JP2000150777A - 複合半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
かった不良品を、複合半導体装置として組立てる以前に
100%の定格電流検査により排除できるようにする。 【解決手段】単位絶縁基板9に、所定の回路を構成する
最小単位の半導体チップを搭載した単位組立体8に所定
の電気的検査を実施した後に、良品の単位組立体8のみ
複数個放熱板上に搭載した後、それらの単位組立体8と
外部導出端子14を電気的に接続して所定の回路を構成
する。
Description
製造方法に関するものである。
に図5および図6に示す。
除いた状態の平面図、図6は同じくその横断面図であ
る。これらの図において、放熱板1上には絶縁基板2が
搭載され、この絶縁基板2上に所定の導体パターン3が
形成されている。その中央部の導体パターン3上には複
数の半導体チップ4が搭載・固着されている。また、例
えば前記半導体チップ4がIGBTチップであれば、エ
ミッタEとなる導体パターン3bおよびゲートGとなる
導体パターン3cと表面電極とがそれぞれボンディング
ワイヤ5により結線さてている。
ケース6が被せられ、上端開口部には図示を省略した蓋
体が嵌め込まれる。また、必要に応じ絶縁ケース6の内
部には封止用樹脂が充填・硬化され目的とする複合半導
体装置を完成させている。
半導体装置に組立てる前に、図7に示す半導体ウエハ7
の状態で半導体素子1個分の領域7a,7b…7n毎に
電気的特性を検査し、その後個々に分割して良品のみを
絶縁基板2上に搭載するようにしている。
7の状態では、複合半導体装置として実際に使用する条
件では検査することができない。例えば、定格30Aの
流せる半導体素子でも半導体ウエハ7の状態では放熱等
の問題で30Aも通流させることはできない。通常は、
定格の約10%の条件で試験している。
5および図6のように組立てた後に、個々の半導体素子
に定格の約100%の電流を流して試験している。この
時、仮に6個中1個が不良品となった場合には、すでに
組立てた複合半導体装置全体を不良品とするか、あるい
は不良品の半導体チップ4のみを絶縁基板2から取り外
さなければならない。
取り外すにしても半導体チップ4が絶縁基板2に半田固
着されているので、放熱板1自体を熱板等の上に載せて
再加熱したり、また、不良品を取り外した後、別の半導
体チップを新たに半田付けしなければならない。他方、
半導体ウエハ7の状態で不良品を選別できれば、上記の
ような余分な工程は不要となるが、上記した通り通流し
得る検査電流等の関係で困難であった。
固着させた複数の半導体チップ4のうち、1個でも不良
品が出ると、かかる不良品を取り替えるのに多大の工数
がかかっていた。他の良品の半導体チップ4も含めて複
合半導体装置全体を不良品とすると複合半導体装置の製
造コストの上昇させてしまう。
になされたもので、半導体ウエハの状態で検査した際に
選別できなかった不良品を、複合半導体装置として組立
てる以前に、100%の定格電流検査により排除できる
ようにし、後においての交換作業、複合半導体装置とし
て組立後の全体の廃棄ということをなくし、組立工数の
削減および製造コストの低減を実現できる複合半導体装
置およびその製造方法を提供することを目的とするもの
である。
基板に、所定の回路を構成する最小単位の半導体チップ
を搭載した単位組立体に所定の電気的検査を実施した後
に、良品の単位組立体のみ複数個放熱板上に搭載した
後、それらの単位組立体と外部導出端子とを電気的に接
続して所定の回路を構成したことを特徴と複合半導体装
置の製造方法である。
チップを搭載する第1の導体パターンと、前記半導体チ
ップ上面の電極と外部導出端子の一方端とを結線するた
めの中継となる第2および第3の導体パターンとから成
り、前記第1の導体パターン上に半導体チップを搭載
後、該半導体チップ上面の電極と前記第2および第3の
導体パターン間をボンディングワイヤにて結線して成る
複数の単位組立体から構成されることを特徴とする複合
半導体装置である。
れ、該外部導出端子の一方端は、上記単位組立体の近傍
まで延在し、該外部導出端子の他方端は、前記絶縁ケー
スの外部に導出されると共に、前記絶縁ケースの底面は
前記単位組立体を位置決め固定するための複数の貫通孔
が設けられていることを特徴とする前記複合半導体装置
用絶縁ケースである。
明する。まず、図7に示した半導体ウエハ7の状態で各
半導体素子を従来と同様に定格電流の10%程度の電流
を通流して検査を実施する。そして、良品の半導体チッ
プのみを使用し、単位組立体を構成する。
の平面図であるが、この単位組立体8は、単位絶縁基板
9を有する。この単位絶縁基板9には、例えばIGBT
チップ10とダイオードチップ11を搭載・固着するた
めの導体パターン12aと、上記チップ10のエミッタ
電極および上記チップ11のアノード電極から引き出さ
れるボンディングワイヤを接続する導体パターン12b
と、上記チップ10のゲート電極から引き出されるボン
ディングワイヤを接続する導体パターン12cとがその
表面に形成されている。
ドチップ11は、絶縁基板9の導体パターン12a上に
半田固着され、導体パターン12b,12cと各表面電
極とがボンディングワイヤ13により結線されている。
ーン12a,12b,12c間で電気的特性検査が実施
する。この際、単位組立体8を図示を省略した放熱板上
に載せ、上記の導体パターン12a,12b,12c上
に検査用の電極を押し当てて検査することにより、定格
の100%の電流条件で良品、不良品を選別することが
できる。
体8のみを図1および図2示す放熱板13上に半田固着
させる。その場合、図示を省略した治具を用いて所定の
位置に各単位組立体8を位置決めする。また、他の位置
決め方法として外部導出端子14がインサートモールド
された絶縁ケース15を放熱板13の外周に被せ、図4
に示すように絶縁ケース15の底面16に設けた段付き
の貫通孔17に単位組立体8を嵌め込み位置決め固定す
るようにしても良い。上記の絶縁ケース15と放熱板1
8とは接着剤により固定する。なお、絶縁ケース15と
放熱板18とは最初から一体的にモールドしたものでも
良い。
導体パターン12b,12cと、絶縁ケース15にイン
サートモールドされた外部導出端子14の他方端14a
とをボンディングワイヤ13にて結線する。
縁ケース15は、放熱板を一体的にモールドしていない
タイプのものであり、外部導出端子14は絶縁ケース1
5の四方の側壁から上方に立ち上がるようにインサート
モールドされている。
は、他方端14aを介して単位組立体8の所定位置の導
体パターン12bと接続されることによりエミッタ
(E)端子となる。図示上部の外部導出端子14は、他
方端14bを介して単位組立体8の導体パターン12a
と接続されることによりコレクタ(C)端子となる。さ
らに図示下部の外部導出端子14は、他方端14cを介
して単位組立体8の所定の導体パターン12cに接続さ
れゲート(G)端子となる。
の上端開口部には図示を省略した蓋体が被せられ、必要
に応じて絶縁ケース15の内部には封止樹脂が充填・硬
化されて目的とする複合半導体装置を完成させる。上記
の場合、単位組立体8の状態で定格100%の条件で電
気的特性検査を行うこたができ、この検査で良品となっ
たもののみ複合半導体装置に使用できるため、該複合半
導体装置に組立後に単位組立体の交換作業あるいは複合
半導体装置全体の廃棄を余儀なくされるというような無
駄がなくなる。
の条件で電気的特性検査が可能なように、複合半導体装
置を製造途上で、単位組立体を介在させるようにしたの
で、半導体ウエハの状態で検査した際に選別できなかっ
た不良品を、複合半導体装置として完成する以前の単位
組立体の段階で排除することができる。そのため、複合
半導体装置の組立てには良品のみの単位組立体を用いる
ことができ、従来ように複合半導体装置して組立後に半
導体チップを交換する、あるいは複合半導体装置全体を
廃棄するというこがなくなり、組立工数の削減および製
造コストの低減を実現できる。
の平面図である。
の断面図である。
エハの状態の平面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】単位絶縁基板に、所定の回路を構成する最
小単位の半導体チップを搭載した単位組立体に所定の電
気的検査を実施した後に、良品の単位組立体のみ複数個
放熱板上に搭載した後、それらの単位組立体と外部導出
端子とを電気的に接続して所定の回路を構成したことを
特徴とする複合半導体装置の製造方法。 - 【請求項2】単位絶縁基板上面に半導体チップを搭載す
る第1の導体パターンと、前記半導体チップ上面の電極
と外部導出端子とを結線するための中継となる第2およ
び第3の導体パターンとから成り、前記第1の導体パタ
ーン上に半導体チップを搭載後、該半導体チップ上面の
電極と前記第2および第3の導体パターン間をボンディ
ングワイヤにて結線して成る複数の単位組立体から構成
されることを特徴とする複合半導体装置。 - 【請求項3】外部導出端子は、絶縁ケースと一体成形さ
れ、該外部導出端子の一方端は、上記単位組立体の近傍
まで延在し、該外部導出端子の他方端は、前記絶縁ケー
スの外部に導出されると共に、前記絶縁ケースの底面
は、前記単位組立体を位置決め固定するための複数の貫
通孔が設けられていることを特徴とする前記複合半導体
装置用絶縁ケース。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10317717A JP2000150777A (ja) | 1998-11-09 | 1998-11-09 | 複合半導体装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10317717A JP2000150777A (ja) | 1998-11-09 | 1998-11-09 | 複合半導体装置およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000150777A true JP2000150777A (ja) | 2000-05-30 |
Family
ID=18091260
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10317717A Pending JP2000150777A (ja) | 1998-11-09 | 1998-11-09 | 複合半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000150777A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013172134A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-09-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体モジュールの製造方法及び半導体モジュールの製造装置 |
JP2014179547A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Toshiba Corp | 半導体モジュール及びその製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0774306A (ja) * | 1993-09-03 | 1995-03-17 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JPH09213878A (ja) * | 1996-01-29 | 1997-08-15 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JPH10289917A (ja) * | 1997-04-14 | 1998-10-27 | Hitachi Ltd | 電力用半導体装置 |
-
1998
- 1998-11-09 JP JP10317717A patent/JP2000150777A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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JP2014179547A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Toshiba Corp | 半導体モジュール及びその製造方法 |
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