覆う防音ボックスの形
状を曲率面を主体とした構成にした。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明は、周囲からの音響成分に
対し、装置を保護する防音ボックスにおいて、主として
曲率面からなる構成を有しているものである。また、曲
率面からなる構成として、ドーム状の形状にしても良
い。また、内に設置する装置の外形状や除振機構形状を
考慮し、無駄な空間を極力減らすことを考えて、曲率面
と平面の組み合わせとして、側面が平面状で他の面が曲
率面からなるいわゆる、半円筒型（かまぼこ形状）して
も良い。
対し、装置を保護する防音ボックスにおいて、主として
曲率面からなる構成を有しているものである。また、曲
率面からなる構成として、ドーム状の形状にしても良
い。また、内に設置する装置の外形状や除振機構形状を
考慮し、無駄な空間を極力減らすことを考えて、曲率面
と平面の組み合わせとして、側面が平面状で他の面が曲
率面からなるいわゆる、半円筒型（かまぼこ形状）して
も良い。
【０００８】上記、防音ボックスを金属板と音響による
金属板の振動を減衰させる遮音シート材または、その複
合材と音響成分を吸収する空孔を有する吸音材を張り合
わせた多層構造からなる構成にしても良い。上記、音響
による振動成分を減衰させる複合材として制振鋼板を用
いても良い。
金属板の振動を減衰させる遮音シート材または、その複
合材と音響成分を吸収する空孔を有する吸音材を張り合
わせた多層構造からなる構成にしても良い。上記、音響
による振動成分を減衰させる複合材として制振鋼板を用
いても良い。
【０００９】また、防音ボックスにおいて、開放部が前
記開放部に構成された、取手機構の操作と連動し、開放
部の保持がどの位置でも行える機構を構成して、重い開
放部の扱い上、安全性を持たせることも良い。また、試
料と試料から受ける原子間力及び磁気力等の物理量を検
出する機構を有する、試料表面の形状及び状態を観察す
るプロ−ブ顕微鏡が周囲の音響成分から保護する対象で
あっても良い。
記開放部に構成された、取手機構の操作と連動し、開放
部の保持がどの位置でも行える機構を構成して、重い開
放部の扱い上、安全性を持たせることも良い。また、試
料と試料から受ける原子間力及び磁気力等の物理量を検
出する機構を有する、試料表面の形状及び状態を観察す
るプロ−ブ顕微鏡が周囲の音響成分から保護する対象で
あっても良い。
【００１０】
【実施例】以下、図面に基ずき実施例について説明して
いく。図１(a) 、１(b) 、１(c) は本発明の第一実施例
を示した鳥瞰図、上面図及び側面図である。固定部１及
び開放部２は各々曲面形状をしている、いわゆる、ド−
ム形状になっているものである。開放部２は取手３を用
いて、移動方向４の矢印のように回転移動をし、防音ボ
ックス内に設置される装置を操作できるようになってい
る。防音ボックスの断面構造は図２に示すように金属板
２１、質量効果により音エナルギ−を低減する効果があ
る遮音シ−ト２２及び空孔と中に構成されて金属粉によ
り音エネルギ−を吸収する効果がある吸音板２３の三層
構造にした。この組み合わせは幾通りか考えられる。ま
た、図３に示すように、固定部１に固定された支柱３１
に設けられた固定支点３２を中心とし、連結板３３を介
して前記開放部２を移動方向４の矢印のように回転移動
する構成になっている。前記連結板３３の他端はクラン
プ機構３４を介して固定部１とつながっている。前記ク
ランプ機構は傾きの無段階調整が可能なリクライニング
シ−ト等に用いられているものを使用しており、開放部
２を任意の位置で固定てきるようになっている。また、
前記クランプ機構３４は取手３に設けられたレバ−とワ
イヤでつながっており、クランプ機構３４の解除及び駆
動を遠隔操作できるようになっている。前記ワイヤ−は
いわゆる、自転車のブレ−キ操作に用いられているアウ
タ−付ワイヤ−ロ−プを用いた。通常、防音ボックスの
部材は音エネルギ−を減衰させるために、ある程度の重
量にて構成されている（音の質量効果）。そのため、手
等をはさむことでけがをする恐れがある。その点、前記
取手３を操作している時にのみ開放部２が移動できるよ
うにしたことで、開放部２と固定部１間で手等をはさむ
ことが無く、安全面においても効果があるといえる。
いく。図１(a) 、１(b) 、１(c) は本発明の第一実施例
を示した鳥瞰図、上面図及び側面図である。固定部１及
び開放部２は各々曲面形状をしている、いわゆる、ド−
ム形状になっているものである。開放部２は取手３を用
いて、移動方向４の矢印のように回転移動をし、防音ボ
ックス内に設置される装置を操作できるようになってい
る。防音ボックスの断面構造は図２に示すように金属板
２１、質量効果により音エナルギ−を低減する効果があ
る遮音シ−ト２２及び空孔と中に構成されて金属粉によ
り音エネルギ−を吸収する効果がある吸音板２３の三層
構造にした。この組み合わせは幾通りか考えられる。ま
た、図３に示すように、固定部１に固定された支柱３１
に設けられた固定支点３２を中心とし、連結板３３を介
して前記開放部２を移動方向４の矢印のように回転移動
する構成になっている。前記連結板３３の他端はクラン
プ機構３４を介して固定部１とつながっている。前記ク
ランプ機構は傾きの無段階調整が可能なリクライニング
シ−ト等に用いられているものを使用しており、開放部
２を任意の位置で固定てきるようになっている。また、
前記クランプ機構３４は取手３に設けられたレバ−とワ
イヤでつながっており、クランプ機構３４の解除及び駆
動を遠隔操作できるようになっている。前記ワイヤ−は
いわゆる、自転車のブレ−キ操作に用いられているアウ
タ−付ワイヤ−ロ−プを用いた。通常、防音ボックスの
部材は音エネルギ−を減衰させるために、ある程度の重
量にて構成されている（音の質量効果）。そのため、手
等をはさむことでけがをする恐れがある。その点、前記
取手３を操作している時にのみ開放部２が移動できるよ
うにしたことで、開放部２と固定部１間で手等をはさむ
ことが無く、安全面においても効果があるといえる。
【００１１】図４(a) 、４(b) 、４(c) は本発明の第二
実施例を示した鳥瞰図、上面図及び側面図である。固定
部４１及び開放部４３は各々曲面形状でその他、各側
面、固定側面部４２、開放側面部４４は平面形状をして
いる、いわゆる、半円筒型（かまぼこ形状）になってい
るものである。開放部４２、４４は取手４５を用いて、
移動方向４６の矢印のように回転移動をし、第一実施例
と同様に、防音ボックス内に設置される装置を操作でき
るようになっている。通常、防音ボックス内に設置され
る装置は角型であり、また、防音ボックスを設置する除
振台形状も角型が一般的である点から、第一実施例で示
したド−ム形状では敷地面積が円形状になるため、無駄
なスペ−スが生じるおそれがある。これは防音ボックス
を含めた装置システムを大型化する要因になる。防音ボ
ックスの大型化はそれだけ音の圧力を受けることにな
り、防音性能の低下にもつながる恐れがある。そこで、
側面部を平面にしたことで、小型にすることが可能であ
る。しかしながら、平面部を設けることは、前記問題の
振動モ−ドを生じる恐れがあるため、この平面部には補
強材を組み合わせることで対応した。
実施例を示した鳥瞰図、上面図及び側面図である。固定
部４１及び開放部４３は各々曲面形状でその他、各側
面、固定側面部４２、開放側面部４４は平面形状をして
いる、いわゆる、半円筒型（かまぼこ形状）になってい
るものである。開放部４２、４４は取手４５を用いて、
移動方向４６の矢印のように回転移動をし、第一実施例
と同様に、防音ボックス内に設置される装置を操作でき
るようになっている。通常、防音ボックス内に設置され
る装置は角型であり、また、防音ボックスを設置する除
振台形状も角型が一般的である点から、第一実施例で示
したド−ム形状では敷地面積が円形状になるため、無駄
なスペ−スが生じるおそれがある。これは防音ボックス
を含めた装置システムを大型化する要因になる。防音ボ
ックスの大型化はそれだけ音の圧力を受けることにな
り、防音性能の低下にもつながる恐れがある。そこで、
側面部を平面にしたことで、小型にすることが可能であ
る。しかしながら、平面部を設けることは、前記問題の
振動モ−ドを生じる恐れがあるため、この平面部には補
強材を組み合わせることで対応した。
【００１２】以上、記載の防音ボックスを図５に示すよ
うに設置した。防音ボックス５１は除振台５２の除振台
カバ−部５３に固定してある。そして、除振台定盤５４
上に内部装置５５が設置された構成になっている。装置
として、プロ−ブ顕微鏡の検出ユニットを設置し、外部
音響ノイズに対し、防音ボックスが効果があることを確
認した。
うに設置した。防音ボックス５１は除振台５２の除振台
カバ−部５３に固定してある。そして、除振台定盤５４
上に内部装置５５が設置された構成になっている。装置
として、プロ−ブ顕微鏡の検出ユニットを設置し、外部
音響ノイズに対し、防音ボックスが効果があることを確
認した。
【００１３】
【発明の効果】以上示した構成にすることで、周囲から
くる音響による圧力（音圧）の方向成分を防音ボックス
の面で分散して受けることができ、しかも、防音ボック
スの形状からくる太鼓状の振動モードを抑えることがで
きる。また、曲率面が主体であることで、平面部分の補
強材が少なくでき、同程度の大きさの防音ボックスに対
し、軽量で性能の良い防音ボックスが構成できるように
なる。また、開放部を任意の位置で固定できる構造にし
たことで、重量のある防音ボックスを扱う上で安全であ
る。
くる音響による圧力（音圧）の方向成分を防音ボックス
の面で分散して受けることができ、しかも、防音ボック
スの形状からくる太鼓状の振動モードを抑えることがで
きる。また、曲率面が主体であることで、平面部分の補
強材が少なくでき、同程度の大きさの防音ボックスに対
し、軽量で性能の良い防音ボックスが構成できるように
なる。また、開放部を任意の位置で固定できる構造にし
たことで、重量のある防音ボックスを扱う上で安全であ
る。
【図１】（ａ）は本発明の第一実施例の防音ボックスの
構成を示す鳥瞰図、（ｂ）は本発明の第一実施例の防音
ボックスの構成を示す上面図、（ｃ）は本発明の第一実
施例の防音ボックスの構成を示す側面図である。
構成を示す鳥瞰図、（ｂ）は本発明の第一実施例の防音
ボックスの構成を示す上面図、（ｃ）は本発明の第一実
施例の防音ボックスの構成を示す側面図である。
【図２】本発明の防音ボックスの断面構造を示す図であ
る。
る。
【図３】本発明の開放部の開放及び固定機構を示す図で
ある。
ある。
【図４】（ａ）は本発明の第二実施例の防音ボックスの
構成を示す鳥瞰図、（ｂ）は本発明の第二実施例の防音
ボックスの構成を示す上面図、（ｃ）は本発明の第二実
施例の防音ボックスの構成を示す側面図である。
構成を示す鳥瞰図、（ｂ）は本発明の第二実施例の防音
ボックスの構成を示す上面図、（ｃ）は本発明の第二実
施例の防音ボックスの構成を示す側面図である。
【図５】本発明の防音ボックスを組付けた状態を示す図
である。
である。
【図６】（ａ）は従来の防音ボックスを示す鳥瞰図、
（ｂ）は従来の防音ボックスの開放状態を示す鳥瞰図で
ある。
（ｂ）は従来の防音ボックスの開放状態を示す鳥瞰図で
ある。
１、４１、６１ 固定部 ２、４３ 開放部 ３、４５、６３ 取手 ４、４６ 移動方向 ２１ 金属板 ２２ 遮音シ−ト ２３ 吸音板 ３１ 支柱 ３２ 固定支点 ３３ 連結板 ３４ クランプ機構 ４２ 固定側面部 ４４ 開放側面部 ５１ 防音ボックス ５２ 除振台 ５３ 除振台カバ−部 ５４ 除振台定盤 ５５ 内部装置 ６２ 扉部 ６４ ガスダンパ−
Claims (7)
- 【請求項１】 周囲からの音響成分に対し、装置を保護
する防音ボックスにおいて、主として曲率面からなる構
成にしたことを特徴とした防音ボックス。。 - 【請求項２】 前記防音ボックスにおいて、ドーム状の
形状からなることを特徴とする請求項１に記載の防音ボ
ックス。 - 【請求項３】 前記防音ボックスにおいて、側面が平面
状で他の面が曲率面からなることを特徴とする請求項１
に記載の防音ボックス。 - 【請求項４】 前記防音ボックスにおいて、金属板と音
響による金属板の振動を減衰させる遮音シート材また
は、その複合材と音響成分を吸収する空孔を有する吸音
材を張り合わせた多層構造からなることを特徴とする請
求項１から３のいずれかに記載の防音ボックス。 - 【請求項５】 前記防音ボックスにおいて、音響による
振動成分を減衰させる複合材として制振鋼板を用いたこ
とを特徴とする請求項４に記載の防音ボックス。 - 【請求項６】 前記防音ボックスにおいて、開放部が前
記開放部に構成された、取手機構操作と連動し、開放部
の保持がどの位置でも行える機構が構成されていること
を特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の記載の
防音ボックス。 - 【請求項７】 前記防音ボックスにおいて、周囲の音響
成分から保護する対象が、試料と試料から受ける原子間
力及び磁気力等の物理量を検出する機構を有する、試料
表面の形状及び物理（物性）状態を観察するプロ−ブ顕
微鏡であることを特徴とする請求項１から６のいずれか
に記載の防音ボックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10350418A JP2000171473A (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 防音ボックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10350418A JP2000171473A (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 防音ボックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000171473A true JP2000171473A (ja) | 2000-06-23 |
Family
ID=18410369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10350418A Pending JP2000171473A (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 防音ボックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000171473A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005061877A (ja) * | 2003-08-19 | 2005-03-10 | Sii Nanotechnology Inc | 防音ボックスおよびそれを用いたプローブ顕微鏡 |
-
1998
- 1998-12-09 JP JP10350418A patent/JP2000171473A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005061877A (ja) * | 2003-08-19 | 2005-03-10 | Sii Nanotechnology Inc | 防音ボックスおよびそれを用いたプローブ顕微鏡 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040302 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040526 |