JP2000150966A - 半導体発光装置及びその製造方法 - Google Patents

半導体発光装置及びその製造方法

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Shigehisa Oonakahara
繁壽 大中原
Tsugio Kawamichi
次男 川路
研一 ▲真▼田
Kenichi Sanada
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 発光輝度の低下がなくしかもボンディング用
のワイヤの断線を伴うことなくたとえば白色発光に変換
できる半導体発光装置の提供。 【解決手段】 発光素子2を、その搭載面と反対側の面
を主光取出し面としてリードフレーム1のマウント部1
cに搭載してこのマウント部1cとともに封止用の樹脂
ヘッド6によって封止する半導体発光装置において、発
光素子2の表面からマウント部1cの表面にかけて蛍光
物質の沈降によって形成される蛍光膜層7で被覆する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば発光輝度
が大幅に改善されたGaN系化合物半導体による青色発
光の発光ダイオードに係り、特に蛍光物質等を利用して
白色等の発光に変えて使えるようにした半導体発光装置
及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】青色発光の発光ダイオード(以下、「L
ED」と記す)は、近来になって、GaN,GaAl
N,InGaN及びInAlGaN等のGaN系化合物
半導体を利用することによって、発光輝度の向上に大き
な進展をみせた。そして、旧来からの赤(R),緑
(G)発光のLEDとの組合せによって、これらのLE
Dの3個を1ドットとする高画質のフルカラー画像の形
成が可能となった。
【0003】LEDの分野では、フルカラー対応には光
の三原色のR,G,B(青)が必要であるから、これら
の発光色のLEDのより一層の開発と改良が主である。
その一方で、たとえばR,G,Bの合成によってしか得
られない白色発光を単一のLEDで達成しようとする試
みも既になされている。このような試みの一つとして、
たとえば特開平7−99345号公報に開示されたもの
がある。
【0004】この公報に記載のLEDは、発光チップを
搭載するリードフレームのマウント部を含めて樹脂によ
って封止するいわゆるLEDランプのタイプとしたもの
である。そして、発光チップの発光波長を変えて異なっ
た発光色とするために、発光チップの周りのマウント部
に蛍光物質を含んだ内皮樹脂(公報においては、「第1
の樹脂」と記載)によって充填し、この内皮樹脂の硬化
後に外皮樹脂(公報においては、「第2の樹脂」と記
載)で封止した構成を持つ。また、内皮及び外皮の樹脂
はそれぞれエポキシ樹脂が利用され、内皮樹脂に含ませ
る蛍光物質としては蛍光染料,蛍光顔料,蛍光体が用い
られている。
【0005】このような蛍光物質を含む内皮樹脂によっ
て発光チップの周りとマウント部の内面にかけてを封止
することで、発光チップからの発光の波長が蛍光物質に
よって変えられる。したがって、外皮樹脂から放出され
る発光は発光チップが本来持つ色と異なる色となり、た
とえば高輝度のGaN系化合物半導体を利用した青色の
発光チップを白色発光のデバイスとして使えるようにな
る。
【0006】ここで、蛍光物質を含む内皮樹脂とこれを
覆ってLEDランプの外郭を形成する外皮樹脂の二重皮
膜とするのは、色変換のための蛍光物質を発光チップに
近い周りに集めておくためである。
【0007】すなわち、LEDランプの樹脂の全体に蛍
光物質を含ませることによっても色変換は可能である
が、外部からの光や隣接配置のLEDからの光が入り込
むと、この入射光によって蛍光物質が励起される。した
がって、点灯モードにないLEDが発光しているように
見え、多数のLEDを配列したディスプレイの場合では
混色を生じて画質を低下させる。このことから、先の公
報に記載のLEDは、内皮と外皮の樹脂の皮膜層に分
け、内皮樹脂だけに蛍光物質を含ませることによって、
外部からの光に蛍光物質が晒されるのを抑えて励起によ
る発光を阻止しようとしたのである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところが、先の公報に
記載のLEDの製造では、発光チップをマウントに搭載
した後に内皮樹脂によってその周りを封止し、この内皮
樹脂が硬化した後に外皮樹脂によって封止するという工
程を踏む。この場合、低温の内皮樹脂の表面に高温の外
皮樹脂が接触することや、外皮樹脂が硬化後常温に戻る
際に三次元の向きの収縮があることから、たとえ内皮及
び外皮の樹脂を共通のエポキシ樹脂としていても、これ
らの樹脂の界面に剥離や光学的な歪みの発生を伴いやす
い。
【0009】また、内皮と外皮の樹脂の両方をエポキシ
樹脂とした場合でも、内皮樹脂には蛍光顔料や染料等の
蛍光物質が含まれているので、生地としてのエポキシ樹
脂は共通ではあるが、実際の成分は蛍光物質があるかな
いかでの相違がある。これは、先のような界面の剥離が
一層起こりやすくなる一つの要因ともなる。
【0010】このように内皮樹脂と外皮樹脂の界面との
間の剥離や光学的な歪みは、発光チップからの発光に少
なからず影響を及ぼし、発光輝度の低下を招く。
【0011】一方、先に述べたように発光輝度が大幅に
改善されたGaN系化合物半導体を利用した青色発光の
LEDでは、現在のところ基板の好適材料としてサファ
イアが一般に用いられている。この場合、サファイアが
絶縁性であるため、p側及びn側の電極は基板と反対側
の半導体積層膜の表面に設けるしかない。したがって、
基板をマウント部に載せて電極を形成した面を主光取出
し面とするアセンブリでは、p側とn側の電極とリード
フレームとの間をAu等のワイヤでボンディングする必
要がある。
【0012】ところが、ワイヤをボンディングした後に
内皮樹脂の充填とその硬化後の外皮樹脂の封止があると
き、内皮樹脂を発光チップの周りに寄せて蛍光物質を集
約させるのであれば、電極とリードフレームとの間のワ
イヤは内皮と外皮の樹脂の境界を突っ切るボンディング
となる。なお、このことは、先の公報には何らの記載も
なされていないが、一対のリードフレームを含むLED
ランプであれば、発光チップを搭載していない側のリー
ドとの間は少なくともワイヤによるボンディングが必要
であることは明らかである。
【0013】このようにボンディング用のワイヤが内皮
と外皮の樹脂の境界を突っ切るアセンブリであると、外
皮樹脂の封止以後に内皮との界面で発生する樹脂の剥離
や歪みがワイヤに外力を作用させる。したがって、ワイ
ヤには界面部分に相当して応力が集中するようになり、
剥離や歪みの程度が僅かであっても、ワイヤが破断して
しまう可能性もある。
【0014】以上のように、内皮と外皮の樹脂に分けて
内皮樹脂のみに蛍光物質を含ませることで外部光による
無用な蛍光物質の励起は避けられるものの、内皮と外皮
の樹脂の界面で発生する剥離現象等によって、発光輝度
の低下やボンディング用のワイヤの断線という二つの新
たな問題が派生することになる。
【0015】本発明において解決すべき課題は、発光輝
度の低下がなくしかもボンディング用のワイヤの断線を
伴うことなくたとえば白色発光に変換できる半導体発光
装置を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明は、発光素子を、
その搭載面と反対側の面を主光取出し面としてリードフ
レームや基板等の基材のマウント部に搭載し、前記発光
素子をマウント部とともに封止用の樹脂によって封止す
る半導体発光装置において、前記発光素子の表面から前
記マウント部の表面にかけて、溶剤中に混合した蛍光物
質の沈降によって形成される蛍光膜層で被覆し、前記封
止用の樹脂を前記蛍光膜層に積層してなることを特徴と
する。
【0017】このような構成では、沈降法によって形成
される蛍光膜層は樹脂層である場合よりも熱変化が格段
に小さいので、それぞれの境界面を密に接合でき、封止
用の樹脂の硬化後の界面の剥離や光学的な歪みの発生が
防止される。
【0018】
【発明の実施の形態】請求項1に記載の発明は、発光素
子を、その搭載面と反対側の面を主光取出し面としてリ
ードフレームや基板等の基材のマウント部に搭載し、前
記発光素子をマウント部とともに封止用の樹脂によって
封止する半導体発光装置において、前記発光素子の表面
から前記マウント部の表面にかけて溶剤中に溶解させた
蛍光物質の沈降によって形成される蛍光膜層で被覆し、
前記封止用の樹脂を前記蛍光膜層に積層してなるもので
あり、蛍光膜層と封止用の樹脂のそれぞれの境界面を密
に接合でき、封止用の樹脂の硬化後の界面の剥離や光学
的な歪みの発生を防止するという作用を有する。
【0019】請求項2に記載の発明は、前記マウント部
は、前記発光素子を搭載する搭載面とその周囲を立ち上
げた凹状であって、その内部表面の全体を前記蛍光膜層
で被覆してなる請求項1記載の半導体発光装置であり、
発光素子から放出された光によってマウント部の内周の
蛍光膜層が励起されるので、更に発光輝度を向上させる
という作用を有する。
【0020】請求項3に記載の発明は、前記発光素子
は、前記主光取出し面側に少なくともp側またはn側の
いずれか一方の電極を備え、前記電極と前記基材との間
にボンディングするワイヤの線径と前記蛍光層膜の厚さ
との大きさの比を1:1〜3:1の範囲としてなる請求
項1または2記載の半導体発光装置であり、ワイヤが電
極に固定されていて剛性が高くなっている部分にのみ蛍
光層膜が干渉するようにすることで、ワイヤの断線を防
止できるという作用を有する。
【0021】請求項4に記載の発明は、請求項1または
2記載の半導体発光装置の製造方法であって、前記マウ
ント部に前記発光素子を搭載する工程と、少なくとも前
記マウント部と発光素子を蛍光物質含有の溶剤で被膜し
且つ沈降法によって前記蛍光物質を沈降させるとともに
前記溶剤を蒸発させて前記発光素子及びマウント部の表
面に成膜する工程と、前記封止用の樹脂によって封止す
る工程とからなる半導体発光装置の製造方法であり、蛍
光膜層と封止用の樹脂のそれぞれの境界面を密に接合で
き、封止用の樹脂の硬化後の界面の剥離や光学的な歪み
の発生を防止できる発光装置が得られるという作用を有
する。
【0022】請求項5に記載の発明は、請求項3記載の
半導体発光装置の製造方法であって、前記マウント部に
前記発光素子を搭載する工程と、前記電極と基材とを前
記ワイヤでボンディングする工程と、少なくとも前記マ
ウント部と発光素子を蛍光物質含有の溶剤で被覆し且つ
沈降法によって前記蛍光物質を沈降させるとともに前記
溶剤を蒸発させて前記発光素子及びマウント部の表面に
成膜する工程と、前記封止用の樹脂によって封止する工
程とからなる半導体発光装置の製造方法であり、ワイヤ
をボンディングするものでもその断線がない発光装置が
得られるという作用を有する。
【0023】図1は本発明の一実施の形態による半導体
発光装置の概略縦断面図である。図1において、配線基
板(図示せず)に接続されたリードフレーム1がボンデ
ィング用のリード1aと発光素子搭載用のリード1bの
対として形成され、一方のリード1bにはすり鉢状とし
たマウント部1cを設けている。
【0024】マウント部1cに搭載される発光素子2
は、従来技術の項で述べたGaN系化合物半導体を利用
した高輝度の青色発光のLEDである。この発光素子2
は、サファイアを素材とした基板2aの表面に、たとえ
ばGaNのn型層,InGaNの活性層及びGaNのp
型層を積層したものであり、基板2aの底面をマウント
部1cの表面に載せて絶縁性または導電性の接着剤3に
より固定されている。
【0025】発光素子2のp型層はその一部がエッチン
グされてn型層を露出させ、この露出したn型層の表面
にn側電極4を形成し、p型層の表面にはp側電極5を
形成している。これらのn側及びp側の電極4,5はA
uまたはAl等の金属を蒸着法によって積層したもので
ある。n側電極4とリード1bとの間にAuを利用した
ワイヤ4a及びp側電極5と他方のリード1aとの間に
同様にAuを利用したワイヤ5aがそれぞれボンディン
グされている。そして、これらのワイヤ4a,5aを含
んでレンズ機能を兼ねる樹脂ヘッド6によって封止し、
LEDランプが構成される。なお、樹脂ヘッド6はLE
Dランプの封止樹脂用として一般的に利用されているエ
ポキシ樹脂を素材としたものである。
【0026】ここまでのLEDランプの構成は従来の
R,G,Bのそれぞれの半導体発光装置のそれと全く同
様であるが、本発明においては発光素子2の青色発光を
白色に変えるための構成を持たせる。
【0027】すなわち、マウント部1cの内周面から発
光素子2のほぼ全体を被覆する蛍光膜層7を形成する。
この蛍光膜層7は、発光素子2の発光色である青色と補
色の関係にある蛍光色を呈する蛍光物質である。なお、
蛍光物質としては、蛍光染料,蛍光顔料,蛍光体などの
いずれでもよく、たとえば(Y,Gd)3 (Al,G
a)512:Ce等が利用できる。
【0028】蛍光膜層7は沈降法によって成膜されるも
ので、発光素子2の搭載から樹脂ヘッド6による封止ま
での製造工程の概略は図2に示すとおりで、次の(1)
〜(4)の工程による。
【0029】(1) ウエハー状態からダイシングされ
た発光素子2をバキュームノズル(図示せず)によって
吸着し、予め接着剤3が塗布されているマウント部1c
上に搭載して発光素子2を固定する(同図(a))。
【0030】(2) n側電極4とリード1bとの間に
ワイヤ4aをボンディングし、同様にp側電極5とリー
ド1aとの間をワイヤ5aによってボンディングする
(同図(b))。
【0031】(3) リードフレーム1の少なくともマ
ウント部1cの全体を、溶剤に混ぜた蛍光物質を沈降法
によって蛍光膜層7をマウント部1cの内周面及び発光
素子2の表面の全体に形成させる(同図(c))。
【0032】(4) 形成された蛍光膜層7が安定した
後、エポキシ樹脂によって封止して樹脂ヘッド6を形成
する(同図(d))。
【0033】ここで、工程(3)における蛍光膜層7の
沈降法による形成は、次の要領による。
【0034】発光素子2の搭載からワイヤ4a,5aま
でのアセンブリを終えたリードフレーム1の表面に蛍光
膜層7を形成するために、蛍光物質を混合した溶剤を準
備する。この溶剤はメチルアルコールやその他の蒸発性
の高い有機溶剤であり、蛍光物質を0.05%〜0.1
%の体積割合で混合したものである。そして、発光素子
2を搭載しワイヤ4a,5aをボンディングしたリード
フレーム1をそのマウント部1cが真上を向く姿勢と
し、このマウント部1cに蛍光物質を混ぜた溶剤を注入
する。この注入の後に10分間以上静置しておくと、溶
剤中の蛍光物質は沈降してリードフレーム1のマウント
部1cの表面に堆積していく。この蛍光物質の沈降の後
には、リードフレーム1の全体を60〜100℃の炉内
温度の乾燥炉に装入し、マウント部1cの中の溶剤を加
熱乾燥させる。
【0035】以上の加熱乾燥工程を経てリードフレーム
1を乾燥炉から取り出すと、蛍光物質を含んだ蛍光膜層
7が図1に示すようにマウント部1cの内周面と発光素
子2の表面に薄膜状に形成される。
【0036】このように、蛍光膜層7は蛍光物質の薄膜
層として形成され樹脂成分を一切含まない。したがっ
て、工程(4)において高温のエポキシ樹脂よる樹脂ヘ
ッド6の封止工程では、蛍光膜層7は樹脂層である場合
よりも熱変化が格段に小さくそれぞれの境界面を密に接
合することができ、樹脂ヘッド6の硬化後における剥離
等を生じることはなく、光学的な歪みも引き起こさな
い。これにより、発光素子2からの発光に影響を及ぼす
ことはなく、その発光輝度を高く維持できる。
【0037】また、蛍光膜層7は溶剤中の蛍光物質の沈
降によって形成されるので、この蛍光膜層7の厚さを7
〜30μm程度にきわめて薄く成膜できるので、ワイヤ
4a,5aをn側及びp側の電極4,5の表面からほぼ
垂直に立ち上がるようなボンディングとしておけば、線
径が20〜30μm程度のワイヤ4a,5aが蛍光膜層
7に入り込む長さもきわめて短い。そして、ワイヤ4
a,5aがn側及びp側の電極4,5の表面にボンディ
ングされている部分は、固定端となっているために他の
部分よりも剛性が高い。したがって、蛍光膜層7と樹脂
ヘッド6のエポキシ樹脂の境界をワイヤ4a,5aが突
っ切ってもその破断方向への応力に対する強度を高く維
持でき、断線が効果的に防止される。
【0038】更に、発光色に関しては、発光素子2の基
板2a底面を除くほぼ全体が蛍光膜層7によって被覆さ
れるので、発光素子2の主光取出し面及び側方から抜け
る光は全て蛍光膜層7を通過する。したがって、蛍光膜
層7の蛍光体が励起されて白色の発光に変換することが
できる。
【0039】そして、蛍光膜層7はマウント部1cの底
面及び内周面にかけて形成されているので、発光素子2
を被覆している部分の蛍光膜層7からの白色光は、マウ
ント部1cの表面の蛍光膜層7へも達する。したがっ
て、マウント部1cの表面の蛍光膜層7内の蛍光体も励
起され、発光方向への発光強度を更に向上させることが
できる。
【0040】図3は本発明の別の実施の形態による半導
体発光装置の概略縦断面図であり、反射ケースを用いた
例として示す。なお、図1の実施の形態と比較して同一
の構成部材については同じ符号で指示する。
【0041】図3において、有底状であって絶縁性の反
射ケース8に一対のリード9a,9bが組み込まれ、フ
リップチップ型の発光素子10がリード9a,9bを跨
ぐように搭載されている。リード9a,9bは反射ケー
ス8の底部の上面に展開されるとともに反射ケース8の
内部から下面側に沿う断面形状を持ち、リード9a,9
bの下面側の部分が配線基板(図示せず)の上に形成さ
れた配線パターンに導通搭載される。
【0042】発光素子10はGaN系化合物半導体を利
用した高輝度の青色発光のLEDである。この発光素子
10は絶縁性であって光透過性のサファイアを素材とし
た基板10aの表面に、たとえばGaNのn型層,In
GaNの活性層及びGaNのp型層を積層したものであ
り、p型層の一部がエッチングされてn型層を露出さ
せ、この露出したn型層の表面にn側電極を形成し、p
型層の表面にはp側電極を形成し、これらのn側及びp
側の電極にバンプ電極11a,11bを形成したもので
ある。
【0043】発光素子10はバンプ電極11a,11b
をマウント部9c,9dの上に載せて超音波圧着と加熱
圧着を加えることで接合され、リード9a,9bにそれ
ぞれ導通固定される。そして、活性層からの光は基板1
0aを抜けて図3において上向きに発光され、この基板
10aの上端面を主光取出し面とする。そして発光素子
10の表面からマウント部の表面にかけて蛍光膜層7を
形成する。蛍光膜層7は図2に示した製造工程と同じよ
うにして形成する。その後、エポキシ樹脂を注入し硬化
させ封止樹脂層12を形成する。
【0044】この図3の例でも、発光素子10からの発
光に影響を及ぼすことはなく、その発光輝度を高く維持
できる。なお、以上の説明では、青色発光の発光素子を
白色発光に変える例としたが、赤や緑の発光素子のそれ
ぞれの発光を蛍光物質の特性によって様々な発光色に変
える構成とすることもできる。
【0045】
【発明の効果】本発明では、発光素子の発光色を他の色
に変えるための蛍光物質を含む蛍光膜層を沈降法によっ
て発光素子の表面及びマウント部に形成するので、従来
の樹脂中に蛍光物質を封入して封止用の樹脂で更に皮膜
するのに比べると、樹脂の剥離や光学歪みの発生が抑え
られ、発光輝度の向上が可能となる。また、ボンディン
グ用のワイヤを用いる場合でも、樹脂の剥離抑えられる
ので、その破断が防止される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態におけるGaN系化合物
半導体発光素子を備えた発光装置の概略縦断面図
【図2】本発明の製造方法における工程を示す概略図
【図3】本発明の別の実施の形態におけるGaN系化合
物半導体発光素子を備えた発光装置の概略縦断面図
【符号の説明】
1 リードフレーム 1a,1b リード 1c マウント部 2 発光素子 2a 基板 4 n側電極 4a ワイヤ 5 p側電極 5a ワイヤ 6 樹脂ヘッド 7 蛍光膜層 8 反射ケース 9a,9b リード 9c,9d マウント部 10 発光素子 10a 基板 11a,11b バンプ電極 12 封止樹脂層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ▲真▼田 研一 大阪府高槻市幸町1番1号 松下電子工業 株式会社内 Fターム(参考) 5F041 AA11 AA12 AA25 CA34 CA40 CB27 DA07 DA21 DA25 DA29 DA44 FF01

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発光素子を、その搭載面と反対側の面を
    主光取出し面としてリードフレームや基板等の基材のマ
    ウント部に搭載し、前記発光素子をマウント部とともに
    封止用の樹脂によって封止する半導体発光装置におい
    て、前記発光素子の表面から前記マウント部の表面にか
    けて、溶剤中に混合した蛍光物質の沈降によって形成さ
    れる蛍光膜層で被覆し、前記封止用の樹脂を前記蛍光膜
    層に積層してなる半導体発光装置。
  2. 【請求項2】 前記マウント部は、前記発光素子を搭載
    する搭載面とその周囲を立ち上げた凹状であって、その
    内部表面の全体を前記蛍光膜層で被覆してなる請求項1
    記載の半導体発光装置。
  3. 【請求項3】 前記発光素子は、前記主光取出し面側に
    少なくともp側またはn側のいずれか一方の電極を備
    え、前記電極と前記基材との間にボンディングするワイ
    ヤの線径と前記蛍光層膜の厚さとの大きさの比を1:1
    〜3:1の範囲としてなる請求項1または2記載の半導
    体発光装置。
  4. 【請求項4】 請求項1または2記載の半導体発光装置
    の製造方法であって、前記マウント部に前記発光素子を
    搭載する工程と、少なくとも前記マウント部と発光素子
    を蛍光物質含有の溶剤で被膜し且つ沈降法によって前記
    蛍光物質を沈降させるとともに前記溶剤を蒸発させて前
    記発光素子及びマウント部の表面に成膜する工程と、前
    記封止用の樹脂によって封止する工程とからなる半導体
    発光装置の製造方法。
  5. 【請求項5】 請求項3記載の半導体発光装置の製造方
    法であって、前記マウント部に前記発光素子を搭載する
    工程と、前記電極と基材とを前記ワイヤでボンディング
    する工程と、少なくとも前記マウント部と発光素子を蛍
    光物質含有の溶剤で被覆し且つ沈降法によって前記蛍光
    物質を沈降させるとともに前記溶剤を蒸発させて前記発
    光素子及びマウント部の表面に成膜する工程と、前記封
    止用の樹脂によって封止する工程とからなる半導体発光
    装置の製造方法。
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002001649A1 (en) * 2000-06-29 2002-01-03 Koninklijke Philips Electronics N.V. Optoelectric element
EP1246265A2 (en) * 2001-03-30 2002-10-02 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Light emitting device
WO2003001612A1 (en) * 2001-06-20 2003-01-03 Nichia Corporation Semiconductor device and its fabriction method
WO2003021691A1 (en) * 2001-09-03 2003-03-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor light emitting device, light emitting apparatus and production method for semiconductor light emitting device
JP2005191420A (ja) * 2003-12-26 2005-07-14 Stanley Electric Co Ltd 波長変換層を有する半導体発光装置およびその製造方法
KR100635631B1 (ko) 2005-09-01 2006-10-17 학교법인 원광학원 나노사이즈 형광물질을 이용한 백색 led
JP2006313829A (ja) * 2005-05-09 2006-11-16 Konica Minolta Opto Inc 白色発光ダイオード及びその製造方法
US7138660B2 (en) 2000-12-28 2006-11-21 Toyoda Gosei Co., Ltd. Light emitting device
JP2008258659A (ja) * 2004-02-19 2008-10-23 Hong Yuan Technology Co Ltd 発光デバイスおよび同製造方法
US7663307B2 (en) 2005-07-15 2010-02-16 Kabushiki Kaisha Toshiba Light-emitting device
US7687823B2 (en) 2006-12-26 2010-03-30 Nichia Corporation Light-emitting apparatus and method of producing the same
JP2011501881A (ja) * 2007-10-22 2011-01-13 コミサリア ア レネルジィ アトミーク エ オ エネルジィ アルタナティブ ナノワイヤに基づく光電子デバイス及び対応する工程
CN102569620A (zh) * 2010-12-21 2012-07-11 三星Led株式会社 发光装置封装件及其制造方法

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100869866B1 (ko) * 2000-06-29 2008-11-24 코닌클리즈케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. 광전 소자 및 그 피복 방법
WO2002001649A1 (en) * 2000-06-29 2002-01-03 Koninklijke Philips Electronics N.V. Optoelectric element
JP2007189239A (ja) * 2000-12-28 2007-07-26 Toyoda Gosei Co Ltd 発光素子を備えた光源
US7157746B2 (en) 2000-12-28 2007-01-02 Toyoda Gosei Co., Ltd. Light emitting device having a divalent-europium-activated alkaline earth metal orthosilicate phosphor
US7679101B2 (en) 2000-12-28 2010-03-16 Toyoda Gosei Co., Ltd. Light emitting device
US7259396B2 (en) 2000-12-28 2007-08-21 Toyoda Gosei Co., Ltd. Light source with a light-emitting element
US7138660B2 (en) 2000-12-28 2006-11-21 Toyoda Gosei Co., Ltd. Light emitting device
EP1246265A2 (en) * 2001-03-30 2002-10-02 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Light emitting device
EP1246265A3 (en) * 2001-03-30 2007-09-05 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Light emitting device
WO2003001612A1 (en) * 2001-06-20 2003-01-03 Nichia Corporation Semiconductor device and its fabriction method
USRE47453E1 (en) 2001-09-03 2019-06-25 Panasonic Corporation Luminescent layer and light-emitting semiconductor device
US7422504B2 (en) 2001-09-03 2008-09-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Light-emitting semiconductor device, light-emitting system and method for fabricating light-emitting semiconductor device
WO2003021691A1 (en) * 2001-09-03 2003-03-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor light emitting device, light emitting apparatus and production method for semiconductor light emitting device
US7592639B2 (en) 2001-09-03 2009-09-22 Panasonic Corporation Light-emitting semiconductor device, light-emitting system and method for fabricating light-emitting semiconductor device
US7629620B2 (en) 2001-09-03 2009-12-08 Panasonic Corporation Light-emitting semiconductor device, light-emitting system and method for fabricating light-emitting semiconductor device
US7023019B2 (en) 2001-09-03 2006-04-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Light-emitting semiconductor device, light-emitting system and method for fabricating light-emitting semiconductor device
US7772769B2 (en) 2001-09-03 2010-08-10 Panasonic Corporation Light-emitting semiconductor device, light-emitting system and method for fabricating light-emitting semiconductor device
JP2005191420A (ja) * 2003-12-26 2005-07-14 Stanley Electric Co Ltd 波長変換層を有する半導体発光装置およびその製造方法
US7749038B2 (en) 2004-02-19 2010-07-06 Hong-Yuan Technology Co., Ltd. Light emitting device fabrication method
JP2008258659A (ja) * 2004-02-19 2008-10-23 Hong Yuan Technology Co Ltd 発光デバイスおよび同製造方法
JP2006313829A (ja) * 2005-05-09 2006-11-16 Konica Minolta Opto Inc 白色発光ダイオード及びその製造方法
US7663307B2 (en) 2005-07-15 2010-02-16 Kabushiki Kaisha Toshiba Light-emitting device
KR100635631B1 (ko) 2005-09-01 2006-10-17 학교법인 원광학원 나노사이즈 형광물질을 이용한 백색 led
US7687823B2 (en) 2006-12-26 2010-03-30 Nichia Corporation Light-emitting apparatus and method of producing the same
JP2011501881A (ja) * 2007-10-22 2011-01-13 コミサリア ア レネルジィ アトミーク エ オ エネルジィ アルタナティブ ナノワイヤに基づく光電子デバイス及び対応する工程
CN102569620A (zh) * 2010-12-21 2012-07-11 三星Led株式会社 发光装置封装件及其制造方法
CN102569620B (zh) * 2010-12-21 2016-03-02 三星电子株式会社 发光装置封装件及其制造方法

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