JP2000164963A

JP2000164963A - レーザ装置

Info

Publication number: JP2000164963A
Application number: JP10332117A
Authority: JP
Inventors: Hitoshi Kawai; 斉河井
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1998-11-24
Filing date: 1998-11-24
Publication date: 2000-06-16

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】偏光方位が各々異なる２周波光を得ることの
できるレーザ装置において、小型で、Ｈｅ−Ｎｅレーザ
と比べてハイパワーのレーザ装置を得ることを目的とす
る。【解決手段】レーザ結晶３、および異方性材料からな
る光学素子５を有したレーザ共振器４を備えたレーザ装
置１００において、レーザ共振器は、偏光方位に応じて
異なる光路長を有した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光干渉計測用の光
源である固体レーザに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、物体の位置の変化を精密に計測す
る手段として、干渉計を用いた測長装置が利用されてい
る。この測長装置では、高精度に計測する方法としてヘ
テロダイン干渉法を用いた測長装置が利用されている。
このヘテロダイン干渉法により物体の変位計測を行う場
合には、わずかに周波数の異なる直交２周波光が必要と
なり、この様な直交２周波光を射出することのできる光
源装置が必要となる。

【０００３】そこで、この様な測長装置に用いられる固
体レーザを用いた光源装置としては、主にレーザ光源
と、偏光ビームスプリッタと音響光学素子からなる直交
２周波生成手段とから構成される。なお、使用されるレ
ーザ光源としては、図６に示す小型である固体レーザが
用いられる。この固体レーザは、光源６１から射出され
た光は、レンズ系６２により、レーザ結晶６３に集光さ
れる。レーザ結晶６３は反射鏡６４１と反射鏡６４２で
形成される共振器内に配置され、反射鏡６４１は光源６
１から放射された光を透過し、レーザ結晶６３から放射
される光を反射するものである。レーザ結晶６３は、光
源６１からの光によって励起される。そして、レーザ結
晶６３から放射された光は反射鏡６４１、６４２によっ
て形成されたレーザ共振器によって増幅され、その光の
一部は反射鏡６４２より射出する。この光を用いて測長
装置を構成している。

【０００４】また、その他の形式の光源装置としては、
ガスレーザ（Ｈｅ−Ｎｅレーザ）を用い、ゼーマン効果
を利用して直交２周波光を射出する光源装置がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガスレ
ーザを用いた光源装置は、ガスレーザ装置自体が大き
く、パワーも小さい。またレーザ装置から取り出した光
から直交２周波光を生成する光源装置では、直交２周波
を生成する部分の構成が大きくなる。ところで、この様
な測長装置は、例えばナノメートルオーダでステージの
位置決めを必要とする半導体製造装置の一つの部品とし
て用いられるため、省スペース化が求められる。そこで
直交２周波光を射出する光源装置として小型なものが求
められている。

【０００６】この様に本発明は、偏光方位が各々異なる
２周波光を得ることのできるレーザ装置において、小型
で、Ｈｅ−Ｎｅレーザと比べてハイパワーのレーザ装置
を得ることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】そこで、上記課題を解決
するために本発明の第１の形態では、レーザ結晶を有し
たレーザ共振器を備えたレーザ装置において、レーザ共
振器は、偏光方位に応じて異なる光路長を有することに
した。本発明では、レーザ共振器が偏光方位に応じて異
なる光路長を有するようにすることで、それぞれの偏光
方位に対するレーザ共振器の発振周波数が異なるように
した。したがって、それぞれの偏光方位に対して、周波
数の異なる２周波光が一つのレーザ装置から得ることが
できる。

【０００８】また、更に本発明の第２の形態では、レー
ザ共振器は、レーザ共振器の光路中における直交する偏
光方位において、異なる屈折率を有する光学部材を備え
る様にしたことによって、それぞれの偏光方位に対し
て、共振周波数が異なる様にした。なお、この光学部材
としては、異方性材料からなるもの、等方性材料に応力
を加えたままレーザ共振器に挿入したものが挙げられ
る。また、等方性材料をレーザ共振器に挿入して、更に
等方性材料に応力等を印加する手段をその等方性材料に
設け、レーザ共振器内で直交する偏光方位において、異
なる屈折率を有するようにした光学部材でも構わない。

【０００９】また、本発明の第３の形態では、レーザ共
振器は、一つの出力鏡を共通して用いる複数の共振器を
有したレーザ共振器であって、複数あるそのレーザ共振
器の光をほぼ同軸になるようにすることができる光線結
合手段とで構成した。この様にして、それぞれの偏光方
位に対して、共振周波数が異なる様にし、それぞれの周
波数の光が同軸上に射出されるレーザ装置を得ることが
できる。

【００１０】また、本発明の第４の形態では、本発明の
第１から第３の形態のうちいづれか一つの形態について
更に、レーザ共振器のレーザ光の射出側に配置され、レ
ーザ共振器から射出された偏光方位の異なる光の一部を
分割する光線分割手段と、光線分割手段で分割された偏
光方位の異なる光同士の周波数差を検出し、検出された
周波数差に応じて、レーザ共振器での各々の偏光方位に
対する光路長を制御する制御手段を備えた。

【００１１】この様に２周波光同士の周波数差を検出
し、その周波数差に応じてそれぞれの偏光方位に対する
レーザ共振器の光路長を制御することで、周波数差が安
定した２周波光の光源装置を得ることが出来る。特にヘ
テロダイン干渉法においては、２周波光同士の周波数差
が変化してしまうと、高精度に物体の位置検出が出来無
い。本発明は、この様な課題に対しても解決することが
できる。

【００１２】また、更にレーザ共振の共振器内に、縦単
一モードにするための光学素子を備えることで、一方の
偏光方位に対して複数の周波数が射出されるレーザ共振
器でも、それぞれの偏光方位に対して、単一周波数の光
を取り出すことができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】次に本発明について、実施の形態
を例示して詳しく説明する。本発明の第１の実施の形態
として、図１のレーザ装置１００を例示する。この第１
の実施の形態のレーザ装置は、レーザ結晶３を励起する
励起光を放射するレーザダイオード１と、レーザダイオ
ード１から放射された光を変換効率よくレーザ結晶３に
集光する集光光学系２と、レーザ結晶３を内部に配置
し、レーザ結晶３から放射される光のうち所望の周波数
の光が共振状態となる様に配置されたレーザ共振器４
と、レーザ共振器４の光路中に、予め決められた方位に
結晶軸が配置されるようにカッティングされた異方性材
料からなる光学素子５からなる。

【００１４】そして、レーザ共振器４は二つの反射鏡４
１、４２からなり、一方の第１の反射鏡４１は、レーザ
ダイオード１から射出される波長の光を透過し、レーザ
結晶３から放射される光を反射する反射鏡である。ま
た、他方の第２の反射鏡４２は、レーザ共振器４の出力
ミラーとなる。レーザダイオード１から射出された光
は、集光光学系２２によりレーザ結晶３に集光する。そ
して、レーザ結晶３は励起され、光を放射する。レーザ
結晶３から放射された光は、光学素子５を通過しながら
レーザ共振器４により増幅され、その一部が反射鏡４２
から射出される。

【００１５】ところで、レーザ共振器４内には異方性材
料からなる光学素子を挿入されており、偏光方位に対し
て異なる屈折率を有する。したがって、この異方性材料
が挿入されたレーザ共振器は、直交する各々の偏光方位
に対してレーザ共振器４の共振器長が異なる。ゆえに、
レーザ共振器４から射出されるレーザ光の周波数は、そ
れぞれの偏光方位に対して異なる。この様にして、直交
２周波光を射出するレーザ装置が得られる。なお、使用
可能な異方性材料としては、水晶などが挙げられる。

【００１６】ところで、本第１の実施の形態では、直交
した偏光方位に対して、レーザ共振器４内の光路長を変
えるために、異方性材料からなる光学部材５をレーザ共
振器４内に挿入したが、他にも等方性材料の硝子に応力
を加えたものでも構わない。また、他にも等方性材料を
そのまま挿入して、更に等方性材料に応力等を印加する
手段をその等方性材料に設け、レーザ共振器内で直交す
る偏光方位において異なる屈折率を有するようにした光
学部材でも構わない。

【００１７】次に、本発明の第１の実施の形態における
レーザ装置について、そのレーザ装置から射出される直
交２周波光の周波数間隔を一定にする装置について説明
する。その装置が設けられたレーザ装置を第２の実施の
形態として、図２に示した。図２は、本発明の第２の実
施の形態であるレーザ装置の概略構成図である。この第
２の実施の形態であるレーザ装置は、図１で示したレー
ザ装置１００に、更に部分反射鏡６と、受光素子７と、
制御手段８と、温調手段９とを付加した。

【００１８】ところで、レーザ装置１００を射出した直
交２周波光は、部分反射鏡によって、一部が反射する。
反射された直交２周波光は、受光素子７に到達する。こ
の受光素子７は、その前面に偏光子をが設けられ、部分
反射鏡６で反射された直交２周波光同士の干渉光を受光
している。そして、干渉光を光電変換して得られるビー
ト信号を制御手段８に入力する。

【００１９】制御手段８では、受光素子７から得られた
ビート信号が所定の周波数になっているか。また、ビー
ト信号の周波数が所定の周波数では無い場合、どれくら
い所定の周波数からずれているかを検出する。そして、
制御手段８では、ビート信号の周波数のずれ量を補正す
るように、温調手段９を制御している。そして、温調手
段９は、異方性材料からなる光学素子５の温度を制御す
るものであり、ひとつの例としてはペルチエ素子から構
成されている。光学素子５はその温度を調節すること
で、それぞれの偏光方位における屈折率差を制御するこ
とができる。したがって、温調手段９で異方性材料から
なる光学素子５の温度調整を行うことによって、それぞ
れの偏光方位における屈折率差を制御する。そして、こ
の図２のレーザ装置は、各偏光方位における屈折率の差
を制御することで、直交２周波の周波数差を制御してい
る。

【００２０】この様に直交２周波光の周波数差を検出
し、検出された周波数差が異なれば、異方性材料の各偏
光方位における屈折率の差を制御することで、直交２周
波光の周波数間隔を調節できる。なお、異方性材料の屈
折率差を変化させる方法としては、異方性材料のカッテ
ィング方向を変化させたり、また、応力を加えることに
よっても調整できる。また、等方性材料に応力を加えて
得られた材料を用いたときも同様に、応力の加える量を
変化させることで調整できる。

【００２１】また、直交２周波の周波数差を制御しつ
つ、更にそれぞれの光の周波数の安定化を向上させたい
場合には、部分反射鏡６と受光素子７との間に更に部分
反射鏡を挿入し、直交２周波光のどちらか一方の光をエ
タロン板に入射させる。そしてエタロン板からの透過光
強度をモニターして、透過光強度が所定の強度になるよ
うに、反射鏡４１と反射鏡４２の間隔を可変させること
で、光の周波数も安定させることができる。また、他に
も原子・分子の吸収線を利用して、光の周波数安定化す
ることも可能である。

【００２２】次に、本発明の第１の実施の形態であるレ
ーザ装置１００とは直交２周波光の発生方法が異なる本
発明の第３の実施の形態について説明する。図３は本発
明の第３の実施の形態であるレーザ装置の概略構成図で
ある。この本発明の第３の実施の形態であるレーザ装置
は、ほぼ同じ波長の光を射出するレーザダイオード２
１、３１と、レーザダイオード２１、３１から射出され
た光を変換効率よくレーザ結晶２３、３３に集光する集
光光学系２２、３２と、レーザ結晶２３を内部に配置
し、レーザ結晶２３から放射される光のうち所望の周波
数の光が共振状態となるように設けられたレーザ共振器
２４と、レーザ結晶３３を内部に配置し、レーザ結晶３
３から放射される光のうち所望の周波数の光が共振状態
となるように設けられたレーザ共振器３４と、レーザ共
振器２４の光路中に、レーザ共振器２４とレーザ共振器
３４との光路の一部が同軸になるように配置された偏光
分離素子２５と、で構成されている。

【００２３】また、レーザ共振器２４は二つの反射鏡２
４１、２４２があり、一方の反射鏡２４１は、レーザダ
イオード２１から射出される波長の光を透過し、レーザ
結晶２３から放射される光を反射する反射鏡であり、他
方、反射鏡２４２はレーザ共振器２４の出力ミラーとな
る。また、レーザ共振器３４は二つの反射鏡３４１、２
４２とからなり、一方の反射鏡３４１は反射鏡２４１と
同じものを用い、偏光分離素子２５によってレーザ共振
器３４の光路の一部がレーザ共振器２４の光路とほぼ同
じになっている。レーザ共振器３４の出力ミラーは、レ
ーザ共振器２４と同じ反射鏡２４２になっている。

【００２４】そして、レーザダイオード２１から放射さ
れた光は、集光光学系２２によりレーザ結晶２３に集光
される。そして、レーザ結晶２３から射出された光は、
偏光分離素子２５を透過しながらレーザ共振器２４によ
って増幅され、その光の一部が反射鏡２４２から射出す
る。一方、レーザダイオード３１から射出された光は、
集光光学系３２によりレーザ結晶３３に集光される。そ
して、レーザ結晶３３から射出された光は、偏光分離素
子２５を反射しながら、レーザ共振器３４によって増幅
され、その光の一部が反射鏡２４２から射出する。

【００２５】この様に本発明の第３の実施の形態では、
二つのレーザ共振器を有し、出力ミラーを共通にして、
かつ偏光分離素子２５によりそれぞれのレーザ共振器の
光路がほぼ同軸になっている。そして、レーザ共振器２
４は、偏光分離素子２５に対してＰ偏光の光を射出する
ことができ、また、レーザ共振器３４は偏光分離素子２
５に対してＳ偏光の光を射出するように設置している。
したがって、この反射鏡２４２から射出される光は直交
した２つのレーザ光をほぼ同軸に射出することができ
る。また、レーザ共振器２４の光路長とレーザ共振器３
４の光路長とが少し異なるように反射鏡２４１と反射鏡
３４１とを位置合わせすることで、反射鏡２４２から射
出される光は、直交２周波光となる。

【００２６】この様にそれぞれの偏光方位に応じてレー
ザ共振器を形成することで、それぞれのレーザ共振器か
ら発生する光の偏光方位に対して、レーザ結晶をもっと
も発振効率の良い状態に配置することができる。したが
って、高い強度の直交２周波光を得ることができる。な
お、直交２周波光の周波数差を制御する場合には、図４
に示すような構成を有すれば良い。次に、図４に示した
第４の実施の形態であるレーザ装置について説明する。
図４は、本発明の第４の実施の形態であるレーザ装置の
概略構成を示した図であり、ここでの説明において、図
４と図３とで同一符号の部材については説明を省略す
る。

【００２７】ところで、反射鏡２４２を射出した直交２
周波光は、それぞれ一部が部分反射鏡６で反射される。
そして、反射した直交２周波光は、偏光子を有した受光
素子７に入射する。受光素子７では、直交２周波光の干
渉光を受光することでビート信号を出力する。受光素子
７で出力されたビート信号は、制御手段８に入力され
る。制御手段８では、そのビート信号の周波数が所望の
周波数と同じか否かを検出し、違っている場合には、そ
のビート信号と所望の周波数との周波数差になるように
反射鏡３４１を制御する。反射鏡３４１を制御する方法
としてはピエゾ素子１０を用いる方法がある。なお、ピ
エゾ素子１０は、図中の矢印方向に反射鏡３４１を移動
させることが可能となっている。

【００２８】なお、周波数の安定化を向上させる場合に
は、先に説明した本発明の第２の実施の形態であるレー
ザ装置のように、エタロン板や原子・分子の吸収線を利
用することで、それぞれのレーザ共振器２４、３４の少
なくとも一方の反射鏡の位置を可変すればよい。なお、
その場合には、反射鏡２４１を移動させるためのピエゾ
素子も備えて、エタロン板の透過光強度に基づき、その
反射鏡２４１、３４１に設けられたピエゾ素子を制御す
ればよい。

【００２９】この様にして本発明の第４の実施の形態で
あるレーザ装置では、直交２周波光の周波数を制御する
ことができる。ところで、測長装置に用いられる直交２
周波光は、単一モードでレーザ発振して得られた光であ
ることが好ましい。なぜなら、複数の縦モードでレーザ
発振して得られた光は、その光の中に複数の異なる周波
数を持つ光束を有する。そのため、どの周波数の光で測
定しているかわからなくなってしまう。

【００３０】そこで、図３に示した第３の実施の形態で
あるレーザ装置に、複屈折素子を挿入することで単一モ
ードでレーザ発振させることが好ましい。この場合、複
屈折素子は、レーザ結晶２２と偏光分離素子２５との間
及びレーザ結晶３３と偏光分離素子２５との間にそれぞ
れ所定のカッティング方向になるように配置する。この
様にして、それぞれのレーザ共振器２４、３４では単一
モードでレーザ発振が可能である。

【００３１】また、他にもエタロン板を偏光分離素子２
５と反射鏡２４２との間に一枚、又はレーザ結晶２３と
偏光分離素子２５との間及びレーザ結晶３３と偏光分離
素子２５との間の両方に挿入することでも構わない。な
お、これらレーザ共振器内に挿入する複屈折素子やエタ
ロン板は、レーザ共振器の発振可能な周波数のうち、ひ
とつの周波数のみ透過可能な帯域幅を有したものを用い
る必要があるため、複数枚使用する場合もある。また、
偏光分離素子２５と反射鏡２４２との間に挿入されるエ
タロン板は、レーザ共振器２４で発振可能な周波数のう
ち一つの周波数が透過可能で、かつレーザ共振器３４で
発振可能な周波数のうち一つの周波数が透過可能である
ものを用いることが好ましい。

【００３２】ところで、上述の発明の実施の形態で説明
したレーザ装置をステージの位置を計測する測長干渉計
に用いた例を、次に説明する。図５は、上述の発明の実
施の形態で説明したレーザ装置を用いた測長装置が、ス
テージの位置計測の為に配置された露光装置の概略構成
図を示している。なお、この図は照明光を発生させるた
めの光源及びその光源から得られた光をマスク面上に均
一に照明するための照明光学系を省略している。

【００３３】ところで、この露光装置は、図示されてい
ない光源および照明光学系と、ウェハー上に形成する回
路パターンが描かれたマスク５０１と、マスク５０１に
描かれたパターンをステージ５０３上に配置されたウェ
ハーに投影する投影光学系が組み込まれた鏡筒５０２
と、ウェハーを載置するステージ５０３と、鏡筒５０２
に設けられた固定鏡５０４と、ステージ５０３に設けら
れた移動鏡５０５と、１／４波長板５０７、５０８と、
偏光ビームスプリッタ５０９と、移動鏡５０５を反射し
た光と固定鏡５０４を反射した光との干渉光を受光し、
ビート信号を受光する受光素子５１０と、上述の実施の
形態で説明したレーザ装置５００と、レーザ装置５００
で射出する直交２周波光の周波数の間隔と受光素子５１
０から得られるそれぞれのビート信号を得て、ステージ
５０３の変位量を割り出し、ステージ５０５を移動させ
る駆動手段を制御する制御部５１１と、ステージ５０５
を移動させる図示されていない駆動手段とで構成され
る。

【００３４】なお、ステージ５０３は図示された矢印の
方向に少なくとも移動することができ、この露光装置に
設けられた測長装置は、矢印方向に移動したときのステ
ージ５０３の変位量を検出する。ところで、上述の実施
の形態で説明したレーザ装置５００から射出された直交
２周波光は、偏光ビームスプリッタ５０９に到達する。
そして、直交２周波光のうち一方の光は反射され、１／
４波長板５０８を透過し、反射鏡５１２で反射されて固
定鏡５０４に到達する。また他方の光は、偏光ビームス
プリッタ５０９を透過して１／４波長板５０７を透過
し、移動鏡５０５に到達する。

【００３５】そして、固定鏡５０４に到達した光は固定
鏡５０４によって反射され、もと来た光路を戻って行き
偏光ビームスプリッタ５０９に到達する。このとき、固
定鏡５０４を反射した光は、１／４波長板５０８を２回
通過しているので、偏光ビームスプリッタ５０９を透過
する。また、移動鏡５０５に到達した光は移動鏡５０５
によって反射され、もと来た光路を戻って行き、偏光ビ
ームスプリッタ５０９に到達する。この光も１／４波長
板５０７を２回通過しているので、偏光ビームスプリッ
タ５０９を反射する。

【００３６】そして、固定鏡５０４を反射した光と移動
鏡５０５を反射した光は偏光ビームスプリッタ５０９で
ほぼ同軸になり、受光素子５１０に入射する。この受光
素子５１０は図示されていない偏光子が設けられてお
り、固定鏡５０４を反射した光と移動鏡５０５を反射し
た光との干渉光を受光することができる。受光素子５１
０では、周波数差に応じたビート信号を検出し、その
後、制御手段５１１へその情報を出力する。

【００３７】ここで、ステージ５０５が移動していた場
合、移動鏡５０５を反射した光はドップラー効果を受け
る。したがって、受光素子５１０が発するビート信号
は、ステージ５０５が移動していない場合に得られるビ
ート信号に対して、そのビート周波数に変化が生ずる。
この変化を制御手段５１１で検出することで、ステージ
５０３の変位量を得ることができる。そして、制御手段
５１１では、検出された変位量からステージ５０３が最
適な位置になるようにステージ５０３の制御を行う。

【００３８】尚、本実施形態の露光装置では、参照信号
としてレーザ装置１００から直交２周波光の周波数差を
得ている。以上の様に、この露光装置では本発明の実施
の形態で説明したレーザ装置を測長装置用の光源として
用いるため、直交２周波光を得るために複雑な光学系を
配置すること無しに、少ないスペースで露光装置全体を
構成することができる。特に、ステージ周りはステージ
を駆動するための構成やウェハーとステージとの相対位
置関係を制御するための構成など、多くの部材が組み込
まれている。このような部分に小型化された直交２周波
光を射出できるレーザ装置を適用することで、露光装置
に用いられる各部材の配置方法が容易になる。

【００３９】なお、この実施の形態である露光装置に
は、一軸しか測長装置を設けていないが、ステージが２
次元的に移動するときには、それとは異なる方向におい
てもステージの変位を検出できる測長装置を設けること
が好ましい。また、更にステージの移動中の姿勢なども
検出したい場合には、ステージの同一面上の異なる位置
に複数の測定軸を設ければよい。この様に幾つもの測長
軸を設ける場合には、上述した本発明のレーザ装置を用
いれば、光の強度が強いので光を分離すればよい。

【００４０】

【発明の効果】以上の様に、本発明では、直交２周波光
を得るために複雑な光学系、例えば周波数シフタを使
い、偏光方位に応じて異なる周波数が得られるようにす
る光学系を使用せずに直交２周波光を得ることが出来る
ため、ヘテロダイン干渉法による干渉計の装置を小型化
し、Ｈｅ−Ｎｅレーザと比べてハイパワーにすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】：本発明の第１の実施の形態であるレーザ装置
の概略図である。

【図２】：本発明の第２の実施の形態であるレーザ装置
の概略図である。

【図３】：本発明の第３の実施の形態であるレーザ装置
の概略図である。

【図４】：本発明の第４の実施の形態であるレーザ装置
の概略図である。

【図５】：本発明のレーザ装置を測長装置の光源として
用い、その測長装置を露光装置に設けたときの概略を示
した図である。

【図６】：従来のレーザ装置に概略構成図である。

【符号の説明】

１、２１、３１・・レーザダイオード２、２２、３２・・集光光学系３、２３、３３・・レーザ結晶４、２４、３４・・レーザ共振器４１、４２、２４１、２４２、３４１・・反射鏡５・・光学素子６・・部分反射鏡７・・受光素子８・・制御手段９・・温調手段１０・・ピエゾ素子５００・・レーザ装置５０１・・マスク５０２・・鏡筒５０３・・ステージ５０４・・固定鏡５０５・・移動鏡５０７、５０８・・１／４波長板５０９・・偏光ビームスプリッタ５１０・・受光素子５１１・・制御部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザ結晶を有したレーザ共振器を備え
たレーザ装置において、前記レーザ共振器は、偏光方位に応じて異なる光路長を
有することを特徴とするレーザ装置。
【請求項２】前記レーザ共振器は、前記レーザ共振器
の光路中における直交する偏光方位において、異なる屈
折率を有する光学部材を備えたことを特徴とする請求項
１に記載のレーザ装置。
【請求項３】前記レーザ共振器は、一つの出力鏡を共
通して用いる複数の共振器を有したレーザ共振器であっ
て、複数ある前記レーザ共振器の光をほぼ同軸にするこ
とができる光線結合手段を有することを特徴とする請求
項１に記載のレーザ装置。
【請求項４】更に、前記レーザ共振器のレーザ光の射
出側に配置され、前記レーザ共振器から射出された偏光
方位の異なる光のそれぞれ一部を分割する光線分割手段
と、前記光線分割手段で分割された偏光方位の異なる光同士
の周波数差を検出し、前記検出された周波数差が一定に
なるように、前記レーザ共振器での各々の偏光方位に対
する光路長を制御する制御手段を備えたことを特徴とす
る請求項１に記載のレーザ装置。
【請求項５】更に前記レーザ共振の共振器内に、縦単
一モードにするための光学素子を備えたことを特徴とす
る請求項１に記載のレーザ装置。