JP2000147079A - 磁気式センサおよびその製造方法 - Google Patents
磁気式センサおよびその製造方法Info
- Publication number
- JP2000147079A JP2000147079A JP10344929A JP34492998A JP2000147079A JP 2000147079 A JP2000147079 A JP 2000147079A JP 10344929 A JP10344929 A JP 10344929A JP 34492998 A JP34492998 A JP 34492998A JP 2000147079 A JP2000147079 A JP 2000147079A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- magnet
- magnetic sensor
- atomic
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hard Magnetic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高価な希土類元素やＣｏ元素の使用量が少な
くて済み、着磁特性および温度特性が優れるうえ良好な
硬磁気特性を備えた磁石を得、該磁石を磁気式センサ用
磁石として用いることにより低コストで、温度変化によ
る磁化の変化に起因する出力のドリフトを防止できる磁
気式センサおよびその製造方法の提供。 【解決手段】 少なくとも磁石と、前記磁石の磁気を検
出する磁気検出素子１０１を有し、前記磁石はＣｏとＳ
ｍを少なくとも含んでなる第一の非晶質相を主相とする
合金粉末と、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類元素Ｒ
と、Ｂとを少なくとも含んでなる第二の非晶質相を主相
とする合金粉末とを混合した複合粉末が固化成形されて
なる複合型磁石１０３，１０４であることを特徴とする
磁気式センサ。
くて済み、着磁特性および温度特性が優れるうえ良好な
硬磁気特性を備えた磁石を得、該磁石を磁気式センサ用
磁石として用いることにより低コストで、温度変化によ
る磁化の変化に起因する出力のドリフトを防止できる磁
気式センサおよびその製造方法の提供。 【解決手段】 少なくとも磁石と、前記磁石の磁気を検
出する磁気検出素子１０１を有し、前記磁石はＣｏとＳ
ｍを少なくとも含んでなる第一の非晶質相を主相とする
合金粉末と、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類元素Ｒ
と、Ｂとを少なくとも含んでなる第二の非晶質相を主相
とする合金粉末とを混合した複合粉末が固化成形されて
なる複合型磁石１０３，１０４であることを特徴とする
磁気式センサ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動車等の内燃機
関に備えられるスロットルポジションセンサや、ＥＧＲ
センサなどとして用いられる磁気式センサおよびその製
造方法に係わるもので、磁気式センサ用磁石として着磁
特性および温度特性が優れるうえ良好な硬磁気特性を備
えた磁石を用いた磁気式センサおよびその製造方法に関
するものである。
関に備えられるスロットルポジションセンサや、ＥＧＲ
センサなどとして用いられる磁気式センサおよびその製
造方法に係わるもので、磁気式センサ用磁石として着磁
特性および温度特性が優れるうえ良好な硬磁気特性を備
えた磁石を用いた磁気式センサおよびその製造方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気式センサの一種に、電子制御燃料噴
射装置を搭載した内燃機関に備えられて、その出力信号
が燃料噴射制御等に供されるスロットルポジションセン
サが知られている。このスロットルポジションは、スロ
ットルバルブシャフトに連結され、通常、スロットルバ
ルブの開度（スロットル開度）に応じて変化するスロッ
トル開度信号と、アイドル域か出力域かによりオンオフ
するアイドル信号が出力されるようになっている。ま
た、このようなスロットルポジションセンサにおいて
は、非接触機構を構成し、あるいはシャフトの慣性損失
を小さくする等の要請から磁気センサが利用されてお
り、シャフトの先端に装着された永久磁石に対向するよ
うにホール素子等の磁気検出素子が配置されている。
射装置を搭載した内燃機関に備えられて、その出力信号
が燃料噴射制御等に供されるスロットルポジションセン
サが知られている。このスロットルポジションは、スロ
ットルバルブシャフトに連結され、通常、スロットルバ
ルブの開度（スロットル開度）に応じて変化するスロッ
トル開度信号と、アイドル域か出力域かによりオンオフ
するアイドル信号が出力されるようになっている。ま
た、このようなスロットルポジションセンサにおいて
は、非接触機構を構成し、あるいはシャフトの慣性損失
を小さくする等の要請から磁気センサが利用されてお
り、シャフトの先端に装着された永久磁石に対向するよ
うにホール素子等の磁気検出素子が配置されている。
【０００３】ところで、従来のスロットルポジションセ
ンサにおいては、センサ用磁石として、アルニコ（Ａｌ
−Ｎｉ−Ｃｏ）磁石またはＳｍ−Ｃｏ系磁石が使用され
ている。これら磁石が使用されるのは、磁化の温度変化
率が非常に小さいためである。上記アルニコ磁石は、磁
化の温度変化率が非常に小さいが、保磁力が１ｋＯｅ以
下と小さいため、上述のような用途の小型のセンサに使
用することが困難であるために、多くのセンサではアル
ニコ磁石に代えてＳｍＣｏ系磁石が使用されている。
ンサにおいては、センサ用磁石として、アルニコ（Ａｌ
−Ｎｉ−Ｃｏ）磁石またはＳｍ−Ｃｏ系磁石が使用され
ている。これら磁石が使用されるのは、磁化の温度変化
率が非常に小さいためである。上記アルニコ磁石は、磁
化の温度変化率が非常に小さいが、保磁力が１ｋＯｅ以
下と小さいため、上述のような用途の小型のセンサに使
用することが困難であるために、多くのセンサではアル
ニコ磁石に代えてＳｍＣｏ系磁石が使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＳｍＣ
ｏ系磁石は、高価なＳｍとＣｏを多量に使用するために
原料コストが高いという問題点があった。このため低コ
ストでＳｍＣｏ系磁石と同じ程度の温度特性を示す磁石
の出現が望まれていた。本発明者らは上記事情に鑑み、
低コストで優れた硬磁気特性を備えた硬磁性材料につい
て研究した結果、特開平９−１４３６４１号の明細書に
記載されているようにＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうち１種以上
の元素を主成分とし、希土類元素のうちの１種または２
種以上からなる元素Ｒと、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆのう
ち１種または２種以上からなる元素Ｍと、ホウ素Ｂとを
含み、組織のうちの５０％以上、好ましくは６０％以上
が平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細結晶相であり、残
部が非晶質相であり、上記微細結晶相としてｂｃｃ-Ｆ
ｅと、固溶元素を含むＦｅ-Ｂ化合物および／またはＦ
ｅ14Ｒ2Ｂ1（Ｒは希土類元素のうちの１種以上の元素を
表す。）を主体とすることを特徴とする硬磁性材料（ナ
ノ結晶Ｆｅ−Ｍ−Ｂ系磁石）を発明した。また、本発明
者らは、優れた硬磁気特性を備えた硬磁性材料として特
願平９−３３２１３４号の明細書に記載されているよう
にＣｏを主成分とし、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうちの１種ま
たは２種以上の元素Ｑと、Ｓｍと、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、
Ｈｆのうちの１種または２種以上の元素Ｍと、Ｓｃ、
Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔ
ｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種
または２種以上の元素Ｒと、Ａｌ、Ｇｅ、Ｇａ、Ｃｕ、
Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕのうちの１種または２種以上の元素Ｘ
とのうちの少なくとも１種以上の元素を含み、非晶質相
と微細な結晶相とを有する硬磁性材料（ナノ結晶Ｓｍ−
Ｃｏ系磁石）を発明した。
ｏ系磁石は、高価なＳｍとＣｏを多量に使用するために
原料コストが高いという問題点があった。このため低コ
ストでＳｍＣｏ系磁石と同じ程度の温度特性を示す磁石
の出現が望まれていた。本発明者らは上記事情に鑑み、
低コストで優れた硬磁気特性を備えた硬磁性材料につい
て研究した結果、特開平９−１４３６４１号の明細書に
記載されているようにＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうち１種以上
の元素を主成分とし、希土類元素のうちの１種または２
種以上からなる元素Ｒと、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆのう
ち１種または２種以上からなる元素Ｍと、ホウ素Ｂとを
含み、組織のうちの５０％以上、好ましくは６０％以上
が平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細結晶相であり、残
部が非晶質相であり、上記微細結晶相としてｂｃｃ-Ｆ
ｅと、固溶元素を含むＦｅ-Ｂ化合物および／またはＦ
ｅ14Ｒ2Ｂ1（Ｒは希土類元素のうちの１種以上の元素を
表す。）を主体とすることを特徴とする硬磁性材料（ナ
ノ結晶Ｆｅ−Ｍ−Ｂ系磁石）を発明した。また、本発明
者らは、優れた硬磁気特性を備えた硬磁性材料として特
願平９−３３２１３４号の明細書に記載されているよう
にＣｏを主成分とし、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうちの１種ま
たは２種以上の元素Ｑと、Ｓｍと、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、
Ｈｆのうちの１種または２種以上の元素Ｍと、Ｓｃ、
Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔ
ｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種
または２種以上の元素Ｒと、Ａｌ、Ｇｅ、Ｇａ、Ｃｕ、
Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕのうちの１種または２種以上の元素Ｘ
とのうちの少なくとも１種以上の元素を含み、非晶質相
と微細な結晶相とを有する硬磁性材料（ナノ結晶Ｓｍ−
Ｃｏ系磁石）を発明した。
【０００５】ところが上記のナノ結晶Ｆｅ−Ｍ−Ｂ系磁
石は、飽和磁化（Ｉｓ）、残留磁化（Ｉｒ）が大きく、
残留磁化の温度特性および着磁特性が優れ、しかも耐食
性が従来型Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石より優れ、低コストで
ある磁石である。しかしながら、２ないし５ｋＯｅ程度
の保磁力（ｉＨｃ）であるために高温で保磁力が減少し
た時のパーミアンス係数の減少が大きく、高温で使用す
るスロットルポジションセンサ（角度センサ）等のセン
サの構成材料としては使用すると、磁化が温度により変
化するので、センサの出力にドリフトが発生してしまう
という問題があった。また、上記のナノ結晶Ｓｍ−Ｃｏ
系磁石においては、保磁力（ｉＨｃ）が大きく、温度に
よる磁気特性の変化は小さく、耐食性が良好である磁石
であるが、高価な希土類元素及びＣｏ元素の使用量が多
いことからコスト高となってしまうという問題があっ
た。
石は、飽和磁化（Ｉｓ）、残留磁化（Ｉｒ）が大きく、
残留磁化の温度特性および着磁特性が優れ、しかも耐食
性が従来型Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石より優れ、低コストで
ある磁石である。しかしながら、２ないし５ｋＯｅ程度
の保磁力（ｉＨｃ）であるために高温で保磁力が減少し
た時のパーミアンス係数の減少が大きく、高温で使用す
るスロットルポジションセンサ（角度センサ）等のセン
サの構成材料としては使用すると、磁化が温度により変
化するので、センサの出力にドリフトが発生してしまう
という問題があった。また、上記のナノ結晶Ｓｍ−Ｃｏ
系磁石においては、保磁力（ｉＨｃ）が大きく、温度に
よる磁気特性の変化は小さく、耐食性が良好である磁石
であるが、高価な希土類元素及びＣｏ元素の使用量が多
いことからコスト高となってしまうという問題があっ
た。
【０００６】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであって、その目的は、高価な希土類元素や
Ｃｏ元素の使用量が少なくて済み、着磁特性および温度
特性が優れるうえ良好な硬磁気特性を備えた磁石を得、
該磁石を磁気式センサ用磁石として用いることにより低
コストで、温度変化による磁化の変化に起因する出力の
ドリフトを防止できる磁気式センサおよびその製造方法
を提供することを目的とする。
されたものであって、その目的は、高価な希土類元素や
Ｃｏ元素の使用量が少なくて済み、着磁特性および温度
特性が優れるうえ良好な硬磁気特性を備えた磁石を得、
該磁石を磁気式センサ用磁石として用いることにより低
コストで、温度変化による磁化の変化に起因する出力の
ドリフトを防止できる磁気式センサおよびその製造方法
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者は、高価な希土
類元素の使用量が少なくて済み、着磁特性および温度特
性が優れるうえ良好な硬磁気特性を備えた磁気式センサ
用磁石を提供すべく、特に、上記のナノ結晶Ｆｅ−Ｍ−
Ｂ系磁石と、上記のナノ結晶Ｓｍ−Ｃｏ系磁石に着目
し、種々の検討及び実験を重ねた結果、上記のナノ結晶
Ｆｅ−Ｍ−Ｂ系硬磁性粉末と、上記のナノ結晶Ｓｍ−Ｃ
ｏ系硬磁性粉末の両方を用いて複合型磁石を作製し、こ
の複合型磁石を磁気式センサに用いれば上記課題を解決
できるとの推定に至った。
類元素の使用量が少なくて済み、着磁特性および温度特
性が優れるうえ良好な硬磁気特性を備えた磁気式センサ
用磁石を提供すべく、特に、上記のナノ結晶Ｆｅ−Ｍ−
Ｂ系磁石と、上記のナノ結晶Ｓｍ−Ｃｏ系磁石に着目
し、種々の検討及び実験を重ねた結果、上記のナノ結晶
Ｆｅ−Ｍ−Ｂ系硬磁性粉末と、上記のナノ結晶Ｓｍ−Ｃ
ｏ系硬磁性粉末の両方を用いて複合型磁石を作製し、こ
の複合型磁石を磁気式センサに用いれば上記課題を解決
できるとの推定に至った。
【０００８】ところで、一般に、組成が異なる二種類の
硬磁性粉末を混合して硬磁性材料を作製した場合、この
硬磁性材料のＢ−Ｈループには、上記二種類の硬磁性粉
末の特性が現れたステップが形成されてしまうと考えら
れており、組成が異なる二種類の硬磁性粉末を用いて硬
磁性材料を作製しても、ステップのないＢ−Ｈループは
得られず、一方の硬磁性粉末と、他方の硬磁性粉末の中
間の特性を有する硬磁性材料を得るのは困難であると考
えられているため、上記のナノ結晶Ｆｅ−Ｍ−Ｂ系硬磁
性粉末と、上記のナノ結晶Ｓｍ−Ｃｏ系硬磁性粉末の両
方を用いてなる硬磁性材料の作製方法も確立されておら
ず、従って前述した推定が実証され実用化されるには未
だ至っていない。
硬磁性粉末を混合して硬磁性材料を作製した場合、この
硬磁性材料のＢ−Ｈループには、上記二種類の硬磁性粉
末の特性が現れたステップが形成されてしまうと考えら
れており、組成が異なる二種類の硬磁性粉末を用いて硬
磁性材料を作製しても、ステップのないＢ−Ｈループは
得られず、一方の硬磁性粉末と、他方の硬磁性粉末の中
間の特性を有する硬磁性材料を得るのは困難であると考
えられているため、上記のナノ結晶Ｆｅ−Ｍ−Ｂ系硬磁
性粉末と、上記のナノ結晶Ｓｍ−Ｃｏ系硬磁性粉末の両
方を用いてなる硬磁性材料の作製方法も確立されておら
ず、従って前述した推定が実証され実用化されるには未
だ至っていない。
【０００９】そして、本発明者はさらに種々の検討及び
実験を重ねた結果、ＣｏとＳｍを少なくとも含んでなる
第一の非晶質相を主相とする合金粉末と、Ｆｅおよび／
またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含ん
でなる第二の非晶質相を主相とする合金粉末とを混合し
た複合粉末を固化成形することにより、高価な希土類元
素およびＣｏ元素の使用量が少なくて済み、着磁特性お
よび温度特性が優れるうえ、Ｂ−Ｈループにステップが
なく、良好な硬磁気特性を備えた複合型磁石が得られ、
このような複合型磁石を非接触型磁石に備えることによ
り、低コストで、温度変化による出力のドリフトを防止
できる磁気式センサを提供できることを究明し、本発明
を完成したのである。
実験を重ねた結果、ＣｏとＳｍを少なくとも含んでなる
第一の非晶質相を主相とする合金粉末と、Ｆｅおよび／
またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含ん
でなる第二の非晶質相を主相とする合金粉末とを混合し
た複合粉末を固化成形することにより、高価な希土類元
素およびＣｏ元素の使用量が少なくて済み、着磁特性お
よび温度特性が優れるうえ、Ｂ−Ｈループにステップが
なく、良好な硬磁気特性を備えた複合型磁石が得られ、
このような複合型磁石を非接触型磁石に備えることによ
り、低コストで、温度変化による出力のドリフトを防止
できる磁気式センサを提供できることを究明し、本発明
を完成したのである。
【００１０】すなわち、本発明は、少なくとも磁石と、
前記磁石の磁気を検出する磁気検出素子を有し、前記磁
石はＣｏとＳｍを少なくとも含んでなる第一の非晶質相
を主相とする合金粉末と、Ｆｅおよび／またはＣｏと、
希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでなる第二の非
晶質相を主相とする合金粉末とを混合した複合粉末が固
化成形されてなる複合型磁石であることを特徴とする磁
気式センサを上記課題の解決手段とした。また、本発明
は、少なくとも磁石と、前記磁石の磁気を検出する磁気
検出素子を有し、前記磁石はＣｏを主成分としてＳｍを
少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な
結晶相を主相とする第一の硬磁性粉末と、Ｆｅおよび／
またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含
み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を主
相とする第二の硬磁性粉末と、樹脂とが混合され、固化
成形されてなる複合型磁石であることを特徴とする磁気
式センサを上記課題の解決手段とした。また、本発明
は、少なくとも磁石と、前記磁石の磁気を検出する磁気
検出素子を有し、前記磁石は、Ｃｏを主成分としてＳｍ
を少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細
な結晶相を主相とする第一のナノ結晶組織と、Ｆｅおよ
び／またはＣｏと、希土類Ｒと、Ｂを少なくとも含み、
平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を主相と
する第二のナノ結晶組織とを有してなる複合磁石である
ことを特徴とする磁気式センサを上記課題の解決手段と
した。
前記磁石の磁気を検出する磁気検出素子を有し、前記磁
石はＣｏとＳｍを少なくとも含んでなる第一の非晶質相
を主相とする合金粉末と、Ｆｅおよび／またはＣｏと、
希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでなる第二の非
晶質相を主相とする合金粉末とを混合した複合粉末が固
化成形されてなる複合型磁石であることを特徴とする磁
気式センサを上記課題の解決手段とした。また、本発明
は、少なくとも磁石と、前記磁石の磁気を検出する磁気
検出素子を有し、前記磁石はＣｏを主成分としてＳｍを
少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な
結晶相を主相とする第一の硬磁性粉末と、Ｆｅおよび／
またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含
み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を主
相とする第二の硬磁性粉末と、樹脂とが混合され、固化
成形されてなる複合型磁石であることを特徴とする磁気
式センサを上記課題の解決手段とした。また、本発明
は、少なくとも磁石と、前記磁石の磁気を検出する磁気
検出素子を有し、前記磁石は、Ｃｏを主成分としてＳｍ
を少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細
な結晶相を主相とする第一のナノ結晶組織と、Ｆｅおよ
び／またはＣｏと、希土類Ｒと、Ｂを少なくとも含み、
平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を主相と
する第二のナノ結晶組織とを有してなる複合磁石である
ことを特徴とする磁気式センサを上記課題の解決手段と
した。
【００１１】また、本発明の磁気式センサは、車載用の
ものであってもよい。また、本発明の磁気式センサは、
スロットルバルブの開度を検出するための磁気式センサ
であってもよい。また、本発明の磁気式センサは、エン
ジン内を再循環させて再燃焼させる再循環排気ガスの流
量を調整するためのＥＧＲバルブの開度を検出するため
の磁気式センサであってもよい。さらに、本発明の磁気
式センサは、先のいずれかに記載の磁気式センサにおい
て、前記複合型磁石は、前記粉末の固化成形時の圧力印
加方向と平行な方向に着磁されているものであることが
好ましい。また、本発明の磁気式センサは、先のいずれ
かに記載の磁気式センサにおいて、前記複合型磁石は室
温から１２０゜Ｃまでの温度範囲において、パーミアン
ス係数１乃至１０での磁化の温度変化率αが−０．０４
％／゜Ｃ以下であることを特徴とするものであってもよ
い。また、本発明の磁気式センサは、先のいずれかに記
載の磁気式センサにおいて、前記複合型磁石中に第一の
ナノ結晶組織と第二のナノ結晶組織が重量比で５：９５
乃至８０：２０の割合で含まれていることが好ましい。
さらに、本発明の磁気式センサは、先のいずれかに記載
の磁気式センサにおいて、前記複合型磁石中に第一のナ
ノ結晶組織と第二のナノ結晶組織が重量比で１：１の割
合で含まれていることが好ましい。
ものであってもよい。また、本発明の磁気式センサは、
スロットルバルブの開度を検出するための磁気式センサ
であってもよい。また、本発明の磁気式センサは、エン
ジン内を再循環させて再燃焼させる再循環排気ガスの流
量を調整するためのＥＧＲバルブの開度を検出するため
の磁気式センサであってもよい。さらに、本発明の磁気
式センサは、先のいずれかに記載の磁気式センサにおい
て、前記複合型磁石は、前記粉末の固化成形時の圧力印
加方向と平行な方向に着磁されているものであることが
好ましい。また、本発明の磁気式センサは、先のいずれ
かに記載の磁気式センサにおいて、前記複合型磁石は室
温から１２０゜Ｃまでの温度範囲において、パーミアン
ス係数１乃至１０での磁化の温度変化率αが−０．０４
％／゜Ｃ以下であることを特徴とするものであってもよ
い。また、本発明の磁気式センサは、先のいずれかに記
載の磁気式センサにおいて、前記複合型磁石中に第一の
ナノ結晶組織と第二のナノ結晶組織が重量比で５：９５
乃至８０：２０の割合で含まれていることが好ましい。
さらに、本発明の磁気式センサは、先のいずれかに記載
の磁気式センサにおいて、前記複合型磁石中に第一のナ
ノ結晶組織と第二のナノ結晶組織が重量比で１：１の割
合で含まれていることが好ましい。
【００１２】本発明の磁気式センサは、先のいずれかに
記載の磁気式センサにおいて、ＣｏとＳｍを少なくとも
含んでなる第一の非晶質相を主相とする合金粉末または
Ｃｏを主成分としてＳｍを少なくとも含み、平均結晶粒
径１００ｎｍ以下の微細な結晶相を主相とする第一の硬
磁性粉末が下記組成式で表されるものであることを特徴
とするものであってもよい。 （Ｃｏ1-fＴf）100-x-y-z-tＭxＳｍyＲzＱt 但し、Ｔは、Ｆｅ、Ｎｉのうちの１種または２種以上の
元素であり、Ｍは、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｈｆのうちの１
種または２種以上の元素であり、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｌａ、
Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈ
ｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種または２種以
上の元素であり、Ｑは、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうちの１種
または２種以上の元素であり、０≦ｆ＜０．５、０原子
％≦ｘ≦４原子％、８原子％≦ｙ≦１６原子％、０原子
％≦ｚ≦５原子％、０．５原子％≦ｔ≦１０原子％、８
原子％≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦１６原子％である。
記載の磁気式センサにおいて、ＣｏとＳｍを少なくとも
含んでなる第一の非晶質相を主相とする合金粉末または
Ｃｏを主成分としてＳｍを少なくとも含み、平均結晶粒
径１００ｎｍ以下の微細な結晶相を主相とする第一の硬
磁性粉末が下記組成式で表されるものであることを特徴
とするものであってもよい。 （Ｃｏ1-fＴf）100-x-y-z-tＭxＳｍyＲzＱt 但し、Ｔは、Ｆｅ、Ｎｉのうちの１種または２種以上の
元素であり、Ｍは、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｈｆのうちの１
種または２種以上の元素であり、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｌａ、
Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈ
ｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種または２種以
上の元素であり、Ｑは、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうちの１種
または２種以上の元素であり、０≦ｆ＜０．５、０原子
％≦ｘ≦４原子％、８原子％≦ｙ≦１６原子％、０原子
％≦ｚ≦５原子％、０．５原子％≦ｔ≦１０原子％、８
原子％≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦１６原子％である。
【００１３】また、本発明の磁気式センサは、先のいず
れかに記載の磁気式センサにおいて、ＣｏとＳｍを少な
くとも含んでなる第一の非晶質相を主相とする合金粉末
またはＣｏを主成分としてＳｍを少なくとも含み、平均
結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶相を主相とする第
一の硬磁性粉末が下記組成式で表されるものであること
を特徴とするものであってもよい。 （Ｃｏ1-fＴf）100-x-y-z-t-uＭxＳｍyＲzＱtＸu 但し、Ｔは、Ｆｅ、Ｎｉのうちの１種または２種以上の
元素であり、Ｍは、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｈｆのうちの１
種または２種以上の元素であり、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｌａ、
Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈ
ｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種または２種以
上の元素であり、Ｑは、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうちの１種
または２種以上の元素であり、Ｘは、Ａｌ、Ｇｅ、Ｇ
ａ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕのうちの１種または２種以
上の元素であり、０≦ｆ＜０．５、０原子％≦ｘ≦４原
子％、８原子％≦ｙ≦１６原子％、０原子％≦ｚ≦５原
子％、０．５原子％≦ｔ≦１０原子％、０原子％≦ｕ≦
５原子％、８原子％≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦１６原子％である。
れかに記載の磁気式センサにおいて、ＣｏとＳｍを少な
くとも含んでなる第一の非晶質相を主相とする合金粉末
またはＣｏを主成分としてＳｍを少なくとも含み、平均
結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶相を主相とする第
一の硬磁性粉末が下記組成式で表されるものであること
を特徴とするものであってもよい。 （Ｃｏ1-fＴf）100-x-y-z-t-uＭxＳｍyＲzＱtＸu 但し、Ｔは、Ｆｅ、Ｎｉのうちの１種または２種以上の
元素であり、Ｍは、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｈｆのうちの１
種または２種以上の元素であり、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｌａ、
Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈ
ｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種または２種以
上の元素であり、Ｑは、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうちの１種
または２種以上の元素であり、Ｘは、Ａｌ、Ｇｅ、Ｇ
ａ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕのうちの１種または２種以
上の元素であり、０≦ｆ＜０．５、０原子％≦ｘ≦４原
子％、８原子％≦ｙ≦１６原子％、０原子％≦ｚ≦５原
子％、０．５原子％≦ｔ≦１０原子％、０原子％≦ｕ≦
５原子％、８原子％≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦１６原子％である。
【００１４】また、本発明の磁気式センサは、先のいず
れかに記載の磁気式センサにおいて、Ｆｅおよび／また
はＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでな
る第二の非晶質相を主相とする合金粉末またはＦｅおよ
び／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも
含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を
主相とする第二の硬磁性粉末が下記組成式で表されるも
のであることを特徴とするものであってもよい。 ＴxＭyＲzＢw ただし、ＴはＦｅ、Ｃｏ、ＮｉのうちＦｅまたはＣｏを
必須とする１種以上の元素を表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、
Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素
を表わし、Ｒは希土類元素のうち１種以上の元素を表わ
し、Ｂはホウ素を表わし、組成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ
は原子％で、５０≦ｘ、０≦ｙ≦１５、３≦ｚ≦２０、
２≦ｗ≦２０である。
れかに記載の磁気式センサにおいて、Ｆｅおよび／また
はＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでな
る第二の非晶質相を主相とする合金粉末またはＦｅおよ
び／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも
含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を
主相とする第二の硬磁性粉末が下記組成式で表されるも
のであることを特徴とするものであってもよい。 ＴxＭyＲzＢw ただし、ＴはＦｅ、Ｃｏ、ＮｉのうちＦｅまたはＣｏを
必須とする１種以上の元素を表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、
Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素
を表わし、Ｒは希土類元素のうち１種以上の元素を表わ
し、Ｂはホウ素を表わし、組成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ
は原子％で、５０≦ｘ、０≦ｙ≦１５、３≦ｚ≦２０、
２≦ｗ≦２０である。
【００１５】また、本発明の磁気式センサは、先のいず
れかに記載の磁気式センサにおいて、Ｆｅおよび／また
はＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでな
る第二の非晶質相を主相とする合金粉末またはＦｅおよ
び／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも
含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を
主相とする第二の硬磁性粉末が下記組成式で表されるも
のであることを特徴とするものであってもよい。 ＴxＭyＲzＢwＥv ただし、ＴはＦｅ、Ｃｏ、ＮｉのうちＦｅまたはＣｏを
必須とする１種以上の元素を表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、
Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素
を表わし、Ｒは希土類元素のうち１種以上の元素を表わ
し、Ｂはホウ素を表わし、ＥはＣｒ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｒ
ｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓ
ｃ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｒｅ、Ｍｎのうち１種以上の元素を表
わし、組成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｖは原子％で、５
０≦ｘ、０≦ｙ≦１５、３≦ｚ≦２０、２≦ｗ≦２０、
０≦ｖ≦１０である。
れかに記載の磁気式センサにおいて、Ｆｅおよび／また
はＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでな
る第二の非晶質相を主相とする合金粉末またはＦｅおよ
び／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも
含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を
主相とする第二の硬磁性粉末が下記組成式で表されるも
のであることを特徴とするものであってもよい。 ＴxＭyＲzＢwＥv ただし、ＴはＦｅ、Ｃｏ、ＮｉのうちＦｅまたはＣｏを
必須とする１種以上の元素を表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、
Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素
を表わし、Ｒは希土類元素のうち１種以上の元素を表わ
し、Ｂはホウ素を表わし、ＥはＣｒ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｒ
ｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓ
ｃ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｒｅ、Ｍｎのうち１種以上の元素を表
わし、組成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｖは原子％で、５
０≦ｘ、０≦ｙ≦１５、３≦ｚ≦２０、２≦ｗ≦２０、
０≦ｖ≦１０である。
【００１６】また、本発明の磁気式センサは、先のいず
れかに記載の磁気式センサにおいて、Ｆｅおよび／また
はＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでな
る第二の非晶質相を主相とする合金粉末またはＦｅおよ
び／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも
含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を
主相とする第二の硬磁性粉末が下記組成式で表されるも
のであることを特徴とするものであってもよい。 ＴxＭyＲzＢwＧu ただし、ＴはＦｅ、Ｃｏ、ＮｉのうちＦｅまたはＣｏを
必須とする１種以上の元素を表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、
Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素
を表わし、Ｒは希土類元素のうち１種以上の元素を表わ
し、Ｂはホウ素を表わし、ＧはＣ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｐ、Ｓ
ｂ、Ｉｎ、Ｂ、Ａｓのうち１種以上の元素を表わし、組
成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｕは原子％で、５０≦ｘ、
０≦ｙ≦１５、３≦ｚ≦２０、２≦ｗ≦２０、０≦ｕ≦
１０である。
れかに記載の磁気式センサにおいて、Ｆｅおよび／また
はＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでな
る第二の非晶質相を主相とする合金粉末またはＦｅおよ
び／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも
含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を
主相とする第二の硬磁性粉末が下記組成式で表されるも
のであることを特徴とするものであってもよい。 ＴxＭyＲzＢwＧu ただし、ＴはＦｅ、Ｃｏ、ＮｉのうちＦｅまたはＣｏを
必須とする１種以上の元素を表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、
Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素
を表わし、Ｒは希土類元素のうち１種以上の元素を表わ
し、Ｂはホウ素を表わし、ＧはＣ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｐ、Ｓ
ｂ、Ｉｎ、Ｂ、Ａｓのうち１種以上の元素を表わし、組
成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｕは原子％で、５０≦ｘ、
０≦ｙ≦１５、３≦ｚ≦２０、２≦ｗ≦２０、０≦ｕ≦
１０である。
【００１７】また、本発明の磁気式センサは、先のいず
れかに記載の磁気式センサにおいて、Ｆｅおよび／また
はＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでな
る第二の非晶質相を主相とする合金粉末またはＦｅおよ
び／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも
含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を
主相とする第二の硬磁性粉末が下記組成式で表されるも
のであることを特徴とするものであってもよい。 ＴxＭyＲzＢwＥvＧu ただし、ＴはＦｅ、Ｃｏ、ＮｉのうちＦｅまたはＣｏを
必須とする１種以上の元素を表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、
Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素
を表わし、Ｒは希土類元素のうち１種以上の元素を表わ
し、Ｂはホウ素を表わし、ＥはＣｒ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｒ
ｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓ
ｃ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｒｅ、Ｍｎのうち１種以上の元素を表
わし、ＧはＣ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｐ、Ｓｂ、Ｉｎ、Ｂ、Ａｓ
のうち１種以上の元素を表わし、組成比を示すｘ、ｙ、
ｚ、ｗ、ｖ、ｕは原子％で、５０≦ｘ、０≦ｙ≦１５、
３≦ｚ≦２０、２≦ｗ≦２０、０≦ｖ≦１０、０≦ｕ≦
１０である。
れかに記載の磁気式センサにおいて、Ｆｅおよび／また
はＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでな
る第二の非晶質相を主相とする合金粉末またはＦｅおよ
び／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも
含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を
主相とする第二の硬磁性粉末が下記組成式で表されるも
のであることを特徴とするものであってもよい。 ＴxＭyＲzＢwＥvＧu ただし、ＴはＦｅ、Ｃｏ、ＮｉのうちＦｅまたはＣｏを
必須とする１種以上の元素を表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、
Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素
を表わし、Ｒは希土類元素のうち１種以上の元素を表わ
し、Ｂはホウ素を表わし、ＥはＣｒ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｒ
ｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓ
ｃ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｒｅ、Ｍｎのうち１種以上の元素を表
わし、ＧはＣ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｐ、Ｓｂ、Ｉｎ、Ｂ、Ａｓ
のうち１種以上の元素を表わし、組成比を示すｘ、ｙ、
ｚ、ｗ、ｖ、ｕは原子％で、５０≦ｘ、０≦ｙ≦１５、
３≦ｚ≦２０、２≦ｗ≦２０、０≦ｖ≦１０、０≦ｕ≦
１０である。
【００１８】本発明は、Ｃｏを主成分としてＳｍを少な
くとも含んでなる第一の非晶質相を主相とする合金粉末
と、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂと
を少なくとも含んでなる第二の非晶質相を主相とする合
金粉末とを混合した複合粉末を固化成形するに際して、
第一及び第二の非晶質相を主相とする合金粉末中の非晶
質相が結晶化するときの軟化現象を利用して前記複合粉
末を固化成形して複合型磁石を形成することを特徴とす
る磁気式センサの製造方法を上記課題の解決手段とし
た。また、本発明の磁気式センサの製造方法は、先に記
載の磁気式センサの製造方法において、前記複合粉末の
固化成形時あるいは固化成形後に前記固化成形時の圧力
印加方向と平行な方向に着磁した後、この着磁された複
合型磁石をセンサに取り付けることを特徴とする。本発
明は、Ｃｏを主成分としてＳｍを少なくとも含み、平均
結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶相を主相とする第
一の硬磁性粉末と、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類
元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含み、平均結晶粒径１００
ｎｍ以下の微細な結晶質相を主相とする第二の硬磁性粉
末と、樹脂とを混合し、固化成形して複合型磁石を形成
することを特徴とする磁気式センサの製造方法を上記課
題の解決手段とした。また、本発明の磁気式センサの製
造方法は、先に記載の磁気式センサの製造方法におい
て、前記第一及び第二の硬磁性粉末の固化成形時あるい
は固化成形後に前記固化成形時の圧力印加方向と平行な
方向に着磁した後、この着磁された複合型磁石をセンサ
に取り付けることを特徴とする磁気式センサの製造方法
を上記課題の解決手段とした。
くとも含んでなる第一の非晶質相を主相とする合金粉末
と、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂと
を少なくとも含んでなる第二の非晶質相を主相とする合
金粉末とを混合した複合粉末を固化成形するに際して、
第一及び第二の非晶質相を主相とする合金粉末中の非晶
質相が結晶化するときの軟化現象を利用して前記複合粉
末を固化成形して複合型磁石を形成することを特徴とす
る磁気式センサの製造方法を上記課題の解決手段とし
た。また、本発明の磁気式センサの製造方法は、先に記
載の磁気式センサの製造方法において、前記複合粉末の
固化成形時あるいは固化成形後に前記固化成形時の圧力
印加方向と平行な方向に着磁した後、この着磁された複
合型磁石をセンサに取り付けることを特徴とする。本発
明は、Ｃｏを主成分としてＳｍを少なくとも含み、平均
結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶相を主相とする第
一の硬磁性粉末と、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類
元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含み、平均結晶粒径１００
ｎｍ以下の微細な結晶質相を主相とする第二の硬磁性粉
末と、樹脂とを混合し、固化成形して複合型磁石を形成
することを特徴とする磁気式センサの製造方法を上記課
題の解決手段とした。また、本発明の磁気式センサの製
造方法は、先に記載の磁気式センサの製造方法におい
て、前記第一及び第二の硬磁性粉末の固化成形時あるい
は固化成形後に前記固化成形時の圧力印加方向と平行な
方向に着磁した後、この着磁された複合型磁石をセンサ
に取り付けることを特徴とする磁気式センサの製造方法
を上記課題の解決手段とした。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の磁気式センサおよ
びその製造方法の実施形態例について説明する。図１
は、本発明の磁気式センサに係わる第一の実施形態のス
ロットルポジションセンサの要部を示す図である。図２
は、第一の実施形態のスロットルポジションセンサの概
略構成を示す断面図である。スロットルポジションセン
サ（スロットルバルブセンサ）は、自動車等の内燃機関
に備えられるものであり、エンジン始動時は外気温度と
ほぼ同じであるが運転中は高温となる。従って、スロッ
トルポジションセンサは、低温から高温までの温度変化
のある環境で使用される。図１において、第一の実施形
態のスロットルポジションセンサ（スロットルバルブセ
ンサ）は、スロットルバルブ（図示略）に連動して回転
するシャフト（図示略）と、このシャフトを回転自在に
支持するバックヨーク部材１００と、このバックヨーク
部材１００内に収容され、上記シャフトの端部に対向し
て配置された磁気検出素子（例えばホール素子）１０１
と、上記シャフトの端部に装着され磁界を形成する第一
の複合型磁石１０３と、この第一の複合型磁石１０３と
対向する位置に配置する第二の複合型磁石１０４とが備
えられてなるものである。
びその製造方法の実施形態例について説明する。図１
は、本発明の磁気式センサに係わる第一の実施形態のス
ロットルポジションセンサの要部を示す図である。図２
は、第一の実施形態のスロットルポジションセンサの概
略構成を示す断面図である。スロットルポジションセン
サ（スロットルバルブセンサ）は、自動車等の内燃機関
に備えられるものであり、エンジン始動時は外気温度と
ほぼ同じであるが運転中は高温となる。従って、スロッ
トルポジションセンサは、低温から高温までの温度変化
のある環境で使用される。図１において、第一の実施形
態のスロットルポジションセンサ（スロットルバルブセ
ンサ）は、スロットルバルブ（図示略）に連動して回転
するシャフト（図示略）と、このシャフトを回転自在に
支持するバックヨーク部材１００と、このバックヨーク
部材１００内に収容され、上記シャフトの端部に対向し
て配置された磁気検出素子（例えばホール素子）１０１
と、上記シャフトの端部に装着され磁界を形成する第一
の複合型磁石１０３と、この第一の複合型磁石１０３と
対向する位置に配置する第二の複合型磁石１０４とが備
えられてなるものである。
【００２０】このような構成のスロットルポジションセ
ンサは、上記スロットルバルブに連動して上記シャフト
が回転すると、第一の複合型磁石１０３が磁気検出素子
１０１に対して相対的に回転する。この相対的な回転に
応じ、検出素子１０１に対してこれを含む平行磁束の磁
界が変化するので、磁気検出素子１０１からシャフトの
回転に応じた信号が出力される。なお、上記複合型磁石
１０３の磁気検出素子１０１に対する面がＮ極に着磁さ
れている場合、複合型磁石１０４の磁気検出素子１０１
に対する面がＳ極に着磁されている。
ンサは、上記スロットルバルブに連動して上記シャフト
が回転すると、第一の複合型磁石１０３が磁気検出素子
１０１に対して相対的に回転する。この相対的な回転に
応じ、検出素子１０１に対してこれを含む平行磁束の磁
界が変化するので、磁気検出素子１０１からシャフトの
回転に応じた信号が出力される。なお、上記複合型磁石
１０３の磁気検出素子１０１に対する面がＮ極に着磁さ
れている場合、複合型磁石１０４の磁気検出素子１０１
に対する面がＳ極に着磁されている。
【００２１】次に、図２において、スロットルポジショ
ンセンサは、自動車等の内燃機関のスロットルバルブ
（図示略）に装着され、ロータ１１０がスロットルバル
ブ（図示略）に連動して回動するシャフト（図示略）に
支持されている。本実施形態のスロットルポジションセ
ンサは、隣接する二つの凹部１１１ａ，１１１ｂを有す
る合成樹脂製のハウジング１１１を備え、これら凹部１
１１ａ，１１１ｂ間の隔壁１１１ｃに、金属ブシュ１１
２を介してロータ１１０が回転自在に支持されている。
ロータ１１０とハウジング１１１の間には、板ばね１１
３が介装されており、スロットルバルブの開作動に伴い
上記シャフトに連動するロータ１１０が回動するように
構成されている。このようなロータ１１０の端部には、
バックヨーク部材１００の内側に収容に収容された複合
型磁石１０３及び１０４が固着されており、これらバッ
クヨーク部材１００ならびに複合型磁石１０３，１０４
はハウジング１１１の他方の凹部１１１ｂ内に収容され
ている。これら複合型磁石１０３，１０４は、ロータ１
１０の先端部に嵌着され、ロータ１１０と一体となって
回転する。
ンセンサは、自動車等の内燃機関のスロットルバルブ
（図示略）に装着され、ロータ１１０がスロットルバル
ブ（図示略）に連動して回動するシャフト（図示略）に
支持されている。本実施形態のスロットルポジションセ
ンサは、隣接する二つの凹部１１１ａ，１１１ｂを有す
る合成樹脂製のハウジング１１１を備え、これら凹部１
１１ａ，１１１ｂ間の隔壁１１１ｃに、金属ブシュ１１
２を介してロータ１１０が回転自在に支持されている。
ロータ１１０とハウジング１１１の間には、板ばね１１
３が介装されており、スロットルバルブの開作動に伴い
上記シャフトに連動するロータ１１０が回動するように
構成されている。このようなロータ１１０の端部には、
バックヨーク部材１００の内側に収容に収容された複合
型磁石１０３及び１０４が固着されており、これらバッ
クヨーク部材１００ならびに複合型磁石１０３，１０４
はハウジング１１１の他方の凹部１１１ｂ内に収容され
ている。これら複合型磁石１０３，１０４は、ロータ１
１０の先端部に嵌着され、ロータ１１０と一体となって
回転する。
【００２２】そして、複合型磁石１０３，１０４に対向
するように磁気検出素子１０１が配設されている。この
磁気検出素子１０１は、複合型磁石１０３及び１０４の
磁気を検出するものである。この磁気検出素子１０１
は、ターミナル１１８に接続されている。ターミナル１
１８は、ハウジング１１１内に埋設されており、側方に
延出してハウジング１１１と一体にコネクタ１１９が形
成されている。このような構成のスロットルポジション
センサでは、スロットルバルブに連動してロータ１１０
が金属ブッシュ１１２内を回転する。このロータ１１０
の回動に応じ磁気検出素子１０１の抵抗値が変化する。
即ち、複合型磁石１０３および１０４が初期位置にある
ときには、磁気検出素子１０１の抵抗値が最小となって
いる。そしてロータ１１０の回転に伴い、複合型磁石１
０３及び１０４による磁界も回転し、磁気検出素子１０
１に対してこれを含む平行磁束の磁界が変化するので、
抵抗値が変化し、磁気検出素子１０１からロータ１１０
の回転に応じた信号が出力されるので、スロットバルブ
の開度センサとして使用できる。
するように磁気検出素子１０１が配設されている。この
磁気検出素子１０１は、複合型磁石１０３及び１０４の
磁気を検出するものである。この磁気検出素子１０１
は、ターミナル１１８に接続されている。ターミナル１
１８は、ハウジング１１１内に埋設されており、側方に
延出してハウジング１１１と一体にコネクタ１１９が形
成されている。このような構成のスロットルポジション
センサでは、スロットルバルブに連動してロータ１１０
が金属ブッシュ１１２内を回転する。このロータ１１０
の回動に応じ磁気検出素子１０１の抵抗値が変化する。
即ち、複合型磁石１０３および１０４が初期位置にある
ときには、磁気検出素子１０１の抵抗値が最小となって
いる。そしてロータ１１０の回転に伴い、複合型磁石１
０３及び１０４による磁界も回転し、磁気検出素子１０
１に対してこれを含む平行磁束の磁界が変化するので、
抵抗値が変化し、磁気検出素子１０１からロータ１１０
の回転に応じた信号が出力されるので、スロットバルブ
の開度センサとして使用できる。
【００２３】次に、第一の実施形態のスロットルポジシ
ョンセンサに備えられる複合型磁石１０３及び１０４に
ついて詳しく説明する。本実施形態で用いられる複合型
磁石１０３，１０４は、ＣｏとＳｍを少なくとも含んで
なる第一の非晶質相を主相とする合金粉末と、Ｆｅおよ
び／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも
含んでなる第二の非晶質相を主相とする合金粉末とを混
合した複合粉末が固化成形されてなるものである。
ョンセンサに備えられる複合型磁石１０３及び１０４に
ついて詳しく説明する。本実施形態で用いられる複合型
磁石１０３，１０４は、ＣｏとＳｍを少なくとも含んで
なる第一の非晶質相を主相とする合金粉末と、Ｆｅおよ
び／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも
含んでなる第二の非晶質相を主相とする合金粉末とを混
合した複合粉末が固化成形されてなるものである。
【００２４】上記第一の非晶質相を主相とする合金粉末
としては、Ｃｏを主成分とし、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうち
の１種または２種以上の元素Ｑと、Ｓｍとを含んでなる
ものを用いることが好ましい。さらに、この第一の非晶
質相を主相とする合金粉末としては、Ｃｏを主成分と
し、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうちの１種または２種以上の元
素Ｑと、Ｓｍと、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｈｆのうちの１種
または２種以上の元素Ｍと、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐ
ｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅ
ｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種または２種以上の元
素Ｒと、Ａｌ、Ｇｅ、Ｇａ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕの
うちの１種または２種以上の元素Ｘとのうちの少なくと
も１種以上の元素を含むものを用いることがより好まし
い。
としては、Ｃｏを主成分とし、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうち
の１種または２種以上の元素Ｑと、Ｓｍとを含んでなる
ものを用いることが好ましい。さらに、この第一の非晶
質相を主相とする合金粉末としては、Ｃｏを主成分と
し、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうちの１種または２種以上の元
素Ｑと、Ｓｍと、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｈｆのうちの１種
または２種以上の元素Ｍと、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐ
ｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅ
ｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種または２種以上の元
素Ｒと、Ａｌ、Ｇｅ、Ｇａ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕの
うちの１種または２種以上の元素Ｘとのうちの少なくと
も１種以上の元素を含むものを用いることがより好まし
い。
【００２５】上記第二の非晶質相を主相とする合金粉末
としては、希土類元素（Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、
Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅ
ｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ）のうちの１種以上からなる元素
Ｒが４〜２０原子％含まれるＦｅ系又はＣｏ系又はＦｅ
Ｃｏ系よりなり、急冷により非晶質相を含む組織とされ
たものを用いることが好ましい。また、本実施形態で用
いられる複合型磁石１０３，１０４は、上記第一および
／または第二の非晶質相を主相とする合金粉末中の非晶
質相の結晶化反応時に起こる軟化現象を利用して固化成
形されたものであることが高密度（高い相対密度）の複
合型磁石が得られる点で好ましい。また、本実施形態で
用いられる複合型磁石１０３，１０４は、上記複合粉末
が固化成形されてなるバルクに熱処理が施されて、非晶
質相中に微細な結晶相が析出したものであることが好ま
しい。
としては、希土類元素（Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、
Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅ
ｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ）のうちの１種以上からなる元素
Ｒが４〜２０原子％含まれるＦｅ系又はＣｏ系又はＦｅ
Ｃｏ系よりなり、急冷により非晶質相を含む組織とされ
たものを用いることが好ましい。また、本実施形態で用
いられる複合型磁石１０３，１０４は、上記第一および
／または第二の非晶質相を主相とする合金粉末中の非晶
質相の結晶化反応時に起こる軟化現象を利用して固化成
形されたものであることが高密度（高い相対密度）の複
合型磁石が得られる点で好ましい。また、本実施形態で
用いられる複合型磁石１０３，１０４は、上記複合粉末
が固化成形されてなるバルクに熱処理が施されて、非晶
質相中に微細な結晶相が析出したものであることが好ま
しい。
【００２６】上記の非晶質相中に微細な結晶相が析出し
た複合型磁石１０３，１０４は、ｂｃｃ構造（体心立方
構造）のＦｅ相もしくはｂｃｃ構造のＦｅＣｏ相もしく
はこれらの相が両方含まれたｂｃｃ相と、Ｎｄ2Ｆｅ14
Ｂ相などのＲ2Ｆｅ14Ｂ相（Ｒは希土類元素のうちの１
種以上の元素を表す。）と、ＳｍＣｏ相と、残部の非晶
質相からなり、上記結晶相のうちの１種以上の結晶相は
平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶相からなるも
のである。また、本実施形態で用いられる複合磁石１０
３，１０４は、Ｃｏを主成分としてＳｍを少なくとも含
み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶相を主相
とする第一のナノ結晶組織と、Ｆｅおよび／またはＣｏ
と、希土類Ｒと、Ｂを少なくとも含み、平均結晶粒径１
００ｎｍ以下の微細な結晶質相を主相とする第二のナノ
結晶組織とを有する。上記の複合型磁石１０３，１０４
には、上記第一のナノ結晶組織と上記第二のナノ結晶組
織が重量比で１対１の割合で含まれていることが、高価
な希土類元素およびＣｏ元素の使用量を少なくしてコス
トをおさえても、着磁特性および温度特性が優れるうえ
良好な硬磁気特性を備えた高温で使用する磁気式センサ
に使用される永久磁石として有用である点で好ましい。
た複合型磁石１０３，１０４は、ｂｃｃ構造（体心立方
構造）のＦｅ相もしくはｂｃｃ構造のＦｅＣｏ相もしく
はこれらの相が両方含まれたｂｃｃ相と、Ｎｄ2Ｆｅ14
Ｂ相などのＲ2Ｆｅ14Ｂ相（Ｒは希土類元素のうちの１
種以上の元素を表す。）と、ＳｍＣｏ相と、残部の非晶
質相からなり、上記結晶相のうちの１種以上の結晶相は
平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶相からなるも
のである。また、本実施形態で用いられる複合磁石１０
３，１０４は、Ｃｏを主成分としてＳｍを少なくとも含
み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶相を主相
とする第一のナノ結晶組織と、Ｆｅおよび／またはＣｏ
と、希土類Ｒと、Ｂを少なくとも含み、平均結晶粒径１
００ｎｍ以下の微細な結晶質相を主相とする第二のナノ
結晶組織とを有する。上記の複合型磁石１０３，１０４
には、上記第一のナノ結晶組織と上記第二のナノ結晶組
織が重量比で１対１の割合で含まれていることが、高価
な希土類元素およびＣｏ元素の使用量を少なくしてコス
トをおさえても、着磁特性および温度特性が優れるうえ
良好な硬磁気特性を備えた高温で使用する磁気式センサ
に使用される永久磁石として有用である点で好ましい。
【００２７】また、本実施形態で用いられる複合型磁石
１０３，１０４は、上記の微細な結晶相と、残留した非
晶質相とからなるナノ複相組織を形成している。また、
本実施形態で用いられる複合型磁石１０３，１０４は、
ｂｃｃ構造のＦｅ相もしくはｂｃｃ構造のＦｅＣｏ相も
しくはこれらの相が両方含まれたｂｃｃ相からなるソフ
ト磁性相と、Ｒ2Ｆｅ14Ｂ相とＳｍ2Ｃｏ17相からなるハ
ード磁性相との混相状態が組織中に形成されたものであ
る。また、複合型磁石１０３，１０４としては、上記粉
末の固化成形時の圧力印加方向と平行な方向に着磁され
た状態で使用することが、硬磁気特性が優れる点で好ま
しい。
１０３，１０４は、上記の微細な結晶相と、残留した非
晶質相とからなるナノ複相組織を形成している。また、
本実施形態で用いられる複合型磁石１０３，１０４は、
ｂｃｃ構造のＦｅ相もしくはｂｃｃ構造のＦｅＣｏ相も
しくはこれらの相が両方含まれたｂｃｃ相からなるソフ
ト磁性相と、Ｒ2Ｆｅ14Ｂ相とＳｍ2Ｃｏ17相からなるハ
ード磁性相との混相状態が組織中に形成されたものであ
る。また、複合型磁石１０３，１０４としては、上記粉
末の固化成形時の圧力印加方向と平行な方向に着磁され
た状態で使用することが、硬磁気特性が優れる点で好ま
しい。
【００２８】具体的に、このようなバルク状の複合型磁
石を製造するには、まず、上記第一の非晶質相を主相と
する合金粉末（粉粒体）と、上記第二の非晶質相を主相
とする合金粉末（粉粒体）を用意する。これらの非晶質
相を主相とする合金粉末は、合金溶湯から急冷して薄帯
状あるいは粉末状の状態で非晶質相を主相とする合金を
得る工程と、上記薄帯状のものは粉砕して粉末化する工
程とにより得られる。ここで得られた非晶質相を主相と
する合金粉末の粒径としては、粒径３０μｍ〜１５０μ
ｍの範囲のものが好ましく、５０〜１００μｍの範囲の
ものがより好ましい。この理由は、合金粉末の粒径が１
５０μｍを超える大きいものは粉末の流動性が悪いため
に成形した時に高密度化できない恐れがあり、粒径が３
５μｍ未満と小さいものはミル等で粉砕して粉末化した
場合に酸化の問題あるいはミルの内壁や粉砕刃の構成物
質の一部などの異物が混入するおそれがあるためであ
る。
石を製造するには、まず、上記第一の非晶質相を主相と
する合金粉末（粉粒体）と、上記第二の非晶質相を主相
とする合金粉末（粉粒体）を用意する。これらの非晶質
相を主相とする合金粉末は、合金溶湯から急冷して薄帯
状あるいは粉末状の状態で非晶質相を主相とする合金を
得る工程と、上記薄帯状のものは粉砕して粉末化する工
程とにより得られる。ここで得られた非晶質相を主相と
する合金粉末の粒径としては、粒径３０μｍ〜１５０μ
ｍの範囲のものが好ましく、５０〜１００μｍの範囲の
ものがより好ましい。この理由は、合金粉末の粒径が１
５０μｍを超える大きいものは粉末の流動性が悪いため
に成形した時に高密度化できない恐れがあり、粒径が３
５μｍ未満と小さいものはミル等で粉砕して粉末化した
場合に酸化の問題あるいはミルの内壁や粉砕刃の構成物
質の一部などの異物が混入するおそれがあるためであ
る。
【００２９】上記合金溶湯から上記の非晶質相を主相と
する合金粉末を得る方法としては、回転ドラムに溶湯を
吹き付けて急冷して薄帯状に形成する方法、溶湯を冷却
用気体中に噴出して液滴状態で急冷して粉末状に形成す
る方法、あるいはスパッタリングやＣＶＤ法による方法
等を用いることができ、本実施形態に用いる非晶質相を
主相とする合金粉末は、これらのいずれの方法により作
製されたものであってもよい。急冷により得られた合金
薄帯あるいは合金粉末は、非晶質相からなる組織から構
成されている。
する合金粉末を得る方法としては、回転ドラムに溶湯を
吹き付けて急冷して薄帯状に形成する方法、溶湯を冷却
用気体中に噴出して液滴状態で急冷して粉末状に形成す
る方法、あるいはスパッタリングやＣＶＤ法による方法
等を用いることができ、本実施形態に用いる非晶質相を
主相とする合金粉末は、これらのいずれの方法により作
製されたものであってもよい。急冷により得られた合金
薄帯あるいは合金粉末は、非晶質相からなる組織から構
成されている。
【００３０】ついで、上述のようにして得られた第一の
非晶質相を主相とする合金粉末と第二の非晶質粉末を混
合して複合粉末とし、この複合粉末を応力下において第
一および／または第二の非晶質相を主相とする合金粉末
中の非晶質相を結晶化または微細結晶質相を粒成長させ
ると同時にあるいはこれに引き続いて圧密化することに
より、非晶質相中にｂｃｃ構造（体心立方構造）のＦｅ
相もしくはｂｃｃ構造のＦｅＣｏ相もしくはこれらの相
が両方含まれたｂｃｃ相と、Ｒ2Ｆｅ14Ｂ相と、Ｓｍ2Ｃ
ｏ17相が析出し、これら結晶相は平均結晶粒径１００ｎ
ｍ以下の微細な結晶相からなるものが得られる。
非晶質相を主相とする合金粉末と第二の非晶質粉末を混
合して複合粉末とし、この複合粉末を応力下において第
一および／または第二の非晶質相を主相とする合金粉末
中の非晶質相を結晶化または微細結晶質相を粒成長させ
ると同時にあるいはこれに引き続いて圧密化することに
より、非晶質相中にｂｃｃ構造（体心立方構造）のＦｅ
相もしくはｂｃｃ構造のＦｅＣｏ相もしくはこれらの相
が両方含まれたｂｃｃ相と、Ｒ2Ｆｅ14Ｂ相と、Ｓｍ2Ｃ
ｏ17相が析出し、これら結晶相は平均結晶粒径１００ｎ
ｍ以下の微細な結晶相からなるものが得られる。
【００３１】複合粉末を応力下において結晶化または粒
成長させる際には、一軸圧力をかけた状態で第一および
／または第二の非晶質相を主相とする合金粉末中の非晶
質相の結晶化温度以上まで加熱することが好ましい。ま
た、複合粉末を圧密化する際には、結晶化反応時に起こ
る軟化現象を利用して固化成形することが好ましい。こ
こで非晶質相を主相とする合金の結晶化反応時における
軟化現象を利用して固化成形するのは、非晶質相を主相
とする合金中の非晶質相を結晶化温度、またはその前段
階で加熱する際に軟化現象が顕著に発現し、このような
軟化現象が起こると、非晶質相を主相とする合金粉末が
加圧下に互いに圧着し一体化するので、この軟化した非
晶質相を主相とする合金を固化成形することにより、高
密度のバルク状の複合型磁石が得られるからである。ま
た、圧熱により固化成形するに際しては、合金粉末同士
の強固な結合が得られ、しかも高い硬磁気特性を有する
永久磁石が得られる点で、非晶質相を主相とする合金粉
末として、少なくとも非晶質相を５０重量％以上含む合
金を用いることが好ましい。
成長させる際には、一軸圧力をかけた状態で第一および
／または第二の非晶質相を主相とする合金粉末中の非晶
質相の結晶化温度以上まで加熱することが好ましい。ま
た、複合粉末を圧密化する際には、結晶化反応時に起こ
る軟化現象を利用して固化成形することが好ましい。こ
こで非晶質相を主相とする合金の結晶化反応時における
軟化現象を利用して固化成形するのは、非晶質相を主相
とする合金中の非晶質相を結晶化温度、またはその前段
階で加熱する際に軟化現象が顕著に発現し、このような
軟化現象が起こると、非晶質相を主相とする合金粉末が
加圧下に互いに圧着し一体化するので、この軟化した非
晶質相を主相とする合金を固化成形することにより、高
密度のバルク状の複合型磁石が得られるからである。ま
た、圧熱により固化成形するに際しては、合金粉末同士
の強固な結合が得られ、しかも高い硬磁気特性を有する
永久磁石が得られる点で、非晶質相を主相とする合金粉
末として、少なくとも非晶質相を５０重量％以上含む合
金を用いることが好ましい。
【００３２】加熱する際の昇温速度としては、３Ｋ／分
（３゜Ｃ／分）以上、好ましくは１０Ｋ／分（１０゜Ｃ
／分）以上とされる。昇温速度が３Ｋ／分未満である
と、結晶粒が粗大化するため交換結合力が弱まり、硬磁
気特性が劣化するため好ましくない。また、加熱温度は
４００℃〜８００゜Ｃである。加熱温度が４００℃未満
では、温度が低すぎて高密度な複合型磁石を得ることが
できないため好ましくない。また、加熱温度が８００℃
を超えると、微細な結晶相の結晶粒が粒成長して硬磁気
特性が劣化してしまうので好ましくない。更に、加熱時
間は０分以上、１５分以下、より好ましくは０分以上、
５分以下である。加熱時間が１５分を超えると、微細結
晶相の結晶粒が粒成長して硬磁気特性が劣化してしまう
ので好ましくない。上述のような、合金粉末を固化成形
する具体的な方法としては、放電プラズマ焼結法やホッ
トプレスによる方法等を採用することができる。
（３゜Ｃ／分）以上、好ましくは１０Ｋ／分（１０゜Ｃ
／分）以上とされる。昇温速度が３Ｋ／分未満である
と、結晶粒が粗大化するため交換結合力が弱まり、硬磁
気特性が劣化するため好ましくない。また、加熱温度は
４００℃〜８００゜Ｃである。加熱温度が４００℃未満
では、温度が低すぎて高密度な複合型磁石を得ることが
できないため好ましくない。また、加熱温度が８００℃
を超えると、微細な結晶相の結晶粒が粒成長して硬磁気
特性が劣化してしまうので好ましくない。更に、加熱時
間は０分以上、１５分以下、より好ましくは０分以上、
５分以下である。加熱時間が１５分を超えると、微細結
晶相の結晶粒が粒成長して硬磁気特性が劣化してしまう
ので好ましくない。上述のような、合金粉末を固化成形
する具体的な方法としては、放電プラズマ焼結法やホッ
トプレスによる方法等を採用することができる。
【００３３】更に、本実施形態で用いる複合型磁石１０
３，１０４においては、上記複合粉末を応力下において
結晶化または粒成長させた後、圧密化と同時にまたは引
き続いて４００〜１０００゜Ｃの温度範囲で熱処理する
ことにより、組織中に平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微
細な結晶質相を主相として析出させる。これによって、
硬磁気特性が発現する。ここでの熱処理温度（アニール
温度）が４００℃未満であると、硬磁気特性を担うＲ2
Ｆｅ14Ｂ相の析出量が少ないため充分な硬磁気特性が得
られないの で好ましくない。一方、熱処理温度が１０
００℃を越えると、微細結晶相の結晶粒の粒成長がおこ
り、硬磁気特性が低下してしまうため好ましくない。更
に、熱処理時間は０分以上、１５分以下、より好ましく
は０分以上、５分以下である。熱処理時間が１５分を超
えると、微細な結晶相が粒成長して硬磁気特性が劣化し
てしまうので好ましくない。また、平均結晶粒径が１０
０ｎｍ以下である微細な結晶相が組織の５０体積％以上
であり残部が非晶質相となるように条件を選び、しかも
上記の微細結晶相中にｂｃｃ構造（体心立方構造）のＦ
ｅ相もしくはｂｃｃ構造のＦｅＣｏ相もしくはこれらの
相が両方含まれたｂｃｃ相とからなるソフト磁性相と、
Ｒ2Ｆｅ14ＢおよびＳｍ2Ｃｏ17相を少なくとも含んだハ
ード磁性相とが生成するようにすれば、良好な硬磁気特
性を有する複合型磁石が得られる。また、本発明の磁気
式センサに用いる複合型磁石としては、上記複合粉末の
固化成形時の圧力印加方向と平行な方向に着磁したもの
を使用することが好ましい。
３，１０４においては、上記複合粉末を応力下において
結晶化または粒成長させた後、圧密化と同時にまたは引
き続いて４００〜１０００゜Ｃの温度範囲で熱処理する
ことにより、組織中に平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微
細な結晶質相を主相として析出させる。これによって、
硬磁気特性が発現する。ここでの熱処理温度（アニール
温度）が４００℃未満であると、硬磁気特性を担うＲ2
Ｆｅ14Ｂ相の析出量が少ないため充分な硬磁気特性が得
られないの で好ましくない。一方、熱処理温度が１０
００℃を越えると、微細結晶相の結晶粒の粒成長がおこ
り、硬磁気特性が低下してしまうため好ましくない。更
に、熱処理時間は０分以上、１５分以下、より好ましく
は０分以上、５分以下である。熱処理時間が１５分を超
えると、微細な結晶相が粒成長して硬磁気特性が劣化し
てしまうので好ましくない。また、平均結晶粒径が１０
０ｎｍ以下である微細な結晶相が組織の５０体積％以上
であり残部が非晶質相となるように条件を選び、しかも
上記の微細結晶相中にｂｃｃ構造（体心立方構造）のＦ
ｅ相もしくはｂｃｃ構造のＦｅＣｏ相もしくはこれらの
相が両方含まれたｂｃｃ相とからなるソフト磁性相と、
Ｒ2Ｆｅ14ＢおよびＳｍ2Ｃｏ17相を少なくとも含んだハ
ード磁性相とが生成するようにすれば、良好な硬磁気特
性を有する複合型磁石が得られる。また、本発明の磁気
式センサに用いる複合型磁石としては、上記複合粉末の
固化成形時の圧力印加方向と平行な方向に着磁したもの
を使用することが好ましい。
【００３４】また、本実施形態で用いられる複合型磁石
１０３，１０４は、Ｃｏを主成分としてＳｍを少なくと
も含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶相か
らなる硬磁性粉末（第一の硬磁性粉末）と、Ｆｅおよび
／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含
み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶組織が析
出された硬磁性粉末（第二の硬磁性粉末）と、樹脂とが
混合され、固化成形されてなるものであってもよい。こ
うした場合、磁場中で成形し、異方性を付与することが
好ましい。
１０３，１０４は、Ｃｏを主成分としてＳｍを少なくと
も含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶相か
らなる硬磁性粉末（第一の硬磁性粉末）と、Ｆｅおよび
／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含
み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶組織が析
出された硬磁性粉末（第二の硬磁性粉末）と、樹脂とが
混合され、固化成形されてなるものであってもよい。こ
うした場合、磁場中で成形し、異方性を付与することが
好ましい。
【００３５】このような複合型磁石を製造するには、ま
ず、第一及び第二の硬磁性粉末を作製する。これら硬磁
性粉末は、合金溶湯から急冷して薄帯状あるいは粉末状
の状態で上記非晶質相を主相とする合金を得る工程と、
薄帯状あるいは粉末状のものに４００゜Ｃ〜１０００゜
Ｃの熱処理を施して硬磁気特性を発現させる工程と、上
記薄帯状のものは粉砕して粉末化する工程とにより得ら
れる。上記合金溶湯から非晶質相を主相とする合金を得
る方法としては、先に述べた非晶質相を主相とする合金
粉末の作製方法と同様にして得ることができる。つい
で、得られた第一及び第二の硬磁性粉末を有機溶剤を溶
媒とする樹脂液に分散してスラリーを得た後、このスラ
リーを３本ロールに繰り返し通して混練し混練物を得
る。ここで用いられる樹脂としては、例えば、ポリプロ
ピレン、ポリエチレン、ポリスチレン、パラフィン、ポ
リテトラフルオロエチレン、ポリカーボネート、シリコ
ーン樹脂等が挙げられる。この樹脂を溶解させる有機溶
剤としては、キシレン、トルエン、ベンゼン等が挙げら
れる。
ず、第一及び第二の硬磁性粉末を作製する。これら硬磁
性粉末は、合金溶湯から急冷して薄帯状あるいは粉末状
の状態で上記非晶質相を主相とする合金を得る工程と、
薄帯状あるいは粉末状のものに４００゜Ｃ〜１０００゜
Ｃの熱処理を施して硬磁気特性を発現させる工程と、上
記薄帯状のものは粉砕して粉末化する工程とにより得ら
れる。上記合金溶湯から非晶質相を主相とする合金を得
る方法としては、先に述べた非晶質相を主相とする合金
粉末の作製方法と同様にして得ることができる。つい
で、得られた第一及び第二の硬磁性粉末を有機溶剤を溶
媒とする樹脂液に分散してスラリーを得た後、このスラ
リーを３本ロールに繰り返し通して混練し混練物を得
る。ここで用いられる樹脂としては、例えば、ポリプロ
ピレン、ポリエチレン、ポリスチレン、パラフィン、ポ
リテトラフルオロエチレン、ポリカーボネート、シリコ
ーン樹脂等が挙げられる。この樹脂を溶解させる有機溶
剤としては、キシレン、トルエン、ベンゼン等が挙げら
れる。
【００３６】樹脂への硬磁性粉末の添加割合は、目的と
する複合型磁石の特性によって適宜変更可能であるが、
スラリー中の体積割合で５０〜９０ｖｏｌ％程度となる
ように添加するのが好ましい。硬磁性粉末の体積割合が
５０ｖｏｌ％未満であると、硬磁気特性が低くなるとい
う不都合が生じる恐れがあり、一方、９０ｖｏｌ％を超
えると射出成形等により固化成形するのが困難になると
いう不都合が生じる恐れがある。ついで、上記混練物を
乾燥器等に入れて加熱することにより有機溶剤を蒸発さ
せた後、プレス成形機、射出成形機、押出成形機等を用
いて所望の形状に成形することにより目的とする複合型
磁石が得られる。
する複合型磁石の特性によって適宜変更可能であるが、
スラリー中の体積割合で５０〜９０ｖｏｌ％程度となる
ように添加するのが好ましい。硬磁性粉末の体積割合が
５０ｖｏｌ％未満であると、硬磁気特性が低くなるとい
う不都合が生じる恐れがあり、一方、９０ｖｏｌ％を超
えると射出成形等により固化成形するのが困難になると
いう不都合が生じる恐れがある。ついで、上記混練物を
乾燥器等に入れて加熱することにより有機溶剤を蒸発さ
せた後、プレス成形機、射出成形機、押出成形機等を用
いて所望の形状に成形することにより目的とする複合型
磁石が得られる。
【００３７】本実施形態で用いられる複合型磁石１０
３，１０４は、上記第一の非晶質相を主相とする合金粉
末と第二の非晶質相を主相とする合金粉末あるいは上記
第一の硬磁性粉末と第二の硬磁性粉末を混合割合等を調
製することにより、残留磁化（Ｉｒ）が０．６Ｔ以上で
あり、飽和磁化（Ｉ5）と、残留磁化（Ｉｒ）との比率
（角型比）が０．６以上であり、かつ保磁力（ｉＨｃ）
が２ないし９ｋＯｅとされたものであることが好まし
い。なお、本実施形態において、飽和磁化（Ｉ5）は、
印加磁場５Ｔを加えて磁化曲線を測定したものであり
、飽和磁化（Ｉｓ）とほぼ等しい値である。従って、
後述する（Ｉ5）と（Ｉｓ ）は（Ｉ5）≒（Ｉｓ）と定
義される。残留磁化（Ｉｒ）が０．６Ｔ未満であると、
角型比が小さくなってしまい、磁気式センサの構成材料
として用いる場合に、磁気特性が低く、センサ出力が低
くなる問題点が生じる。保磁力（ｉＨｃ）が２ｋＯｅ未
満であると、硬磁気特性が低すぎて好ましくなく、９ｋ
Ｏｅを超えると磁気式センサの構成材料として用いる場
合に保磁力が大き過ぎて着磁しにくく、多極を形成しに
くくなってしまう。
３，１０４は、上記第一の非晶質相を主相とする合金粉
末と第二の非晶質相を主相とする合金粉末あるいは上記
第一の硬磁性粉末と第二の硬磁性粉末を混合割合等を調
製することにより、残留磁化（Ｉｒ）が０．６Ｔ以上で
あり、飽和磁化（Ｉ5）と、残留磁化（Ｉｒ）との比率
（角型比）が０．６以上であり、かつ保磁力（ｉＨｃ）
が２ないし９ｋＯｅとされたものであることが好まし
い。なお、本実施形態において、飽和磁化（Ｉ5）は、
印加磁場５Ｔを加えて磁化曲線を測定したものであり
、飽和磁化（Ｉｓ）とほぼ等しい値である。従って、
後述する（Ｉ5）と（Ｉｓ ）は（Ｉ5）≒（Ｉｓ）と定
義される。残留磁化（Ｉｒ）が０．６Ｔ未満であると、
角型比が小さくなってしまい、磁気式センサの構成材料
として用いる場合に、磁気特性が低く、センサ出力が低
くなる問題点が生じる。保磁力（ｉＨｃ）が２ｋＯｅ未
満であると、硬磁気特性が低すぎて好ましくなく、９ｋ
Ｏｅを超えると磁気式センサの構成材料として用いる場
合に保磁力が大き過ぎて着磁しにくく、多極を形成しに
くくなってしまう。
【００３８】第一の非晶質相を主相とする合金粉末と第
二の非晶質粉末の混合比あるいは第一の硬磁性粉末と第
二の硬磁性粉末の混合比は、目的とする複合型磁石の特
性によって異なるが、第一の非晶質相を主相とする合金
粉末あるいは第一の硬磁性粉末の割合を少なくするにつ
れてコストを低減でき、第一の非晶質相を主相とする合
金粉末あるいは第一の硬磁性粉末の割合を多くするにつ
れて保磁力及び温度特性を向上でき、第二の非晶質相を
主相とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末の割合を
多くするにつれて保磁力および耐食性が低下するものの
着磁特性を向上できる。高温で使用するＥＧＲセンサ等
の構成材料として複合型磁石１０３，１０４を用いる場
合の好ましい混合比（重量比）は、第一の非晶質相を主
相とする合金粉末：第二の非晶質粉末＝５〜８０：９５
〜２０、好ましくは１０〜５０：９０〜５０であり、よ
り好ましくは１：１であり、第一と第二の硬磁性粉末の
混合比も上記第一と第二の非晶質相を主相とする合金粉
末の混合比とほぼ同様の値であることが好ましい。ま
た、第一の非晶質相を主相とする合金粉末と、第二の非
晶質相を主相とする合金粉末は重量比で１：１の割合で
混合されていると、高価な希土類元素およびＣｏ元素の
使用量を少なくしてコストをおさえても、着磁特性およ
び温度特性が優れるうえ良好な硬磁気特性を備えた高温
で使用する磁気式センサに使用される磁石として有用で
ある点で好ましい。
二の非晶質粉末の混合比あるいは第一の硬磁性粉末と第
二の硬磁性粉末の混合比は、目的とする複合型磁石の特
性によって異なるが、第一の非晶質相を主相とする合金
粉末あるいは第一の硬磁性粉末の割合を少なくするにつ
れてコストを低減でき、第一の非晶質相を主相とする合
金粉末あるいは第一の硬磁性粉末の割合を多くするにつ
れて保磁力及び温度特性を向上でき、第二の非晶質相を
主相とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末の割合を
多くするにつれて保磁力および耐食性が低下するものの
着磁特性を向上できる。高温で使用するＥＧＲセンサ等
の構成材料として複合型磁石１０３，１０４を用いる場
合の好ましい混合比（重量比）は、第一の非晶質相を主
相とする合金粉末：第二の非晶質粉末＝５〜８０：９５
〜２０、好ましくは１０〜５０：９０〜５０であり、よ
り好ましくは１：１であり、第一と第二の硬磁性粉末の
混合比も上記第一と第二の非晶質相を主相とする合金粉
末の混合比とほぼ同様の値であることが好ましい。ま
た、第一の非晶質相を主相とする合金粉末と、第二の非
晶質相を主相とする合金粉末は重量比で１：１の割合で
混合されていると、高価な希土類元素およびＣｏ元素の
使用量を少なくしてコストをおさえても、着磁特性およ
び温度特性が優れるうえ良好な硬磁気特性を備えた高温
で使用する磁気式センサに使用される磁石として有用で
ある点で好ましい。
【００３９】本実施形態で用いられた複合型磁石１０
３，１０４は、上記第一の非晶質粉末と上記第二の非晶
質相を主相とする合金粉末を混合した複合粉末を用いた
ことにより、あるいは上記第一の硬磁性粉末と第二の硬
磁性粉末を用いたことにより、着磁特性および温度特性
が優れるうえ良好な硬磁気特性を備えているので、特に
高温で使用するスロットルポジションセンサ（角度セン
サ）等の磁気式センサに使用される永久磁石として有用
である。また、本実施形態で用いられた複合型磁石１０
３，１０４は、室温から１２０゜Ｃまでの温度範囲にお
いて、パーミアンス係数１乃至１０での磁化の温度変化
率が−０．０４％／゜Ｃ以下であることがより好まし
い。すなわち、本発明で用いられる複合型磁石１０３，
１０４は、パーミアンス係数が１０以下の領域において
は、第二の非晶質粉末あるいは第二の硬磁性粉末から構
成した硬磁性材料よりも、温度変化率がさらに改善され
るからである。また、パーミアンス係数が１以下の場合
には、保磁力が低くなるので好ましくない。
３，１０４は、上記第一の非晶質粉末と上記第二の非晶
質相を主相とする合金粉末を混合した複合粉末を用いた
ことにより、あるいは上記第一の硬磁性粉末と第二の硬
磁性粉末を用いたことにより、着磁特性および温度特性
が優れるうえ良好な硬磁気特性を備えているので、特に
高温で使用するスロットルポジションセンサ（角度セン
サ）等の磁気式センサに使用される永久磁石として有用
である。また、本実施形態で用いられた複合型磁石１０
３，１０４は、室温から１２０゜Ｃまでの温度範囲にお
いて、パーミアンス係数１乃至１０での磁化の温度変化
率が−０．０４％／゜Ｃ以下であることがより好まし
い。すなわち、本発明で用いられる複合型磁石１０３，
１０４は、パーミアンス係数が１０以下の領域において
は、第二の非晶質粉末あるいは第二の硬磁性粉末から構
成した硬磁性材料よりも、温度変化率がさらに改善され
るからである。また、パーミアンス係数が１以下の場合
には、保磁力が低くなるので好ましくない。
【００４０】また、本実施形態で用いられた複合型磁石
１０３，１０４は、上記第二の非晶質粉末に第一の非晶
質粉末を添加、あるいは第二の硬磁性粉末に第一の硬磁
性粉末を添加したことにより、第二の非晶質相を主相と
する合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末のみでは達成す
ることができない優れた温度特性が得られ、また、磁石
を高価な希土類元素及びＣｏ元素を多量に含む第一の非
晶質相を主相とする合金粉末あるいは第一の硬磁性粉末
のみから構成した場合に比べて、高価な希土類元素およ
びＣｏ元素の使用量が少なくて済む。さらに、本実施形
態で用いられた複合型磁石１０３，１０４は、上記非晶
質相を主相とする合金粉末中の非晶質相が結晶化すると
きの軟化現象を利用して上記複合粉末を固化成形したこ
とにより、高密度のバルク状の複合型磁石を得ることが
できる。また、本実施形態の複合型磁石は、上述のよう
に、粉末から成形するので各種の形状に成形することが
できる。
１０３，１０４は、上記第二の非晶質粉末に第一の非晶
質粉末を添加、あるいは第二の硬磁性粉末に第一の硬磁
性粉末を添加したことにより、第二の非晶質相を主相と
する合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末のみでは達成す
ることができない優れた温度特性が得られ、また、磁石
を高価な希土類元素及びＣｏ元素を多量に含む第一の非
晶質相を主相とする合金粉末あるいは第一の硬磁性粉末
のみから構成した場合に比べて、高価な希土類元素およ
びＣｏ元素の使用量が少なくて済む。さらに、本実施形
態で用いられた複合型磁石１０３，１０４は、上記非晶
質相を主相とする合金粉末中の非晶質相が結晶化すると
きの軟化現象を利用して上記複合粉末を固化成形したこ
とにより、高密度のバルク状の複合型磁石を得ることが
できる。また、本実施形態の複合型磁石は、上述のよう
に、粉末から成形するので各種の形状に成形することが
できる。
【００４１】第一の実施形態のスロットルポジションセ
ンサは、温度特性が優れた複合型磁石１０３及び１０４
がスロットルポジションセンサ用磁石として備えられて
いるので、室温から１２０゜Ｃまでの磁化の温度変化率
αが−０．０４以下であり、よって、温度変化に起因す
る出力のドリフトを防止できる。すなわち、第一の実施
形態のスロットルポジションセンサによれば、高価な希
土類元素およびＣｏ元素の使用量が少なくて済み、着磁
特性および温度特性が優れるうえ良好な硬磁気特性を備
えた複合型磁石１０３および１０４がスロットルポジシ
ョンセンサ用磁石として備えられたことにより、動作温
度が変化しても複合型磁石１０３及び１０４の温度特性
が変化するのを防止でき、出力の検出結果に誤差が生じ
るのを低減でき、精度良くスロットルバルブの閉開度を
検出でき、従って、材料コストを低減したうえで、温度
変化のある環境で使用されても信頼性が優れるという利
点がある。
ンサは、温度特性が優れた複合型磁石１０３及び１０４
がスロットルポジションセンサ用磁石として備えられて
いるので、室温から１２０゜Ｃまでの磁化の温度変化率
αが−０．０４以下であり、よって、温度変化に起因す
る出力のドリフトを防止できる。すなわち、第一の実施
形態のスロットルポジションセンサによれば、高価な希
土類元素およびＣｏ元素の使用量が少なくて済み、着磁
特性および温度特性が優れるうえ良好な硬磁気特性を備
えた複合型磁石１０３および１０４がスロットルポジシ
ョンセンサ用磁石として備えられたことにより、動作温
度が変化しても複合型磁石１０３及び１０４の温度特性
が変化するのを防止でき、出力の検出結果に誤差が生じ
るのを低減でき、精度良くスロットルバルブの閉開度を
検出でき、従って、材料コストを低減したうえで、温度
変化のある環境で使用されても信頼性が優れるという利
点がある。
【００４２】本実施形態で用いられる複合型磁石１０
３，１０４において、上記第一の非晶質相を主相とする
合金粉末あるいは第一の硬磁性粉末の組成が次に示す
式、 （Ｃｏ1-fＴf）100-x-y-z-tＭxＳｍyＲzＱt （但し、Ｔは、Ｆｅ、Ｎｉのうちの１種または２種以上
の元素であり、Ｍは、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｈｆのうちの
１種または２種以上の元素であり、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｌ
ａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄ
ｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種または
２種以上の希土類元素（ただし、Ｓｍは除く）であり、
Ｑは、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうちの１種または２種以上の
元素であり、０≦ｆ＜０．５、０原子％≦ｘ≦４原子
％、８原子％≦ｙ≦１６原子％、０原子％≦ｚ≦５原子
％、０．５原子％≦ｔ≦１０原子％、８原子％≦ｘ＋ｙ
＋ｚ≦１６原子％である）により表されるものである。
３，１０４において、上記第一の非晶質相を主相とする
合金粉末あるいは第一の硬磁性粉末の組成が次に示す
式、 （Ｃｏ1-fＴf）100-x-y-z-tＭxＳｍyＲzＱt （但し、Ｔは、Ｆｅ、Ｎｉのうちの１種または２種以上
の元素であり、Ｍは、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｈｆのうちの
１種または２種以上の元素であり、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｌ
ａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄ
ｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種または
２種以上の希土類元素（ただし、Ｓｍは除く）であり、
Ｑは、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうちの１種または２種以上の
元素であり、０≦ｆ＜０．５、０原子％≦ｘ≦４原子
％、８原子％≦ｙ≦１６原子％、０原子％≦ｚ≦５原子
％、０．５原子％≦ｔ≦１０原子％、８原子％≦ｘ＋ｙ
＋ｚ≦１６原子％である）により表されるものである。
【００４３】Ｃｏは、硬磁気特性を与えるものであり、
本実施形態の複合型磁石１０３，１０４に必須の元素で
ある。Ｃｏと希土類元素（Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐ
ｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅ
ｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｓｍのうちの１種または２種以
上の元素）Ｒとを含む非晶質相は、４００℃〜９００℃
の範囲内の適切な温度で熱処理するとき、ハード磁性相
であるＲ2ＴＭ17相と、ソフト磁性相で あるｂｃｃ−Ｆ
ｅ相、ｂｃｃ−（ＦｅＣｏ）相または固溶原子を含んだ
Ｓｍ3Ｃ ｏ20Ｂ相のうちの少なくとも一つの相とを析出
する。ここでのＴＭは、遷移金属のうちの１種または２
種以上であり、特に、ＴＭはＦｅ、Ｃｏであることが好
ましい。
本実施形態の複合型磁石１０３，１０４に必須の元素で
ある。Ｃｏと希土類元素（Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐ
ｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅ
ｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｓｍのうちの１種または２種以
上の元素）Ｒとを含む非晶質相は、４００℃〜９００℃
の範囲内の適切な温度で熱処理するとき、ハード磁性相
であるＲ2ＴＭ17相と、ソフト磁性相で あるｂｃｃ−Ｆ
ｅ相、ｂｃｃ−（ＦｅＣｏ）相または固溶原子を含んだ
Ｓｍ3Ｃ ｏ20Ｂ相のうちの少なくとも一つの相とを析出
する。ここでのＴＭは、遷移金属のうちの１種または２
種以上であり、特に、ＴＭはＦｅ、Ｃｏであることが好
ましい。
【００４４】上記式において、Ｔは、Ｆｅ、Ｎｉのうち
１種または２種以上の元素を表わす。これら元素Ｔは、
残留磁化（Ｉｒ）を増加させる効果があるが、元素Ｔの
濃度をＣｏ置換で増加させると、Ｃｏの濃度が減少して
保磁力（ｉＨｃ）が低下する。従って、特に飽和磁化
（Ｉｓ）が高い複合型磁石が必要であれば、元素Ｔの添
加を行い、保磁力（ｉＨｃ）が大きい複合型磁石が必要
であれば、元素Ｔの添加を行わないようにすることによ
り、複合型磁石の用途に合わせて最適な硬磁気特性を備
えた複合型磁石を製造できる。また、高価なＣｏを安価
なＦｅやＮｉに置き換えることにより、複合型磁石の製
造コストを低減することもできる。元素Ｔの組成比を示
すｆは、良好な硬磁気特性を発揮するために、０以上、
０．５未満が好ましく、０．２以上、０．５未満とする
のがより好ましい。
１種または２種以上の元素を表わす。これら元素Ｔは、
残留磁化（Ｉｒ）を増加させる効果があるが、元素Ｔの
濃度をＣｏ置換で増加させると、Ｃｏの濃度が減少して
保磁力（ｉＨｃ）が低下する。従って、特に飽和磁化
（Ｉｓ）が高い複合型磁石が必要であれば、元素Ｔの添
加を行い、保磁力（ｉＨｃ）が大きい複合型磁石が必要
であれば、元素Ｔの添加を行わないようにすることによ
り、複合型磁石の用途に合わせて最適な硬磁気特性を備
えた複合型磁石を製造できる。また、高価なＣｏを安価
なＦｅやＮｉに置き換えることにより、複合型磁石の製
造コストを低減することもできる。元素Ｔの組成比を示
すｆは、良好な硬磁気特性を発揮するために、０以上、
０．５未満が好ましく、０．２以上、０．５未満とする
のがより好ましい。
【００４５】Ｓｍは、Ｃｏと同様に硬磁気特性を与える
ものであり、本実施形態の複合型磁石１０３，１０４に
必須の元素である。また、非晶質相を形成し易い元素で
ある。ＣｏとＳｍとを含む非晶質相は、４００℃〜９０
０℃の範囲内の適切な温度で熱処理するとき、ハード磁
性相であるＳｍ2Ｃｏ17相と、ソフト磁性相であるｂｃ
ｃ−Ｆｅ相 、ｂｃｃ−（ＦｅＣｏ）相または固溶原子
を含んだＳｍ3Ｃｏ20Ｂ相とを析出す る。Ｓｍの組成比
を示すｙ（原子％）は、８原子％以上、１６原子％以下
であることが好ましく、１０原子％以上、１３原子％以
下であることがより好ましい。組成比ｙが８原子％未満
では、ハード磁性相の析出量の減少による保磁力（ｉＨ
ｃ）の低下が起こり、更に非晶質相の析出量が十分でな
いので好ましくない。また、組成比ｙが１６原子％を超
えると、Ｃｏ及び元素Ｔの濃度が減少して、飽和磁化
（Ｉｓ）が減少し、それに伴って残留磁化（Ｉｒ）が低
下してしまうので好ましくない。
ものであり、本実施形態の複合型磁石１０３，１０４に
必須の元素である。また、非晶質相を形成し易い元素で
ある。ＣｏとＳｍとを含む非晶質相は、４００℃〜９０
０℃の範囲内の適切な温度で熱処理するとき、ハード磁
性相であるＳｍ2Ｃｏ17相と、ソフト磁性相であるｂｃ
ｃ−Ｆｅ相 、ｂｃｃ−（ＦｅＣｏ）相または固溶原子
を含んだＳｍ3Ｃｏ20Ｂ相とを析出す る。Ｓｍの組成比
を示すｙ（原子％）は、８原子％以上、１６原子％以下
であることが好ましく、１０原子％以上、１３原子％以
下であることがより好ましい。組成比ｙが８原子％未満
では、ハード磁性相の析出量の減少による保磁力（ｉＨ
ｃ）の低下が起こり、更に非晶質相の析出量が十分でな
いので好ましくない。また、組成比ｙが１６原子％を超
えると、Ｃｏ及び元素Ｔの濃度が減少して、飽和磁化
（Ｉｓ）が減少し、それに伴って残留磁化（Ｉｒ）が低
下してしまうので好ましくない。
【００４６】上記第一の非晶質相を主相とする合金粉末
あるいは第一の硬磁性粉末の組成式において、ＲはＳｍ
以外の希土類元素であり、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐ
ｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅ
ｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、およびＬｕのうちの１種以上の元素を
表わす。元素Ｒは、非晶質相を形成し易い元素である。
合金中に５０重量％以上の十分な非晶質相を形成し、こ
れを結晶化することによって十分量の微細な結晶相を生
成させ、また良好な硬磁性特性を実現させるためには、
元素Ｒの組成比ｚを、１原子％以上とする必要があり、
より好ましくは２原子％以上とする。
あるいは第一の硬磁性粉末の組成式において、ＲはＳｍ
以外の希土類元素であり、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐ
ｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅ
ｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、およびＬｕのうちの１種以上の元素を
表わす。元素Ｒは、非晶質相を形成し易い元素である。
合金中に５０重量％以上の十分な非晶質相を形成し、こ
れを結晶化することによって十分量の微細な結晶相を生
成させ、また良好な硬磁性特性を実現させるためには、
元素Ｒの組成比ｚを、１原子％以上とする必要があり、
より好ましくは２原子％以上とする。
【００４７】一方、元素Ｒは、その組成比ｚを増加させ
るに伴って、得られた複合型磁石の飽和磁化（Ｉｓ）が
減少する傾向を示す。高い残留磁化（Ｉｒ）を得るため
には、元素Ｒの組成比ｚを５原子％以下とする必要があ
る。元素Ｒの一部または全部をＮｄおよび／またはＰｒ
で構成すると、さらに高い硬磁性特性が得られる。ま
た、この元素Ｒは、Ｓｍと置換してＲ2Ｃｏ17相を形成
し、硬磁気特性を発揮することができる。
るに伴って、得られた複合型磁石の飽和磁化（Ｉｓ）が
減少する傾向を示す。高い残留磁化（Ｉｒ）を得るため
には、元素Ｒの組成比ｚを５原子％以下とする必要があ
る。元素Ｒの一部または全部をＮｄおよび／またはＰｒ
で構成すると、さらに高い硬磁性特性が得られる。ま
た、この元素Ｒは、Ｓｍと置換してＲ2Ｃｏ17相を形成
し、硬磁気特性を発揮することができる。
【００４８】上記式において、Ｍは、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔ
ａ、Ｈｆのうちの１種または２種以上の元素を表す。こ
れら元素Ｍは、非晶質相の形成能が高いので、この元素
Ｍを添加することにより、高価な元素Ｒ（希土類元素）
の組成比を小さくしても十分な非晶質相を生成させるこ
とができる。ただし、元素Ｍの組成比ｘ（原子％）をＣ
ｏ及び元素Ｔで置換して増加させると、得られる複合型
磁石の飽和磁化（Ｉｓ）は減少する。また、元素Ｍの組
成比ｘを減少させると、十分な非晶質相を形成できな
い。この観点から、元素Ｍの組成比ｘは、０原子％以
上、４原子％以下とするのが好ましく、２原子％以上、
４原子％以下とすることがより好ましい。 これらの元
素Ｍのうち、特にＮｂが有効である。元素Ｍの一部若し
くは全部をＮｂで置換すると、複合型磁石の保磁力（ｉ
Ｈｃ）が大きくなる。
ａ、Ｈｆのうちの１種または２種以上の元素を表す。こ
れら元素Ｍは、非晶質相の形成能が高いので、この元素
Ｍを添加することにより、高価な元素Ｒ（希土類元素）
の組成比を小さくしても十分な非晶質相を生成させるこ
とができる。ただし、元素Ｍの組成比ｘ（原子％）をＣ
ｏ及び元素Ｔで置換して増加させると、得られる複合型
磁石の飽和磁化（Ｉｓ）は減少する。また、元素Ｍの組
成比ｘを減少させると、十分な非晶質相を形成できな
い。この観点から、元素Ｍの組成比ｘは、０原子％以
上、４原子％以下とするのが好ましく、２原子％以上、
４原子％以下とすることがより好ましい。 これらの元
素Ｍのうち、特にＮｂが有効である。元素Ｍの一部若し
くは全部をＮｂで置換すると、複合型磁石の保磁力（ｉ
Ｈｃ）が大きくなる。
【００４９】また、上述のＳｍ、元素Ｒ及び元素Ｍはい
ずれも非晶質相を形成し易い点では共通した性質を有す
る元素であり、これらの元素の組成比の合計量である
（ｘ＋ｙ＋ｚ）は、８原子％以上、１６原子％以下であ
ることが好ましく、１０原子％以上、１３原子％以下で
あることがより好ましい。組成比を示す（ｘ＋ｙ＋ｚ）
が８原子％未満では、非晶質相の析出が十分でないため
好ましくない。また、（ｘ＋ｙ＋ｚ）が１６原子％を超
えると、硬磁気特性が劣化してしまうので好ましくな
い。
ずれも非晶質相を形成し易い点では共通した性質を有す
る元素であり、これらの元素の組成比の合計量である
（ｘ＋ｙ＋ｚ）は、８原子％以上、１６原子％以下であ
ることが好ましく、１０原子％以上、１３原子％以下で
あることがより好ましい。組成比を示す（ｘ＋ｙ＋ｚ）
が８原子％未満では、非晶質相の析出が十分でないため
好ましくない。また、（ｘ＋ｙ＋ｚ）が１６原子％を超
えると、硬磁気特性が劣化してしまうので好ましくな
い。
【００５０】上記式において、Ｑは、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂ
のうちの１種または２種以上の元素であり、これら元素
Ｑも非晶質相を形成し易い半金属である。また、Ｃｏと
ＢとＳｍとを含む非晶質相は、４００℃〜９００℃の範
囲内の適切な温度で熱処理するとき、ソフト磁性相であ
るＳｍ3Ｃｏ20Ｂ相を析出する。合金に十分量の非晶質
相を形成し、これを結晶化することによって十分量の微
細結晶相を得るためには、元素Ｑの組成比ｔは、０．５
原子％以上が必要であり、特に３原子％以上とすること
が好ましい。ただし、元素Ｑの組成比ｔ（原子％）を増
加させすぎると、それに伴って、得られた複合型磁石の
飽和磁化（Ｉｓ）、残留磁化（Ｉｒ）、および保磁力
（ｉＨｃ）が減少する傾向を示すので、良好な硬磁性特
性を得るためには、Ｑの組成比ｔは１０原子％以下であ
ることが必要であり、特に９原子％以下とすることが好
ましい。
のうちの１種または２種以上の元素であり、これら元素
Ｑも非晶質相を形成し易い半金属である。また、Ｃｏと
ＢとＳｍとを含む非晶質相は、４００℃〜９００℃の範
囲内の適切な温度で熱処理するとき、ソフト磁性相であ
るＳｍ3Ｃｏ20Ｂ相を析出する。合金に十分量の非晶質
相を形成し、これを結晶化することによって十分量の微
細結晶相を得るためには、元素Ｑの組成比ｔは、０．５
原子％以上が必要であり、特に３原子％以上とすること
が好ましい。ただし、元素Ｑの組成比ｔ（原子％）を増
加させすぎると、それに伴って、得られた複合型磁石の
飽和磁化（Ｉｓ）、残留磁化（Ｉｒ）、および保磁力
（ｉＨｃ）が減少する傾向を示すので、良好な硬磁性特
性を得るためには、Ｑの組成比ｔは１０原子％以下であ
ることが必要であり、特に９原子％以下とすることが好
ましい。
【００５１】また、本実施形態の複合型磁石に用いられ
る上記第一の非晶質相を主相とする合金粉末あるいは第
一の硬磁性粉末には、Ａｌ、Ｇｅ、Ｇａ、Ｃｕ、Ａｇ、
Ｐｔ、Ａｕのうちの１種または２種以上の元素Ｘが添加
されていても良く、その場合の第一の非晶質相を主相と
する合金粉末あるいは第一の硬磁性粉末の組成が次に示
す式で表すことができる。 （Ｃｏ1-fＴf）100-x-y-z-t-uＭxＳｍyＲzＱtＸu （但し、Ｔは、Ｆｅ、Ｎｉのうちの１種または２種以上
の元素であり、Ｍは、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｈｆのうちの
１種または２種以上の元素であり、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｌ
ａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄ
ｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種または
２種以上の元素であり、Ｑは、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうち
の１種または２種以上の元素であり、Ｘは、Ａｌ、Ｇ
ｅ、Ｇａ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕのうちの１種または
２種以上の元素であり、０≦ｆ＜０．５、０原子％≦ｘ
≦４原子％、８原子％≦ｙ≦１６原子％、０原子％≦ｚ
≦５原子％、０．５原子％≦ｔ≦１０原子％、０原子％
≦ｕ≦５原子％、８原子％≦ｘ＋ｙ＋ｘ≦１６原子％で
ある）
る上記第一の非晶質相を主相とする合金粉末あるいは第
一の硬磁性粉末には、Ａｌ、Ｇｅ、Ｇａ、Ｃｕ、Ａｇ、
Ｐｔ、Ａｕのうちの１種または２種以上の元素Ｘが添加
されていても良く、その場合の第一の非晶質相を主相と
する合金粉末あるいは第一の硬磁性粉末の組成が次に示
す式で表すことができる。 （Ｃｏ1-fＴf）100-x-y-z-t-uＭxＳｍyＲzＱtＸu （但し、Ｔは、Ｆｅ、Ｎｉのうちの１種または２種以上
の元素であり、Ｍは、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｈｆのうちの
１種または２種以上の元素であり、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｌ
ａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄ
ｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種または
２種以上の元素であり、Ｑは、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうち
の１種または２種以上の元素であり、Ｘは、Ａｌ、Ｇ
ｅ、Ｇａ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕのうちの１種または
２種以上の元素であり、０≦ｆ＜０．５、０原子％≦ｘ
≦４原子％、８原子％≦ｙ≦１６原子％、０原子％≦ｚ
≦５原子％、０．５原子％≦ｔ≦１０原子％、０原子％
≦ｕ≦５原子％、８原子％≦ｘ＋ｙ＋ｘ≦１６原子％で
ある）
【００５２】この場合の元素Ｔの組成比を示すｆは、優
れた硬磁気特性を発揮するために、０以上、０．５未満
が好ましく、０．２以上、０．５未満とするのがより好
ましい。上記組成式中のＳｍの組成比を示すｙ（原子
％）は、良好な硬磁気特性を得るために、８原子％以
上、１６原子％以下であることが好ましく、１０原子％
以上、１３原子％以下であることがより好ましい。
れた硬磁気特性を発揮するために、０以上、０．５未満
が好ましく、０．２以上、０．５未満とするのがより好
ましい。上記組成式中のＳｍの組成比を示すｙ（原子
％）は、良好な硬磁気特性を得るために、８原子％以
上、１６原子％以下であることが好ましく、１０原子％
以上、１３原子％以下であることがより好ましい。
【００５３】上記組成式中の元素Ｒの組成比を示すｚ
（原子％）は、優れた硬磁気特性を付与するためと、良
好な非晶質相と微細な結晶質相を得るために、０原子％
以上とする必要があり、より好ましくは２原子％以上と
する。一方、元素Ｒは、その組成比ｚを増加させるに伴
って、得られた複合型磁石の飽和磁化（Ｉｓ）が減少す
ので、高い残留磁化（Ｉｒ）を得るために、元素Ｒの組
成比ｚを５原子％以下とする必要がある。上記組成式中
の元素Ｍの組成比を示すｘ（原子％）は、良好な硬磁気
特性を得るために、０原子％以上、４原子％以下とする
のが好ましく、１原子％以上、３原子％以下とすること
がより好ましい。これらの元素Ｍのうち、特にＮｂが有
効である。元素Ｍの一部若しくは全部をＮｂで置換する
と、複合型磁石の保磁力（ｉＨｃ）が大きくなる。
（原子％）は、優れた硬磁気特性を付与するためと、良
好な非晶質相と微細な結晶質相を得るために、０原子％
以上とする必要があり、より好ましくは２原子％以上と
する。一方、元素Ｒは、その組成比ｚを増加させるに伴
って、得られた複合型磁石の飽和磁化（Ｉｓ）が減少す
ので、高い残留磁化（Ｉｒ）を得るために、元素Ｒの組
成比ｚを５原子％以下とする必要がある。上記組成式中
の元素Ｍの組成比を示すｘ（原子％）は、良好な硬磁気
特性を得るために、０原子％以上、４原子％以下とする
のが好ましく、１原子％以上、３原子％以下とすること
がより好ましい。これらの元素Ｍのうち、特にＮｂが有
効である。元素Ｍの一部若しくは全部をＮｂで置換する
と、複合型磁石の保磁力（ｉＨｃ）が大きくなる。
【００５４】また、上述のＳｍ、元素Ｒ及び元素Ｍはい
ずれも非晶質相を形成し易い点では共通した性質を有す
る元素であり、これらの元素の組成比の合計量である
（ｘ＋ｙ＋ｚ）は、８原子％以上、１６原子％以下であ
ることが好ましく、１０原子％以上、１４原子％以下で
あることがより好ましい。組成比を示す（ｘ＋ｙ＋ｚ）
が８原子％未満では、非晶質相の析出が十分でないため
好ましくない。また、（ｘ＋ｙ＋ｚ）が１６原子％を超
えると、硬磁気特性が劣化してしまうので好ましくな
い。上記組成式中の元素Ｑの組成比を示すｔ（原子％）
は、良好な非晶質相と微細な結晶質相を得るために、
０．５原子％以上が必要であり、特に３原子％以上とす
ることが好ましい。良好な硬磁性特性を得るためには、
Ｑの組成比ｔは１０原子％以下であることが必要であ
り、特に９原子％以下とすることが好ましい。
ずれも非晶質相を形成し易い点では共通した性質を有す
る元素であり、これらの元素の組成比の合計量である
（ｘ＋ｙ＋ｚ）は、８原子％以上、１６原子％以下であ
ることが好ましく、１０原子％以上、１４原子％以下で
あることがより好ましい。組成比を示す（ｘ＋ｙ＋ｚ）
が８原子％未満では、非晶質相の析出が十分でないため
好ましくない。また、（ｘ＋ｙ＋ｚ）が１６原子％を超
えると、硬磁気特性が劣化してしまうので好ましくな
い。上記組成式中の元素Ｑの組成比を示すｔ（原子％）
は、良好な非晶質相と微細な結晶質相を得るために、
０．５原子％以上が必要であり、特に３原子％以上とす
ることが好ましい。良好な硬磁性特性を得るためには、
Ｑの組成比ｔは１０原子％以下であることが必要であ
り、特に９原子％以下とすることが好ましい。
【００５５】上記式において、元素Ｘは、Ａｌ、Ｇｅ、
Ｇａ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕのうちの１種または２種
以上の元素であり、これら元素Ｘは主に複合型磁石の耐
食性を向上させる。また、この元素ＸのうちのＣｕ、Ａ
ｇ、Ｐｔ、Ａｕは、Ｆｅに固溶しないので、熱処理によ
って微細な結晶相を析出させる際に、結晶粒の微細化を
促進する効果を有する。更にまた、この元素Ｘのうちの
Ｇｅ、Ｇａ、Ａｌは、微細な結晶相と非晶質相との混相
状態であるナノ複相組織の形成を促進させる効果を有す
る。元素Ｘの組成比を示すｕ（原子％）は、０原子％以
上、５原子％以下であることが好ましく、１原子％以
上、３原子％以下であることがより好ましい。ｕが５原
子％を超えると、非晶質形成能が低下し、硬磁気特性も
低下するので好ましくない。
Ｇａ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕのうちの１種または２種
以上の元素であり、これら元素Ｘは主に複合型磁石の耐
食性を向上させる。また、この元素ＸのうちのＣｕ、Ａ
ｇ、Ｐｔ、Ａｕは、Ｆｅに固溶しないので、熱処理によ
って微細な結晶相を析出させる際に、結晶粒の微細化を
促進する効果を有する。更にまた、この元素Ｘのうちの
Ｇｅ、Ｇａ、Ａｌは、微細な結晶相と非晶質相との混相
状態であるナノ複相組織の形成を促進させる効果を有す
る。元素Ｘの組成比を示すｕ（原子％）は、０原子％以
上、５原子％以下であることが好ましく、１原子％以
上、３原子％以下であることがより好ましい。ｕが５原
子％を超えると、非晶質形成能が低下し、硬磁気特性も
低下するので好ましくない。
【００５６】次に、本実施形態に係る複合磁石１０３，
１０４に用いられる第二の非晶質相を主相とする合金粉
末と、第二の硬磁性粉末について説明する。本実施形態
の複合型磁石１０３，１０４において、上記第二の非晶
質相を主相とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末は
以下の組成式で表すことができる。 ＴxＭyＲzＢw 上記組成式中のＴは、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうち１種以上
の元素を表わす。これらの元素Ｔは、本実施形態に係る
複合型磁石の主成分であり、磁性を担う元素であるた
め、元素Ｔの組成比ｘは５０原子％以上である。元素Ｔ
の組成比ｘを増加させると、それに伴って飽和磁化（Ｉ
ｓ）が増加する。０．８Ｔ以上の高い残留磁化（Ｉｒ）
を実現するためには、飽和磁化（Ｉｓ）が少なくとも
１．１Ｔは必要であり、これを満たすには元素Ｔの組成
比ｘは８０原子％以上であるのが望ましく、より好まし
くは８６原子％以上である。また、良好な硬磁気特性を
得るためには９３原子％以下とするのが好ましい。上記
第二の非晶質相を主相とする合金粉末あるいは第二の硬
磁性粉末においては、元素Ｔの少なくとも一部としてＦ
ｅが含まれていることが必要である。
１０４に用いられる第二の非晶質相を主相とする合金粉
末と、第二の硬磁性粉末について説明する。本実施形態
の複合型磁石１０３，１０４において、上記第二の非晶
質相を主相とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末は
以下の組成式で表すことができる。 ＴxＭyＲzＢw 上記組成式中のＴは、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうち１種以上
の元素を表わす。これらの元素Ｔは、本実施形態に係る
複合型磁石の主成分であり、磁性を担う元素であるた
め、元素Ｔの組成比ｘは５０原子％以上である。元素Ｔ
の組成比ｘを増加させると、それに伴って飽和磁化（Ｉ
ｓ）が増加する。０．８Ｔ以上の高い残留磁化（Ｉｒ）
を実現するためには、飽和磁化（Ｉｓ）が少なくとも
１．１Ｔは必要であり、これを満たすには元素Ｔの組成
比ｘは８０原子％以上であるのが望ましく、より好まし
くは８６原子％以上である。また、良好な硬磁気特性を
得るためには９３原子％以下とするのが好ましい。上記
第二の非晶質相を主相とする合金粉末あるいは第二の硬
磁性粉末においては、元素Ｔの少なくとも一部としてＦ
ｅが含まれていることが必要である。
【００５７】上記組成式中のＭは、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、
Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素を表わ
し、これらの元素Ｍは非晶質形成能が高いものである。
上記第二の非晶質相を主相とする合金粉末あるいは第二
の硬磁性粉末において、元素Ｍを添加することにより、
元素Ｒ（希土類元素）が低濃度の場合でも非晶質相を形
成することができる。元素Ｒ置換で元素Ｍの組成比ｙを
増加させると、それに伴って残留磁化（Ｉｒ）は増加す
るが、保磁力（ｉＨｃ）が低下し、硬磁気特性から軟磁
気特性へと変化する。また、磁性を担う元素Ｔ置換で元
素Ｍを増加させると飽和磁化（Ｉｓ）、残留磁化（Ｉ
ｒ）の減少が生じる。従って、良好な硬磁気特性を得る
ために、元素Ｍの組成比ｙは０原子％以上１５原子％以
下の範囲とするのが好ましく、０．５原子％以上５原子
％以下の範囲であることがより好ましい。また、０.５
原子％以上３原子％以下とすると更に好ましい。更に、
非晶質相を形成し易くするためには、１原子％以上添加
すると更に好ましい。
Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素を表わ
し、これらの元素Ｍは非晶質形成能が高いものである。
上記第二の非晶質相を主相とする合金粉末あるいは第二
の硬磁性粉末において、元素Ｍを添加することにより、
元素Ｒ（希土類元素）が低濃度の場合でも非晶質相を形
成することができる。元素Ｒ置換で元素Ｍの組成比ｙを
増加させると、それに伴って残留磁化（Ｉｒ）は増加す
るが、保磁力（ｉＨｃ）が低下し、硬磁気特性から軟磁
気特性へと変化する。また、磁性を担う元素Ｔ置換で元
素Ｍを増加させると飽和磁化（Ｉｓ）、残留磁化（Ｉ
ｒ）の減少が生じる。従って、良好な硬磁気特性を得る
ために、元素Ｍの組成比ｙは０原子％以上１５原子％以
下の範囲とするのが好ましく、０．５原子％以上５原子
％以下の範囲であることがより好ましい。また、０.５
原子％以上３原子％以下とすると更に好ましい。更に、
非晶質相を形成し易くするためには、１原子％以上添加
すると更に好ましい。
【００５８】上記組成式中のＲは、希土類元素（Ｓｃ、
Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇ
ｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、およびＬ
ｕ）のうちの１種以上の元素を表わす。元素ＲとＦｅと
Ｂとを含む非晶質を主相とする合金を７７３〜１１７３
Ｋ（５００〜９００℃）の範囲の適切な温度で加熱した
ときに析出する金属間化合物Ｒ2Ｆｅ14Ｂ（Ｒは希土類
元素のうちの１種以上の元素を表す。）は、本実施形態
の複合型磁石に優れた硬磁気特性を付与するものであ
る。元素Ｒの組成比ｚを増加させると、それに伴って飽
和磁化（Ｉｒ）が減少する。０．８Ｔ以上の高い残留磁
化（Ｉｒ）を得るためには、飽和磁化（Ｉｓ）が少なく
とも１．１Ｔは必要であり、これを満たすためには元素
Ｒの組成比ｚは２０原子％以下であることが望ましい。
また元素Ｒは非晶質を形成し易い元素であり、元素Ｒの
組成比ｚが小さ過ぎると良好な非晶質相または微細結晶
相を得られないため、元素Ｒの組成比ｚとしては３原子
％以上とするのが望ましく、高い飽和磁化（Ｉｒ）と保
磁力（ｉＨｃ）を両立させるためには、１０原子％以
下、更に好ましくは７原子％以下とすると良い。さらに
元素Ｒの一部または全部をＮｄおよび／またはＰｒで構
成すると、さらに高い硬磁気特性が得られる。
Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇ
ｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、およびＬ
ｕ）のうちの１種以上の元素を表わす。元素ＲとＦｅと
Ｂとを含む非晶質を主相とする合金を７７３〜１１７３
Ｋ（５００〜９００℃）の範囲の適切な温度で加熱した
ときに析出する金属間化合物Ｒ2Ｆｅ14Ｂ（Ｒは希土類
元素のうちの１種以上の元素を表す。）は、本実施形態
の複合型磁石に優れた硬磁気特性を付与するものであ
る。元素Ｒの組成比ｚを増加させると、それに伴って飽
和磁化（Ｉｒ）が減少する。０．８Ｔ以上の高い残留磁
化（Ｉｒ）を得るためには、飽和磁化（Ｉｓ）が少なく
とも１．１Ｔは必要であり、これを満たすためには元素
Ｒの組成比ｚは２０原子％以下であることが望ましい。
また元素Ｒは非晶質を形成し易い元素であり、元素Ｒの
組成比ｚが小さ過ぎると良好な非晶質相または微細結晶
相を得られないため、元素Ｒの組成比ｚとしては３原子
％以上とするのが望ましく、高い飽和磁化（Ｉｒ）と保
磁力（ｉＨｃ）を両立させるためには、１０原子％以
下、更に好ましくは７原子％以下とすると良い。さらに
元素Ｒの一部または全部をＮｄおよび／またはＰｒで構
成すると、さらに高い硬磁気特性が得られる。
【００５９】上記組成式中のＢは、非晶質を形成し易い
元素である。また、元素ＲとＦｅとＢとを含む非晶質相
を７７３〜１１７３Ｋ（５００〜９００℃）の範囲の適
切な温度で熱処理したときに析出する化合物Ｒ2Ｆｅ14
Ｂは、本実施形態の複合型磁石に硬磁気特性を付与する
ものである。良好な非晶質相、または微細結晶質相を得
るためには、Ｂの濃度を２原子％以上、より好ましくは
３原子％以上とするのが望ましいが、Ｂの組成比ｗの増
加に伴って飽和磁化（Ｉｓ）、残留磁化（Ｉｒ）、およ
び保磁力（ｉＨｃ）が減少するので、良好な硬磁気特性
を得るために、Ｂの組成比ｗを２０原子％以下、より好
ましくは７原子％以下、更に好ましくは５原子％以下と
するのが望ましい。また、ＦｅとＢとを含む非晶質相は
７７３〜１１７３Ｋ（５００℃〜９００℃）の範囲の適
切な温度に加熱するとき、Ｆｅ−Ｂの化合物を析出す
る。
元素である。また、元素ＲとＦｅとＢとを含む非晶質相
を７７３〜１１７３Ｋ（５００〜９００℃）の範囲の適
切な温度で熱処理したときに析出する化合物Ｒ2Ｆｅ14
Ｂは、本実施形態の複合型磁石に硬磁気特性を付与する
ものである。良好な非晶質相、または微細結晶質相を得
るためには、Ｂの濃度を２原子％以上、より好ましくは
３原子％以上とするのが望ましいが、Ｂの組成比ｗの増
加に伴って飽和磁化（Ｉｓ）、残留磁化（Ｉｒ）、およ
び保磁力（ｉＨｃ）が減少するので、良好な硬磁気特性
を得るために、Ｂの組成比ｗを２０原子％以下、より好
ましくは７原子％以下、更に好ましくは５原子％以下と
するのが望ましい。また、ＦｅとＢとを含む非晶質相は
７７３〜１１７３Ｋ（５００℃〜９００℃）の範囲の適
切な温度に加熱するとき、Ｆｅ−Ｂの化合物を析出す
る。
【００６０】また、本実施形態で用いられる第二の非晶
質相を主相とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末に
は、Ｃｒ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉ
ｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｃ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｒｅ、Ｍｎ
のうち１種以上の元素Ｅが添加されていてもよく、その
場合の第二の非晶質相を主相とする合金粉末あるいは第
二の硬磁性粉末は、下記の組成式で表すことができる。 ＴxＭyＲzＢwＥv この場合の磁性を担う元素Ｔの組成比ｘは、飽和磁化
（Ｉｓ）を増加させる点から好ましくは５０原子％以
上、より好ましくは８０原子％以上９３原子％以下の範
囲であり、０．８Ｔ以上の高い残留磁化（Ｉｒ）と高い
保磁力（ｉＨｃ）の両立を実現するためには８６原子％
以上９３原子％以下の範囲とするのが好ましい。上記組
成式中の元素Ｍの組成比ｙは、良好な硬磁気特性を得る
ために好ましくは０原子％以上１５原子％以下、より好
ましくは０．５原子％以上５原子％以下、さらに好まし
くは０.５原子％以上３原子％以下 の範囲であり０．８
Ｔ以上の高い残留磁化（Ｉｒ）を実現するためには、１
原子％以上３原子％以下の範囲とすることが好ましい。
なお、より高い残留磁化（Ｉｒ）を得るためには組成比
を０.５原子％以上１原子％以下としても良い。
質相を主相とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末に
は、Ｃｒ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉ
ｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｃ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｒｅ、Ｍｎ
のうち１種以上の元素Ｅが添加されていてもよく、その
場合の第二の非晶質相を主相とする合金粉末あるいは第
二の硬磁性粉末は、下記の組成式で表すことができる。 ＴxＭyＲzＢwＥv この場合の磁性を担う元素Ｔの組成比ｘは、飽和磁化
（Ｉｓ）を増加させる点から好ましくは５０原子％以
上、より好ましくは８０原子％以上９３原子％以下の範
囲であり、０．８Ｔ以上の高い残留磁化（Ｉｒ）と高い
保磁力（ｉＨｃ）の両立を実現するためには８６原子％
以上９３原子％以下の範囲とするのが好ましい。上記組
成式中の元素Ｍの組成比ｙは、良好な硬磁気特性を得る
ために好ましくは０原子％以上１５原子％以下、より好
ましくは０．５原子％以上５原子％以下、さらに好まし
くは０.５原子％以上３原子％以下 の範囲であり０．８
Ｔ以上の高い残留磁化（Ｉｒ）を実現するためには、１
原子％以上３原子％以下の範囲とすることが好ましい。
なお、より高い残留磁化（Ｉｒ）を得るためには組成比
を０.５原子％以上１原子％以下としても良い。
【００６１】上記組成式中の元素Ｒの組成比ｚは、本実
施形態の複合型磁石に優れた硬磁気特性を付与するため
と、良好な非晶質相または微細結晶質相を得るために、
好ましくは３原子％以上２０原子％以下、より好ましく
は３原子％以上１０原子％以下の範囲であり、０．８Ｔ
以上の高い残留磁化（Ｉｒ）を実現するためには、３原
子％以上７％以下の範囲とするのが好ましい。上記組成
式中のＢの組成比ｗは、良好な非晶質相または微細結晶
質相を得るために、２原子％以上とすることが望まし
く、より好ましくは３原子％である。また、良好な硬磁
気特性を得るためには、Ｂの組成比ｗは、好ましくは２
０原子％以下、より好ましくは７原子％以下、更に好ま
しくは５原子％以下とされる。また、ＦｅとＢとを含む
非晶質相は７７３〜１１７３Ｋ（５００℃〜９００℃）
の範囲内の適切な温度に加熱するとＦｅ-Ｂの化合物を
析出する。
施形態の複合型磁石に優れた硬磁気特性を付与するため
と、良好な非晶質相または微細結晶質相を得るために、
好ましくは３原子％以上２０原子％以下、より好ましく
は３原子％以上１０原子％以下の範囲であり、０．８Ｔ
以上の高い残留磁化（Ｉｒ）を実現するためには、３原
子％以上７％以下の範囲とするのが好ましい。上記組成
式中のＢの組成比ｗは、良好な非晶質相または微細結晶
質相を得るために、２原子％以上とすることが望まし
く、より好ましくは３原子％である。また、良好な硬磁
気特性を得るためには、Ｂの組成比ｗは、好ましくは２
０原子％以下、より好ましくは７原子％以下、更に好ま
しくは５原子％以下とされる。また、ＦｅとＢとを含む
非晶質相は７７３〜１１７３Ｋ（５００℃〜９００℃）
の範囲内の適切な温度に加熱するとＦｅ-Ｂの化合物を
析出する。
【００６２】上記組成式中の元素Ｅは、結晶組織の微細
化を促進させるためと、複合型磁石の耐食性及び耐摩耗
性を向上させるために添加されるものである。元素Ｅの
組成比ｖは０原子％以上１０原子％以下であることが好
ましい。ただし、元素Ｅの組成比ｖが高過ぎると硬磁気
特性が劣化するので、元素Ｅの組成比ｖは好ましくは５
原子％以下、より好ましくは０．１原子％以上５原子％
以下とされる。また、０．８Ｔ以上の高い残留磁化（Ｉ
ｒ）を達成するためには、元素Ｅを添加しない方が好ま
しい。
化を促進させるためと、複合型磁石の耐食性及び耐摩耗
性を向上させるために添加されるものである。元素Ｅの
組成比ｖは０原子％以上１０原子％以下であることが好
ましい。ただし、元素Ｅの組成比ｖが高過ぎると硬磁気
特性が劣化するので、元素Ｅの組成比ｖは好ましくは５
原子％以下、より好ましくは０．１原子％以上５原子％
以下とされる。また、０．８Ｔ以上の高い残留磁化（Ｉ
ｒ）を達成するためには、元素Ｅを添加しない方が好ま
しい。
【００６３】更に、本実施形態で用いられる第二の非晶
質相を主相とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末に
は、Ｃ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｐ、Ｓｂ、Ｉｎ、Ｂ、Ａｓのうち
１種以上の元素Ｇが添加されていてもよく、この場合に
用いられる第二の非晶質相を主相とする合金粉末あるい
は第二の硬磁性粉末は、下記の組成式で表すことができ
る。 ＴxＭyＲzＢwＧu この場合の磁性を担う元素Ｔの組成比ｘは、飽和磁化
（Ｉｓ）を増加させる点から好ましくは５０原子％以
上、より好ましくは８０原子％以上９３原子％以下の範
囲であり、０．８Ｔ以上の高い残留磁化（Ｉｒ）と高い
保磁力（ｉＨｃ）を得るには８６原子％以上９３原子％
以下とするのが好ましい。上記組成式中の元素Ｍの組成
比ｙは、良好な硬磁気特性を得るために、好ましくは０
原子％以上１５原子％以下、より好ましくは０．５原子
％以上５原子％以下の範囲であり、０．８Ｔ以上の高い
残留磁化（Ｉｒ）を実現するためには、０．５原子％以
上３原子％以下の範囲とすることが好ましい。なお、よ
り高い残留磁化（Ｉｒ）を得るためには、組成比を０．
５原子％以上１原子％以下としても良い。
質相を主相とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末に
は、Ｃ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｐ、Ｓｂ、Ｉｎ、Ｂ、Ａｓのうち
１種以上の元素Ｇが添加されていてもよく、この場合に
用いられる第二の非晶質相を主相とする合金粉末あるい
は第二の硬磁性粉末は、下記の組成式で表すことができ
る。 ＴxＭyＲzＢwＧu この場合の磁性を担う元素Ｔの組成比ｘは、飽和磁化
（Ｉｓ）を増加させる点から好ましくは５０原子％以
上、より好ましくは８０原子％以上９３原子％以下の範
囲であり、０．８Ｔ以上の高い残留磁化（Ｉｒ）と高い
保磁力（ｉＨｃ）を得るには８６原子％以上９３原子％
以下とするのが好ましい。上記組成式中の元素Ｍの組成
比ｙは、良好な硬磁気特性を得るために、好ましくは０
原子％以上１５原子％以下、より好ましくは０．５原子
％以上５原子％以下の範囲であり、０．８Ｔ以上の高い
残留磁化（Ｉｒ）を実現するためには、０．５原子％以
上３原子％以下の範囲とすることが好ましい。なお、よ
り高い残留磁化（Ｉｒ）を得るためには、組成比を０．
５原子％以上１原子％以下としても良い。
【００６４】上記組成式中の元素Ｒの組成比ｚは、複合
型磁石に優れた硬磁気特性を付与し、良好な非晶質相ま
たは微細結晶質相を得るために、好ましくは３原子％以
上２０原子％以下、より好ましくは３原子％以上１０原
子％以下とするのが良く、０．８Ｔ以上の高い残留磁化
（Ｉｒ）を実現するためには、３原子％以上７％以下の
範囲とするのが好ましい。上記組成式中のＢの組成比ｗ
は、良好な非晶質相または微細結晶質相を得るために２
原子％以上とするのが望ましいが、良好な硬磁気特性を
得るためには、Ｂの組成比ｗを２原子％以上２０原子％
以下、より好ましくは３原子％以上７原子％以下、更に
好ましくは３原子％以上５原子％以下とするのが望まし
い。
型磁石に優れた硬磁気特性を付与し、良好な非晶質相ま
たは微細結晶質相を得るために、好ましくは３原子％以
上２０原子％以下、より好ましくは３原子％以上１０原
子％以下とするのが良く、０．８Ｔ以上の高い残留磁化
（Ｉｒ）を実現するためには、３原子％以上７％以下の
範囲とするのが好ましい。上記組成式中のＢの組成比ｗ
は、良好な非晶質相または微細結晶質相を得るために２
原子％以上とするのが望ましいが、良好な硬磁気特性を
得るためには、Ｂの組成比ｗを２原子％以上２０原子％
以下、より好ましくは３原子％以上７原子％以下、更に
好ましくは３原子％以上５原子％以下とするのが望まし
い。
【００６５】上記組成式中の元素Ｇは、析出するソフト
磁性相若しくは準ハード磁性相と、ハード磁性相の結晶
化温度を制御するために添加されるものであり、この元
素Ｇを添加することにより最適な微細結晶複相組織を実
現できる。元素Ｇの組成比ｕは、０原子％以上１０原子
％以下であることが好ましい。ただし、組成比ｕが高過
ぎると飽和磁化（Ｉｓ）が極端に低下するので、組成比
ｕは、より好ましくは５原子％以下、更に好ましくは
０．１原子％以上５原子％以下である。また、０．８Ｔ
以上の高い残留磁化（Ｉｒ）を達成するためには、元素
Ｇを添加しない方が良い。
磁性相若しくは準ハード磁性相と、ハード磁性相の結晶
化温度を制御するために添加されるものであり、この元
素Ｇを添加することにより最適な微細結晶複相組織を実
現できる。元素Ｇの組成比ｕは、０原子％以上１０原子
％以下であることが好ましい。ただし、組成比ｕが高過
ぎると飽和磁化（Ｉｓ）が極端に低下するので、組成比
ｕは、より好ましくは５原子％以下、更に好ましくは
０．１原子％以上５原子％以下である。また、０．８Ｔ
以上の高い残留磁化（Ｉｒ）を達成するためには、元素
Ｇを添加しない方が良い。
【００６６】更にまた、本実施形態で用いられる第二の
非晶質相を主相とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉
末には、上述の元素Ｅと元素Ｇとが同時に添加されてい
ても良く、この場合に用いられる第二の非晶質相を主相
とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末は、下記の組
成式で表すことができる。 ＴxＭyＲzＢwＥvＧu ここで、ＴはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうち１種以上の元素を
表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍ
ｏ、Ｗのうち１種以上の元素を表わし、Ｒは希土類元素
のうち１種以上の元素を表わし、ＥはＣｒ、Ａｌ、Ｐ
ｔ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａ
ｕ、Ｓｃ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｒｅ、Ｍｎのうち１種以上の元
素を表わし、ＧはＣ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｐ、Ｓｂ、Ｉｎ、
Ｂ、Ａｓのうち１種以上の元素を表わし、Ｂはホウ素を
表し、組成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｖ、ｕが原子％
で、５０≦ｘ、０≦ｙ≦１５、３≦ｚ≦２０、２≦ｗ≦
２０、０≦ｖ≦１０、０≦ｕ≦１０であることが、飽和
磁化（Ｉｓ）を増加できること、良好な硬磁気特性が得
られること、良好な非晶質相または微細結晶質相が得ら
れること、結晶組織の微細化を促進できるとともに複合
型磁石の耐食性及び耐摩耗性を向上できること、最適な
微細結晶複相組織を実現できる点で好ましい。
非晶質相を主相とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉
末には、上述の元素Ｅと元素Ｇとが同時に添加されてい
ても良く、この場合に用いられる第二の非晶質相を主相
とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末は、下記の組
成式で表すことができる。 ＴxＭyＲzＢwＥvＧu ここで、ＴはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうち１種以上の元素を
表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍ
ｏ、Ｗのうち１種以上の元素を表わし、Ｒは希土類元素
のうち１種以上の元素を表わし、ＥはＣｒ、Ａｌ、Ｐ
ｔ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａ
ｕ、Ｓｃ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｒｅ、Ｍｎのうち１種以上の元
素を表わし、ＧはＣ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｐ、Ｓｂ、Ｉｎ、
Ｂ、Ａｓのうち１種以上の元素を表わし、Ｂはホウ素を
表し、組成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｖ、ｕが原子％
で、５０≦ｘ、０≦ｙ≦１５、３≦ｚ≦２０、２≦ｗ≦
２０、０≦ｖ≦１０、０≦ｕ≦１０であることが、飽和
磁化（Ｉｓ）を増加できること、良好な硬磁気特性が得
られること、良好な非晶質相または微細結晶質相が得ら
れること、結晶組織の微細化を促進できるとともに複合
型磁石の耐食性及び耐摩耗性を向上できること、最適な
微細結晶複相組織を実現できる点で好ましい。
【００６７】また、飽和磁化（Ｉｓ）を増加できるこ
と、良好な硬磁気特性が得られること、良好な非晶質相
または微細結晶質相が得られること、硬磁気特性が劣化
することなく結晶組織の微細化を促進でき、複合型磁石
の耐食性及び耐摩耗性を向上できること、飽和磁化（Ｉ
ｓ）が極端に低下することなく最適な微細結晶複相組織
を実現できる点で、組成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｖ、
ｕは原子％で、８０≦ｘ≦９３、０．５≦ｙ≦５、３≦
ｚ≦１０、３≦ｗ≦７、ｖ≦５、ｕ≦５であることが好
ましい。
と、良好な硬磁気特性が得られること、良好な非晶質相
または微細結晶質相が得られること、硬磁気特性が劣化
することなく結晶組織の微細化を促進でき、複合型磁石
の耐食性及び耐摩耗性を向上できること、飽和磁化（Ｉ
ｓ）が極端に低下することなく最適な微細結晶複相組織
を実現できる点で、組成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｖ、
ｕは原子％で、８０≦ｘ≦９３、０．５≦ｙ≦５、３≦
ｚ≦１０、３≦ｗ≦７、ｖ≦５、ｕ≦５であることが好
ましい。
【００６８】更に、０．８Ｔ以上の高い残留磁化（Ｉ
ｒ）と高い保磁力（ｉＨｃ）を得られること、良好な硬
磁気特性が得られること、硬磁気特性が劣化することな
く結晶組織の微細化を促進でき、複合型磁石の耐食性及
び耐摩耗性を向上できること、飽和磁化（Ｉｓ）が極端
に低下することなく最適な微細結晶複相組織を実現でき
る点で、組成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｖ、ｕが原子％
で、８６≦ｘ≦９３、０．５≦ｙ≦３、３≦ｚ≦７、３
≦ｗ≦５、０．１≦ｖ≦５、０．１≦ｕ≦５であること
が好ましい。また、０．８Ｔ以上の高い残留磁化（Ｉ
ｒ）を達成するためには、元素Ｅ及び元素Ｇを添加しな
い方が良い。
ｒ）と高い保磁力（ｉＨｃ）を得られること、良好な硬
磁気特性が得られること、硬磁気特性が劣化することな
く結晶組織の微細化を促進でき、複合型磁石の耐食性及
び耐摩耗性を向上できること、飽和磁化（Ｉｓ）が極端
に低下することなく最適な微細結晶複相組織を実現でき
る点で、組成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｖ、ｕが原子％
で、８６≦ｘ≦９３、０．５≦ｙ≦３、３≦ｚ≦７、３
≦ｗ≦５、０．１≦ｖ≦５、０．１≦ｕ≦５であること
が好ましい。また、０．８Ｔ以上の高い残留磁化（Ｉ
ｒ）を達成するためには、元素Ｅ及び元素Ｇを添加しな
い方が良い。
【００６９】本実施形態の複合型磁石１０３，１０４で
用いられる上記第二の非晶質相を主相とする合金粉末あ
るいは第二の硬磁性粉末において元素Ｔ中にＦｅ以外に
Ｃｏが含まれるようにすれば、パーミアンス係数が２以
上となる形状で使用したときの磁化の温度係数の絶対
値、パーミアンス係数が１０以上となる形状で使用した
ときの磁化の温度係数の絶対値、及び保磁力の温度係数
の絶対値を小さくすることができる点で好ましい。
用いられる上記第二の非晶質相を主相とする合金粉末あ
るいは第二の硬磁性粉末において元素Ｔ中にＦｅ以外に
Ｃｏが含まれるようにすれば、パーミアンス係数が２以
上となる形状で使用したときの磁化の温度係数の絶対
値、パーミアンス係数が１０以上となる形状で使用した
ときの磁化の温度係数の絶対値、及び保磁力の温度係数
の絶対値を小さくすることができる点で好ましい。
【００７０】その理由は、元素Ｔ中にＣｏが含まれてい
るとキュリー温度が上昇するので、磁化や保磁力の温度
変化が小さくなり、また、磁化の角型比が高くなるため
磁気特性の温度変化が小さくなり、さらに、このＣｏは
ｂｃｃ−Ｆｅ相にも含まれるので、残留磁化の温度変化
が小さくなるからである。Ｃｏの含有量は、多過ぎると
磁気特性を劣化させるので、好ましくは５０原子％以
下、より好ましくは０.５原子％以上３０原子％以下、
さらに好ましくは０.５原子％以上２０原子％以下の範
囲とされ、合金の組成や熱処理条件等に応じて適宜設定
するのが好ましい。
るとキュリー温度が上昇するので、磁化や保磁力の温度
変化が小さくなり、また、磁化の角型比が高くなるため
磁気特性の温度変化が小さくなり、さらに、このＣｏは
ｂｃｃ−Ｆｅ相にも含まれるので、残留磁化の温度変化
が小さくなるからである。Ｃｏの含有量は、多過ぎると
磁気特性を劣化させるので、好ましくは５０原子％以
下、より好ましくは０.５原子％以上３０原子％以下、
さらに好ましくは０.５原子％以上２０原子％以下の範
囲とされ、合金の組成や熱処理条件等に応じて適宜設定
するのが好ましい。
【００７１】また、本実施形態で用いられる第二の非晶
質相を主相とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末に
おいて、Ｓｉを元素Ｔ置換で添加すれば、磁気特性、特
に保磁力（ｉＨｃ）、および最大磁気エネルギー積
（（ＢＨ）max）をさらに向上させることができ、ま
た、パーミアンス係数が２以上となる形状で使用したと
きの磁化の温度係数の絶対値、特に、パーミアンス係数
が１０以上となる形状で使用したときの磁化の温度係数
の絶対値を低くすることができる。Ｓｉの添加量は、多
過ぎると元素Ｔの組成比が低くなるために複合型磁石の
磁気特性がかえって低下するので、好ましくは０.５原
子％以上５原子％以 下、より好ましくは０.５原子％以
上３原子％以下の範囲とされ、合金の組成や熱処理条件
等に応じて適宜設定するのが好ましい。このようにして
温度特性が改善された複合型磁石は、特に、磁気式セン
サとして好適に用いられる。
質相を主相とする合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末に
おいて、Ｓｉを元素Ｔ置換で添加すれば、磁気特性、特
に保磁力（ｉＨｃ）、および最大磁気エネルギー積
（（ＢＨ）max）をさらに向上させることができ、ま
た、パーミアンス係数が２以上となる形状で使用したと
きの磁化の温度係数の絶対値、特に、パーミアンス係数
が１０以上となる形状で使用したときの磁化の温度係数
の絶対値を低くすることができる。Ｓｉの添加量は、多
過ぎると元素Ｔの組成比が低くなるために複合型磁石の
磁気特性がかえって低下するので、好ましくは０.５原
子％以上５原子％以 下、より好ましくは０.５原子％以
上３原子％以下の範囲とされ、合金の組成や熱処理条件
等に応じて適宜設定するのが好ましい。このようにして
温度特性が改善された複合型磁石は、特に、磁気式セン
サとして好適に用いられる。
【００７２】本実施形態に用いられる複合型磁石を製造
するに際して、特に好ましい第二の非晶質相を主相とす
る合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末の例としては、例
えば、Ｆｅ88Ｐｒ7Ｂ5、Ｆｅ86Ｐｒ7Ｎｂ2Ｂ5、Ｆｅ86
Ｎｄ7Ｚｒ2Ｂ5、Ｆｅ86Ｎｄ9Ｂ5、Ｆｅ84Ｐｒ11Ｂ5、
Ｆｅ88Ｐｒ5Ｎｂ2Ｂ5、Ｆｅ88Ｎｄ5Ｎｂ2Ｂ5、Ｆ ｅ86
Ｎｄ7Ｎｂ2Ｂ5、Ｆｅ89Ｐｒ4Ｎｂ2Ｂ5、Ｆｅ89Ｎｂ2Ｎ
ｄ4Ｂ5、Ｆｅ89Ｎｂ2Ｐｒ4Ｂ5、Ｆｅ90Ｎｂ2Ｎｄ5
Ｂ3、Ｆｅ90Ｎｂ2Ｐｒ5Ｂ3、Ｆｅ89Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ4 、Ｆ
ｅ89Ｎｂ2Ｐｒ5Ｂ4、Ｆ ｅ66Ｃｏ20Ｎｂ2Ｐｒ7Ｂ5、Ｆ
ｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2Ｐｒ7Ｂ5、Ｆｅ73Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎ ｄ5Ｂ
5、Ｆｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2Ｎｄ7Ｂ5を挙げることができる。
するに際して、特に好ましい第二の非晶質相を主相とす
る合金粉末あるいは第二の硬磁性粉末の例としては、例
えば、Ｆｅ88Ｐｒ7Ｂ5、Ｆｅ86Ｐｒ7Ｎｂ2Ｂ5、Ｆｅ86
Ｎｄ7Ｚｒ2Ｂ5、Ｆｅ86Ｎｄ9Ｂ5、Ｆｅ84Ｐｒ11Ｂ5、
Ｆｅ88Ｐｒ5Ｎｂ2Ｂ5、Ｆｅ88Ｎｄ5Ｎｂ2Ｂ5、Ｆ ｅ86
Ｎｄ7Ｎｂ2Ｂ5、Ｆｅ89Ｐｒ4Ｎｂ2Ｂ5、Ｆｅ89Ｎｂ2Ｎ
ｄ4Ｂ5、Ｆｅ89Ｎｂ2Ｐｒ4Ｂ5、Ｆｅ90Ｎｂ2Ｎｄ5
Ｂ3、Ｆｅ90Ｎｂ2Ｐｒ5Ｂ3、Ｆｅ89Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ4 、Ｆ
ｅ89Ｎｂ2Ｐｒ5Ｂ4、Ｆ ｅ66Ｃｏ20Ｎｂ2Ｐｒ7Ｂ5、Ｆ
ｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2Ｐｒ7Ｂ5、Ｆｅ73Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎ ｄ5Ｂ
5、Ｆｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2Ｎｄ7Ｂ5を挙げることができる。
【００７３】次に、本発明の磁気式センサの第二の実施
形態について図３を用いて説明する。ここでの実施形態
例では、本発明の磁気式センサをＥＧＲ（EXHAUST GAS
RECIRCULATION)システムに用いられるＥＧＲセンサに適
用した場合について説明する。なお、上記ＥＧＲシステ
ムとは、排気ガスの窒素酸化物の濃度を少なくするため
に、排気ガスをエンジン内に再循環させて再燃焼させる
システムであり、ＥＧＲセンサはこの再循環排気ガスの
流量を調整する弁（ＥＧＲバルブ）に設けられて開閉度
を測定するために用いられるものである。また、ＥＧＲ
システムは、エンジンの周辺に設けられ、エンジン始動
時は外気温度とほぼ同じであるが運転中は高温となる。
従って、ＥＧＲセンサは、エンジンの周辺に設けられる
ことから低温から高温までの温度変化のある環境で使用
される。
形態について図３を用いて説明する。ここでの実施形態
例では、本発明の磁気式センサをＥＧＲ（EXHAUST GAS
RECIRCULATION)システムに用いられるＥＧＲセンサに適
用した場合について説明する。なお、上記ＥＧＲシステ
ムとは、排気ガスの窒素酸化物の濃度を少なくするため
に、排気ガスをエンジン内に再循環させて再燃焼させる
システムであり、ＥＧＲセンサはこの再循環排気ガスの
流量を調整する弁（ＥＧＲバルブ）に設けられて開閉度
を測定するために用いられるものである。また、ＥＧＲ
システムは、エンジンの周辺に設けられ、エンジン始動
時は外気温度とほぼ同じであるが運転中は高温となる。
従って、ＥＧＲセンサは、エンジンの周辺に設けられる
ことから低温から高温までの温度変化のある環境で使用
される。
【００７４】図３は、本発明の磁気式センサに係わる第
二の実施形態のＥＧＲセンサが備えられたＥＧＲバルブ
の原理を説明するための図である。図３において、ＥＧ
Ｒセンサは、複合型磁石１３０、磁気検出素子１３１、
基板１３２、シャフト１３３及びケース１３４を有する
概略構成とするものである。磁気検出素子１３１は、ケ
ース１３４に固定された基板１３２上に実装され、表面
に複数の磁気抵抗素子を有している。また、複合型磁石
１３０は、磁気検出素子１３１と対向し、かつシャフト
１３３と連動するように配置されている。シャフト１３
３には、シャフト１３３の端面１３３ａの延長上に図示
されていないＥＧＲバルブが当接されており、ＥＧＲバ
ルブの上下の動きにあわせて、上下に直線運動できるよ
うに配置されている。
二の実施形態のＥＧＲセンサが備えられたＥＧＲバルブ
の原理を説明するための図である。図３において、ＥＧ
Ｒセンサは、複合型磁石１３０、磁気検出素子１３１、
基板１３２、シャフト１３３及びケース１３４を有する
概略構成とするものである。磁気検出素子１３１は、ケ
ース１３４に固定された基板１３２上に実装され、表面
に複数の磁気抵抗素子を有している。また、複合型磁石
１３０は、磁気検出素子１３１と対向し、かつシャフト
１３３と連動するように配置されている。シャフト１３
３には、シャフト１３３の端面１３３ａの延長上に図示
されていないＥＧＲバルブが当接されており、ＥＧＲバ
ルブの上下の動きにあわせて、上下に直線運動できるよ
うに配置されている。
【００７５】次に、第二の実施形態のＥＧＲセンサの動
作について説明する。ＥＧＲセンサは、シャフト１３３
の端面１３３ａの延長上にＥＧＲバルブが当接されてお
り、ＥＧＲバルブの開閉度がシャフト１３３により直線
変位として取り出される。シャフト１３３の上記直線変
位に応じて、連動する複合型磁石１３０が変位するの
で、磁気検出素子１３１に対する複合型磁石１３０の印
加磁界が変化する。変化した印加磁界を磁気検出素子１
４１の複数の磁気抵抗素子が感知することにより、アナ
ログ出力が得られ、ＥＧＲバルブの開閉度が検知され
る。第二の実施形態で用いられる複合型磁石１３０をな
す材料としては、上述の第一の実施形態で用いた複合型
磁石１０３，１０４と同様の複合型磁石が用いられる。
作について説明する。ＥＧＲセンサは、シャフト１３３
の端面１３３ａの延長上にＥＧＲバルブが当接されてお
り、ＥＧＲバルブの開閉度がシャフト１３３により直線
変位として取り出される。シャフト１３３の上記直線変
位に応じて、連動する複合型磁石１３０が変位するの
で、磁気検出素子１３１に対する複合型磁石１３０の印
加磁界が変化する。変化した印加磁界を磁気検出素子１
４１の複数の磁気抵抗素子が感知することにより、アナ
ログ出力が得られ、ＥＧＲバルブの開閉度が検知され
る。第二の実施形態で用いられる複合型磁石１３０をな
す材料としては、上述の第一の実施形態で用いた複合型
磁石１０３，１０４と同様の複合型磁石が用いられる。
【００７６】第二の実施形態のＥＧＲセンサによれば、
高価な希土類元素およびＣｏ元素の使用量が少なくて済
み、着磁特性および温度特性が優れるうえ良好な硬磁気
特性を備えた複合型磁石１３０がＥＧＲセンサ用磁石と
して備えられたことにより、動作温度が変化しても複合
型磁石１３０の温度特性が変化するのを防止でき、出力
の検出結果に誤差が生じるのを低減でき、精度良くＥＧ
Ｒバルブの閉開度を検出でき、従って、材料コストを低
減したうえで、温度変化のある環境で使用されても信頼
性が優れるという利点がある。
高価な希土類元素およびＣｏ元素の使用量が少なくて済
み、着磁特性および温度特性が優れるうえ良好な硬磁気
特性を備えた複合型磁石１３０がＥＧＲセンサ用磁石と
して備えられたことにより、動作温度が変化しても複合
型磁石１３０の温度特性が変化するのを防止でき、出力
の検出結果に誤差が生じるのを低減でき、精度良くＥＧ
Ｒバルブの閉開度を検出でき、従って、材料コストを低
減したうえで、温度変化のある環境で使用されても信頼
性が優れるという利点がある。
【００７７】
【実施例】（実施例１）第一の非晶質相を主相とする合
金粉末を以下のようにして調製した。Ｃｏ、Ｆｅ、Ｓ
ｍ、Ｎｂ及びＢを原料としてそれぞれ所定量秤量し、減
圧Ａｒ雰囲気下においてこれらの原料を高周波誘導加熱
装置で溶解して、所定の組成のインゴットを作製した。
このインゴットをるつぼ内に入れて溶解し、ノズルから
回転しているロールに溶湯を吹き出して急冷する単ロー
ル法によって、減圧Ａｒ雰囲気下でＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ
23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組成の急冷薄帯を得た。ここで得ら
れた急冷薄帯について、Ｘ線回折分析によって薄帯の組
織の状態を調査したところ、組織の略全てが非晶質相か
らなるものであることがわかった。ついで、得られた急
冷薄帯をそれぞれローターミルを用いて大気中で粉砕す
ることで粉末化した。得られた粉末の中で粒径３７〜１
０５μｍのものを選別して後の工程に第一の非晶質相を
主相とする合金粉末として使用した。
金粉末を以下のようにして調製した。Ｃｏ、Ｆｅ、Ｓ
ｍ、Ｎｂ及びＢを原料としてそれぞれ所定量秤量し、減
圧Ａｒ雰囲気下においてこれらの原料を高周波誘導加熱
装置で溶解して、所定の組成のインゴットを作製した。
このインゴットをるつぼ内に入れて溶解し、ノズルから
回転しているロールに溶湯を吹き出して急冷する単ロー
ル法によって、減圧Ａｒ雰囲気下でＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ
23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組成の急冷薄帯を得た。ここで得ら
れた急冷薄帯について、Ｘ線回折分析によって薄帯の組
織の状態を調査したところ、組織の略全てが非晶質相か
らなるものであることがわかった。ついで、得られた急
冷薄帯をそれぞれローターミルを用いて大気中で粉砕す
ることで粉末化した。得られた粉末の中で粒径３７〜１
０５μｍのものを選別して後の工程に第一の非晶質相を
主相とする合金粉末として使用した。
【００７８】一方、第二の非晶質相を主相とする合金粉
末を以下にようにして調製した。Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｂ、Ｐ
ｒ及びＢを原料としてそれぞれ所定量秤量し、減圧Ａｒ
雰囲気下においてこれらの原料を高周波誘導加熱装置で
溶解して、所定の組成のインゴットを作製した。このイ
ンゴットをるつぼ内に入れて溶解し、ノズルから回転し
ているロールに溶湯を吹き出して急冷する単ロール法に
よって、減圧Ａｒ雰囲気下でＦｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2Ｐｒ7Ｂ
5なる組成の急冷薄帯を得た。この急冷薄帯について、
Ｘ線回折分析による薄帯の組織の状態を調査したとこ
ろ、組織のほぼ全てが非晶質相からなるものであった。
ついで、得られた急冷薄帯をそれぞれローターミルを用
いて大気中で粉砕することで粉末化した。得られた粉末
の中で粒径３７〜１０５μｍのものを選別して後の工程
に第二の非晶質相を主相とする合金粉末として使用し
た。
末を以下にようにして調製した。Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｂ、Ｐ
ｒ及びＢを原料としてそれぞれ所定量秤量し、減圧Ａｒ
雰囲気下においてこれらの原料を高周波誘導加熱装置で
溶解して、所定の組成のインゴットを作製した。このイ
ンゴットをるつぼ内に入れて溶解し、ノズルから回転し
ているロールに溶湯を吹き出して急冷する単ロール法に
よって、減圧Ａｒ雰囲気下でＦｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2Ｐｒ7Ｂ
5なる組成の急冷薄帯を得た。この急冷薄帯について、
Ｘ線回折分析による薄帯の組織の状態を調査したとこ
ろ、組織のほぼ全てが非晶質相からなるものであった。
ついで、得られた急冷薄帯をそれぞれローターミルを用
いて大気中で粉砕することで粉末化した。得られた粉末
の中で粒径３７〜１０５μｍのものを選別して後の工程
に第二の非晶質相を主相とする合金粉末として使用し
た。
【００７９】Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組
成の非晶質相を主相とする合金粉末と、Ｆｅ76Ｃｏ10Ｎ
ｂ2Ｐｒ7Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末
とを重量比で１：１となるように混 合した複合粉末を
ＷＣ製のダイスの内部にハンドプレスを用いて充填した
後、図４に示すプラズマ焼結装置の内部に装填し、チャ
ンバの内部を３×１０-5ｔｏｒｒの雰囲気中で上下のパ
ンチで加圧するとともに、通電装置から原料粉末にパル
ス波を通電して加熱した。パルス波形は図５に示すよう
に１２パルス流した後で２パルス休止するものとし、最
高４７００〜４８００Ａの電流で原料粉末を加熱した。
固化成形（焼結）は、試料に６３６ＭＰａの成形圧力Ｐ
sをかけた状態で室温から６００℃ （８７３Ｋ）まで昇
温速度１１０゜Ｃ／分で加熱して８７３Ｋの成形温度Ｔ
sで 約８分間保持することにより焼結と熱処理とを同時
に行った。このようにして、図６に示すような、Ｚ方向
に圧力をかけたバルク試料を得た。このバルク試料につ
いて、Ｘ線回折分析による組織の状態を調査したとこ
ろ、結晶質を主体とする相であった。
成の非晶質相を主相とする合金粉末と、Ｆｅ76Ｃｏ10Ｎ
ｂ2Ｐｒ7Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末
とを重量比で１：１となるように混 合した複合粉末を
ＷＣ製のダイスの内部にハンドプレスを用いて充填した
後、図４に示すプラズマ焼結装置の内部に装填し、チャ
ンバの内部を３×１０-5ｔｏｒｒの雰囲気中で上下のパ
ンチで加圧するとともに、通電装置から原料粉末にパル
ス波を通電して加熱した。パルス波形は図５に示すよう
に１２パルス流した後で２パルス休止するものとし、最
高４７００〜４８００Ａの電流で原料粉末を加熱した。
固化成形（焼結）は、試料に６３６ＭＰａの成形圧力Ｐ
sをかけた状態で室温から６００℃ （８７３Ｋ）まで昇
温速度１１０゜Ｃ／分で加熱して８７３Ｋの成形温度Ｔ
sで 約８分間保持することにより焼結と熱処理とを同時
に行った。このようにして、図６に示すような、Ｚ方向
に圧力をかけたバルク試料を得た。このバルク試料につ
いて、Ｘ線回折分析による組織の状態を調査したとこ
ろ、結晶質を主体とする相であった。
【００８０】焼結と熱処理に用いたプラズマ焼結装置
は、図４に示すように、ＷＣ製のダイス１と、このダイ
ス１の内部に挿入されるＷＣ製の上パンチ２および下パ
ンチ３と、上記ダイス１の外部に設けられたＷＣ製の外
枠ダイス８と、下パンチ３を支え、パルス電流Ｅを流す
際の一方の電極ともなる基台４と、上パンチ２を下側に
押圧し、パルス電流Ｅを流す他方の電極となる基台５
と、上下のパンチ２、３に挟まれた上記複合粉末６の温
度を測定する熱電対７を主体として構成されている。図
４に示した放電プラズマ焼結装置を用いて目的とするバ
ルクを作製するには、例えば、複合粉末６を上下のパン
チ２、３の間に投入し、放電プラズマ焼結装置の内部を
真空引きするとともに、パンチ２、３で上下から圧力Ｐ
を加えて成形すると同時に、例えば図５に示すようなパ
ルス電流Ｅを複合粉末６に印加して、上記非晶質相を主
相とする合金粉末の結晶化温度またはその付近の温度で
所定時間加熱し、応力下で結晶化させることによって得
られる。
は、図４に示すように、ＷＣ製のダイス１と、このダイ
ス１の内部に挿入されるＷＣ製の上パンチ２および下パ
ンチ３と、上記ダイス１の外部に設けられたＷＣ製の外
枠ダイス８と、下パンチ３を支え、パルス電流Ｅを流す
際の一方の電極ともなる基台４と、上パンチ２を下側に
押圧し、パルス電流Ｅを流す他方の電極となる基台５
と、上下のパンチ２、３に挟まれた上記複合粉末６の温
度を測定する熱電対７を主体として構成されている。図
４に示した放電プラズマ焼結装置を用いて目的とするバ
ルクを作製するには、例えば、複合粉末６を上下のパン
チ２、３の間に投入し、放電プラズマ焼結装置の内部を
真空引きするとともに、パンチ２、３で上下から圧力Ｐ
を加えて成形すると同時に、例えば図５に示すようなパ
ルス電流Ｅを複合粉末６に印加して、上記非晶質相を主
相とする合金粉末の結晶化温度またはその付近の温度で
所定時間加熱し、応力下で結晶化させることによって得
られる。
【００８１】（実施例２）第一の非晶質相を主相とする
合金粉末としてＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる
組成のものを用い、このＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ
2Ｂ7なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末と、第二
の非晶質相を主相とする合金粉末としてのＦｅ76Ｃｏ10
Ｎｂ2Ｐｒ7Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とする合金粉
末とを重量比で１：１となるように混合した複合粉末を
用いる以外は、上記実施例１と同様にしてバルク試料を
得た。
合金粉末としてＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる
組成のものを用い、このＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ
2Ｂ7なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末と、第二
の非晶質相を主相とする合金粉末としてのＦｅ76Ｃｏ10
Ｎｂ2Ｐｒ7Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とする合金粉
末とを重量比で１：１となるように混合した複合粉末を
用いる以外は、上記実施例１と同様にしてバルク試料を
得た。
【００８２】（比較例１）複合粉末に代えてＳｍ12（Ｃ
ｏ60Ｆｅ23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とす
る合金粉末のみを用いる以外は、上記実施例１と同様に
してバルク試料を得た。 （比較例２）複合粉末に代えてＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）
79Ｎｂ2Ｂ7なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末の
みを用いる以外は、上記実施例１と同様にしてバルク試
料を得た。なお、この比較例２のバルク試料は、固化成
形の際の圧力をかけた方向に磁気異方性を付与したもの
である。 （比較例３）複合粉末に代えてＦｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2Ｐｒ7
Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末のみ を用
いる以外は、上記実施例１と同様にしてバルク試料を得
た。
ｏ60Ｆｅ23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とす
る合金粉末のみを用いる以外は、上記実施例１と同様に
してバルク試料を得た。 （比較例２）複合粉末に代えてＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）
79Ｎｂ2Ｂ7なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末の
みを用いる以外は、上記実施例１と同様にしてバルク試
料を得た。なお、この比較例２のバルク試料は、固化成
形の際の圧力をかけた方向に磁気異方性を付与したもの
である。 （比較例３）複合粉末に代えてＦｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2Ｐｒ7
Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末のみ を用
いる以外は、上記実施例１と同様にしてバルク試料を得
た。
【００８３】実施例１〜２および比較例１〜３で得られ
た各バルク試料のＺ方向（成形時圧力印加方向）の磁気
特性と、Ｘ方向（Ｚ方向と直角な方向）の磁気特性を室
温（３００Ｋ）で測定した結果を表１ないし表２に示
す。また、図７ないし図１６に、実施例１〜２および比
較例１〜３で得られた各バルク試料のＺ方向に外部から
磁場−５Ｔ〜５Ｔを加えながらパルス磁化測定装置にて
試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈループと、
実施例１〜２および比較例１〜３で得られた各バルク試
料のＸ方向（Ｚ方向と直角な方向）に外部から磁場−５
Ｔ〜５Ｔを加えながら試料内部に生じる磁束密度を測定
したＢ−Ｈループを示す。
た各バルク試料のＺ方向（成形時圧力印加方向）の磁気
特性と、Ｘ方向（Ｚ方向と直角な方向）の磁気特性を室
温（３００Ｋ）で測定した結果を表１ないし表２に示
す。また、図７ないし図１６に、実施例１〜２および比
較例１〜３で得られた各バルク試料のＺ方向に外部から
磁場−５Ｔ〜５Ｔを加えながらパルス磁化測定装置にて
試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈループと、
実施例１〜２および比較例１〜３で得られた各バルク試
料のＸ方向（Ｚ方向と直角な方向）に外部から磁場−５
Ｔ〜５Ｔを加えながら試料内部に生じる磁束密度を測定
したＢ−Ｈループを示す。
【００８４】
【表１】
【００８５】
【表２】
【００８６】表１及び表２から明らかなように実施例１
ないし２のバルク試料は、Ｘ軸、Ｙ軸方向での残留磁化
（Ｉｒ）、保磁力（iＨc）、最大磁気エネルギー積
（（ＢＨ）max））がそれぞれ比較例１または２のバル
ク試料のＸ軸、Ｙ軸方向での残留磁化（Ｉｒ）、保磁力
（iＨc）、最大磁気エネルギー積（（ＢＨ）max））
と、比較例３のＸ軸、Ｙ軸方向での残留磁化（Ｉｒ）、
最大磁気エネルギー積（（ＢＨ）max））間の値が得ら
れていることから、実施例１ないし２のバルク試料の硬
磁気特性としては、比較例１または２と、比較例３のバ
ルク試料の間の特性を有していることがわかる。また、
実施例１ないし２のバルク試料は、５Ｔの印加磁場にお
ける最大磁化（Ｉ5）と残留磁化（Ｉｒ）との比率であ
る角型比（Ｉｒ／Ｉ5）は、比較例１ないし３のバルク
試料と同じ程度の値のものが得られていることがわか
る。すなわち、実施例１ないし２のバルク試料は、０．
７７Ｔ以上の残留磁化（Ｉｒ）が得られており、角度セ
ンサ等の構成材料として用いる場合に十分な角型比が得
られているので、着磁特性が優れており、多極を形成し
易く、さらに、保磁力も５ないし５．５ｋＯｅ程度の範
囲と適度であるので、着磁し易く、多極を形成し易いも
のであることがわかる。
ないし２のバルク試料は、Ｘ軸、Ｙ軸方向での残留磁化
（Ｉｒ）、保磁力（iＨc）、最大磁気エネルギー積
（（ＢＨ）max））がそれぞれ比較例１または２のバル
ク試料のＸ軸、Ｙ軸方向での残留磁化（Ｉｒ）、保磁力
（iＨc）、最大磁気エネルギー積（（ＢＨ）max））
と、比較例３のＸ軸、Ｙ軸方向での残留磁化（Ｉｒ）、
最大磁気エネルギー積（（ＢＨ）max））間の値が得ら
れていることから、実施例１ないし２のバルク試料の硬
磁気特性としては、比較例１または２と、比較例３のバ
ルク試料の間の特性を有していることがわかる。また、
実施例１ないし２のバルク試料は、５Ｔの印加磁場にお
ける最大磁化（Ｉ5）と残留磁化（Ｉｒ）との比率であ
る角型比（Ｉｒ／Ｉ5）は、比較例１ないし３のバルク
試料と同じ程度の値のものが得られていることがわか
る。すなわち、実施例１ないし２のバルク試料は、０．
７７Ｔ以上の残留磁化（Ｉｒ）が得られており、角度セ
ンサ等の構成材料として用いる場合に十分な角型比が得
られているので、着磁特性が優れており、多極を形成し
易く、さらに、保磁力も５ないし５．５ｋＯｅ程度の範
囲と適度であるので、着磁し易く、多極を形成し易いも
のであることがわかる。
【００８７】また、実施例１のバルク試料のＸ軸、Ｙ軸
方向の密度は、７．４９６ｇ／ｃｃであり、実施例２の
バルク試料のＸ軸、Ｙ軸方向の密度は、７．６ｇ／ｃｃ
であり、上記非晶質相を主相とする合金粉末中の非晶質
相が結晶化するときの軟化現象を利用して上記複合粉末
を固化成形したことにより、高い密度のものが得られて
いることがわかる。また、図７ないし図１６に示したＢ
−Ｈループから、実施例１ないし２のバルク試料は、比
較例１または２のバルク試料の硬磁気特性と、比較例３
のバルク試料の硬磁気特性の間の硬磁気特性を有するも
のであることがわかる。また、実施例１ないし２のバル
ク試料のＩ−Ｈループには、顕著なステップが形成され
ていないことがわかる。
方向の密度は、７．４９６ｇ／ｃｃであり、実施例２の
バルク試料のＸ軸、Ｙ軸方向の密度は、７．６ｇ／ｃｃ
であり、上記非晶質相を主相とする合金粉末中の非晶質
相が結晶化するときの軟化現象を利用して上記複合粉末
を固化成形したことにより、高い密度のものが得られて
いることがわかる。また、図７ないし図１６に示したＢ
−Ｈループから、実施例１ないし２のバルク試料は、比
較例１または２のバルク試料の硬磁気特性と、比較例３
のバルク試料の硬磁気特性の間の硬磁気特性を有するも
のであることがわかる。また、実施例１ないし２のバル
ク試料のＩ−Ｈループには、顕著なステップが形成され
ていないことがわかる。
【００８８】図１７ないし図１８に、実施例１で得られ
たバルク試料のＺ方向に外部から磁場−１５ｋＯｅ〜１
５ｋＯｅを加えながら試料振動型磁力計にて試料内部に
生じる磁化（Ｉ）を測定したＩ−Ｈループと、実施例１
で得られたバルク試料のＸ方向（Ｚ方向と直角な方向）
に外部から磁場−１５ｋＯｅ〜１５ｋＯｅを加えながら
試料内部に生じる磁化（Ｉ）を測定したＩ−Ｈループを
示す。また、実施例１のバルク試料のＺ方向（成形時圧
力印加方向）の磁気特性と、Ｘ方向（Ｚ方向と直角な方
向）の磁気特性を室温（３００Ｋで測定した）ところ、
Ｚ方向の飽和磁化（Ｉｓ）が１．４５Ｔ、残留磁化（Ｉ
ｒ）が０．９８Ｔ、角型比（Ｉｒ／Ｉｓ）が０．６８、
保磁力（iＨc）が４．３５ｋＯｅであり、Ｘ方向の飽和
磁化（Ｉｓ）が１．３８Ｔ、残留磁化（Ｉｒ）が０．８
７Ｔ、角型比（Ｉｒ／Ｉｓ）が、０．６４、保磁力（i
Ｈc）が４．１８ｋＯｅであった。
たバルク試料のＺ方向に外部から磁場−１５ｋＯｅ〜１
５ｋＯｅを加えながら試料振動型磁力計にて試料内部に
生じる磁化（Ｉ）を測定したＩ−Ｈループと、実施例１
で得られたバルク試料のＸ方向（Ｚ方向と直角な方向）
に外部から磁場−１５ｋＯｅ〜１５ｋＯｅを加えながら
試料内部に生じる磁化（Ｉ）を測定したＩ−Ｈループを
示す。また、実施例１のバルク試料のＺ方向（成形時圧
力印加方向）の磁気特性と、Ｘ方向（Ｚ方向と直角な方
向）の磁気特性を室温（３００Ｋで測定した）ところ、
Ｚ方向の飽和磁化（Ｉｓ）が１．４５Ｔ、残留磁化（Ｉ
ｒ）が０．９８Ｔ、角型比（Ｉｒ／Ｉｓ）が０．６８、
保磁力（iＨc）が４．３５ｋＯｅであり、Ｘ方向の飽和
磁化（Ｉｓ）が１．３８Ｔ、残留磁化（Ｉｒ）が０．８
７Ｔ、角型比（Ｉｒ／Ｉｓ）が、０．６４、保磁力（i
Ｈc）が４．１８ｋＯｅであった。
【００８９】これらの結果から実施例１のバルク試料の
Ｉ−Ｈループには、顕著なステップがないものであり、
しかも、Ｚ方向、Ｘ方向の角型比がいずれも０．６以上
のものが得られていることがわかる。これは、実施例１
のバルク試料が、ｂｃｃ構造のＦｅＣｏ相と、Ｎｄ2Ｆ
ｅ14Ｂ相と、Ｓｍ2Ｃｏ17相と、残部の非晶質相とを有
する組織 からなり、上記組織中には平均結晶粒径１０
０ｎｍ以下の微細な結晶相が析出しており、しかも上記
組織中にｂｃｃ構造のＦｅＣｏ相とからなるソフト磁性
相と、Ｎｄ2Ｆｅ14Ｂ相とＳｍ2Ｃｏ17相からなるハード
磁性相との混相状態が形成さ れ、微細なソフト磁性相
とハード磁性相とを結合させた交換結合特性を示す複合
型硬磁性材料となったことによるものと考えられる。
Ｉ−Ｈループには、顕著なステップがないものであり、
しかも、Ｚ方向、Ｘ方向の角型比がいずれも０．６以上
のものが得られていることがわかる。これは、実施例１
のバルク試料が、ｂｃｃ構造のＦｅＣｏ相と、Ｎｄ2Ｆ
ｅ14Ｂ相と、Ｓｍ2Ｃｏ17相と、残部の非晶質相とを有
する組織 からなり、上記組織中には平均結晶粒径１０
０ｎｍ以下の微細な結晶相が析出しており、しかも上記
組織中にｂｃｃ構造のＦｅＣｏ相とからなるソフト磁性
相と、Ｎｄ2Ｆｅ14Ｂ相とＳｍ2Ｃｏ17相からなるハード
磁性相との混相状態が形成さ れ、微細なソフト磁性相
とハード磁性相とを結合させた交換結合特性を示す複合
型硬磁性材料となったことによるものと考えられる。
【００９０】（実施例３〜４、比較例４〜５）第一の非
晶質相を主相とする合金粉末としてＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ
23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組成のものを用い、このＳｍ12（Ｃ
ｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組成の非晶質相を主相とす
る合金粉末と、第二の非晶質相を主相とする合金粉末と
してのＦｅ73Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ5なる組成の非晶質相
を主相とする合金粉末とを混合した複合粉末を用いて上
記実施例１と同様にしてバルク試料を作製する際に第一
の非晶質相を主相とする合金粉末と第二の非晶質相を主
相とする合金粉末の混合比（重量割合）を変更して得ら
れるバルク試料のＺ方向（成形時圧力印加方向）の磁気
特性と密度を３００Ｋ（２７゜Ｃ）で測定した。その結
果を図１９に示す。 また、各バルク試料のＺ方向に外
部から磁場−１０００ｋＡｍ-1〜０ｋＡｍ-1を加えなが
らパルス磁化測定装置にて試料内部に生じる磁化を測定
したＩ−Ｈループを図２０に示す。
晶質相を主相とする合金粉末としてＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ
23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組成のものを用い、このＳｍ12（Ｃ
ｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組成の非晶質相を主相とす
る合金粉末と、第二の非晶質相を主相とする合金粉末と
してのＦｅ73Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ5なる組成の非晶質相
を主相とする合金粉末とを混合した複合粉末を用いて上
記実施例１と同様にしてバルク試料を作製する際に第一
の非晶質相を主相とする合金粉末と第二の非晶質相を主
相とする合金粉末の混合比（重量割合）を変更して得ら
れるバルク試料のＺ方向（成形時圧力印加方向）の磁気
特性と密度を３００Ｋ（２７゜Ｃ）で測定した。その結
果を図１９に示す。 また、各バルク試料のＺ方向に外
部から磁場−１０００ｋＡｍ-1〜０ｋＡｍ-1を加えなが
らパルス磁化測定装置にて試料内部に生じる磁化を測定
したＩ−Ｈループを図２０に示す。
【００９１】図１９、図２０から明らかなようにＳｍ12
（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組成の第一の非晶質相
を主相とする合金粉末と、Ｆｅ73Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ5
なる組成の第二の非晶質相を主相とする合金粉末の混合
比（重量割合）を調整することにより、硬磁気特性を変
更できることが認められる。すなわち、第一の非晶質相
を主相とする合金粉末は第二の非晶質相を主相とする合
金粉末と比べて、残留磁化（Ｉｒ）か低く、保磁力（ｉ
Ｈｃ）の高い相となり、従って、第二の非晶質相を主相
とする合金粉末は残留磁化（Ｉｒ）が高く、保磁力（ｉ
Ｈｃ）の低い相となる。この混合比を調整すれば、所望
の硬磁気特性を得ることができる。また、特に、第一の
非晶質粉末２０ｗｔ％と第二の非晶質粉末８０ｗｔ％を
混合したバルク試料（実施例３）と、第一の非晶質粉末
５０ｗｔ％と第二の非晶質粉末５０％を混合したバルク
試料（実施例４）のものは、残留磁化が０．６Ｔ以上で
あり、角形比が０．６７５以上であり、かつ保磁力が
３．７５ｋＯｅ以上のものが得られていることが認めら
れる。従って、本実施例の複合型硬磁性材を、角度セン
サ等の構成材料として用いると、保磁力が適度な大きさ
であるため着磁が容易で、多極を形成し易く、また、残
留磁化および角形比が大きいため、磁気特性が良好で、
センサ出力が高いものの提供が可能であることがわか
る。
（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組成の第一の非晶質相
を主相とする合金粉末と、Ｆｅ73Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ5
なる組成の第二の非晶質相を主相とする合金粉末の混合
比（重量割合）を調整することにより、硬磁気特性を変
更できることが認められる。すなわち、第一の非晶質相
を主相とする合金粉末は第二の非晶質相を主相とする合
金粉末と比べて、残留磁化（Ｉｒ）か低く、保磁力（ｉ
Ｈｃ）の高い相となり、従って、第二の非晶質相を主相
とする合金粉末は残留磁化（Ｉｒ）が高く、保磁力（ｉ
Ｈｃ）の低い相となる。この混合比を調整すれば、所望
の硬磁気特性を得ることができる。また、特に、第一の
非晶質粉末２０ｗｔ％と第二の非晶質粉末８０ｗｔ％を
混合したバルク試料（実施例３）と、第一の非晶質粉末
５０ｗｔ％と第二の非晶質粉末５０％を混合したバルク
試料（実施例４）のものは、残留磁化が０．６Ｔ以上で
あり、角形比が０．６７５以上であり、かつ保磁力が
３．７５ｋＯｅ以上のものが得られていることが認めら
れる。従って、本実施例の複合型硬磁性材を、角度セン
サ等の構成材料として用いると、保磁力が適度な大きさ
であるため着磁が容易で、多極を形成し易く、また、残
留磁化および角形比が大きいため、磁気特性が良好で、
センサ出力が高いものの提供が可能であることがわか
る。
【００９２】（実施例５）第一の非晶質相を主相とする
合金粉末としてＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる
組成のものを用い、このＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ
2Ｂ7なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末と、第二
の非晶質相を主相とする合金粉末としてのＦｅ73Ｃｏ15
Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とする合金粉
末とを重量比で１：１となるように混合した複合粉末を
用いる以外は上記実施例１と同様にしてバルク試料（実
施例５）を作製し、このバルク試料のＺ方向（成形時圧
力印加方向と平行な方向、Parallel）に外部から磁場
（Ｈ）−４０００ｋＡｍ-1〜４０００ｋＡｍ-1を加えな
がらパルス磁化測定装置にて試料内部に生じる磁化を測
定したＩ−Ｈループを図２１に示す。また、このバルク
試料のＸ方向又はＹ方向（成形時圧力印加方向と直交す
る方向、Perpendicular）に外部から磁場（Ｈ）−４０
００ｋＡｍ-1〜４０００ｋＡｍ-1を加えながらパルス磁
化測定装置にて試料内部に生じる磁化を測定したＩ−Ｈ
ループを図２１に合わせて示す。また、図２２、図２３
に、図２１のバルク試料の成形時圧力印加方向と平行な
方向に外部から磁場を加えながら試料内部に生じる磁化
を測定した実測減磁曲線の拡大図と、バルク試料の成形
時圧力印加方向と直交する方向に外部から磁場を加えな
がら試料内部に生じる磁化を測定した実測減磁曲線の拡
大図を示す。
合金粉末としてＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる
組成のものを用い、このＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ
2Ｂ7なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末と、第二
の非晶質相を主相とする合金粉末としてのＦｅ73Ｃｏ15
Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とする合金粉
末とを重量比で１：１となるように混合した複合粉末を
用いる以外は上記実施例１と同様にしてバルク試料（実
施例５）を作製し、このバルク試料のＺ方向（成形時圧
力印加方向と平行な方向、Parallel）に外部から磁場
（Ｈ）−４０００ｋＡｍ-1〜４０００ｋＡｍ-1を加えな
がらパルス磁化測定装置にて試料内部に生じる磁化を測
定したＩ−Ｈループを図２１に示す。また、このバルク
試料のＸ方向又はＹ方向（成形時圧力印加方向と直交す
る方向、Perpendicular）に外部から磁場（Ｈ）−４０
００ｋＡｍ-1〜４０００ｋＡｍ-1を加えながらパルス磁
化測定装置にて試料内部に生じる磁化を測定したＩ−Ｈ
ループを図２１に合わせて示す。また、図２２、図２３
に、図２１のバルク試料の成形時圧力印加方向と平行な
方向に外部から磁場を加えながら試料内部に生じる磁化
を測定した実測減磁曲線の拡大図と、バルク試料の成形
時圧力印加方向と直交する方向に外部から磁場を加えな
がら試料内部に生じる磁化を測定した実測減磁曲線の拡
大図を示す。
【００９３】図２１からわかるように、Ｚ方向に測定し
た磁化曲線（Ｉ−Ｈループ）とＸ方向に測定した磁化曲
線が異なることがわかった。また、上述した、図７〜図
１０に示した磁化曲線（Ｂ−Ｈループ）においても、詳
細に検討すると同様な傾向を示すことが明らかになっ
た。図２２及び図２３には上記第一の非晶質相を主相と
する合金粉末を原料とする相の磁化曲線と上記第二の非
晶質相を主相とする合金粉末を原料とする相との磁化曲
線から算出した磁化曲線を合わせて記載した。算出によ
る計算磁化曲線は、図１９で示したように上記第一の非
晶質相を主相とする合金粉末を原料とする相（ｘ＝１０
０のとき）の磁化曲線と上記第二の非晶質相を主相とす
る合金粉末を原料とする相（ｘ＝０のとき）の磁化曲線
が異なることから、ステップ（段差）のある形状とな
る。ここで、図２３におけるＸ方向に測定した磁化曲線
が計算磁化曲線とほぼ一致する特性を示しているのに対
し、図２２におけるＺ方向に測定した磁化曲線は、ステ
ップ（段差）のない形状となる。また、Ｚ方向に測定し
た場合の方が、Ｘ方向に測定した場合より、高い保磁力
が得られ磁気特性に優れていることがわかる。以下、Ｚ
方向に磁化し、磁気的に異方化した複合型磁性材料が優
れた磁気特性を示す理由について、図２４および図２５
に示す模式図を参照して説明する。
た磁化曲線（Ｉ−Ｈループ）とＸ方向に測定した磁化曲
線が異なることがわかった。また、上述した、図７〜図
１０に示した磁化曲線（Ｂ−Ｈループ）においても、詳
細に検討すると同様な傾向を示すことが明らかになっ
た。図２２及び図２３には上記第一の非晶質相を主相と
する合金粉末を原料とする相の磁化曲線と上記第二の非
晶質相を主相とする合金粉末を原料とする相との磁化曲
線から算出した磁化曲線を合わせて記載した。算出によ
る計算磁化曲線は、図１９で示したように上記第一の非
晶質相を主相とする合金粉末を原料とする相（ｘ＝１０
０のとき）の磁化曲線と上記第二の非晶質相を主相とす
る合金粉末を原料とする相（ｘ＝０のとき）の磁化曲線
が異なることから、ステップ（段差）のある形状とな
る。ここで、図２３におけるＸ方向に測定した磁化曲線
が計算磁化曲線とほぼ一致する特性を示しているのに対
し、図２２におけるＺ方向に測定した磁化曲線は、ステ
ップ（段差）のない形状となる。また、Ｚ方向に測定し
た場合の方が、Ｘ方向に測定した場合より、高い保磁力
が得られ磁気特性に優れていることがわかる。以下、Ｚ
方向に磁化し、磁気的に異方化した複合型磁性材料が優
れた磁気特性を示す理由について、図２４および図２５
に示す模式図を参照して説明する。
【００９４】図２４に、このバルク試料の成形時圧力印
加方向と平行方向に磁場を加えて試料内部に生じる磁場
を測定した場合、磁場を０にしたとき（Ｈ＝０）の磁化
状態を模式図で示す。図２５に、このバルク試料の成形
時圧力印加方向と直交方向に磁場を加えて試料内部に生
じる磁場を測定した場合、磁場を０にしたとき（Ｈ＝
０）の磁化状態を模式図で示す。なお、図２４または図
２５中、符号１１は、第一の非晶質相を主相とする合金
粉末を原料とする相であり、第二の非晶質相を主相とす
る合金粉末を原料とする相と比べて、保磁力（ｉＨｃ）
が高いので、以下、高保磁カ粉末１１とし、符号１２
は、第二の非晶質相を主相とする合金粉末を原料とする
相であり、以下、低保磁カ粉末１２として説明する。
加方向と平行方向に磁場を加えて試料内部に生じる磁場
を測定した場合、磁場を０にしたとき（Ｈ＝０）の磁化
状態を模式図で示す。図２５に、このバルク試料の成形
時圧力印加方向と直交方向に磁場を加えて試料内部に生
じる磁場を測定した場合、磁場を０にしたとき（Ｈ＝
０）の磁化状態を模式図で示す。なお、図２４または図
２５中、符号１１は、第一の非晶質相を主相とする合金
粉末を原料とする相であり、第二の非晶質相を主相とす
る合金粉末を原料とする相と比べて、保磁力（ｉＨｃ）
が高いので、以下、高保磁カ粉末１１とし、符号１２
は、第二の非晶質相を主相とする合金粉末を原料とする
相であり、以下、低保磁カ粉末１２として説明する。
【００９５】これら非晶質粉末は固化成形時に加圧方向
と平行方向に異方化している。特に保磁力の大きい粉末
（高保磁力粉末）において、異方化の効果は現れやす
い。図２４に示すように、Ｚ方向である固化成形時の加
圧方向と平行に磁場をかけた場合においては、磁場を取
り除いた後の状態、すなわち、Ｈ＝０の状態において
も、高保磁力粉未１１の相の磁化は、固化成形時の加圧
方向と平行に比較的揃った状態となる。ここで、高保磁
力粉未１１の相は、固化成形時の加圧方向と平行方向に
異方化しているために印加磁場と平行の成分は大きくな
るので、高保磁カ粉末１１の相の磁場が低保磁力粉末１
２の相へ及ぼす影響（相互作用）が大きくなるものと推
察される。すなわち、高保磁力粉末１１の相の磁場が低
保磁力粉未１２の相へ影響を及ぼし、保磁力が高くな
り、相互作用によりステップ（段差）の無い磁化曲線を
有することができる。これに対し、図２５に示すよう
に、Ｘ方向である固化成形時の加圧方向と垂直に磁場を
かけた場合においては、磁場を取り除いた後の状態、す
なわち、Ｈ＝０の状態においても、高保磁力粉末１１の
相の磁化は、Ｘ方向に比較的揃った状態にならない。従
って、高保磁力粉末１１の相の磁場が低保磁力粉末１２
の相へ及ぼす影響は、その対称性より印加磁場と平行方
向の成分だけとなる。印加磁場と平行の成分は小さくな
り、相互作用は小さいと推測され、高保磁力粉末１１の
相の保磁カ以上の高い保磁力が得難くなっている。ま
た、高保磁力粉末１１の相と低保磁力粉末１２の相との
磁化曲線の差であるステップ（段差）を有することとな
る。上述のように、本複合型硬磁性合金においては、粉
末を複合する固化成形時の圧力印加方向と平行な方向に
着磁して使用されることにより、保磁カの高い優れた磁
気特性を有することができる。また、温度特性の良い高
保磁カ粉末１１の相か低保磁力粉末１２の相へ影響を及
ぼすので、さらに温度特性が向上する。
と平行方向に異方化している。特に保磁力の大きい粉末
（高保磁力粉末）において、異方化の効果は現れやす
い。図２４に示すように、Ｚ方向である固化成形時の加
圧方向と平行に磁場をかけた場合においては、磁場を取
り除いた後の状態、すなわち、Ｈ＝０の状態において
も、高保磁力粉未１１の相の磁化は、固化成形時の加圧
方向と平行に比較的揃った状態となる。ここで、高保磁
力粉未１１の相は、固化成形時の加圧方向と平行方向に
異方化しているために印加磁場と平行の成分は大きくな
るので、高保磁カ粉末１１の相の磁場が低保磁力粉末１
２の相へ及ぼす影響（相互作用）が大きくなるものと推
察される。すなわち、高保磁力粉末１１の相の磁場が低
保磁力粉未１２の相へ影響を及ぼし、保磁力が高くな
り、相互作用によりステップ（段差）の無い磁化曲線を
有することができる。これに対し、図２５に示すよう
に、Ｘ方向である固化成形時の加圧方向と垂直に磁場を
かけた場合においては、磁場を取り除いた後の状態、す
なわち、Ｈ＝０の状態においても、高保磁力粉末１１の
相の磁化は、Ｘ方向に比較的揃った状態にならない。従
って、高保磁力粉末１１の相の磁場が低保磁力粉末１２
の相へ及ぼす影響は、その対称性より印加磁場と平行方
向の成分だけとなる。印加磁場と平行の成分は小さくな
り、相互作用は小さいと推測され、高保磁力粉末１１の
相の保磁カ以上の高い保磁力が得難くなっている。ま
た、高保磁力粉末１１の相と低保磁力粉末１２の相との
磁化曲線の差であるステップ（段差）を有することとな
る。上述のように、本複合型硬磁性合金においては、粉
末を複合する固化成形時の圧力印加方向と平行な方向に
着磁して使用されることにより、保磁カの高い優れた磁
気特性を有することができる。また、温度特性の良い高
保磁カ粉末１１の相か低保磁力粉末１２の相へ影響を及
ぼすので、さらに温度特性が向上する。
【００９６】（実施例６、比較例６〜１０）下記表３に
示すような組成の磁石からなるバルク試料を先に述べた
方法と同様にして作製し、作製したバルク試料を図１乃
至図２に示すようなスロットルバルブセンサ（スロット
ルポジションセンサ）に備えた場合の出力の温度特性に
ついて調べた。なお、図１乃至図２に示したような形状
のスロットルバルブセンサにおいて、使用する磁石のパ
ーミアンス係数は、５乃至１０となるように設計してい
る。ここでの温度特性は、雰囲気温度を室温から８０゜
Ｃまで上げたときの出力の温度変化率と、室温から１２
０゜Ｃまで上げたときの出力の温度変化率を調べた。そ
の結果を表３に合わせて示す。
示すような組成の磁石からなるバルク試料を先に述べた
方法と同様にして作製し、作製したバルク試料を図１乃
至図２に示すようなスロットルバルブセンサ（スロット
ルポジションセンサ）に備えた場合の出力の温度特性に
ついて調べた。なお、図１乃至図２に示したような形状
のスロットルバルブセンサにおいて、使用する磁石のパ
ーミアンス係数は、５乃至１０となるように設計してい
る。ここでの温度特性は、雰囲気温度を室温から８０゜
Ｃまで上げたときの出力の温度変化率と、室温から１２
０゜Ｃまで上げたときの出力の温度変化率を調べた。そ
の結果を表３に合わせて示す。
【００９７】図２６に本発明の硬磁性材料からなるバル
ク試料を用いたスロットルバルブセンサの出力例を示
す。図２６において、縦軸は電圧出力（Ｖ）であり、横
軸は回転角度（゜）である。上述の磁石１０３と検出素
子１０１とが相対的に回転する場合、回転角に従って出
力電圧が直線的に上昇する。ここで、図２６において、
実線は２５゜Ｃにおける電圧出力曲線の例であり、破線
は１２０゜Ｃにおける電圧出力曲線の例である。なお、
スロットルバルブセンサにおいては、動作温度が変化す
るに従って磁石の温度特性が変化すると電圧出カの検出
結果に誤差が生じてしまいスロットルの開度を精度良く
検出することが難しい。
ク試料を用いたスロットルバルブセンサの出力例を示
す。図２６において、縦軸は電圧出力（Ｖ）であり、横
軸は回転角度（゜）である。上述の磁石１０３と検出素
子１０１とが相対的に回転する場合、回転角に従って出
力電圧が直線的に上昇する。ここで、図２６において、
実線は２５゜Ｃにおける電圧出力曲線の例であり、破線
は１２０゜Ｃにおける電圧出力曲線の例である。なお、
スロットルバルブセンサにおいては、動作温度が変化す
るに従って磁石の温度特性が変化すると電圧出カの検出
結果に誤差が生じてしまいスロットルの開度を精度良く
検出することが難しい。
【００９８】
【表３】
【００９９】表３中、比較例６のバルク試料は、Ｆｅ89
Ｎｂ2Ｎｄ4Ｂ5からなるナノ結晶Ｆｅ−Ｍ−Ｂ系磁石で
ある。比較例７および比較例８のバルク試料は、比較例
６のバルク試料をなす材料の組成のＦｅをＣｏで置換し
たバルク試料で、Ｆｅ73Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎｄ4Ｂ5からな
る。比較例９のバルク試料は、Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）
79Ｎｂ2Ｂ7からなるナノ結晶Ｓｍ−Ｃｏ系磁石である。
実施例６のバルク試料は、Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎ
ｂ2Ｂ7からなる組成の第一の非晶質相を主相とする合金
粉末と、Ｆｅ73Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ5からなる組成の第
二の非晶質含金粉末とを重量比で１：１となるように混
合し、固化成形した本発明の実施例の複合型硬磁性材料
からなるものである。比較例１０のボンド磁石は、Ｓｍ
Ｃｏ5なる組成の粉末を樹脂に添加、混合後、成形した
ものであり、この比較例１０のＳｍＣｏ5のボンド磁石
は、従来、スロットルバルブセンサに用いられてきた磁
石である。なお、表３中、エージング条件は磁化の温度
変化率を安定化するために、着磁後の磁石に使用する上
限の温度で熱処理を施す処理（いわゆる磁気からし）を
行ったときの条件である。また、表３中の室温での出力
は、着磁後、各エージング条件で安定した磁石をスロッ
トルバルブセンサに取り付け、回転角９０度で測定した
電圧値（Ｖ）である。
Ｎｂ2Ｎｄ4Ｂ5からなるナノ結晶Ｆｅ−Ｍ−Ｂ系磁石で
ある。比較例７および比較例８のバルク試料は、比較例
６のバルク試料をなす材料の組成のＦｅをＣｏで置換し
たバルク試料で、Ｆｅ73Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎｄ4Ｂ5からな
る。比較例９のバルク試料は、Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）
79Ｎｂ2Ｂ7からなるナノ結晶Ｓｍ−Ｃｏ系磁石である。
実施例６のバルク試料は、Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎ
ｂ2Ｂ7からなる組成の第一の非晶質相を主相とする合金
粉末と、Ｆｅ73Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ5からなる組成の第
二の非晶質含金粉末とを重量比で１：１となるように混
合し、固化成形した本発明の実施例の複合型硬磁性材料
からなるものである。比較例１０のボンド磁石は、Ｓｍ
Ｃｏ5なる組成の粉末を樹脂に添加、混合後、成形した
ものであり、この比較例１０のＳｍＣｏ5のボンド磁石
は、従来、スロットルバルブセンサに用いられてきた磁
石である。なお、表３中、エージング条件は磁化の温度
変化率を安定化するために、着磁後の磁石に使用する上
限の温度で熱処理を施す処理（いわゆる磁気からし）を
行ったときの条件である。また、表３中の室温での出力
は、着磁後、各エージング条件で安定した磁石をスロッ
トルバルブセンサに取り付け、回転角９０度で測定した
電圧値（Ｖ）である。
【０１００】温度変化率α（％／゜Ｃ）は、電圧出力
２．５（Ｖ）を基準値とし、α（％／゜Ｃ）＝（（△Ｖ
T−△Ｖroom）／△Ｖroom）／（Ｔ−Ｔroom）の計算式
により求めた。ここで、△ＶTは温度Ｔの場合、スロッ
トルポジションセンサで、回転角９０度で測定した電圧
値ＶT（Ｖ）から基準電圧出力２．５（Ｖ）を引いた
値、△ＶT＝ＶT（Ｖ）−２．５（Ｖ）である。また、△
Ｖroomは室温Ｔroomの場合、スロットルポジションセン
サで、回転角９０度で測定した電圧値ＶT（Ｖ）から基
準電圧出力２．５（Ｖ）を引いた値、△ＶT＝ＶT（Ｖ）
−２．５（Ｖ）である。 スロットルポジションセンサ
において、温度変化率が小さいという理由で従来使用さ
れてきたＳｍＣｏ5ボンド磁石は上述した温度変化率α
（％／゜Ｃ）では、一般的に−０．０３〜−０．０４
（％／゜Ｃ）とされている。
２．５（Ｖ）を基準値とし、α（％／゜Ｃ）＝（（△Ｖ
T−△Ｖroom）／△Ｖroom）／（Ｔ−Ｔroom）の計算式
により求めた。ここで、△ＶTは温度Ｔの場合、スロッ
トルポジションセンサで、回転角９０度で測定した電圧
値ＶT（Ｖ）から基準電圧出力２．５（Ｖ）を引いた
値、△ＶT＝ＶT（Ｖ）−２．５（Ｖ）である。また、△
Ｖroomは室温Ｔroomの場合、スロットルポジションセン
サで、回転角９０度で測定した電圧値ＶT（Ｖ）から基
準電圧出力２．５（Ｖ）を引いた値、△ＶT＝ＶT（Ｖ）
−２．５（Ｖ）である。 スロットルポジションセンサ
において、温度変化率が小さいという理由で従来使用さ
れてきたＳｍＣｏ5ボンド磁石は上述した温度変化率α
（％／゜Ｃ）では、一般的に−０．０３〜−０．０４
（％／゜Ｃ）とされている。
【０１０１】表３に示すように、比較例６〜１０のバル
ク試料および実施例６のバルク試料において、室温から
８０゜Ｃ迄の温度変化率α（％／゜Ｃ）は、どのバルク
試料においても−０．０４（％／゜Ｃ）以下であり、優
れた温度特性を示すことがわかる。特に、エージング条
件の異なる比較例７の試料と比較例８の試料を比較する
と、高温でエージングした比較例８のバルク試料の方が
温度特性が向上していることが確かめられた。これは、
十分に磁気からしが行われたためと考えられる。また、
比較例６，７の試料と比較例９の試料を比較すると、Ｃ
ｏで置換することにより、温度特性が向上することがわ
かる。次に表３に示すように比較例６〜１０の試料並び
に実施例６の試料において、室温から１２０゜Ｃ迄の温
度変化率α（％／゜Ｃ）を比較すると、比較例６のＳｍ
Ｃｏ5ボンド磁石が温度変化率α（％／゜Ｃ）の劣化を
生じていないのに対し、比較例６〜８のバルク試料は、
−０．０４（％／゜Ｃ）以上となり、従来のＳｍＣｏ5
ボンド磁石と同等の温度特性を示すことが難しいことが
明らかとなった。
ク試料および実施例６のバルク試料において、室温から
８０゜Ｃ迄の温度変化率α（％／゜Ｃ）は、どのバルク
試料においても−０．０４（％／゜Ｃ）以下であり、優
れた温度特性を示すことがわかる。特に、エージング条
件の異なる比較例７の試料と比較例８の試料を比較する
と、高温でエージングした比較例８のバルク試料の方が
温度特性が向上していることが確かめられた。これは、
十分に磁気からしが行われたためと考えられる。また、
比較例６，７の試料と比較例９の試料を比較すると、Ｃ
ｏで置換することにより、温度特性が向上することがわ
かる。次に表３に示すように比較例６〜１０の試料並び
に実施例６の試料において、室温から１２０゜Ｃ迄の温
度変化率α（％／゜Ｃ）を比較すると、比較例６のＳｍ
Ｃｏ5ボンド磁石が温度変化率α（％／゜Ｃ）の劣化を
生じていないのに対し、比較例６〜８のバルク試料は、
−０．０４（％／゜Ｃ）以上となり、従来のＳｍＣｏ5
ボンド磁石と同等の温度特性を示すことが難しいことが
明らかとなった。
【０１０２】本発明に係わる複合型磁石の一実施例であ
る実施例６のバルク試料（複合型磁石）は、比較例９の
バルク試料と共に、室温から１２０゜Ｃ迄の温度変化に
対しても温度変化率が劣化せず、この実施例６のバルク
試料の温度変化率α（％／゜Ｃ）は−０．０３４と変化
しなかった。このことから、本発明に係わる複合型磁石
は、ＳｍＣｏ5ボンド磁石と同等の優れた温度特性を示
すことがわかった。
る実施例６のバルク試料（複合型磁石）は、比較例９の
バルク試料と共に、室温から１２０゜Ｃ迄の温度変化に
対しても温度変化率が劣化せず、この実施例６のバルク
試料の温度変化率α（％／゜Ｃ）は−０．０３４と変化
しなかった。このことから、本発明に係わる複合型磁石
は、ＳｍＣｏ5ボンド磁石と同等の優れた温度特性を示
すことがわかった。
【０１０３】表３と図２６に示した結果から明らかなよ
うに、Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組成のも
のを用い、このＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる
組成の第一の非晶質相を主相とする合金粉末と、Ｆｅ73
Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ5なる組成の第二の非晶質相を主相
とする合金粉末とを重量比で１：１となるように混合し
た実施例６のバルク試料は、Ｆｅ89Ｎｂ2Ｎｄ4Ｂ5なる
組成の非晶質相を主相とする合金粉末を用いた比較例６
や、Ｆｅ73Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ5なる組成の非晶質相を
主相とする合金を用いた比較例７，８のバルク試料に比
べて、出力の温度変化率が小さく、温度特性が優れてい
ることがわかる。また、比較例９，１０のバルク試料
は、実施例６のバルク試料のものより温度特性が優れて
いるが、Ｓｍを多く用いているため、実施例６のものよ
り高価である。従って、本発明に係わる複合型磁石の実
施例６のバルク試料は、コスト高となるのをおさえたう
えで、温度特性が優れたものが得られていることがわか
る。
うに、Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組成のも
のを用い、このＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる
組成の第一の非晶質相を主相とする合金粉末と、Ｆｅ73
Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ5なる組成の第二の非晶質相を主相
とする合金粉末とを重量比で１：１となるように混合し
た実施例６のバルク試料は、Ｆｅ89Ｎｂ2Ｎｄ4Ｂ5なる
組成の非晶質相を主相とする合金粉末を用いた比較例６
や、Ｆｅ73Ｃｏ15Ｎｂ2Ｎｄ5Ｂ5なる組成の非晶質相を
主相とする合金を用いた比較例７，８のバルク試料に比
べて、出力の温度変化率が小さく、温度特性が優れてい
ることがわかる。また、比較例９，１０のバルク試料
は、実施例６のバルク試料のものより温度特性が優れて
いるが、Ｓｍを多く用いているため、実施例６のものよ
り高価である。従って、本発明に係わる複合型磁石の実
施例６のバルク試料は、コスト高となるのをおさえたう
えで、温度特性が優れたものが得られていることがわか
る。
【０１０４】次に、第一の非晶質相を主相とする合金粉
末を固化成形したバルク試料の第一の非晶質相を主相と
する合金粉末を原料とする相と、第二の非晶質相を主相
とする合金粉末を固化成形したバルク試料の第二の非晶
質相を主相とする合金粉末を原料とする相とを透過型電
子顕微鏡（ＴＥＭ）により組織を観察した。図２７〜図
２９は、実施例６のバルク試料を作製するとき用いたも
のと同様に作製したＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7
なる組成の第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固化
成形した試料の金属組織のＴＥＭ写真である。また、図
２７に示す番号１、２、３の近傍の原子配列の状態を電
子線回折により分析した。結果を図３０〜図３２に示
す。図３０〜図３２の電子線回折の分布スポットの分布
形態より明らかなように、番号１および２の近傍は結晶
であり、番号３の近傍は非結晶相であることがわかり、
番号１近傍の結晶（結晶１）の結晶粒径は約６０ｎｍ、
番号２近傍の結晶（結晶２）の結晶粒径は約２０ｎｍで
あった。結晶１が結晶２に比較して結晶粒径が大きいの
は、結晶１が結晶２よりも先に析出したためと考えられ
る。ここで、結晶１、２および非晶質相３について、エ
ネルギー分散型Ｘ線分析法（ＥＤＳ：Energy Dispersiv
e Spectrometry）により成分分析を行った結果を表４に
示す。
末を固化成形したバルク試料の第一の非晶質相を主相と
する合金粉末を原料とする相と、第二の非晶質相を主相
とする合金粉末を固化成形したバルク試料の第二の非晶
質相を主相とする合金粉末を原料とする相とを透過型電
子顕微鏡（ＴＥＭ）により組織を観察した。図２７〜図
２９は、実施例６のバルク試料を作製するとき用いたも
のと同様に作製したＳｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7
なる組成の第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固化
成形した試料の金属組織のＴＥＭ写真である。また、図
２７に示す番号１、２、３の近傍の原子配列の状態を電
子線回折により分析した。結果を図３０〜図３２に示
す。図３０〜図３２の電子線回折の分布スポットの分布
形態より明らかなように、番号１および２の近傍は結晶
であり、番号３の近傍は非結晶相であることがわかり、
番号１近傍の結晶（結晶１）の結晶粒径は約６０ｎｍ、
番号２近傍の結晶（結晶２）の結晶粒径は約２０ｎｍで
あった。結晶１が結晶２に比較して結晶粒径が大きいの
は、結晶１が結晶２よりも先に析出したためと考えられ
る。ここで、結晶１、２および非晶質相３について、エ
ネルギー分散型Ｘ線分析法（ＥＤＳ：Energy Dispersiv
e Spectrometry）により成分分析を行った結果を表４に
示す。
【０１０５】
【表４】
【０１０６】表４から結晶１及び２は、共にハード磁性
相である（Ｆｅ，Ｃｏ）17Ｓｍ2相であることがわか
る。また、結晶１及び２と非晶質相３とを比較すると、
Ｎｂが非晶質部分に濃縮されていることがわかる。
相である（Ｆｅ，Ｃｏ）17Ｓｍ2相であることがわか
る。また、結晶１及び２と非晶質相３とを比較すると、
Ｎｂが非晶質部分に濃縮されていることがわかる。
【０１０７】同様に、図２８に示す番号１、２、３の近
傍の原子配列の状態を電子線回折により分析した。結果
を図３３〜図３５に示す。図３３〜図３５の電子線回折
の分布スポットの分布形態より明らかなように、番号１
および２の近傍はハード磁性相である（Ｆｅ，Ｃｏ）17
Ｓｍ2結晶相であり、番号３は非晶質相であることが判
る。また、図２９は、Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2
Ｂ7からなる第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固
化成形した試料の金属組織をＴＥＭにより観察するとき
に倍率を変えたときのＴＥＭ写真である。
傍の原子配列の状態を電子線回折により分析した。結果
を図３３〜図３５に示す。図３３〜図３５の電子線回折
の分布スポットの分布形態より明らかなように、番号１
および２の近傍はハード磁性相である（Ｆｅ，Ｃｏ）17
Ｓｍ2結晶相であり、番号３は非晶質相であることが判
る。また、図２９は、Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2
Ｂ7からなる第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固
化成形した試料の金属組織をＴＥＭにより観察するとき
に倍率を変えたときのＴＥＭ写真である。
【０１０８】図３６〜図３７は、実施例１のバルク試料
を作製するとき用いたものと同様に作製したＳｍ12（Ｃ
ｏ60Ｆｅ23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組成の第一の非晶質相を主
相とする合金粉末を固化成形した試料の金属組織のＴＥ
Ｍ写真である。図３６に示す番号１、２、３の近傍の原
子配列の状態を電子線回折により分析した。結果を図３
８〜図４０に示す。図３８〜図４０の電子線回折の分布
スポットの分布形態より明らかなように、番号１の近傍
はｂｃｃ−（Ｆｅ，Ｃｏ）相（結晶１）であり、番号２
の近傍はハード磁性相である（Ｆｅ，Ｃｏ）17Ｓｍ2結
晶相（結晶２）であり、番号３の近傍は非晶質相である
ことがわかり、結晶１の結晶粒径は約１０ｎｍ、結晶２
の結晶粒径は約１０ｎｍであった。また、図３７は、Ｓ
ｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組成からなる第一
の非晶質相を主相とする合金粉末を固化成形した試料の
金属組織をＴＥＭにより観察するときに倍率を変えたと
きのＴＥＭ写真である。
を作製するとき用いたものと同様に作製したＳｍ12（Ｃ
ｏ60Ｆｅ23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組成の第一の非晶質相を主
相とする合金粉末を固化成形した試料の金属組織のＴＥ
Ｍ写真である。図３６に示す番号１、２、３の近傍の原
子配列の状態を電子線回折により分析した。結果を図３
８〜図４０に示す。図３８〜図４０の電子線回折の分布
スポットの分布形態より明らかなように、番号１の近傍
はｂｃｃ−（Ｆｅ，Ｃｏ）相（結晶１）であり、番号２
の近傍はハード磁性相である（Ｆｅ，Ｃｏ）17Ｓｍ2結
晶相（結晶２）であり、番号３の近傍は非晶質相である
ことがわかり、結晶１の結晶粒径は約１０ｎｍ、結晶２
の結晶粒径は約１０ｎｍであった。また、図３７は、Ｓ
ｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組成からなる第一
の非晶質相を主相とする合金粉末を固化成形した試料の
金属組織をＴＥＭにより観察するときに倍率を変えたと
きのＴＥＭ写真である。
【０１０９】次に、実施例６のバルク試料を作製すると
きに用いたものと同様に作製したＳｍ12（Ｃｏ60Ｆ
ｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組成の第一の非晶質相を主相とす
る合金からなる薄帯試料を５×１０-5Ｐａ以下のイメー
ジ炉で、昇温速度３Ｋ／分、熱処理温度（Ｔａ）６００
゜Ｃ、７００゜Ｃ、８００゜Ｃ、熱処理温度（Ｔａ）で
の保持時間３分の条件で熱処理することにより、微細な
結晶相が析出されてなる薄帯試料のＸ線回折分析の結果
を図４１に示す。
きに用いたものと同様に作製したＳｍ12（Ｃｏ60Ｆ
ｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組成の第一の非晶質相を主相とす
る合金からなる薄帯試料を５×１０-5Ｐａ以下のイメー
ジ炉で、昇温速度３Ｋ／分、熱処理温度（Ｔａ）６００
゜Ｃ、７００゜Ｃ、８００゜Ｃ、熱処理温度（Ｔａ）で
の保持時間３分の条件で熱処理することにより、微細な
結晶相が析出されてなる薄帯試料のＸ線回折分析の結果
を図４１に示す。
【０１１０】図４１において、６００℃で熱処理した薄
帯試料には、（Ｆｅ，Ｃｏ）17Ｓｍ2の回折ピークが観
察される。また、熱処理温度が８００゜Ｃでは、（Ｆ
ｅ，Ｃｏ）17Ｓｍ2の回折ピークに加えて、（Ｆｅ，Ｃ
ｏ）20Ｓｍ3Ｂの回折ピークも観察される。また、熱処
理温度が７００゜Ｃでは、ｂｃｃ−（Ｆｅ，Ｃｏ）相の
回折ピークは観察されなかったが、図４２に示されるよ
うに、他の組成系（例えば、Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）81
Ｎｂ2Ｂ5からなる非晶質薄帯試料を熱処理したものでは
観察される場合もあることがわかった。従って、Ｓｍ12
（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7等からなる第一の非晶質相
を主相とする合金粉末が固化成形された試料は、少なく
ともハード磁性相である（Ｆｅ，Ｃｏ）17Ｓｍ2相と少
なくともソフト磁性相である（Ｆｅ，Ｃｏ）20Ｓｍ3Ｂ
相、ｂｃｃ−（Ｆｅ，Ｃｏ）相または残留非晶質相との
交換結合により磁気特性が決定されると考えられる。
帯試料には、（Ｆｅ，Ｃｏ）17Ｓｍ2の回折ピークが観
察される。また、熱処理温度が８００゜Ｃでは、（Ｆ
ｅ，Ｃｏ）17Ｓｍ2の回折ピークに加えて、（Ｆｅ，Ｃ
ｏ）20Ｓｍ3Ｂの回折ピークも観察される。また、熱処
理温度が７００゜Ｃでは、ｂｃｃ−（Ｆｅ，Ｃｏ）相の
回折ピークは観察されなかったが、図４２に示されるよ
うに、他の組成系（例えば、Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）81
Ｎｂ2Ｂ5からなる非晶質薄帯試料を熱処理したものでは
観察される場合もあることがわかった。従って、Ｓｍ12
（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7等からなる第一の非晶質相
を主相とする合金粉末が固化成形された試料は、少なく
ともハード磁性相である（Ｆｅ，Ｃｏ）17Ｓｍ2相と少
なくともソフト磁性相である（Ｆｅ，Ｃｏ）20Ｓｍ3Ｂ
相、ｂｃｃ−（Ｆｅ，Ｃｏ）相または残留非晶質相との
交換結合により磁気特性が決定されると考えられる。
【０１１１】図４３は、実施例６のバルク試料を作製す
るとき用いたものとほぼ同様に作製したＦｅ86Ｎｂ2Ｐ
ｒ7Ｂ5からなる第二の非晶質相を主相とする合金粉末を
固化成形した試料の金属組織のＴＥＭ写真である。図４
４〜図４５は、実施例６のバルク試料を作製するとき用
いたものとほぼ同様に作製したＦｅ88Ｎｂ2Ｐｒ5Ｂ5か
らなる第二の非晶質相を主相とする合金粉末を固化成形
した試料の金属組織のＴＥＭ写真である。図４３におけ
る番号１、２、３、４の近傍の原子配列の状態を電子線
回折により分析した。結果を図４６〜図４９に示す。図
４６〜図４９の電子線回折の分布スポットの分布形態よ
り明らかなように、番号１、２、３、４の近傍は、結晶
質相であることがわかる。ここで、結晶相１および結晶
質相３について、エネルギー分散型Ｘ線分析法（ＥＤ
Ｓ：Energy Dispersive Spectrometry）により成分分析
を行った結果を図５０〜図５１に示す。図５０より明ら
かなように、結晶質相１は、Ｐｒ2Ｆｅ14Ｂ相の微細結
晶であることがわかり、また、結晶質相２も同様であっ
た。図５１より明らかなように、結晶質相３は、ｂｃｃ
−Ｆｅ相の微細結晶であることがわかり、また、結晶質
相４も同様であった。
るとき用いたものとほぼ同様に作製したＦｅ86Ｎｂ2Ｐ
ｒ7Ｂ5からなる第二の非晶質相を主相とする合金粉末を
固化成形した試料の金属組織のＴＥＭ写真である。図４
４〜図４５は、実施例６のバルク試料を作製するとき用
いたものとほぼ同様に作製したＦｅ88Ｎｂ2Ｐｒ5Ｂ5か
らなる第二の非晶質相を主相とする合金粉末を固化成形
した試料の金属組織のＴＥＭ写真である。図４３におけ
る番号１、２、３、４の近傍の原子配列の状態を電子線
回折により分析した。結果を図４６〜図４９に示す。図
４６〜図４９の電子線回折の分布スポットの分布形態よ
り明らかなように、番号１、２、３、４の近傍は、結晶
質相であることがわかる。ここで、結晶相１および結晶
質相３について、エネルギー分散型Ｘ線分析法（ＥＤ
Ｓ：Energy Dispersive Spectrometry）により成分分析
を行った結果を図５０〜図５１に示す。図５０より明ら
かなように、結晶質相１は、Ｐｒ2Ｆｅ14Ｂ相の微細結
晶であることがわかり、また、結晶質相２も同様であっ
た。図５１より明らかなように、結晶質相３は、ｂｃｃ
−Ｆｅ相の微細結晶であることがわかり、また、結晶質
相４も同様であった。
【０１１２】図４４における番号１、２、３の近傍の原
子配列の状態を電子線回折により分析した。結果を図５
２〜図５４に示す。図５２〜図５４の電子線回折の分布
スポットの分布形態より明らかなように、番号１、２の
近傍は、結晶質相であり、番号３の近傍は非晶質相であ
ることがわかる。ここで、結晶相相１、２について、エ
ネルギー分散型Ｘ線分析法（ＥＤＳ：Energy Dispersiv
e Spectrometry）により成分分析を行った結果を図５５
〜図５６に示す。図５５より明らかなように、結晶質相
１は、ｂｃｃ−Ｆｅ相の微細結晶であることがわかる。
図５６より明らかなように、結晶質相２は、Ｐｒ2Ｆｅ
14Ｂ相の微細結晶であることがわかる。
子配列の状態を電子線回折により分析した。結果を図５
２〜図５４に示す。図５２〜図５４の電子線回折の分布
スポットの分布形態より明らかなように、番号１、２の
近傍は、結晶質相であり、番号３の近傍は非晶質相であ
ることがわかる。ここで、結晶相相１、２について、エ
ネルギー分散型Ｘ線分析法（ＥＤＳ：Energy Dispersiv
e Spectrometry）により成分分析を行った結果を図５５
〜図５６に示す。図５５より明らかなように、結晶質相
１は、ｂｃｃ−Ｆｅ相の微細結晶であることがわかる。
図５６より明らかなように、結晶質相２は、Ｐｒ2Ｆｅ
14Ｂ相の微細結晶であることがわかる。
【０１１３】図４５における番号１、２、３の近傍の原
子配列の状態を電子線回折により分析した。結果を図５
７〜図５９に示す。図５７〜図５９の電子線回折の分布
スポットの分布形態より明らかなように、番号１、２の
近傍は、結晶質相であり、番号３の近傍は非晶質相であ
ることがわかる。ここで、結晶質相１、２および非晶質
相３について、エネルギー分散型Ｘ線分析法（ＥＤＳ：
Energy Dispersive Spectrometry）により成分分析を行
った結果を表５に示す。
子配列の状態を電子線回折により分析した。結果を図５
７〜図５９に示す。図５７〜図５９の電子線回折の分布
スポットの分布形態より明らかなように、番号１、２の
近傍は、結晶質相であり、番号３の近傍は非晶質相であ
ることがわかる。ここで、結晶質相１、２および非晶質
相３について、エネルギー分散型Ｘ線分析法（ＥＤＳ：
Energy Dispersive Spectrometry）により成分分析を行
った結果を表５に示す。
【０１１４】
【表５】
【０１１５】表５から結晶質相１は、ハード磁性相であ
るＰｒ2Ｆｅ14Ｂ相の微細結晶であり、結晶質相２はソ
フト磁性相であるｂｃｃ−Ｆｅ相の微細結晶であること
がわかる。また、結晶質相１及び２と非晶質相３とを比
較すると、Ｎｂが非晶質部分に濃縮されていることがわ
かる。上述したように本発明に係わる複合型磁石は、固
化成形された上記第一の非晶質相を主相とする合金粉末
を原料とする相と固化成形された上記第二の非晶質相を
主相とする合金粉末を原料とする相を有する。ここで、
上記固化成形された上記第一の非晶質相を主相とする合
金粉末を原料とする相は、少なくともハード磁性相であ
る（Ｆｅ，Ｃｏ）17Ｓｍ2相と、少なくともソフト磁性
相である（Ｆｅ，Ｃｏ）20Ｓｍ3Ｂ相、ｂｃｃ−（Ｆ
ｅ，Ｃｏ）相または残留非晶質相との交換結合により磁
気特牲が決定されるナノ結晶ＳｍＣｏ系硬磁性合金粉末
であり、上記第二の非晶質相を主相とする合金粉末を原
料とする相は、少なくともハード磁性相であるＲ2Ｆｅ
14Ｂ相と少なくともソフト磁性相であるｂｃｃ−（Ｆ
ｅ，Ｃｏ）相または残留非晶質相との交換結合により磁
気特性が決定されるナノ結晶Ｆｅ−Ｍ−Ｂ系硬磁性合金
粉末であることがわかる。
るＰｒ2Ｆｅ14Ｂ相の微細結晶であり、結晶質相２はソ
フト磁性相であるｂｃｃ−Ｆｅ相の微細結晶であること
がわかる。また、結晶質相１及び２と非晶質相３とを比
較すると、Ｎｂが非晶質部分に濃縮されていることがわ
かる。上述したように本発明に係わる複合型磁石は、固
化成形された上記第一の非晶質相を主相とする合金粉末
を原料とする相と固化成形された上記第二の非晶質相を
主相とする合金粉末を原料とする相を有する。ここで、
上記固化成形された上記第一の非晶質相を主相とする合
金粉末を原料とする相は、少なくともハード磁性相であ
る（Ｆｅ，Ｃｏ）17Ｓｍ2相と、少なくともソフト磁性
相である（Ｆｅ，Ｃｏ）20Ｓｍ3Ｂ相、ｂｃｃ−（Ｆ
ｅ，Ｃｏ）相または残留非晶質相との交換結合により磁
気特牲が決定されるナノ結晶ＳｍＣｏ系硬磁性合金粉末
であり、上記第二の非晶質相を主相とする合金粉末を原
料とする相は、少なくともハード磁性相であるＲ2Ｆｅ
14Ｂ相と少なくともソフト磁性相であるｂｃｃ−（Ｆ
ｅ，Ｃｏ）相または残留非晶質相との交換結合により磁
気特性が決定されるナノ結晶Ｆｅ−Ｍ−Ｂ系硬磁性合金
粉末であることがわかる。
【０１１６】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明の磁
気式センサは、ＣｏとＳｍを少なくとも含んでなる第一
の非晶質相を主相とする合金粉末と、Ｆｅおよび／また
はＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでな
る第二の非晶質相を主相とする合金粉末とを混合した複
合粉末が固化成形されてなる複合型磁石、あるいは、Ｃ
ｏを主成分としてＳｍを少なくとも含み、平均結晶粒径
１００ｎｍ以下の微細な結晶相を主相とする第一の硬磁
性粉末と、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類元素Ｒ
と、Ｂとを少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以
下の微細な結晶質相を主相とする第二の硬磁性粉末と、
樹脂とが混合され、固化成形されてなる複合型磁石が備
えられている。
気式センサは、ＣｏとＳｍを少なくとも含んでなる第一
の非晶質相を主相とする合金粉末と、Ｆｅおよび／また
はＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでな
る第二の非晶質相を主相とする合金粉末とを混合した複
合粉末が固化成形されてなる複合型磁石、あるいは、Ｃ
ｏを主成分としてＳｍを少なくとも含み、平均結晶粒径
１００ｎｍ以下の微細な結晶相を主相とする第一の硬磁
性粉末と、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類元素Ｒ
と、Ｂとを少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以
下の微細な結晶質相を主相とする第二の硬磁性粉末と、
樹脂とが混合され、固化成形されてなる複合型磁石が備
えられている。
【０１１７】本発明に用いられる複合型磁石によれば、
Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少
なくとも含んでなる第二の非晶質相を主相とする合金粉
末に、ＣｏとＳｍを少なくとも含んでなる第一の非晶質
相を主相とする合金粉末を添加、あるいはＦｅおよび／
またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含
み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を主
相とする第二の硬磁性粉末に、Ｃｏを主成分としてＳｍ
を少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細
な結晶相からなる第一の硬磁性粉末を添加したことによ
り、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂと
を少なくとも含んでなる第二の非晶質相を主相とする合
金粉末あるいはＦｅおよび／またはＣｏと、希土類元素
Ｒと、Ｂとを少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ
以下の微細な結晶質相を主相とする第二の硬磁性粉末の
みでは達成することができない優れた温度特性が得ら
れ、また、ＣｏとＳｍを少なくとも含んでなる第一の非
晶質相を主相とする合金粉末あるいはＣｏを主成分とし
てＳｍを少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下
の微細な結晶相からなる第一の硬磁性粉末のみから磁石
を構成した場合に比べて、高価な希土類元素およびＣｏ
元素の使用量が少なくて済む。
Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少
なくとも含んでなる第二の非晶質相を主相とする合金粉
末に、ＣｏとＳｍを少なくとも含んでなる第一の非晶質
相を主相とする合金粉末を添加、あるいはＦｅおよび／
またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含
み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を主
相とする第二の硬磁性粉末に、Ｃｏを主成分としてＳｍ
を少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細
な結晶相からなる第一の硬磁性粉末を添加したことによ
り、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂと
を少なくとも含んでなる第二の非晶質相を主相とする合
金粉末あるいはＦｅおよび／またはＣｏと、希土類元素
Ｒと、Ｂとを少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ
以下の微細な結晶質相を主相とする第二の硬磁性粉末の
みでは達成することができない優れた温度特性が得ら
れ、また、ＣｏとＳｍを少なくとも含んでなる第一の非
晶質相を主相とする合金粉末あるいはＣｏを主成分とし
てＳｍを少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下
の微細な結晶相からなる第一の硬磁性粉末のみから磁石
を構成した場合に比べて、高価な希土類元素およびＣｏ
元素の使用量が少なくて済む。
【０１１８】すなわち、本発明の磁気式センサに備えら
れる複合型磁石は、着磁特性および温度特性が優れるう
え良好な硬磁気特性を有している。従って、本発明の磁
気式センサによれば、高価な希土類元素およびＣｏ元素
の使用量が少なくて済み、着磁特性および温度特性が優
れるうえ良好な硬磁気特性を備えた複合型磁石がセンサ
用磁石として備えられたことにより、動作温度が変化し
ても複合型磁石の温度特性が変化するのを防止でき、出
力の検出結果に誤差が生じるのを低減でき、検出精度を
向上でき、従って、材料コストを低減したうえで、温度
変化のある環境で使用されても信頼性が優れるものを提
供できる。
れる複合型磁石は、着磁特性および温度特性が優れるう
え良好な硬磁気特性を有している。従って、本発明の磁
気式センサによれば、高価な希土類元素およびＣｏ元素
の使用量が少なくて済み、着磁特性および温度特性が優
れるうえ良好な硬磁気特性を備えた複合型磁石がセンサ
用磁石として備えられたことにより、動作温度が変化し
ても複合型磁石の温度特性が変化するのを防止でき、出
力の検出結果に誤差が生じるのを低減でき、検出精度を
向上でき、従って、材料コストを低減したうえで、温度
変化のある環境で使用されても信頼性が優れるものを提
供できる。
【０１１９】また、本発明の磁気式センサにおいて、複
合型磁石として上記粉末の固化成形時の圧力印加方向と
平行な方向に着磁されたものが備えられたものにあって
は、該複合型磁石は、磁気式センサ等の構成材料として
良好な磁気特性を示すので、特性の良好な磁気式センサ
を提供できる。さらに、本発明の磁気式センサにおいて
は、複合型磁石として、室温から１２０゜Ｃまでの温度
範囲において、パーミアンス係数１〜１０での磁化の温
度変化率が−０．０４％／゜Ｃ以下のものが備えられた
ものにあっては、角度センサ等の構成材料として用いた
場合、温度変化に起因する出力のドリフトを防止でき、
検出精度の向上が可能である。すなわち、動作温度が変
化するスロットルバルブセンサ等の磁気型センサの磁石
として、上述のような複合型磁石を用いた場合、動作温
度が変化しても上記磁石の温度特性が変化しないので、
電圧出力の検出結果に誤差が生じるのを低減でき、精度
良く検出できる。また、複合型磁石として第一のナノ結
晶組織と第二のナノ結晶組織が重量比で５：９５乃至８
０：２０の割合で含まれたものを用いたものにあって
は、該複合型磁石が高価な希土類元素及びＣｏ元素の使
用量を少なくしてコストをおさえても、着磁特性および
温度特性が優れるうえ良好な硬磁気特性を備えているの
で、材料コストをより低減したうえで、検出精度が優れ
たものを提供できるとい利点がある。
合型磁石として上記粉末の固化成形時の圧力印加方向と
平行な方向に着磁されたものが備えられたものにあって
は、該複合型磁石は、磁気式センサ等の構成材料として
良好な磁気特性を示すので、特性の良好な磁気式センサ
を提供できる。さらに、本発明の磁気式センサにおいて
は、複合型磁石として、室温から１２０゜Ｃまでの温度
範囲において、パーミアンス係数１〜１０での磁化の温
度変化率が−０．０４％／゜Ｃ以下のものが備えられた
ものにあっては、角度センサ等の構成材料として用いた
場合、温度変化に起因する出力のドリフトを防止でき、
検出精度の向上が可能である。すなわち、動作温度が変
化するスロットルバルブセンサ等の磁気型センサの磁石
として、上述のような複合型磁石を用いた場合、動作温
度が変化しても上記磁石の温度特性が変化しないので、
電圧出力の検出結果に誤差が生じるのを低減でき、精度
良く検出できる。また、複合型磁石として第一のナノ結
晶組織と第二のナノ結晶組織が重量比で５：９５乃至８
０：２０の割合で含まれたものを用いたものにあって
は、該複合型磁石が高価な希土類元素及びＣｏ元素の使
用量を少なくしてコストをおさえても、着磁特性および
温度特性が優れるうえ良好な硬磁気特性を備えているの
で、材料コストをより低減したうえで、検出精度が優れ
たものを提供できるとい利点がある。
【０１２０】また、本発明の磁気式センサの製造方法に
よれば、上述のような特性の良好な複合型磁石が備えら
れた磁気式センサを製造できる。また、本発明の磁気式
センサの製造方法において、特に、上記粉末あるいは上
記粉末と樹脂の固化成形時あるいは固化成形後に上記固
化成形時の圧力印加方向と平行な方向に着磁すると、上
記固化成形時の圧力印加方向と平行な方向に着磁された
複合型磁石を好適に得ることができ、この着磁された複
合型磁石を該磁石を収容するハウジング等のセンサ本体
に取り付けることにより、本発明の磁気式センサを好適
に製造できる。
よれば、上述のような特性の良好な複合型磁石が備えら
れた磁気式センサを製造できる。また、本発明の磁気式
センサの製造方法において、特に、上記粉末あるいは上
記粉末と樹脂の固化成形時あるいは固化成形後に上記固
化成形時の圧力印加方向と平行な方向に着磁すると、上
記固化成形時の圧力印加方向と平行な方向に着磁された
複合型磁石を好適に得ることができ、この着磁された複
合型磁石を該磁石を収容するハウジング等のセンサ本体
に取り付けることにより、本発明の磁気式センサを好適
に製造できる。
【図１】 本発明の磁気式センサに係わる第一の実施形
態のスロットルポジションセンサの要部を説明するため
の図である。
態のスロットルポジションセンサの要部を説明するため
の図である。
【図２】 本発明の磁気式センサに係わる第一の実施形
態のスロットルポジションセンサの概略構成を示す断面
図である。
態のスロットルポジションセンサの概略構成を示す断面
図である。
【図３】 本発明の磁気式センサに係わる第二の実施形
態のＥＧＲセンサが備えられたＥＧＲバルブの原理を説
明するための図である。
態のＥＧＲセンサが備えられたＥＧＲバルブの原理を説
明するための図である。
【図４】 本発明の複合型磁石を製造する際に用いた放
電プラズマ焼結装置の一例の要部の構造を示す断面図で
ある。
電プラズマ焼結装置の一例の要部の構造を示す断面図で
ある。
【図５】 図４に示す放電プラズマ焼結装置で原料粉末
に印加するパルス電流波形の一例を示す図である。
に印加するパルス電流波形の一例を示す図である。
【図６】 複合型磁石を製造する際に、焼結圧力付加方
向を説明するための斜視図である。
向を説明するための斜視図である。
【図７】 Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組成
の非晶質相を主相とする合金粉末とＦｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2
Ｐｒ7Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末を用
いた実施例１のバルク試料のＺ方向に外部から磁場−５
Ｔ〜５Ｔを加えながら試料内部に生じる磁束密度を測定
したＢ−Ｈループを示す図である。
の非晶質相を主相とする合金粉末とＦｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2
Ｐｒ7Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末を用
いた実施例１のバルク試料のＺ方向に外部から磁場−５
Ｔ〜５Ｔを加えながら試料内部に生じる磁束密度を測定
したＢ−Ｈループを示す図である。
【図８】 実施例１のバルク試料のＸ方向（Ｚ方向と直
角な方向）に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加えながら試
料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈループを示す
図である。
角な方向）に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加えながら試
料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈループを示す
図である。
【図９】 Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組成
の非晶質相を主相とする合金粉末とＦｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2
Ｐｒ7Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末を用
いた実施例２のバルク試料のＺ方向に外部から磁場−５
Ｔ〜５Ｔを加えながら試料内部に生じる磁束密度を測定
したＢ−Ｈループを示す図である。
の非晶質相を主相とする合金粉末とＦｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2
Ｐｒ7Ｂ5なる組成の非晶質相を主相とする合金粉末を用
いた実施例２のバルク試料のＺ方向に外部から磁場−５
Ｔ〜５Ｔを加えながら試料内部に生じる磁束密度を測定
したＢ−Ｈループを示す図である。
【図１０】 実施例２のバルク試料のＸ方向（Ｚ方向と
直角な方向）に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加えながら
試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈループを示
す図である。
直角な方向）に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加えながら
試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈループを示
す図である。
【図１１】 Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組
成の非晶質相を主相とする合金粉末を用いた比較例１の
バルク試料のＺ方向に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加え
ながら試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈルー
プを示す図である。
成の非晶質相を主相とする合金粉末を用いた比較例１の
バルク試料のＺ方向に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加え
ながら試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈルー
プを示す図である。
【図１２】 比較例１のバルク試料のＸ方向（Ｚ方向と
直角な方向）に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加えながら
試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈループを示
す図である。
直角な方向）に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加えながら
試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈループを示
す図である。
【図１３】 Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組
成の非晶質相を主相とする合金粉末を用いた比較例２の
バルク試料のＺ方向に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加え
ながら試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈルー
プを示す図である。
成の非晶質相を主相とする合金粉末を用いた比較例２の
バルク試料のＺ方向に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加え
ながら試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈルー
プを示す図である。
【図１４】 比較例２のバルク試料のＸ方向（Ｚ方向と
直角な方向）に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加えながら
試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈループを示
す図である。
直角な方向）に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加えながら
試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈループを示
す図である。
【図１５】 Ｆｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2Ｐｒ7Ｂ5なる組成の非
晶質相を主相とする合金粉末を用い た比較例３のバル
ク試料のＺ方向に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加えなが
ら試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈループを
示す図である。
晶質相を主相とする合金粉末を用い た比較例３のバル
ク試料のＺ方向に外部から磁場−５Ｔ〜５Ｔを加えなが
ら試料内部に生じる磁束密度を測定したＢ−Ｈループを
示す図である。
【図１６】 Ｆｅ76Ｃｏ10Ｎｂ2Ｐｒ7Ｂ5なる組成の非
晶質相を主相とする合金粉末を用い た比較例３のバル
ク試料のＸ方向（Ｚ方向と直角な方向）に外部から磁場
−５Ｔ〜５Ｔを加えながら試料内部に生じる磁束密度を
測定したＢ−Ｈループを示す図である。
晶質相を主相とする合金粉末を用い た比較例３のバル
ク試料のＸ方向（Ｚ方向と直角な方向）に外部から磁場
−５Ｔ〜５Ｔを加えながら試料内部に生じる磁束密度を
測定したＢ−Ｈループを示す図である。
【図１７】 実施例１のバルク試料のＺ方向に外部から
磁場−１５ｋＯｅ〜１５ｋＯｅを加えながら試料内部に
生じる磁化を測定したＩ−Ｈループを示す図である。
磁場−１５ｋＯｅ〜１５ｋＯｅを加えながら試料内部に
生じる磁化を測定したＩ−Ｈループを示す図である。
【図１８】 実施例１のバルク試料のＸ方向（Ｚ方向と
直角な方向）に外部から磁場−１５ｋＯｅ〜１５ｋＯｅ
を加えながら試料内部に生じる磁化を測定したＩ−Ｈル
ープを示す図である。
直角な方向）に外部から磁場−１５ｋＯｅ〜１５ｋＯｅ
を加えながら試料内部に生じる磁化を測定したＩ−Ｈル
ープを示す図である。
【図１９】 第一の非晶質相を主相とする合金粉末と第
二の非晶質相を主相とする合金粉末の混合比（重量割
合）を変更したバルク試料の成形時圧力印加方向の磁気
特性と密度の測定結果を示すグラフである。
二の非晶質相を主相とする合金粉末の混合比（重量割
合）を変更したバルク試料の成形時圧力印加方向の磁気
特性と密度の測定結果を示すグラフである。
【図２０】 第一の非晶質相を主相とする合金粉末と第
二の非晶質相を主相とする合金粉末の混合比（重量割
合）を変更したバルク試料の成形時圧力印加方向に外部
から磁場を加えながら試料内部に生じる磁化を測定した
Ｉ−Ｈループを示す図である。
二の非晶質相を主相とする合金粉末の混合比（重量割
合）を変更したバルク試料の成形時圧力印加方向に外部
から磁場を加えながら試料内部に生じる磁化を測定した
Ｉ−Ｈループを示す図である。
【図２１】 第一の非晶質相を主相とする合金粉末と第
二の非晶質相を主相とする合金粉末を重量比で１：１混
合した実施例５のバルク試料の成形時圧力印加方向と平
行な方向に外部から磁場を加えながら試料内部に生じる
磁化を測定したＩ−Ｈループと、このバルク試料の成形
時圧力印加方向と直交する方向に外部から磁場を加えな
がら試料内部に生じる磁化を測定したＩ−Ｈループを示
す図である。
二の非晶質相を主相とする合金粉末を重量比で１：１混
合した実施例５のバルク試料の成形時圧力印加方向と平
行な方向に外部から磁場を加えながら試料内部に生じる
磁化を測定したＩ−Ｈループと、このバルク試料の成形
時圧力印加方向と直交する方向に外部から磁場を加えな
がら試料内部に生じる磁化を測定したＩ−Ｈループを示
す図である。
【図２２】 図２１の実施例５のバルク試料の成形時圧
力印加方向と平行な方向に外部から磁場を加えながら試
料内部に生じる磁化を測定した減磁曲線と、第一の非晶
質相を主相とする合金粉末を原料とする相の磁化曲線と
第二の非晶質相を主相とする合金粉末を原料とする相と
の磁化曲線から算出した計算磁化曲線を示す拡大図であ
る。
力印加方向と平行な方向に外部から磁場を加えながら試
料内部に生じる磁化を測定した減磁曲線と、第一の非晶
質相を主相とする合金粉末を原料とする相の磁化曲線と
第二の非晶質相を主相とする合金粉末を原料とする相と
の磁化曲線から算出した計算磁化曲線を示す拡大図であ
る。
【図２３】 図２１の実施例５のバルク試料の成形時圧
力印加方向と直交する方向に外部から磁場を加えながら
試料内部に生じる磁化を測定した減磁曲線と、第一の非
晶質相を主相とする合金粉末を原料とする相の磁化曲線
と第二の非晶質相を主相とする合金粉末を原料とする相
との磁化曲線から算出した計算磁化曲線を示す拡大図で
ある。
力印加方向と直交する方向に外部から磁場を加えながら
試料内部に生じる磁化を測定した減磁曲線と、第一の非
晶質相を主相とする合金粉末を原料とする相の磁化曲線
と第二の非晶質相を主相とする合金粉末を原料とする相
との磁化曲線から算出した計算磁化曲線を示す拡大図で
ある。
【図２４】 実施例５のバルク試料の成形時圧力印加方
向と平行な方向に磁場を加えて磁化を測定した場合、磁
場を０にしたときの磁化の状態を示す模式図である。
向と平行な方向に磁場を加えて磁化を測定した場合、磁
場を０にしたときの磁化の状態を示す模式図である。
【図２５】 実施例５のバルク試料の成形時圧力印加方
向と直交方向に磁場を加えて磁化を測定した場合、磁場
を０にしたときの磁化の状態を示す模式図である。
向と直交方向に磁場を加えて磁化を測定した場合、磁場
を０にしたときの磁化の状態を示す模式図である。
【図２６】 本発明の硬磁性材料からなるバルク試料を
用いたスロットルバルブセンサの出力例を示すグラフで
ある。
用いたスロットルバルブセンサの出力例を示すグラフで
ある。
【図２７】 Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組
成の第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固化成形し
た試料の金属組織のＴＥＭ写真である。
成の第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固化成形し
た試料の金属組織のＴＥＭ写真である。
【図２８】 Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組
成の第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固化成形し
た試料の金属組織のＴＥＭ写真である。
成の第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固化成形し
た試料の金属組織のＴＥＭ写真である。
【図２９】 Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7からな
る第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固化成形した
試料の金属組織をＴＥＭにより観察するときに倍率を変
えたときのＴＥＭ写真である。
る第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固化成形した
試料の金属組織をＴＥＭにより観察するときに倍率を変
えたときのＴＥＭ写真である。
【図３０】 図２７における結晶１の電子線回折結果を
示す図である。
示す図である。
【図３１】 図２７における結晶２の電子線回折結果を
示す図である。
示す図である。
【図３２】 図２７における非晶質相３の電子線回折結
果を示す図である。
果を示す図である。
【図３３】 図２８におけるハード磁性相１の電子線回
折結果を示す図である。
折結果を示す図である。
【図３４】 図２８におけるハード磁性相１の電子線回
折結果を示す図である。
折結果を示す図である。
【図３５】 図２８における非晶質相３の電子線回折結
果を示す図である。
果を示す図である。
【図３６】 Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組
成の第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固化成形し
た試料の金属組織のＴＥＭ写真である。
成の第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固化成形し
た試料の金属組織のＴＥＭ写真である。
【図３７】 Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組
成からなる第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固化
成形した試料の金属組織をＴＥＭにより観察するときに
倍率を変えたときのＴＥＭ写真である。
成からなる第一の非晶質相を主相とする合金粉末を固化
成形した試料の金属組織をＴＥＭにより観察するときに
倍率を変えたときのＴＥＭ写真である。
【図３８】 図３６における結晶１の電子線回折結果を
示す図である。
示す図である。
【図３９】 図３６における結晶２の電子線回折結果を
示す図である。
示す図である。
【図４０】 図３６における非晶質相３の電子線回折結
果を示す図である。
果を示す図である。
【図４１】 Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）79Ｎｂ2Ｂ7なる組
成の薄帯試料を熱処理して得られた薄帯試料のＸ線回析
分析の結果を示す図である。
成の薄帯試料を熱処理して得られた薄帯試料のＸ線回析
分析の結果を示す図である。
【図４２】 Ｓｍ12（Ｃｏ60Ｆｅ23）81Ｎｂ2Ｂ5なる組
成の薄帯試料を熱処理して得られた薄帯試料のＸ線回折
分析の結果を示す図である。
成の薄帯試料を熱処理して得られた薄帯試料のＸ線回折
分析の結果を示す図である。
【図４３】 Ｆｅ86Ｎｂ2Ｐｒ7Ｂ5からなる第二の非晶
質相を主相とする合金粉末を固化成形した試料の金属組
織のＴＥＭ写真である。
質相を主相とする合金粉末を固化成形した試料の金属組
織のＴＥＭ写真である。
【図４４】 Ｆｅ88Ｎｂ2Ｐｒ5Ｂ5からなる第二の非晶
質相を主相とする合金粉末を固化成形した試料の金属組
織のＴＥＭ写真である。
質相を主相とする合金粉末を固化成形した試料の金属組
織のＴＥＭ写真である。
【図４５】 Ｆｅ88Ｎｂ2Ｐｒ5Ｂ5からなる第二の非晶
質相を主相とする合金粉末を固化成形した試料の金属組
織をＴＥＭにより観察するときに倍率を変えたときのＴ
ＥＭ写真である。
質相を主相とする合金粉末を固化成形した試料の金属組
織をＴＥＭにより観察するときに倍率を変えたときのＴ
ＥＭ写真である。
【図４６】 図４３における結晶質相１の電子線回折結
果を示す図である。
果を示す図である。
【図４７】 図４３における結晶質相２の電子線回折結
果を示す図である。
果を示す図である。
【図４８】 図４３における結晶質相３の電子線回折結
果を示す図である。
果を示す図である。
【図４９】 図４３における結晶質相４の電子線回折結
果を示す図である。
果を示す図である。
【図５０】 図４３における結晶質相１のエネルギー分
散型Ｘ線分析法により成分分析を行った結果を示す図で
ある。
散型Ｘ線分析法により成分分析を行った結果を示す図で
ある。
【図５１】 図４３における結晶質相３のエネルギー分
散型Ｘ線分析法により成分分析を行った結果を示す図で
ある。
散型Ｘ線分析法により成分分析を行った結果を示す図で
ある。
【図５２】 図４４における結晶質相１の電子線回折結
果を示す図である。
果を示す図である。
【図５３】 図４４における結晶質相２の電子線回折結
果を示す図である。
果を示す図である。
【図５４】 図４４における非晶質相３の電子線回折結
果を示す図である。
果を示す図である。
【図５５】 図４４における結晶質相１のエネルギー分
散型Ｘ線分析法により成分分析を行った結果を示す図で
ある。
散型Ｘ線分析法により成分分析を行った結果を示す図で
ある。
【図５６】 図４４における結晶質相２のエネルギー分
散型Ｘ線分析法により成分分析を行った結果を示す図で
ある。
散型Ｘ線分析法により成分分析を行った結果を示す図で
ある。
【図５７】 図４５における結晶質相１の電子線回折結
果を示す図である。
果を示す図である。
【図５８】 図４５における結晶質相２の電子線回折結
果を示す図である。
果を示す図である。
【図５９】 図４５における非晶質相３の電子線回折結
果を示す図である。
果を示す図である。
１・・・ダイス、２・・・上パンチ、３・・・下パンチ、４・・・基
台、５・・・基台、６・・・複合粉末、７・・・熱電対、８・・・外
枠ダイス、１１・・・高保磁力粉末、１２・・・低保磁力粉
末、１０１・・・磁気検出素子、１０３・・・第一の複合型磁
石、１０４・・・第二の複合型磁石、１３０・・・複合型磁
石、１３１・・・磁気検出素子。
台、５・・・基台、６・・・複合粉末、７・・・熱電対、８・・・外
枠ダイス、１１・・・高保磁力粉末、１２・・・低保磁力粉
末、１０１・・・磁気検出素子、１０３・・・第一の複合型磁
石、１０４・・・第二の複合型磁石、１３０・・・複合型磁
石、１３１・・・磁気検出素子。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 牧野 彰宏 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 (72)発明者 井上 光正 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 (72)発明者 徳永 一郎 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 Ｆターム(参考） 2G017 AB05 AD21 AD53 5E040 AA04 AA06 AA19 BB03 BD03 CA01 CA20 HB05 HB07 NN01 NN06 NN15 NN17
Claims (20)
- 【請求項１】 少なくとも磁石と、前記磁石の磁気を検
出する磁気検出素子を有し、前記磁石はＣｏとＳｍを少
なくとも含んでなる第一の非晶質相を主相とする合金粉
末と、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂ
とを少なくとも含んでなる第二の非晶質相を主相とする
合金粉末とを混合した複合粉末が固化成形されてなる複
合型磁石であることを特徴とする磁気式センサ。 - 【請求項２】 少なくとも磁石と、前記磁石の磁気を検
出する磁気検出素子を有し、前記磁石はＣｏを主成分と
してＳｍを少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以
下の微細な結晶相を主相とする第一の硬磁性粉末と、Ｆ
ｅおよび／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少な
くとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶
質相を主相とする第二の硬磁性粉末と、樹脂とが混合さ
れ、固化成形されてなる複合型磁石であることを特徴と
する磁気式センサ。 - 【請求項３】 少なくとも磁石と、前記磁石の磁気を検
出する磁気検出素子を有し、前記磁石は、Ｃｏを主成分
としてＳｍを少なくとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ
以下の微細な結晶相を主相とする第一のナノ結晶組織
と、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土類Ｒと、Ｂを少な
くとも含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶
質相を主相とする第二のナノ結晶組織とを有してなる複
合磁石であることを特徴とする磁気式センサ。 - 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれかに記載の磁気
式センサは、車載用のものであることを特徴とする磁気
式センサ。 - 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載の磁気
式センサは、スロットルバルブの開度を検出するための
ものであることを特徴とする磁気式センサ。 - 【請求項６】 請求項１乃至４のいずれかに記載の磁気
式センサは、エンジン内を再循環させて再燃焼させる再
循環排気ガスの流量を調整するためのＥＧＲバルブの開
度を検出するためのものであることを特徴とする磁気式
センサ。 - 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載の磁気
式センサにおいて、前記複合型磁石は、前記粉末の固化
成形時の圧力印加方向と平行な方向に着磁されているこ
とを特徴する磁気式センサ。 - 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれかに記載の磁気
式センサにおいて、前記複合型磁石は室温から１２０゜
Ｃまでの温度範囲において、パーミアンス係数１乃至１
０での磁化の温度変化率αが−０．０４％／゜Ｃ以下の
ものであることを特徴とする磁気式センサ。 - 【請求項９】 請求項１乃至８のいずれかに記載の磁気
式センサにおいて、前記複合型磁石中に第一のナノ結晶
組織と第二のナノ結晶組織が重量比で５：９５乃至８
０：２０の割合で含まれていることを特徴とする磁気式
センサ。 - 【請求項１０】 請求項９に記載の磁気式センサにお
いて、前記複合型磁石中に第一のナノ結晶組織と第二の
ナノ結晶組織が重量比で１：１の割合で含まれているこ
とを特徴とする磁気式センサ。 - 【請求項１１】 請求項１〜１０のいずれかに記載の磁
気式センサにおいて、ＣｏとＳｍを少なくとも含んでな
る第一の非晶質相を主相とする合金粉末またはＣｏを主
成分としてＳｍを少なくとも含み、平均結晶粒径１００
ｎｍ以下の微細な結晶相を主相とする第一の硬磁性粉末
が下記組成式で表されるものであることを特徴とする磁
気式センサ。 （Ｃｏ1-fＴf）100-x-y-z-tＭxＳｍyＲzＱt 但し、Ｔは、Ｆｅ、Ｎｉのうちの１種または２種以上の
元素であり、Ｍは、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｈｆのうちの１
種または２種以上の元素であり、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｌａ、
Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈ
ｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種または２種以
上の元素であり、Ｑは、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうちの１種
または２種以上の元素であり、０≦ｆ＜０．５、０原子
％≦ｘ≦４原子％、８原子％≦ｙ≦１６原子％、０原子
％≦ｚ≦５原子％、０．５原子％≦ｔ≦１０原子％、８
原子％≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦１６原子％である。 - 【請求項１２】 請求項１〜１０のいずれかに記載の磁
気式センサにおいて、ＣｏとＳｍを少なくとも含んでな
る第一の非晶質相を主相とする合金粉末またはＣｏを主
成分としてＳｍを少なくとも含み、平均結晶粒径１００
ｎｍ以下の微細な結晶相を主相とする第一の硬磁性粉末
が下記組成式で表されるものであることを特徴とする磁
気式センサ。 （Ｃｏ1-fＴf）100-x-y-z-t-uＭxＳｍyＲzＱtＸu 但し、Ｔは、Ｆｅ、Ｎｉのうちの１種または２種以上の
元素であり、Ｍは、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｈｆのうちの１
種または２種以上の元素であり、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｌａ、
Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈ
ｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕのうちの１種または２種以
上の元素であり、Ｑは、Ｐ、Ｃ、Ｓｉ、Ｂのうちの１種
または２種以上の元素であり、Ｘは、Ａｌ、Ｇｅ、Ｇ
ａ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕのうちの１種または２種以
上の元素であり、０≦ｆ＜０．５、０原子％≦ｘ≦４原
子％、８原子％≦ｙ≦１６原子％、０原子％≦ｚ≦５原
子％、０．５原子％≦ｔ≦１０原子％、０原子％≦ｕ≦
５原子％、８原子％≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦１６原子％である。 - 【請求項１３】 請求項１〜１０のいずれかに記載の磁
気式センサにおいて、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土
類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでなる第二の非晶質
相を主相とする合金粉末またはＦｅおよび／またはＣｏ
と、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含み、平均結晶
粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を主相とする第二
の硬磁性粉末が下記組成式で表されるものであることを
特徴とする磁気式センサ。 ＴxＭyＲzＢw ただし、ＴはＦｅ、Ｃｏ、ＮｉのうちＦｅまたはＣｏを
必須とする１種以上の元素を表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、
Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素
を表わし、Ｒは希土類元素のうち１種以上の元素を表わ
し、Ｂはホウ素を表わし、組成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ
は原子％で、５０≦ｘ、０≦ｙ≦１５、３≦ｚ≦２０、
２≦ｗ≦２０である。 - 【請求項１４】 請求項１〜１０のいずれかに記載の磁
気式センサにおいて、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土
類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでなる第二の非晶質
相を主相とする合金粉末またはＦｅおよび／またはＣｏ
と、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含み、平均結晶
粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を主相とする第二
の硬磁性粉末が下記組成式で表されるものであることを
特徴とする磁気式センサ。 ＴxＭyＲzＢwＥv ただし、ＴはＦｅ、Ｃｏ、ＮｉのうちＦｅまたはＣｏを
必須とする１種以上の元素を表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、
Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素
を表わし、Ｒは希土類元素のうち１種以上の元素を表わ
し、Ｂはホウ素を表わし、ＥはＣｒ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｒ
ｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓ
ｃ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｒｅ、Ｍｎのうち１種以上の元素を表
わし、組成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｖは原子％で、５
０≦ｘ、０≦ｙ≦１５、３≦ｚ≦２０、２≦ｗ≦２０、
０≦ｖ≦１０である。 - 【請求項１５】 請求項１〜１０のいずれかに記載の磁
気式センサにおいて、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土
類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでなる第二の非晶質
相を主相とする合金粉末またはＦｅおよび／またはＣｏ
と、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含み、平均結晶
粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を主相とする第二
の硬磁性粉末が下記組成式で表されるものであることを
特徴とする磁気式センサ。 ＴxＭyＲzＢwＧu ただし、ＴはＦｅ、Ｃｏ、ＮｉのうちＦｅまたはＣｏを
必須とする１種以上の元素を表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、
Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素
を表わし、Ｒは希土類元素のうち１種以上の元素を表わ
し、Ｂはホウ素を表わし、ＧはＣ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｐ、Ｓ
ｂ、Ｉｎ、Ｂ、Ａｓのうち１種以上の元素を表わし、組
成比を示すｘ、ｙ、ｚ、ｗ、ｕは原子％で、５０≦ｘ、
０≦ｙ≦１５、３≦ｚ≦２０、２≦ｗ≦２０、０≦ｕ≦
１０である。 - 【請求項１６】 請求項１〜１０のいずれかに記載の磁
気式センサにおいて、Ｆｅおよび／またはＣｏと、希土
類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含んでなる第二の非晶質
相を主相とする合金粉末またはＦｅおよび／またはＣｏ
と、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含み、平均結晶
粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を主相とする第二
の硬磁性粉末が下記組成式で表されるものであることを
特徴とする磁気式センサ。 ＴxＭyＲzＢwＥvＧu ただし、ＴはＦｅ、Ｃｏ、ＮｉのうちＦｅまたはＣｏを
必須とする１種以上の元素を表わし、ＭはＺｒ、Ｎｂ、
Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗのうち１種以上の元素
を表わし、Ｒは希土類元素のうち１種以上の元素を表わ
し、Ｂはホウ素を表わし、ＥはＣｒ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｒ
ｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓ
ｃ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｒｅ、Ｍｎのうち１種以上の元素を表
わし、ＧはＣ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｐ、Ｓｂ、Ｉｎ、Ｂ、Ａｓ
のうち１種以上の元素を表わし、組成比を示すｘ、ｙ、
ｚ、ｗ、ｖ、ｕは原子％で、５０≦ｘ、０≦ｙ≦１５、
３≦ｚ≦２０、２≦ｗ≦２０、０≦ｖ≦１０、０≦ｕ≦
１０である。 - 【請求項１７】 Ｃｏを主成分としてＳｍを少なくとも
含んでなる第一の非晶質相を主相とする合金粉末と、Ｆ
ｅおよび／またはＣｏと、希土類元素Ｒと、Ｂとを少な
くとも含んでなる第二の非晶質相を主相とする合金粉末
とを混合した複合粉末を固化成形するに際して、第一及
び第二の非晶質相を主相とする合金粉末中の非晶質相が
結晶化するときの軟化現象を利用して前記複合粉末を固
化成形して複合型磁石を形成することを特徴とする磁気
式センサの製造方法。 - 【請求項１８】 請求項１７に記載の磁気式センサの製
造方法において、前記複合粉末の固化成形時あるいは固
化成形後に前記固化成形時の圧力印加方向と平行な方向
に着磁した後、この着磁された複合型磁石をセンサに取
り付けることを特徴とする磁気式センサの製造方法。 - 【請求項１９】 Ｃｏを主成分としてＳｍを少なくとも
含み、平均結晶粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶相を主
相とする第一の硬磁性粉末と、Ｆｅおよび／またはＣｏ
と、希土類元素Ｒと、Ｂとを少なくとも含み、平均結晶
粒径１００ｎｍ以下の微細な結晶質相を主相とする第二
の硬磁性粉末と、樹脂とを混合し、固化成形して複合型
磁石を形成することを特徴とする磁気式センサの製造方
法。 - 【請求項２０】 請求項１９に記載の磁気式センサの製
造方法において、前記第一及び第二の硬磁性粉末の固化
成形時あるいは固化成形後に前記固化成形時の圧力印加
方向と平行な方向に着磁した後、この着磁された複合型
磁石をセンサに取り付けることを特徴とする磁気式セン
サの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10344929A JP2000147079A (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 磁気式センサおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10344929A JP2000147079A (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 磁気式センサおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000147079A true JP2000147079A (ja) | 2000-05-26 |
Family
ID=18373109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10344929A Withdrawn JP2000147079A (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 磁気式センサおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000147079A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007517414A (ja) * | 2003-12-31 | 2007-06-28 | ユニバーシティ・オブ・デイトン | ナノコンポジット永久磁石 |
-
1998
- 1998-11-17 JP JP10344929A patent/JP2000147079A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007517414A (ja) * | 2003-12-31 | 2007-06-28 | ユニバーシティ・オブ・デイトン | ナノコンポジット永久磁石 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2751109B2 (ja) | 熱安定性の良好な焼結型永久磁石 | |
| US5750044A (en) | Magnet and bonded magnet | |
| US6413327B1 (en) | Nitride type, rare earth magnet materials and bonded magnets formed therefrom | |
| JP3724513B2 (ja) | 永久磁石の製造方法 | |
| JPH11186016A (ja) | 希土類元素・鉄・ボロン系永久磁石およびその製造方法 | |
| EP0680054B1 (en) | RE-Fe-B magnets and manufacturing method for the same | |
| JPH10163056A (ja) | 磁石の製造方法 | |
| JPH10125518A (ja) | 微細結晶組織を有する薄板磁石 | |
| JP3560387B2 (ja) | 磁性材料とその製造法 | |
| JPH10265915A (ja) | 微細結晶永久磁石合金及び永久磁石粉末の製造方法 | |
| EP0921532B1 (en) | Hard magnetic material | |
| JP2898229B2 (ja) | 磁石、その製造方法およびボンディッド磁石 | |
| US6425961B1 (en) | Composite hard magnetic material and method for producing the same | |
| US20030145910A1 (en) | Permanent magnetic alloy and bonded magnet | |
| JPH07130522A (ja) | 永久磁石の製造方法 | |
| JPH07263210A (ja) | 永久磁石並びに永久磁石合金粉末とその製造方法 | |
| JP2000216015A (ja) | 複合型硬磁性材料およびその製造方法 | |
| JP3645312B2 (ja) | 磁性材料と製造法 | |
| JP2000147079A (ja) | 磁気式センサおよびその製造方法 | |
| JP3488354B2 (ja) | 微細結晶永久磁石合金及び等方性永久磁石粉末の製造方法 | |
| Saito et al. | Structures and magnetic properties of Nd–Fe–B bulk nanocomposite magnets produced by the spark plasma sintering method | |
| JPH10312918A (ja) | 磁石およびボンディッド磁石 | |
| JP3784085B2 (ja) | 安定した保磁力を有する磁性材料およびその製法 | |
| JP2000294416A (ja) | 希土類ボンド磁石 | |
| JPH06124812A (ja) | 窒化物磁性粉とその合成方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060207 |